KR101425732B1 - Substrate of lcd - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 기판에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 액정표시장치의 기판은, 기판 상에 형성되어 상기 기판 상에 형성되는 구조물을 검사하기 위한 기판 정렬시 이용되는 정렬키; 상기 정렬키의 상부에 형성되는 금속박막; 및, 상기 금속박막의 상부에 형성되어 상기 정렬키의 위치를 알려주는 표시패턴;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 기판의 패턴 검사를 위한 기판 정렬시 사용되는 정렬키의 인접 영역에 정렬키의 위치를 알려주는 표시패턴을 형성하여 기판 정렬시 용이하게 정렬키의 위치를 확인할 수 있 정렬시간을 단축시킬 수 있는 액정표시장치의 기판이 제공된다.The present invention relates to a substrate of a liquid crystal display device, wherein a substrate of a liquid crystal display device according to the present invention comprises: an alignment key formed on a substrate and used for aligning a substrate for inspecting a structure formed on the substrate; A metal thin film formed on the alignment key; And a display pattern formed on the metal thin film to indicate the position of the alignment key. Accordingly, it is possible to confirm the position of the alignment key when the substrate is aligned by forming a display pattern indicating the alignment key position in the adjacent area of the alignment key used for alignment of the substrate for pattern inspection of the substrate, thereby shortening the alignment time A substrate of a liquid crystal display device is provided.

Description

액정표시장치의 기판{SUBSTRATE OF LCD}[0001] SUBSTRATE OF LCD [0002]
본 발명은 액정표시장치의 기판에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판에 패턴을 형성한 후에 검사장치를 이용한 패턴 검사시 기판 정렬에 이용되는 정렬키의 인접한 영역에 표시패턴을 형성하여 정렬키의 위치를 용이하게 파악할 수 있게 하는 액정표시장치의 기판에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate of a liquid crystal display, and more particularly, to a method of forming a pattern on a substrate by forming a display pattern on an adjacent area of an alignment key used for alignment of a substrate during pattern inspection using an inspection apparatus, To a substrate of a liquid crystal display device.
일반적으로, 액정표시장치는 액정층을 사이에 두고 대향되는 상부기판과 하부기판을 합착하여 구성된다.Generally, a liquid crystal display device is constructed by laminating an upper substrate and a lower substrate opposed to each other with a liquid crystal layer interposed therebetween.
여기서, 상부기판에는 하부기판에 형성되는 게이트라인과 데이터라인에 의해 정의되는 다수의 단위 화소에 대응되는 영역에 컬러필터가 형성되며, 상기 게이트라인 및 데이터라인 등의 차광이 필요한 영역에 블랙매트릭스가 형성된다.In this case, a color filter is formed on a region of the upper substrate corresponding to a plurality of unit pixels defined by a gate line and a data line formed on the lower substrate, and a black matrix is formed on a region where the gate lines, the data lines, .
또한, 하부기판에는 통상적으로 단위 화소를 정의하는 게이트라인 및 데이터라인이 매트릭스 형태로 형성되고, 상기 단위 화소의 구동을 위한 박막트랜지스터가 형성되며, 상기 단위 화소의 상부에 위치하는 액정들의 구동을 위한 구동신호 인가를 위한 각종 배선들이 형성된다.In addition, a gate line and a data line, which typically define unit pixels, are formed in a matrix on a lower substrate, a thin film transistor for driving the unit pixel is formed, and a liquid crystal layer Various wirings for applying a driving signal are formed.
그리고, 통상적으로 게이트라인 형성시 하부기판의 양 모서리 부분에는, 대한민국 공개공보 제2003-0093387호에 개시된 바와 같이, "+" 형태의 정렬키가 형성된다.Normally, when the gate line is formed, alignment keys of a "+" shape are formed at both corners of the lower substrate as disclosed in Korean Patent Publication No. 2003-0093387.
도 1은 일반적인 기판의 검사장치의 개략도이고, 도 2는 도 1의 기판의 요부 단면도이다.FIG. 1 is a schematic view of a general substrate inspection apparatus, and FIG. 2 is a cross-sectional view of a main portion of the substrate of FIG.
도 1을 참조하면, 검사장치(100)는 하부기판(110)에 형성된 게이트라인과 데이터라인 등의 각종 패턴을 검사장치를 이용하여 패턴의 단선 여부 및 하부기판에 형성된 각종 패턴들의 오동작 여부 등을 검사한다.Referring to FIG. 1, the inspection apparatus 100 may detect various patterns of gate lines, data lines, and the like formed on the lower substrate 110 by using an inspection apparatus and determine whether the patterns are broken or not, Inspect.
상기 정렬키(111)는 상기 검사장치(100)를 사용하기 전에 기판(110)을 정렬하기 위해 사용되며, 소정의 카메라(101)로 정렬키(111)를 인식하여 위치를 파악한 후, 소정의 정렬수단(미도시)으로 기판을 검사장치와 정렬되도록 한다.The alignment key 111 is used to align the substrate 110 before using the inspection apparatus 100. The alignment key 111 is recognized by the predetermined camera 101 to determine its position, The alignment means (not shown) aligns the substrate with the inspection apparatus.
그런데, 상기 정렬키(110)는 카메라(101)를 통해 작업자의 육안으로 그 위치를 파악하고 있으나, 도 2 및 도 3에서와 같이, 정렬키(110)가 형성된 층의 상부에 형성된 게이트 절연막(113) 및 금속 재질의 전극형성용 박막(114)으로 인해 정렬키(110)를 확인하는 것이 어려운 문제점이 있었다.However, as shown in FIGS. 2 and 3, the alignment key 110 is formed on the gate insulating film (not shown) formed on the layer on which the alignment key 110 is formed, 113 and the electrode-forming thin film 114 made of a metal, it is difficult to confirm the alignment key 110.
본 발명의 과제는 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판의 패턴 검사를 위한 기판 정렬시 사용되는 정렬키의 인접 영역에 정렬키의 위치를 알려주는 표시패턴을 형성하여 기판 정렬시 용이하게 정렬키의 위치를 확인할 수 있는 액정표시장치의 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a display apparatus and a method of manufacturing the same, And it is an object of the present invention to provide a substrate for a liquid crystal display device which can easily confirm the position of an alignment key.
또한, 정렬키의 위치를 신속하게 확인할 수 있어 정렬시간을 단축시킬 수 있는 액정표시장치의 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a substrate for a liquid crystal display device capable of promptly confirming a position of an alignment key and shortening an alignment time.
상기 과제는, 본 발명에 따라, 기판 상에 형성되어 상기 기판 상에 형성되는 구조물을 검사하기 위한 기판 정렬시 이용되는 정렬키; 상기 정렬키의 상부에 형성되는 금속박막; 및, 상기 금속박막의 상부에 형성되어 상기 정렬키의 위치를 알려주는 표시패턴;을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판에 의해 달성될 수 있다.The above object is also achieved by an alignment key used in aligning a substrate for inspection of a structure formed on a substrate and formed on the substrate, according to the present invention; A metal thin film formed on the alignment key; And a display pattern formed on the metal thin film to indicate a position of the alignment key.
여기서, 상기 표시패턴은 상기 정렬키의 인접한 영역에 형성되는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that the display pattern is formed in an adjacent region of the alignment key.
또한, 상기 표시패턴은 상기 금속박막 식각을 위한 감광막 패턴 형성시 함께 형성되는 것이 바람직하다.The display pattern is preferably formed at the time of forming the photoresist pattern for the metal thin film etching.
또한, 상기 표시패턴은 상기 정렬키를 가르키는 화살표 또는 상기 정렬키의 가장자리를 둘러싸는 원형, 타원형 또는 다각형 중 어느 하나인 것이 바람직하다.Further, the display pattern is preferably an arrow pointing to the alignment key or a circle, an ellipse or a polygon surrounding the edge of the alignment key.
또한, 상기 정렬키는 게이트라인과 동시에 형성되는 것이 바람직하다.Also, it is preferable that the alignment key is formed simultaneously with the gate line.
또한, 상기 금속박막은 데이터라인 형성용 금속박막 또는 박막트랜지스터의 소스/드레인 전극 형성용 금속박막 중 어느 하나인 것이 바람직하다.The metal thin film may be a metal thin film for forming a data line or a metal thin film for forming source / drain electrodes of a thin film transistor.
본 발명에 따르면, 기판의 패턴 검사를 위한 기판 정렬시 사용되는 정렬키의 인접 영역에 정렬키의 위치를 알려주는 표시패턴을 형성하여 기판 정렬시 용이하게 정렬키의 위치를 확인할 수 있는 액정표시장치의 기판이 제공된다.According to the present invention, there is provided a liquid crystal display device capable of easily identifying the position of an alignment key when aligning a substrate by forming a display pattern indicating a position of an alignment key in an adjacent area of the alignment key used for alignment of a substrate for pattern inspection of the substrate. Is provided.
또한, 정렬키의 위치를 신속하게 확인할 수 있어 정렬시간을 단축시킬 수 있는 액정표시장치의 기판이 제공된다.Further, the position of the alignment key can be quickly checked, and the alignment time can be shortened.
도 1은 일반적인 기판 검사 개략도,
도 2는 도 1의 기판의 평면도,
도 3은 도 2의 A-A'을 따라 절단한 단면도,
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 기판의 요부평면도,
도 5는 도 4의 단면도,
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치의 기판의 요부평면도이다.
1 is a general substrate inspection schematic,
Fig. 2 is a plan view of the substrate of Fig. 1,
3 is a cross-sectional view taken along line A-A 'in Fig. 2,
FIG. 4 is a plan view of the main part of the substrate of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention,
5 is a cross-sectional view of Fig. 4,
6 is a plan view of a substrate of a liquid crystal display according to another embodiment of the present invention.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, components having the same configuration are denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment. In other embodiments, configurations different from those of the first embodiment will be described do.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 기판에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a substrate of a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 기판의 요부평면도이고, 도 5는 도 4의 단면도이다.FIG. 4 is a plan view of the main part of the substrate of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a sectional view of FIG.
도 4 및 도 5를 참조하면, 기판(10)의 네 모서리 인접 영역에는 정렬키(11)가 형성된다. 상기 정렬키(11)는 게이트라인(미도시) 형성시 함께 형성된다.Referring to FIGS. 4 and 5, alignment keys 11 are formed in four adjacent areas of the substrate 10. The alignment keys 11 are formed together when a gate line (not shown) is formed.
여기서, 상기 기판(10)은 액정표시장치의 어레이 구조가 형성되는 어레이 기판(10)이다.Here, the substrate 10 is an array substrate 10 on which an array structure of a liquid crystal display device is formed.
그리고, 정렬키(11)를 덮도록 게이트 절연막(12)이 형성된 후, 그 상부에 금속박막(13)이 형성된다.After the gate insulating film 12 is formed to cover the alignment key 11, a metal thin film 13 is formed thereon.
이때, 금속박막(13)은 데이터라인 형성용 금속박막(13)이거나 박막트랜지스터의 소스/드레인 전극 형성용 금속박막(13)일 수 있다.At this time, the metal thin film 13 may be the metal thin film 13 for forming the data line or the metal thin film 13 for forming the source / drain electrodes of the thin film transistor.
상기 금속박막(13)의 상면 중 상기 정렬키(11)와 인접한 영역에는 정렬키(11)의 위치를 알려주는 표시패턴(14)이 형성된다.A display pattern 14 indicating the position of the alignment key 11 is formed in an area of the upper surface of the metal thin film 13 adjacent to the alignment key 11.
상기 표시패턴(14)은 상기 금속박막(13)의 패터닝을 위한 감광막 패턴 형성시 함께 패터닝하여 형성되며, 그 형태는 표시패턴(14)을 가르키는 화살표 형태로 형성된다.The display pattern 14 is formed by patterning together with the photoresist pattern for patterning the metal thin film 13, and the shape thereof is formed in the form of an arrow indicating the display pattern 14.
즉, 금속박막(13)을 패터닝하여 소정의 금속패턴을 형성한 후, 상기 금속패턴을 검사하기 위해 기판(10) 정렬시, 소정의 카메라를 통해 표시패턴(14)을 먼저 인지하고, 표시패턴(14)이 가르키는 위치에서 정렬키(11)를 확인할 수 있다.That is, after the metal thin film 13 is patterned to form a predetermined metal pattern, when the substrate 10 is aligned to inspect the metal pattern, the display pattern 14 is first recognized through a predetermined camera, The alignment key 11 can be confirmed at the position indicated by the arrow 14.
이를 통해, 종래 게이트 절연막(12) 및 금속박막(13) 등으로 인해 다소 흐리게 보여 확인이 어려웠던 것에 비해 정렬키(11)를 보다 쉽게 확인할 수 있다.As a result, the alignment key 11 can be identified more easily than the conventional gate insulation film 12 and the metal thin film 13 due to the fact that it is slightly blurred.
본 실시예에서는 표시패턴(14)의 형상이 화살표인 것에 대해 설명하였으나, 도 6에서와 같이 표시패턴(14)의 형상이 정렬키(11)의 가장자리를 둘러싸는 형태인 사각형일 수도 있다.In this embodiment, the shape of the display pattern 14 is an arrow, but the shape of the display pattern 14 may be a rectangle surrounding the edge of the alignment key 11 as shown in FIG.
상기 표시패턴(14)은 사각형 외, 원형, 타원형 또는 다각형 등의 형상일 수도 있다.The display pattern 14 may have a shape other than a rectangle, a circle, an ellipse, or a polygon.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the appended claims.
※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※
10 : 기판 11 : 정렬키
12 : 게이트 절연막 13 : 금속박막
14 : 표시패턴
[Description of Reference Numerals]
10: substrate 11: alignment key
12: gate insulating film 13: metal thin film
14: Display pattern

Claims (6)

  1. 기판 상에 형성되어 상기 기판 상에 형성되는 구조물을 검사하기 위한 기판 정렬시 이용되는 정렬키;
    상기 정렬키를 덮도록 형성되는 게이트 절연막;
    상기 게이트 절연막의 상부에 형성되는 금속박막; 및,
    상기 금속박막의 상부에 형성되어 상기 정렬키의 위치를 알려주는 표시패턴;을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판.
    An alignment key formed on a substrate and used for alignment of a substrate for inspection of a structure formed on the substrate;
    A gate insulating layer formed to cover the alignment key;
    A metal thin film formed on the gate insulating film; And
    And a display pattern formed on the metal thin film to indicate a position of the alignment key.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 표시패턴은 상기 정렬키의 인접한 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판.
    The method according to claim 1,
    Wherein the display pattern is formed in an adjacent region of the alignment key.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 표시패턴은 상기 금속박막 식각을 위한 감광막 패턴 형성시 함께 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판.
    The method according to claim 1,
    Wherein the display pattern is formed at the time of forming the photoresist pattern for the metal thin film etching.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 표시패턴은 상기 정렬키를 가르키는 화살표 또는 상기 정렬키의 가장자리를 둘러싸는 원형, 타원형 또는 다각형 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판.
    The method according to claim 1,
    Wherein the display pattern is either an arrow pointing to the alignment key or a circle, an ellipse or a polygon surrounding the edge of the alignment key.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 정렬키는 게이트라인과 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판.
    The method according to claim 1,
    Wherein the alignment key is formed simultaneously with the gate line.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 금속박막은 데이터라인 형성용 금속박막 또는 박막트랜지스터의 소스/드레인 전극 형성용 금속박막 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 기판.
    6. The method of claim 5,
    Wherein the metal thin film is one of a metal thin film for forming a data line or a metal thin film for forming a source / drain electrode of a thin film transistor.
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