KR101471705B1 - Method and system for manufacturing display panel - Google Patents

Method and system for manufacturing display panel Download PDF

Info

Publication number
KR101471705B1
KR101471705B1 KR1020117006811A KR20117006811A KR101471705B1 KR 101471705 B1 KR101471705 B1 KR 101471705B1 KR 1020117006811 A KR1020117006811 A KR 1020117006811A KR 20117006811 A KR20117006811 A KR 20117006811A KR 101471705 B1 KR101471705 B1 KR 101471705B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
electro
optical panel
unit
liquid adhesive
Prior art date
Application number
KR1020117006811A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20120033297A (en
Inventor
미치야 요코타
Original Assignee
신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 filed Critical 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤
Priority to PCT/JP2010/064734 priority Critical patent/WO2012029110A1/en
Publication of KR20120033297A publication Critical patent/KR20120033297A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101471705B1 publication Critical patent/KR101471705B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J5/00Adhesive processes in general; Adhesive processes not provided for elsewhere, e.g. relating to primers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2203/00Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2203/318Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils for the production of liquid crystal displays
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133308Support structures for LCD panels, e.g. frames or bezels
    • G02F1/133325Assembling processes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133308Support structures for LCD panels, e.g. frames or bezels
    • G02F1/133331Cover glasses
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133354Arrangements for aligning or assembling substrates
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/13338Input devices, e.g. touch panels
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2202/00Materials and properties
    • G02F2202/28Adhesive materials or arrangements

Abstract

전기 광학 패널과 기판을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착한다.
먼저, 진공 분위기 속에서 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)끼리를 액상 접착제(3)를 사이에 끼워 Z방향으로 중첩함으로써, 액상 접착제(3)를 대향면(1a, 2a)을 따라 강제적으로 신장시킨다. 이어서, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 사이에 액상 접착제(3)를 자연 신장시킴으로써, 액상 접착제(3) 내의 국부적인 진공 등이 소실되어 액상 접착제(3)는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제(3)의 층 두께가 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a) 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되어, 더 이상의 갭 조정이 필요 없는 상태가 된다. 그 후, 대기 중에서 전기 광학 패널(1) 및 기판(2) 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 경우, 대략 균일한 층 두께의 액상 접착제(3) 상에 올려진 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2) 중 어느 한쪽을 액상 접착제(3)의 계면을 따라 원활하게 슬라이딩시키기만 하면 되고, 가압하지 않기 때문에 액상 접착제(3)가 변형 유동하지 않아 공기가 말려들게 하는 일은 없다.
The electro-optical panel and the substrate are bonded with a uniform gap in a completely inorganic state.
First, in the vacuum atmosphere, the opposing faces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 are superimposed in the Z direction by sandwiching the liquid adhesive 3 therebetween, (1a, 2a). Subsequently, by locally stretching the liquid adhesive 3 between the electro-optical panel 1 and the substrate 2, the local vacuum in the liquid adhesive 3 is lost, so that the liquid adhesive 3 is in a substantially stationary state The layer thickness of the liquid adhesive 3 becomes substantially uniform in the Z direction on the entire opposing surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2, and no further gap adjustment is required . Thereafter, when either one of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 is moved in the X and Y directions relative to the other side in the atmosphere to align them, the electric power put on the liquid adhesive 3 having a substantially uniform layer thickness It is only required to smoothly slide either the optical panel 1 or the substrate 2 along the interface of the liquid adhesive 3 and the liquid adhesive 3 does not deform due to no pressure, There is no work.

Description

표시 패널의 제조 방법 및 그 제조 시스템{METHOD AND SYSTEM FOR MANUFACTURING DISPLAY PANEL}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a method of manufacturing a display panel,
본 발명은, 예를 들면 터치 패널이나 3D(3차원) 디스플레이나 전자 서적 등, FPD(플랫 패널 디스플레이) 등을 포함하는 전기 광학 패널에 대해 새롭게 부가적 기능을 갖는 기판을 접합한 부가 기능 기판 접합형 표시 패널의 제조 방법 및 그 방법을 실시하기 위해 사용하는 제조 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an additional functional substrate bonding method in which a substrate having an additional function is bonded to an electro-optical panel including a FPD (Flat Panel Display) or the like such as a touch panel, a 3D (3D) Type display panel and a manufacturing system used for carrying out the method.
자세하게는, 전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 방법 및 그 제조 시스템에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to an electro-optical panel and a manufacturing method of the display panel and a manufacturing system of the display panel, wherein the substrate has a light-transmitting property and projects the light emitted from the electro-optical panel to the viewer side with a liquid adhesive.
종래, 이런 종류의 표시 패널의 제조 방법으로서 진공 분위기 속에서 전기 광학 패널(액정 패널)과 자외선 경화성 접착제가 부분적으로 묘화(도포)된 기판(커버 유리)을 위치맞춤한 상태로 서로 압압하고, 그 후 상기 전기 광학 패널을 가(假)UV경화 장치의 테이블에 진공 흡착시킴과 함께 상기 기판을 가압판에 진공 흡착시키고, 이어서 가압 부재로 가압판 전체를 테이블측으로 압압함과 함께, 스프링으로 가압판의 주연부를 테이블측으로 압압하는 것에 의해, 전기 광학 패널과 기판이 서로 접근하는 방향으로 압압되고, 또한 전기 광학 패널 및 기판의 주연부가 중앙부측보다 강한 힘으로 압압되고, 또 압압과 함께 테이블과 가압판의 상대 위치를 조정해 전기 광학 패널 및 기판을 얼라인먼트 처리하여 그 후 가접착 공정을 하고, 마지막으로 본경화 처리(본접착 공정)를 하여 전기 광학 패널과 기판이 본접착되는 전기 광학 장치의 제조 방법이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).Conventionally, as a manufacturing method of this type of display panel, a substrate (cover glass) partially coated with an electro-optical panel (liquid crystal panel) and an ultraviolet ray-curable adhesive is pressed against each other in a vacuum state in a vacuum atmosphere, Then, the electro-optical panel is vacuum-adsorbed on a table of a UV curing apparatus, and the substrate is vacuum-adsorbed onto a pressure plate. Subsequently, the entire pressure plate is pressed to the table side by a pressing member, Optical panel and the substrate are pressed in a direction in which the electro-optical panel and the substrate come close to each other, and the periphery of the electro-optical panel and the substrate is pressed with a stronger force than the central portion, and the relative position of the table and the pressure plate The alignment of the electro-optical panel and the substrate is adjusted, and thereafter the adhesion process is performed. Finally, A manufacturing method (the attaching process) by the electro-optical device to which the electro-optical panel substrate and the adhesive (for example, see Patent Document 1).
일본 특허 출원 공개 2009-230039호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-230039
이러한 종래의 표시 패널의 제조 방법에서는, 가UV경화 장치의 테이블과 가압판에 전기 광학 패널과 기판을 각각 진공 흡착한 상태로 서로 접근하는 방향으로 압압함과 함께 위치맞춤을 하지만, 이들 진공 흡착에 의한 전기 광학 패널 및 기판의 지지는 대기 중이 아니면 확실히 행할 수 없다.In the conventional manufacturing method of the display panel, the electro-optical panel and the substrate are vacuum-adhered to the table and the pressure plate of the UV curing apparatus, respectively, and are pressed together in the direction of approaching each other. The supporting of the electro-optical panel and the substrate can not be reliably performed unless the electro-optical panel and the substrate are standing by.
그렇게 보면, 대기 중에서 전기 광학 패널과 기판이 서로 접근하는 방향으로 압압되게 되고, 이에 따라, 접착제가 두께 방향으로 눌려 변형 유동하면서 액정 패널 및 기판의 대향면을 따라 유동해 눌려 퍼진다.As a result, the electrooptic panel and the substrate are pressed in the direction of approaching each other in the atmosphere, whereby the adhesive is pressed and spread in the thickness direction while flowing along the opposite surfaces of the liquid crystal panel and the substrate.
그러나 대기 중에서의 접착제의 변형 유동은 그 변형 유동 과정에서 공기가 말려들기 쉽게 되는 것을 피할 수 없고, 완전한 무기포로 접착할 수 없는 점에서 불량품이 발생하기 쉬워 수율이 나쁘다는 문제가 있었다.However, the deformation flow of the adhesive in the atmosphere is inevitable because air can not easily be entrained in the deformation flow process, and since it can not be bonded with a perfect inorganic cloth, defective products tend to be generated and the yield is poor.
즉, 접착제의 변형 유동중, 예를 들면 접착제와 기판 사이에 공극이 전혀 생기지 않은 상태로 유동하면 공기가 혼입되는 일은 없지만, 압압중에 전기 광학 패널의 표면에 대해서 기판이 약간이라도 기울어지면 공극이 생겨 공기의 유입이 발생한다는 문제가 있었다. 대기 중에서 가압판을 사용하는 경우에는, 가압판을 지지하는 축기구의 정밀도, 가압판의 일그러짐 등이 존재하고, 이들이 기판에 전달되기 때문에 공기의 유입 문제는 피할 수 없는 것이었다.In other words, if the adhesive flows in a state in which there is no gap between the adhesive and the substrate during the deformation of the adhesive, for example, air is not mixed into the adhesive. However, if the substrate is slightly inclined with respect to the surface of the electro- There has been a problem in that an inflow of foreign matter occurs. In the case of using a pressure plate in the atmosphere, there is a precision of a shaft mechanism for supporting the pressure plate, distortion of the pressure plate, and the like, and they are transferred to the substrate.
또, 기판이 예를 들면 터치 패널의 커버 유리와 같이 모양이나 기호 등이 접착면에 인쇄되는 경우에는, 인쇄부와 비인쇄부 사이에 약간의 요철이 발생하기 때문에 공기의 유입이 더욱 조장된다는 문제도 있었다.In the case where the substrate is printed on the adhesive surface such as a cover glass of a touch panel, for example, there is a problem that the air flows in more easily because a slight irregularity is generated between the printed portion and the non- .
스프링으로 전기 광학 패널 및 기판의 주연부를 중앙부측보다 강한 힘으로 압압해도, 대기 중에서의 접착제의 변형 유동에 수반되는 공기의 유입을 줄일 수 없어 전기 광학 패널과 기판의 사이를 완전한 무기포 상태로 할 수는 없었다.Even when the peripheral portion of the electro-optical panel and the substrate is pressed by a spring with a stronger force than the central portion, inflow of air accompanying the deformation flow of the adhesive in the air can not be reduced and the gap between the electro- There was no number.
특히, 기판 사이즈가 대형화되면, 가압 방식으로는 신뢰성을 얻는 것은 어려웠다.Particularly, when the substrate size becomes large, it has been difficult to obtain reliability in the pressure method.
또, 전기 광학 패널과 기판을 1조씩 중첩해 위치맞춤하므로, 생산성이 뒤떨어진다는 문제가 있었다.In addition, since the electro-optical panel and the substrate are overlapped one by one and aligned, there is a problem that the productivity is inferior.
본 발명은 이러한 문제에 대처하는 것을 과제로 하는 것으로, 전기 광학 패널과 기판을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착하는 것 등을 목적으로 하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to overcome such a problem and to provide a method of bonding an electrooptical panel and a substrate in a completely inorganic state with a uniform gap.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 표시 패널의 제조 방법은, 전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 방법으로서, 진공 분위기 속에서 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 대향면을 그들 사이에 상기 액상 접착제가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 공정과, 상기 합착 공정에서 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 상기 대향면을 따라 상기 액상 접착제를 정해진 시간에 걸쳐 자연 신장시켜, 그 액상 접착제의 층 두께를 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 하는 레벨링 공정과, 상기 레벨링 공정 후에 상기 전기 광학 패널 또는 상기 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 대기 중에서 XYθ 방향으로 서로 슬라이딩 이동시켜 위치맞춤하는 무기포 정렬 공정과, 상기 무기포 정렬 공정에서 위치맞춤된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 상기 대향면 간에 배치되는 상기 액상 접착제를 경화시키는 경화 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above-mentioned object, a manufacturing method of a display panel according to the present invention is a manufacturing method of a display panel which has a light-transmitting property and a substrate on which a light emitted from the electro- Optical panel and the substrate in a Z-direction so as to sandwich the liquid-based adhesive therebetween in a vacuum atmosphere; and a step of bonding the electro-optical panel and the substrate A leveling step of naturally stretching the liquid adhesive along the opposed surface for a predetermined period of time to make the thickness of the liquid adhesive to be substantially uniform in the Z direction over the entire opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate; And then either the electro-optical panel or the substrate is exposed to the other side And a curing step of curing the liquid adhesive disposed between the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate aligned in the inorganic film aligning step .
또, 본 발명에 의한 표시 패널의 제조 시스템은, 전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 시스템으로서, 진공 챔버를 가지고, 그 진공 챔버 내에서 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 지지하여 그들 사이에 상기 액상 접착제가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 유닛과, 상기 합착 유닛에 의해 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 착탈 가능하게 지지하여 상기 진공 챔버 내로부터 대기 중으로 반송하는 반송 유닛과, 대기 중에 설치되며, 상기 반송 유닛에 의해 반송된 상기 전기 광학 패널 또는 상기 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 무기포 정렬 유닛과, 상기 무기포 정렬 유닛에 의해 위치맞춤된 상기 전기 광학 패널과 상기 기판의 대향면 간에 배치되는 상기 액상 접착제를 경화시키는 경화 유닛을 구비하고, 상기 반송 유닛은 상기 진공 챔버 내로부터 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 대기 중의 상기 무기포 정렬 유닛으로 반송해 세트할 때까지의 정해진 시간 중에 상기 전기 광학 패널과 상기 기판의 대향면을 따라 상기 액상 접착제가 자연 신장하여, 그 액상 접착제의 층 두께가 상기 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되도록 하는 것을 특징으로 한다.The manufacturing system of the display panel according to the present invention is an apparatus for manufacturing a display panel which comprises an electro-optical panel and a liquid-gluing agent for projecting light emitted from the electro- Optical panel and the substrate in the vacuum chamber so as to overlap each other in the Z direction so as to sandwich the liquid adhesive therebetween; Optical system, comprising: a transfer unit detachably supporting a substrate and transferring the substrate from the vacuum chamber to the atmosphere; and a transfer unit which is provided in the air and transfers either the electro-optical panel or the substrate transferred by the transfer unit to the other An inorganic encapsulating unit for moving and aligning the inorganic encapsulation unit, And a curing unit for curing the liquid adhesive which is disposed between the electro-optical panel and the opposing surface of the substrate, wherein the electro-optical panel is danced, and the curing unit for curing the liquid adhesive is disposed between the electro- The liquid adhesive is naturally stretched along the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate during a predetermined period of time until the substrate is transported and set by the alignment unit, and the layer thickness of the liquid adhesive is substantially uniform in the Z- And the like.
전술한 특징을 갖는 본 발명에 의한 표시 패널의 제조 방법은, 먼저 합착 공정에 있어서, 진공 분위기 속에서 전기 광학 패널과 기판의 대향면끼리를 액상 접착제를 사이에 끼워 Z방향으로 중첩함으로써, 액상 접착제를 대향면을 따라 강제적으로 신장시킨다. 이어서 레벨링 공정에 있어서, 전기 광학 패널과 기판 사이에 액상 접착제를 자연 신장시킴으로써, 액상 접착제 내의 국부적인 진공 등이 소실되어 액상 접착제는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제의 층 두께가 전기 광학 패널 및 기판의 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되어, 더 이상의 갭 조정은 필요 없는 상태가 된다. 그 후의 무기포 정렬 공정에 있어서, 대기 중에서 전기 광학 패널 및 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 경우, 대략 균일한 층 두께의 액상 접착제 상에 올려진 전기 광학 패널 또는 기판 중 어느 한쪽을 액상 접착제의 계면을 따라 원활하게 슬라이딩시키기만 하면 되고, 가압하지 않으므로 액상 접착제는 변형 유동하지 않아 공기가 말려들게 하는 일은 없다.In the method of manufacturing a display panel according to the present invention having the above-described characteristics, in the laminating step, the opposing faces of the electro-optical panel and the substrate are superimposed in the Z direction with a liquid adhesive interposed therebetween in a vacuum atmosphere, Is forcibly stretched along the opposite surface. Subsequently, in the leveling process, by locally stretching the liquid adhesive between the electro-optical panel and the substrate, the local vacuum in the liquid adhesive disappears, so that the liquid adhesive becomes approximately stationary and stabilized, Becomes substantially uniform in the Z direction over the entire opposing surface of the substrate, and no further gap adjustment becomes necessary. In the subsequent inorganic sealing process, when the electro-optical panel and the substrate are aligned with each other in the XY &thetas; direction and aligned in the air, the electro-optical panel or the electro- It is only necessary to smoothly slide one of the substrates along the interface of the liquid adhesive, and since the liquid adhesive does not pressurize, the liquid adhesive does not deform so that the air is not curled.
따라서, 전기 광학 패널과 기판을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착할 수 있다.Thus, the electro-optical panel and the substrate can be bonded with a uniform gap in a complete inorganic state.
그 결과, 진공 흡착된 전기 광학 패널과 기판을 대기 중에서 서로 접근하는 방향으로 압압함과 함께 위치맞춤을 행하는 종래의 제조 방법에 비해, 전기 광학 패널의 사이즈가 커져도 무기포의 성능을 향상시킬 수 있어 수율이 큰 폭으로 좋아진다.As a result, the performance of the inorganic foil can be improved even when the size of the electro-optical panel is increased, compared with the conventional manufacturing method in which the vacuum-adsorbed electro-optical panel and the substrate are pressed together in the direction of approaching each other in the atmosphere The yield is greatly improved.
또, 전술한 특징을 갖는 본 발명에 의한 표시 패널의 제조 시스템은 먼저, 합착 유닛에 의해 진공 챔버 내에서 전기 광학 패널과 기판의 대향면끼리를 액상 접착제를 사이에 끼워 Z방향으로 중첩함으로써 액상 접착제를 대향면을 따라 강제적으로 신장시킨다. 이어서, 반송 유닛에 의해 진공 챔버 내로부터 중첩이 완료된 전기 광학 패널 및 기판을 대기 중의 무기포 정렬 유닛에 반송해 세트할 때까지의 정해진 시간 중에 전기 광학 패널과 기판 사이에 액상 접착제를 자연 신장시킴으로써, 액상 접착제 내의 국부적인 진공 등이 소실되어 액상 접착제는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제의 층 두께가 전기 광학 패널 및 기판의 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되어, 더 이상의 갭 조정은 필요 없는 상태가 된다. 그 후, 무기포 정렬 유닛에 의해, 대기 중에서 전기 광학 패널 및 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 경우, 대략 균일한 층 두께의 액상 접착제 상에 올려진 전기 광학 패널 또는 기판 중 어느 한쪽을 액상 접착제의 계면을 따라 원활하게 슬라이딩시키기만 하면 되고, 가압하지 않으므로 액상 접착제는 변형 유동하지 않아 공기가 말려들게 하는 일은 없다.In the manufacturing system of a display panel according to the present invention having the above-described characteristics, first, the liquid-impervious faces of the electro-optical panel and the substrate are superimposed in the Z direction by sandwiching the electro- Is forcibly stretched along the opposite surface. Next, the liquid adhesive is naturally stretched between the electro-optical panel and the substrate during a predetermined time until the electro-optical panel and the substrate, which have been superimposed from the inside of the vacuum chamber by the transport unit, are transported and set in the atmospheric inorganic particle aligning unit, The localized vacuum in the liquid adhesive disappears, so that the liquid adhesive becomes substantially stationary, and the layer thickness of the liquid adhesive becomes substantially uniform in the Z direction over the entire opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate, The state becomes absent. Thereafter, when the inorganic encapsulation unit moves and aligns the electrooptic panel and the substrate in the air in the XY &thetas; direction with respect to the other, the electrooptical panel and the substrate, which are placed on the liquid adhesive having a substantially uniform layer thickness, Or the substrate can be smoothly slid along the interface of the liquid adhesive, and since the liquid adhesive does not pressurize, the liquid adhesive does not deform and does not cause the air to curl up.
따라서, 전기 광학 패널과 기판을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착할 수 있다.Thus, the electro-optical panel and the substrate can be bonded with a uniform gap in a complete inorganic state.
그 결과, 진공 흡착된 전기 광학 패널과 기판을 대기 중에서 서로 접근하는 방향으로 압압함과 함께 위치맞춤을 행하는 종래의 제조 시스템에 비해, 전기 광학 패널의 사이즈가 커져도 무기포의 성능을 향상시킬 수 있어 수율이 큰 폭으로 좋아진다.As a result, the performance of the inorganic foil can be improved even when the size of the electro-optical panel is increased as compared with the conventional manufacturing system in which the vacuum-adsorbed electro-optical panel and the substrate are pressed together in the direction approaching each other in the atmosphere The yield is greatly improved.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널의 제조 시스템을 나타내는 블록도이다.
도 2는 합착 유닛의 종단 정면도이며, (a)가 중첩 전 상태를 나타내고, (b)가 중첩 후의 상태를 나타내고 있다.
도 3은 무기포 정렬 유닛의 종단 정면도이며, (a)가 평면도, (b)가 일부 절결 정면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널의 제조 방법을 나타내는 플로우차트이다.
1 is a block diagram showing a manufacturing system of a display panel according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a longitudinal end elevational view of the cementing unit, in which (a) shows a state before superimposition, and (b) shows a state after superimposition.
Fig. 3 is a longitudinal front view of the inorganic wrapping unit, and Fig. 3 (a) is a plan view and Fig. 3 (b) is a partially cutaway front view.
4 is a flowchart showing a manufacturing method of a display panel according to an embodiment of the present invention.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초해 상세하게 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널(A)의 제조 시스템은 도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 액상 접착제(3)가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 유닛(10), 중첩된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 대기 중에 반송하는 반송 유닛(20), 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 XYθ 방향으로 위치맞춤하는 무기포 정렬 유닛(30), 위치맞춤된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2) 사이에 배치되는 액상 접착제(3)를 경화시키는 경화 유닛(40), 이들 합착 유닛(10), 반송 유닛(20), 무기포 정렬 유닛(30) 및 경화 유닛(40) 등을 각각 작동 제어하는 제어부(50)를 주요한 구성요소로서 구비한다.As shown in Figs. 1 to 3, the manufacturing system of the display panel A according to the embodiment of the present invention is configured so that the electro-optical panel 1 and the substrate 2 are overlapped in the Z direction so as to sandwich the liquid adhesive 3 therebetween A transfer unit 20 for transferring the stacked electro-optical panel 1 and the substrate 2 to the atmosphere, a transfer unit 20 for transferring the electro-optical panel 1 and the substrate 2 in the XY & A curing unit 40 for curing the liquid adhesive 3 disposed between the electro-optical panel 1 and the substrate 2, the adhesion unit 10, the transfer unit 20 ), The inorganic filler aligning unit 30, the hardening unit 40, and the like, as the main components.
전기 광학 패널(1)은 전기 광학 물질층과 이에 전압을 인가하는 수단을 구비한 것이고, 전기 신호에 기초한 전압 인가에 의해 전기 광학 물질층 상태를 변화시켜 원하는 빛을 취출하는 것이 가능하게 되어 있다.The electro-optical panel 1 has an electro-optical material layer and a means for applying a voltage thereto, and it is possible to change the state of the electro-optical material layer by applying a voltage based on an electric signal to extract desired light.
전기 광학 패널(1)의 구체예로서는 터치 패널이나 3D(3차원) 디스플레이나 전자 서적 등에 이용되는, 예를 들면 액정 디스플레이(LCD), 유기 EL 디스플레이(OLED), 플라즈마 디스플레이(PDP), 플렉시블 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD) 등을 들 수 있다.Examples of the electro-optical panel 1 include a liquid crystal display (LCD), an organic EL display (OLED), a plasma display (PDP), a flexible display, etc. used for a touch panel, a 3D A flat panel display (FPD), and the like.
또, 전기 광학 패널(1)은 직사각형 등으로 형성되고, 그 주연부에는 후술하는 기판(2)과의 위치맞춤에 이용하는 얼라인먼트 마크(도시하지 않음)를 형성하는 것이 바람직하다.It is preferable that the electro-optical panel 1 is formed in a rectangular shape or the like, and an alignment mark (not shown) used for alignment with the substrate 2, which will be described later, is formed on the periphery thereof.
또, 전기 광학 패널(1)로서는, 그 제작 단계에서 복수의 전기 광학 패널(1)이 병설되는 분리 전의 한 장을 사용할 수도 있다.As the electro-optical panel 1, it is also possible to use one sheet before separation in which a plurality of electro-optical panels 1 are juxtaposed.
기판(2)은 유리나 석영, 플라스틱 등의 투광성을 갖는 재료로 이루어지는 것이고, 전기 광학 패널(1)로부터 사출된 빛을 투과해 Z방향측(시인측)으로 사출함과 함께, 표시 패널(A)의 용도에 따른 기능을 가지고 있다.The substrate 2 is made of a material having translucency such as glass, quartz, or plastic. The substrate 2 transmits light emitted from the electro-optical panel 1 and emits the light to the Z direction side (view side) And has functions according to the purpose of the user.
기판(2)의 구체예로서는 터치 패널이나 3D(3차원) 디스플레이나 전자 서적 등에 이용되는 커버 유리나 배리어 유리 등을 들 수 있고, 예를 들면 터치 패널로서 이용되는 경우에는 모양이나 기호 등의 패턴이 접착면인 표면에 인쇄된다.As a specific example of the substrate 2, a cover glass or a barrier glass used for a touch panel, a 3D (3D) display, an electronic book, or the like can be enumerated. For example, when used as a touch panel, And is printed on the surface in the plane.
기판(2)의 크기나 평면 형상은 전기 광학 패널(1)과 동일한 정도의 직사각형 등으로 형성되고, 그 주연부에는 전기 광학 패널(1)과의 위치맞춤에 이용하는 얼라인먼트 마크(도시하지 않음)를 형성하는 것이 바람직하다.The size or planar shape of the substrate 2 is formed in a rectangular shape approximately equal to that of the electro-optical panel 1, and an alignment mark (not shown) used for alignment with the electro-optical panel 1 is formed on the periphery thereof .
또, 기판(2)으로서는, 그 제작 단계에서 복수의 기판(2)이 병설되는 분리 전의 한 장을 사용할 수도 있다.As the substrate 2, it is also possible to use one sheet before separation in which a plurality of substrates 2 are juxtaposed.
액상 접착제(3)는 빛 에너지를 흡수해 중합이 진행되는 것에 의해 경화하여 접착성을 발현하는 광경화성을 갖는 접착제나 열경화형 접착제나 2액혼합 경화형 접착제 등을 포함하고, 중합도(경화도)가 낮은 상태에서는 유동성을 가지며, 중합도(경화도)가 높아짐에 따라 유동성이 저하되어 변형되기 어려워지도록 구성된다.The liquid adhesive 3 includes an adhesive, a thermosetting adhesive, a two-component mixed curing adhesive, etc. having a photo-curability that cures by the progress of polymerization by absorbing light energy and exhibits adhesiveness, and has a degree of polymerization (degree of curing) Has a fluidity in a low state, and is structured such that fluidity is lowered as the degree of polymerization (degree of curing) is increased, so that it is less likely to be deformed.
또, 액상 접착제(3)는 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(표면)(1a, 2a)에 대해서 부분적으로 도포되고, 후술하는 합착 유닛(10)에 의해 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)을 중첩하는 것에 의해, 이들 대향면(1a, 2a)을 따라 액상 접착제(3)가 신장하여, 최종적으로는 대향면(1a, 2a)의 대략 전체에 충만하게 된다.The liquid adhesive 3 is partially applied to the opposing surfaces (surfaces) 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2, and is applied to the electro-optical panel The liquid adhesive 3 is stretched along the opposed surfaces 1a and 2a and the opposed surfaces 1a and 2a are finally stretched by overlapping the opposed surfaces 1a and 2a of the substrate 1 and the opposed surfaces 1a and 2a of the substrate 2. [ Of the total.
액상 접착제(3)의 구체예로서는 자외선 경화형 접착제 등이 이용된다.As a specific example of the liquid adhesive 3, an ultraviolet curable adhesive or the like is used.
또, 액상 접착제(3)의 도포 방법으로서는, 예를 들면 디스펜서 등의 액체 정량 토출기를 포함하는 도포 수단(도시하지 않음)을 이용해 대향면(1a, 2a)에 점 형상이나 선 형상으로 묘화하고, 후술하는 합착 유닛(10)에 의해 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)끼리가 중첩됨으로써, 점 형상이나 선 형상의 액상 접착제(3)가 각각 신장하여, 그 계면끼리 접촉해 서로 연결되도록 분산 배치하는 것이 바람직하다.As a coating method of the liquid adhesive 3, a coating method (not shown) including a liquid dispensing machine such as a dispenser is used to draw on the opposing surfaces 1a and 2a in a point shape or a line shape, The liquid adhesive 3 in the form of a dot or line is elongated by overlapping the opposing faces 1a and 2a of the electrooptic panel 1 and the substrate 2 by the cementing unit 10 to be described later, It is preferable that the interfaces are disposed so as to be in contact with each other and connected to each other.
그리고, 합착 유닛(10)은 그 전체 또는 일부가 개폐 구동부(11a)의 작동에 의해 개폐 가능하게 형성되는 진공 챔버(11)와, 진공 챔버(11) 내에 Z방향[도 2의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 상하 방향]으로 대향하도록 마련되어 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 각각 착탈 가능하게 지지하는 한 쌍의 지지판(12, 13)과, 이들 지지판(12, 13)의 어느 한쪽 또는 양쪽을 Z방향으로 서로 접근 이동시켜 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 중첩하는 승강 구동부(14)를 가지고 있다. The cementing unit 10 includes a vacuum chamber 11 in which all or a part of the cementing unit 10 is openably and closably opened and closed by the operation of the opening and closing drive unit 11a and a vacuum chamber 11 in the Z direction optical panel 1 and the substrate 2 so as to detachably support the electro-optical panel 1 and the substrate 2, and a pair of supporting plates 12 and 13, Optical panel 1 and the substrate 2 by moving one or both of them in the Z direction to each other.
한 쌍의 지지판(12, 13)은, 예를 들면 금속이나 세라믹스 등의 강체로 일그러짐(휨) 변형되지 않는 두께의 평판 형상으로 형성되고, 그 서로 대향하는 지지면(12a, 13a)에, 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2)을 착탈 가능하게 지지하는 지지 수단(도시하지 않음)으로서 예를 들면 점착 척 또는 정전 척이나 흡인 척의 조합 등이 형성됨과 함께, 진공 챔버(11)에 대해서 지지면(12a, 13a)의 어느 한쪽 또는 양쪽이 Z방향으로 평행한 상태로 서로 접근 또는 이격하도록 왕복 이동 가능하게 지지한다.The pair of support plates 12 and 13 are formed in a flat plate shape having a thickness such that they are not deformed by a rigid body such as metal or ceramics and are supported by supporting surfaces 12a and 13a, As a support means (not shown) for detachably supporting the optical panel 1 or the substrate 2, for example, an adhesive chuck, a combination of an electrostatic chuck and a suction chuck, Either or both of the surfaces 12a and 13a are supported so as to reciprocate so as to approach each other or to be spaced apart in a state in which they are parallel to each other in the Z direction.
도 2의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 하방에 배치되는 지지판(12)의 지지면(12a)에 전기 광학 패널(1)이 지지되고, 상방에 배치되는 지지판(13)의 지지면(13a)에 기판(2)이 지지되고, 하방의 지지판(12)에 대해서 상방의 지지판(13)만을 승강 구동부(14)에 의해 승강 이동시키도록 구성되어 있다.In the example shown in Figs. 2A and 2B, the electro-optical panel 1 is supported on the support surface 12a of the support plate 12 disposed at the lower side, and the support surface 13a of the support plate 13, The substrate 2 is supported on the lower support plate 13a and only the upper support plate 13 is moved up and down by the elevation drive unit 14 with respect to the lower support plate 12. [
또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 하방의 지지판(12)에 기판(2)을 지지함과 함께 상방의 지지판(13)에 전기 광학 패널(1)을 지지하거나 상방의 지지판(13)에 대해서 하방의 지지판(12)만을 승강 구동부(14)에 의해 승강 이동하거나 하방의 지지판(12) 및 상방의 지지판(13)의 양방을 승강 구동부(14)에 의해 승강 이동시키는 것도 가능하다.Although not shown as another example, it is also possible to support the substrate 2 on the lower support plate 12 and support the electro-optical panel 1 on the upper support plate 13 or on the upper support plate 13 It is also possible that only the lower support plate 12 is lifted or lowered by the lifting and lowering drive unit 14 or both the lower support plate 12 and the upper support plate 13 are lifted and lowered by the lifting and lowering drive unit 14. [
또, 진공 챔버(11)의 내부에 있어서 지지판(12, 13)의 주위에는 기압 조정 가능한 폐공간(S)을 형성하고, 그 폐공간(S)이 진공 또는 그것에 가까운 상태로 감압된 분위기의 환경 하에서, 지지면(12a, 13a)을 서로 접근 이동시켜 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 중첩하는 것이 바람직하다.A closed space S capable of adjusting the atmospheric pressure is formed around the support plates 12 and 13 in the vacuum chamber 11 and an atmosphere of an atmosphere in which the closed space S is vacuum- It is preferable that the electro-optical panel 1 and the substrate 2 are overlapped by moving the support surfaces 12a and 13a to approach each other.
반송 유닛(20)은 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 착탈 가능하게 지지하는 수단으로서 예를 들면 흡착 패드 등을 갖는 반송용 로봇 등이고, 적어도 합착 유닛(10)의 진공 챔버(11)와 후술하는 무기포 정렬 유닛(30)에 걸쳐 왕복 이동 가능하게 설치되어, 합착 유닛(10)에 의해 중첩된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 무기포 정렬 유닛(30)을 향해 반송해 옮긴다.The transfer unit 20 is a transfer robot or the like having a suction pad or the like as a means for detachably supporting the electro-optical panel 1 and the substrate 2 and at least a vacuum chamber 11 of the bonding unit 10, Optical panel 1 and the substrate 2 which are stacked by the attaching unit 10 and are capable of reciprocating across the inorganic encapsulating unit 30 to be described later and the inorganic encapsulating unit 30 We move.
반송 유닛(20)의 구체예로서는, 합착 유닛(10)의 지지판(12, 13)에 설치되는 승강 가능한 리프트 핀(도시하지 않음) 등과 협력해 작동하는 것에 의해, 진공 챔버(11) 내에서 중첩된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 지지면(12a, 13a)으로부터 받아, 진공 챔버(11) 내에서 외부의 대기 중에 취출함과 함께 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 중첩된 상태를 유지하면서 후술하는 무기포 정렬 유닛(30)을 향해 반송하고, 그 지지 척(31) 상의 정해진 위치에 세트한다.As a specific example of the transfer unit 20, there is a case where the transfer unit 20 is operated in cooperation with an elevatable lift pin (not shown) provided on the support plates 12 and 13 of the bonding unit 10, Optical panel 1 and the substrate 2 are taken out from the support surfaces 12a and 13a and taken out to the outside atmosphere in the vacuum chamber 11 and superimposed on the electrooptical panel 1 and the substrate 2 To be described later, and is set at a predetermined position on the support chuck 31. In this state,
또 필요에 따라서 반송 유닛(20)에 의해, 예를 들면 디스펜서 등의 액체 정량 토출기를 포함하는 도포 수단이 배치되는 외부 영역으로부터 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을, 합착 유닛(10)의 진공 챔버(11) 내부를 향해 반입하고, 또 후술하는 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 무기포 정렬 공정 및 후술하는 경화 유닛(40)에 의한 액상 접착제(3)의 경화 공정이 종료된 후에, 무기포 정렬 유닛(30)으로부터 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 반출하도록 이동 제어하는 것이 바람직하다.The electroconductive panel 1 and the substrate 2 can be separated from the outer region where the application means including the liquid constant quantity dispenser such as a dispenser is disposed by the conveying unit 20 as needed, After the inorganic encapsulating process by the inorganic encapsulating unit 30 and the curing process of the liquid adhesive 3 by the curing unit 40 described later are completed Optical panel 1 and the substrate 2 from the inorganic encapsulation unit 30, as shown in Fig.
또 필요에 따라서 반송 유닛(20)에는 반송중인 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)에 대해, 각각의 대향면(1a, 2a) 사이에 끼워진 액상 접착제(3)의 자연 신장을 촉진하기 위해, 미진동이 포함된 적당한 진동을 주는 수단을 구비하거나 반송중인 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 체류를 일정 시간에 걸쳐 유지해 선입선출하는 버퍼 수단을 구비하는 것도 가능하다.In order to facilitate the natural extension of the liquid adhesive 3 sandwiched between the opposing surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 being conveyed, Optical apparatus 1 may be provided with a means for imparting appropriate vibration including micro-oscillation or buffer means for maintaining the retention of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 during conveyance for a predetermined period of time and inputting and outputting them.
무기포 정렬 유닛(30)은 대기 중에 배치되고, 반송 유닛(20)에 의해 반송된 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 각각 착탈 가능하게 지지하는 한 쌍의 지지 척(31, 32)과, 이들 지지 척(31, 32) 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해서 XYθ 방향[도 3의 (a)에 나타내는 예에서는 상하 좌우 및 경사 방향]으로 이동시켜 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 위치맞춤하는 수평 구동부(33)와, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 주연부에 배치되는 얼라인먼트 마크 등을 검출하기 위한 위치 검출부(34)를 갖는다.The inorganic encapsulation unit 30 includes a pair of support chucks 31 and 32 which are disposed in the air and detachably support the electrooptic panel 1 and the substrate 2 carried by the transport unit 20, Optical panel 1 and the substrate 2 by moving either one of the support chucks 31 and 32 to the other in the XY? Direction (in the example shown in Fig. 3 (a) And a position detecting section 34 for detecting an alignment mark or the like disposed on the periphery of the electro-optical panel 1 and the substrate 2. The position detecting section 34 detects the alignment mark,
한 쌍의 지지 척(31, 32)은, 예를 들면 금속이나 세라믹스 등의 강체로 일그러짐(휨) 변형되지 않는 두께의 평판 형상으로 형성되고, 그 서로 대향하는 지지면(31a, 32a)에 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2)을 착탈 가능하게 지지하는 지지 수단(도시하지 않음)으로서, 예를 들면 흡인 척이나 정전 척이나 점착 척이나 마찰 척 또는 그 조합 등이 형성됨과 함께, 지지면(31a, 32a)의 진공 챔버(11)에 대해서 지지면(12a, 13a) 중 어느 한쪽이 타른 쪽에 대해 평행 상태를 유지하면서 XYθ 방향으로 이동 가능하게 지지한다.The pair of support chucks 31 and 32 are formed in a flat plate shape having a thickness that is not deformed by a rigid body such as metal or ceramics and are supported by supporting surfaces 31a and 32a, A suction chuck, an electrostatic chuck, a pressure-sensitive adhesive chuck, a friction chuck or a combination thereof is formed as a supporting means (not shown) for detachably supporting the optical panel 1 or the substrate 2, Either one of the support surfaces 12a and 13a is supported so as to be movable in the XY &thetas; direction while maintaining a parallel state with respect to the burr side with respect to the vacuum chamber 11 of each of the vacuum chambers 31a and 32a.
도 3의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)의 주연부에 위치 검출부(34)로서 카메라를 설치한다. 또, 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)에 대해서, 전기 광학 패널(1)이 지지되는 하방의 지지 척(31)을 XYθ 방향으로 이동 가능하게 지지한다.In the example shown in Figs. 3A and 3B, a camera is provided as the position detection unit 34 on the periphery of the support chuck 32 above which the substrate 2 is supported. The lower support chuck 31 supporting the electro-optical panel 1 is movably supported on the upper support chuck 32 on which the substrate 2 is supported so as to be movable in the XY &thetas; direction.
또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 전기 광학 패널(1)이 지지되는 하방의 지지 척(31)에 대해서, 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)을 XYθ 방향으로 이동 가능하게 지지하는 것도 가능하다.Although not shown as another example, the upper support chuck 32, on which the substrate 2 is supported, can be moved relative to the lower support chuck 31, on which the electro-optical panel 1 is supported, It is also possible to support.
경화 유닛(40)은 액상 접착제(3)의 중합도(경화도)를 높이기 위해 빛 에너지를 조사함으로써, 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 위치맞춤 직후에 이들을 이동시키지 않고 액상 접착제(3)의 중합도(경화도)를 높인다.The curing unit 40 irradiates the light energy to increase the degree of polymerization (degree of curing) of the liquid adhesive 3 so that the curing unit 40 immediately after the alignment of the electrooptic panel 1 and the substrate 2 by the inorganic encapsulating unit 30 The degree of polymerization (degree of curing) of the liquid adhesive 3 is increased.
경화 유닛(40)의 구체예로서, 액상 접착제(3)가 자외선 경화형 접착제 등이 이용되는 경우에는 자외선을 조사하는 UV 조사부가 있고, 이것은 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)의 사이를 따라 신장된 액상 접착제(3)의 일부 또는 전부를 향해 자외선을 조사시킨다.As a specific example of the curing unit 40, when the liquid adhesive 3 is an ultraviolet curable adhesive or the like, there is a UV irradiating unit for irradiating ultraviolet rays. This is a case in which the electro-optical panel 1 and the opposing surface 2a, 2b, 2c, 2d, 2c, 2d, 2d, 2d, 2d, 2d, 2d,
도 3의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는, 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)의 주연부에 경화 유닛(40)으로서 UV 조사 헤드를 배치하고, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)의 사이를 따라 신장된 액상 접착제(3)의 주연부에 있어서 수 개소를 부분적으로 경화시키는 것에 의해, 필요 최저한의 가경화를 수행하고, 무기포 정렬 유닛(30)으로부터 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)이 반출된 후에 본경화를 수행하도록 한다.3 (a) and 3 (b), a UV irradiation head is disposed as a curing unit 40 on the periphery of the upper support chuck 32 on which the substrate 2 is supported, and the electro- The liquid adhesive 3 is partially cured at the periphery of the liquid adhesive 3 extending between the opposite surfaces 1a and 2a of the substrate 2 and the opposite surfaces 1a and 2a of the substrate 2, Optic panel 1 and the substrate 2 are carried out from the unit 30 to perform the final curing.
또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 자외선 경화형 접착제 대신 열경화형 접착제나 2액혼합 경화형 접착제 등을 이용하거나 액상 접착제(3)의 전부를 본 경화시키는 것도 가능하다.In addition, although not shown as another example, it is possible to use a thermosetting adhesive, a two-liquid mixture curing adhesive or the like instead of the ultraviolet curable adhesive, or to completely cure the entire liquid adhesive (3).
제어부(50)는 합착 유닛(10)에 있어서의 진공 챔버(11)의 개폐 구동부(11a)나 승강 구동부(14), 반송 유닛(20), 무기포 정렬 유닛(30)에 있어서의 수평 구동부(33)나 위치 검출부(34) 및 경화 유닛(40) 등과 전기적으로 접속하는 컨트롤러이고, 미리 설정된 프로그램에 따라 차례로 작동시키도록 제어한다.The control unit 50 controls the opening and closing drive unit 11a of the vacuum chamber 11 in the attaching unit 10 and the horizontal driving unit (not shown) in the lifting and driving unit 14, the transfer unit 20, 33, the position detecting unit 34, the hardening unit 40, and the like, and controls them to be operated sequentially in accordance with a preset program.
특히, 제어부(50)는 반송 유닛(20)의 작동 속도를 조정하거나 하여, 합착 유닛(10)에 의해 진공 챔버(11) 내에서 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 중첩이 완료된 시점부터, 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 위치맞춤이 개시되는 시점까지의 시간을 임의로 설정할 수 있게 한다.Particularly, the control unit 50 adjusts the operating speed of the conveyance unit 20 so that when the overlapping of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 in the vacuum chamber 11 is completed by the coincidence unit 10 It is possible to arbitrarily set the time until the alignment of the electro-optical panel 1 with the substrate 2 by the inorganic encapsulating unit 30 is started.
자세하게는, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 중첩이 완료된 시점부터 시작되는 액상 접착제(3)의 자연 신장에 대응해, 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 위치맞춤이 개시되는 시간을 임의로 설정할 수 있게 한다.More specifically, in response to the natural stretching of the liquid adhesive 3 starting from the time when the superposition of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 is completed, the time to start alignment by the inorganic encapsulating unit 30 So that it can be arbitrarily set.
즉, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)에 대해서 부분적으로 도포된 액상 접착제(3)를 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)을 따라 자연 신장시켜, 대향면(1a, 2a)의 대략 전체에 충만하게 하고 액상 접착제(3) 내의 국부적인 진공 등이 소실되어 액상 접착제(3)는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제(3)의 층 두께를 대향면(1a, 2a) 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 한 후, 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 위치맞춤이 개시되도록 한다.That is, the liquid adhesive 3 partially applied to the electro-optical panel 1 and the opposing faces 1a and 2a of the substrate 2 is applied to the opposing faces 1a and 1b of the electro-optical panel 1 and the substrate 2, 2a of the liquid adhesive 3 so that the liquid adhesive 3 is almost completely stationary and stabilized because the local vacuum in the liquid adhesive 3 is lost, The alignment of the electrooptic panel 1 and the substrate 2 by the inorganic encapsulating unit 30 is started after the layer thickness of the electrostatic chuck 3 is made substantially uniform in the Z direction on the entire opposing faces 1a and 2a .
또, 본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널(A)을 생산하기 위한 제조 방법은 도 4에 나타내는 플로우차트와 같이, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 중첩하기 위한 합착 공정과, 액상 접착제(3)를 자연 신장시키기 위한 레벨링 공정과, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 위치맞춤하기 위한 무기포 정렬 공정과, 액상 접착제(3)를 경화시키기 위한 경화 공정을 포함한다.As shown in the flow chart of Fig. 4, the manufacturing method for producing the display panel A according to the embodiment of the present invention includes a laminating step for laminating the electro-optical panel 1 and the substrate 2, A leveling process for naturally stretching the adhesive 3, an inorganic encapsulating process for aligning the electro-optical panel 1 and the substrate 2, and a curing process for curing the liquid adhesive 3.
합착 공정은 합착 유닛(10)에 의해 진공 챔버(11) 내의 진공 분위기 속에서서, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)을 그들 사이에 액상 접착제(3)가 끼워지도록 Z방향으로 중첩해 가접합한다.In the laminating process, the liquid adhesive 3 is applied between the opposing faces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2, in a vacuum atmosphere in the vacuum chamber 11, Overlap in the Z direction so as to be fitted.
레벨링 공정은 반송 유닛(20) 등에 의해 진공 챔버(11) 내로부터 중첩이 완료된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 취출하고, 무기포 정렬 유닛(30)에 세트할 때까지의 정해진 시간에 합착 공정에서 중첩된 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)을 따라 액상 접착제(3)를 정해진 시간에 걸쳐 자연 신장시켜, 대향면(1a, 2a)의 대략 전체에 충만하게 하고 액상 접착제(3)의 층 두께를 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a) 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 한다.The leveling process is a process for removing the electrooptical panel 1 and the substrate 2 which have been superimposed from the inside of the vacuum chamber 11 by the transport unit 20 or the like and taking a predetermined time until the substrate 2 is set in the inorganic encapsulating unit 30 The liquid adhesive 3 is naturally stretched along the opposed surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 superimposed in the laminating process for a predetermined period of time to form a roughly flat shape of the opposed surfaces 1a and 2a And the layer thickness of the liquid adhesive 3 is made substantially uniform in the Z direction on the entire opposing surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2. [
무기포 정렬 공정은 레벨링 공정 후에 무기포 정렬 유닛(30)에 의해 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2) 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 대기 중에서 XYθ 방향으로 서로 슬라이딩 이동시켜 위치맞춤한다.After the leveling process, either one of the electrooptic panel 1 or the substrate 2 is moved in the XY &thetas; direction relative to the other side by the inorganic encapsulating unit 30 and aligned.
액상 접착제(3)의 경화 공정은 무기포 정렬 공정에서 위치맞춤된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a) 간에 배치되는 액상 접착제(3)를 경화 유닛(40)에 의해 그 일부 또는 전부를 경화시킨다.The curing process of the liquid adhesive 3 is performed by placing the liquid adhesive 3 disposed between the opposing faces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 aligned in the inorganic foam aligning step, To cure some or all of them.
이러한 본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널(A)의 제조 시스템 및 제조 방법에 의하면, 먼저 합착 공정에서는 합착 유닛(10)에 의해 진공 챔버(11) 내에서 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)끼리가 액상 접착제(3)를 사이에 끼워 Z방향으로 중첩된다.According to the manufacturing system and the manufacturing method of the display panel (A) according to the embodiment of the present invention, in the laminating step, the electrostatic optical panel 1 and the substrate 2 Are superimposed in the Z direction with the liquid adhesive 3 interposed therebetween.
이에 따라, 액상 접착제(3)가 대향면(1a, 2a)을 따라 강제적으로 신장되고, 대향면(1a, 2a)의 대부분에 액상 접착제(3)가 충만된다.Thereby, the liquid adhesive 3 is forcibly stretched along the opposed surfaces 1a and 2a, and the liquid adhesive 3 is filled in most of the opposed surfaces 1a and 2a.
그 후의 레벨링 공정에서는 반송 유닛(20)에 의해, 진공 챔버(11) 내로부터 중첩이 완료된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 대기 중의 무기포 정렬 유닛(30)에 반송해 세트할 때까지의 정해진 시간 중에 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 사이에서 액상 접착제(3)가 자연 신장된다.In the subsequent leveling process, when the transport unit 20 transports the electro-optical panel 1 and the substrate 2, which have been superimposed from the inside of the vacuum chamber 11, to the inorganic encapsulating unit 30 in the atmosphere and set The liquid adhesive 3 is naturally stretched between the electro-optical panel 1 and the substrate 2 during a predetermined period of time from when the electro-optical panel 1 is attached to the substrate 2 to the liquid-
이에 따라, 액상 접착제(3) 내의 국부적인 진공 등이 소실되어, 액상 접착제(3)는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제(3)의 층 두께가 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a) 전체에서, Z방향으로 도포된 액상 접착제(3)의 체적에 맞게 대략 균일해진다. 이에 따라, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)이 평행하게 되어, 더 이상의 갭 조정이 필요 없는 상태가 된다.As a result, the local vacuum in the liquid adhesive 3 is lost and the liquid adhesive 3 becomes substantially stationary and stable, and the layer thickness of the liquid adhesive 3 is lowered to the area of the electro- The liquid adhesive 3 applied in the Z direction is substantially uniform in conformity with the volume of the liquid adhesive 3 on all the opposed surfaces 1a and 2a of the liquid crystal display panel 1. As a result, the opposing faces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 become parallel to each other, and no further gap adjustment is required.
그 후의 무기포 정렬 공정에서는 무기포 정렬 유닛(3)에 의해, 대기 중에서 전기 광학 패널(1) 및 기판(2) 중 어느 한 쪽이 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동하여 위치맞춤된다.In the subsequent inorganic sealing process, either one of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 moves in the X and Y directions with respect to the other in the atmosphere by the inorganic encapsulating unit 3 and is aligned.
이에 따라, 대략 균일한 층 두께의 액상 접착제(3) 상에 올려진 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2) 중 어느 한쪽을 액상 접착제(3)의 계면을 따라 원활하게 슬라이딩시키기만 하면 되고, 가압하지 않기 때문에 액상 접착제(3)가 변형 유동하지 않아 공기가 말려들게 하는 일은 없다.This makes it possible to smoothly slide either the electrooptic panel 1 or the substrate 2 placed on the liquid adhesive 3 having a substantially uniform layer thickness along the interface of the liquid adhesive 3, The liquid adhesive 3 does not deform so that the air does not curl up.
특히, 기판(2)이 예를 들면 터치 패널의 커버 유리와 같이 모양이나 기호 등의 패턴이 접착면에 인쇄되어 인쇄부와 비인쇄부 사이에 약간의 요철이 생겼다고 해도, 약간의 요철에 액상 접착제(3)가 무기포 상태로 파고 들어 고체와 액체의 계면이 융합되기 때문에, 액상 접착제(3) 자체의 유체 동작으로서 원활하게 이동한다.Particularly, even if the substrate 2 is printed on the adhesive surface with a pattern such as a shape or a symbol, such as a cover glass of a touch panel, and a slight irregularity is formed between the printed portion and the non-printed portion, The liquid 3 adheres smoothly as the liquid action of the liquid adhesive 3 itself because the liquid 3 adheres to the interface between the solid and the liquid.
따라서, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착할 수 있다.Thus, the electro-optical panel 1 and the substrate 2 can be bonded with a uniform gap with a complete inorganic state.
다음으로 본 발명의 일 실시예를 도면에 기초해 설명한다.Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
실시예Example
이 실시예는 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 합착 유닛(10)과 무기포 정렬 유닛(30)을 개별적으로 배치하여 복수 조의 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 진공 챔버(11) 내에서 동시에 중첩하고, 이들을 반송 유닛(20)에 의해 반송하여, 중첩된 복수 조의 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 차례로 위치맞춤한 것이다.In this embodiment, as shown in Figs. 2 and 3, a plurality of sets of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 are arranged in the vacuum chamber 11 ), And these are transported by the transport unit 20, and a plurality of stacked electro-optical panels 1 and the substrate 2 are aligned in order.
즉, 합착 유닛(10)은 진공 챔버(11) 내에서 지지판(12, 13)에 의해 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 복수 조 각각이 서로 대향하도록 지지하고, 각각 접근 이동시켜 동시에 중첩하고, 반송 유닛(20)은 합착 유닛(10)에 의해 중첩된 복수 조의 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 진공 챔버(11) 내로부터 무기포 정렬 유닛(30)에 반송하고, 무기포 정렬 유닛(30)은 반송 유닛(20)에 의해 반송된 복수 조의 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 각각 착탈 가능하게 지지해 차례로 위치맞춤한다.That is, the cohesive unit 10 supports the electro-optical panel 1 and the substrate 2 so that a plurality of sets of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 are opposed to each other by the support plates 12 and 13 in the vacuum chamber 11, The transport unit 20 transports a plurality of sets of the electrooptic panel 1 and the substrate 2 stacked by the attaching unit 10 from the inside of the vacuum chamber 11 to the inorganic encapsulating unit 30, The inorganic embroidery aligning unit 30 removably supports a plurality of sets of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 carried by the transfer unit 20 and aligns them in order.
도 2의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 합착 유닛(10)의 진공 챔버(11)가 전체적으로 Z방향으로 분할 가능하게 구성되고, 그 내부에 구획 형성되는 폐공간(S)이 정해진 진공도에 이른 후 복수 조의 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 중첩하고, 그 후에 폐공간(S)이 대기 개방되는 대기 개방형의 진공 챔버이다.2 (a) and 2 (b), the vacuum chamber 11 of the attaching unit 10 is configured so as to be capable of being divided in the Z direction as a whole, and the closed space S formed therein is divided into a predetermined vacuum degree Optic panel 1 and the substrate 2 are overlapped with each other, and then the closed space S is opened to the atmosphere.
또, 그 외의 예로서 도시하지는 않지만, 진공 챔버(11)가 분리 불가능하고 그 측벽의 일부에 출입구를 개설하여, 이 출입구를 덮도록 문이 개폐동 가능하게 지지되고, 이 문을 개폐 구동부(11a)의 작동에 의해 개폐동시켜 그 문을 열었을 때에 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 반송 유닛(20)에 의해 출입시키는 것도 가능하다.Although not shown as another example, the vacuum chamber 11 is not separable, and an opening is provided in a part of the side wall. The door is openably and closably covered to cover the door, and the opening and closing drive unit 11a Optical panel 1 and the substrate 2 can be moved in and out by the transport unit 20 when the door is opened and closed by the operation of the transport unit 20.
또, 도시한 예에서는 복수의 전기 광학 패널(1)로서, 그 제작 단계에서 복수의 전기 광학 패널(1)이 병설되는 분리 전의 한 장을 하방의 지지판(12)에 지지하고, 이들 복수의 전기 광학 패널(1)과 각각 대향해 분리된 복수 장의 기판(2)을 상방의 지지판(13)에 지지한다.In the illustrated example, a plurality of electro-optical panels 1 are supported on a lower support plate 12 by a plurality of electro-optical panels 1, A plurality of substrates 2 separated from each other with the optical panel 1 are supported on the upper support plate 13.
또, 그 외의 예로서 도시하지는 않지만, 도시한 예와 반대로 복수의 기판(2)으로서, 그 제작 단계에서 복수의 기판(2)이 병설되는 분리 전의 한 장을 지지하고, 이들 복수의 기판(2)과 각각 대향해 분리된 복수 장의 전기 광학 패널(1)을 지지하는 것도 가능하다.Although not shown as another example, in contrast to the example shown in the figures, a plurality of substrates 2 are supported by a plurality of substrates 2 before being separated, And the plurality of electro-optical panels 1, which are separated from each other, can be supported.
도 3의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 전기 광학 패널(1)이 지지되는 하방의 지지 척(31)에 대해서, 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)을 각 전기 광학 패널(1)과 각 기판(2)이 각각 대향하도록 XYθ 방향[도 3의 (a)에 나타내는 예에서는 상하 좌우 방향 및 경사 방향]으로 수평 구동부(33)에 의해 각각 이동 가능하게 지지한다.3 (a) and 3 (b), the upper support chuck 32, on which the substrate 2 is supported, is connected to the lower support chuck 31, on which the electro-optical panel 1 is supported, The optical panel 1 and the respective substrates 2 are supported so as to be movable by the horizontal drive unit 33 in the XY &thetas; directions (vertical and horizontal directions and oblique directions in the example shown in Fig.
또, 그 외의 예로서 도시하지는 않지만, 도시한 예와 반대로 상방의 지지 척(32)에 대해서 하방의 지지 척(31)이 XYθ 방향으로 수평 구동부(33)에 의해 각각 이동 가능하게 지지하는 것도 가능하다.Although not shown as another example, it is also possible for the support chuck 31 below to support the upper support chuck 32 movably in the XY &thetas; direction by the horizontal drive unit 33, as opposed to the example shown in the drawing Do.
이러한 본 발명의 실시예에 관한 표시 패널(A)의 제조 시스템 및 제조 방법에 의하면, 합착 유닛(10)에 대해서 복수 조의 전기 광학 패널(1) 및 각 기판(2)을 1회 세트하는 것만으로, 그 중첩과 위치맞춤이 이루어진다.According to the manufacturing system and the manufacturing method of the display panel A according to the embodiment of the present invention, only a plurality of sets of the electro-optical panel 1 and the respective substrates 2 are set once to the cementing unit 10 , The overlapping and the positioning are performed.
이에 따라, 복수 조의 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 효율 좋게 맞붙일 수 있는 이점이 있다.Thus, there is an advantage that a plurality of sets of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 can be efficiently combined.
그 결과, 전기 광학 패널과 기판을 한 조씩 중첩하여 위치맞춤하는 종래의 제조 시스템 및 제조 방법에 비해, 표시 패널(A)의 생산성을 향상시킬 수 있어 비용 저감화가 도모된다.As a result, the productivity of the display panel A can be improved, and the cost can be reduced, as compared with the conventional manufacturing system and manufacturing method in which the electro-optical panel and the substrate are superposed and aligned by a pair.
또한, 전술한 실시예에서는 합착 유닛(10)과 무기포 정렬 유닛(30)을 개별적으로 배치하고, 이들 양자 사이에 걸쳐 반송 유닛(20)에 의해 반송했지만, 이에 한정되지 않고, 합착 유닛(10)과 무기포 정렬 유닛(30)을 일체적으로 배치하여 그 내부에서 반송 유닛(20)에 의해 반송해도 된다.In the above-described embodiment, the cementing unit 10 and the inorganic filler aligning unit 30 are separately disposed and conveyed by the conveying unit 20 between them. However, the present invention is not limited to this and the cementing unit 10 ) And the inorganic filler aligning unit 30 may be integrally arranged and conveyed by the conveying unit 20 in the inside thereof.
1 : 전기 광학 패널 1a, 2a : 대향면
2 : 기판 3 : 액상 접착제
11 : 진공 챔버 20 : 반송 유닛
30 : 무기포 정렬 유닛 40 : 경화 유닛
1: Electro-optical panel 1a, 2a:
2: substrate 3: liquid adhesive
11: Vacuum chamber 20: Transfer unit
30: Inorganic wrap alignment unit 40: Curing unit

Claims (4)

  1. 전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 방법으로서,
    진공 분위기 속에서 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 대향면을 그들 사이에 상기 액상 접착제가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 공정과,
    상기 합착 공정에 의해 진공 분위기 속에서 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 상기 대향면을 따라 상기 액상 접착제를 정해진 시간에 걸쳐 자연 신장시켜, 그 액상 접착제의 층 두께를 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 대향면 전체에서 Z방향으로 균일하게 하는 레벨링 공정과,
    상기 레벨링 공정 후에 상기 전기 광학 패널 또는 상기 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 대기 중에서 XYθ 방향으로 서로 슬라이딩 이동시켜 위치맞춤하는 무기포 정렬 공정과,
    상기 무기포 정렬 공정에서 위치맞춤된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 상기 대향면 간에 배치되는 상기 액상 접착제를 경화시키는 경화 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법.
    An electro-optical panel and a method of manufacturing a display panel having a light-transmissive substrate and a substrate for projecting light emitted from the electro-optical panel onto a viewer side,
    A step of overlapping the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate in a vacuum atmosphere in a Z direction so that the liquid adhesive is sandwiched therebetween;
    The liquid adhesive is naturally stretched along the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate superimposed in a vacuum atmosphere by the laminating step for a predetermined period of time, and the layer thickness of the liquid- In the Z direction from the entire opposing face of the substrate,
    Optic panel or the substrate after the leveling step is slid in the XY &thetas;
    A curing step of curing the liquid adhesive disposed between the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate aligned in the inorganic encapsulating process
    And forming a second electrode on the second substrate.
  2. 제1항에 있어서, 상기 합착 공정에서는 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 복수 조 각각이 서로 대향하도록 배치하여 동시에 중첩하고,
    상기 무기포 정렬 공정에서는 상기 합착 공정에서 중첩된 복수 조의 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 차례로 위치맞춤하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법.
    2. The electro-optical panel according to claim 1, wherein in the laminating step, a plurality of sets of the electro-optical panel and the substrate are arranged so as to face each other,
    Optical panel and the substrate are sequentially aligned in the inorganic-foam aligning step.
  3. 전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 시스템으로서,
    진공 챔버를 가지며, 그 진공 챔버 내의 진공 분위기 속에서 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 지지하여 그들 사이에 상기 액상 접착제가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 유닛과,
    상기 합착 유닛에 의해 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 착탈 가능하게 지지하여 상기 진공 챔버 내의 진공 분위기 속으로부터 대기 중으로 반송하는 반송 유닛과,
    대기 중에 설치되며, 상기 반송 유닛에 의해 반송된 상기 전기 광학 패널 또는 상기 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 무기포 정렬 유닛과,
    상기 무기포 정렬 유닛에 의해 위치맞춤된 상기 전기 광학 패널과 상기 기판의 대향면 간에 배치되는 상기 액상 접착제를 경화시키는 경화 유닛
    을 구비하고,
    상기 반송 유닛은 상기 진공 챔버 내의 진공 분위기 속으로부터 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 대기 중의 상기 무기포 정렬 유닛에 반송해 세트할 때까지의 정해진 시간 중에, 진공 분위기 속에서 중첩된 상기 전기 광학 패널과 상기 기판의 대향면을 따라 상기 액상 접착제가 자연 신장하여, 그 액상 접착제의 층 두께가 상기 대향면 전체에서 Z방향으로 균일하게 되도록 하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 시스템.
    An electro-optical panel and a display panel manufacturing system for attaching a substrate having a light-transmitting property and projecting light emitted from the electro-
    A bonding unit which has a vacuum chamber, supports the electro-optical panel and the substrate in a vacuum atmosphere in the vacuum chamber, and superposes the liquid-state adhesive in the Z direction so as to sandwich the liquid-
    A transport unit detachably supporting the electro-optical panel and the substrate superposed by the coalescing unit and transporting the electro-optical panel and the substrate from the vacuum atmosphere in the vacuum chamber to the atmosphere;
    An inorganic encapsulating unit that is installed in the air and moves either one of the electro-optical panel or the substrate carried by the transport unit in the X and Y directions with respect to the other,
    And a curing unit for curing the liquid adhesive disposed between the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate aligned by the inorganic encapsulating unit
    And,
    The transport unit is configured to transport the electro-optical panel and the substrate stacked from the vacuum atmosphere in the vacuum chamber to the inorganic encapsulating unit in the atmosphere for a predetermined period of time until the organic electro- Wherein the liquid adhesive is naturally stretched along the opposing face of the panel and the substrate so that the layer thickness of the liquid adhesive is uniform in the Z direction over the entire opposing face.
  4. 제3항에 있어서, 상기 합착 유닛은 상기 진공 챔버 내에서 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 복수 조 각각이 서로 대향하도록 지지하고, 이들 복수 조의 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 각각 접근 이동시켜 동시에 중첩하고,
    상기 반송 유닛은 상기 합착 유닛에 의해 중첩된 복수 조의 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 상기 진공 챔버 내로부터 상기 무기포 정렬 유닛에 반송하고,
    상기 무기포 정렬 유닛은 상기 반송 유닛에 의해 반송된 복수 조의 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 각각 착탈 가능하게 지지해 차례로 위치맞춤하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 시스템.
    4. The electro-optical panel according to claim 3, wherein the cementing unit supports the plurality of sets of the electro-optical panel and the substrate so that the plurality of sets of the electro-optical panel and the substrate are opposed to each other within the vacuum chamber, and,
    The conveying unit conveys a plurality of sets of the electro-optical panel and the substrate superimposed by the cementing unit from the inside of the vacuum chamber to the inorganic encapsulating unit,
    Wherein the inorganic encapsulation unit removably supports a plurality of the electro-optical panels carried by the transport unit and the substrate, and aligns them in order.
KR1020117006811A 2010-08-30 2010-08-30 Method and system for manufacturing display panel KR101471705B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2010/064734 WO2012029110A1 (en) 2010-08-30 2010-08-30 Display panel production method and production system therefor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120033297A KR20120033297A (en) 2012-04-06
KR101471705B1 true KR101471705B1 (en) 2014-12-10

Family

ID=43952780

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117006811A KR101471705B1 (en) 2010-08-30 2010-08-30 Method and system for manufacturing display panel
KR1020137017175A KR101614591B1 (en) 2010-08-30 2010-08-30 Method and system for manufacturing display panel

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020137017175A KR101614591B1 (en) 2010-08-30 2010-08-30 Method and system for manufacturing display panel

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP4657387B1 (en)
KR (2) KR101471705B1 (en)
CN (1) CN102598091B (en)
TW (1) TWI356359B (en)
WO (1) WO2012029110A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101614591B1 (en) 2010-08-30 2016-04-21 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 Method and system for manufacturing display panel

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103009776B (en) * 2011-09-24 2017-09-22 宸鸿科技(厦门)有限公司 The applying method of substrate
JP2013167712A (en) * 2012-02-15 2013-08-29 Hitachi High-Technologies Corp Substrate bonding device, and substrate bonding method
JP2013218198A (en) * 2012-04-11 2013-10-24 Hitachi High-Technologies Corp Substrate lamination apparatus
KR101439876B1 (en) * 2012-12-13 2014-09-16 주식회사 성우하이텍 Panel adhering method
JP5346116B1 (en) * 2012-12-19 2013-11-20 信越エンジニアリング株式会社 Work bonding method and work bonding device
ITTV20120241A1 (en) * 2012-12-21 2014-06-22 Dario Toncelli Method and system for making panels formed with glued sheets
CN104022057A (en) * 2013-02-28 2014-09-03 株式会社日立高新技术 Substrate fitting device and substrate fitting tool
JP6040852B2 (en) * 2013-04-22 2016-12-07 富士通株式会社 Adhesive method with adhesive
JP5422767B1 (en) * 2013-05-09 2014-02-19 信越エンジニアリング株式会社 Bonding separation method and separation apparatus
CN105359203B (en) * 2013-06-27 2018-09-04 信越工程株式会社 The manufacturing method of abutted equipment
JP5395306B1 (en) * 2013-08-13 2014-01-22 信越エンジニアリング株式会社 Bonding device manufacturing apparatus and bonding device manufacturing method
JP2015158603A (en) * 2014-02-24 2015-09-03 株式会社Sat Substrate bonding device
TWI532588B (en) * 2014-02-24 2016-05-11 To prevent the bubble generated by the adhesive tape and electronic components of the method
CN104635369A (en) * 2015-03-13 2015-05-20 信利光电股份有限公司 Method for making liquid crystal module and liquid crystal module
TWI596070B (en) * 2016-05-11 2017-08-21 登峰製造股份有限公司 Apparatus and method for bonding a desplay panel
FR3065677B1 (en) * 2017-04-27 2019-05-03 Faurecia Interieur Industrie METHOD FOR MANUFACTURING A DISPLAY MODULE FOR A MOTOR VEHICLE HABITACLE

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006071766A (en) * 2004-08-31 2006-03-16 Makushisu Wan:Kk Manufacturing apparatus and method of optical component
JP2007079374A (en) * 2005-09-16 2007-03-29 Seiko Epson Corp Method for manufacturing electrooptical apparatus
KR20070051422A (en) * 2005-11-15 2007-05-18 삼성전자주식회사 Apparatus and method for attaching polarizer for liquid crystal display panel and method for manufacturing liquid crystal display

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07114010A (en) * 1993-10-14 1995-05-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd Liquid crystal display device
JP3545076B2 (en) * 1995-01-11 2004-07-21 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 Liquid crystal display device and method of manufacturing the same
JP3742000B2 (en) * 2000-11-30 2006-02-01 富士通株式会社 Press machine
CN100456088C (en) * 2002-02-05 2009-01-28 乐金显示有限公司 LCD adhesion machine and method for producing LCD with the same adhering machine
TWI296732B (en) * 2004-12-28 2008-05-11 Chi Mei Optoelectronics Corp Method of assembling liquid crystal display panel and apparatus of assembling the same
JP2009103833A (en) * 2007-10-22 2009-05-14 Sharp Corp Display device
JP4657387B1 (en) 2010-08-30 2011-03-23 信越エンジニアリング株式会社 Display panel manufacturing method and manufacturing system thereof

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006071766A (en) * 2004-08-31 2006-03-16 Makushisu Wan:Kk Manufacturing apparatus and method of optical component
JP2007079374A (en) * 2005-09-16 2007-03-29 Seiko Epson Corp Method for manufacturing electrooptical apparatus
KR20070051422A (en) * 2005-11-15 2007-05-18 삼성전자주식회사 Apparatus and method for attaching polarizer for liquid crystal display panel and method for manufacturing liquid crystal display

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101614591B1 (en) 2010-08-30 2016-04-21 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 Method and system for manufacturing display panel

Also Published As

Publication number Publication date
CN102598091A (en) 2012-07-18
KR20120033297A (en) 2012-04-06
KR101614591B1 (en) 2016-04-21
CN102598091B (en) 2014-09-10
TWI356359B (en) 2012-01-11
JP4657387B1 (en) 2011-03-23
JPWO2012029110A1 (en) 2013-10-28
WO2012029110A1 (en) 2012-03-08
KR20130086654A (en) 2013-08-02
TW201209780A (en) 2012-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI578869B (en) Substrate bonding apparatus and substrate bonding method
KR101979726B1 (en) Device for bonding window and method for manufacturing display device using the same
US6739929B2 (en) Method and apparatus for producing a display panel, method for adhering an adhesive sheet and method for adhering plates
TW548461B (en) Apparatus and method of manufacturing liquid crystal display
KR101586111B1 (en) Bonding apparatus
KR100720414B1 (en) Method for manufacturing liquid crystal display device
JP5422767B1 (en) Bonding separation method and separation apparatus
TWI543871B (en) And a method for producing a light-transmitting hard substrate laminate
JP3990304B2 (en) Laminator stage structure and bonding device control method
TWI297406B (en)
JP5558993B2 (en) Adhesive supply device and adhesive supply method
JP3769005B2 (en) Bonded substrate manufacturing apparatus and substrate bonding method
JP5139736B2 (en) Liquid crystal component manufacturing method and manufacturing apparatus
JP4078487B2 (en) Substrate assembly apparatus and method
KR101706617B1 (en) Flexible display panel curved laminator
JP5197089B2 (en) Method and apparatus for manufacturing flat display device
JP2015507546A (en) Laminated product, apparatus and method for forming laminated product
US8764930B2 (en) Manufacturing method of flat-panel display device and adhesive-resin application apparatus therefor
US8617343B2 (en) Manufacturing method of flat-panel display device and bonding press apparatus therefor
KR101331872B1 (en) Apparatus for automatic attaching touch display panel
KR100864520B1 (en) System for manufacturing camera module and its manufacturing process
KR101264983B1 (en) Bonding apparatus and bonding method
JP2010522354A (en) Enhancement liquid crystal display system and method
JP2002090759A (en) Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display element
JP5151653B2 (en) Bonding device and bonding method

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
A107 Divisional application of patent
J201 Request for trial against refusal decision
S901 Examination by remand of revocation
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20130701

Effective date: 20140930

GRNO Decision to grant (after opposition)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171117

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181115

Year of fee payment: 5