KR101342805B1 - 도파로를 이용한 광변조기 - Google Patents

도파로를 이용한 광변조기 Download PDF

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Abstract

본 발명의 바람직한 일실시예의 도파로를 이용한 광변조기에 따르면, 빛의 반사 현상을 이용하는 것에 의해 빛의 파장, 모드, 편광, 세기, 빔크기 등에 민감하지 않으며, 또한 도파로의 온도, 크기, 굴절률의 균일도, 캐리어 도핑 농도, 제어 전압/전류의 변동 등에도 민감하지 않아, 안정된 광변조 특성을 얻을 수 있다.
본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 도파로를 이용한 광변조기는, 광신호가 입사되고, 입사된 광신호와 동일한 방향으로 형성된 제 1 도파로; 상기 제 1 도파로로부터 제 1 방향으로 분기되어 형성된 제 2 도파로; 상기 제 1 도파로로부터 상기 제 2 도파로가 분기된 영역에 배치된 반사기; 및 상기 반사기의 굴절률을 제어하는 제어기;를 포함하되, 상기 제 1 도파로 또는 상기 제 2 도파로 중 하나의 도파로는 상기 입사된 광신호의 전송선으로 사용하고, 상기 제 1 도파로 또는 상기 제 2 도파로 중 다른 하나의 도파로는 상기 입사된 광신호의 추출선으로 사용하는 것을 특징으로 한다.

Description

도파로를 이용한 광변조기{OPTICAL MODULATOR USING WAVEGUIDE}
본 발명은 도파로를 이용한 광변조기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반사기의 굴절률 변화를 이용하여 주 도파로와 가지 도파로로 통과하는 광신호를 변조할 수 있는 광변조기에 관한 것이다.
국내 공개 특허 공보 제10-2010-0066834호(이하 '종래 발명')에 개시된 광 스위칭 구조에서는 작은 각도의 반사를 제어하여, 광신호의 경로를 스위칭하는 구조가 제안되어 있다. 다만, '종래 발명'에서는 이미 변조된 신호를 입사광으로 입력하지만, 연속적인 세기의 연속적인 파형의 입사광을 입력하기 위한 스위칭 구조는 개시되어 있지 않다.
또한, '종래 발명'에서는 반사기에서 직진하는 빛이 들어가는 도파로와 반사되는 빛이 들어가는 도파로를 모두 신호선으로 사용하는 기술이 개시되어 있다.
일반적으로 알려진 광변조기는 마하-젠더 간섭계(Mach-Zehnder interferometer) 구조를 이용하거나 링-공진기(ring-resonator) 구조를 사용한다. 이 두 구조는 모두 빛의 위상 차이에서 기인하는 간섭 현상을 이용하는 것이므로, 위상(phase)에 영향을 줄 수 있는 빛의 파장(wavelength), 모드(mode), 편광 (polarization), 세기(intensity), 빔 크기(beam size) 등에 민감하며, 또한 도파로의 온도, 크기, 굴절률의 균일도, 캐리어 도핑 상태, 제어 전압/전류의 변동 등에도 민감하다. 위상을 이용하는 이러한 변조기의 감도는 실리콘-포토닉스(Si-photonics)로 광변조기를 제작할 경우에 성능의 안정성을 확보하는데 심각한 문제가 된다.
본 발명은 전술한 바와 같은 기술적 과제를 해결하는 데 목적이 있는 발명으로서, 반사 현상을 이용하는 것에 의해 빛의 파장, 모드, 편광, 세기, 빔크기 등에 민감하지 않으며, 또한 도파로의 온도, 크기, 굴절률의 균일도, 캐리어 도핑 농도, 제어 전압/전류의 변동 등에도 민감하지 않아, 안정된 광변조 특성을 얻을 수 있는 도파로를 이용한 광변조기를 제공하는 것에 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은, 위상을 이용하는 광변조기의 경우 광원(incident light)으로 코히어런트 위상(coherent phase)을 갖는 레이저(laser) 광이 필요한 것과 달리, 위상에 둔감하여 발광 다이오드(light-emitting diode) 또는 램프(lamp)와 같이 여러 가지 파장이 혼합된 광원을 사용할 수 있는 도파로를 이용한 광변조기를 제공하는 것에도 그 목적이 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 그 구조가 단순하고 굴절률 제어 조건이 엄격하지 않아, 소자 제작이 용이한 도파로를 이용한 광변조기를 제공하는 것에도 그 목적이 있다.
본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 도파로를 이용한 광변조기는, 광신호가 입사되고, 입사된 광신호와 동일한 방향으로 형성된 제 1 도파로; 상기 제 1 도파로로부터 제 1 방향으로 분기되어 형성된 제 2 도파로; 상기 제 1 도파로로부터 상기 제 2 도파로가 분기된 영역에 배치된 반사기; 및 상기 반사기의 굴절률을 제어하는 제어기;를 포함한다. 구체적으로, 상기 제 1 도파로 또는 상기 제 2 도파로 중 하나의 도파로는 상기 입사된 광신호의 전송선으로 사용하고, 상기 제 1 도파로 또는 상기 제 2 도파로 중 다른 하나의 도파로는 상기 입사된 광신호의 추출선으로 사용하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 광변조기는, 상기 제어기가 상기 반사기의 굴절률을 제어하여, 상기 반사기의 굴절률을 변화시키는 것에 의해, 상기 제 2 도파로로 반사되는 상기 광신호의 세기를 조절하여, 상기 광신호를 변조하는 것이 바람직하다.
아울러, 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단은, 단절; 고리 형태; 광흡수체가 형성된 형태; 또는, 경사진 거울면 또는 회절 격자 형태; 중 어느 하나의 형태인 것을 특징으로 한다.
구체적으로 상기 단절된 형태의 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단에 의해, 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로로 입사한 상기 광신호는 난반사로 소멸하고, 상기 고리 형태의 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단에 의해, 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로로 입사한 상기 광신호는 산란 또는 발산으로 소멸하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 광흡수체가 형성된 도파로의 말단에 의해, 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로로 입사한 상기 광신호가 흡수되어 소멸하고, 상기 경사진 거울면 또는 회절 격자 형태의 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단에 의해, 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로로 입사한 상기 광신호는 방향이 전환되어 광변조기 외부로 배출되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 일실시예의 도파로를 이용한 광변조기에 따르면, 빛의 반사 현상을 이용하는 것에 의해 빛의 파장, 모드, 편광, 세기, 빔크기 등에 민감하지 않으며, 또한 도파로의 온도, 크기, 굴절률의 균일도, 캐리어 도핑 농도, 제어 전압/전류의 변동 등에도 민감하지 않아, 안정된 광변조 특성을 얻을 수 있다.
또한, 본 발명의 도파로를 이용한 광변조기에 따르면, 위상을 이용하는 광변조기의 경우 광원으로 코히런트 위상을 갖는 레이저광이 필요한 것과는 달리, 위상에 둔감하여 발광 다이오드 또는 램프와 같이 여러 가지 파장이 혼합된 광원을 사용할 수 있다. 아울러, 본 발명의 도파로를 이용한 광변조기에 따르면, 구조가 단순하고 굴절률 제어 조건이 엄격하지 않아, 소자 제작이 용이하다.
도 1은 전반사 조건에 관한 설명도.
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 도파로를 이용한 광변조기.
도 3은 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단을 단절시킨 광변조기의 예시도.
도 4는 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단을 고리 형태로 형성한 광변조기의 예시도.
도 5는 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단을 광흡수체를 형성시킨 광변조기의 예시도.
도 6a 및 도 6b는 각각 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단을 경사진 거울면 또는 회절 격자 형태로 형성한 광변조기의 예시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 일실시예에 따른 도파로를 이용한 광변조기에 대해 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 하기의 실시예는 본 발명을 구체화하기 위한 것일 뿐 본 발명의 권리 범위를 제한하거나 한정하는 것이 아님은 물론이다. 본 발명의 상세한 설명 및 실시예로부터 본 발명이 속하는 기술 분야의 전문가가 용이하게 유추할 수 있는 것은 본 발명의 권리 범위에 속하는 것으로 해석된다.
본 발명은 굴절률 차가 작은 조건에서 임계각이 작은 원리를 이용하여 작은 반사각으로 반사되는 빛을 유도해내는 구조에 대한 발명으로, 종래 기술에는 이러한 원리가 명시되어 있지 않고, 단순히 작은 각도의 예각의 범위만 제시되어 있을 뿐이다. 또한, 종래 발명은 광신호 제어 수단으로 "열(heat) 제어"를 이용하는 소자에 한정되어 있으나, 본 발명은 열 제어뿐만 아니라 작은 굴절률 변화를 일으킬 수 있는 전압 제어, 전류 제어, 광 제어, 여러 가지의 굴절률 제어 수단을 수용할 수 있는 구조이다.
먼저, 도 1은 전반사 조건에 관한 설명도이다.
반사를 위한 임계각(critical angle)인 θc는, 도 1과 같이
Figure 112012075164695-pat00001
, (n1>n2)로 주어진다. 물질에서 굴절률 변화는 전기 광학 효과(electro-optic effect), 광 흡수 효과(electroabsorption effect), 전자(electron)와 홀(hole)의 플라즈마 분산(plasma dispersion)에 의한 캐리어 도핑 효과(carrier-doping effect), 열 광학 효과(thermo-optic effect), 음향 광학 효과(acousto-optic effect), 비선형 효과(nonlinear effect), 표면 플라즈몬 효과(surface plasmonic effect) 등의 다양한 효과로 얻을 수 있으나, 대부분의 물질에서는 이들 효과에 의한 굴절률의 변화가 0.01 이하로 매우 작다. 굴절률 변화 (n1 - n2)/n1가 매우 작을 경우 임계각은 몇 도(°)로 작게 된다.
일례로, 실리콘 반도체 소재의 경우에, p형 또는 n형 불순물이 도핑되면, 전자(electron)와 홀(hole)의 캐리어에 의해 굴절률이 진성(intrinsic) 상태보다 낮아진다. 그 효과는 억셉터(acceptor)와 도너(donor)의 농도가 5 x 1017 내지 1 x 1020의 범위에서 이론적인 굴절률은 진성 상태의 실리콘(n1은 약 3.5)에 비해 5 x 10-4 내지 1 x 10-1 정도 낮게 된다. 즉, 도핑 상태의 굴절률과 진성 상태의 굴절률 차이는 △n = n1 - n2이 -0.0005 내지 -0.1 범위에 들고, (n1 - n2)/n1이 -0.00015 내지 -0.03 범위에 든다. 이 범위에서 임계각은 [표 1]과 같이 1°내지 15°범위에 있게 된다. 다른 소재에서도 전기장이나 도핑에 의한 굴절률 변화는 상술한 굴절률 변화 범위를 크게 넘어서지 않는다. 일반적으로 활용할 수 있는 소재에서도 전기장으로 얻을 수 있는 굴절률 변화 범위를 고려하면, 임계각은 20°이내의 범위로 작게 된다. 따라서, 본 발명에서 작은 각의 반사라 함은 굴절률 변화로 현실적으로 전반사를 얻을 수 있는 20°이내의 범위에서의 반사를 의미한다.
임계각 θ c (n 1-n 2)/n 1
1° 0.00015
2° 0.00061
3° 0.0014
4° 0.0024
5° 0.0038
10° 0.015
15° 0.034
20° 0.060
본 발명은 상술한 범위의 작은 굴절률 변화로 상술한 범위의 작은 전반사 각도로 광 경로를 변경시킬 수 있는 원리를 이용하여, 광신호를 변조하는 광변조기 구조를 제시한다.
참고로, 임계각은 광학(optics) 분야에서는 계면의 수직 방향에서의 각도로 정의하는 경우가 많으나, '얕은 각도의 입사에서 반사가 잘 일어날 수 있다'라는 상식적인 이해에 맞추어, 본 발명에서는 수평 방향에서의 각도로 정의하여 사용한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 도파로를 이용한 광변조기를 나타낸다.
도 2로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 도파로를 이용한 광변조기는, 제 1 도파로(11), 제 2 도파로(12), 반사기(13) 및 제어기(14)를 포함한다.
먼저 제 1 도파로(11)는 주 도파로(main waveguide)로 광신호가 입사되고, 입사된 광신호와 동일한 방향으로 형성된다. 다음으로, 제 2 도파로(12)는 가지 도파로(branch waveguide)로, 제 1 도파로(11)로부터 제 1 방향으로 제 1 각도를 이루며 분기되어 형성된 도파로이다. 또한, 반사기(13)는 제 1 도파로(11)로부터 제 2 도파로(12)가 분기된 영역, 좀 더 구체적으로는 제 1 도파로(11) 및 제 2 도파로(12)의 분기점(또는 접점)에 배치된다. 아울러, 제어기(14)는 제어 신호를 생성하여 반사기(13)의 굴절률을 제어하는 역할을 한다. 즉, 제어기(14)에 의해 반사기(13)의 굴절률 변화를 제어하여, 변화된 굴절률에 따라 입사된 광신호가 일부 또는 전부는 제 1 도파로(11)로, 제 1 도파로(11)로 전송된 광신호 이외의 나머지 광신호는 제 2 도파로(12)로 전송되게 되는 것이다.
본 발명의 반사기(13)는, 전기 광학 효과(electro-optic effect), 광 흡수 효과(electroabsorption effect), 전자(electron)와 홀(hole)의 플라즈마 분산(plasma dispersion)에 의한 캐리어 도핑 효과(carrier-doping effect), 열 광학 효과(thermo-optic effect), 음향 광학 효과(acousto-optic effect), 비선형 효과(nonlinear effect), 표면 플라즈몬 효과(surface plasmonic effect) 등에 의해 굴절률이 변화될 수 있는 물질로 구성되는 것이 바람직하다.
상술한 효과에 의한 반사기(13)의 굴절률 변화는 일반적으로 전기장이나 전류(또는 캐리어) 주입으로 이루어지므로, 이러한 경우를 예로 들면, 전기장이나 전류(또는 캐리어)를 걸어줄 수 있는 전극을 도파로(11, 12) 근처에 설치하여 굴절률 제어 기능을 갖는 반사기(13)를 구성할 수 있다. 비선형 효과 또는 표면 플라즈몬 효과 등을 이용하면, 전기적이 아닌, 빛에 의해서도 굴절률이 변화될 수 있으므로, 빛을 제어 신호로 사용하는 반사기(13)를 설치할 수도 있다. 본 발명의 광변조기 에서는, 이러한 전기 제어 신호 또는 광 제어 신호를 제어기(14)에서 발생시켜 반사기(13)로 보내 반사기(13)의 굴절률을 변화시킨다.
도 2에 나타낸 것과 같은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 도파로를 이용한 광변조기를 이용한 광변조는 다음과 같은 메커니즘에 의해 이루어질 수 있다.
먼저, 주 도파로인 제 1 도파로(11)의 입구에 연속적인 파형(continuous wave)의 입사 광(incident light) 신호를 넣어준다. 반사기(13)에서 전반사를 일으킬 수 있는 굴절률 변화가 없는 상태에서는 광신호가 제 1 도파로(11)로 직진한다. 반사기(13)에서 전반사를 일으킬 수 있는 굴절률 변화를 주는 상태에서는 빛이 반사되어 가지 도파로인 제 2 도파로(12)로 빠져나가게 된다. 따라서, 제어기(14)에서 반사기(13)를 제어하여, 반사기(13)의 굴절률을 적절히 변화시켜줌으로써, 제 1 도파로(11)로 나가는 광신호의 세기를 변조시킬 수 있다.
제 1 도파로(11)와 반사기(13)의 반사면 사이 각도 θ는 임계각 θc 미만( θ < θc) 또는 임계각 근처(θ
Figure 112012075164695-pat00002
θc)의 각으로 만든다. 임계각 이내로 하면, 전반사에 의해 제 2 도파로(12)로 보내는 광의 세기를 최대한 크게 해줄 수 있고, 제 1 도파로(11)의 광신호의 변조폭을 최대한 크게 해줄 수 있다.
반사면 사이 각도 θ가 임계각 보다 약간 큰 임계각 근처의 각도일 경우에는 일부 빛이 반사되어 제 2 도파로(12)로 빠져나가고, 나머지 빛이 제 1 도파로(11)로 통과하게 되는데, 이 경우에는 제 2 도파로(12)로의 광신호의 변조폭이 식별 가능한 범위로 충분히 크게 만들 수 있다. 예로서 임계각 보다 약간 큰 반사면 사이 각도 θ에서 반사기(13)에서 반사되는 빛의 양이 30%이고, 나머지 70%는 주 도파로로 들어가게 된다면, 반사기(13) 제어시에 가지 도파로를 지나가는 광신호의 세기는 30%와 0% 사이에서 변조되므로, 광신호 식별비(extinction ratio)는 30:0이 될 수 있으며, 이 정도의 차이로 디지털 또는 아날로그 신호의 변조 효과를 충분히 얻을 수 있다. 따라서 임계각보다 약간 큰 반사면 사이 각도 θ에서도 광변조 기능을 달성할 수 있으므로, 굴절률 변화가 아주 작은 조건에서도 광변조 기능을 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, 제 1 도파로(11)로 나가는 빛을 변조된 광신호로 사용할 수도 있고 가지 도파로 나가는 빛을 광신호로 사용할 수도 있다. 제 1 도파로(11)와 제 2 도파로(12) 중에서 변조된 광신호를 전송하는 데 사용하는 도파로를 광신호의 전송선으로 정의한다. 나머지 도파로로 나가는 빛은, 신호로 사용하지 않을 경우에 필요 없는 광(idle light)이 되므로, 광신호의 추출선으로 정의한다.
즉, 본 발명의 도파로를 이용한 광변조기는, 제 1 도파로(11) 또는 제 2 도파로(12) 중 하나의 도파로는 입사된 광신호의 전송선으로 사용하고, 제 1 도파로(11) 또는 제 2 도파로(12) 중 다른 하나의 도파로는 입사된 광신호의 추출선으로 사용하는 것을 특징으로 한다. 다시 말하면, 제 1 도파로(11)가 광신호의 전송선으로 사용될 경우, 제 2 도파로(12)는 광신호의 추출선으로 사용된다. 마찬가지로, 제 2 도파로(12)가 광신호의 전송선으로 사용될 경우, 제 1 도파로(11)는 광신호의 추출선으로 사용된다. 비록, 본 발명의 도 2 내지 도 6에서는 제 1 도파로(11)를 광신호의 전송선으로, 제 2 도파로(12)는 광신호의 추출선으로 예시하였을지라도, 제 2 도파로(12)를 광신호의 전송선으로, 제 1 도파로(11)를 광신호의 추출선으로 사용할 수도 있다.
또한, 본 발명의 도파로를 이용한 광변조기는, 반사기(13)의 굴절률을 제어하는 것에 의해, 제 2 도파로(12)로 반사되는 입사된 광신호의 세기를 조절하여, 입사된 광신호를 변조하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 일실시예에 따르면, 광신호의 추출선으로 나가는 빛은 사용하지 않을 경우, 광변조기 근처에서 소멸시킬 필요가 있다.
본 발명에서는 광신호의 추출선으로 나가는 빛을 소멸시키기 위하여, 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단은, 단절, 고리 형태, 광흡수체(15)가 형성된 형태 또는, 경사진 거울면(16) 또는 회절 격자(17) 형태 중 어느 하나의 형태인 것을 특징으로 한다.
도 3은 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단을 단절시킨 예시도이다.
도 3에 나타낸 단절된 형태의 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단에 의해, 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로로 입사한 광신호는 난반사로 소멸하게 된다.
도 4는 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단을 고리 형태로 형성한 예시도이다.
도 4에 나타낸 고리 형태의 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단에 의해, 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로로 입사한 광신호는 산란 또는 발산으로 소멸하게 된다.
도 5는 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단을 광흡수체(15)를 형성시킨 예시도이다.
도 5에 나타낸 빛을 흡수하는 광흡수체(15)가 형성된 도파로의 말단에 의해, 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로로 입사한 광신호가 흡수되어 소멸하게 된다.
도 6a 및 도 6b는 각각 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단을 경사진 거울면(16) 또는 회절 격자(17) 형태로 형성한 예시도이다.
경사진 거울면(16) 또는 회절 격자(17) 형태의 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단에 의해, 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로로 입사한 광신호는 수직 방향 또는 수직 방향에 가깝게 방향이 전환되어 광변조기 외부로 배출되는 것에 의해, 최종적으로 소멸하게 된다. 도 6a 및 도 6b에서는 외부로 배출되는 방향을 도파로의 평면 상에서 직각에 가까운 방향을 예시하였으나, 거울면(16)과 회절 격자(17)를 적절한 면에 형성하여 도파로 평면에 대해 수직 방향에 가까운, 즉, 지면과 수직을 이루는 가까운 방향으로 배출할 수도 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 일실시예의 도파로를 이용한 광변조기에 따르면, 다음과 같은 효과를 획득할 수 있음을 알 수 있다.
(1) 빛의 반사 현상을 이용하는 것에 의해 빛의 파장, 모드, 편광, 세기, 빔크기 등에 민감하지 않으며, 또한 도파로의 온도, 크기, 굴절률의 균일도, 캐리어 도핑 농도, 제어 전압/전류의 변동 등에도 모두 민감하지 않아, 안정된 광변조 특성을 얻을 수 있다.
(2) 위상을 이용하는 광변조기는 광원으로 코히런트 위상을 갖는 레이저광이 필요한 것과는 달리, 위상에 둔감하여 발광 다이오드 또는 램프와 같이 여러 가지 파장이 혼합된 광원을 사용할 수 있다.
(3) 구조가 단순하고 굴절률 제어 조건이 엄격하지 않아, 소자 제작이 용이하다.
11 : 제 1 도파로 12 : 제 2 도파로
13 : 반사기 14 : 제어기
15 : 광흡수체 16 : 거울면
17 : 회절 격자

Claims (7)

  1. 광신호가 입사되고, 입사된 광신호와 동일한 방향으로 형성된 제 1 도파로;
    상기 제 1 도파로로부터 제 1 방향으로 분기되어 형성된 제 2 도파로;
    상기 제 1 도파로로부터 상기 제 2 도파로가 분기된 영역에 배치된 반사기; 및
    상기 반사기의 굴절률을 제어하는 제어기;를 포함하되,
    상기 제 1 도파로 또는 상기 제 2 도파로 중 하나의 도파로는 상기 입사된 광신호의 전송선으로 사용하고, 상기 제 1 도파로 또는 상기 제 2 도파로 중 다른 하나의 도파로는 상기 입사된 광신호의 추출선으로 사용하는 것을 특징으로 하는 도파로를 이용한 광변조기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어기가 상기 반사기의 굴절률을 제어하여, 상기 반사기의 굴절률을 변화시키는 것에 의해, 상기 제 2 도파로로 반사되는 상기 광신호의 세기를 조절하여, 상기 광신호를 변조하는 것을 특징으로 하는 도파로를 이용한 광변조기.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단은,
    단절;
    고리 형태;
    광흡수체가 형성된 형태; 또는,
    경사진 거울면 또는 회절 격자 형태; 중 어느 하나의 형태인 것을 특징으로 하는 도파로를 이용한 광변조기.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 단절된 형태의 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단에 의해, 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로로 입사한 상기 광신호는 난반사로 소멸하는 것을 특징으로 하는 도파로를 이용한 광변조기.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 고리 형태의 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단에 의해, 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로로 입사한 상기 광신호는 산란 또는 발산으로 소멸하는 것을 특징으로 하는 도파로를 이용한 광변조기.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 광흡수체가 형성된 도파로의 말단에 의해, 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로로 입사한 상기 광신호가 흡수되어 소멸하는 것을 특징으로 하는 도파로를 이용한 광변조기.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 경사진 거울면 또는 회절 격자 형태의 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로의 말단에 의해, 상기 광신호의 추출선으로 사용되는 도파로로 입사한 상기 광신호는 방향이 전환되어 광변조기 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 도파로를 이용한 광변조기.
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