KR101512858B1 - Spreading device spreading method and display manufacturing method - Google Patents

Spreading device spreading method and display manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
KR101512858B1
KR101512858B1 KR1020090037127A KR20090037127A KR101512858B1 KR 101512858 B1 KR101512858 B1 KR 101512858B1 KR 1020090037127 A KR1020090037127 A KR 1020090037127A KR 20090037127 A KR20090037127 A KR 20090037127A KR 101512858 B1 KR101512858 B1 KR 101512858B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
bar
coating material
bar coater
coating
Prior art date
Application number
KR1020090037127A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20100118344A (en
Inventor
최원석
채병수
박동찬
이용찬
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR1020090037127A priority Critical patent/KR101512858B1/en
Publication of KR20100118344A publication Critical patent/KR20100118344A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101512858B1 publication Critical patent/KR101512858B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/027—Coating heads with several outlets, e.g. aligned transversally to the moving direction of a web to be coated
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/02—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
    • B05C11/023—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface
    • B05C11/028—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface with a body having a large flat spreading or distributing surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1039—Recovery of excess liquid or other fluent material; Controlling means therefor
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

도포 물질을 도포할 기판이 투입되면 제1 방향으로 이동됨으로써 상기 기판의 측면 일부를 덮는 한 쌍의 서포트 바; 상기 도포 물질을 상기 기판에 분사하는 노즐 헤드가 장착되는 것으로, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 이동되는 노즐 헤드 아암; 상기 기판상에 이격되며 상기 제2 방향을 따라 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동됨으로써 상기 도포 물질을 도포하는 바형 코터; 상기 기판의 타단부에 마련되며 상기 바형 코터로 밀려지는 상기 도포 물질을 회수하는 회수 바; 를 포함하는 도포 장치와, 이를 이용한 도포 방법과 평판 디스플레이 장치의 제조 방법을 기재한다.A pair of support bars which are moved in a first direction to cover a part of a side surface of the substrate when a substrate to be coated with the coating material is inserted; A nozzle head arm mounted on a nozzle head for spraying the coating material onto the substrate, the nozzle head arm being moved along a second direction perpendicular to the first direction; A bar coater spaced on the substrate and moving from one end of the substrate to the other end along the second direction to apply the coating material; A recovery bar provided at the other end of the substrate to recover the coating material pushed by the bar coater; A coating method using the same, and a method of manufacturing a flat panel display device.

Description

도포 장치, 도포 방법 및 이를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법{SPREADING DEVICE, SPREADING METHOD AND DISPLAY MANUFACTURING METHOD}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a coating device, a coating method, and a manufacturing method of a flat panel display device using the same. [0002] SPRAYING DEVICE, SPRAYING METHOD AND DISPLAY MANUFACTURING METHOD [

본 발명은 도포 장치, 도포 방법 및 이를 이용한 디스플레이 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 대면적 평판 디스플레이 장치의 제조시 예를 들어 UV레진과 같은 도포 물질을 균일한 두께로 도포할 수 있는 도포 장치, 도포 방법 및 이를 이용항 평판 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a coating apparatus, a coating method, and a display manufacturing method using the coating apparatus. More particularly, the present invention relates to a coating apparatus capable of coating a coating material, such as UV resin, And a method of manufacturing the anti-flat panel display device using the same.

예를 들어 액정표시장치(LCD; Liquid Crystal Display), OLED(organic light emitting diode) 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP : Plasma Display Panel)과 같은 평판 디스플레이 장치의 경우 점차 그 크기가 대형화되고 있다.For example, flat panel display devices such as a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode (OLED) display device, and a plasma display panel (PDP)

특히 평판 디스플레이 장치가 공공 장소나 옥외에 설치되어 홍보용 디스플레이 장치(public information display)로 사용되는 경우 대면적화 추세가 두드러지므로 기판에 UV레진과 같은 도포 물질을 손실없이 균일한 두께로 도포할 수 있는 기술이 요구된다.Especially, when a flat panel display device is installed in a public place or outdoors and used as a public information display, the tendency toward large-sized display becomes prominent, so that a coating material such as UV resin can be applied to the substrate in a uniform thickness without loss .

본 발명은 이러한 필요성을 감안한 것으로, 평판 디스플레이 장치의 제조시 UV레진과 같은 도포 물질을 손실없이 균일한 두께로 도포할 수 있는 자동화된 도포 장치와, 도포 방법 및 이를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above needs, and it is an object of the present invention to provide an automated coating device capable of coating a coating material such as UV resin in a uniform thickness without loss during manufacture of a flat panel display device, .

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical object of the present invention is not limited to the above-mentioned technical objects and other technical objects which are not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description will be.

본 발명의 도포 장치는, 도포 물질을 도포할 기판이 투입되면 제1 방향으로 이동됨으로써 상기 기판의 측면 일부를 덮는 한 쌍의 서포트 바; 상기 도포 물질을 상기 기판에 분사하는 노즐 헤드가 장착되는 것으로, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 이동되는 노즐 헤드 아암; 상기 기판상에 이격되며 상기 제2 방향을 따라 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동됨으로써 상기 도포 물질을 도포하는 바형 코터; 상기 기판의 타단부에 마련되며 상기 바형 코터로 밀려지는 상기 도포 물질을 회수하는 회수 바; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.A coating device of the present invention comprises: a pair of support bars which are moved in a first direction when a substrate to be coated with a coating material is inserted, thereby covering a part of a side surface of the substrate; A nozzle head arm mounted on a nozzle head for spraying the coating material onto the substrate, the nozzle head arm being moved along a second direction perpendicular to the first direction; A bar coater spaced on the substrate and moving from one end of the substrate to the other end along the second direction to apply the coating material; A recovery bar provided at the other end of the substrate to recover the coating material pushed by the bar coater; And a control unit.

본 발명의 도포 방법은, 기판을 준비하는 단계; 노즐 헤드로 도포 물질을 분 사하여 상기 기판상에 소정 패턴을 형성하는 단계; 바형 코터를 이용하여 상기 소정 패턴을 상기 기판 전면(全面)에 균일한 두께로 도포하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.A coating method of the present invention includes: preparing a substrate; Forming a predetermined pattern on the substrate by spraying a coating material onto the nozzle head; Coating the predetermined pattern on the entire surface of the substrate with a uniform thickness using a bar coater; And a control unit.

본 발명의 평판 디스플레이 장치의 제조 방법은, 기판상에 도포 물질을 도포하여 평판 디스플레이 장치를 제조하는 방법에 있어서, 도포 물질이 도포될 기판 안쪽의 에지부까지 한 쌍의 서포트 바를 진입시키고, 상기 한 쌍의 서포트 바 사이로 바형 코터를 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동시킴으로써 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하며, 상기 기판의 타단부에 회수 바를 대기시켜 상기 바형 코터로 밀려진 상기 도포 물질을 회수하는 것을 특징으로 한다.A method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention is a method of manufacturing a flat panel display device by applying a coating material onto a substrate, wherein a pair of support bars is introduced into an edge portion inside the substrate to be coated with a coating material, The method comprising the steps of: applying a coating material having a uniform thickness by moving a bar-shaped coater between a pair of support bars from one end of the substrate to the other end; waiting the recovery bar at the other end of the substrate, And recovered.

본 발명에 따르면, 서포트 바와 회수 바와 바형 코터에 의하여 정의되는 사각 형상의 도포 예정 영역에 빠짐없이 도포 물질을 균일한 두께로 도포할 수 있음은 물론, 기판의 양측의 안쪽으로 서포트 바가 진입되어 기판상에 밀착된 상태에서 도포 물질이 도포되므로 기판 양측으로 도포 물질이 누출되어 손실되는 것을 방지할 수 있으며, 바형 코터의 진행 방향 종착점에는 회수 바가 마련되어 바형 코터에 의하여 밀려지는 도포 물질의 잔류분을 깨끗하게 회수하므로 기판 및 장치의 오염이 방지되고 도포 물질의 소모량을 줄일 수 있다. According to the present invention, it is possible to apply the coating material in a uniform thickness without falling into a rectangular coating area defined by the support bar and the recovery bar type coater, as well as the support bar inside the both sides of the substrate, The coating material can be prevented from being leaked to both sides of the substrate to be lost, and a recovery bar is provided at the end point of the direction of movement of the coater so that the residual material of the coating material pushed by the coater can be collected So that the contamination of the substrate and the apparatus can be prevented and the consumption amount of the coating material can be reduced.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The sizes and shapes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience. In addition, terms defined in consideration of the configuration and operation of the present invention may be changed according to the intention or custom of the user, the operator. Definitions of these terms should be based on the content of this specification.

도 1은 본 발명과 대비하기 위한 가상의 비교 실시예로서 기판의 측면에 서포트 바가 마련되지 않는 도포 장치를 도시한 사시도이다. FIG. 1 is a perspective view showing a coating apparatus in which a support bar is not provided on a side surface of a substrate, which is a virtual comparison example for contrast with the present invention.

이를 참조하면, 기판(10)에 도포 물질(20)을 균일 두께로 도포하기 위하여 롤러(30)를 사용하는 가상의 실시예가 도시된다. 그러나, 이 경우 기판(10)의 양 측면이 개방되어 있고 도포 물질(20)의 누설을 방지하는 별도의 구조물이 마련되지 않으므로, 도포 물질(20)이 기판(10)의 양측으로 누설되어 도포 물질(20)이 낭비되거나 롤러(30) 양측에 다량의 도포 물질(20)이 잔류되거나 기판(10) 양측의 도포 물질(20)이 흘러 내림으로써 도포 두께를 일정하게 유지할 수 없는 문제가 생긴다. Referring to this, a hypothetical embodiment is shown in which a roller 30 is used to apply the coating material 20 to the substrate 10 at a uniform thickness. In this case, however, since both sides of the substrate 10 are open and no separate structure for preventing the leakage of the coating material 20 is provided, the coating material 20 leaks to both sides of the substrate 10, There arises a problem that the coating thickness can not be kept constant by wasting the coating material 20 or leaving a large amount of the coating material 20 on both sides of the roller 30 or flowing the coating material 20 on both sides of the substrate 10. [

이하에는 이러한 문제점을 개선하고 기판의 면적 변화에 능동적으로 대처할 수 있도록 도포 두께 및 도포 면적을 용이하게 가변할 수 있는 자동화된 도포 장치 및 이를 이용한 도포 방법을 설명한다.Hereinafter, an automatic coating apparatus and a coating method using the same that can easily change the coating thickness and the coating area so as to actively cope with changes in the area of the substrate will be described.

도 2는 본 발명의 도포 장치를 도시한 사시도이다.2 is a perspective view showing a coating apparatus of the present invention.

본 발명의 도포 장치는 한 쌍의 서포트 바(140)와, 노즐 헤드 아암(130)과, 바형 코터(160)와, 회수 바(150)를 구비한다.The coating apparatus of the present invention includes a pair of support bars 140, a nozzle head arm 130, a bar coater 160, and a recovery bar 150.

서포트 바(140)는 도포 물질(105)을 도포할 기판(100)이 투입되면 제1 방향 으로 이동됨으로써 상기 기판(100)의 측면 일부를 덮는 것이다. 이하에서 제1 방향은 도시된 바에 의하면 x축 방향이며 제1 방향에 수직한 제2 방향은 y축 방향이다.The support bar 140 covers part of the side surface of the substrate 100 by being moved in the first direction when the substrate 100 to which the coating material 105 is applied is inserted. Hereinafter, the first direction is the x-axis direction and the second direction perpendicular to the first direction is the y-axis direction.

서포트 바(140) 및 바형 코터(160)가 서로 밀착 상태로 접촉되도록 서포트 바(140)는 '┏' 형상 또는 뒤집힌 'ㄱ' 자 형상의 단면을 갖는 것이 바람직하다.It is preferable that the support bar 140 has a '┏' shape or an inverted 'a' shape in cross section so that the support bar 140 and the bar-shaped coater 160 are in contact with each other.

노즐 헤드 아암(130)은 리니어 가이드(135)를 따라 그 이동이 안내되는 것으로, 제2 방향을 따라 이동된다. 노즐 헤드 아암(130)에는 노즐 헤드(120)가 장착되며, 노즐 헤드(120)는 도포 물질(105)을 펌프 압력으로 공급하는 공급로(110)와 연결되고 노즐 헤드 아암(130)을 따라 제 1 방향으로 이동 가능하게 장착되는 것이 바람직하다. 노즐 헤드(120)의 도포 물질(105) 분사량 및 분사 시점과, 노즐 헤드 아암(130)의 위치 제어는 카메라 등의 비젼 센서나 적외선/광 센서와 같은 비접촉 센서의 피드백을 받아 제어부(미도시)에서 자동으로 수행될 수 있다.The nozzle head arm 130 is moved along the linear guide 135 in the second direction in which the movement thereof is guided. The nozzle head 120 is mounted on the nozzle head arm 130. The nozzle head 120 is connected to the supply path 110 for supplying the coating material 105 with the pump pressure, It is preferable to be mounted movably in one direction. The nozzle head arm 130 is controlled by a control unit (not shown) by receiving feedback from a non-contact sensor such as a vision sensor such as a camera or an infrared / optical sensor, and an injection amount of the coating material 105 of the nozzle head 120, As shown in FIG.

바형 코터(160)는 기판(100) 위에 소정 거리만큼 이격되는 평행 판으로서, 기판(100)과의 이격 거리는 도포 물질(105)의 도포 두께에 해당한다. 도시하지는 않았지만 바형 코터(160)의 이격 거리 및 이동 속도는 제어부에 의하여 자동 조절될 수 있다. The bar coater 160 is a parallel plate spaced apart from the substrate 100 by a predetermined distance, and the distance from the substrate 100 corresponds to the coating thickness of the coating material 105. Although not shown, the spacing distance and moving speed of the bar coater 160 can be automatically adjusted by the control unit.

바형 코터(160)는 제2 방향을 따라 기판(100)의 도포가 시작되는 기판(100)의 일단부로부터 기판(100)의 도포가 종료되는 기판(100)의 타단부로 이동되면서 도포 물질(105)을 원하는 두께로 도포한다. The bar coater 160 moves from one end of the substrate 100 on which the application of the substrate 100 starts to the other end of the substrate 100 to which the application of the substrate 100 is terminated, 105) is applied to a desired thickness.

여기서, 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에 적용될 도포 장치의 경우, 기판(100)이라 함은 유리로 된 평판을 예로 들 수 있으며, 도포 물질(105)이라 함은 컬러 필터 등을 형성하고 도포 후 자외선(UV)에 의하여 경화되는 UV레진을 예로 들 수 있다.Here, in the case of a coating apparatus to be applied to a manufacturing process of a flat panel display device, the substrate 100 may be a glass plate, and the coating material 105 may be a color filter or the like, UV) cured by UV light.

회수 바(150)는 기판(100)의 도포가 종료되는 기판(100)의 타단부에 마련되며 바형 코터(160)로 밀려지는 도포 물질(105)의 잔류분을 회수하는 것이다. 회수 바(150)는 이동되는 바형 코터(160)가 타고 올라오는 경사면(152)과, 바형 코터(160)에 의하여 밀려지는 도포 물질(105)의 잔류분을 회수하는 회수 홈(154)을 구비할 수 있다.The recovery bar 150 is provided at the other end of the substrate 100 on which the application of the substrate 100 is finished and recovers the remaining portion of the coating material 105 pushed by the bar coater 160. The recovery bar 150 has an inclined surface 152 on which the moving bar coater 160 rides and a recovery groove 154 for recovering the remaining portion of the coating material 105 pushed by the bar coater 160 can do.

일 실시예로서, 기판(100)의 도포가 시작되기 전에 한 쌍의 서포트 바(140), 회수 바(150) 및 바형 코터(160)는 기판(100)의 안쪽에서 기판(100) 위에 밀착됨으로써 도포 예정 영역(도 5의 참조 부호 R)을 형성한다. 즉, 기판(100)의 4 모서리로부터 소정의 마진(margin)을 제외한 영역이 도포 예정 영역이 되며 도포 예정 영역은 한 쌍의 서포트 바(140), 회수 바(150), 바형 코터(160)가 기판(100)의 안쪽으로 진입되는 길이에 따라 결정된다.The pair of support bars 140, the recovery bar 150 and the bar coater 160 are brought into close contact with the substrate 100 on the inside of the substrate 100 before the application of the substrate 100 is started (See reference character R in Fig. 5). That is, a region excluding a predetermined margin from the four corners of the substrate 100 is a region to be coated, and a predetermined pair of support bars 140, a recovery bar 150, and a bar-shaped coater 160 Is determined according to the length of the substrate 100 entering the inside thereof.

도포가 시작되기 전에 한 쌍의 서포트 바(140), 회수 바(150) 및 바형 코터(160)는 기판(100) 상에 밀착됨으로써 기판(100)과 한 쌍의 서포트 바(140), 회수 바(150) 및 바형 코터(160) 사이에 틈새가 제거되며, 이에 따라 도포 물질(105)이 상기 틈새로 새어나가는 것을 방지할 수 있다. 또한, 바형 코터(160)가 기판(100)에 밀착된 상태에서 바형 코터(160)의 전체 길이에 걸쳐 빠진 부분이 없도록 도포 물질(105)이 바형 코터(160)의 선단에 충분히 공급되는 것이 바람직하다. 도포 물질(105)을 바형 코터(160)의 선단에 공급하는 과정이 완료되면 도포가 시작 된다. The pair of support bars 140, the recovery bars 150 and the bar coaters 160 are brought into close contact with the substrate 100 so that the substrate 100 and the pair of support bars 140, The clearance between the coating material 150 and the bar-shaped coater 160 is removed, thereby preventing the coating material 105 from leaking into the gap. It is preferable that the coating material 105 is sufficiently supplied to the tip of the bar-shaped coater 160 so that there is no part missing over the entire length of the bar-shaped coater 160 in a state in which the bar-shaped coater 160 is in close contact with the substrate 100 Do. When the process of supplying the coating material 105 to the tip of the bar coater 160 is completed, application starts.

도포가 시작되면 한 쌍의 서포트 바(140) 및 회수 바(150)는 기판(100) 위에 밀착된 상태를 그대로 유지하고, 바형 코터(160)만 기판(100)의 위쪽으로 소정 높이만큼 상승한다. 소정 높이는 곧 도포 두께가 된다. When the application is started, the pair of support bars 140 and the recovery bars 150 are kept in a state of being in close contact with the substrate 100, and only the bar coater 160 is moved upward by a predetermined height above the substrate 100 . The predetermined height immediately becomes the coating thickness.

즉, 바형 코터(160)의 앞쪽에 도포 물질(105)의 분사 및 공급이 완료되면 바형 코터(160)가 도포 두께만큼 상승된 후 바형 코터(160)가 기판(100)의 일단부로부터 타단부로 이동하면서 도포 예정 영역 전체에 걸쳐 도포 물질(105)을 예정된 두께로 도포한다.That is, when the spraying and supplying of the coating material 105 is completed in front of the bar coater 160, the bar coater 160 is raised by the coating thickness and then the bar coater 160 is moved from one end of the substrate 100 to the other end The coating material 105 is applied to a predetermined thickness over the entire area to be coated.

도포가 완료된 기판(100)은 테이블(180)에서 배출되며 새로운 기판(100)이 테이블(180)에 투입된다. 도시하지는 않았지만, 서포트 바(140)에 묻은 도포 물질(105)을 제거하기 위하여 세정 수단이 마련되며, 세정 수단은 기판(100)의 교체시 매번 동작하거나 몇 장의 기판(100)의 작업마다 간헐적으로 동작할 수 있다. 세정 수단의 일 실시예로서, 세정액 분사 노즐과 서포트 바(140)의 세척력을 제공하는 브러쉬 등을 들 수 있다.The coated substrate 100 is discharged from the table 180 and a new substrate 100 is placed on the table 180. Although not shown, a cleaning means is provided to remove the coating material 105 adhered to the support bar 140. The cleaning means may be operated every time the substrate 100 is replaced or intermittently Can operate. As one embodiment of the cleaning means, there may be mentioned a cleaning liquid spray nozzle and a brush which provides a cleaning force of the support bar 140 and the like.

도 3 내지 도 8은 본 발명의 도포 장치의 동작을 순차적으로 도시한 사시도로서 도포 방법을 설명한다.Figs. 3 to 8 are perspective views sequentially showing the operation of the coating apparatus of the present invention, and a coating method is described.

도포 방법을 요약하여 설명하면, 도포 물질(105)이 도포될 기판(100) 안쪽의 에지부까지 한 쌍의 서포트 바(140)를 진입시키고, 한 쌍의 서포트 바(140) 사이로 바형 코터(160)를 기판(100)의 일단부로부터 타단부로 이동시킴으로써 도포 물질(105)을 균일한 두께로 도포하며, 기판(100)의 타단부에 회수 바(150)를 대기시 켜 바형 코터(160)로 밀려진 상기 도포 물질(105)을 회수하는 일련의 과정을 반복한다.A pair of support bars 140 are introduced to an inner edge of a substrate 100 to which a coating material 105 is to be applied and a plurality of support bars 140 are disposed between a pair of support bars 140, The substrate 100 is moved from one end of the substrate 100 to the other end to apply the coating material 105 in a uniform thickness and the recovery bar 150 is placed at the other end of the substrate 100, And the process of collecting the coating material 105 pushed to the surface is repeated.

먼저 도 3을 참조하면, 한 쌍의 서포트 바(140), 회수 바(150), 바형 코터(160)는 기판(100)의 투입을 위하여 기판(100)의 4 모서리로부터 이격된 초기 위치에 대기한다. 이들 부재와 접촉 간섭없이 기판(100)이 투입되기 위함이다. Referring to FIG. 3, a pair of support bars 140, a recovery bar 150, and a bar-shaped coater 160 are disposed at an initial position spaced apart from the four corners of the substrate 100, do. So that the substrate 100 can be inserted without contact with these members.

도포가 필요한 기판(100)이 테이블(180)에 안착된다. 도시하지는 않았지만, 제어부의 지령에 따라 기판(100)을 자동으로 투입 배출하는 기판(100) 이송 장치가 마련되는 것이 바람직하다.The substrate 100 requiring application is seated on the table 180. Although not shown, it is preferable to provide a substrate transfer apparatus for automatically loading and unloading the substrate 100 according to a command from the control unit.

도 4를 참조하면, 기판(100)의 투입이 완료되었고, 한 쌍의 서포트 바(140)와, 회수 바(150) 및 바형 코터(160)가 기판(100)의 안쪽으로 에지부까지 진입됨으로써 기판(100)의 상측 개방된 부분인 도포 예정 영역을 형성한다. 도포 예정 영역(R)은 한 쌍의 서포트 바(140)와, 회수 바(150) 및 바형 코터(160)가 이루는 내부 영역으로서 바형 코터(160)의 이동에 의하여 도포 물질(105)이 빠짐없이 도포되는 영역이다.4, when the supply of the substrate 100 is completed and the pair of support bars 140, the recovery bar 150 and the bar-shaped coater 160 enter the edge of the substrate 100 Which is an upper open portion of the substrate 100, is formed. The application area R is a region in which the coating material 105 is removed by the movement of the bar coater 160 as a pair of support bars 140 and an inner area formed between the recovery bar 150 and the bar coater 160 It is the area to be applied.

한 쌍의 서포트 바(140)와, 회수 바(150) 및 바형 코터(160)는 기판(100)의 상측에 밀착되어 틈새가 제거됨으로써, 도포 물질(105)이 상기 틈새로 누설되지 않는다.The pair of support bars 140 and the recovery bar 150 and the bar coater 160 are brought into close contact with the upper side of the substrate 100 to remove the gap so that the coating material 105 does not leak into the gap.

도 5를 참조하면, 도포 예정 영역(R)의 정의가 완료되었다. 바형 코터(160)가 이동을 개시하기 전에 바형 코터(160)의 바로 앞쪽에 바형 코터(160)의 전체 길이에 걸쳐 도포 물질(105)을 충분히 공급한다. 즉, 바형 코터(160)가 기판(100)의 타단부를 향하여 이동 개시되기 전에, 바형 코터(160)의 전체 길이에 걸쳐 도포 물질(105)을 분사한다.Referring to FIG. 5, definition of the application scheduled region R is completed. The coating material 105 is sufficiently supplied to the front side of the bar-shaped coater 160 over the entire length of the bar-shaped coater 160 before the bar-shaped coater 160 starts moving. That is, the coating material 105 is sprayed over the entire length of the bar coater 160 before the bar coater 160 starts moving toward the other end of the substrate 100.

바형 코터(160)는 이동 방향을 향하여 경사진 것이 도포층의 균일 형성에 유리하다. The bar coater 160 is inclined toward the moving direction, which is advantageous for uniform formation of the coating layer.

도 6은 바형 코터(160)의 바로 앞쪽에 도포 물질(105)의 공급이 완료된 다음 도포 예정 영역에 소정 패턴으로 도포 물질(105)이 공급되는 것을 설명한다. 여기서, 소정 패턴은 도시된 지그재그 형상뿐만 아니라, 일정 간격의 점 형상, 직각으로 구부러진 일직선 형상, 랜덤 형상 등 기판(100) 및 도포 물질(105)의 종류에 알맞는 다양한 것이 될 수 있다.6 illustrates that the coating material 105 is supplied in a predetermined pattern to the area to be coated after the application of the coating material 105 is completed immediately before the bar coater 160. [ Here, the predetermined pattern may be not only a zigzag shape as shown but also a variety of shapes suitable for the type of the substrate 100 and the coating material 105, such as a dot shape at regular intervals, a straight line shape bent at a right angle, and a random shape.

도 10은 본 발명의 노즐 헤드에 의하여 분사된 소정 패턴의 다양한 형태를 도시한 평면도이다. 이에 따르면 기판(100)상에 도포 물질(105)의 분사로 형성되는 소정 패턴이 지그재그 형상, 복수의 점 형상, 복수 개의 사각형 형상 등의 다양한 형태를 갖는 실시예를 볼 수 있다.10 is a plan view showing various forms of a predetermined pattern ejected by the nozzle head of the present invention. According to the embodiment, a predetermined pattern formed by spraying the coating material 105 on the substrate 100 may have various shapes such as a zigzag shape, a plurality of dot shapes, and a plurality of rectangular shapes.

도포 물질(105)의 공급은 노즐 헤드(120)에 의하며, 도시된 실시예에 의하면 노즐 헤드(120)는 노즐 헤드 아암(130)을 따라 제1 방향으로 이동 가능하고 노즐 헤드 아암(130)은 리니어 가이드(135)로 안내되며 제2 방향을 이동 가능하다. 노즐 헤드(120) 및 노즐 헤드 아암(130)의 상대적인 위치 이동에 따라 도포 물질(105)의 공급 패턴에 변화를 줄 수 있게 된다.The supply of the coating material 105 is effected by the nozzle head 120 and according to the illustrated embodiment the nozzle head 120 is movable in the first direction along the nozzle head arm 130 and the nozzle head arm 130 And is guided by the linear guide 135 and movable in the second direction. It is possible to change the supply pattern of the coating material 105 in accordance with the relative positional movement of the nozzle head 120 and the nozzle head arm 130.

노즐 헤드(120)는 바형 코터(160)가 진행하는 방향의 앞쪽으로 이동되면서 도포 물질(105)을 기판(100)에 소정 패턴으로 분사한다.The nozzle head 120 is moved forward in the direction in which the bar coater 160 advances to eject the coating material 105 onto the substrate 100 in a predetermined pattern.

도 7은 도포 물질(105)의 공급이 완료된 다음, 바형 코터(160)가 이동하며 도포 예정 영역 전체를 골고루 도포하는 공정을 설명한다. 바형 코터(160) 및 기판(100)의 이격 거리(t)는 제어부에 의하여 자동 조절 가능하며 이에 따라 도포 두께를 결정할 수 있다. 바형 코터(160)의 후단은 도포가 완료된 도포면(101)이 된다.Fig. 7 illustrates a process in which after the supply of the coating material 105 is completed, the bar-shaped coater 160 moves and uniformly applies the entire area to be coated. The spacing distance t between the bar-shaped coater 160 and the substrate 100 can be automatically adjusted by the control unit, and thus the coating thickness can be determined. The rear end of the bar-shaped coater 160 becomes a coated surface 101 on which the coating is completed.

도 8은 도포가 완료된 다음 도포 물질(105)의 잔류분이 회수 바(150)로 회수되는 것을 설명한다. 바형 코터(160)는 도포 예정 영역을 벗어나는 즉시 회수 바(150)의 경사면(152)을 타고 올라가며 회수 바(150)는 기판(100)상에 밀착되어 있으므로 기판(100) 및 회수 바(150)의 틈새가 없고, 따라서, 도포 물질(105)이 이 틈새로 누설될 염려가 없다.FIG. 8 illustrates that the remaining portion of the coating material 105 is recovered to the recovery bar 150 after application is completed. The bar coater 160 rides on the inclined surface 152 of the recovery bar 150 immediately after leaving the area to be coated and the recovery bar 150 is in close contact with the substrate 100, So that there is no possibility that the coating material 105 leaks into this gap.

바형 코터(160)는 회수 바(150)의 경사면(152)을 타고 계속 이동되며 회수 바(150) 상측에 형성된 회수 홈(154)에 도포 물질(105)의 잔류분을 밀어넣는다. 회수 홈(154)에 모여진 도포 물질(105)은 버려지거나, 재처리를 통하여 다시 사용될 수 있다.The bar coater 160 is continuously moved on the inclined surface 152 of the recovery bar 150 and pushes the remaining portion of the coating material 105 into the recovery groove 154 formed above the recovery bar 150. The coating material 105 collected in the recovery groove 154 may be discarded or reused through reprocessing.

바형 코터(160)가 회수 바(150)의 상측으로 이동된 상태는 도포가 완전히 종료된 상태이며 도포 완료된 기판(100)은 예를 들어 UV레진을 도포한 경우 UV경화기가 있는 공정으로 배출된다. 기판(100)의 배출 및 공급은 상술한 바와 같이 자동화된 이송 수단에 의할 수 있다.When the bar coater 160 is moved to the upper side of the recovery bar 150, the coating is completely finished and the coated substrate 100 is discharged to a process including a UV curing unit, for example, when UV resin is applied. The discharge and supply of the substrate 100 can be performed by automated transfer means as described above.

한편, 기판(100)이 유리 재질이고 도포 물질(105)이 컬러 필터 등으로 기능하는 UV레진인 경우, 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에 도포 장치가 사용될 수 있다. 이와 같이 본 발명의 도포 장치를 평판 디스플레이 제조 공정에 적용할 경우, 본 발명은 평판 디스플레이 장치의 제조 방법을 제공한다. On the other hand, when the substrate 100 is a glass material and the coating material 105 is a UV resin functioning as a color filter or the like, a coating apparatus can be used in a manufacturing process of a flat panel display device. As described above, when applying the coating apparatus of the present invention to a flat panel display manufacturing process, the present invention provides a method of manufacturing a flat panel display device.

즉, 기판(100)상에 도포 물질(105)을 도포하여 평판 디스플레이 장치를 제조하는 방법에 있어서, 도포 물질(105)이 도포될 기판(100) 안쪽의 에지부까지 한 쌍의 서포트 바(140)를 진입시키고, 한 쌍의 서포트 바(140) 사이로 바형 코터(160)를 기판(100)의 일단부로부터 타단부로 이동시킴으로써 도포 물질(105)을 균일한 두께로 도포하며, 기판(100)의 타단부에 회수 바(150)를 대기시켜 바형 코터(160)로 밀려진 상기 도포 물질(105)을 회수한다.That is, in the method of manufacturing the flat panel display device by applying the coating material 105 on the substrate 100, the pair of support bars 140 And the bar coater 160 is moved between the pair of support bars 140 from one end of the substrate 100 to the other end to apply the coating material 105 in a uniform thickness, The recovering bar 150 is placed at the other end of the bar coater 160, and the coating material 105 pushed by the bar coater 160 is recovered.

도 9를 참조하면 도포 물질의 도포가 완료된 도포면이 기판 상에 형성된 평판 디스플레이 장치가 도시된다.Referring to FIG. 9, there is shown a flat panel display device in which a coated surface on which a coating material is applied is formed on a substrate.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the following claims.

도 1은 본 발명과 대비하기 위한 가상의 비교 실시예로서 기판의 측면에 서포트 바가 마련되지 않는 도포 장치를 도시한 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a coating apparatus in which a support bar is not provided on a side surface of a substrate, which is a virtual comparison example for contrast with the present invention.

도 2는 본 발명의 도포 장치를 도시한 사시도이다.2 is a perspective view showing a coating apparatus of the present invention.

도 3 내지 도 8은 본 발명의 도포 장치의 동작을 순차적으로 도시한 사시도로서 도포 방법을 설명한다.Figs. 3 to 8 are perspective views sequentially showing the operation of the coating apparatus of the present invention, and a coating method is described.

도 9는 도포 물질의 도포가 완료된 도포면이 기판 상에 형성된 평판 디스플레이 장치를 도시한다.Fig. 9 shows a flat panel display device in which a coating surface on which application of a coating material is completed is formed on a substrate.

도 10은 본 발명의 노즐 헤드에 의하여 분사된 소정 패턴의 다양한 형태를 도시한 평면도이다.10 is a plan view showing various forms of a predetermined pattern ejected by the nozzle head of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art

100...기판 101...도포면100 ... substrate 101 ... coating surface

105...도포 물질 110...공급로105 ... Coating material 110 ... Supply path

120...노즐 헤드(nozzle head) 120 ... nozzle head

130...노즐 헤드 아암(nozzle head arm)130 ... nozzle head arm

135...리니어 가이드(linear guide)135 ... linear guide

140...서포트 바 150...회수 바140 ... Support bar 150 ... Recovery bar

152...경사면 154...회수 홈152 ... inclined surface 154 ... collection groove

160...바형 코터(bar type coater)160 ... bar type coater

180...테이블180 ... table

Claims (14)

도포 물질을 도포할 기판이 투입되면 제1 방향으로 이동됨으로써 상기 기판의 측면 일부를 덮는 한 쌍의 서포트 바;A pair of support bars which are moved in a first direction to cover a part of a side surface of the substrate when a substrate to be coated with the coating material is inserted; 상기 도포 물질을 상기 기판에 분사하는 노즐 헤드가 장착되는 것으로, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 이동되는 노즐 헤드 아암;A nozzle head arm mounted on a nozzle head for spraying the coating material onto the substrate, the nozzle head arm being moved along a second direction perpendicular to the first direction; 상기 기판상에 이격되며 상기 제2 방향을 따라 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동됨으로써 상기 도포 물질을 도포하는 바형 코터;A bar coater spaced on the substrate and moving from one end of the substrate to the other end along the second direction to apply the coating material; 상기 기판의 타단부에 마련되며 상기 바형 코터로 밀려지는 상기 도포 물질을 회수하는 회수 바; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.A recovery bar provided at the other end of the substrate to recover the coating material pushed by the bar coater; Wherein the coating device comprises: 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 회수 바는, The recovery bar 상기 이동되는 바형 코터가 타고 올라오는 경사면과, 상기 도포 물질을 회수하는 회수 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.And a returning groove for withdrawing the coating material. The coating apparatus according to claim 1, 삭제delete 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 서포트 바를 세정하는 세정 수단; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.Cleaning means for cleaning the support bar; Further comprising: 제1항, 제2항 및 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1, 2, and 4, 상기 한 쌍의 서포트 바, 상기 회수 바 및 상기 바형 코터가 상기 기판의 안쪽에서 상기 기판상에 밀착됨으로써 도포 예정 영역을 형성하며, The pair of support bars, the collection bar and the bar coater being in close contact with the substrate from the inside of the substrate, 상기 바형 코터의 앞쪽에 상기 도포 물질이 분사되면 상기 바형 코터가 도포 두께만큼 상승된 후 상기 바형 코터가 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동하면서 상기 도포 예정 영역 전체에 걸쳐 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.When the coating material is sprayed to the front side of the bar coater, the bar coater is raised by the coating thickness, and then the bar coater moves from one end of the substrate to the other end thereof to uniformly spread the coating material over the entire area to be coated By weight based on the total weight of the coating liquid. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 기판을 준비하는 단계;Preparing a substrate; 노즐 헤드로 도포 물질을 분사하여 상기 기판상에 소정 패턴을 형성하는 단계;Forming a predetermined pattern on the substrate by spraying a coating material onto the nozzle head; 바형 코터를 이용하여 상기 소정 패턴을 상기 기판 전면(全面)에 균일한 두께로 도포하는 단계;를 포함하며,And coating the predetermined pattern on the entire surface of the substrate with a uniform thickness using a bar coater, 한 쌍의 서포트 바, 회수 바 및 상기 바형 코터가 상기 기판의 안쪽에서 상기 기판상에 밀착됨으로써 에지부를 모서리로 하는 도포 예정 영역을 형성하며, A pair of support bars, a withdrawal bar, and the bar coater are brought into close contact with each other on the substrate from the inside of the substrate to form an application scheduled region having edges as edges, 상기 바형 코터의 앞쪽에 상기 도포 물질이 분사되면 상기 바형 코터가 도포 두께만큼 상승한 후 상기 바형 코터가 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동하면서 상기 도포 예정 영역 전체에 걸쳐 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.When the applicator is sprayed on the front side of the bar coater, the bar coater is raised by the application thickness, and the bar coater moves from one end of the substrate to the other end of the applicator, By weight. 기판상에 도포 물질을 도포하여 평판 디스플레이 장치를 제조하는 방법에 있어서,A method of manufacturing a flat panel display device by applying a coating material onto a substrate, 도포 물질이 도포될 기판 안쪽의 에지부까지 한 쌍의 서포트 바를 진입시키고,A pair of support bars are introduced into an edge portion inside the substrate to be coated with a coating material, 상기 한 쌍의 서포트 바 사이로 바형 코터를 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동시킴으로써 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하며,A step of moving the bar coater between the pair of support bars from one end of the substrate to the other end to apply the coating material to a uniform thickness, 상기 기판의 타단부에 회수 바를 대기시켜 상기 바형 코터로 밀려진 상기 도 포 물질을 회수하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법.And a step of waiting for a recovery bar at the other end of the substrate to recover the coated material pushed by the bar coater. 제12항에 있어서,13. The method of claim 12, 상기 바형 코터는 상기 회수 바의 경사면을 타고 올라가면서 상기 회수 바에 마련된 회수 홈에 상기 도포 물질을 밀어넣는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법.Wherein the bar coater pushes the coating material into a recovery groove provided in the recovery bar while climbing up an inclined surface of the recovery bar. 제12항 또는 제13항에 있어서,The method according to claim 12 or 13, 상기 한 쌍의 서포트 바, 상기 회수 바 및 상기 바형 코터가 상기 기판의 안쪽에서 상기 기판상에 밀착됨으로써 상기 에지부를 모서리로 하는 도포 예정 영역을 형성하며, The pair of support bars, the collection bar, and the bar coater are brought into close contact with the substrate from the inside of the substrate to form an application scheduled area having the edge portion as an edge, 상기 바형 코터의 앞쪽에 상기 도포 물질이 분사되면 상기 바형 코터가 도포 두께만큼 상승한 후 상기 바형 코터가 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동하면서 상기 도포 예정 영역 전체에 걸쳐 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법.When the applicator is sprayed on the front side of the bar coater, the bar coater is raised by the application thickness, and the bar coater moves from one end of the substrate to the other end of the applicator, Wherein the flat panel display device is a flat display device.
KR1020090037127A 2009-04-28 2009-04-28 Spreading device spreading method and display manufacturing method KR101512858B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090037127A KR101512858B1 (en) 2009-04-28 2009-04-28 Spreading device spreading method and display manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090037127A KR101512858B1 (en) 2009-04-28 2009-04-28 Spreading device spreading method and display manufacturing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100118344A KR20100118344A (en) 2010-11-05
KR101512858B1 true KR101512858B1 (en) 2015-04-16

Family

ID=43404666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090037127A KR101512858B1 (en) 2009-04-28 2009-04-28 Spreading device spreading method and display manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101512858B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108816638A (en) * 2018-08-20 2018-11-16 合肥集知网信息技术有限公司 A kind of aluminium-plastic panel coating system of processing and its aluminium-plastic panel coating process

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140029946A (en) * 2012-08-31 2014-03-11 동우 화인켐 주식회사 Apparatus and method for chemical coating
CN103331276B (en) * 2013-07-12 2016-05-18 深圳市华星光电技术有限公司 Ultrasonic cleaning equipment and the coating machine with this ultrasonic cleaning equipment
CN103737654A (en) * 2013-12-28 2014-04-23 柳州力通车用空调有限公司 Double-head gluing device of automatic rubber tube blanking machine
CN109821699A (en) * 2019-03-13 2019-05-31 江苏摩臣智联科技股份有限公司 A kind of device for the coating AB glue on tempered glass
CN111822246A (en) * 2020-07-16 2020-10-27 安徽润象新材料科技有限公司 Mortar strickles device for composite sheet processing

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003080145A (en) 2001-09-07 2003-03-18 Mitsubishi Rayon Co Ltd Shower flow coating apparatus and coating method using the same
JP2005177710A (en) 2003-12-24 2005-07-07 Seiko Epson Corp Conductive film formation method and formation apparatus, wiring board, electrooptical apparatus, and electronic appliance

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003080145A (en) 2001-09-07 2003-03-18 Mitsubishi Rayon Co Ltd Shower flow coating apparatus and coating method using the same
JP2005177710A (en) 2003-12-24 2005-07-07 Seiko Epson Corp Conductive film formation method and formation apparatus, wiring board, electrooptical apparatus, and electronic appliance

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108816638A (en) * 2018-08-20 2018-11-16 合肥集知网信息技术有限公司 A kind of aluminium-plastic panel coating system of processing and its aluminium-plastic panel coating process

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100118344A (en) 2010-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101512858B1 (en) Spreading device spreading method and display manufacturing method
TWI228079B (en) Cleaning unit for liquid droplet ejection head; liquid droplet ejection apparatus equipped therewith; electro-optical device; method of manufacturing the same; and electronic device
TWI526250B (en) Film forming apparatus and thin film forming method
WO2013118550A1 (en) Wiping pad, nozzle maintenance device using pad, and coating processing device
JP2013192984A (en) Method and apparatus for cleaning slit nozzle, and method for manufacturing display member
US10668496B2 (en) Imprint template treatment apparatus
TWI460022B (en) Filling device (1)
KR20150031820A (en) Slit nozzle and chemical liquid coating apparatus with the same
KR100949126B1 (en) Liquid crystal application method and liquid crystal applicator for manufacturing liquid crystal panel
JP5902525B2 (en) Substrate bonding method and bonding apparatus
JP2012232269A (en) Slit coat type coating apparatus for substrate floating type transportation mechanism
JP2013200430A (en) Substrate sticking method and substrate sticking device
JP2024056810A (en) Thin film forming device and thin film forming method
KR100826073B1 (en) Application device and method of preventing application head clogging
WO2016159312A1 (en) Imprinting template production device
JP5329837B2 (en) Coating apparatus and coating method
JPH11239750A (en) Method and apparatus for applying coating liquid on uneven substrate, method and apparatus for producing plasma display
JP3182815U (en) Coating nozzle cleaning device
KR101631248B1 (en) A method of operation and screen printer for performing OCR bonding in the manufacturing process of the display
JP5902524B2 (en) Substrate bonding method and bonding apparatus
JP2004255359A (en) Coating applicator
KR102690798B1 (en) Slot Die Coater with Cleaning Module
TWI601463B (en) Pattern forming method, pattern printing method, pattern forming system and pattern printing system
KR101437671B1 (en) Coating solution spreading device for coating side of panel assembly and coating apparatus for side of panel assembly having the same
JP5338071B2 (en) Coating method, coating apparatus, and method for manufacturing liquid crystal display member

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180323

Year of fee payment: 4