KR101458406B1 - 박리 장치 및 박리 방법 - Google Patents

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Abstract

접착성 시트(S)를 기판(13)에 첩부한 상태에서, 세퍼레이터(11)를 접착제층(12)으로부터 박리하는 박리 장치(10)이며, 동 장치는 기판(13)을 지지하는 테이블(15)과, 세퍼레이터(11)를 상면으로부터 찌르는 니들(16)과, 당해 니들(16)을 변위시켜 박리 시작부(11A)를 형성시키는 지지 수단(18)과, 세퍼레이터(11)를 흡착하는 흡착 패드(35)를 구비하고 있다. 박리 시작부(11A)가 형성될 때에는, 흡착 패드(35)가 흡착력을 세퍼레이터(11)에 부여하고, 박리 시작부(11A)를 형성한 상태에서 흡착 패드(35)를 기판으로부터 떨어지는 방향으로 회전시킴으로써 세퍼레이터(11)를 박리 가능하게 한다.

Description

박리 장치 및 박리 방법{DETACHMENT DEVICE AND DETACHMENT METHOD}
본 발명은 박리 장치 및 박리 방법에 관한 것으로, 특히 접착제층의 일방의 면이 세퍼레이터로 피복된 접착성 시트를 피착체에 첩부한 상태에서, 상기 세퍼레이터를 접착제층으로부터 박리하는 것에 적합한 박리 장치 및 박리 방법에 관한 것이다.
유기 EL 기판, 디스플레이 패널 등의 판형상 혹은 시트형상의 워크를 적층하여 일체화시키기 위해, 이들 워크 사이에 접착성 시트를 개재시켜 접착하는 것이 알려져 있다.
상기 접착성 시트로서는 예를 들면 필름형상을 이루는 한 쌍의 세퍼레이터 사이에 접착제층을 끼운 기재 시트를 사용하고, 일방의 세퍼레이터를 박리하여 표출하는 접착면을 워크에 첩부해두고, 타방의 세퍼레이터를 박리하여 접착면을 표출시킴으로써, 당해 표출한 접착면에 워크를 첩합할 수 있다.
이러한 세퍼레이터의 박리시에는 그 표면에 점착테이프를 첩부하고, 당해 점착테이프를 잡아당김으로써 박리를 행하는 것이 알려져 있다.
그러나, 점착테이프를 박리마다 이용하는 박리 장치는 폐기 처분되는 점착테이프가 필수적이어서, 러닝 코스트가 들어 경제적이지 않다는 불이익이 있다.
그래서, 점착테이프를 사용하지 않고 박리를 행할 수 있는 장치가 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
일본 특허 공개 평7-157187호 공보
특허문헌 1에 기재된 박리 장치는 기판에 라미네이트된 보호 필름을 박리하기 위해서, 침(니들)을 보호 필름에 찌르고, 기판을 지지하는 테이블을 수평방향으로 이동시킴으로써, 보호 필름이 침에 걸려 기판으로부터 박리되는 구성으로 되어 있다.
그러나, 특허문헌 1에 기재된 박리 장치에 있어서는, 침을 보호 필름에 찌른 상태를 유지하여 박리를 행하는 것이기 때문에, 박리 도중에서의 보호 필름의 휨 변형 등에 의해 침이 보호 필름으로부터 빠져나와 버릴 우려가 있어, 박리의 확실성을 담보할 수 없다는 문제가 있다. 이러한 문제는 보호 필름의 강성이 높은 경우, 또는 보호 필름이 매우 얇은 경우에 한층 표면화된다.
또, 박리된 보호 필름은 침의 선단측에 매달린 상태가 되기 때문에, 이것을 적극적으로 분리해야 한다. 그 때문에, 보호 필름의 면에 에어를 내뿜어 침으로부터 탈락시킬 필요가 있어, 필름이 의도하지 않는 방향으로 불려 날아간다는 문제를 초래한다.
게다가, 니들을 박리 동작의 최종 단계까지 사용하는 구성이기 때문에, 다음 박리 동작으로의 이행 시간이 길어져 박리 효율도 낮다는 난점이 있다.
[발명의 목적]
본 발명은 이러한 문제에 주목하여 안출된 것이며, 그 목적은 니들로 박리의 시작부를 형성할 때에, 흡착 수단을 통하여 세퍼레이터를 흡착하고, 그 흡착을 유지한 상태에서 흡착 수단을 박리 방향으로 변위시켜 접착제층으로부터 세퍼레이터를 박리할 수 있고, 게다가 박리 효율을 향상시킬 수 있는 박리 장치 및 박리 방법을 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 특허청구의 범위에 기재된 구성을 채용했다.
구체적으로는 일방의 면이 세퍼레이터로 피복된 접착제층을 가지는 접착성 시트를 피착체에 첩부한 상태에서, 상기 세퍼레이터를 접착제층으로부터 박리하는 박리 장치로서,
상기 피착체를 지지하는 테이블과,
상기 세퍼레이터의 단부를 상면으로부터 찌르는 니들과,
상기 세퍼레이터에 박리 시작부를 형성하도록 상기 니들을 변위 가능하게 지지하는 지지 수단과,
상기 세퍼레이터를 흡착하는 흡착 수단을 포함하고,
상기 니들로 박리 시작부를 형성할 때에, 상기 흡착 수단으로 흡착력을 세퍼레이터에 부여하고, 박리 시작부가 형성되었을 때에 상기 흡착 수단과 피착체를 상대적으로 이간시켜 상기 세퍼레이터를 박리 가능하게 한 것이다.
본 발명에 있어서, 상기 흡착 수단은 소정의 감압 펌프에 접속된 흡착 패드를 포함하여 구성되고, 당해 흡착 패드는 제1 회전 중심축과, 제2 회전 중심축을 중심으로 하여 회전 가능하게 설치됨으로써 피착체에 대하여 이간 접근 가능하게 되고, 상기 제2 회전 중심축을 중심으로 하는 흡착 패드의 회전 반경은 상기 제1 회전 중심축을 중심으로 하는 흡착 패드의 회전 반경보다 짧다는 구성을 채용하고 있다.
또, 상기 니들은 평면에서 보아 상기 흡착 패드의 중심을 통과하는 선 상에서 상기 세퍼레이터를 찌르도록 설치하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 니들은 X, Y, Z축 구동 장치를 통하여 지지되어, 이들 구동 장치를 구동함으로써, 상기 찌름, 박리 시작부의 형성 동작을 행하도록 구성할 수 있다.
또, 상기 접착제층은 열용융성 반응계 접착제이며, 당해 접착제층을 통하여 접착성 시트가 상기 피착체에 첩부된 상태에서 상기 세퍼레이터를 박리한다는 구성에 적용하면 된다.
또한, 본 발명은 일방의 면이 세퍼레이터로 피복된 접착제층을 가지는 접착성 시트를 피착체에 첩부한 상태에서, 상기 세퍼레이터를 접착제층으로부터 박리하는 박리 방법으로서,
상기 피착체를 테이블에 지지시키는 공정과,
상기 세퍼레이터의 단부를 니들로 상면으로부터 찌르는 공정과,
상기 니들이 세퍼레이터를 찌를 때에 당해 세퍼레이터에 흡착 패드를 통하여 흡착력을 부여하는 공정과,
상기 니들을 변위시켜 상기 세퍼레이터에 박리 시작부를 형성하는 공정과,
상기 세퍼레이터를 흡착한 상태에서 상기 흡착 패드와 피착체를 상대적으로 이간시켜 상기 세퍼레이터를 접착제층으로부터 박리하는 공정을 포함하는 것이다.
본 발명에 의하면, 상기 니들로 박리 시작부를 형성하고, 흡착 수단이 흡착력을 세퍼레이터에 부여하여 피착체로부터 이간하는 구성으로 한 점에서, 세퍼레이터는 흡착 수단에 유지된 상태에서 박리되게 된다. 따라서, 세퍼레이터의 박리를 확실하게 행할 수 있음과 아울러, 당해 세퍼레이터를 규칙적으로 회수하는 것이 가능해진다. 또한, 니들은 박리의 초기 동작에서 이용되는 것이기 때문에, 다음 세퍼레이터를 박리하는 동작으로 이행하는 것이 가능해진다.
또, 흡착 패드는 제2 회전 중심축을 중심으로 한 회전 반경이 제1 회전 중심축을 중심으로 한 회전 반경보다 짧게 설정되는 구성을 채용한 경우에는, 제2 회전 중심축을 중심으로 하는 흡착 패드의 회전에 의해, 흡착에 의한 초기의 박리 방향을 세퍼레이터의 면에 대하여 경사진 방향으로 설정하기 쉬워져, 가장 박리 저항이 큰 초기의 박리 동작을 원활하게 행할 수 있다.
또한, 니들이 평면에서 보아 흡착 패드의 중심을 통과하는 선 상에서 세퍼레이터를 찌르는 구성에서는, 니들에 의해 세퍼레이터의 단부를 들어올리려는 힘과, 흡착 패드에 의한 초기의 흡착력을 서로 작용시킬 수 있어, 박리 시작부를 확실하게 형성하여 박리 불량을 미연에 방지할 수 있다.
또, 니들이 X, Y, Z축 구동 장치를 통하여 지지되는 구성에서는, 미리 설정 가능한 이동 궤적을 따라 니들이 변위하도록 구동 장치를 구동시킴으로써, 세퍼레이터를 니들로 찔러 박리 시작부를 형성하는 동작을 행하게 할 수 있고, 테이블 및 피착체를 평면 내에서 이동시키지 않고 박리를 행할 수 있다.
또, 접착제층이 열용융성 반응계 접착제이면, 세퍼레이터가 접착제층에 찔린 경우에 형성될 수 있는 핀홀은 판형상 부재의 첩합시에 용융에 의해 메워지게 되고, 판형상 부재의 적층 후에 그들 판형상 부재 사이에 기포가 남아버리는 것 같은 문제를 회피할 수 있다.
또한, 상기 열용융성 반응계 접착제는 가열함으로써 용융하여 유동성을 발현하여 피착체를 적시는 것인데, 경화 반응은 용융한 상태의 것에 더욱 에너지를 가함으로써 진행한다. 본 발명에 있어서 상기 에너지에 특별히 제한은 없지만, 이 에너지로서는 가열, 활성광 조사 등을 들 수 있고, 피착체에 대한 영향이나 생산성의 점 등으로부터 활성광 조사가 특히 바람직하다.
도 1은 본 실시형태의 박리 장치의 개략 정면도.
도 2는 박리 대상을 나타내는 개략 사시도.
도 3은 박리 동작을 개시하는 상태를 나타내는 주요부 정면도.
도 4는 도 1의 일부 개략 평면도.
도 5는 박리 시작부를 형성한 상태를 나타내는 주요부 정면도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1에 있어서, 첩부 장치(10)는 일방의 면이 세퍼레이터(11)로 피복된 접착제층(12)을 가지는 접착성 시트(S)를 피착체로서의 기판(13)에 첩부한 상태에서, 상기 세퍼레이터(11)를 접착제층(12)으로부터 박리하는 장치로서 구성되어 있다. 세퍼레이터(11)는 일반적으로 박리 시트라고 불리는 것과 실질적으로 동일한 것이며, 재질로서는 폴리에틸렌테레프탈레이트 등이 예시된다. 당해 세퍼레이터는 접착제층(12)측의 면이 박리 처리된 두께 10μm~60μm, 특히 바람직하게는 50μm 정도의 필름에 의해 구성되어 있다. 또, 접착제층(12)은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 열용융성 반응계 접착제에 의해 구성되고, 그 층두께가 10~40μm, 특히 바람직하게는 20μm 정도로 되어 있다. 접착성 시트(S)는 본 실시형태에서는, 도 2에 나타내는 바와 같이 기판(13)의 복수 개소에 동일 크기, 등간격을 두고 복수 개소에 첩부되어 있다.
상기 박리 장치(10)는 기판(13)을 지지하는 테이블(15)과, 세퍼레이터(11)의 단부를 상면으로부터 찌르는 니들(16)과, 세퍼레이터(11)에 박리 시작부(11A)(도 5 참조)를 형성하도록 상기 니들(16)을 변위 가능하게 지지하는 지지 수단(18)과, 세퍼레이터(11)를 흡착하는 흡착 수단(19)과, 흡착 수단(19)에 흡착된 세퍼레이터(11)를 회수하는 회수 수단(20)과, 이들 수단 등을 전체적으로 제어하는 도시하지 않는 제어 장치를 구비하여 구성되어 있다.
상기 테이블(15)은 내부에 도시하지 않는 챔버와, 당해 챔버에 연통하여 테이블(15)의 상면에 개통하는 다수의 흡착 구멍을 구비하고, 상기 챔버에 접속된 도시하지 않는 감압 펌프의 구동에 의해 기판(13)을 흡착하여 당해 기판(13)을 고정적으로 지지할 수 있도록 설치되어 있다. 이 테이블(15)은 하면측에 위치하는 직동 모터(M1)를 통하여 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다.
상기 니들(16)은 세퍼레이터(11)의 단부를 상방으로부터 찌르고, 당해 단부를 접착제층(12)으로부터 떨어지는 상방으로 끌어올리도록 동작하여 박리 시작부(11A)를 형성하도록 되어 있다. 이 니들(16)은 도 1 중 지면 직교 방향을 따라 복수, 본 실시형태에서는 3개 사용되고 있고(도 4 참조), 그들의 상단은 조정 손잡이(24A)를 통하여 돌출 길이가 조정 가능하게 되는 상태에서 유지 블록(24)에 유지되어 있다. 니들(16)은 도 3에 나타내는 바와 같이 그 경사 각도(θ)가 45°~60°의 범위 내로 설정되어 있다. 45° 미만에서는 세퍼레이터(11) 상을 미끄러져 당해 세퍼레이터(11)에 찌르기 어렵게 되고, 60°를 넘으면 박리 시작부(11A)를 형성할 때의 저항이 지나치게 커지기 때문이다. 또, 니들(16)이 세퍼레이터(11)를 찌르는 위치는 도 3에 나타내는 바와 같이 세퍼레이터(11)의 단 가장자리로부터 거리(L1) 떨어진 내측이 바람직하고, L1으로서는 약1mm를 예시할 수 있다.
상기 지지 수단(18)은 니들(16)을 지지하는 블록(24) 외에, 당해 블록(24)을 도 1 중 좌우 방향으로 이동 가능하게 지지하는 X축 모터(30)와, 이 X축 모터(30)를 상하 방향으로 이동 가능하게 지지하는 Z축 모터(31)와, 당해 Z축 모터(31)를 도 1 중 지면 직교 방향(Y축 방향)으로 이동 가능하게 지지하는 Y축 모터(33)를 포함한다. Y축 모터(33)는 도시하지 않는 프레임을 통하여 지지되어 있다. 따라서, 니들(16)은 X축, Y축 및 Z축의 직교 3축 방향으로 변위 가능하게 된다.
상기 흡착 수단(19)은 도시하지 않는 감압 펌프에 접속된 흡착 패드(35)를 포함하여 구성되어 있다. 이 흡착 패드(35)는 상기 니들(16)의 개수에 대응하도록 3개를 1세트로 하여 회전 블록(37)에 지지되어 있고(도 4 참조), 당해 회전 블록(37)은 암(38)의 자유단측에 상대 회전 가능하게 지지되어 있다. 암(38)은 모터(M2)를 통하여 연직면 내에서 회전 가능하게 되고, 회전 블록(37)은 암(38)의 자유단측에 설치된 모터(M3)를 통하여 연직면 내에서 회전 가능하게 되어 있다. 또, 암(38)은 도 1 중 지면 직교 방향을 따라 한 쌍을 이루는 관계로 배치되고, 이들 암(38)의 자유단측 사이에 상기 회전 블록(37)이 위치하도록 되어 있다. 본 실시형태에 있어서의 흡착 수단(19)은 Y축 방향을 따라 복수 설치되어 있고, Y축 방향으로 늘어서는 세퍼레이터마다 각 흡착 수단(19)이 대응하도록 구성되어 있다.
상기 흡착 패드(35)는 모터(M2)의 출력축(40)을 제1 회전 중심축으로 하여 도 1 중 화살표 A1 방향으로 회전 가능하게 되어 있다. 또, 상기 모터(M3)의 출력축(41)을 제2 회전 중심축으로 하여 화살표 A2 방향으로 회전 가능하게 되어 있으며, 이것에 의해, 흡착 패드(35)가 기판(13)의 상면에 대하여 이간 접근 가능하게 되어 있다. 또, 모터(M3)의 출력축(41)을 중심으로 하는 흡착 패드(35)의 회전 반경은 모터(M2)의 출력축(40)을 중심으로 하는 흡착 패드(35)의 회전 반경보다 짧게 설정되어 있다. 제2 회전 중심축을 구성하는 출력축(41)의 위치는 박리를 행하는 세퍼레이터(11)의 면내 상방에 위치 가능하게 되어 있는 한편, 제1 회전 중심축을 구성하는 출력축(40)의 위치는 당해 세퍼레이터(11)의 상면으로부터 벗어난 외측 상방으로 설정되어 있다. 따라서, 흡착 패드(35)가 세퍼레이터(11)를 흡착하여 후술하는 박리력을 부여할 때의 박리 방향을 화살표 A2의 방향으로 크게 경사지게 하여 초기의 박리력을 효과적으로 작용시킬 수 있는 한편, 박리가 개시된 후, 완전 박리를 행할 때에, 암(38)을 화살표 A1 방향으로 회전시킴으로써 세퍼레이터(11)의 신속한 박리를 행할 수 있게 된다. 또한, 흡착 패드(35)가 세퍼레이터(11)를 흡착하는 위치는 도 3에 나타내는 바와 같이 세퍼레이터(11)의 단 가장자리로부터 L2 떨어진 내측으로 되어 있고, L2로서는 약2mm를 예시할 수 있다. 따라서, 흡착 위치의 가장 단 가장자리에 가까운 위치와 니들(11)이 찌르는 위치의 거리는 약1mm가 된다.
상기 회수 수단(20)은 상기 암(38)이 도 1 중 2점쇄선으로 나타내는 위치로 회전 변위했을 때에, 그 자유단 상방에 위치하는 흡착 벨트(45)와, 당해 흡착 벨트(45)의 하면측에 위치하는 반송 벨트(46)를 포함하여 구성되어 있다. 흡착 벨트(45)는 흡착 패드(35)에 흡착된 세퍼레이터(11)를 일시적으로 흡착한 상태에서 반송 벨트(46)측에 세퍼레이터(11)를 이동시켜 당해 반송 벨트(46)와의 사이에 끼우고, 끼워진 세퍼레이터(11)는 반송 방향 하류측에 설치된 도시하지 않는 회수 박스에 회수된다. 또한, 여기서는 도시를 생략하고 있지만, 상기 암(38)의 자유단측에는 롤러가 설치되어 있고, 당해 롤러는 암(38)이 도 1 중 2점쇄선으로 나타내는 위치로 변위했을 때에, 흡착 벨트(45)와의 사이에 박리된 세퍼레이터(11)를 끼우도록 되어 있다. 그리고, 이 롤러는 흡착 벨트(45)가 회전함으로써 종동 회전하여 세퍼레이터(11)를 반송 벨트(46)측에 확실하게 송출하도록 작용한다.
다음에 상기 박리 장치(10)를 사용한 박리 방법에 대해 설명한다.
전공정에 있어서, 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판(13)에 접착성 시트(S)가 소정 위치에 첩부되어 박리 대상이 형성되고, 당해 박리 대상이 테이블(15)의 상면에 얼라이먼트된다.
니들(16)은 예를 들면 도 1 중 2점쇄선으로 나타내는 위치에 대기하는 한편, 흡착 패드(35)는 동 도면 중 실선으로 나타내는 위치보다 상방 위치에서 대기한다.
박리 대상을 지지한 테이블(15)이 직동 모터(M1)를 통하여 도 1 중 우측으로부터 이동하여 실선 위치에 도달한 것이 도시하지 않는 센서에 의해 검출됨으로써, 직동 모터(M1)가 구동을 정지하고, 그 후에 박리 동작으로 이행한다.
즉, 지지 수단(18)을 구성하는 Y축 모터(33)가 구동하여, 박리를 행해야 할 최초의 세퍼레이터(11)의 단부에 대응하는 위치에 유지 블록(24)이 위치하도록 Z축 모터를 Y축 방향으로 이동시킨다.
다음에 X축 모터(30) 및 Z축 모터(31)를 구동하여 도 1 중 2점쇄선으로 나타내는 위치로부터 실선으로 나타내는 위치에 유지 블록(24)을 변위시키고, 이것에 의해 니들(16)이 세퍼레이터(11)을 찌르게 된다. 이 찌름 깊이는 니들(16)의 선단이 접착제층(12)에 이르는 위치까지 행하도록 설정하는 것 외에, 접착제층(12)에 이르지 않는 깊이로 제한할 수도 있다.
니들(16)이 세퍼레이터(11)를 찌를 때에는, 흡착 패드(35)가 세퍼레이터(11)에 접하는 위치까지 회전 변위하고, 흡착력을 부여한 상태에서, 흡착 패드(35)를 예를 들면 약1mm 정도 상방으로 변위시킨다. 이 변위는 제2 모터(M3)를 구동하여 회전 블록(37)을 회전시킴으로써 행해진다. 이 때, 니들(16)과 흡착 패드(35)의 상대 위치는 도 4에 나타내는 바와 같이 니들(16)이 평면에서 보아 흡착 패드(35)의 중심을 통과하는 선 상에 위치하도록 되어 있다.
이 상태에서, 니들(16)이 도 5 중 2점쇄선 위치(초기 찌름 위치)로부터 동 도면 중 실선으로 나타내는 위치로 변위함으로써, 세퍼레이터(11)의 단부에 대하여, 상방으로 젖혀올리는 힘을 부여하고, 흡착 패드(35)가 흡착력을 부여하면서 상방으로 약1mm 변위하는 동작이 서로 작용하여 박리 시작부(11A)가 형성된다. 또한, 상기 흡착 패드(35)에 의한 흡착력은 감압 펌프에서의 감압 때문에 생기는 것이다.
이렇게 하여 박리 시작부(11A)가 형성되면, 흡착 패드(35)를 유지하는 회전 블록(37)이 도 1 중 화살표 A2를 따르는 우측 방향으로 회전하고, 동시에 니들(16)이 동 도면 중 좌측으로 후퇴함으로써, 흡착 패드(35)를 통하여 세퍼레이터(11)가 동 방향으로 박리되고, 니들(16)의 선단이 세퍼레이터(11)로부터 빠져나간다. 그리고, 암(38)이 화살표 A1 방향을 따르는 우측 방향을 따라 회전함으로써, 세퍼레이터(11)가 접착제층(12)으로부터 완전히 박리된다. 이 때, 테이블(13)은 정지 위치를 유지한 상태이다.
본 실시형태에 있어서의 니들(16)은 3개 사용되어 있고, 이것에 대응하는 각 흡착 패드(35)는 각각 동일 동작을 행하게 된다. 따라서, 세퍼레이터(11)는 폭방향(Y축 방향)에 있어서의 복수 개소에서 박리력을 받음으로써, 세퍼레이터(11)의 폭에 대응한 박리를 행할 수 있다.
흡착 패드(35)에 흡착되어 완전히 박리된 세퍼레이터(11)는 상기 암(38)을 도 1 중 2점쇄선으로 나타내는 위치에 회전 변위시켰을 때에, 흡착 벨트(45)에 흡착된다. 이 때, 흡착 패드(35)는 예를 들면 복압(復壓) 등에 의해 그 흡착이 해제되도록 되어 있고, 이것에 의해, 세퍼레이터(11)는 흡착 벨트(45)에 흡착된 상태에서, 반송 벨트(46)측에 반송되어, 당해 반송 벨트(46)와의 사이에 세퍼레이터(11)가 끼워진 상태에서, 흡착 벨트(45)에 의한 흡착을 해제하여 반송 방향 하류측에 반송되고, 최종적으로 도시하지 않는 회수 박스에 회수된다.
이와 같이 1장의 세퍼레이터(11)가 박리되면, 니들(16)은 Y축 방향으로 이동하고, 1장째의 세퍼레이터(11)의 박리를 행한 흡착 수단(19)에 인접하는 흡착 수단(19)이 다음에 작동하고, 당해 흡착 수단(19)과 니들(16)이 서로 작용하여 마찬가지의 동작을 반복함으로써 다음 세퍼레이터(11)를 박리한다. 그리고, Y축 방향을 따르는 제1열째의 세퍼레이터(11)가 모두 박리되었을 때에, 테이블(15)이 도 1 중 좌측으로 이동하여 다음 열의 세퍼레이터(11)를 박리 위치에 위치시키고, 이후 마찬가지로 하여 박리를 반복한다.
따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 니들(16)에 의한 박리 시작부(11A)를 형성하면서 흡착 패드(35)로 세퍼레이터(11)를 박리하는 구성으로 했으므로, 당해 세퍼레이터(11)를 확실하게 박리할 수 있다는 효과를 얻는다.
본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은 이상의 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.
즉, 본 발명은 주로 특정의 실시형태에 관하여 특별히 도시하고 또한 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위에서 일탈하는 일 없이, 이상에 서술한 실시형태에 대하여 형상, 재료, 수량, 그 밖의 상세한 구성에 있어서 당업자가 다양한 변형을 더할 수 있는 것이다.
따라서, 상기에 개시한 형상 등을 한정한 기재는 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서 예시적으로 기재한 것이며, 본 발명을 한정하는 것이 아니므로, 그들 형상 등의 한정의 일부 혹은 전부의 한정을 제외한 부재의 명칭에서의 기재는 본 발명에 포함되는 것이다.
예를 들면, 상기 실시형태에서는, 흡착 패드(35)가 3개를 1세트가 되는 흡착 수단(19)을 Y축 방향을 따라 복수 설치한 경우를 도시, 설명했지만, 단일의 흡착 수단으로 하고, 이것을 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치하는 구성으로 해도 된다. 단, 상기 구성으로 하면, 박리된 세퍼레이터(11)를 회수 수단(20)측으로 이동시키는 동작을 행하고 있을 때에, 인접하는 흡착 수단을 통하여 다음 세퍼레이터(11)를 박리시키는 동작을 행할 수 있으므로, 박리 처리 시간을 단축함에 있어서 유리하게 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 단일의 기판(13)에 복수의 접착성 시트(S)가 첩부되어 있는 대상에 대해서 설명했지만, 1장의 접착성 시트(S)가 첩부된 것으로부터 세퍼레이터(11)를 박리하는 구성에도 적용 가능하다.
또한, 니들(16) 및 흡착 패드(35)의 수는 서로 대응하는 수이면, 증가, 감소가 무방하다. 요컨대 본 발명은 세퍼레이터(11)의 폭에 따라 니들(16) 및 흡착 패드(35)의 사용수를 결정하면 된다.
또, 상기 테이블(15)에 승강 기구를 설치하고, 당해 테이블(15)을 하강시켜 기판(13) 및 흡착 수단(19)에 대하여 상대적으로 이간시키는 구성을 채용해도 된다.
10…박리 장치 11…세퍼레이터
11A…박리 시작부 12…접착제층
13…기판(피착체) 15…테이블
16…니들 18…지지 수단
19…흡착 수단 30…X축 모터(X축 구동 장치)
31…Z축 모터(Z축 구동 장치) 33…Y축 모터(Y축 구동 장치)
35…흡착 패드 40…출력축(제1 회전 중심축)
41…출력축(제2 회전 중심축) S…접착성 시트

Claims (6)

  1. 일방의 면이 세퍼레이터로 피복된 접착제층을 가지는 접착성 시트를 피착체에 첩부한 상태에서, 상기 세퍼레이터를 접착제층으로부터 박리하는 박리 장치로서,
    상기 피착체를 지지하는 테이블과,
    상기 세퍼레이터의 단부를 상면으로부터 찌르는 니들과,
    상기 세퍼레이터에 박리 시작부를 형성하도록 상기 니들을 변위 가능하게 지지하는 지지 수단과,
    상기 세퍼레이터를 흡착하는 흡착 수단을 포함하고,
    상기 니들로 박리 시작부를 형성할 때에, 상기 흡착 수단으로 흡착력을 세퍼레이터에 부여하고, 박리 시작부가 형성되었을 때에 상기 흡착 수단과 피착체를 상대적으로 이간시켜 상기 세퍼레이터를 박리 가능하게 한 것을 특징으로 하는 박리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 흡착 수단은 소정의 감압 펌프에 접속된 흡착 패드를 포함하여 구성되고, 당해 흡착 패드는 제1 회전 중심축과, 제2 회전 중심축을 중심으로 하여 회전 가능하게 설치됨으로써 피착체에 대하여 이간 접근 가능하게 되고, 상기 제2 회전 중심축을 중심으로 하는 흡착 패드의 회전 반경은 상기 제1 회전 중심축을 중심으로 하는 흡착 패드의 회전 반경보다 짧은 것을 특징으로 하는 박리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 니들은 평면에서 보아 상기 흡착 패드의 중심을 통과하는 선 상에서 상기 세퍼레이터를 찌르는 것을 특징으로 하는 박리 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 니들은 X, Y, Z축 구동 장치를 통하여 지지되고, 이들 구동 장치를 구동함으로써, 상기 찌름, 박리 시작부의 형성 동작을 행하는 것을 특징으로 하는 박리 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 접착제층은 열용융성 반응계 접착제이며, 당해 접착제층을 통하여 접착성 시트가 상기 피착체에 첩부된 상태에서 상기 세퍼레이터를 박리하는 것을 특징으로 하는 박리 장치.
  6. 일방의 면이 세퍼레이터로 피복된 접착제층을 가지는 접착성 시트를 피착체에 첩부한 상태에서, 상기 세퍼레이터를 접착제층으로부터 박리하는 박리 방법으로서,
    상기 피착체를 테이블에 지지시키는 공정과,
    상기 세퍼레이터의 단부를 니들로 상면으로부터 찌르는 공정과,
    상기 니들이 세퍼레이터를 찌를 때에 당해 세퍼레이터에 흡착 패드를 통하여 흡착력을 부여하는 공정과,
    상기 니들을 변위시켜 상기 세퍼레이터에 박리 시작부를 형성하는 공정과,
    상기 박리 시작부를 형성할 때에, 상기 세퍼레이터에 흡착한 상태에서 상기 흡착 패드와 피착체를 상대적으로 이간시켜 상기 세퍼레이터를 접착제층으로부터 박리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 박리 방법.
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