KR101445707B1 - Optical system and method for extracting three dimension information using the same - Google Patents

Optical system and method for extracting three dimension information using the same Download PDF

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Abstract

대상물로부터 입사되는 광의 각도 변화에 따라 동일 위치로 광을 출사하도록 광경로를 형성하는 제1서브 시스템; 제1서브 시스템에서 출사되는 광의 광경로 거리를 조절하여 상기 대상물로부터 입사되는 전체 광경로 거리를 동일하게 형성하는 제2서브 시스템; 제2서브 시스템에서 출사되는 광을 촬상하는 카메라부; 카메라부를 통해 촬상된 영상을 이용하여 대상물에 포함된 3차원 형상의 특징점을 확인하고, 제1서브 시스템을 움직이게 하여 확인된 3차원 형상의 특징점을 측정하는 제어부;를 포함하는 광학 시스템 및 이 광학 시스템을 이용한 3차원 정보 추출 방법을 개시한다.A first subsystem for forming an optical path for emitting light to the same position according to an angle change of light incident from the object; A second subsystem that adjusts an optical path distance of light emitted from the first subsystem to form the same total optical path distance from the object; A camera section for capturing light emitted from the second subsystem; And a control unit for checking the feature points of the three-dimensional shape included in the object using the image captured through the camera unit and measuring the feature points of the three-dimensional shape confirmed by moving the first subsystem, Dimensional information extraction method.

Description

광학 시스템 및 이를 이용한 3차원 정보 추출 방법{OPTICAL SYSTEM AND METHOD FOR EXTRACTING THREE DIMENSION INFORMATION USING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an optical system and a three-dimensional information extraction method using the optical system.

본 발명은 단차 또는 요철 구조와 같은 3차원 형상의 특징점을 갖는 대상물에 대한 3차원 정보를 용이하게 추출할 수 있는 광학 시스템 및 이를 이용한 3차원 정보 추출 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an optical system capable of easily extracting three-dimensional information on an object having three-dimensional feature points such as a step or a concave-convex structure, and a three-dimensional information extraction method using the same.

일반적으로 광학 현미경에서는 대물 렌즈와 대안렌즈(또는 접안렌즈)의 상대적인 위치가 고정되어 있어 대물 렌즈의 초점 평면의 광축 부근의 시료 관측만이 가능하다. Generally, in the optical microscope, the relative positions of the objective lens and the alternative lens (or eyepiece) are fixed, and only the observation of the sample in the vicinity of the optical axis of the focus plane of the objective lens is possible.

시료의 임의의 부분을 임의의 각도로 관찰하거나 전후좌우의 이동된 시료 위치를 관찰하기 위해서는 시료를 이동시키거나 기울일 수 밖에 없어 불편함을 야기할 뿐 아니라, 요철이 심하거나 매우 크고 무거운 대상물, 예를 들어, 사람이나 동물의 몸체 또는 기계 몸체 등의 경우에는 제약이 심하거나 이동 또는 기울이는 것이 실질적으로 불가능한 경우도 있다.In order to observe an arbitrary portion of the sample at an arbitrary angle or to observe the positions of the moved samples in the front and rear, left and right, it is inconvenient to move or tilt the sample. In addition, For example, in the case of a human body, an animal body, or a machine body, it is practically impossible to restrict movement or tilt.

시료 또는 대상물에 레이저 등을 조사하여 가공하기 위한 광조사 장치에 있어서도 광원으로부터 나오는 광을 광학계를 이용하여 시료 또는 대상물에 조사하고자 할 때에도, 사각에 대한 광의 조사나 이동된 시료 위치에 광을 조사하기 위하여 시료의 이동이나 광학계와 광원의 이동 없이는 상기와 같은 현미경에서와 유사한 제약이 따른다.Even in a light irradiating apparatus for irradiating a sample or an object with a laser or the like, it is also possible to irradiate a sample or an object with light emitted from the light source, There is a similar restriction to the above-mentioned microscope without moving the sample or moving the optical system and the light source.

상기의 문제점을 해결하기 위한 광학 시스템 및 그 작동 방법이 대한민국 등록특허 10-1056484호에 개시되어 있다.An optical system and an operation method thereof for solving the above problems are disclosed in Korean Patent No. 10-1056484.

개시된 광학 시스템은 입사되는 광의 각도 변화에 따라 동일 위치로 광을 출사하도록 광경로를 형성하는 제1서브 시스템과, 입사되는 광의 광경로 거리를 조절하여 광을 출사하도록 광경로를 형성하는 제2서브 시스템을 포함한다. 그리고 상기와 같은 구성을 갖는 광학 시스템은 대상물로부터 제1서브 시스템을 경유하여 제2서브 시스템에 이르는 전체 광경로 거리가 동일하도록 형성하여, 대상물의 관찰자 또는 대상물에 광을 조사하는 장치의 광원의 움직임 없이 대상물에 대한 서로 다른 각도에서 대상물을 관찰하거나 대상물에 광을 조사하는 것을 특징으로 한다.The disclosed optical system includes a first sub-system for forming an optical path for emitting light to the same position according to an angle change of incident light, a second sub-system for forming an optical path for adjusting the optical path distance of the incident light, System. The optical system having the above configuration is formed so that the entire optical path length from the object to the second subsystem via the first subsystem is the same so that the movement of the light source of the apparatus for irradiating the light to the observer or the object of the object And observing the object at different angles with respect to the object or irradiating the object with light.

그러나 상기의 광학 시스템은 대상물이 단차 또는 요철 구조와 같은 3차원 형상의 특징점을 포함할 경우 3차원 정보를 추출하는 것이 어려운 단점을 갖는다.However, the above-described optical system has a disadvantage in that it is difficult to extract three-dimensional information when the object includes feature points of a three-dimensional shape such as a step or a concave-convex structure.

본 발명의 실시예는 대상물을 디스플레이장치에 3차원 정보를 추출하는 것이 용이한 광학 시스템 및 그 작동 방법을 제공한다.An embodiment of the present invention provides an optical system and an operation method thereof, in which it is easy to extract three-dimensional information from an object on a display device.

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본 발명의 실시예에 따른 웨지 프리즘 또는 직각 프리즘을 포함하는 광편향 모듈과, 상기 광편향 모듈을 좌우 이동시키고 상기 광편향 모듈의 프리즘의 극각(polar angle) 또는 방위각(azimuth angle)을 변화시켜 대상물(P1)으로부터 입사되는 광의 각도 변화에 따라 동일 위치(P2)로 광을 출사하게 하는 제1기구물을 포함하는 제1서브 시스템;
상기 P2에 위치하는 제1프리즘과, 상기 제1프리즘으로부터 입사되는 광을 전달받아 출사하되, 입사광과 출사광이 평행을 이루게 하는 제2프리즘과, 상기 제2프리즘으로부터 입사되는 광을 전달받아 출사하는 제3프리즘과, 상기 제1서브 시스템으로부터 입사되는 광의 거리 변화 또는 광의 각도 변화에 따라 상기 제2프리즘을 이동시킴에 따라 상기 제1프리즘과 상기 제2프리즘 사이의 거리 및 상기 제2프리즘과 상기 제3프리즘 사이의 거리를 조절하여 상기 대상물로부터 입사되는 전체 광경로 거리를 동일하게 하는 제2기구물을 포함하는 제2서브 시스템;
상기 제2서브 시스템에서 출사되는 광을 촬상하는 카메라부;
상기 카메라부를 통해 촬상된 영상을 이용하여 대상물에 포함된 3차원 형상의 특징점을 확인하고, 상기 제1서브 시스템을 움직이게 하여 확인된 상기 3차원 형상의 특징점에 대한 정보를 추출하는 제어부; 및
추출된 상기 3차원 형상의 특징점에 대한 정보를 포함하는 대상물을 상기 제어부에 의해 3차원 영상으로 표시하는 표시부;를 포함하는
광학 시스템을 이용하여 대상물에 대한 3차원 정보를 추출하는 방법은,
상기 제2서브 시스템에서 출사되는 광을 상기 카메라부를 통해 촬상하여 표시하는 단계;
상기 표시된 영상을 이용하여 대상물에 포함된 3차원 형상의 특징점을 확인하는 단계; 및
확인된 상기 3차원 형상의 특징점을 상기 제1서브 시스템을 움직여 측정하는 단계;를 포함할 수 있다.A light deflection module including a wedge prism or a right angle prism according to an embodiment of the present invention; and an optical deflection module for moving the optical deflection module left and right and changing a polar angle or an azimuth angle of the prism of the optical deflection module, A first sub-system including a first mechanism for causing light to emit to the same position (P2) in accordance with an angle change of light incident from the first sub-system (P1);
A second prism that receives the light incident from the first prism and emits the light; and a second prism that receives incident light and emitted light in parallel, and a second prism that receives light from the second prism, A distance between the first prism and the second prism and a distance between the first prism and the second prism are changed according to a distance change of light incident from the first subsystem or an angle change of light, A second subsystem including a second mechanism that adjusts the distance between the third prisms to equalize the total light path distance incident from the object;
A camera unit for capturing light emitted from the second subsystem;
A control unit for identifying feature points of the three-dimensional shape included in the object using the image captured through the camera unit and extracting information about the feature points of the three-dimensional shape identified by moving the first subsystem; And
And a display unit for displaying the object including the extracted feature points of the three-dimensional shape by the control unit as a three-dimensional image
A method for extracting three-dimensional information on an object using an optical system includes:
Imaging the light emitted from the second subsystem through the camera unit and displaying the light;
Identifying a feature point of a three-dimensional shape included in an object using the displayed image; And
And measuring the identified feature point of the three-dimensional shape by moving the first subsystem.

상기 3차원 형상의 특징점을 확인하는 단계는,The step of identifying feature points of the three-

상기 카메라부를 통해 촬상되어 표시되는 상기 3차원 형상의 특징점에 대한 경계면을 상기 제어부에서 받는 것을 특징으로 한다.And the control unit receives a boundary surface of the three-dimensional shape feature point captured and displayed through the camera unit.

상기 3차원 형상의 특징점을 확인하는 단계는,The step of identifying feature points of the three-

상기 카메라부를 통해 촬상되어 표시되는 상기 3차원 형상의 특징점에 대한 경계면을 상기 제어부가 인식하여 확인하는 것을 특징으로 한다.And the control unit recognizes and confirms a boundary surface of the three-dimensional shape feature points captured and displayed through the camera unit.

상기 3차원 형상의 특징점을 측정하는 단계는,The step of measuring the feature points of the three-

상기 제어부의 제어에 의해 상기 확인된 특징점에 대한 관찰 각도를 변화시켜 수행하는 것을 특징으로 한다.And controlling the control unit to change the observation angle of the identified feature point.

본 기술에 의하면, 카메라부를 통해 촬상된 영상을 이용하여 대상물에 포함된 3차원 형상의 특징점을 확인하고, 제1서브 시스템을 3차원 형상의 특징점을 기준으로 좌우로 움직이게 하여 확인된 3차원 형상의 특징점을 측정함에 따라, 3차원 형상의 특징점을 포함하는 대상물을 원활하게 3차원 영상으로 표시할 수 있다.According to the present invention, the feature points of the three-dimensional shape included in the object are identified using the image captured through the camera unit, and the first subsystem is moved left and right with respect to the three- By measuring the minutiae points, the object including the minutiae of the three-dimensional shape can be smoothly displayed as a three-dimensional image.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템의 구성을 설명하기 위해 도시한 블록도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템의 일 예를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템에서 동일 위치로의 광의 출사를 설명하기 위한 일례이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템에서 동일 위치로의 광의 출사를 설명하기 위한 다른 예이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템에서 제2서브 시스템의 동작을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템에서 제1,2서브 시스템을 경유하는 광의 카메라부로 입사되는 과정을 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템을 이용하야 시료에 대한 3차원 영상을 구현하는 방법을 설명하기 위해 도시한 블록도이다.
도 9a는 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템에서 단차 구조를 갖는 시료를 측정하는 과정을 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 9b는 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템에서 대물 렌즈(제1서브 시스템)가 도 9a의 A 위치일 때 제1표시부에 표시되는 영상을 도시한 도면이다.
도 9c는 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템에서 대물 렌즈(제1서브 시스템)가 도 9a의 B 위치일 때 제1표시부에 표시되는 영상을 도시한 도면이다.
도 10a는 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템에서 요철 구조를 갖는 시료를 측정하는 과정을 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 10b는 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템에서 대물 렌즈(제1서브 시스템)가 도 10a의 C 위치일 때 제1표시부에 표시되는 영상을 도시한 도면이다.
도 10c는 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템에서 대물 렌즈(제1서브 시스템)가 도 10a의 D 위치일 때 제1표시부에 표시되는 영상을 도시한 도면이다.
도 10d는 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템에서 대물 렌즈(제1서브 시스템)가 도 10a의 E 위치일 때 제1표시부에 표시되는 영상을 도시한 도면이다.1 is a block diagram for explaining a configuration of an optical system according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram showing an example of an optical system according to an embodiment of the present invention.
3 is an example for explaining the emission of light to the same position in the optical system according to the embodiment of the present invention.
Fig. 4 is another example for explaining the emission of light to the same position in the optical system according to the embodiment of the present invention.
5 and 6 are diagrams for explaining the operation of the second subsystem in the optical system according to the embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a view illustrating a process of entering light into a camera unit of light passing through the first and second subsystems in an optical system according to an embodiment of the present invention.
8 is a block diagram illustrating a method of implementing a three-dimensional image of a sample using an optical system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 9A is a view illustrating a process of measuring a sample having a step structure in an optical system according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 9B is a diagram showing an image displayed on the first display unit when the objective lens (first subsystem) in the optical system according to the embodiment of the present invention is at the A position in FIG. 9A.
FIG. 9C is a diagram showing an image displayed on the first display unit when the objective lens (first subsystem) in the optical system according to the embodiment of the present invention is the B position in FIG. 9A. FIG.
FIG. 10A is a view illustrating a process of measuring a sample having a concavo-convex structure in an optical system according to an embodiment of the present invention.
10B is a view showing an image displayed on the first display unit when the objective lens (first subsystem) in the optical system according to the embodiment of the present invention is at the C position in FIG. 10A.
10C is a view showing an image displayed on the first display unit when the objective lens (first subsystem) in the optical system according to the embodiment of the present invention is at the D position in FIG. 10A.
10D is a view showing an image displayed on the first display unit when the objective lens (first subsystem) in the optical system according to the embodiment of the present invention is at the E position in FIG. 10A.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 통해 설명될 것이다. 그러나 본 발명은 여기에서 설명되는 실시 예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 단지, 본 실시 예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여 제공되는 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and how to accomplish it, will be described with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. The embodiments are provided so that those skilled in the art can easily carry out the technical idea of the present invention to those skilled in the art.

도면들에 있어서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니며 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 본 명세서에서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미 한정이나 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 권리 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.In the drawings, embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown and are exaggerated for clarity. Although specific terms are used herein, they are used for the purpose of describing the invention and are not used to limit the scope of the invention as defined in the claims or the meaning of the claims.

본 명세서에서 '및/또는'과 같은 표현은 전후에 나열된 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용된다. 또한, '연결되는' 또는 '결합되는'과 같은 표현은 다른 구성요소와 직접적으로 연결되거나 다른 구성요소를 통해서 간접적으로 연결되는 것을 포함하는 의미로 사용된다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또, 명세서에서 사용되는 '포함한다' 또는 '포함하는'으로 언급된 구성요소, 단계, 동작 및 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및 소자의 존재 또는 추가를 의미한다.
The expression " and / or " is used herein to mean including at least one of the elements listed before and after. Also, expressions such as " connected " or " coupled " are used to mean either directly connecting to another element or indirectly connecting through another element. The singular forms herein include plural forms unless the context clearly dictates otherwise. Also, the terms "comprises" or "comprising" used in the specification mean the presence or addition of one or more other elements, steps, operations and elements.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다. 이때, 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템은 광학 현미경 또는 실체 형미경뿐만 아니라 시료를 가공하기 위한 광조사 장치의 광학계에 적용될 수 있으며, 이하의 실시예에서는 광학 현미경을 예로 들어 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Here, the optical system according to the embodiment of the present invention can be applied not only to an optical microscope or an actual microscope but also to an optical system of a light irradiation apparatus for processing a sample. In the following embodiments, an optical microscope will be described as an example.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 광학 시스템은 제1서브 시스템(10)과, 제2서브 시스템(20)과, 카메라부(30)와, 표시부(40) 및 제어부(50)를 포함한다.1, an optical system according to an embodiment of the present invention includes a first subsystem 10, a second subsystem 20, a camera unit 30, a display unit 40, and a control unit 50, .

구체적으로, 제1서브 시스템(10)은 입사되는 광의 각도 변화에 따라 동일 위치로 광을 출사하도록 광경로를 형성한다. 예를 들어, 시료(대상물)로부터 오는 광을 입사 받는 대물 렌즈가 제1서브 시스템(10)에 결합될 수 있다. 이때의 대물 렌즈는 좌우 이동하면서 위치 변화할 수 있으며, 극각(Polar angle) 또는 방위각(Azimuth angle)이 유동적으로 가변되도록 좌우 이동할 수 있다. Specifically, the first subsystem 10 forms an optical path for emitting light to the same position in accordance with the angle change of the incident light. For example, an objective lens for receiving light from a sample (object) can be coupled to the first subsystem 10. At this time, the objective lens can be moved in the left and right directions, and can be moved left and right so that a polar angle or an azimuth angle can be flexibly changed.

상기의 제1서브 시스템(10)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상하로 배치되는 제1,2광편향 모듈(111,113)을 포함한다. The first subsystem 10 includes first and second optical deflection modules 111 and 113 arranged in the vertical direction as shown in FIGS.

제1광편향 모듈(111)은 대물 렌즈로부터 입사되는 광의 각도에 따라 고정축(예를 들면, 제1광편향 모듈(111)의 프리즘들이 좌우움직임 범위의 중심에 있을 때 시료로부터 제1광편향 모듈(111)의 프리즘들의 중심을 연결하는 축으로서, 여기서는 P1과 P2를 연결하는 축에 해당)으로부터 기울어진 광을 고정축과 평행한 광으로 경로를 바꾼다. The first optical deflection module 111 is configured to deflect the first optical deflection module 111 from the sample when the prism of the first optical deflection module 111 is located at the center of the left and right movement range according to the angle of the light incident from the objective lens, (Corresponding to an axis connecting the centers of the prisms of the module 111, which correspond to the axis connecting P1 and P2 here) is changed to light that is parallel to the fixed axis.

제2광편향 모듈(113)은 고정축과 평행한 광을 한점의 동일 위치(P2)로 출사하도록 경로를 바꾼다.The second optical deflection module 113 changes the path so that light parallel to the fixed axis is emitted at the same position P2 of one point.

상기의 제1광편향 모듈(111)과 제2광편향 모듈(113)은 두 개의 웨지(Wedge) 프리즘(111a,111b,113a,113b)을 각각 포함한다. 웨지 프리즘은 원기둥의 중간을 절단한 쐐기 형태로서, 원기둥의 밑면을 통하여 들어오는 강을 그 움직임 각도에 따라 단면으로 나가는 광의 방향을 바꾸어 줄 수 있도록 한다. The first optical deflection module 111 and the second optical deflection module 113 include two wedge prisms 111a, 111b, 113a, and 113b, respectively. The wedge prism is a wedge shape cut in the middle of a cylinder, and can change the direction of the light that goes through the bottom of the cylinder to the section according to the angle of its movement.

더불어 제1서브 시스템(10)은 도 4에 도시된 바와 같이, 웨지 프리즘 대신에 직각 프리즘(121a,121b,123a,123b)을 포함하는 제1,2광편향 모듈(121,123)이 사용될 수도 있다. In addition, as shown in FIG. 4, the first subsystem 10 may use first and second optical deflection modules 121 and 123 including right angle prisms 121a, 121b, 123a and 123b instead of a wedge prism.

이러한 직각 프리즘(121a,121b,123a,123b) 역시 상술한 웨지 프리즘과 마찬가지로 대물 렌즈로부터 입사되는 거리 변화에 따라 동일 위치(P2)로 광을 출사하게 한다.These right-angle prisms 121a, 121b, 123a, and 123b also emit light at the same position P2 in accordance with a distance change from the objective lens, like the wedge prism described above.

또, 제1서브 시스템(10)은 도면에 도시되지는 않았지만 하나의 광편향 모듈을 포함할 수도 있다.Also, the first subsystem 10 may include one optical deflection module (not shown).

다시 말하면, 제1서브 시스템(10)은 시료의 위치 P1에서 오는 광의 각도 변화에 따라 그 극각 또는 방위각이 유동적으로 가변되게 제1기구물에 장착된 프리즘들의 위치를 변화시킬 수 있으며, 시료로부터 입사되는 광의 각도 변화에 따라 고정축으로부터 기울어진 광을 직접 한점의 동일 위치(P2)로 출사하도록 경로를 바꿀 수 있다.
In other words, the first subsystem 10 can change the position of the prisms mounted on the first instrument so that the polar angle or azimuth varies fluidly with the change in angle of the light from the sample position P1, The path can be changed so that the light inclined from the fixed axis according to the angle change of the light is directly output to the same position P2 of one point.

제2서브 시스템(20)은 입사되는 광의 광경로 거리를 조절하여 광을 출사하도록 광경로를 형성한다. 다시 말하면제 제2서브 시스템(20)은 1서브 시스템(10)에서 출사되는 광의 광경로 거리를 조절하여 대상물로부터 입사되는 전체 광경로 거리를 동일하게 형성하는 역할을 한다. 이러한 제2서브 시스템(20)은 제1,2,3프리즘(21,22,23)을 포함한다.
제1프리즘(21)은 제1서브 시스템(10)에서 출사되는 위치 즉, P2에 위치될 수 있다. 제2프리즘(22)은 제1프리즘(21)으로부터 입사되는 광을 전달받아 출사하되, 입사광과 출사광이 평행을 이루게 할 수 있다. 제3프리즘(23)은 제2프리즘(22)으로부터 입사되는 광을 전달받아 출사할 수 있다.The second subsystem 20 forms an optical path for emitting light by adjusting the optical path distance of the incident light. In other words, the second subsystem 20 functions to adjust the optical path distance of the light emitted from the one subsystem 10 to form the same total optical path distance from the object. This second subsystem 20 includes first, second, and third prisms 21, 22,
The first prism 21 may be located at a position where it emerges from the first subsystem 10, i.e., P2. The second prism 22 transmits and receives light incident from the first prism 21, and the incident light and the emitted light are parallel to each other. The third prism 23 can transmit and receive light incident from the second prism 22.

상기와 같이 제2서브 시스템(20)은 제1서브 시스템(10)으로 입사되는 광의 거리 변화 또는 광의 각도 변화에 따라 제1프리즘(21)과 제2프리즘(22) 사이 또는 제2프리즘(22)과 제3프리즘(23) 사이의 상대적인 거리가 달라지도록 동작하여 시료로부터 제1서브 시스템(10)을 경유하여 제2서브 시스템(20)에 이르는 전체 광경로 거리가 동일하게 한다.As described above, the second subsystem 20 is disposed between the first prism 21 and the second prism 22 or between the second prism 22 and the second prism 22 in accordance with the change in the distance of the light incident on the first subsystem 10, And the third prism 23 so that the total optical path distance from the sample to the second subsystem 20 via the first subsystem 10 is the same.

예를 들면, 광이 광편향 모듈(110)로 수직 입사될 때에는 광경로 거리가 짧은 거리이고, 광이 광편향 모듈(110)로 수직이 아닌 기울어진 임의의 각도로 입사될 때에는 광경로 거리가 길어지게 된다.For example, when light is vertically incident on the optical deflection module 110, the optical path distance is short, and when light is incident at the optical deflection module 110 at an oblique angle other than vertical, It becomes longer.

이를 보정하기 위하여 광이 광편향 모듈(110)로 수직 입사될 때에는 도 5에 도시된 바와 같이 제1프리즘(21)과 제2프리즘(22) 사이 및 제2프리즘(22)과 제3프리즘(23) 사이의 상대적인 거리(L1)가 길어지게 조정되도록 제2기구물을 설계할 수 있다.5, when the light is vertically incident on the optical deflection module 110, the first prism 21 and the second prism 22 and the second prism 22 and the third prism 22 23 can be designed to be adjusted so as to be longer than the relative distance L1.

또, 광이 광편향 모듈(110)로 기울어진 임의의 각도로 입사될 때에는 도 6에 도시된 바와 같이 제1프리즘(21)과 제2프리즘(22) 사이 및 제2프리즘(22)과 제3프리즘(23) 사이의 거리(L2)가 짧아지게 조절되도록 제2기구물을 설계할 수 있다.6, when the light is incident on the optical deflection module 110 at an arbitrary angle, the first prism 21 and the second prism 22, and the second prism 22 and the second prism 22, 3 prism 23 can be designed so that the distance L2 between the two prisms 23 is shortened.

여기서, 제1프리즘(21)과 제2프리즘(22) 사이 및 제2프리즘(22)과 제3프리즘(23) 사이의 상대적인 거리 조정을 위하여, 제1프리즘(21)과 제3프리즘(23)은 동일 축상에서 움직이지 않는 상태에서 소정 제2기구물에 의해 제2프리즘(22) 만이 좌우로 움직이게 할 수 있다.
Here, in order to adjust the relative distance between the first prism 21 and the second prism 22 and between the second prism 22 and the third prism 23, the first prism 21 and the third prism 23 Can move the second prism 22 to the left and right only by the second mechanism in a state in which the second prism 22 does not move on the same axis.

카메라부(30)는 도 1, 도 2 및 도 7에 도시된 바와 같이, 시료를 촬상하는 카메라부재(31)를 포함한다. 이때의 카메라부재(31)는 제2서브 시스템(20)과 대안 렌즈 사이의 광경로 상에 설치되는 렌즈에 광(예를 들면, 시료로부터 제1서브 시스템을 경유하여 제2서브 시스템을 통과한 광)이 입사되는 것을 통해 시료를 촬상할 수 있다.
The camera section 30 includes a camera member 31 for picking up a sample, as shown in Figs. 1, 2 and 7. The camera member 31 at this time is irradiated with light (for example, light that passes through the second subsystem from the sample through the first subsystem) to a lens installed on the optical path between the second subsystem 20 and the alternative lens The light can be picked up through the incidence of the light.

표시부(40)는 상기의 카메라부(30)를 통해 촬상된 영상을 사용자에게 표시하는 제1표시부(41)를 포함한다. 이때의 제1표시부(41)는 통상의 디스플레이장치로서 이러한 디스플레이장치에 표시되는 영상은 2차원영상일 수 있다.The display unit 40 includes a first display unit 41 for displaying an image captured through the camera unit 30 to a user. The first display unit 41 at this time is a normal display device, and the image displayed on the display device may be a two-dimensional image.

더불어 표시부(40)는 후술할 제어부(50)를 통해 시료의 3차원 파노라마 영상을 표시하는 제2표시부(43)를 더 포함할 수 있다. 이러한 제2표시부(43)는 후술할 제어부(50)에 의해 추출된 시료의 3차원 형상의 정보를 3차원 파노라마 영상으로 표시한다. 이때의 제1표시부(41)와 제2표시부(43)는 하나의 디스플레이장치일 수 있다.
In addition, the display unit 40 may further include a second display unit 43 for displaying a three-dimensional panoramic image of the sample through a control unit 50 to be described later. The second display unit 43 displays information of the three-dimensional shape of the sample extracted by the control unit 50, which will be described later, as a three-dimensional panorama image. At this time, the first display unit 41 and the second display unit 43 may be one display device.

제어부(50)는 다시 도 1에 도시된 바와 같이, 시료의 3차원 형상의 특징점, 예를 들면, 단차 또는 요철구조의 정보를 추출하여 이를 표시하게 하는 역할을 한다. 구체적으로, 제어부(50)는 제1표시부(41)의 영상을 통해 시료의 3차원 형상의 특징점을 확인하고, 확인된 3차원 형상의 특징점을 제1서브 시스템(10)을 작동시켜 측정하고, 측정된 3차원 형상의 특징점을 포함하는 3차원 영상을 제2표시부(43)에 표시하게 한다.
As shown in FIG. 1, the controller 50 extracts feature points of a three-dimensional shape of the sample, for example, a step or a concavo-convex structure, and displays the extracted features. Specifically, the control unit 50 confirms the feature points of the three-dimensional shape of the sample through the image of the first display unit 41, operates the first subsystem 10 to measure the feature points of the three- Dimensional image including minutiae of the measured three-dimensional shape on the second display unit 43. [0053] FIG.

한편, 상기의 제어부(50)를 통해 3차원 형상의 특징점에 대한 정보를 추출하는 과정을 설명하면 다음과 같다.A process of extracting information on three-dimensional feature points through the controller 50 will now be described.

도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예에서는 3차원 형상의 특징점을 갖는 시료를 관측하는 과정에서 제1서브 시스템(10)이 입사되는 광의 거리 변화에 따라 동일 위치로 광을 출사하도록 광경로를 형성하고, 제2서브 시스템(20)이 전체 광경로 거리가 일정하도록 광경로 거리를 조절한다. Referring to FIG. 8, in the embodiment of the present invention, in the course of observing a sample having three-dimensional feature points, the first subsystem 10 is provided with an optical path for emitting light to the same position in accordance with a change in the distance of the incident light. And the second subsystem 20 adjusts the optical path distance such that the total optical path distance is constant.

상기와 같은 제1,2서브 시스템(10,20)으로부터 출사되는 광을 카메라부(30)에 의해 제1표시부(41)에 2차원 영상으로 표시된다. 이때, 제1표시부(41)에 표시되는 시료의 3차원 형상의 특징점은 조명 환경 등에 의해 경계면으로 표시될 수 있다(S210).The light emitted from the first and second subsystems 10 and 20 is displayed on the first display unit 41 by the camera unit 30 in a two-dimensional image. At this time, the feature points of the three-dimensional shape of the sample displayed on the first display unit 41 may be displayed as an interface by an illumination environment or the like (S210).

다음으로 제1표시부(41)에 표시된 3차원 형상의 특징점을 확인한다.Next, the minutiae points of the three-dimensional shape displayed on the first display section 41 are confirmed.

3차원 형상의 특징점을 확인하는 첫 번째 방법은 사용자가 제1표시부(41)를 통해 표시되는 경계면을 직접 확인하여 이를 제어부(50)에 입력하는 방법이 있다. A first method for identifying feature points of a three-dimensional shape is to directly identify a boundary displayed on the first display unit 41 by a user and input the same to the control unit 50.

두 번째 방법은 제1표시부(41)를 통해 표시되는 경계면을 제어부(50)가 자동으로 인식하여 확인하는 방법이 있다. 이를 위해 제어부(50)는 표시되는 영상에서 일정 패턴(예로 들면, 경계면의 형성에 따른 라인)을 읽는 영상처리 프로그램을 포함할 수 있다(S220).In the second method, the control unit 50 automatically recognizes the boundary surface displayed through the first display unit 41 and confirms the boundary surface. For this, the control unit 50 may include an image processing program for reading a predetermined pattern (e.g., a line corresponding to the formation of the boundary surface) in the displayed image (S220).

다음으로, 대물렌즈(제1서브 시스템)를 이동시켜 3차원 형상의 특징점에 대한 깊이 또는 각도를 측정한다. 이때 대물렌즈의 이동은 제어부(50)의 제어에 의해 이루어진다. Next, the objective lens (first subsystem) is moved to measure the depth or angle with respect to the feature points of the three-dimensional shape. At this time, the movement of the objective lens is controlled by the control unit (50).

이때의 제어부(50)는 상기의 과정에서 확인된 3차원 형상을 대물렌즈 즉, 제1서브 시스템(10)을 좌우로 각도 변화를 주도록 움직이게 하여 3차원 형상의 특징점에 대한 정보를 추출한다(S230). 이에 대한 구체적인 설명은 후술한다.At this time, the control unit 50 moves the objective lens, i.e., the first subsystem 10 identified in the above process, to change the angle to the left and right, and extracts information about the feature points of the three-dimensional shape (S230 ). A detailed description thereof will be described later.

이후 제어부(50)는 추출된 3차원 형상의 특징점에 대한 정보를 토대로 시료의 영상을 제2표시부(43)를 통해 3차원 파노라마 영상으로 표시하게 한다(S240).
Thereafter, the controller 50 causes the second display unit 43 to display the image of the sample as a three-dimensional panoramic image based on the extracted information about the feature points of the three-dimensional shape (S240).

상기의 3차원 형상의 특징점을 측정하는 과정의 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.One embodiment of the process of measuring the feature points of the three-dimensional shape will be described as follows.

도 9a는 단차 구조를 갖는 시료를 측정하는 과정을 설명하기 위해 도시한 도면이고, 도 9b는 대물 렌즈(제1서브 시스템)가 도 9a의 A 위치일 때 제1표시부에 표시되는 영상을 도시한 도면이고, 도 9c는 대물 렌즈(제1서브 시스템)가 도 9a의 B 위치일 때 제1표시부에 표시되는 영상을 도시한 도면이다.FIG. 9A is a view for explaining a process of measuring a sample having a step structure, FIG. 9B shows an image displayed on the first display portion when the objective lens (first subsystem) is at the A position in FIG. 9A And FIG. 9C is a diagram showing an image displayed on the first display section when the objective lens (first subsystem) is at position B in FIG. 9A.

도 1 및 도 9a 내지 도 9c를 참조하면, 시료의 단차 구조는 입사되는 광의 각도 변화에 따라 제1표시부(41)에 다양한 경계면으로 표시된다. 예를 들면, 제1서브 시스템(10)이 결합되는 대물 렌즈가 A의 위치에 위치할 경우에는 도 9b에 도시된 바와 같이 하나의 경계면이 카메라부(30)에 의해 제1표시부(41)에 표시되고, B의 위치에 위치할 경우에는 도 9c에 도시된 바와 같이 두 개의 경계면이 제1표시부(41)에 표시될 수 있다.Referring to FIG. 1 and FIGS. 9A to 9C, the step structure of the sample is displayed on the first display unit 41 at various interfaces according to the angle change of the incident light. For example, when the objective lens to which the first subsystem 10 is coupled is located at the position A, one interface is formed on the first display unit 41 by the camera unit 30 as shown in FIG. 9B And when it is located at the position of B, two interfaces can be displayed on the first display unit 41 as shown in FIG. 9C.

즉, 본 발명의 실시예에서는 상술한 바와 같은 제1표시부(41)에 표시되는 경계면 수의 변화를 통해 단차 구조가 있음을 확인할 수 있다. 이때, 단차 구조가 있는 것을 확인하는 것은, 사용자가 제1표시부(41)를 통해 직접 확인하여 이를 제어부(50)에 입력하거나 제어부(50)가 제1표시부(41)에 표시되는 경계면 숫자의 변화를 인식하여 확인하는 과정을 통해 이루어진다.That is, in the embodiment of the present invention, it can be confirmed that the step structure is present through the change in the number of the interfaces displayed on the first display section 41 as described above. At this time, it is confirmed that the step structure exists by directly checking the user through the first display section 41 and inputting the same to the control section 50 or when the control section 50 determines that the change in the number of the boundary surfaces displayed on the first display section 41 And recognizing and confirming the information.

다음으로 제어부(50)의 제어에 의해 제1서브 시스템(10)이 결합되어 있는 대물 렌즈를 단차 구조의 수직 방향에 위치하는 A의 위치에서 단차 구조의 상단 경계면과 하단 경계면 모두를 확인할 수 있는 B의 위치로 즉, θ1°만큼 회전시킨다.Next, by the control of the control unit 50, the objective lens to which the first subsystem 10 is coupled is referred to as a "B" which can identify both the upper boundary surface and the lower boundary surface of the step structure at the position of A located in the vertical direction of the step structure. That is, by < RTI ID = 0.0 > 1 < / RTI >

이후 제어부(50)가 B의 위치에서 단차 구조의 상단 경계면과 하단 경계면 사이의 거리 p를 측정하고, 하기의 수식에 p값을 대입하여 단차 구조의 높이 h에 대한 정보를 추출한다.Then, the controller 50 measures the distance p between the upper boundary surface and the lower boundary surface of the step structure at the position of B, and extracts information about the height h of the step structure by substituting the p value into the following equation.

h = p / sin θ1 h = p / sin &thetas; 1

상기의 과정에서 p값의 측정은 제어부(50)를 통해 이루어지는데, 단차 구조를 확인하는 과정과 마찬가지로 사용자가 직접 측정하여 제어부(50)에 입력하거나 제어부(50)가 자동으로 측정하는 과정을 통해 이루어진다.In the above process, the p value is measured through the control unit 50. In the same manner as the step structure confirmation, the user directly measures the p value or inputs the measurement value to the control unit 50 or the control unit 50 automatically measures the p value .

다음으로 제어부(50)는 추출된 단차 구조에 대한 정보를 토대로 시료의 영상을 제2표시부(43)를 통해 3차원 파노라마 영상으로 표시하게 한다.
Next, the controller 50 causes the second display unit 43 to display the image of the sample as a three-dimensional panoramic image based on the extracted information about the step structure.

또한, 상기의 3차원 형상의 특징점을 측정하는 과정의 다른 실시예를 설명하면 다음과 같다.Another embodiment of the process of measuring the feature points of the three-dimensional shape will be described as follows.

도 10a는 요철 구조를 갖는 시료를 측정하는 과정을 설명하기 위해 도시한 도면이고, 도 10b는 대물 렌즈(제1서브 시스템)가 도 10a의 C 위치일 때 제1표시부에 표시되는 영상을 도시한 도면이고, 도 10c는 대물 렌즈(제1서브 시스템)가 도 10a의 D 위치일 때 제1표시부에 표시되는 영상을 도시한 도면이고, 도 10d는 대물 렌즈(제1서브 시스템)가 도 10a의 E 위치일 때 제1표시부에 표시되는 영상을 도시한 도면이다.FIG. 10A is a view for explaining a process of measuring a specimen having a concavo-convex structure, FIG. 10B shows an image displayed on the first display portion when the objective lens (first subsystem) is at the C position in FIG. 10A FIG. 10C is a view showing an image displayed on the first display section when the objective lens (first subsystem) is at the D position in FIG. 10A, FIG. E < / RTI > position.

도 1 및 도 10a 내지 도 10d를 참조하면, 시료의 요철 구조는 입사되는 광의 각도 변화에 따라 제1표시부(41)에 다양한 경계면으로 표시된다. 예를 들면, 제1서브 시스템(10)이 결합되는 대물 렌즈가 C의 위치에 위치할 경우에는 도 10b에 도시된 바와 같이 3개의 경계면(요철 구조의 양측의 경계면과 중앙의 경계면)이 카메라부(30)에 의해 제1표시부(41)에 표시되고, 대물 렌즈가 D,E의 위치에 위치할 경우에는 도 10c, 도 10d에 도시된 바와 같이 2개의 경계면(요철 구조의 양측의 경계면)이 제1표시부(41)에 표시될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 10A to 10D, the concavo-convex structure of the sample is displayed on the first display unit 41 at various interfaces according to the angle change of the incident light. For example, when the objective lens to which the first subsystem 10 is coupled is located at the position C, the three interfaces (the interface between the two sides of the concavo-convex structure and the center interface) When the objective lens is located at the positions of D and E, two interfaces (interfaces on both sides of the concave-convex structure) are displayed on the first display section 41 And can be displayed on the first display section 41. [

즉, 본 발명의 실시예에서는 상술한 바와 같은 제1표시부(41)에 표시되는 경계면 수의 변화를 통해 단차 구조가 있음을 확인할 수 있다. 이때, 단차 구조가 있는 것을 확인하는 것은, 사용자가 제1표시부(41)를 통해 직접 확인하여 이를 제어부(50)에 입력하거나 제어부(50)가 제1표시부(41)에 표시되는 경계면 숫자의 변화를 인식하여 확인하는 과정을 통해 이루어진다.That is, in the embodiment of the present invention, it can be confirmed that the step structure is present through the change in the number of the interfaces displayed on the first display section 41 as described above. At this time, it is confirmed that the step structure exists by directly checking the user through the first display section 41 and inputting the same to the control section 50 or when the control section 50 determines that the change in the number of the boundary surfaces displayed on the first display section 41 And recognizing and confirming the information.

다음으로 제어부(50)의 제어에 의해 제1서브 시스템(10)이 결합되어 있는 대물 렌즈를 요철 구조의 수직 방향에 위치하는 C의 위치에서 대물 렌즈로 입사되는 광축과 요철 구조의 우측 경계면이 일치하는 D의 위치로 먼저 회전시킨 후, 대물 렌즈를 D의 위치에서 대물 렌즈로 입사되는 광축과 요철 구조의 좌측 경계면이 일치하는 E의 위치로 회전시킨다.Next, under the control of the control unit 50, the objective lens to which the first subsystem 10 is coupled is moved to the position of C positioned in the vertical direction of the concavo-convex structure so that the optical axis incident on the objective lens and the right- The objective lens is rotated to the position E where the optical axis incident on the objective lens at the position of D and the left interface of the concave-convex structure coincide with each other.

이후 제어부(50)는 상기의 과정을 통해 요철 구조의 각도 θ2°값에 대한 정보를 추출할 수 있다.Then, the control unit 50 can extract information about the angle? 2 ° of the concave-convex structure through the above process.

다음으로 제어부(50)는 추출된 요철 구조에 대한 정보를 토대로 시료의 영상을 제2표시부(43)를 통해 3차원 파노라마 영상으로 표시하게 한다.
Next, the control unit 50 causes the second display unit 43 to display the image of the sample as a three-dimensional panorama image based on the extracted information on the concavo-convex structure.

따라서 본 발명의 실시예에서는 카메라부를 통해 촬상된 영상을 이용하여 대상물에 포함된 3차원 형상의 특징점을 확인하고, 제1서브 시스템을 3차원 형상의 특징점을 기준으로 좌우로 움직이게 하여 확인된 3차원 형상의 특징점에 대한 정보를 추출한 후 이를 토대로 제2표시부에 3차원 파노라마 영상으로 표시함에 따라, 3차원 형상의 특징점을 포함하는 대상물을 원활하게 3차원 파노라마 영상으로 표시할 수 있다.Therefore, in the embodiment of the present invention, the feature points of the three-dimensional shapes included in the object are identified using the image captured through the camera unit, and the first subsystem is moved left and right with respect to the feature points of the three- Dimensional panoramic image on the second display unit based on the extracted information on the characteristic points of the shape, the object including the characteristic points of the three-dimensional shape can be smoothly displayed as the three-dimensional panoramic image.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the following claims and their equivalents. Only. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

10: 제1서브 시스템 20: 제2서브 시스템
30: 카메라부 40: 표시부
41: 제1표시부 43: 제2표시부
50: 제어부 110,120,130: 광편향모듈10: first subsystem 20: second subsystem
30: camera unit 40: display unit
41: first display section 43: second display section
50: control unit 110,120,130: optical deflection module

Claims (8)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 웨지 프리즘(111a,111b,113a,113b) 또는 직각 프리즘(121a,121b,123a,123b)을 포함하는 광편향 모듈(110,120)과, 상기 광편향 모듈(110,120)을 좌우 이동시키고 상기 광편향 모듈(110,120)의 프리즘의 극각(polar angle) 또는 방위각(azimuth angle)을 변화시켜 대상물(P1)으로부터 입사되는 광의 각도 변화에 따라 동일 위치(P2)로 광을 출사하게 하는 제1기구물을 포함하는 제1서브 시스템(10);
상기 P2에 위치하는 제1프리즘(21)과, 상기 제1프리즘(21)으로부터 입사되는 광을 전달받아 출사하되, 입사광과 출사광이 평행을 이루게 하는 제2프리즘(22)과, 상기 제2프리즘(22)으로부터 입사되는 광을 전달받아 출사하는 제3프리즘(23)과, 상기 제1서브 시스템(10)으로부터 입사되는 광의 거리 변화 또는 광의 각도 변화에 따라 상기 제2프리즘(22)을 이동시킴에 따라 상기 제1프리즘(21)과 상기 제2프리즘(22) 사이의 거리 및 상기 제2프리즘(22)과 상기 제3프리즘(23) 사이의 거리를 조절하여 상기 대상물로부터 입사되는 전체 광경로 거리를 동일하게 하는 제2기구물을 포함하는 제2서브 시스템(20);
상기 제2서브 시스템(20)에서 출사되는 광을 촬상하는 카메라부(30);
상기 카메라부(30)를 통해 촬상된 영상을 이용하여 대상물에 포함된 3차원 형상의 특징점을 확인하고, 상기 제1서브 시스템(10)을 움직이게 하여 확인된 상기 3차원 형상의 특징점에 대한 정보를 추출하는 제어부(50); 및
추출된 상기 3차원 형상의 특징점에 대한 정보를 포함하는 대상물을 상기 제어부(50)에 의해 3차원 영상으로 표시하는 표시부(40);를 포함하는
광학 시스템을 이용하여 대상물에 대한 3차원 정보를 추출하는 방법으로서,
상기 제2서브 시스템(20)에서 출사되는 광을 상기 카메라부(30)를 통해 촬상하여 표시하는 단계;
상기 표시된 영상을 이용하여 대상물에 포함된 3차원 형상의 특징점을 확인하는 단계; 및
확인된 상기 3차원 형상의 특징점을 상기 제1서브 시스템(10)을 움직여 측정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 시스템을 이용한 3차원 정보 추출 방법.The optical deflection modules 110 and 120 including the wedge prisms 111a, 111b, 113a and 113b or the right angle prisms 121a and 121b and 123a and 123b and the optical deflection modules 110 and 120, And a first mechanism for changing the polar angle or azimuth angle of the prism of the first object (110, 120) to emit light at the same position (P2) Subsystem 10;
A second prism 22 for receiving incident light from the first prism 21 and emitting incident light and emitting light in parallel with each other, a first prism 21 positioned at the second prism 21, A third prism 23 for transmitting and receiving light incident from the prism 22 and a third prism 23 for moving the second prism 22 in accordance with a change in distance or a change in angle of light incident from the first subsystem 10, The distance between the first prism 21 and the second prism 22 and the distance between the second prism 22 and the third prism 23 may be adjusted according to the sum of the distance between the first prism 21 and the second prism 22, A second subsystem (20) including a second mechanism for equalizing the distance to the second subsystem (20);
A camera unit (30) for capturing light emitted from the second subsystem (20);
Dimensional feature included in the object by using the image captured through the camera unit 30 and information about the feature point of the three-dimensional shape confirmed by moving the first subsystem 10 A control unit (50) for extracting data; And
And a display unit (40) for displaying an object including information on the extracted feature points of the three-dimensional shape as a three-dimensional image by the control unit (50)
A method for extracting three-dimensional information on an object using an optical system,
Imaging the light emitted from the second subsystem (20) through the camera unit (30) and displaying the light;
Identifying a feature point of a three-dimensional shape included in an object using the displayed image; And
And measuring the identified feature point of the three-dimensional shape by moving the first subsystem (10). 제 5항에 있어서,
상기 3차원 형상의 특징점을 확인하는 단계는,
상기 카메라부(30)를 통해 촬상되어 표시되는 상기 3차원 형상의 특징점에 대한 경계면을 상기 제어부(50)에서 받는 것을 특징으로 하는 광학 시스템을 이용한 3차원 정보 추출 방법. 6. The method of claim 5,
The step of identifying feature points of the three-
And the control unit (50) receives the boundary surface of the three-dimensional shape feature points captured and displayed through the camera unit (30). 제 5항에 있어서,
상기 3차원 형상의 특징점을 확인하는 단계는,
상기 카메라부(30)를 통해 촬상되어 표시되는 상기 3차원 형상의 특징점에 대한 경계면을 상기 제어부(50)가 인식하여 확인하는 것을 특징으로 하는 광학 시스템을 이용한 3차원 정보 추출 방법.6. The method of claim 5,
The step of identifying feature points of the three-
And the control unit (50) recognizes and confirms the boundary surface of the three-dimensional shape feature points captured and displayed through the camera unit (30). 제 5항에 있어서,
상기 3차원 형상의 특징점을 측정하는 단계는,
상기 제어부(50)의 제어에 의해 상기 제1서브 시스템(10)을 움직여 상기 확인된 특징점에 대한 관찰 각도를 변화시켜 수행하는 것을 특징으로 하는 광학 시스템을 이용한 3차원 정보 추출 방법.6. The method of claim 5,
The step of measuring the feature points of the three-
Wherein the control unit (50) moves the first subsystem (10) to change the observation angle of the identified feature points, thereby performing the three-dimensional information extraction method using the optical system.
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