KR101276161B1 - 고압 세정액 분사식 세정장치 - Google Patents

Abstract

바(bar)형 홀더와, 상기 바형 홀더의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고 배열된 복수의 고압 세정액 분사노즐을 구비하고, 상기 홀더를 그 길이방향의 양측방에서 길이방향의 축 주위로 회전 가능하게 지지하고, 세정대상물을 상기 홀더에 대하여 일정 속도로 반송하면서 상기 홀더를 소정 회전각도 내에서 상기 축 주위로 왕복회전시키면서 각 분사노즐에서 고압 세정액을 상기 세정대상물의 세정면에 대하여 1개의 직선형으로 분사시켜 세정하는 고압 세정액 분사식 세정장치이며, 상기 홀더를 상기 세정대상물을 횡단하는 길이 이상의 길이로 하고, 상기 세정면의 법선방향에서 보아서 상기 홀더를 상기 세정대상물의 반송방향에 대하여 직교 또는 경사지게 배치하고 있다.

Description

고압 세정액 분사식 세정장치{CLEANING DEVICE ADAPTED TO EJECT HIGH-PRESSURE CLEANING LIQUID}

본 발명은, 주로 액정 패널(panel), 플라즈마 패널(plasma panel), 태양전지 패널, 유기 EL(electric luminance) 패널 등의 FPD(플랫 패널 디스플레이(flat panel display))이나, 대형 판형 글라스(glass)나 반도체 웨이퍼(wafer) 등의 평평한 판형물을 고압 세정액을 분사하여 세정하는 고압 세정액 분사 세정장치("워터 제트(water jet) 세정기"라고도 한다)에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 예를 들면, 액정 디스플레이(display)나 반도체 웨이퍼 등의 제조공정에서 글라스 기판 표면의 미세한 입자나 유기물이나 금속 불순물이라고 하는 수율 저하의 원인이 되는 오탁 물질을 고압 세정액(고압수를 포함한다)을 분사하여 제거하는데 사용할 수 있고, 제조가 간단하며 저 비용화가 가능한 고압 세정액 분사 세정장치에 관한 것이다.

이러한 종류의 고압 세정액 분사식 세정장치로서, 복수의 고압액 분사노즐(nozzle)을 배열하여 장착한 홀더(holder)를 선회(원운동)시키거나 원뿔형으로 요동시키면서 그 세정장치에서 분사하는 고압 세정액을 세정대상물에 대하여 수직으로 부딪치게 함으로써 분사노즐에서 분사하는 고압 세정액으로 세정대상물의 일면을 세정하는 장치가 제안되어 있다(예를 들면, 일본 특허 제2705719호 공보 참조). 이러한 장치는 1개의 직선형으로 고압 세정액이 분사되는 집속형 노즐을 구비하고 있다.

종래의 일반적인 세정장치에서 사용되고 있는 노즐은, 분사되는 세정액이 원뿔형으로 넓어지는 콘(cone)형 또는 부채꼴로 넓어지는 팬(fan)형이 많다. 이들 노즐이라면, 세정액의 분류(噴流)가 확산하고, 그 확산하는 폭이 넓기 때문에, 상기 공보의 세정장치와 같이 원운동 또는 요동시킬 필요가 없다.

한편, 상기 공보의 세정장치에서는, 세정액이 확산하지 않는 1개의 직선형으로 되어 분사되는 집속형 분사노즐을 사용하고 있기 때문에, 분사되는 세정액의 에너지밀도가 콘형이나 팬형에 비하여 수십배로 매우 높다. 따라서 세정면에서의 박리·세정효과는 매우 우수하다. 그러나 세정대상물에 대하여 세정액이 부딪치는 영역(면적)이 매우 좁고, 국소부분밖에 세정할 수 없다. 바꿔 말하면, 세정액이 부딪치지 않는 부분이 넓고, 이들 부분은 세정되지 않는다.

이를 해결하기 위하여, 본 출원의 발명자들은, 세정대상물을 일정 속도로 이동시키면서 다수의 고압액 분사노즐에서 세정액을 상기 세정대상물에 대해 일직선형으로 분사시켜 세정하는 고압액 분사식 세정방법에서, 각 고압액 분사노즐을 세정대상물을 향하면서도 서로 간격을 두고 공통의 홀더에 배열하고, 상기 각 고압액 분사노즐의 방향을 같게 하고, 상기 각 고압액 분사노즐을 상기 홀더를 매개하여 일체적으로 선회 원운동시키면서 각 고압액 분사노즐에서 세정대상물에 대하여 고압액을 분사시키도록 한 세정방법과 세정장치를 개발하고, 특허출원(일본 특원제2007-281322호)을 하였다.

이러한 종류의 세정장치에 관한 다른 선행기술로는, 세정대상물 표면 내의 다른 영역보다 부착물이 많은 특정영역을 검출하는 검출수단과, 상기 세정대상물을 그 반송방향을 따라 경사지게 한 상태로 지지하는 지지수단과, 상기 세정대상물을 상기 지지수단에 의해 지지된 채 상기 반송방향을 따라 반송하는 반송수단과, 상기 세정대상물의 표면에 세정액을 토출하는 토출수단과, 상기 표면의 면 내 방향이고, 또한 상기 반송방향에 직교하는 방향인 상기 세정대상물의 폭방향을 따라 상기 토출수단을 이동시키는 이동수단을 구비하며, 상기 특정영역에 선택적으로 상기 토출수단에서 상기 세정액을 토출하는 세정장치가 제안되어 있다(예를 들면, 일본 특개제2006-10947호 공보 참조).

상기한 바와 같이, 홀더를 선회 원운동시킬 때의 회전속도를 높이면 높일수록 세정밀도가 높아지지만, 한편으로 홀더 또는 홀더를 포함하는 장치 전체의 진동이 커진다. 즉, 이러한 진동가속도는 회전속도의 제곱으로 커지기 때문에, 일본 특허제2705719호 공보에 기재된 바와 같은 손잡이식 세정장치에 있어서는, 작업자가 손으로 잡은 상태로 세정작업을 계속하는 것이 곤란해진다. 또한, 홀더에 장착되는 노즐의 수를 2배~3배로 늘리면, 홀더의 전체 길이가 늘어날 뿐만 아니라 홀더의 외경이 큰 폭으로 커지기 때문에 손잡이식 세정장치로서는 적합하지 않다.

일본 특개제2006-10947호 공보에 기재된 장치는, 세정대상물 상의 부착물이 많은 특정영역을 집중적으로 세정하는 장치이고, 세정대상물 전체를 균일하게 세정하는 장치가 아니다.

선원(先願)에 따른 상기 특허출원의 세정장치(70)는, 도 12에 도시된 바와 같이 다수의 고압수 분사노즐(72)이 배열된 홀더(71)를 양측의 구동축(74)을 편심회전시켜 수평면 내에서 선회 원운동시키면서 세정하는 구조로 이루어진다. 이 때문에, 도 12에 있어서 Y방향으로의 가진(加振)시에 이등변 삼각형상의 휨 모멘트(bending moment)가 홀더(71)에 작용한다. 따라서 홀더(71)에는 그 휨 모멘트를 견딜 만큼의 단면 강도를 갖게 할 필요가 있고, 홀더(71)의 강성을 높이기 위하여 장치가 대형화하고, 중량이 커진다. 이에 따라, 양측의 편심 회전 구동부(73) 및 구동모터도 증강해야 하고, 비용 상승(cost up)의 요인이 되는 외에 외부 진동의 증대로 이어진다. 또한, 밀폐한 세정실(76)을 확보하기 위해서는, 선회 원운동하는 홀더(71)에서 양측방으로 연장하는 지지부(75)와 세정실(76)의 양측벽(77)에 소정의 간격(도 12의 G방향 화살표시부)을 마련한 다음에 해당 간격을 실링하여야 한다. 이 때문에, 실링 구조가 복잡해진다.

본 발명은, 상기한 점을 감안하여 안출된 것으로, 상기 선원(先願)에 따른 세정장치에 비하여 구조를 간략화할 수 있고, 소형·경량화를 도모할 수 있고, 저 비용화를 달성할 수 있고, 또한 세정 때의 장치 진동을 억제하고, 균일하고 효율적인 세정을 가능하게 하는 고압 세정액 분사식 세정장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 고압 세정액 분사식 세정장치는, 바(bar)형 홀더와, 상기 바형 홀더의 길이방향을 따라 일정한 간격을 두고 배열된 복수의 고압 세정액 분사노즐을 구비하고, 상기 홀더를 그 길이방향의 양측방에서 길이방향의 축 주위로 회전 가능하게 지지하고, 세정대상물을 상기 홀더에 대하여 일정 속도로 반송하면서 상기 홀더를 소정 회전각도 내에서 상기 축 주위로 왕복회전시키면서 각 분사노즐에서 고압 세정액을 상기 세정대상물의 세정면에 대하여 1개의 직선형으로 분사시켜 세정하는 고압 세정액 분사식 세정장치이며, 상기 홀더를 상기 세정대상물을 횡단하는 길이 이상의 길이로 하고, 상기 세정면의 법선방향에서 볼 때 상기 홀더를 상기 세정대상물의 반송방향에 대하여 직교 또는 경사지게 배치한 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 따르면, 복수의 고압 세정액 분사노즐이 홀더와 함께 홀더의 길이방향의 축 주위로 소정 회전각도 내에서 왕복회전운동(시계방향회전과 반시계방향회전을 교대로 반복하는 것과 같은 회전운동)함과 동시에 복수의 분사노즐에서 고압 세정액이 일직선형으로 분사되기 때문에 높은 세정강도를 얻을 수 있다. 또한, 홀더의 길이방향에 직교하는 방향으로 소정의 회전각도로 왕복회전하고, 세정대상물의 폭 방향에 걸쳐 거의 간격없이 고압 세정액을 균일하게 분사시킬 수 있어, 세정 얼룩이 발생하기 어렵다. 더욱이, 세정의 고속화를 도모하기 위하여 세정대상물의 이동속도를 빠르게 하거나, 왕복회전시간을 단축하거나, 왕복하는 회전각도를 좁게 하여도 홀더 또는 홀더를 포함하는 장치 전체의 진동가속도가 증가하지 않고, 진동이 억제된다.

상기 홀더의 하부면에 상기 각 분사노즐을 길이방향을 따라 배열함과 아울러 상기 홀더의 길이방향을 따라 고압 세정액 공급로를 직선형으로 상기 각 분사노즐에 연통하여 설치하고, 상기 고압 세정액 공급로의 단부에 가소성의 고압 세정액 공급관의 일단을 접속하고, 상기 홀더의 길이방향의 양단면에 회전축을 일체 회전 가능하게 설치할 수 있다.

이와 같이 구성하면, 홀더 양측방의 회전축을 예를 들면 베어링으로 회전 가능하게 지지하고, 크랭크(crank)기구나 모터 등을 개재하여 홀더에 왕복회전력을 주어 왕복회전시킬 수 있다. 또한, 홀더는 축 주위로 요동 회전하지만, 요동범위(회전각도(θ))는 예를 들면 10~30°정도로 작으므로, 홀더의 요동회전시에 가소성의 고압 세정액 공급관이 굴곡 변형하여 홀더 단부의 변위를 흡수한다. 그리고, 고압 세정액 공급관을 통하여 고압 세정액 공급로 내에 공급되는 고압 세정액은 고압 세정액 공급로 내에 직면하는(연통하는) 각 분사노즐에서 거의 균등하게 고압 세정액이 분사된다.

상기 홀더는, 그 길이방향에 직교하는 단면이 사각형상인 블록체이고, 상기 회전축의 일단에는 상기 홀더를 향하여 개구한 각기둥부(角筒部)를 일체로 설치하고, 각 각기둥부의 내부에 상기 블록체의 양단부를 각각 끼워넣어 상기 블록체의 단부 및 상기 각기둥부를 일련(一連)으로 관통하는 볼트에 의해 일체적으로 고정할 수 있다.

이와 같이 구성하면, 블록체로 이루어지는 홀더가 회전축과 확실하게 일체적으로 결합되고, 볼트가 풀어져서 홀더와 회전축이 부주의하게 분리되거나 하지 않는다.

상기 홀더를 그 양측방에서 상기 축 주위로 회전 가능하게 지지함과 아울러 그 길이방향으로 이동 가능하게 지지하고, 상기 홀더를 상기 세정대상물의 반송방향에 대하여 직교하여 배치하고, 상기 홀더를 상기 축 주위로 소정 회전각도 내에서 왕복회전시킴과 동시에 길이방향으로 소정 치수 내에서 왕복이동시키도록 구성할 수 있다.

이와 같이 구성하면, 다수의 분사노즐에서 고압 하에서 세정액을 분사하면서 홀더를 그 길이방향의 축 주위로 회전(요동)시킴과 동시에 홀더의 길이(장축)방향으로도 왕복이동(직선방향으로 왕복이동)시킬 수 있다. 이 때문에, 홀더는 세정대상물의 반송방향에 직교하여 배치하는 것이 바람직하다. 바꿔 말하면, 홀더를 세정대상물의 반송방향에 대하여 경사지게 배치하지 않고 해결된다. 이에 따라 홀더의 설치 스페이스(space)를 축소할 수 있다. 게다가, 홀더의 길이방향 축 주위에 있어서의 방향전환점과 홀더의 길이방향에 있어서의 방향전환점에서 시간적인 차이가 있으므로 고압 세정액이 세정대상물 상의 특정부분에 집중하여 분사되는 경우가 없다.

공통의 모터에 의해 상기 홀더의 회전축에 대하여 길이방향의 왕복이동을 허용하고 또한 상기 축 주위로 왕복회전 가능한 회전력을 부여함과 아울러 상기 홀더의 회전축에 대하여 상기 축 주위의 회전을 허용하고 또한 길이방향으로 왕복이동 가능한 직동력(직선방향의 왕복구동력)을 부여하도록 구성할 수 있다.

이와 같이 구성하면, 홀더를 길이방향의 축 주위로 요동시키면서 길이방향으로도 일정 피치(pitch)로 직선형으로 원활하게 왕복이동시킬 수 있기 때문에 원 형상뿐만 아니라 임의의 타원 형상을 그리도록 고압 세정액을 세정대상물에 분사하여 세정할 수 있고, 세정의 균일성을 확보함에 더하여 자유도가 확대된다. 또한, 공통의 모터에 의해 홀더의 요동회전과 길이방향의 왕복운동을 동시에 행하게 하므로 구조가 간단하며 2개의 동작을 연동(동기)하는 것이 용이해진다.

상기 홀더의 상기 축 주위의 왕복회전 스트로크(stroke) 거리와 상기 홀더의 길이방향의 왕복이동 스트로크 거리를 일치시킬 수 있다.

이와 같이 구성하면, 세정대상물에 대하여 세정액을 정원(正圓) 형상의 원을 그리도록 분사시킬 수 있다. 또한, 상기한 선원(先願)의 고압 세정액 분사식 세정장치에 비하여 구조가 간단하고, 거의 같은 세정작용을 얻을 수 있다. 또한, 홀더 전후방향 가속도의 밸런스(balance)는, 선원의 고압 세정액 분사식 세정장치에 비하여 맞추기 쉬우므로 취급이 용이해진다.

본 발명에 따른 고압 세정액 분사식 세정장치는 상기 구성을 가지기 때문에 아래와 같은 우수한 효과가 있다. 즉, 다수의 분사노즐이 홀더를 개재하여 길이방향 축 주위로 소정의 회전각도 내에서 왕복 회전한다. 이러한 회전시에 복수의 분사노즐에서 세정액이 세정대상물에 대하여 고압 상태로 분사된다. 홀더를 길이방향 축 주위로만 왕복요동시킬 경우에는, 도 1a에 도시된 바와 같이 홀더를 세정대상물의 반송방향에 대하여 경사(예를 들면, 경사각 10~20°)지게 배치하는 것에 의해 도 8b에 도시된 바와 같이 세정궤적이 지그재그(주름(蛇腹)형)가 되므로 세정대상물의 폭 방향(반송방향에 직교하는 방향)에 걸쳐 일정 폭의 세정영역이 형성된다. 따라서, 세정대상물을 그 세정영역을 횡단하도록 일정 속도로 반송함으로써 세정대상물의 전면(全面)에 대하여 고압 하에서 세정액을 균일하게 또한 세정밀도를 높게 유지하며 분사시킬 수 있으므로 높은 세정력이 얻어지고, 세정 얼룩이 발생하기 어렵다. 또한, 홀더를 그 축 주위로 요동시켜 세정하는 구조로 이루어지기 때문에 고속화를 도모하여도 진동가속도가 높아지지 않고 진동이 억제되고, 세정밀도가 높은 우수한 세정효과가 얻어진다. 그리고 무엇보다도 본 발명의 세정장치는 선원(先願)의 홀더를 수평면 내에서 선회시켜 세정하는 구조의 세정장치에 비하여, 홀더의 강성을 줄일 수 있고, 베어링 등의 회전지지구조를 경량화할 수 있으며, 진동이 감소됨과 아울러 제조 비용을 대폭으로 감소시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 세정장치는 클린실(clean room)이라고 부르는 밀폐된 세정실 내에 설치할 경우에, 도 12에 도시된 바와 같은 간격(홀더 지지부(75)와 세정실 측벽(77)의 사이)을 마련할 필요가 없으므로 실링 기구를 간소화할 수 있다.

더욱이 홀더의 길이방향 축 주위의 왕복회전운동에 더하여 홀더의 길이방향 왕복직선운동을 동시에 행하게 함으로써 세정대상물에 대하여 세정액을 진원형이나 타원형상의 궤적을 그리도록 분사시켜 세정할 수 있기 때문에 선원(先願)의 세정장치에 비하여 손색이 없는 세정성능을 얻을 수 있고, 게다가 구조가 간단하며 대폭적인 비용저감(cost down)을 도모할 수 있다. 또한, 홀더의 왕복직선운동의 타이밍(timing)이나 스트로크 거리를 조정함으로써 진원형 세정궤적뿐만 아니라 임의의 타원형상의 세정궤적도 그릴 수 있으므로 세정 균일성을 확보할 수 있고, 자유도가 증대된다.

도 1a는 본 발명의 제1 실시예의 고압 세정액 분사식 세정장치의 평면도이다.
도 1b는 도 1a의 고압 세정액 분사식 세정장치의 정면도이다.
도 1c는 도 1a의 A방향에서 본 도면이다.
도 2a는 도 1a의 고압 세정액 분사식 세정장치의 홀더의 단면도이다.
도 2b는 홀더의 제1 변형예의 단면도이다.
도 2c는 도 2b의 홀더 전체의 외관을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2d는 홀더의 제2 변형예의 단면도이다.
도 3a는 홀더의 제3 변형예를 나타낸 것으로서, 도 3b의 a-a 단면도이다.
도 3b는 도 3a의 b-b 단면도이다.
도 3c는 도 3b의 c-c 단면도이다.
도 4a는 도 1의 세정장치의 피스톤·크랭크 기구를 나타낸 측면도이다.
도 4b는 도 4a의 b-b 단면도이다.
도 5a는 도 4에 나타낸 피스톤·크랭크 기구에 있어서 홀더(분사노즐)의 요동각도(θ)를 변경하는 방법을 나타낸 설명도이다.
도 5b는 도 4에 나타낸 피스톤·크랭크 기구에 있어서 홀더(분사노즐)의 요동각도(θ)를 변경하는 방법을 나타낸 설명도이다.
도 5c는 도 4에 나타낸 피스톤·크랭크 기구에 있어서 홀더(분사노즐)의 요동각도(θ)를 변경하는 방법을 나타낸 설명도이다.
도 6a는 도 1의 세정장치의 세정액 분사상태를 설명하는 측면도이다.
도 6b는 도 1의 세정장치의 홀더의 분사노즐에서 세정대상물 위에 분사되는 세정액 궤적을 표시한 설명도이다.
도 6c는 도 1의 세정장치의 홀더 직하(直下) 위치와 최대요동(θ) 위치에 있어서 분사노즐에서부터 세정대상물까지의 거리(스탠드오프(standoff)) 관계를 표시한 설명도이다.
도 6d는 도 1의 세정장치의 홀더 직하 위치와 최대요동(θ) 위치에 있어서 세정강도 관계를 표시한 설명도이다.
도 7은 분사노즐에서부터 세정대상물까지의 거리(스탠드오프)와 세정강도의 관계를 표시한 그래프로서, 세정액의 분사에 의한 알루미늄박(箔)의 관통시간에 상당하는 세정능력과 거리의 관계로 표시한 것이다.
도 8a는 도 1의 세정장치의 홀더에 있어서 인접한 2개의 분사노즐에서 분사되는 고압 세정액의 궤적(지그재그 모양)을 나타낸 설명도이다.
도 8b는 세정대상물이 4개의 분사노즐에서 분사되는 고압 세정액의 궤적이 겹쳐져 구성되는 세정영역을 횡단하도록 반송하여 세정되는 상태를 나타낸 설명도이다.
도 9a는 도 1의 세정장치의 홀더의 일단에 세정액 공급관을 접속한 상태의 정면 및 측면을 나타낸 설명도이다.
도 9b는 세정액 공급관의 제1 변형예를 나타낸 것으로서, 고압호스(hose)로 이루어지는 세정액 공급관을 접속한 상태의 정면 및 측면을 나타낸 설명도이다.
도 9c는 세정액 공급관의 제2 변형예를 나타낸 것으로서, 나선형으로 형성한 금속제의 세정액 공급관을 접속한 상태의 정면 및 측면을 나타낸 설명도이다.
도 9d는 세정액 공급관의 제3 변형예를 나타낸 것으로서, 강성이 높은 고정식 세정액 공급관의 일단을 회전축의 단부에 스위벌(swivel) 수단을 개재하여 접속한 상태의 정면 및 측면을 나타낸 설명도이다.
도 10a는 본 발명의 제2 실시예의 고압 세정액 분사식 세정장치의 평면도이다.
도 10b는 도 10a의 구동기구를 개략적으로 나타낸 정면도이다.
도 11a는 고압 세정액 분사식 세정장치의 구동기구의 변형예를 상세하게 나타낸 도면으로서, 도 11c의 A-A 단면도이다.
도 11b는 도 11a의 B-B 단면도이다.
도 11c는 도 11a의 C-C 단면도이다.
도 11d는 도 11a의 좌측면도이다.
도 11e는 도 11d의 E방향에서 본 도면이다.
도 11f는 도 11c의 F부를 확대하여 나타낸 상세도이다.
도 12는 다수의 고압수 분사노즐이 배열된 홀더를 양측의 구동축을 편심회전시키고 수평면 내에서 선회 원운동하면서 세정하는 구조인 선원(先願)에 따른 세정장치를 나타낸 평면도이다.

이하, 본 발명에 따른 고압 세정액 분사식 세정장치의 실시예에 대하여 설명한다.

도 1a는 본 발명의 제1 실시예의 고압 세정액 분사식 세정장치(1)의 평면도이다. 도 1b는 도 1a의 고압 세정액 분사식 세정장치(1)의 정면도이다. 도 1c는 도 1a의 A방향에서 본 도면이다. 도 2a는 도 1a의 고압 세정액 분사식 세정장치(1)의 홀더(2)의 단면도이다.

도 1a 내지 도 1c에 도시된 바와 같이, 고압 세정액 분사식 세정장치(1)는 진자방식(요동방식 또는 왕복회전방식이라고도 한다)의 세정장치로서, 단면 원형의 홀더(2)를 구비하고 있다. 홀더(2)는, 예를 들면 도 2a에 도시된 바와 같이 원통 파이프형 본체(2a)의 하부면의 길이방향으로 하단(4c)을 개구한 블록(block)형 노즐부(4)를 용접으로 일체로 결합하고, 노즐부(4) 내에 다수의 고압 세정액 분사노즐(3)을 일정 간격을 두고 배열하고 있다.

고압 세정액 분사식 세정장치(1)는 도 1a에 도시된 바와 같이, 세정대상물(X)의 세정면의 법선방향에서 바라본 평면도에 있어서, 홀더(2)가 직사각형 세정대상물(X)의 폭 방향에 대하여 각도(α) 정도로 경사지게 배치되고, 홀더 본체(2a)의 길이는 세정대상물(X)을 횡단하는 길이(폭 방향의 길이) 이상의 길이로 되어 있다. 구체적으로는, 홀더(2)는 그 길이방향의 양단이 평면에서 보는 경우 세정대상물(X) 밖으로 돌출되도록 배치되어 있다. 홀더(2)의 양측방에서, 세정실(10)의 외측에서 회전축(2b)이 베어링 장치(7)에 의해 홀더(2)의 길이방향 축 주위로 회전 가능하게 지지되어 있다. 베어링 장치(7)는 베어링을 구비한 지지대로 구성되어 있다. 본체(2a)는 도 1b에 도시된 바와 같이 세정실(10) 내에 배치되고, 세정실(10)의 상측으로 세워진 양측벽(10b)에서 회전축(2b)이 외측으로 돌출되어 있다. 회전축(2b)이 외측으로 돌출하는 각 측벽(10b)에는, 개구(10c)가 형성되고, 개구(10c)와 회전축(2b)의 간격에는 도시를 생략한 링(ring)형 실(seal)이 장착되어 있다.

홀더(2)는 피스톤·크랭크(piston·crank) 기구에 의해 길이방향 축 주위로 소정의 회전각도(θ) 내에서 왕복 회전한다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 회전축(2b)에 레버(lever)(21)의 일단이 슬리브(sleeve)형 회전 전달부(27)로 일체 회전 가능하게 결합되고, 도 4a에 도시된 바와 같이 서보모터(servo motor)(22)로 일방향(예를 들면, 시계방향)으로 회전하는 크랭크(23)의 일단과 레버(21)의 타단이 커넥팅 로드(connecting rod)(24)를 개재하여 크랭크핀(25)과 피스톤핀(26)에 의해 각각 회전 가능하게 연결되어 있다. 크랭크(23)의 타단측(크랭크핀(25)의 반대측)에는, 평형추(counterweight)(23a)가 일체로 형성되어 있다. 이러한 구성에 따라, 크랭크(23)가 일방향(예를 들면, 시계방향)으로 회전함으로써 레버(21)의 피스톤핀(26)부가 회전축(2b) 주위로 θ(예를 들면 30°)씩 왕복회전운동하고, 회전축(2b)을, 그 중심위치(S)를 회전중심으로 하여 왕복회전시키기 때문에, 홀더(2)가 그 길이방향 축 주위로 회전각(θ)씩 왕복회전하며, 홀더(2) 하부면의 각 분사노즐(3)로부터 고압하에서 세정액이 세정대상물(X)의 세정면을 향하여 요동하면서 분사된다.

상기 실시예에서는, 분사노즐(3)이 홀더(2)의 회전중심(S)을 중심으로 θ1(=30°)씩 왕복회전하는 설계로서, 도 5a에 도시된 바와 같이, 크랭크(23)의 회전반경이 r1이고, 레버(21)의 회전반경이 R1이다. 이때, 레버(21)의 요동 스트로크는 S1이다.

회전각(θ)을 상기 θ1에 비하여 작게 하기 위해서는, 예를 들면 도 5b에 도시된 바와 같이 크랭크(23)의 회전반경을 r1에서 r2로 축소함으로써 회전각(θ2) 및 요동 스트로크(S2)를 θ1 및 S1에 비하여 작게 할 수 있다. 또한, 예를 들면 도 5c에 도시된 바와 같이 레버(21)의 회전반경(R1)을 R2로 늘리면, 레버(21)의 요동 스트로크는 S1과 공통이어도 회전각(θ3)은 θ1에 비하여 작아진다.

상기 각 분사노즐(3)에서 분사되는 세정액(세정수를 포함한다)은, 고압 하에서 1개의 직선형으로 되어 분사된다. 각 분사노즐(3)에서 분사되는 세정액은 1개의 직선형이며 세정능력(세정력)이 크다. 또한, 각 분사노즐(3)에서 분사되는 세정액은 1개의 직선형이지만, 세정대상물(X)의 폭 방향에 대하여 약간 경사진 상태에서 홀더(2)가 그 길이방향 축 주위로 요동함과 아울러 세정대상물(X)을 롤러 콘베이어(roller conveyer) 등의 반송기구(미도시)에 의해 소정의 속도로 반송하므로 양자의 속도를 조정함으로써 세정대상물(X)의 전면(全面)을 거의 간격없이 세정할 수 있다.

도 2b는 홀더(2)의 제1 변형예의 단면도이다. 도 2c는 도 2b의 홀더 전체의 외관을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 본 예의 홀더(2)는, 그 본체(2a)가 각기둥형(角筒形)의 바(bar)형상 블록체(31)로 이루어지고, 블록체(31)의 중심축부에 도 2b와 같이 단면 사각형의 고압 세정액 공급로(32)가 길이방향을 따라 형성되어 있다. 또한, 블록체(31)의 고압 세정액 공급로(32)를 사이에 둔 위치에는, 길이방향의 양단부 또는 길이방향으로 일정 간격을 둔 위치에 복수의 관통공(33)이 상하방향으로 형성되어 있다. 노즐부(4)는 본체(2a)의 하부면에, 머리부(8a)가 부착된 볼트(8)로 일체로 고정되는 구조로서, 하단(4c)을 개구한 각기둥형이며 길이방향으로 연속한 블록체로 이루어지며, 분사노즐(3)을 사이에 두고 볼트(8)의 나사부(8b)가 나사 결합하는 나사공(40)이 형성되어 있다. 또한, 본 예의 홀더(2)는 대형의 볼트결합타입으로, 가소성을 가진 금속제 또는 고무제로 외주면에 금속 블레이드(blade)(와이어)를 감아 강화한 고압호스 등의 세정액 공급관(9)(도 3b 참조)을 고압 세정액 공급로(32)의 일단부에 접속한다.

도 2c는 홀더(2)의 제2 변형예를 나타낸 것으로서, 기본적으로는 도 2b에 도시한 홀더(2)와 동일한 구조로, 소형·경량화되어 있는 점이 다르다. 본 예의 경우, 고압 세정액 공급로(32)의 유로(流路) 단면적이 작으므로 세정액 공급관(9)을 고압 세정액 공급로(32)의 양단부에 각각 접속하는 점이 다르다. 또한, 노즐부(4)의 분사노즐(3)이 설치된 위치의 원통부(4a)에 비하여 그 하측의 원통부(4b)의 외경을 약간 확대시킨 점도 다르다.

도 3a 내지 도 3c는 홀더(2)의 제3 변형예를 나타낸 단면도로서, 본체(2a)는 단면에서 세로로 긴 각기둥형 블록체로 이루어지고, 도 3a에 도시된 바와 같이, 본체(2a)와 노즐부(4)를 일체로 형성하고, 본체(2a)의 길이방향을 따라 유로 단면 원형의 고압 세정액 공급로(32)를 마련하고 있다. 또한, 홀더(2)는 본체(2a)의 양측방에 회전축(2b)을 본체(2a)와 일체 회전 가능하게 형성하고 있다. 구체적으로는, 도 3c에 도시된 바와 같이, 회전축(2b)의 일단에는, 본체(2a)와 대향하는 부위 및 상하를 개구한 말굽형부(2c)를 일체로 형성하고, 본체(2a) 및 노즐부(4)의 양측부를 각 회전축(2b)의 말굽형부(2c)에 각각 끼워 넣고, 말굽형부(2c) 및 노즐부(4)에 이들의 단부를 도 3b 및 도 3c와 같이 측면을 향하여 일련(一連)하게 관통하는 관통공(5)을 형성하고, 볼트(6)를 관통공(5)에 일련하게 삽입하여 통과시키고 너트(6a)를 나사 결합하여 일체로 체결함으로써 결합되어 있다. 또한, 도 3b에 도시된 바와 같이 회전축(2b)에는 고압 세정액 공급로(32) 내에 삽입 가능한 원기둥형 돌기부(2c)가 돌출하여 형성되고, 이 돌기부(2c)의 주위에 오(O) 링(34)을 장착한 상태로 고압 세정액 공급로(32)의 단부 내에 끼워 밀착되어 실링되어 있다. 또한, 노즐부(4)의 단부에는, 고압 세정액의 공급관(9)을 접속하기 위한 접속공(4d)이 고압 세정액 공급로(32)에 접하여 형성되고, 가소성을 가진 금속제 공급관(9)의 일단을 도 9a와 같이 고압 세정액 공급로(32)에 접속하고 있다. 금속제 공급관(9)의 타단은 고압 세정액 펌프(pump)(미도시)에 접속되고, 이러한 고압 세정액 펌프에서 금속제 공급관(9)을 통하여 홀더(2)의 고압수 공급로(32)의 일단에 접속하고, 그 고압수 공급로(32)에서 노즐부(4)의 각 분사노즐(3)로 고압 세정액이 공급되고, 각 분사노즐(3)에서 일직선형으로 고압수가 분사된다. 또한, 금속제의 고압 세정액 공급관(9)은 가소성을 구비할 수 있고, 예를 들면 공급관(9) 전체가 완만하게 만곡(彎曲)될 수 있다. 또한, 도 9b 내지 도 9d는 세정액 공급관(9)의 제1 내지 제3 변형예를 나타낸 것으로서, 도 9b는 고압호스로 이루어지는 세정액 공급관(9')을 나타내고, 도 9c는 나선형으로 형성한 금속제의 세정액 공급관(9")을 접속한 상태를 나타낸다. 도 9d는 강성이 높은 고정식 세정액 공급관(11)의 일단을 회전축(2b)의 단부에 스위벌(swivel) 수단(12)를 개재하여 접속하고 있다.

이상에서, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 홀더(2)의 복수 변형예에 관하여 설명했지만, 이들 예에 한정되는 것은 아니다. 더욱이 도시는 생략하였지만 고압펌프의 하류측은 세정액이나 세정수 등의 탱크(tank)에 접속되어 있다.

도 6b는 홀더(2)의 분사노즐(3)로부터 세정대상물(X) 상으로 분사되는 세정액 궤적을 표시한 설명도로서, 홀더(2)의 분사노즐(3)에서의 세정액 분사방향이 역방향으로 변환되는 위치(B)에서 분사노즐(3)의 요동속도가 제로(0)가 된다. 따라서 그 방향변화위치(B)에서는 세정대상물(X)에 대한 세정액의 분사시간이 다른 위치에 비하여 길어진다. 통상적으로, 분사시간이 늘어나면 세정능력이 높아지므로 세정 얼룩이 발생하기 쉽다. 그러나 본 발명의 세정장치에서는 그 영향이 완화된다. 즉, 도 6c에 도시된 바와 같이 분사노즐(3)에서부터 바로 아래에 있는 세정대상물(X)까지의 거리를 L이라고 하면, 분사노즐(3)에서부터 세정대상물(X) 상의 방향변환위치(B)까지의 거리(LA)는 L/cosθ이다. L=100㎜, θ=22.5°라고 하면, LA= L/cos22.5=108.2㎜가 되고, 방향변환위치(B)에서는 분사노즐(3)의 직하위치(A)에 비하여 8.2㎜ 멀어진다. 이 결과, 세정능력이 떨어지기 때문에 세정시간이 늘어나더라도 세정능력의 차이는 이하와 같이 감소한다.

도 7은 분사노즐(3)에서부터 세정대상물(X)까지의 거리(스탠드오프)와 세정능력의 관계를 표시한 그래프로서, 세정액의 분사에 따른 알루미늄박 관통시간을 거리와의 관계로 표시한 것이다. 거리(L)가 100㎜에서 LA의 108㎜로 늘어나면, 세정능력이 떨어지는 것을 알 수 있다.

또한, 분사노즐(3)의 바로 아래 위치에서는 세정액이 세정대상물(X)에 수직으로 부딪치므로 세정액의 분사력(F)의 100%가 세정대상물(X)에 대하여 작용하지만, 방향변환위치(B)에서는 각도(θ)만큼 경사져서 작용하므로 분사력(Fv)은 Fcosθ로 감소한다.

이 때문에, 방향변환위치(B)에서는, 스탠드오프 및 각도의 양면에서 세정능력이 직하위치(A)에 비하여 작아지므로 요동속도가 제로(0)가 됨으로 인한 세정능력의 상승은 완화된다.

그런데, 상기 실시예에 따른 고압 세정액 분사식 세정장치(1)에 따르면, 도 8a에 도시된 바와 같이, 홀더(2)는 세정대상물(X)의 반송방향(화살표)에 대하여 각도(α) 경사진 상태로, 각 분사노즐(3)에서 1개의 직선형으로 고압 하에 세정액을 분사하면서 축 주위로 요동(왕복회전)한다. 즉, 본 예에 따른 고압 세정액 분사식 세정장치(1)에 따르면, 홀더(2) 하부면에서 노즐피치(P)를 두고 배열된 각 분사노즐(3)로부터 분사되는 세정액이 요동하고, 도 8a와 같이 연속한 지그재그의 세정궤적(J)이 형성된다. 도 8b는 4개의 분사노즐(3)에서 분사되는 고압 세정액의 궤적(지그재그 모양)을 나타낸 것으로서, 본 예의 경우에는 세정대상물(X)의 반송속도와 분사노즐(3)의 요동속도의 관계에 의해, 화살표방향으로 반송되는 세정대상물(X)은 도 8b와 같이 노즐피치(P)의 4개 분사노즐(3)에서 분사되는 고압 세정액의 궤적이 겹쳐져 구성되는 세정영역(K)을 횡단하도록 이동되므로 세정대상물(X) 상의 전면(全面)이 거의 간격 없이 세정액으로 세정된다.

다음으로, 도 10a는 본 발명의 제2 실시예의 고압 세정액 분사식 세정장치의 평면도이다. 도 10b는 도 10a의 구동기구를 개략적으로 나타낸 정면도이다. 본 실시예에 따른 세정장치(1')는 상기 진자식 세정장치(1)에 홀더(2)의 길이방향 수평직선운동을 부가함으로써 각 분사노즐(3)에서의 분사액을 원형이나 타원형을 그리도록 세정대상물(X)에 대하여 분사시킬 수 있다. 이를 위하여, 도 10a에 나타낸 바와 같이 홀더(2)를 세정대상물(X)의 반송방향에 대하여 평면에서 볼 때 직교시켜 배치할 수 있다. 또한 홀더(2)의 회전축(2b)에 대하여 축 주위로 왕복회전시키는 회전력을 부여할 뿐만 아니라 서보모터(41)의 회전력을 회전축(2b)에 전달하는 전달부(42)는 회전축(2b)에 대하여 그 길이방향의 왕복이동을 허용하게 접속되어 있다. 이를 위해, 홀더(2) 양측의 베어링(7')은 홀더(2)를 길이방향 축 주위로 회전 가능하게 지지함과 아울러 홀더(2)의 길이방향 이동이 가능하게 지지하고 있다.

한편, 홀더(2)의 회전축(2b)에 대하여 길이방향으로 일정 피치로 왕복직선운동을 부여하는 구동기구(43)는 서보모터(44)의 일방향 회전력을 홀더(2)의 길이방향 왕복구동력으로 변환하고, 회전축(2b)에 대하여 왕복이동 가능한 직동력(직선방향 왕복구동력)을 부여한다. 그리고, 구동기구(43)의 직동력을 회전축(2b)에 전달하는 전달부(45)는 회전축(2b)에 대하여 그 회전을 허용하도록 접속되어 있다.

이상의 구성에 따라, 본 실시예에 따른 세정장치(1')는 다수의 분사노즐(3)로부터 고압 하에 세정액을 분사하면서 홀더(2)를 길이방향 축 주위로 요동시킴과 동시에 홀더(2)의 길이방향으로도 왕복이동시킬 수 있다. 또한, 홀더(2)의 길이방향 축 주위의 요동과, 길이방향 왕복직선운동을 동기시킴으로써 세정액을 진원형상 내지 타원형상의 원을 그리도록 분사시킬 수 있으므로 세정대상물(X)에 대하여 간격 없이 균일하게 세정액을 분사할 수 있고, 세정밀도가 높은 우수한 세정효과가 얻어진다. 또한, 홀더(2)(분사노즐(3))의 전후방향에 있어서의 방향변환위치(B)(도6b 내지 도 6d 참조)와, 홀더(2)의 길이방향에 있어서의 방향변환위치(C)(도 11c 참조)에 시간적인 차이가 있으므로 세정액이 세정대상물(X) 상의 특정부분에 집중 분사되는 경우가 없다. 또한, 홀더(2)의 요동 스트로크 거리와, 홀더(2)의 길이방향 왕복이동 스트로크 거리를 일치시킬 수 있고, 이 경우에는 세정대상물(X)에 대하여 세정액을 진원형상의 원을 그리도록 분사시킬 수 있다. 또한, 양측의 스트로크 거리를 조정함으로써 진원형상뿐 아니라 임의의 타원형상을 그리도록 세정액을 분사시킬 수 있어, 세정 균일성을 확보함과 더불어 자유도가 확대된다. 그 외의 구성에 대해서는, 상기 제1 실시예에 따른 고압 세정액 분사식 세정장치(1)와 공통이므로 공통 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하여 도면에 나타내고, 설명을 생략한다.

또한, 고압 세정액 분사식 세정장치(1')는 상기한 선원(先願)의 세정장치에 비하여 구조가 간단하며, 거의 같은 세정작용을 얻을 수 있다. 또한, 홀더 전후방향 가속도의 밸런스는 선원의 세정장치보다 맞추기 쉬우므로 취급이 용이해진다.

도 11a 내지 도 11f는 상기 고압 세정액 분사식 세정장치(1')의 구동기구의 변형예를 상세하게 나타낸 도면이다. 도 11a 내지 도 11f에 도시된 바와 같이, 본 예의 구동기구(50)에서는 공통의 모터(61)에 의해 기어(gear)기구(62, 63)를 개재하여 홀더(2)의 길이방향 축 주위의 왕복요동회전과, 홀더(2)의 길이방향 직선왕복운동을 각각 피스톤 크랭크 기구(51, 52)를 매개하여 행하도록 한다. 도 11a 내지 도 11f에 도시된 바와 같이 회전축(2b)은 그 일단부에 설치한 스플라인(spline) 기구(53)에 의해 회전축(2b)의 길이방향 왕복직선운동을 가능하게 한다. 스플라인 기구(53)의 일부 주위를 덮는 원통형 외통부(53a)에 인접(도 11c에서는 외통부(53a)의 우측방에 인접)하는 회전 연결부(54)가 도 11f에 도시된 바와 같이 베어링(54a) 및 세경(細徑) 지지봉(2e)을 개재하여 회전축(2b)의 일단부를 회전 가능하게 연결되어 있다. 세경 지지봉(2e)은 회전축(2b)의 일단에 일체 회전 가능하게 고정되어 있다. 또한, 회전 연결부(54)가 일단을 개구한 말굽형 커버(cover)체(55) 내에 자유 결합(遊嵌)되고, 이 상태로 지지축(55a) 및 베어링(55b)을 개재하여 지지축(55a)을 중심으로 회전 연결부(54)와 말굽형 커버체(55)가 절곡 가능하게 연결된다. 또한, 도 11f에 도시된 바와 같이 말굽형 커버체(55)의 타단 중심부와 피스톤 크랭크 기구(52)의 피스톤부(65a)가 연결봉(56)으로 연결되어 있다. 즉, 외통부(53a)는 스프라인 기구(53)에 의해 회전축(2b)의 길이방향 왕복이동을 허용하면서 회전축(2b)의 축 주위로 소정 각도(θ)씩 왕복회전한다. 더욱이 외통부(53a)는 베어링(53b)을 개재하여 장치 본체의 케이싱(casing)에 회전 가능하게 지지되어 있다.

우선, 모터(61)의 회전이 기어기구(62)(기어(62a,62b))를 개재하여 감속되고, 제1 회전구동축(67)에 전달되어 회전한다. 구동회전축(67)의 선단에 크랭크(68)의 일단이 베어링(68a)을 개재하여 축 주위로 회전 가능하게 접속되고, 크랭크(68)의 타단의 피스톤부(68b)는 레버(69)의 일단에 축 결합(軸着)으로 접속된다. 또한, 레버(69)의 타단은 외통부(54)에 일체 회전 가능하게 접속되어 있다. 또한, 제1 회전구동축(67)에 직교하여 제2 구동회전축(60)이 배치되고, 제1 구동회전축(67)의 회전이 베벨기어(63a,63b)를 개재하여 제2 구동회전축(60)에 전달되고, 제2 구동회전축(60)이 동시에 회전한다. 또한, 제2 구동회전축(60)과 평행하게 제3 구동회전축(64)이 배치되고, 제2 구동회전축(60)의 회전이 기어(60a, 60b)를 개재하여 제3 구동회전축(64)에 전달된다. 제3 구동회전축(64)의 일방향 회전에 따라 선단의 크랭크(65)가 회전하고, 크랭크(65) 선단의 피스톤부(65a) 및 연결봉(65) 및 회전연결부(54)를 개재하여 회전축(2b)이 홀더(2)와 함께 그 길이방향으로 직선왕복운동한다. 또한, 연결봉(56)의 피스톤부(65a) 측의 크랭크(65)에 의한 요동회전은 회전연결부(54)에 있어서의 지지축(55a)을 중심으로 연결봉(56)의 타단측이 굴곡 운동함으로써 흡수된다. 또한, 제1 구동회전축(67)은 연결봉(56)과 평행하게 배치된다.

이와 같이 구성되는 고압 세정액 분사식 세정장치(1')에 대하여 동작을 설명한다.

도 11a 내지 도 11f에 도시된 바와 같이, 모터(61)가 회전을 시작함에 따라, 기어기구(62)를 개재하여 제1 구동회전축(67)이 회전하고, 동시에 베벨기어 기구(63)를 개재하여 제2 구동회전축(60)이 회전하고, 또한 기어(60a, 64a)를 개재하여 제3 구동회전축(64)에 전달되어 제3 구동회전축(64)이 회전한다. 구동회전축(64)의 회전으로 크랭크(65)가 회전하고, 크랭크(65) 선단의 피스톤부(65a) 및 연결봉(56)을 개재하여 회전연결부(54)에서 지지축(55a)을 중심으로 연결봉(56)의 타단(피스톤부(65a)) 측이 도 11e와 같이 연결봉(56)의 축선에 대하여 직교하는 방향으로 요동하면서 홀더(2)의 회전축(2b)을 길이방향으로 직선왕복운동시킴으로써 홀더(2)가 회전축(2b)과 아울러 길이방향을 따라 왕복직선운동한다. 또한, 제1 구동회전축(67)이 동시에 회전함에 따라 크랭크(68)가 회전하여 그 선단의 피스톤부(68b)가 소정 각도씩 왕복회전하고, 레버(69) 및 외통부(53a)를 개재하여 회전축(2b)과 함께 홀더(2)를 길이방향 축 주위로 요동시킨다. 또한, 회전연결부(54)에 의한 홀더(2)의 길이방향 직선왕복운동은 스플라인기구(53)에서 허용되고, 외통부(53a)의 요동에는 지장을 초래하지 않는다. 한편, 회전연결부(54)의 요동회전은 베어링(54a)(도 11f)에서 허용되므로 회전축(2b)의 직선왕복운동에는 지장을 초래하지 않는다. 따라서 홀더(2)는 공통(1대)의 모터(61)의 회전에 따라 회전축(2b)의 축 주위로 왕복요동과 길이방향 왕복직선운동을 동시에 행할 수 있다.

이상으로, 본 발명에 따른 고압 세정액 분사식 세정장치에 관하여 복수 예를 나타냈지만, 이들에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기 예에서는, 홀더(2)의 하부면에 분사노즐(3)을 일정 간격으로 직선형으로 배열했지만, 지그재그(千鳥)형으로 등간격으로 2열 내지 3열을 배열할 수 있다.

Claims (7)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 중공의 바(bar)형 홀더와, 상기 바형 홀더의 길이방향을 따라 일정 간격을 두고 배열된 복수 개의 고압 세정액 분사노즐을 구비하고, 상기 홀더를 길이방향의 양측방에서 길이방향의 축 주위로 회전 가능하게 지지하고, 세정대상물을 상기 홀더에 대하여 일정 속도로 반송하면서 상기 홀더를 소정 회전각도 내에서 상기 축 주위로 왕복회전시키고 각 분사노즐에서 고압 세정액을 상기 세정대상물의 세정면에 대하여 1개의 직선형으로 분사시켜 세정하는 고압 세정액 분사식 세정장치이며,
   상기 홀더를 상기 세정대상물을 횡단하는 길이 이상의 길이로 하고, 상기 세정면의 법선방향에서 볼 때 상기 홀더를 상기 세정대상물의 반송방향에 대하여 직교하여 배치하고,
   상기 홀더를 양측방에서 상기 축 주위로 회전 가능하게 지지함과 아울러 길이방향으로 이동 가능하게 지지하고,
   상기 홀더를 상기 축 주위로 소정 회전각도 내에서 왕복회전시킴과 동시에 길이방향으로 소정 치수 내에서 왕복이동시키도록 한 것을 특징으로 하는 고압 세정액 분사식 세정장치.
   
5. 제4항에 있어서,
   상기 홀더는 구동 기구에 의해 상기 축 주위로 회전 가능하게 지지됨과 아울러 길이방향으로 이동 가능하게 지지되고,
   상기 구동 기구는,
   공통의 모터와,
   상기 공통의 모터의 회전력을 왕복구동력으로 변환하는 두 개의 크랭크 기구를 포함하고,
   상기 두 개의 크랭크 기구 중 하나는 상기 홀더의 회전축에 대하여 길이방향의 왕복이동을 허용하면서 상기 축 주위로 왕복회전 가능한 회전력을 부여하고, 다른 하나는 상기 홀더의 회전축에 대하여 상기 축 주위의 회전을 허용하면서 길이방향으로 왕복이동 가능한 직선방향의 구동력을 부여하는 것을 특징으로 하는 고압 세정액 분사식 세정장치.
   
6. 제4항에 있어서,
   상기 홀더의 상기 축 주위의 왕복회전 스트로크(stroke) 거리와 상기 홀더의 길이방향의 왕복이동 스트로크 거리를 일치시킨 것을 특징으로 하는 고압 세정액 분사식 세정장치.
7. 제4항에 있어서,
   상기 홀더의 상기 축 주위의 왕복회전에 있어서의 방향변환위치와 상기 홀더의 길이방향에 있어서의 왕복이동 방향변환위치에 시간적인 차이가 있는 것을 특징으로 하는 고압 세정액 분사식 세정장치.

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