KR101261235B1 - 피에조밸브를 이용한 액정 공급장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 피에조 밸브를 이용한 액정 공급장치에 관한 것으로, 이는 크게 액정저장유닛(1),액정공급조절장치(2), 피에조밸브(3), 제어기(4) 및 노즐(5)로 이루어지고, 이중 피에조밸브(3)는 내부에 수용부(11)가 형성되고, 수용부(11)의 내부에서 하부로 관통되는 관통공(12)이 형성된 상부본체(10)와; 상부본체(10)의 하부에 설치되며, 노즐(5)이 하부에 결합되고, 액정공급조절장치(2)로부터 공급되는 액정이 유입되는 유로(21)가 형성된 하부본체(20)와; 수용부(11)에 설치되며 제어기(4)의 제어에 의해 승강되는 액추에이터(30)와; 관통공(12)에 상하 수직으로 설치되고, 상부가 액추에이터(30)와 연결되어 액추에이터(30)의 승강 동작에 의해 동작되면서 하부본체의 유로(21) 내로 유입된 액정을 조절하여 노즐(5)로 공급하는 피스톤(40);으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 구성에 의해 본 발명은 전원의 인가에 따라 신속하게 반응하며, 정밀하게 동작되는 피에조밸브를 이용하여 액정을 정확하게 조절하여 유리기판에 공급할 수 있기 때문에 평판 디스플레이의 생산능력이 대폭 향상된다.

Description

피에조밸브를 이용한 액정 공급장치{LIQUID CRYSTAL DISPENSING SYSTEM USING PIEZO VALVE}

본 발명은 액정(LC, Liquid Crystal) 공급시스템에 관한 것으로 더욱 상세하게는 LCD, OLED 등의 평판 디스플레이를 제조할 때 피에조밸브를 이용하여 액정의 공급을 제어함으로써 정확한 양의 액정을 정밀하고 신속하게 공급할 수 있도록 하는 피에조밸브를 이용한 액정 공급장치에 관한 것이다.

최근 더욱 가볍고 얇은 디스플레이 장치에 대한 수요가 폭발적으로 증가하고 있으며, 이에 따라 LCD, OLED 등으로 대표되는 평판 디스플레이의 생산도 급증하고 있다.

LCD(Liquid Crystal Display)란 인가전압에 따른 액정 투과도의 변화를 이용하여 각종 장치에서 발생하는 여러 가지 전기적인 정보를 시각정보로 변화시켜 전달하는 전기소자로서 소비전력이 적고 휴대용으로 편리하여 널리 사용되고 있으나 자기발광성이 없어 후광(Back Light)이 필요하다는 단점이 있다.

최근 후광이 필요한 LCD의 단점을 보완하기 위해 OLED(Organic Light Emitting Diodes)가 개발되어 널리 사용되고 있는데, OLED란 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계발광현상을 이용하여 스스로 빛을 내는 자체발광형 유기물질을 말하는데 이러한 OLED는 LCD 이상의 화질이 보장되고, 제조공정이 단순할 뿐만 아니라 후광이 필요하지 않기 때문에 LCD에 비해 제조비용이 적게 드는 장점이 있다.

LCD로 이루어진 평판 디스플레이를 제조하기 위해서는 미소량의 액정(LC, Liquid Crystal)을 정밀하게 조절하여 공급하여야 하는데, 평판 디스플레이에 액정을 공급하기 위한 종래의 액정 공급장치는 도 1에 도시된 바와 같이 액정이 저장되는 액정저장유닛(100)과, 액정저장유닛(100)의 액정이 공급되는 주사기(200)와, 주사기(200)를 구동하는 볼스크류 등으로 이루어진 이송장치(300)와, 상기 이송장치(300)를 제어하는 제어기(400)와, 상기 이송장치(300)에 전원을 공급하는 전원공급유닛(500) 및 주사기(200) 내의 액정을 디스플레이(700)로 토출하는 노즐(600)로 이루어진다.

이러한 종래의 액정 공급장치는 이송장치(300)를 정밀하게 구동시켜 주사기(200)의 피스톤에 압력을 가하여 그 하부에 위치하는 탈착 가능한 노즐(600)에 미량의 액정을 유리기판(700)에 공급하고 있으나, 볼스크류 등의 이송장치의 구동 속도에 한계가 있을 뿐만 아니라 정밀한 구동에도 한계가 있기 때문에 아주 미세한 양의 액정을 신속하게 공급하기가 어려워 생산속도가 떨어지고, 그 결과 더 빠르고 다량의 평판 디스플레이를 빠른 시간에 생산할 수 있도록 하는 장치에 대한 요구를 충족시키지 못하고 있는 실정이다.

그리고 형광성 유기화합물(이하에서는 LCD의 '액정'과 OLED의 '유기화합물'을 통칭하여 '액정'이라 한다)을 사용하는 OLED 평판 디스플레이를 제조할 때에는 일반적으로 진공증착 방식을 사용하여 제조하는데, 이러한 진공증착 방식은 도 2에 도시된 바와 같이 진공용기(800) 내에 설치된 회전홀더(810)에 다수의 유리기판(820)을 배열하고, 그 하부에는 조리개(830)를 위치시키며, 조리개(830)의 하부에는 다시 가열장치가 구비된 유기화합물 용기(840)를 위치시켜 가열장치로 용기(840) 내의 유기화합물을 가열하게 되면 증발된 다음, 조리개(830)의 개폐량에 의해 미세하게 조절된 만큼의 유기화합물 증기가 상승하여 다수의 유리기판(820)에 진공 증착시키는 방식이다.

그러나 이러한 진공증착 방식을 사용하여 OLED를 제조하는 경우 진공증착 용기의 크기가 제한되어 대량생산에 한계가 있고, 제조시간도 너무 길어 대량 생산을 요구하는 시장의 요구를 충족시키고 있지 못하다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 평판 디스플레이 제조 시스템이 가지는 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 정밀한 제어가 가능하며 빠른 속도로 미세한 양의 액정을 공급함으로써 생산능력을 향상시킬 수 있도록 하는 피에조 밸브를 이용한 액정 공급장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.

상기와 같은 본 발명의 목적은 액정 공급장치를, 액정저장유닛과, 상기 액정저장유닛으로부터 공급되는 액정을 가압하여 공급하는 액정공급조절장치와, 상기 액정공급조절장치를 통해 공급되는 액정을 미세 조절하여 공급하는 피에조밸브와, 상기 피에조밸브의 동작을 제어하는 제어기 및 상기 피에조밸브를 통해 유량 조절된 액정을 유리기판에 토출하는 노즐로 이루어지되, 상기 액정공급조절장치는 상기 액정저장유닛으로부터 공급되는 액정을 가압하여 상기 피에조밸브에 공급하는 주사기와, 상기 주사기의 피스톤에 연결되어 상기 피스톤의 행정을 제어하는 리니어모터로 이루어지고, 상기 피에조밸브는 내부에 수용부가 형성되고 상기 수용부의 내부에서 하부로 관통되는 관통공이 형성된 상부본체와, 상기 상부본체의 하부에 설치되며 상기 노즐이 하부에 결합되고 상기 액정공급조절장치로부터 공급되는 액정이 유입되는 유로가 형성된 하부본체와, 상기 수용부에 설치되며 상기 제어기의 제어에 의해 승강 동작하는 액추에이터와, 상기 관통공에 상하 수직으로 설치되고 상부가 상기 액추에이터와 연결되어 상기 액추에이터의 승강 동작에 의해 동작되면서 상기 하부본체의 유로 내로 유입된 액정을 조절하여 상기 노즐로 공급하는 피스톤으로 구성하는 것에 의해 달성된다.

이때 상기 액추에이터는, 상기 상부본체의 수용부 내부에 설치 고정되며 관통공이 형성된 고정블록과, 상기 관통공에 설치되는 스택고정부와, 상기 스택고정부의 내부에 설치되는 세라믹스택과, 상기 세라믹스택의 상부에 설치되어 상기 스택 고정부에 가해진 전압에 의해 팽창하는 상기 세라믹스택의 승강동작에 의해 가변되는 한 쌍의 가변블록과, 상기 가변블록에 각각 결합되는 암 및 상기 암의 하단에 각각 설치되는 이음부재로 이루어지는 것으로 실시될 수 있다.

그리고 상기 이음부재의 하단을 연결하는 승강블록이 더 구비되고, 상기 피스톤은 상기 승강블록에 결합되는 것으로 실시될 수 있다.

또한 상기 이음부재는 중앙을 향하여 하향 경사지도록 설치되는 것으로 실시될 수 있다.

이에 더하여 상기 하부본체는 길이를 가지도록 수평으로 배치되고, 상기 하부본체 하부에는 상기 노즐이 상기 하부본체의 길이를 따라 복수 개가 설치되며, 상기 상부본체는 상기 노즐의 개수에 대응하도록 상기 하부본체의 상부에 설치되는 것으로 실시될 수 있다.

또한 상기 하부본체에는 상기 노즐과 연결되는 관통공과, 상기 유로와 상기 관통공을 연결하는 연결유로가 더 형성되는 것으로 실시될 수 있다.

본 발명은 전원의 인가에 따라 신속하게 반응하며, 정밀하게 동작되는 피에조 밸브를 이용하여 액정공급조절장치에 의해 공급된 액정을 더욱 미세하게 조절하여 공급함으로써 평판 디스플레이의 생산품질이 높아지는 동시에 생산효율을 크게 높일 수 있다.

또한 본 발명은 필요에 따라 한꺼번에 다수개의 피에조밸브를 밀착시켜 설치할 수 있기 때문에 미소한 양의 액정을 넓은 면적에 걸쳐 유리기판 상에 촘촘하게 분사할 수 있고 그 결과 생산효율이 제고된다.

도 1과 도 2는 액정제조장치에 있어서 종래의 액정 공급장치의 예를 보인 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 피에조 밸브를 이용한 액정 공급장치의 전체 구성을 보인 구성도,
도 4는 본 발명에 따른 피에조밸브의 예를 보인 정면도,
도 5(a, b)는 본 발명에 따른 피에조밸브의 예를 보인 측면도,
도 6은 본 발명에 따른 피에조밸브의 예를 보인 단면도,
도 7(a)은 본 발명에 따른 액추에이터를 보인 단면도,
도 7(b)은 본 발명에 따른 노즐과 하부본체를 보인 부분 확대도,
도 8은 본 발명에 따른 피에조밸브를 복수개 연결 설치한 예를 보인 측면도이다.

이하에서는 바람직한 실시예를 도시한 첨부 도면을 통해 본 발명의 구성을 더욱 상세히 설명한다.

본 발명은 미세한 양의 액정을 유리기판에 신속하게 공급할 수 있도록 하는 액정 공급장치를 제공하고자 하는 것으로, 이를 위해 본 발명의 액정 공급장치는 도 3에 도시된 바와 같이 액정저장유닛(1), 액정공급조절장치(2), 피에조밸브(3), 제어기(4) 및 노즐(5)로 이루어진다.

액정저장유닛(1)은 액정이 도포될 유리기판(5)에 액정이 공급될 수 있도록 적정량의 액정을 저장하는 용기로서, 이 액정저장유닛(1)에는 저장된 액정이 주사기(2A)에 공급되도록 액정공급배관(도면부호 없음)이 연결 설치된다.

액정저장유닛(1)으로부터 공급되는 액정을 유리기판(6)에 도포하기 위해서는 액정에 적절한 압력이 가해져야 하는데, 이를 위해 액정저장유닛(1)의 하류측에는 액정저장유닛(1)으로부터 공급되는 액정을 가압하여 그 하류측에 설치되는 피에조밸브(3)에 공급할 수 있도록 액정공급조절장치(2)가 구비되며, 이러한 액정공급조절장치(2)는 액정저장유닛(1)으로부터 공급되는 액정을 하류측에 설치되는 주사기(2A)와, 주사기(2A)의 피스톤에 부착되어 피스톤의 행정(stroke)을 제어하는 리니어모터(2B)로 이루어지며, 이때 리니어모터(2B)의 동작은 후술하는 제어기(4)에 의해 제어되고, 이러한 구성에 의해 일정 양의 액정이 액정공급조절장치(2)의 하류측에 위치되는 피에조밸브(3)에 일정한 압력으로 공급된다.

액정공급조절장치(2)에 의해 일정한 양과 압력의 액정이 공급된다 하더라도 종래와 같이 액정공급조절장치(2)로부터 공급되는 액정을 그대로 유리기판(6)에 분사하여 도포하게 되면 리니어모터의 구동 속도에 한계가 있고, 또한 미세하고 정밀한 구동이 사실상 어렵기 때문에 아주 미세한 양의 액정을 신속하게 공급하기가 곤란하다.

이에 따라 본 발명에서는 액정공급조절장치(2)로부터 공급되는 액정을 더욱 미세하게 조절하여 유리기판(6)에 공급되도록 하는데, 이를 위해 액정공급조절장치(2)의 하류측에 피에조밸브(3)가 구비된다.

본 발명에 사용되는 피에조밸브(3)는 액정의 양을 미세하게 조절하여 공급할 수 있는 구조를 가지는데, 이를 위해 피에조밸브(3)는 도 4, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 상부본체(10), 하부본체(20), 액추에이터(30) 및 피스톤(40)으로 구성된다.

상부본체(10)의 하부는 밀폐되고, 상부는 중공의 수용부(11)를 가지면서 개방된 형태로서, 밀폐된 하부의 중앙에는 그 내부에 피스톤(40)과 실린더(41)가 설치될 수 있도록 관통공(12)이 형성된다.

상부본체(10)의 내부에 형성된 중공의 수용부(11)에는 도 6에 도시된 바와 같이 액추에이터(30)가 설치되는데, 이 액추에이터(30)는 상부본체(10)의 수용부(11) 내부에 설치 고정되며 관통공(31A)이 형성된 고정블록(31)과, 고정블록(31)의 관통공(31A)에 설치되는 스택고정부(32)와, 스택고정부(32)의 내부에 설치되는 세라믹스택(33)과, 상기 세라믹스택(33)의 상부에 설치되어 스택고정부(32)에 가해진 전압에 의해 팽창하는 세라믹스택(33)의 승강동작에 의해 가변되는 한 쌍의 가변블록(34)과, 가변블록(34)의 측면에 각각 결합되며 상하 길이를 가지는 암(35)과, 그 상단이 암(35)의 하단에 각각 연결되며 중앙을 향하여 하향 경사지게 설치되는 이음부재(36) 및 이음부재(36)의 하단을 연결하며 후술하는 피스톤(40)에 결합되는 승강블록(37)으로 이루어진다.

승강블록(37)의 하부에 결합되어 후술하는 하부본체(20) 내에 형성된 유로를 개폐하는 피스톤(40)은 상부본체(10)의 중앙에 형성된 관통공(12)을 수직으로 통과하여 설치되는데, 이때 피스톤(40)은 위에서와 같이 승강블록(37)에 결합되어 설치되거나, 또는 승강블록(37)을 사용하지 않고 직접 이음부재(36)에 결합되는 것으로 실시될 수 있고, 이와 같이 피스톤(40)이 승강블록(37)에 결합되는 경우에는 피스톤(40)과 승강블록(37)이 나사방식에 의해 결합됨으로써 장탈착 가능하도록 하는 것이 바람직하다.

상부본체(10)의 하부에 볼트에 의해 결합되는 하부본체(20)에는 리니어모터(2B)와 주사기(2A)의 조합에 의해 공급되는 액정이 피에조밸브(3)에 공급될 수 있도록 그 내부에 유로(21)가 형성되고, 이 유로(21)는 하부본체(20)의 하부에 부착되는 노즐(5)과 연결되는데, 이를 위해 하부본체(20)에는 수직의 관통공(22)이 형성되고, 이 관통공(22)의 하단부에 노즐(5)이 설치된다.

그리고 하부본체(20)에 형성된 유로(21)와 관통공(22) 사이에는 연결유로(23)가 형성되고, 이 연결유로(23)에는 피스톤(40)의 하단부가 위치되어 피스톤(40)의 작동에 의해 피스톤(40)이 입출되면서 연결유로(23) 내의 액정의 하류 방향으로의 유동이 제어된다.

이때 노즐(5)은 장탈착 가능하도록 하부본체(20)의 하부에 나사결합 방식에 의해 결합되며, 이에 의해 사용자는 필요에 따라 다른 직경이 다른 노즐(5)로 교체하거나 또는 노즐(5)의 하부본체(20)와의 접촉간극을 적절히 조절함으로써 노즐(5)의 분사성능을 향상시킬 수 있다.

위에서 설명한 피에조밸브(3)의 동작은 제어기(4)에 의해 제어되는데, 이러한 제어기(4)에는 입력된 설정값 등을 입력하고, 아울러 동작에 따른 측정치 등을 출력하여 모니터링할 수 있도록 디스플레이 패널이 연결 설치된다. 이때 제어기(4)에는 리니어모터(2B)의 동작을 제어하는 제어모듈(4A)이 함께 설치되거나 또는 리니어모터(2B)의 동작을 제어하는 별도의 제어기(도시되지 않음)가 설치될 수 있다.

이하에서는 상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 액정 공급장치를 이용하여 유리기판에 액정을 공급하는 작용에 대해 간략히 설명한다.

먼저 액정공급조절장치(2)의 리니어모터(2B)와 주사기(2A)의 작동에 의해 액정저장유닛(1)으로부터 공급된 액정이 피에조밸브(3)의 하부본체(20) 내부에 형성된 유로(21)를 거쳐 연결유로(23)에 공급되고, 이때 연결유로(23)에 공급된 액정은 연결유로(23)가 열려있는 상태 (Normal Open)이기 때문에 노즐(5) 쪽으로 미세한 양의 액정이 유리기판(6) 상에 분사된다.

제어기(4)의 제어에 의해 피에조밸브(3)의 스택고정부(32)에 전압이 공급되면 이에 의해 스택고정부(32)의 내부에 위치하는 세라믹스택(33)이 팽창하게 되고, 그 결과 도 7(a)에 도시된 바와 같이 세라믹스택(33)에 연결된 한 쌍의 가변블록(34)의 내측이 각각 상승되면서 이와 연결된 암(35)의 상부를 바깥쪽으로 밀게 되며, 이에 의해 암(35)의 하단이 내측으로 오므려지면서 그 하부에 경사지게 연결된 이음부재(36)를 밀게 되고, 이에 의해 이음부재(36)의 하단에 연결된 피스톤(40)이 아래로 하강되면서 연결유로(23)를 차단하게 되고, 그 결과 노즐(5) 쪽으로의 액정 공급이 차단된다.

한편, 상기와 같은 구성으로 이루어진 피에조밸브(3)는 도 8에 도시된 바와 같이 다수 개가 일렬 형태로 배치되는 것으로 사용될 수 있는데, 이 경우 하부본체(20)는 그 상부에 설치하려고 하는 다수개의 상부본체의 폭에 상당하는 길이를 가지면서 수평으로 배치되고, 하부본체(20)의 저면에는 복수 개의 노즐(5)을 길이를 따라 일정 간격을 두고 설치하며, 하부본체(20)의 상면에는 다수 개의 상부본체(10)를 노즐(5)의 설치 개수에 대응하도록 설치하는 것으로 실시될 수 있다. 이때 하부본체(20)에 형성된 유로는 한 개의 공통배관에 의해 연결된다.

상기와 같이 한 개의 하부본체 상에 그 내부에 피에조 액추에이터가 설치된 다수 개의 상부본체를 설치하게 되면 피에조밸브 간의 이격거리가 짧아지게 되고, 그 결과 미소한 양의 액정을 유리기판 상에 촘촘하게 분사(dispensing)하면서도 한 번에 많은 양을 분사할 수 있어 대량 생산에 유리하다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명은 전원의 인가에 따라 신속하게 반응하며, 정밀하게 동작되는 피에조밸브를 이용하여 미소량의 액정을 정확하게 조절하여 유리기판에 공급할 수 있기 때문에 평판 디스플레이의 생산품질이 높아지는 동시에 생산효율이 크게 향상된다.

1: 액정저장유닛 2: 액정공급조절장치
2A: 주사기 2B: 리니어모터
3: 피에조밸브 4: 제어기
4A: 구동모듈 4B: 전원공급장치
5: 노즐 6: 유리기판
10: 상부본체 11: 수용부
12: 관통공 20: 하부본체
21: 유로 22: 관통공
23: 연결유로 30: 액추에이터
31: 고정블록 31A: 관통공
32: 스택고정부 33: 세라믹스택
34: 가변블록 35: 암
36: 이음부재 37: 승강블록
40: 피스톤 41: 실린더

Claims (6)

  1. 액정저장유닛(1)과; 상기 액정저장유닛(1)으로부터 공급되는 액정을 가압하여 공급하는 액정공급조절장치(2)와; 상기 액정공급조절장치(2)를 통해 공급되는 액정을 미세 조절하여 공급하는 피에조밸브(3)와; 상기 피에조밸브(3)의 동작을 제어하는 제어기(4) 및; 상기 피에조밸브(3)를 통해 유량 조절된 액정을 유리기판(6)에 토출하는 노즐(5)로 이루어지되,
    상기 액정공급조절장치(2)는 상기 액정저장유닛(1)으로부터 공급되는 액정을 가압하여 상기 피에조밸브(3)에 공급하는 주사기(2A)와; 상기 주사기(2A)의 피스톤에 연결되어 상기 피스톤의 행정을 제어하는 리니어모터(2B)로 이루어지고,
    상기 피에조밸브(3)는 내부에 수용부(11)가 형성되고, 상기 수용부(11)의 내부에서 하부로 관통되는 관통공(12)이 형성된 상부본체(10)와;
    상기 상부본체(10)의 하부에 설치되며, 상기 노즐(5)이 하부에 결합되고, 상기 액정공급조절장치(2)로부터 공급되는 액정이 유입되는 유로(21)가 형성된 하부본체(20)와;
    상기 수용부(11)에 설치되며 상기 제어기(4)의 제어에 의해 승강 동작하는 액추에이터(30)와;
    상기 관통공(12)에 상하 수직으로 설치되고, 상부가 상기 액추에이터(30)와 연결되어 상기 액추에이터(30)의 승강 동작에 의해 동작되면서 상기 하부본체의 유로(21) 내로 유입된 액정을 조절하여 상기 노즐(5)로 공급하는 피스톤(40);으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 피에조밸브를 이용한 액정 공급장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 액추에이터(30)는, 상기 상부본체(10)의 수용부(11) 내부에 설치 고정되며 관통공(31A)이 형성된 고정블록(31)과; 상기 관통공(31A)에 설치되는 스택고정부(32)와; 상기 스택고정부(32)의 내부에 설치되는 세라믹스택(33)과; 상기 세라믹스택(33)의 상부에 설치되어 상기 스택고정부(32)에 가해진 전압에 의해 팽창하는 상기 세라믹스택(33)의 승강동작에 의해 가변되는 한 쌍의 가변블록(34)과; 상기 가변블록(34)에 각각 결합되는 암(35) 및; 상기 암(35)의 하단에 각각 설치되는 이음부재(36)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 피에조밸브를 이용한 액정 공급장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 이음부재(36)의 하단을 연결하는 승강블록(37)이 더 구비되고,
    상기 피스톤(40)은 상기 승강블록(37)에 결합되는 것을 특징으로 하는 피에조밸브를 이용한 액정 공급장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 이음부재(36)는 중앙을 향하여 하향 경사지도록 설치되는 것을 특징으로 하는 피에조밸브를 이용한 액정 공급장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부본체(20)는 길이를 가지도록 수평으로 배치되고, 상기 하부본체(20)의 하부에는 상기 노즐(5)이 상기 하부본체(20)의 길이를 따라 복수 개가 설치되며, 상기 상부본체(10)는 상기 노즐(5)의 개수에 대응하도록 상기 하부본체(20)의 상부에 설치되는 것을 특징으로 하는 피에조밸브를 이용한 액정 공급장치.
  6. 청구항 1 내지 청구항 4 중 선택된 어느 한 항에 있어서,
    상기 하부본체(20)에는 상기 노즐(5)과 연결되는 관통공(22)과; 상기 유로(21)와 상기 관통공(22)을 연결하는 연결유로(23)가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 피에조밸브를 이용한 액정 공급장치.
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