KR101344650B1 - 블레이드 교환 공구 - Google Patents

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Abstract

(과제) 블레이드를 파손시키지 않고 허브 장착 절삭 블레이드를 용이하게 교환할 수 있는 블레이드 교환 공구를 제공하는 것이다.
(해결수단) 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 회전 가능하게 지지하는 블레이드 마운트를 갖는 절삭 수단을 구비한 절삭 장치에서의 블레이드 교환 공구로서, 상기 블레이드 교환 공구는, 탄성부재로 형성되고 원통체의 일부를 절결한 절결부를 가지며 C 형상을 띤 원통 본체와, 이 원통 본체의 한쪽 단부의 내측에 형성되고 상기 절삭 블레이드의 원형 허브를 포위하기에 적합한 결합 홈과, 상기 원통 본체의 내주를 상기 절삭 블레이드의 원형 허브를 포위하는 상태로부터 파지하는 상태로 위치시키는 파지부로 구성된다.

Description

블레이드 교환 공구{TOOL FOR EXCHANGING BLADE}
본 발명은, 원형 허브를 갖는 허브 블레이드를 절삭 장치의 스핀들에 장착하거나, 또는 스핀들로부터 분리하기에 적합한 블레이드 교환 공구에 관한 것이다.
다이싱 장치 등은, 스핀들의 선단에 설치된 블레이드 마운트에 얇은 절삭날을 갖는 절삭 블레이드를 장착하여, IC 또는 LSI 등이 형성된 실리콘 웨이퍼나, 수지 기판, 유리판 등을 절단하여 개개의 LSI 칩이나 전자 디바이스로 분할하는 분야에서 사용되고 있다.
현재, 다이싱 장치에서 가장 많이 사용되고 있는 절삭 블레이드는 허브 블레이드라 불리며, 원형 허브를 갖는 원형 베이스의 외주에 다이아몬드 숫돌로 이루어진 절삭날을 전착(電着)하여 구성되어 있다.
이것은, 20∼30㎛ 정도의 두께밖에 되지 않는 매우 약한 절삭 블레이드를 직접 손으로 잡으면, 절삭 블레이드가 쉽게 파손되어 버릴 우려가 있기 때문에, 손잡이 부분인 원형 허브를 갖는 베이스에 절삭날을 전착하여 구성한 것이다.
그런데, 이 손잡이 부분인 베이스 자체도, 손가락이 걸리는 원형 허브의 부분이 좁을 수도 있고, 절삭날과 가까운 위치에 손가락을 두어야 할 필요가 있을 수 도 있기 때문에, 실수로 손가락으로 절삭날을 파손시키거나 또는 실수로 절삭날로 손가락을 베거나 할 위험성이 있다. 또, 원형 허브의 에지 부분이 날카로운 형상이므로, 손가락으로 원형 허브를 강하게 잡으면 손가락이 베일 위험성도 있다.
이러한 상황을 감안하여, 몇 가지 블레이드 교환 공구가 제안되어 있다. 예컨대, 일본 실용신안공개 평 7-3952 호 공보에는, 다이싱 장치 등의 스핀들의 선단에 플랜지 부재를 통해 장착되는 절삭 블레이드를 용이하게 착탈할 수 있게 한 블레이드 착탈용 지그가 개시되어 있다.
특허문헌 1 : 일본 실용신안공개 평 7-3952 호 공보
특허문헌 1에 개시된 블레이드 착탈용 지그는, 링형의 절삭 블레이드의 착탈에 특화된 것으로, 허브 블레이드에 대응하지 않는다는 결점이 있다.
따라서, 특허문헌 1에 개시된 블레이드 착탈용 지그로부터 자석을 떼어낸 구성의 블레이드 교환 지그(블레이드 교환 공구)가, 일반적으로 허브 블레이드나 허브가 장착된 플랜지를 떼어낼 때 사용되고 있다.
이 블레이드 교환 공구는, 공구의 손잡이 부분을 손으로 마주 쥐면 공구의 블레이드 협지부가 확대되고, 공구의 손잡이 부분의 마주 쥐는 힘을 풀면 공구의 블레이드 협지부가 닫혀, 블레이드가 공구에 의해 끼워지는 빨래집게와 같은 구조를 갖고 있다.
따라서, 물건을 유지하고 있을 때 힘을 줄 수가 없고, 스프링의 요동 등이 있는 경우, 블레이드의 유지상태가 불안정해진다는 결점 뿐만 아니라, 블레이드 협지부의 개방 정도에 제한이 없기 때문에, 공구로 블레이드를 파지할 때, 공구가 블레이드와 맞닿아 블레이드가 파손되어 버린다는 결점도 있었다.
본 발명은, 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 것은, 블레이드를 파손시키지 않고 허브가 장착된 절삭 블레이드를 용이하게 교환할 수 있는 블레이드 교환 공구를 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 회전 가능하게 지지하는 블레이드 마운트를 갖춘 절삭 수단을 구비한 절삭 장치에서의 블레이드 교환 공구로서, 상기 절삭 블레이드는, 상기 블레이드 마운트의 중심부에 형성된 장착 볼록부에 삽입되는 삽입구를 갖는 원형 베이스와, 이 원형 베이스의 한쪽 측면에 그 원형 베이스와 일체적으로 형성된 원형 허브와, 상기 원형 베이스의 외주로부터 돌출된 절삭날부로 구성되고, 상기 블레이드 교환 공구는, 탄성 부재로 형성되고 원통체의 일부를 절결한 절결부를 가지며 C 형상을 띤 원통 본체와, 이 원통 본체의 한쪽 단부의 내측에 형성되며 상기 절삭 블레이드의 원형 허브를 포위하기에 적합한 결합 홈과, 상기 원통 본체의 내주를 상기 절삭 블레이드의 원형 허브를 포위하는 상태로부터 파지하는 상태로 위치시키는 파지부를 구비한 것을 특징으로 하는 블레이드 교환 공구가 제공된다.
바람직하게는, 파지부는 엄지가 계지(係止)하는 엄지 계지부와, 절결부에 대해 그 엄지 계지부와 반대측에 형성되며, 검지, 중지, 약지가 계지하는 삼지(三指) 계지부로 구성된다.
바람직하게는, 엄지 계지부는, 원통 본체의 외주에 형성되며 파지부를 쥐는 엄지가 맞닿는 제1 원호형 오목부와, 이 제1 원호형 오목부와 대응하는 위치의 원통 본체의 한쪽 단부의 외주로부터 반경방향 외측으로 돌출하도록 원통 본체와 일체적으로 형성된 제1 스토퍼부로 구성된다.
삼지 계지부는, 원통 본체의 외주에 형성되며 파지부를 쥐는 검지, 중지, 약지가 각각 맞닿는 제2, 제3, 제4 원호형 오목부와, 이들 제2, 제3, 제4 원호형 오목부에 대응하는 위치의 원통 본체의 한쪽 단부의 외주로부터 반경방향 외측으로 돌출되도록 원통 본체와 일체적으로 형성된 제2 스토퍼부로 구성된다.
바람직하게는, 원통 본체의 외경은, 절삭 블레이드의 원형 허브의 외경보다 크고, 원형 베이스의 외경보다 작게 형성되어 있다.
본 발명의 블레이드 교환 공구를 사용하면, 블레이드 교환시에 절삭날을 파손시키지 않고 절삭 블레이드를 용이하고 신속하게 교환할 수 있다.
엄지 계지부 및 삼지 계지부에 각각 제1 스토퍼부 및 제2 스토퍼부가 설치되어 있기 때문에, 블레이드 교환시에 손가락이 블레이드를 눌러 블레이드의 절삭날을 파손시키는 것이 방지된다.
또한, 블레이드 교환 공구의 원통 본체의 외경이, 절삭 블레이드의 원형 베이스의 외경보다 작기 때문에, 실수로 블레이드에 블레이드 교환 공구가 닿아, 블레이드의 절삭날의 파손을 초래하는 것이 방지된다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도 1은 웨이퍼를 다이싱하여 개개의 칩(디바이스)으로 분할할 수 있는 절삭 장치(2)의 외관을 나타내고 있다.
절삭 장치(2)의 전면(前面)측에는, 오퍼레이터가 가공 조건 등의 장치에 대한 지시를 입력하기 위한 조작 수단(4)이 설치되어 있다. 장치 상부에는, 오퍼레이터에 대한 안내 화면이나 후술하는 촬상 수단에 의해 촬상된 화상이 표시되는 CRT 등의 표시 수단(6)이 설치되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 다이싱 대상의 웨이퍼(W)의 표면에서는, 제1 스트리트(S1)와 제2 스트리트(S2)가 직교하여 형성되어 있고, 제1 스트리트(S1)와 제2 스트리트(S2)에 의해 구획되어 다수의 디바이스(D)가 웨이퍼(W)상에 형성되어 있다.
웨이퍼(W)는 점착 테이프인 다이싱 테이프(T)에 접착되고, 다이싱 테이프(T)의 외주 둘레부는 환상 프레임(F)에 접착되어 있다. 이에 의해, 웨이퍼(W)는 다이싱 테이프(T)를 통해 프레임(F)에 지지된 상태가 되고, 도 1에 나타낸 웨이퍼 카세트(8) 중에 웨이퍼가 복수장(예컨대 25장) 수용된다. 웨이퍼 카세트(8)는 상하 이동 가능한 카세트 엘리베이터(9)상에 놓인다.
웨이퍼 카세트(8)의 후방에는, 웨이퍼 카세트(8)로부터 절삭전의 웨이퍼(W)를 반출하고, 절삭후의 웨이퍼를 웨이퍼 카세트(8)로 반입하는 반출입 수단(10)이 설치되어 있다. 웨이퍼 카세트(8)와 반출입 수단(10) 사이에는, 반출입 대상의 웨이퍼가 일시적으로 적재되는 영역인 임시 적재 영역(12)이 설치되어 있고, 임시 적재 영역(12)에는, 웨이퍼(W)를 일정한 위치에 위치맞춤하는 위치맞춤 수단(14)이 설치되어 있다.
임시 적재 영역(12)의 근방에는, 웨이퍼(W)와 일체로 된 프레임(F)을 흡착하여 반송하는 선회 아암을 갖는 반송 수단(16)이 설치되어 있고, 임시 적재 영역(12)으로 반출된 웨이퍼(W)는, 반송 수단(16)에 의해 흡착되어 척 테이블(18)상으로 반송되고, 이 척 테이블(18)에 흡인되고, 복수의 고정 수단(19)에 의해 프레임(F)이 고정됨으로써 척 테이블(18)상에 유지된다.
척 테이블(18)은, 회전 가능하고 X축 방향으로 왕복 운동 가능하게 구성되어 있고, 척 테이블(18)의 X축 방향의 이동경로의 상측에는, 웨이퍼(W)의 절삭할 스트리트를 검출하는 얼라인먼트 수단(20)이 설치되어 있다.
얼라인먼트 수단(20)은, 웨이퍼(W)의 표면을 촬상하는 촬상 수단(22)을 구비하고 있고, 촬상에 의해 취득한 화상에 기초하여, 패턴 매칭 등의 처리에 의해 절삭할 스트리트를 검출할 수 있다. 촬상 수단(22)에 의해 취득된 화상은 표시 수단(6)에 표시된다.
얼라인먼트 수단(20)의 좌측에는, 척 테이블(18)에 유지된 웨이퍼(W)에 대해 절삭 가공을 실시하는 절삭 수단(24)이 설치되어 있다. 절삭 수단(24)은 얼라인먼트 수단(20)과 일체적으로 구성되어 있고, 양자가 연동하여 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동한다.
절삭 수단(24)은, 회전 가능한 스핀들(26)의 선단에 절삭 블레이드(28)가 장착되어 구성되고, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 절삭 블레이드(28)는 촬상 수단(22)의 X축 방향의 연장선상에 위치하고 있다.
이와 같이 구성된 절삭 장치(2)에서, 웨이퍼 카세트(8)에 수용된 웨이퍼(W)는, 반출입 수단(10)에 의해 프레임(F)이 사이에 끼워지고, 반출입 수단(10)이 장치 후방(Y축 방향)으로 이동하여, 임시 적재 영역(12)에서 끼워진 것이 해제됨으로써 임시 적재 영역(12)에 적재된다. 그리고, 위치맞춤 수단(14)이 서로 접근하는 방향으로 이동함으로써, 웨이퍼(W)가 일정한 위치에 위치하게 된다.
이어서, 반송 수단(16)에 의해 프레임(F)은 흡착되고, 반송 수단(16)이 선회함으로써 프레임(F)과 일체가 된 웨이퍼(W)가 척 테이블(18)로 반송되어 척 테이블(18)에 의해 유지된다. 그리고, 척 테이블(18)이 X축 방향으로 이동하여 웨이퍼(W)는 얼라인먼트 수단(20)의 바로 아래에 위치하게 된다.
얼라인먼트 수단(20)이 절삭할 스트리트를 검출하는 얼라인먼트시의 패턴 매칭에 사용하는 화상은, 절삭전에 미리 취득해 두어야 한다. 따라서, 웨이퍼(W)가 얼라인먼트 수단(20)의 바로 아래에 위치하게 되면, 촬상 수단(22)이 웨이퍼(W)의 표면을 촬상하고, 촬상한 화상을 표시 수단(6)에 표시시킨다.
절삭 장치(2)의 오퍼레이터는 조작수단(4)을 조작함으로써, 화상 수단(22)을 천천히 이동시키면서, 필요에 따라 척 테이블(18)도 이동시켜, 패턴 매칭의 타겟이 되는 패턴을 탐색한다.
오퍼레이터가 키 패턴을 결정하면, 그 키 패턴을 포함하는 화상이 절삭 장치(2)의 얼라인먼트 수단(20)에 구비된 메모리에 기억된다. 또, 그 키 패턴과 스트리트(S1, S2)의 중심선과의 거리를 좌표치 등에 의해 구하여, 그 값도 메모리에 기억시켜 둔다.
또한, 촬상 수단(22)을 이동시킴으로써, 인접하는 스트리트와 스트리트의 간격(스트리트 피치)을 좌표치 등에 의해 구하여, 스트리트 피치의 값에 관해서도 얼라인먼트 수단(20)의 메모리에 기억시켜 둔다.
웨이퍼(W)의 스트리트를 따른 절단시에는, 기억시킨 키 패턴의 화상과 실제로 촬상 수단(22)에 의해 촬상하여 취득한 화상과의 패턴 매칭을 얼라인먼트 수단(20)으로 행한다.
그리고, 패턴이 매칭되었을 때에는, 키 패턴과 스트리트의 중심선과의 거리만큼 절삭 수단(24)을 Y축 방향으로 이동시킴으로써, 절삭하고자 하는 스트리트와 절삭 블레이드(28)와의 위치맞춤을 행한다.
절삭하고자 하는 스트리트와 절삭 블레이드(28)와의 위치맞춤이 행해진 상태로, 척 테이블(18)을 X축 방향으로 이동시키고, 절삭 블레이드(28)를 고속 회전시키면서 절삭 수단(24)을 하강시키면, 위치맞춤된 스트리트가 절삭된다.
메모리에 기억된 스트리트 피치씩 절삭 수단(24)을 Y축 방향으로 인덱스 이송하면서 절삭함으로써, 동일한 방향의 스트리트(S1)가 모두 절삭된다. 또한, 척 테이블(18)을 90° 회전시키고 나서, 상기와 동일하게 절삭하면, 스트리트(S2)도 모두 절삭되어 개개의 디바이스(D)로 분할된다.
절삭이 종료된 웨이퍼(W)는, 척 테이블(18)을 X축 방향으로 이동시키고 나서, Y축 방향으로 이동 가능한 반송 수단(25)에 의해 파지되어 세정 장치(27)까지 반송된다. 세정 장치(27)에서는, 세정 노즐로부터 물을 분사하면서 웨이퍼(W)를 고속 회전(예컨대 3000rpm)시킴으로써 웨이퍼를 세정한다.
세정후 에어 노즐로부터 에어를 분출시켜 웨이퍼(W)를 건조시킨 후, 반송 수단(16)에 의해 웨이퍼(W)를 흡착하여 임시 적재 영역(12)으로 복귀시키고, 다시 반출입 수단(10)에 의해 웨이퍼 카세트(8)의 원래의 수납장소에 웨이퍼(W)가 복귀된다.
도 3을 참조하면, 스핀들(26)의 선단 부분과 장착할 절삭 블레이드(허브 블레이드; 28)와의 관계를 나타낸 도면이 도시되어 있다. 스핀들(26)의 선단 세경(細徑)부(26a)에는 블레이드 마운트(30)가 설치되어 있고, 그 선단부 근방에는 수나사(32)가 형성되어 있다.
절삭 블레이드(28)는, 원형 허브(36)를 갖는 원형 베이스(34)의 외주에 다이아몬드 숫돌이 전착되어 형성된 절삭날(40)을 갖고 있다. 원형 베이스(34)는 스핀들(26)의 선단 세경부(26a)가 끼워 맞춰지는 장착 구멍(38)을 갖고 있다.
42는 내주에 암나사가 형성된 너트이고, 절삭 블레이드(28)를 스핀들(26)의 블레이드 마운트(30)에 장착하여, 너트(42)를 스핀들 세경부(26a)의 수나사(32)에 나사 결합함으로써, 절삭 블레이드(28)가 스핀들(26)에 고정된다.
다음으로, 도 4를 참조하여, 절삭 블레이드(28)를 스핀들(26)에 착탈하기 위해 사용하는 본 발명의 제1 실시형태의 블레이드 교환 공구(44)에 관해 설명한다. 도 4의 (A)는 블레이드 교환 공구(44)의 평면도이고, 도 4의 (B)는 도 4의 (A)의 4B-4B선 단면도이다.
블레이드 교환 공구(44)는, 예컨대 수지를 몰드 성형하여 형성되고, 원통체의 일부를 절결한 절결부(46a)를 가지며, C 형상을 띤 원통 본체(46)를 구비하고 있다. 원통 본체(46)의 절결부(46a)는, 예컨대 중심각 20°∼30°로 원통체로부터 절제되지만, 이 범위로 한정되는 것은 아니다. 블레이드 교환 공구(44)의 재질은, 수지에 한정되는 것은 아니고, 예컨대 고무 등의 다른 탄성 재료로 형성하여도 좋다.
도 4의 (B)에 가장 양호하게 나타낸 바와 같이, 원통 본체(46)의 한쪽 단부의 내주에는 절삭 블레이드(28)의 원형 허브(36)를 포위하기에 적합한 결합 홈(47)이 형성되어 있다. 원통 본체(46)의 외주에는 블레이드 교환 공구(44)로 절삭 블레이드(28)를 파지할 때의 파지부(45)가 형성되어 있다. 파지부(45)는, 원통 본체(46)의 내주를 절삭 블레이드(28)의 원형 허브(36)를 포위하는 상태로부터 파지하는 상태로 위치하도록 작용한다.
이 파지부(45)는, 엄지가 계지하는 엄지 계지부(48)와, 절결부(46a)에 대해 엄지 계지부(48)와 반대측에 형성되며, 검지, 중지, 약지가 각각 계지하는 삼지 계지부(50)로 구성된다.
엄지 계지부(48)는, 원통 본체(46)의 외주에 형성되며, 파지부(45)를 파지하는 엄지가 맞닿는 제1 원호형 오목부(52)와, 제1 원호형 오목부(52)와 대응한 위치의 원통 본체(46)의 결합 홈(47)이 형성된 단부의 외주로부터 반경방향 외측으로 돌출되도록 원통 본체(46)와 일체적으로 형성된 제1 스토퍼부(54)로 구성된다.
삼지 계지부(50)는, 원통 본체(46)의 외주에 형성되며, 파지부(45)를 파지하는 검지, 중지, 약지가 각각 맞닿는 제2, 제3, 제4 원호형 오목부(56, 58, 60)와, 제2, 제3, 제4 원호형 오목부(56, 58, 60)에 대응하는 위치의 원통 본체(46)의 결합 홈(47)이 형성된 단부의 외주로부터 반경방향 외측으로 돌출되도록 원통 본체(46)와 일체적으로 형성된 제2 스토퍼부(62)로 구성된다.
상술한 제1 실시형태의 블레이드 교환 공구(44)는, 절결부(46a)를 통해 절삭 블레이드(28)의 원형 허브(36)를 육안으로 확인하면서 원형 허브(36)를 파지하기 때문에, 오른손잡이용 블레이드 교환 공구이다.
도 5의 (A)를 참조하면, 본 발명 제2 실시형태에 따른 왼손잡이용 블레이드 교환 공구(44A)의 평면도가 도시되어 있다. 이 블레이드 교환 공구(44A)는 왼손잡이인 작업자가 절결부(46a)를 통하여 절삭 블레이드(28)의 원형 허브(36)를 육안으로 확인하기 때문에, 절결부(46a)의 위치가 제1 실시형태의 블레이드 교환 공구(44)와 반대방향에 형성되어 있다. 다른 구성은 도 4에 나타낸 제1 실시형태의 블레이드 교환 공구(44)와 동일하므로, 그 설명을 생략한다.
도 5의 (B)를 참조하면, 본 발명의 제3 실시형태의 블레이드 교환 공구(44B)의 평면도가 도시되어 있다. 이 블레이드 교환 공구(44B)는, 도 4에 나타낸 제1 실시형태의 블레이드 교환 공구(44)의 엄지 계지부(48) 대신에, 원통 본체(46)의 외주에 제2 삼지 계지부(64)를 형성하여, 왼손잡이나 오른손잡이 모두에 대응할 수 있도록 한 것이다. 여기서, 삼지 계지부(50)는 오른손잡이용 삼지 계지부이고, 제2 삼지 계지부(64)는 왼손잡이용 삼지 계지부이다.
제2 삼지 계지부(64)는, 원통 본체(46)의 외주에 형성되며, 파지부(45)를 파지하는 검지, 중지, 약지가 각각 맞닿는 제5, 제6, 제7 원호형 오목부(66, 68, 70)와, 이들 제5, 제6, 제7 원호형 오목부(66, 68, 70)에 대응하는 위치의 원통 본체(46)의 결합 홈(47)이 형성된 단부 외주로부터 반경방향 외측으로 돌출되도록 원통 본체(46)와 일체적으로 형성된 제3 스토퍼부(72)로 구성된다.
오른손잡이인 작업자가 이 블레이드 교환 공구(44B)를 사용할 때에는, 삼지 계지부(50)의 제2, 제3, 제4 원호형 오목부(56, 58, 60)에 각각 검지, 중지, 약지를 닿게 하고, 엄지는, 예컨대 제2 삼지 계지부(64)의 제6 원호형 오목부(68)에 닿게 하여 사용한다.
한편, 왼손잡이인 작업자가 블레이드 교환 공구(44B)를 사용하는 경우에는, 제2 삼지 계지부(64)의 제5, 제6, 제7 원호형 오목부(66, 68, 70)에 검지, 중지, 약지를 각각 닿게 하고, 삼지 계지부(50)의 예컨대 제3 원호형 오목부(58)에 엄지를 닿게 하여 사용한다.
다음으로, 도 6 및 도 7을 참조하여, 제1 실시형태에 따른 블레이드 교환 지그(44)를 사용하여 절삭 블레이드(28)를 분리할 때의 작용에 관해 설명한다. 우선, 도 6의 (A)에 나타낸 바와 같이, 원통 본체(46)의 절결부(46a)를 통하여 절삭 블레이드(28)의 원형 허브(36)를 육안으로 확인하면서, 블레이드 교환 공구(44)를 화살표 74로 나타낸 바와 같이 절삭 블레이드(28)에 근접하게 한다.
이어서, 도 6의 (B)에 나타낸 바와 같이, 블레이드 교환 공구(44)의 원통 본체(46)로 절삭 블레이드(28)의 원형 허브(36)를 포위하고, 엄지 계지부(48) 및 삼지 계지부(50)의 손가락 끝에 힘을 주어 화살표 76, 78로 나타낸 바와 같이 블레이드 교환 공구(44)로 절삭 블레이드(28)의 원형 허브(36)를 파지한다.
이와 같이, 블레이드 교환 공구(44)로 절삭 블레이드(28)의 원형 허브(36)를 파지한 상태에서, 도 7에 나타낸 바와 같이 화살표 80 방향으로 블레이드 교환 공구(44)를 잡아당기면, 절삭 블레이드(28)를 스핀들(26)의 블레이드 마운트(30)로부터 용이하게 분리할 수 있다.
도 7에서, 블레이드 교환 공구(44)로 절삭 블레이드(28)의 원형 허브(36)를 파지했을 때, 원통 본체(36)의 일단 내면에 형성된 결합 홈(47)이 원형 허브(36)의 외주에 결합하므로, 원형 허브(36)를 블레이드 교환 공구(44)에 의해 안정적으로 파지할 수 있다.
원통 본체(46)의 내면에 결합 홈(47)이 형성되어 있지 않은 경우에는, 원통 허브(36)를 블레이드 교환 공구(44)로 파지했을 때, 접촉면이 미끄러지기 쉬우므로, 안정적으로 파지하는 것이 어렵다.
본 발명의 블레이드 교환 공구는, 원형 허브를 갖는 절삭 블레이드(허브 블레이드)의 착탈에만 사용되는 것이 아니라, 예컨대 도 8에 나타낸 바와 같은 원형 허브(82a, 86a)를 갖는 플랜지(82, 86)의 착탈에도 사용할 수 있다.
도 8에서, 스핀들(26)의 세경부(31)의 선단에는 나사 구멍(33)이 형성되어 있다. 제1 플랜지(82)의 원형 허브(82a)에는 수나사가 형성되어 있다.
84는 다이아몬드 숫돌을 링형 베이스에 전착한 링형 절삭 블레이드로서, 예컨대, 수지 기판, 유리 등을 절삭하기에 적합하다. 제2 플랜지(86)는 링형 블레이드(84)를 누르기 위한 플랜지이고, 원형 허브(86a)를 갖고 있다.
링형 절삭 블레이드(84)를 스핀들(26)에 장착하기 위해서는, 제1 플랜지(82), 링형 절삭 블레이드(84), 제2 플랜지(86)의 순서로 스핀들(26)의 세경부(31)에 장착한다.
이어서, 플랜지 고정 너트(88)를 제2 플랜지(86)의 원형 허브(86a)에 맞닿게 하면서 제1 플랜지(82)의 원형 허브(82a)의 수나사에 나사 결합하고, 와셔(90)를 통해 고정 볼트(92)를 스핀들 세경부(31)의 나사 구멍(33)에 체결함으로써, 링형 절삭 블레이드(84)가 스핀들(26)에 장착된다.
본 발명의 블레이드 교환 공구(44, 44A, 44B)는, 이러한 원형 허브(82a, 86a)를 갖는 플랜지(82, 86)의 착탈에도 사용 가능하다.
상술한 본 발명의 실시형태의 블레이드 교환 공구(44, 44A, 44B)에 따르면, 블레이드 교환시에 절삭날(40)을 파손시키지 않고 원형 허브(36)를 갖는 절삭 블레이드(28)를 용이하고 신속하게 교환할 수 있다.
엄지 계지부(48) 및 삼지 계지부(50)에 각각 제1 스토퍼부(54) 및 제2 스토퍼부(62)가 설치되어 있기 때문에, 블레이드 교환시에 손가락이 블레이드를 눌러 블레이드의 절삭날을 파손시켜 버리는 것이 방지된다.
또한, 블레이드 교환 공구(44, 44A, 44B)의 원통 본체(46)의 외경이, 절삭 블레이드(28)의 원형 베이스(34)의 외경보다 작기 때문에, 실수로 블레이드에 블레이드 교환 공구를 닿게 하여, 블레이드의 절삭날(40)의 파손을 초래하는 것이 방지된다.
도 1은 본 발명의 블레이드 교환 공구를 적용할 수 있는 절삭 블레이드를 갖는 절삭 장치의 외관 사시도이다.
도 2는 프레임과 일체화된 웨이퍼를 나타내는 사시도이다.
도 3은 스핀들의 블레이드 장착부와 장착할 절삭 블레이드와의 관계를 나타내는 도면이다.
도 4의 (A)는 본 발명의 제1 실시형태의 블레이드 교환 공구의 평면도이고, 도 4의 (B)는 도 4의 (A)의 4B-4B선 단면도이다.
도 5의 (A)는 본 발명의 제2 실시형태의 블레이드 교환 공구의 평면도이고, 도 5의 (B)는 본 발명의 제3 실시형태의 블레이드 교환 공구의 평면도이다.
도 6의 (A) 및 도 6의 (B)는 본 발명의 블레이드 교환 공구를 사용하여 절삭 블레이드를 스핀들의 블레이드 마운트에서 분리하는 모습을 설명하는 도면이다.
도 7은 본 발명의 블레이드 교환 공구를 사용하여 절삭 블레이드를 스핀들의 블레이드 마운트에서 분리하는 모습을 설명하는 도면이다.
도 8은 원형 허브를 갖는 플랜지를 사용하여, 링형 블레이드를 스핀들의 블레이드 마운트에 장착하는 구성의 분해 사시도이다.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
24 절삭 수단 26 스핀들
28 절삭 블레이드 30 블레이드 마운트
34 원형 베이스 36 원형 허브
40 절삭날 42 너트
44, 44A, 44B 블레이드 교환 공구 46 원통 본체
46a 절결부 48 엄지 계지부
50 삼지 계지부 54 제1 스토퍼
62 제2 스토퍼 64 제2 삼지 계지부
82, 86 플랜지 84 링형 블레이드

Claims (6)

  1. 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 이 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 회전 가능하게 지지하는 블레이드 마운트를 갖춘 절삭 수단을 구비한 절삭 장치에서의 블레이드 교환 공구로서,
    상기 절삭 블레이드는, 상기 블레이드 마운트의 중심부에 형성된 장착 볼록부에 삽입되는 삽입구를 갖는 원형 베이스와, 이 원형 베이스의 한쪽 측면에 이 원형 베이스와 일체적으로 형성된 원형 허브와, 상기 원형 베이스의 외주로부터 돌출된 절삭날부로 구성되고,
    상기 블레이드 교환 공구는, 탄성 부재로 형성되고 원통체의 일부를 절결한 절결부를 가지며 C 형상을 띤 원통 본체와,
    상기 원통 본체의 한쪽 단부의 내측에 형성되며 상기 절삭 블레이드의 원형 허브를 포위하기에 적합한 결합 홈과,
    상기 원통 본체의 내주를 상기 절삭 블레이드의 원형 허브를 포위하는 상태로부터 파지하는 상태로 위치시키는 파지부를 구비하고,
    상기 파지부는 엄지가 계지(係止)하는 엄지 계지부와, 상기 절결부에 대해 이 엄지 계지부와 반대측에 형성되며 검지, 중지, 약지가 계지하는 삼지(三指) 계지부로 구성되고,
    상기 엄지 계지부는, 상기 원통 본체의 외주에 형성되며 상기 파지부를 파지하는 엄지가 맞닿는 제1 원호형 오목부와, 이 제1 원호형 오목부와 대응한 위치의 상기 원통 본체의 상기 한쪽 단부의 외주로부터 반경방향 외측으로 돌출되도록 그 원통 본체와 일체적으로 형성된 제1 스토퍼부를 포함하고,
    상기 삼지 계지부는, 상기 원통 본체의 외주에 형성되며 상기 파지부를 파지하는 검지, 중지, 약지가 각각 맞닿는 제2, 제3, 제4 원호형 오목부와, 이들 제2, 제3, 제4 원호형 오목부에 대응하는 위치의 상기 원통 본체의 상기 한쪽 단부의 외주로부터 반경방향 외측으로 돌출되도록 그 원통 본체와 일체적으로 형성된 제2 스토퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 블레이드 교환 공구.
  2. 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 이 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 회전 가능하게 지지하는 블레이드 마운트를 갖춘 절삭 수단을 구비한 절삭 장치에서의 블레이드 교환 공구로서,
    상기 절삭 블레이드는, 상기 블레이드 마운트의 중심부에 형성된 장착 볼록부에 삽입되는 삽입구를 갖는 원형 베이스와, 이 원형 베이스의 한쪽 측면에 이 원형 베이스와 일체적으로 형성된 원형 허브와, 상기 원형 베이스의 외주로부터 돌출된 절삭날부로 구성되고,
    상기 블레이드 교환 공구는, 탄성 부재로 형성되고 원통체의 일부를 절결한 절결부를 가지며 C 형상을 띤 원통 본체와,
    상기 원통 본체의 한쪽 단부의 내측에 형성되며 상기 절삭 블레이드의 원형 허브를 포위하기에 적합한 결합 홈과,
    상기 원통 본체의 내주를 상기 절삭 블레이드의 원형 허브를 포위하는 상태로부터 파지하는 상태로 위치시키는 파지부를 구비하고,
    상기 파지부는 오른손의 검지, 중지, 약지가 계지(係止)하는 제1 삼지 계지부와, 상기 절결부에 대해 제1 삼지 계지부와 대칭으로 형성되며, 왼손의 검지, 중지, 약지가 계지(係止)하는 제2 삼지 계지부로 구성되고,
    상기 제1 삼지 계지부는, 상기 원통 본체의 외주에 형성되며 상기 파지부를 파지하는 오른손의 검지, 중지, 약지가 각각 맞닿는 제2, 제3, 제4 원호형 오목부를 포함하고,
    상기 제2 삼지 계지부는, 상기 원통 본체의 외주에 형성되며 상기 파지부를 파지하는 왼손의 검지, 중지, 약지가 각각 맞닿는 제5, 제6, 제7 원호형 오목부를 포함하는 것을 특징으로 하는 블레이드 교환 공구.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 원통 본체는, 고무, 합성수지 등의 탄성 재료로 형성되는 것인 블레이드 교환 공구.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 원통 본체의 외경은, 상기 절삭 블레이드의 상기 원형 허브의 외경보다 크고, 상기 원형 베이스의 외경보다 작게 형성되는 것인 블레이드 교환 공구.
  5. 삭제
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