KR101334418B1 - Test apparatus for measuring the joint resistance characteristics - Google Patents

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Abstract

A test device for measuring junction resistance characteristics according to the present invention includes a second test unit measuring the junction resistance characteristics of a specimen by applying a magnetic field while the second test unit is selectively inserted into superconducting test environment of a first test unit in the state of supporting the first test unit with the superconducting test environment and the specimen to measure the junction resistance characteristics. The test device controls temperature for applying the magnetic field to the specimen by controlling the depth of the second test unit to be inserted into the superconducting test environment. The temperature control for measuring the junction resistance characteristics is conveniently performed by controlling the depth of the second test unit to be inserted into the first test unit with such a configuration, thereby improving economic efficiency.

Description

접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치{TEST APPARATUS FOR MEASURING THE JOINT RESISTANCE CHARACTERISTICS}TEST APPARATUS FOR MEASURING THE JOINT RESISTANCE CHARACTERISTICS}

본 발명은 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치에 관한 것으로서, 보다 바람직하게는 초전도 조건 유지에 대한 경제성을 향상시킬 수 있는 접합 저항 특성 측정을 위한 접합 시험장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a test apparatus for measuring the junction resistance characteristics, and more particularly to a junction test apparatus for measuring the junction resistance characteristics that can improve the economics for maintaining the superconducting conditions.

일반적으로 접합 저항 특성 측정을 위해서는 초전도 환경이 조성되어야 한다. 상기 초전도 환경은 인계전류밀도, 임계자장 및 임계온도의 3가지 임계값을 만족하여야만 한다. 이에 따라, 상기 초전도 환경을 조성하기 위해, 대략 -270°정도의 절대영도로 냉각되어야 함에 따라, 냉각제로써 다량의 헬륨이 주입된다. In general, a superconducting environment should be established to measure junction resistance characteristics. The superconducting environment must satisfy three threshold values: take over current density, critical magnetic field and critical temperature. Accordingly, in order to create the superconducting environment, a large amount of helium is injected as a coolant as it must be cooled to an absolute degree of about -270 °.

한편, 상기 헬륨이 주입된 초전도 환경하에서 이루어지는 접합 저항 특성 측정은 측정하고자 하는 시료마다 자기장 유도에 의한 전류 인가를 위해 히터와 같은 가열수단이 구비되어야만 한다. 아울러, 비교적 큰 초전도 자석의 냉각을 위해 다량의 헬륨이 주입되어야 함으로써, 경제성이 저하되는 문제점을 가진다.
On the other hand, in the superconducting environment in which the helium is injected, the junction resistance characteristic measurement must be provided with a heating means such as a heater in order to apply current by magnetic field induction to each sample to be measured. In addition, since a large amount of helium must be injected for cooling a relatively large superconducting magnet, there is a problem in that economic efficiency is lowered.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 초전도 시험환경 조성을 위한 냉각제의 양을 저감시켜 경제성 향상에 기여할 수 있는 접합 저항 특성 측정을 위한 접합 시험장치를 제공하는데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a bonding test apparatus for measuring bonding resistance characteristics, which can contribute to economic efficiency by reducing the amount of coolant for creating a superconducting test environment.

본 발명의 다른 목적은 접합 저항 특성 측정 공정을 간소화시킬 수 있는 접합 저항 특성 측정을 위한 접합 시험장치를 제공하기 위한 것이다.
Another object of the present invention is to provide a junction test apparatus for measuring junction resistance characteristics that can simplify the junction resistance characteristic measurement process.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 접합 저항 특성 측정을 위한 접합 시험장치는, 초전도 시험환경이 조성되는 제1시험유닛 및, 접합 저항 특성을 측정하고자 하는 시험체를 지지한 채, 상기 제1시험유닛의 상기 초전도 시험환경으로 선택적으로 삽입되어, 자기장 인가에 따른 상기 시험체의 접합 저항 특성을 측정하는 제2시험유닛을 포함하며, 상기 제2시험유닛이 상기 초전도 시험환경 내로 삽입되는 깊이를 조절하여 상기 시험체에 대한 자기장 인가를 위한 온도를 조절한다. Bonding test apparatus for measuring the bonding resistance characteristics according to the present invention for achieving the above object, the first test unit while the superconductivity test environment is created, and the test body to measure the bonding resistance characteristics, the first test And a second test unit selectively inserted into the superconducting test environment of the unit to measure the junction resistance characteristic of the test body according to the application of a magnetic field, and adjusting the depth at which the second test unit is inserted into the superconducting test environment. The temperature for applying the magnetic field to the test specimen is adjusted.

일측에 의하면, 상기 제1시험유닛은 헬륨을 포함한 냉각제가 주입되어 상기 초전도 시험환경을 위한 온도로 냉각된다. According to one side, the first test unit is injected with a coolant including helium is cooled to a temperature for the superconducting test environment.

일측에 의하면, 상기 제2시험유닛은, 전원이 선택적으로 인가되는 제1자석부, 상기 제1자석부로부터 이격된 위치에 위치하며, 상기 시험체로 상기 제1자석부로부터 유도된 자기장을 인가시키는 제2자석부, 상기 제1자석부로부터 유도된 자기장을 상기 제2자석부 측으로 안내하여 상기 시험체에 자기장을 인가시키는 안내부 및 상기 시험체로 인가되는 자기장의 변화를 감지하는 센서부를 포함하며, 상기 제1자석부부터 상기 초전도 시험환경으로 삽입된다. According to one side, the second test unit is located in a position spaced apart from the first magnet portion, the first magnet portion to which power is selectively applied, to apply a magnetic field induced from the first magnet portion to the test body And a second magnet part, a guide part for guiding a magnetic field derived from the first magnet part to the second magnet part side to apply a magnetic field to the test object, and a sensor part for detecting a change in the magnetic field applied to the test object. From the first magnet portion is inserted into the superconducting test environment.

일측에 의하면, 상기 제1 및 제2자석부는 단면이 환형이며 코일이 권선되는 전자석을 포함하며, 상기 센서부 및 시험체는 각각 상기 제1 및 제2자석부 내부에 위치한다. According to one side, the first and the second magnet portion has an annular cross-section and an electromagnet wound around the coil, the sensor portion and the test body are located inside the first and second magnet portion, respectively.

일측에 의하면, 상기 안내부의 일단은 상기 제1자석부에 권선되는 초전도 루프로 마련되며, 타단은 상기 제2자석부 내부에 삽입된다. According to one side, one end of the guide portion is provided with a superconducting loop wound around the first magnet portion, the other end is inserted into the second magnet portion.

본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치는, 초전도 시험환경이 조성되는 제1시험유닛, 접합 저항 특성을 측정하고자 하는 시험체를 지지한 채, 상기 제1시험유닛의 상기 초전도 시험환경으로 선택적으로 삽입되어, 자기장 인가에 따른 상기 시험체의 접합 저항 특성을 측정하는 제2시험유닛 및, 상기 제1 및 제2시험유닛 중 적어도 어느 하나를 이동시켜, 상기 제1시험유닛의 상기 초전도 시험환경에 대한 상기 제2시험유닛의 삽입 깊이를 조절하는 이동유닛을 포함한다. According to a preferred embodiment of the present invention, a test apparatus for measuring the resistance of a junction includes a first test unit having a superconductivity test environment and a test body for measuring the resistance of the junction, wherein A second test unit selectively inserted into a superconducting test environment and measuring at least one of the first and second test units for measuring a bonding resistance characteristic of the test body according to application of a magnetic field, And a moving unit for adjusting the insertion depth of the second test unit with respect to the superconducting test environment.

일측에 의하면, 상기 제1시험유닛은 헬륨을 포함한 냉각제가 주입되어 상기 초전도 시험환경을 위한 온도로 냉각된다. According to one side, the first test unit is injected with a coolant including helium is cooled to a temperature for the superconducting test environment.

일측에 의하면, 상기 제2시험유닛은, 단면이 환형이며 코일이 권선되는 전자석을 포함하여, 전원 인가시 자기장을 유도하는 제1자석부, 단면이 환형이며 코일이 권선되는 전자석을 포함하되, 상기 제1자석부로부터 이격된 위치에 위치하며, 상기 시험체로 상기 제1자석부로부터 유도된 자기장을 인가시키는 제2자석부, 상기 제1자석부로부터 유도된 자기장을 상기 제2자석부 측으로 안내하여 상기 시험체에 자기장을 인가시키는 안내부 및, 상기 시험체로 인가되는 자기장의 변화를 감지하는 센서부를 포함하며, 상기 제1자석부부터 상기 초전도 시험환경으로 삽입된다. According to one side, the second test unit includes an electromagnet having an annular cross section and a coil wound, including a first magnet part inducing a magnetic field when power is applied, an annular cross section and a coil winding. Located in a position spaced apart from the first magnetic portion, the second magnetic portion for applying a magnetic field induced from the first magnetic portion to the test body, and guides the magnetic field induced from the first magnetic portion toward the second magnetic portion A guide unit for applying a magnetic field to the test body, and a sensor unit for detecting a change in the magnetic field applied to the test body, and is inserted into the superconducting test environment from the first magnet.

일측에 의하면, 상기 안내부의 일단은 상기 제1자석부에 권선되는 초전도 루프로 마련되며, 타단은 상기 제2자석부를 통해 상기 시험체와 연결된다. According to one side, one end of the guide portion is provided with a superconducting loop wound around the first magnet portion, the other end is connected to the test body through the second magnet portion.

일측에 의하면, 상기 이동유닛은 상기 제2시험유닛을 상기 제1시험유닛의 상기 초전도 시험환경 측으로 선택적으로 이동시켜, 상기 초전도 시험환경에 대한 상기 제2시험유닛의 삽입 깊이를 조절한다.
According to one side, the mobile unit selectively moves the second test unit to the superconducting test environment side of the first test unit, thereby adjusting the insertion depth of the second test unit to the superconducting test environment.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의하면, 첫째, 접합 저항 특성 측정을 위한 초전도 시험환경이 조성되는 제1시험유닛에 대해 시험체에 자기장을 인가하는 제2시험유닛이 삽입되는 깊이를 조절함에 따라, 필요한 부분만 냉각시킴에 따른 자기장 인가를 위한 온도 조절이 시간/비용면에서 용이해진다. According to the present invention having the configuration as described above, first, by adjusting the depth of insertion of the second test unit for applying a magnetic field to the test body with respect to the first test unit is a superconducting test environment for measuring the resistance properties of the junction, Temperature control for application of the magnetic field by cooling only the necessary parts becomes easy in time / cost.

둘째, 자기장 인가를 위한 온도 조절시 기존의 히터와 같은 가열수단이 불필요해짐에 따라, 헬륨과 같은 냉각제의 사용량을 저감시킬 수 있게 되어 경제성 향상의 효과를 기대할 수 있게 된다. Second, as the heating means such as the conventional heater is unnecessary when adjusting the temperature for applying the magnetic field, the amount of the coolant such as helium can be reduced, so that the effect of economic improvement can be expected.

셋째, 인슐레이션 즉, 별도의 보온재도 불필요해짐에 따른, 또 다른 경제성 향상의 효과를 기대할 수 있다. Third, the insulation, that is, a separate thermal insulation material is also unnecessary, it can be expected to further improve the economic effect.

넷째, 냉각제의 사용량도 저감 가능함에 따라 시험체에 자기장을 인가하는 자석부의 자석량 조절도 용이해진다.
Fourth, as the amount of coolant used can be reduced, the magnet amount of the magnet portion for applying the magnetic field to the test body can be easily adjusted.

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치를 개략적으로 도시한 개념도, 그리고,
도 2는 도 1에 도시된 제2시험유닛을 구성을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다. 1 is a conceptual diagram schematically showing a test apparatus for measuring junction resistance characteristics according to a preferred embodiment of the present invention, and
2 is a view schematically showing the configuration of the second test unit shown in FIG.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참고하여 설명한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명에 의한 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치(1)는 제1시험유닛(10), 제2시험유닛(20) 및 이동유닛(30)을 포함한다. 1 and 2, the test apparatus 1 for measuring the junction resistance characteristic according to the present invention includes a first test unit 10, a second test unit 20, and a mobile unit 30.

참고로, 본 발명에서 설명하는 시험장치(1)는 초전도 시험환경을 조성하여 접합(Joint) 저항 특성을 측정한다. 즉, 상기 시험장치(1)는 접합 부분인 시험체(J)를 절대영도까지 냉각하였을 때, 전기저항이 갑자기 소멸하여 전류가 아무런 장애 없이 흐르는 초전도 특성을 이용해, 접합 저항 특성을 측정한다.
For reference, the test apparatus 1 described in the present invention establishes a superconducting test environment and measures joint resistance characteristics. That is, the test apparatus 1 measures the junction resistance characteristic by using a superconducting characteristic in which the electrical resistance suddenly disappears and the current flows without any obstacle when the test body J, which is the junction portion, is cooled to absolute zero.

상기 제1시험유닛(10)은 도 1의 도시와 같이, 초전도 시험환경(H)을 조성한다. 여기서, 상기 제1시험유닛(10)은 초전도 시험환경(H)이 내부에 마련되는 챔버로써, 초전도 시험환경(H)은 헬륨(He)과 같은 냉각제의 주입으로 인해 초전도 특성을 가지게 되는 절대영도의 온도로 냉각된다. As illustrated in FIG. 1, the first test unit 10 establishes a superconducting test environment H. Here, the first test unit 10 is a chamber in which a superconductivity test environment (H) is provided, and the superconductivity test environment (H) has absolute conductivity due to injection of a coolant such as helium (He). Is cooled to a temperature of.

상기 제2시험유닛(20)은 접합 저항 특성을 측정하고자 하는 시험체(J)를 지지한 채, 제1시험유닛(10)의 초전도 시험환경(H) 내외로 선택적으로 삽입되어, 자기장 인가에 따른 시험체(J)의 접합 저항 특성을 측정한다. 이러한 제2시험유닛(20)은 제1자석부(21), 제2자석부(22), 안내부(23) 및 센서부(24)를 포함한다. The second test unit 20 is selectively inserted into and out of the superconducting test environment (H) of the first test unit 10 while supporting the test object (J) to measure the junction resistance characteristics, according to the application of a magnetic field The junction resistance characteristic of the test body J is measured. The second test unit 20 includes a first magnet part 21, a second magnet part 22, a guide part 23, and a sensor part 24.

상기 제1자석부(21)는 전원이 선택적으로 전원이 인가된다. 이를 위해, 상기 제1자석부(21)는 단면이 환형이며 코일이 권선되는 전자석을 포함하며, 전원공급부(21a)로부터 선택적으로 전원을 공급받아 자기장을 유도한다. Power is selectively applied to the first magnet part 21. To this end, the first magnet portion 21 includes an electromagnet in which the cross section is annular and the coil is wound, and induces a magnetic field by receiving power selectively from the power supply 21a.

상기 제2자석부(22)는 제1자석부(21)로부터 이격된 위치에 위치하여, 상기 제1자석부(21)로부터 자기장을 인가받는다. 상기 제2자석부(22)는 제1자석부(21)와 마찬가지로 단면이 환형이며 코일이 권선된 전자석인 것으로 예시한다. 아울러, 상기 제2자석부(22)의 내부에는 시험체(J)가 삽입되어 마련된다. The second magnet part 22 is located at a position spaced apart from the first magnet part 21 and receives a magnetic field from the first magnet part 21. The second magnet part 22 is exemplified as an electromagnet having a circular cross section and a coil wound like the first magnet part 21. In addition, the test body J is inserted into the second magnet part 22.

상기 안내부(23)는 상기 제1자석부(21)로부터 유도된 자기장을 제2자석부(22) 측으로 안내하여, 시험체(J)에 자기장을 인가시킨다. 즉, 상기 안내부(23)는 제1자석부(21)로 전원이 인가됨에 따라 유도된 자기장을 제2자석부(22) 측으로 안내시킴으로써, 제2자석부(22)도 제1자석부(21)와 함께 자화시킨다. 이러한 안내부(23)는 일단(23a)은 제1자석부(21)에 권선되는 초전도 루프(loop)로 마련되며, 타단(23b)은 시험체(J)와 연결된다. 여기서, 상기 안내부(23)는 타단(23b)은 제2자석부(22)의 내부에 마련되도록 삽입됨으로써, 제2자석부(22) 내부에 마련된 시험체(J)와 연결된다. The guide part 23 guides the magnetic field induced from the first magnet part 21 toward the second magnet part 22 to apply a magnetic field to the test body J. That is, the guide part 23 guides the magnetic field induced as power is applied to the first magnet part 21 toward the second magnet part 22, so that the second magnet part 22 also has the first magnet part ( Magnetize with 21). The guide portion 23 is provided with a superconducting loop, one end 23a of which is wound around the first magnet part 21, and the other end 23b is connected to the test body J. Here, the guide 23 is inserted into the other end 23b to be provided in the second magnet part 22, thereby connecting to the test body J provided in the second magnet part 22.

상기 센서부(24)는 시험체(J)로 인가되는 자기장의 변화를 감지한다. 상기 센서부(24)로부터 감지된 자기장의 변화는 초전도 환경 내에선 시험체(J)의 접합 저항 특성 측정을 위해, 검출부(24a)로 전달되어 검출된다. The sensor unit 24 detects a change in the magnetic field applied to the test object J. The change in the magnetic field detected by the sensor unit 24 is transmitted to the detection unit 24a to detect the junction resistance characteristic of the test object J in the superconducting environment and detected.

상기 이동유닛(30)은 상기 제2시험유닛(20)을 제1시험유닛(10)의 초전도 시험환경(H) 내외로 가동시킨다. 즉, 상기 이동유닛(30)은 도 1의 도시와 같이, 상기 제2시험유닛(20)을 화살표 방향으로 승하강시켜, 제1시험유닛(10)의 초전도 시험환경(H)에 대한 제2시험유닛(20)의 삽입 깊이를 조절하는 것이다. The mobile unit 30 operates the second test unit 20 into or out of the superconducting test environment H of the first test unit 10. That is, as shown in FIG. 1, the mobile unit 30 raises and lowers the second test unit 20 in the direction of an arrow, so that the mobile unit 30 has a second superconducting test environment H of the first test unit 10. The insertion depth of the test unit 20 is adjusted.

구체적으로, 상기 이동유닛(30)은 제2시험유닛(20)의 제1자석부(21)부터 제1시험유닛(10)의 초전도 시험환경(H)으로 삽입되도록 제2시험유닛(20)을 승하강시킨다. 이러한 이동유닛(30)은 일반적은 모터와 같은 다양한 구동수단 중 어느 하나를 포함하여, 발생된 구동력 제2시험유닛(20)으로 전달시킨다. Specifically, the mobile unit 30 is inserted into the superconducting test environment (H) of the first test unit 10 from the first magnet portion 21 of the second test unit 20, the second test unit 20 Raise and lower. The mobile unit 30 generally includes any one of various driving means such as a motor and transmits the generated driving force to the second test unit 20.

참고로, 본 실시예에서는 상기 이동유닛(30)이 제2시험유닛(20)을 제1시험유닛(10)의 초전도 시험환경(H)으로 이동시키는 것으로만 예시하였으나, 꼭 이를 한정하는 것은 아니다. 예를 들어, 상기 이동유닛(30)이 제2시험유닛(20)을 향해 제1시험유닛(10)을 승하강시켜, 초전도 시험환경(H)에 대한 제2시험유닛(20)의 삽입 깊이를 조절하는 변형예도 가능함은 당연하다. 뿐만 아니라, 상기 이동유닛(30)이 제1 및 제2시험유닛(10)(20)을 동시에 이동시켜, 초전도 시험환경(H)에 대한 제2시험유닛(20)의 삽입 깊이를 조절하는 또 다른 변형예도 가능하다. 즉, 상기 이동유닛(30)은 제1 및 제2시험유닛(20) 중 적어도 어느 하나를 이동시켜, 초전도 시험환경(H)에 대한 제2시험유닛(20)의 삽입 깊이를 조절하는 것이다.
For reference, in the present embodiment, the mobile unit 30 is illustrated as only moving the second test unit 20 to the superconducting test environment (H) of the first test unit 10, but is not necessarily limited thereto. . For example, the mobile unit 30 raises and lowers the first test unit 10 toward the second test unit 20, so that the insertion depth of the second test unit 20 with respect to the superconducting test environment H is increased. Of course, it is also possible to modify the modification. In addition, the mobile unit 30 simultaneously moves the first and second test units 10 and 20 to adjust the insertion depth of the second test unit 20 with respect to the superconducting test environment H. Other variations are also possible. That is, the mobile unit 30 moves at least one of the first and second test units 20 to adjust the insertion depth of the second test unit 20 with respect to the superconducting test environment (H).

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치(1)의 시험동작을 도 1 및 도 2를 참고하여 설명한다. The test operation of the test apparatus 1 for measuring the junction resistance characteristic according to the present invention having the above configuration will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

도 1의 도시와 같이, 상기 제2시험유닛(20)이 제1시험유닛(10)의 초전도 시험환경(H)으로 이동유닛(30)에 의해 이동되어 삽입되면, 도 2의 도시와 같이, 제2시험유닛(20)의 제1자석부(21)부터 초전도 시험환경(H)으로 삽입된다. 여기서, 상기 제2시험유닛(20)은 전원인가부(21a)를 통해 인가된 전원으로 인해 자화된 제1자석부(21)로부터 인가된 자기장이 안내부(23)를 통해 제2자석부(22) 측으로 안내됨으로써, 제2자석부(22)의 내부에 마련되며 안내부(23)의 타단(23b)과 연결된 시험체(J)에 자기장이 인가된 상태이다. As shown in FIG. 1, when the second test unit 20 is moved and inserted into the superconducting test environment H of the first test unit 10 by the moving unit 30, as shown in FIG. 2, From the first magnet portion 21 of the second test unit 20 is inserted into the superconducting test environment (H). Here, the second test unit 20 is a magnetic field applied from the first magnet portion 21 magnetized by the power applied through the power supply unit 21a through the guide portion 23, the second magnet portion ( 22), the magnetic field is applied to the test body J provided inside the second magnet part 22 and connected to the other end 23b of the guide part 23.

이렇게 제2시험유닛(20)가 초전도 시험환경(H)으로 삽입됨으로써 절대영도의 온도로 냉각된다. 그로 인해, 상기 제1자석부(21)로부터 인가되어 제2자석부(22)로 유도된 자기장이 초전도 시험환경(H)에 의해 간섭되어 변화되며, 이를 센서부(24)가 감지하여 검출부(24a)로 제공하여 측정하게 된다. In this way, the second test unit 20 is inserted into the superconducting test environment H, thereby cooling to an absolute zero temperature. Therefore, the magnetic field applied from the first magnet part 21 and guided to the second magnet part 22 is interfered and changed by the superconducting test environment H, and the sensor part 24 detects the detection part ( 24a) to measure.

상기와 같이, 상기 시험체(J)의 초전도 접합 특성은 제2시험유닛(20)이 제1시험유닛(10)의 초전도 시험환경(H)으로 삽입되는 깊이의 조절에 따른 자기장 변화를 통해 측정된다. 이로 인해, 다양한 시험체(J)에 대한 간편한 접합 저항 특성 측정이 가능해짐과 아울러, 자기장 인가를 위한 별도의 히터(Heater)와 같은 가열수단이 불필요해진다.
As described above, the superconducting bonding property of the test body J is measured through the change in the magnetic field according to the control of the depth that the second test unit 20 is inserted into the superconducting test environment (H) of the first test unit (10). . As a result, it is possible to easily measure the junction resistance characteristics of various test specimens J, and also eliminate a heating means such as a heater for applying a magnetic field.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
Although the present invention has been described with reference to the preferred embodiments thereof, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the following claims. It can be understood that

1: 시험장치 10: 제1시험유닛
20: 제2시험유닛 21: 제1자석부
22: 제2자석부 23: 안내부
24: 센서부 30: 이동유닛1: test apparatus 10: first test unit
20: second test unit 21: first magnet part
22: second magnet 23: guide
24: sensor unit 30: mobile unit

Claims (10)

전기저항이 갑자기 소멸하여 전류가 아무런 장애 없이 흐르는 초전도 시험환경이 조성되는 제1시험유닛; 및
접합(Joint) 부분에서 발생되는 접합 저항 특성을 측정하고자 하는 시험체를 지지한 채, 상기 제1시험유닛의 상기 초전도 시험환경으로 선택적으로 삽입되어, 자기장 인가에 따른 상기 시험체의 접합 저항 특성을 측정하는 제2시험유닛;
을 포함하며,
상기 제2시험유닛이 상기 초전도 시험환경 내로 삽입되는 깊이를 조절하여 상기 시험체에 대한 자기장 인가를 위한 온도를 조절하되,
상기 제2시험유닛은,
전원이 선택적으로 인가되는 제1자석부;
상기 제1자석부로부터 이격된 위치에 위치하며, 상기 시험체로 상기 제1자석부로부터 유도된 자기장을 인가시키는 제2자석부;
상기 제1자석부로부터 유도된 자기장을 상기 제2자석부 측으로 안내하여 상기 시험체에 자기장을 인가시키는 안내부; 및
상기 시험체로 인가되는 자기장의 변화를 감지하는 센서부;
를 포함하여, 상기 제1자석부부터 상기 초전도 시험환경으로 삽입되는 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치.
A first test unit in which a superconducting test environment in which an electric resistance suddenly disappears and a current flows without any obstacle is created; And
While supporting the specimen to measure the junction resistance characteristics generated in the joint portion, it is selectively inserted into the superconducting test environment of the first test unit to measure the junction resistance characteristics of the specimen in accordance with the application of a magnetic field A second test unit;
/ RTI >
By adjusting the depth that the second test unit is inserted into the superconducting test environment, the temperature for applying the magnetic field to the test body,
The second test unit,
A first magnet part to which power is selectively applied;
A second magnet part located at a position spaced apart from the first magnet part and applying a magnetic field induced from the first magnet part to the test body;
A guide part for guiding a magnetic field induced from the first magnet part toward the second magnet part to apply a magnetic field to the test body; And
A sensor unit for detecting a change in the magnetic field applied to the test object;
Including, Test device for measuring the junction resistance characteristics are inserted into the superconducting test environment from the first magnet portion.
제1항에 있어서,
상기 제1시험유닛은 헬륨을 포함한 냉각제가 주입되어 상기 초전도 시험환경을 위한 온도로 냉각되는 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치.
The method of claim 1,
The first test unit is a test device for measuring the resistance of the junction is injected into a coolant containing helium is cooled to a temperature for the superconducting test environment.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2자석부는 단면이 환형이며 코일이 권선되는 전자석을 포함하며,
상기 센서부 및 시험체는 각각 상기 제1 및 제2자석부 내부에 위치하는 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치.
The method of claim 1,
The first and second magnets have an annular cross section and include an electromagnet to which coils are wound.
The sensor unit and the test body is a test device for measuring the resistance characteristics of the junction located inside the first and second magnets, respectively.
제1항에 있어서,
상기 안내부의 일단은 상기 제1자석부에 권선되는 초전도 루프로 마련되며, 타단은 상기 제2자석부 내부에 삽입된 상기 시험체와 연결되는 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치.
The method of claim 1,
One end of the guide portion is provided with a superconducting loop wound around the first magnet portion, and the other end is connected to the test body inserted into the second magnet portion, the test apparatus for measuring the resistance characteristics.
전기저항이 갑자기 소멸하여 전류가 아무런 장애 없이 흐르는 초전도 시험환경이 조성되는 제1시험유닛;
접합(Joint) 부분에서 발생되는 접합 저항 특성을 측정하고자 하는 시험체를 지지한 채, 상기 제1시험유닛의 상기 초전도 시험환경으로 선택적으로 삽입되어, 자기장 인가에 따른 상기 시험체의 접합 저항 특성을 측정하는 제2시험유닛; 및
상기 제1 및 제2시험유닛 중 적어도 어느 하나를 이동시켜, 상기 제1시험유닛의 상기 초전도 시험환경에 대한 상기 제2시험유닛의 삽입 깊이를 조절하는 이동유닛;
을 포함하며,
상기 제2시험유닛은,
단면이 환형이며 코일이 권선되는 전자석을 포함하여, 전원 인가시 자기장을 유도하는 제1자석부;
단면이 환형이며 코일이 권선되는 전자석을 포함하되, 상기 제1자석부로부터 이격된 위치에 위치하며, 상기 시험체로 상기 제1자석부로부터 유도된 자기장을 인가시키는 제2자석부;
상기 제1자석부로부터 유도된 자기장을 상기 제2자석부 측으로 안내하여 상기 시험체에 자기장을 인가시키는 안내부; 및
상기 시험체로 인가되는 자기장의 변화를 감지하는 센서부;
를 포함하여, 상기 제1자석부부터 상기 초전도 시험환경으로 삽입되는 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치.
A first test unit in which a superconducting test environment in which an electric resistance suddenly disappears and a current flows without any obstacle is created;
While supporting the specimen to measure the junction resistance characteristics generated in the joint portion, it is selectively inserted into the superconducting test environment of the first test unit to measure the junction resistance characteristics of the specimen in accordance with the application of a magnetic field A second test unit; And
A moving unit which moves at least one of the first and second test units to adjust an insertion depth of the second test unit with respect to the superconducting test environment of the first test unit;
/ RTI >
The second test unit,
A first magnet part including an electromagnet having an annular cross section and having a coil wound to induce a magnetic field when power is applied;
A second magnet part including an electromagnet having a ring-shaped cross section and positioned at a position spaced apart from the first magnet part, for applying a magnetic field induced from the first magnet part to the test body;
A guide part for guiding a magnetic field induced from the first magnet part toward the second magnet part to apply a magnetic field to the test body; And
A sensor unit for detecting a change in the magnetic field applied to the test object;
Including, Test device for measuring the junction resistance characteristics are inserted into the superconducting test environment from the first magnet portion.
제6항에 있어서,
상기 제1시험유닛은 헬륨을 포함한 냉각제가 주입되어 상기 초전도 시험환경을 위한 온도로 냉각되는 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치.
The method according to claim 6,
The first test unit is a test device for measuring the resistance of the junction is injected into a coolant containing helium is cooled to a temperature for the superconducting test environment.
삭제delete 제6항에 있어서,
상기 안내부의 일단은 상기 제1자석부에 권선되는 초전도 루프로 마련되며, 타단은 상기 제2자석부를 통해 상기 시험체와 연결되는 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치.
The method according to claim 6,
One end of the guide portion is provided with a superconducting loop that is wound around the first magnet portion, the other end is a test device for measuring the bonding resistance characteristics connected to the test body through the second magnet portion.
제6항에 있어서,
상기 이동유닛은 상기 제2시험유닛을 상기 제1시험유닛의 상기 초전도 시험환경 측으로 선택적으로 이동시켜, 상기 초전도 시험환경에 대한 상기 제2시험유닛의 삽입 깊이를 조절하는 접합 저항 특성 측정을 위한 시험장치. The method according to claim 6,
The mobile unit selectively moves the second test unit to the superconducting test environment side of the first test unit, thereby testing a junction resistance characteristic for adjusting the insertion depth of the second test unit to the superconducting test environment. Device.
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