KR101493934B1 - Vacuum valve - Google Patents

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KR101493934B1
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김용기
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Abstract

본 발명은 유량을 조절하는 진공 밸브의 구조를 개선하여 장치의 수명 증가와 고장의 원인 제거 그리고 가스 누출에 대한 안전성을 높이는 장치에 관한 것이다.
본 발명의 진공 밸브는 유체가 통과하는 유로의 단면적을 조절하여 유량을 조절하는 조절 유니트와 유로를 형성하고, 조절 유니트를 중심으로 일측과 타측의 단면적이 다른 관부를 포함하는 몸통 유니트를 포함함으로써, 장치의 수명 증가와 고장의 원인 제거 그리고 가스 누출에 대한 안전성을 높이는 효과를 얻을 수 있다.The present invention relates to an apparatus for improving the structure of a vacuum valve for regulating a flow rate, thereby increasing the life of the apparatus, eliminating the cause of failure, and enhancing safety against gas leakage.
The vacuum valve according to the present invention includes a tubular unit including a control unit and a flow path for regulating the flow rate by adjusting the cross-sectional area of the flow path through which the fluid passes, and a tubular part having one side and the other side, It is possible to obtain an effect of increasing the lifetime of the device, eliminating the cause of failure, and enhancing safety against gas leakage.

Description

진공 밸브{Vacuum valve}Vacuum valve

본 발명은 진공 챔버(Vacuum chamber)로 유입 또는 배출되는 가스의 양을 조절하는 진공 밸브에 관한 것이다.
The present invention relates to a vacuum valve for controlling the amount of gas flowing into or out of a vacuum chamber.

밸브(valve)는 유체의 통로를 개방 또는 차단하거나 열림양을 조절하여 유체의 흐름을 제어하는 장치를 말한다.A valve is a device that controls the flow of fluid by opening or blocking the passage of the fluid or adjusting the amount of opening.

반도체, LCD, 태양광, OLED의 박막형성을 위한 CVD, Etcher, 스퍼터장비, 진공반송용 챔버의 진공 배관 라인에 진공 밸브는 사용된다.Vacuum valves are used in the vacuum piping lines of CVD, etchers, sputter equipment, and vacuum transfer chambers for thin film formation of semiconductors, LCDs, solar cells, and OLEDs.

한국등록특허공보 제20-0290757호에는 초전온 액화가스가 저장된 진공탱크에 장착되는 진공 밸브 장치에 대한 기술이 개시되고 있다.
Korean Patent Registration No. 20-0290757 discloses a technique for a vacuum valve device to be mounted in a vacuum tank storing super-on-liquefied gas.

한국등록특허공보 제20-0290757호Korean Patent Registration No. 20-0290757

본 발명은 유량을 조절하는 진공 밸브의 구조를 개선하여 장치의 수명 증가와 고장 원인 제거 그리고 가스 누출에 대한 안전성을 높이는 밸브 장치를 제공하기 위한 것이다.
The present invention is to provide a valve device which improves the structure of a vacuum valve for controlling the flow rate, thereby increasing the service life of the device, eliminating a cause of failure, and enhancing safety against gas leakage.

본 발명의 진공 밸브는 유체가 통과하는 유로의 단면적을 조절하여 유량을 조절하는 조절 유니트와, 유로를 형성하고 조절 유니트를 중심으로 일측과 타측의 단면적이 다른 관부를 포함하는 몸통 유니트를 포함한다.The vacuum valve according to the present invention includes a regulating unit for regulating a flow rate by regulating a cross-sectional area of a flow path through which a fluid passes, and a tubular unit including a tube portion having a flow path formed therein and having a cross-

본 발명의 진공 밸브는 유체가 지나가는 관부의 단면적이 유체 흐름의 방향에 따라 점진적으로 변화되는 몸통 유니트와 몸통 유니트의 내부에 유체의 흐름을 제어하는 개폐부와 개폐부의 회전 축이 되는 축부를 포함하는 조절 유니트를 포함하고, 서로 직교하는 가상의 제1 축 및 제2 축에 대하여, 개폐부는 축부보다 제1 축 방향 및 제2 축 방향으로 치우치게 배치된다.The vacuum valve according to the present invention is characterized in that the vacuum valve comprises a body unit in which the cross-sectional area of the tube portion through which the fluid passes gradually changes in accordance with the direction of the fluid flow, an opening and closing portion for controlling the flow of the fluid in the body unit, The opening and closing parts are disposed more biased in the first axial direction and the second axial direction with respect to the imaginary first and second axes including the unit and orthogonal to each other.

본 발명의 진공 밸브는 유체가 지나가는 관부을 포함하는 몸통 유니트와 몸통 유니트의 내부에 유체의 흐름을 제어하는 개폐부와 개폐부의 회전 축이 되는 축부를 포함하는 조절 유니트를 포함하고, 축부는 유체가 지나가는 방향에 수직하게 형성되며, 축부는 관부의 중심에서 편심되어 형성된다.
The vacuum valve of the present invention includes a body unit including a tube portion through which a fluid passes, an adjusting unit including an opening / closing unit for controlling the flow of the fluid inside the body unit and a shaft serving as a rotating shaft of the opening / closing unit, And the shaft portion is formed eccentrically from the center of the tube portion.

본 발명은 유량을 조절하는 진공 밸브의 구조를 개선함으로써, 장치의 수명을 증가하는 것과 고장의 원인 제거하는 것 그리고 가스 누출에 대한 안전성을 높이는 효과를 얻을 수 있다.The present invention improves the structure of the vacuum valve for regulating the flow rate, thereby enhancing the lifetime of the apparatus, eliminating the cause of failure, and enhancing safety against gas leakage.

회전축을 개폐장치의 중심에서 편심시킴으로써, 밸브의 개폐 시에 원판과 유체의 통로 관의 내벽과의 마찰을 줄여서 진공 밸브의 고장요인을 제거하고 밸브의 수명을 증가시킬 수 있다.By eccentricity of the rotary shaft from the center of the opening and closing device, it is possible to reduce the friction between the disk and the inner wall of the passage pipe during opening and closing of the valve, thereby eliminating the cause of failure of the vacuum valve and increasing the life of the valve.

회전축을 유체가 통과하는 관 내부에 장착하는 방법에 있어서 종래의 기술과 다른 구조로 결합하는 것과 다른 재질의 부품을 사용함으로써, 가스 누출에 대한 안전성 증가와 작동시에 불필요한 에너지 소모를 제거하였다.
In the method of mounting the rotating shaft inside the pipe through which the fluid passes, by using a material different from the material of the coupling with the structure different from the conventional technology, unnecessary energy consumption during operation and increase in safety against gas leakage are eliminated.

도 1은 본 발명의 진공 밸브를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 진공 밸브를 구성하는 조절 유니트를 나타낸 개념도이다.
도 3은 본 발명의 진공 밸브를 구성하는 조절 유니트를 나타낸 개념도이다.
도 4는 본 발명의 진공 밸브를 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 진공 밸브를 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 진공 밸브가 구비된 진공 챔버의 개념도이다.1 is a sectional view showing a vacuum valve according to the present invention.
2 is a conceptual diagram showing an adjusting unit constituting the vacuum valve of the present invention.
3 is a conceptual view showing an adjusting unit constituting the vacuum valve of the present invention.
4 is a sectional view showing a vacuum valve according to the present invention.
5 is a cross-sectional view showing a vacuum valve according to the present invention.
6 is a conceptual view of a vacuum chamber equipped with a vacuum valve according to the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The sizes and shapes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience. In addition, terms defined in consideration of the configuration and operation of the present invention may be changed according to the intention or custom of the user, the operator. Definitions of these terms should be based on the content of this specification.

도 1은 본 발명의 진공 밸브(550)를 나타낸 단면도이다.1 is a sectional view showing a vacuum valve 550 of the present invention.

도 1에 도시된 진공 밸브(550)는 조절 유니트(300)와 몸통 유니트(100)를 포함할 수 있다.The vacuum valve 550 shown in FIG. 1 may include an adjustment unit 300 and a body unit 100.

조절 유니트(300)는 유체가 통과하는 유로의 단면적을 조절하여 유량을 조절할 수 있다.The adjustment unit 300 can control the flow rate by adjusting the cross-sectional area of the flow path through which the fluid passes.

조절 유니트(300)는 개폐부(310)와 축부(330)를 포함할 수 있다.The adjustment unit 300 may include an opening / closing part 310 and a shaft part 330.

개폐부(310)는 유로를 형성하는 관부(110)를 개폐할 수 있다. 개폐부(310)는 판 형태로 형성될 수 있다. 일 실시예로 개폐부(310)는 디스크 형태로 형성될 수 있다.The opening and closing part 310 can open and close the tube part 110 forming the flow path. The opening and closing part 310 may be formed in a plate shape. In one embodiment, the opening and closing part 310 may be formed in a disc shape.

개폐부(310)에는 패킹(311)이 삽입되는 제1 홈(313)이 모서리 외주를 따라 형성될 수 있다. 개폐부(310)의 제1 홈에는 패킹(311)이 삽입되고, 패킹(311)은 관부(110)의 내벽과 밀착되어 개폐부(310)가 닫혔을 시에 완벽하게 유체의 흐름을 차단할 수 있다. 또한 패킹(311)으로 인하여, 개폐부(310)는 관부(110)와 밀착되는 부분에 모서리가 없기 때문에 토크 저항이 작다.The opening and closing part 310 may have a first groove 313 through which the packing 311 is inserted along the outer periphery of the corner. The packing 311 is inserted into the first groove of the opening and closing part 310 and the packing 311 is brought into close contact with the inner wall of the tube part 110 to completely block the flow of the fluid when the opening and closing part 310 is closed. In addition, due to the packing 311, the opening / closing part 310 has a small torque resistance because there is no corner at the portion where the opening part 310 is in close contact with the tube part 110.

개폐부(310)는 고속 구동이 가능하도록 저관성 플레이트(Low inertia plate)로 설계될 수 있다.The opening / closing part 310 may be designed as a low inertia plate so that high-speed driving is possible.

축부(330)는 개폐부(310)의 회전 축이 되며, 개폐부(310)를 회전시킬 수 있다.The shaft portion 330 serves as a rotation shaft of the opening and closing portion 310 and can rotate the opening and closing portion 310.

축부(330)는 개폐부(310)의 일측면에 평행하게 결합될 수 있다.The shaft portion 330 may be coupled to one side of the opening / closing portion 310 in parallel.

축부(330)는 개폐부(310)의 중심으로부터 편심되어 부착될 수 있다.The shaft portion 330 may be eccentrically attached from the center of the opening / closing portion 310.

몸통 유니트(100)는 관부(110)와 온도부(130)와 동력부(150)를 포함할 수 있다.The body unit 100 may include a tube portion 110, a temperature portion 130, and a power portion 150.

관부(110)는 조절 유니트(300)를 중심으로 일측과 타측의 단면적이 다르게 형성될 수 있다.The tubular portion 110 may have a different cross sectional area from one side to the other side with respect to the adjustment unit 300.

관부(110)의 일측을 제1 영역이라고 하며 관부(110)의 타측을 제2 영역이라고 할 때, 제1 영역으로부터 제2 영역으로 갈수록 유로의 단면적이 증가될 수 있다. 제2 영역에 조절 유니트(300)의 회전 중심이 위치한다.When one side of the tube portion 110 is referred to as a first region and the other side of the tube portion 110 is referred to as a second region, the sectional area of the flow path can be increased from the first region to the second region. The rotation center of the adjustment unit 300 is located in the second area.

예를 들어 유로의 방향에 따라 관부(110)의 단면적이 증가되는 형상이 되고, 단면적이 변화하는 구간에 개폐부(310)가 설치되며, 개폐부(310)는 회전 축과 연결되고 회전 축이 개폐부(310)의 중심에 위치하게 된다면, 개폐부(310)의 회전 축에 수직한 개폐부(310)의 양단부에서 관부(110) 내벽과의 마찰로 인한 마찰력의 크기는 다르게 된다. 개폐부(310)의 양단부에서 관부(110) 내벽과의 마찰력이 한쪽 단부에 더 많이 생성되는 것을 막기 위해서 개폐부(310)에 회전 축이 결합될 때, 개폐부(310)의 중심에서 회전축이 편심되는 것이 필요하다.For example, the cross-sectional area of the tube 110 increases according to the direction of the flow path, and the opening / closing part 310 is installed in the section where the cross-sectional area changes. The opening / closing part 310 is connected to the rotation shaft, The frictional force due to the friction with the inner wall of the tube 110 at both ends of the opening and closing part 310 perpendicular to the rotation axis of the opening and closing part 310 becomes different. The rotating shaft is eccentric from the center of the opening and closing part 310 when the rotating shaft is coupled to the opening and closing part 310 to prevent the frictional force with the inner wall of the tube part 110 at both ends of the opening and closing part 310 from being generated at one end need.

도 2는 본 발명의 진공 밸브(550)를 구성하는 조절 유니트(300)를 나타낸 개념도이고, 도 3은 도 2에서 개폐부(310)가 180도를 회전했을 때의 상태를 나타낸 개념도이다.FIG. 2 is a conceptual diagram showing an adjustment unit 300 constituting the vacuum valve 550 of the present invention. FIG. 3 is a conceptual diagram showing a state when the opening and closing part 310 is rotated 180 degrees in FIG.

도 2는 개폐부(310)가 회전 방향에 따라 받는 부하의 위치를 고려하여 축부(330)가 개폐부(310)에 편심되어 결합된 것을 보여준다.2 shows that the shaft portion 330 is eccentrically coupled to the opening / closing portion 310 in consideration of the position of the load received by the opening / closing portion 310 in the rotating direction.

지점 ⓐ는 개폐부(310)의 단면에서 중심을 나타낸다.The point a represents the center of the cross section of the opening / closing part 310.

가상선 ⓑ는 관부(110)의 중심을 나타낸다.The imaginary line b indicates the center of the tube portion 110.

도 2에 도시된 바와 같이 개폐부(310)의 중심 ⓐ에서 축부(330)가 x축과 y축의 방향으로 편심되어 개폐부(310)에 결합될 수 있다. 이와 같이 개폐부(310)와 축부(330)가 결합되면 축부(330)가 ⓐ에 위치에 결합되었을 때와는 달리, 관부(110)에 접촉되는 개폐부(310)의 접촉면에서 한쪽으로 부하가 더 걸리는 것을 막을 수 있다.2, the shaft portion 330 may be eccentric in the x- and y-axis directions and coupled to the opening / closing portion 310 at the center a of the opening / closing portion 310. [ When the opening and closing part 310 and the shaft part 330 are engaged with each other, unlike the case where the shaft part 330 is coupled to the position a, the load is further increased from the contact surface of the opening and closing part 310 contacting the tube part 110 Can be prevented.

x축 방향을 제1 축 방향이라고 하고 y축 방향을 제2 축 방향이라고 한다면, 서로 직교하는 제1 축 및 제2 축에 대하여, 개폐부(310)는 축부(330)보다 상기 제1 축 방향 및 상기 제2 축 방향으로 치우치게 배치될 수 있다.the opening and closing part 310 is located closer to the first axis direction than the axis part 330 with respect to the first axis and the second axis which are orthogonal to each other when the x axis direction is referred to as a first axis direction and the y axis direction is referred to as a second axis direction. And may be biased in the second axial direction.

축부(330)는 유체가 지나가는 방향에 수직하게 형성되며, 축부(330)는 관부(110)의 중심에서 편심되어 형성될 수 있다.The shaft portion 330 may be formed perpendicular to the direction in which the fluid passes, and the shaft portion 330 may be formed eccentrically from the center of the tube portion 110.

도 5는 본 발명의 진공 밸브(550)를 나타낸 단면도이다.5 is a sectional view showing the vacuum valve 550 of the present invention.

온도부(130)는 몸통 유니트(100)에 열을 가해주는 히터(131)와 몸통 유니트(100)의 온도를 측정하는 온도계(131)를 포함할 수 있다.The temperature unit 130 may include a heater 131 for applying heat to the body unit 100 and a thermometer 131 for measuring the temperature of the body unit 100.

관부(110)의 벽에 히터(131) 또는 온도계(131)의 적어도 하나의 단부가 개방되게 삽입될 수 있다.At least one end of the heater 131 or the thermometer 131 may be inserted into the wall of the tube portion 110 so as to be open.

히터(131)는 진공 밸브(550)의 표면에 가스반응에 의한 불필요한 박막이 형성되는 것을 방지하기 위해서 진공 밸브(550)를 가열(200°C이상을 가열 가능)할 수 있다.The heater 131 can heat the vacuum valve 550 (capable of heating at 200 ° C or higher) to prevent formation of an unnecessary thin film due to a gas reaction on the surface of the vacuum valve 550.

도 5에 도시된 바와 같이 온도부(130)가 관부(110)에 삽입되는 반대 방향에서도 개방됨으로써, 온도계(131) 또는 히터(131)의 탈착이 용이하다.The thermometer 131 or the heater 131 can be easily attached and detached by opening the temperature part 130 in the opposite direction of insertion into the tube part 110 as shown in FIG.

도 4는 본 발명의 진공 밸브(550)를 나타낸 단면도 있다.4 is a sectional view showing the vacuum valve 550 of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이 관부(110)의 내부에는 축부(330)의 일단부가 삽입되는 제2 홈(113)이 형성될 수 있다. 축부(330)가 관부(110)에 삽입되는, 제2 홈(113)에서 완전히 개방되지 않고 외부와 차단되는 구조가 됨으로써, 유체가 유입되거나 누출되는 발생요인을 감소시킬 수 있다.As shown in FIG. 4, a second groove 113 may be formed in the tube 110 to receive one end of the shaft 330. The structure in which the shaft portion 330 is inserted into the tube portion 110 and is not completely opened in the second groove 113 but is blocked from the outside can reduce the occurrence factor of the fluid flowing or leaking.

제2 홈(113)과 축부(330)의 접촉면 사이에 제1 저널베어링(115)(journal bearing)이 구비될 수 있다. 저널베어링은 내열성 폴리머, fiber(보강재), 윤활제 중 적어도 하나의 재질로 구성될 수 있다.A first journal bearing 115 may be provided between the contact surface of the second groove 113 and the shaft 330. [ The journal bearing may be made of at least one material selected from a heat-resistant polymer, a fiber (reinforcing material), and a lubricant.

예를 들어 제2 홈(113)의 위치에 볼 베어링이 사용될 수 있지만, 본 발명의 일 실시예에서는 고온용 저널베어링을 사용함으로써, 윤활유를 주입하기 위한 급유 장치가 별도로 필요없다. 또한 베어링의 수명 또한 늘어난다.For example, a ball bearing can be used at the position of the second groove 113, but in the embodiment of the present invention, by using the high temperature journal bearing, there is no need for a lubricant for injecting lubricant. The bearing life also increases.

관부(110)에는 축부(330)가 관통되는 관통 홀이 형성되고, 관통 홀과 축부(330)의 사이에 개재되는 복수(도시된 바에 의하면 3중)의 오링(111)(O-ring)이 구비될 수 있다. 제2 홈(113)의 맞은편에 관통 홀을 형성할 수 있다. 이와 같이 3중 오링(111)을 사용하면, 외부로부터의 가스 누출의 요인을 감소시키고 축부(330)의 회전시에 회전 마찰 토크를 감소시킬 수 있다.A plurality of (three in the illustrated example) O-rings 111 (O-rings) interposed between the through holes and the shaft portion 330 are formed in the tube portion 110, . A through hole may be formed on the opposite side of the second groove 113. By using the triple O-ring 111 in this way, it is possible to reduce the factor of gas leakage from the outside and reduce the rotational friction torque at the time of rotating the shaft portion 330. [

관통 홀과 축부(330)의 사이에 개재되는 제2 저널베어링(117)이 마련된다. 이러한 저널 베어링은 내열성 폴리머, fiber(보강재), 윤활제 중 적어도 하나의 재질로 구성될수 있다.And a second journal bearing 117 interposed between the through hole and the shaft portion 330 is provided. Such journal bearings may be made of at least one material selected from heat-resistant polymers, fibers (reinforcements), and lubricants.

본 발명의 진공 밸브(550)에서 오링(111), 저널베어링(115,117)에 대한 구성의 개선과 제 2홈(113)에 대한 설계의 개선이 있다. 이와 같은 구성과 설계의 개선은 진공 밸브(550)의 수명(MCBF:5,000,000Cycles 이상의 내구도)에 높은 기여를 한다.There is an improvement in the configuration of the O-ring 111 and the journal bearings 115 and 117 and an improvement in the design of the second groove 113 in the vacuum valve 550 of the present invention. Such an improvement in configuration and design contributes to the life of the vacuum valve 550 (MCBF: durability over 5,000,000 Cycles).

도 6은 본 발명의 진공 밸브(550)가 구비된 진공 챔버(400)의 개념도이다.6 is a conceptual diagram of a vacuum chamber 400 provided with a vacuum valve 550 of the present invention.

진공 챔버(400)에서 진공을 형성하기 위한 과정은 다음과 같다. 러핑 펌프(630)(Roughing Pump)에서 초기 진공화를 위해서 1차적으로 진공 챔버(400)의 유체를 배기한다. 이 때 진공 밸브(550)는 진공 밸브(550)의 양단에 설치된 센서(551)로부터 정보를 받아 미세 압력을 조절한다. 진공 챔버(400)에서 1차적으로 진공이 조성이 되면 차단 밸브(530)(Isolation valve)는 진공 챔버(400)와 러핑 펌프(630)의 유로를 차단한다. 진공 챔버(400)와 러핑 펌프(630)의 유체가 서로 차단되면 2차적으로 고진공 펌프(610)(High vacuum pump)는 낮은 압력상태의 진공을 만들기 위해서 작동한다.A process for forming a vacuum in the vacuum chamber 400 is as follows. In the roughing pump 630, the fluid in the vacuum chamber 400 is primarily exhausted for initial evacuation. At this time, the vacuum valve 550 receives information from the sensors 551 provided at both ends of the vacuum valve 550 to adjust the micro pressure. When the vacuum is first formed in the vacuum chamber 400, the isolation valve 530 blocks the flow path of the vacuum chamber 400 and the roughing pump 630. When the fluids in the vacuum chamber 400 and the roughing pump 630 are shut off from each other, the high vacuum pump 610 operates to create a vacuum at a low pressure.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the following claims.

100...몸통 유니트 110...관부
111...오링(O-ring) 113...제2 홈
115...제1 저널베어링 117...제2 저널베어링
130...온도부 131...히터 또는 온도계
150...동력부 300...조절 유니트
310...개폐부 311...패킹
313...제1 홈 330...축부
400...진공 챔버 510...교축 변환 밸브
530...차단 밸브 550...진공 밸브
551...센서 610...고진공 펌프
630...러핑 펌프 710...모터
730...제어장치100 ... body unit 110 ... tube
111 ... O-ring 113 ... 2nd groove
115 ... first journal bearing 117 ... second journal bearing
130 ... temperature section 131 ... heater or thermometer
150 ... power unit 300 ... control unit
310 ... opening and closing part 311 ... packing
313 ... first groove 330 ... shaft portion
400 ... vacuum chamber 510 ... throttle valve
530 ... Shutoff valve 550 ... Vacuum valve
551 ... sensor 610 ... high vacuum pump
630 ... roughing pump 710 ... motor
730 ... control device

Claims (12)

유체가 통과하는 유로의 단면적을 조절하여 유량을 조절하는 조절 유니트;
상기 유로를 형성하고, 상기 조절 유니트를 중심으로 일측과 타측의 단면적이 다른 관부를 포함하는 몸통 유니트;를 포함하고,
상기 조절 유니트는, 상기 관부를 개폐하기 위한 판 형태의 개폐부와, 상기 개폐부를 회전시키기 위하여 상기 개폐부의 일측면에 평행하게 결합되는 축부를 포함하며,
상기 축부는 상기 개폐부의 중심으로부터 편심되어 부착되고,
상기 조절 유니트는 회전하면서 상기 유로의 단면적을 조절하고 상기 관부의 일측을 제1 영역이라고 하며 상기 관부의 타측을 제2 영역이라고 할 때,
상기 제1 영역으로부터 상기 제2 영역으로 갈수록 상기 유로의 단면적이 증가하고,
상기 개폐부는 상기 유로의 단면적이 증가하는 구간의 상기 관부의 내부면에 밀착하며,
상기 몸통 유니트는 온도를 조절하는 온도부를 포함하고,
상기 온도부는 상기 몸통 유니트에 열을 가해주는 히터와 상기 몸통 유니트의 온도를 측정하는 온도계를 포함하며,
상기 관부의 벽에는 양측이 개방된 통공이 마련되고,
상기 온도부는 상기 통공에 삽입되는 진공 밸브.
An adjustment unit for adjusting a flow rate by adjusting a cross-sectional area of a flow path through which the fluid passes;
And a tubular unit which forms the flow path and includes a tube portion having a cross sectional area of one side and the other side different from each other with respect to the adjustment unit,
Wherein the adjusting unit includes a plate-shaped opening and closing part for opening and closing the tube part and a shaft part connected to one side of the opening and closing part in parallel to rotate the opening and closing part,
The shaft portion is eccentrically attached from the center of the opening / closing portion,
Wherein the adjustment unit adjusts the cross-sectional area of the flow passage while rotating one side of the tube portion as a first region and the other side of the tube portion as a second region,
Sectional area of the flow path increases from the first region to the second region,
Wherein the opening / closing portion is in close contact with an inner surface of the tube portion in a section where the cross-
Wherein the body unit includes a temperature part for adjusting the temperature,
Wherein the temperature unit includes a heater for applying heat to the body unit and a thermometer for measuring a temperature of the body unit,
Wherein a through hole having both open sides is provided in a wall of the tube portion,
And the temperature portion is inserted into the through hole.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 개폐부는 모서리에 패킹이 삽입되는 제1 홈이 모서리 외주를 따라 형성되고 상기 제1 홈에 상기 패킹이 삽입되는 진공 밸브.
The method according to claim 1,
Wherein the opening and closing part is formed with a first groove through which a packing is inserted at an edge along an outer periphery of the corner, and the packing is inserted into the first groove.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 관부의 내부에는 상기 축부의 일단부가 삽입되는 제2 홈이 형성된 진공 밸브.
The method according to claim 1,
And a second groove into which one end of the shaft portion is inserted is formed in the tube portion.
제7항에 있어서,
상기 제2 홈과 상기 축부의 접촉면 사이에 제1 저널베어링(journal bearing)이 구비되고 상기 저널베어링은 내열성 폴리머, fiber(보강재), 윤활제을 포함한 재질로 이루어진 진공 밸브.
8. The method of claim 7,
A first journal bearing is provided between the second groove and the contact surface of the shaft portion, and the journal bearing is made of a material including a heat resistant polymer, a fiber (reinforcing material), and a lubricant.
제1항에 있어서,
상기 축부의 일단부는 상기 관부를 관통하고
상기 관부와 상기 축부의 접촉면에 복수의 오링(O-ring)이 구비된 진공 밸브.
The method according to claim 1,
One end of the shaft portion passes through the tube portion
And a plurality of O-rings are provided on a contact surface between the tube portion and the shaft portion.
제1항에 있어서,
상기 관부에는 상기 축부가 관통되는 관통 홀이 형성되고
상기 관통 홀과 상기 축부의 사이에 개재되는 제2 저널베어링이 구비되고 상기 저널베어링은 내열성 폴리머, fiber(보강재), 윤활제를 포함하는 재질로 이루어진 진공 밸브.
The method according to claim 1,
The tube portion is formed with a through hole through which the shaft portion passes
And a second journal bearing interposed between the through hole and the shaft, and the journal bearing is made of a material including a heat resistant polymer, a fiber (reinforcing material), and a lubricant.
삭제delete 삭제delete
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