KR101246958B1 - Specimen inspecting apparatus using multi-line senser camera and multi-light - Google Patents

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Abstract

본 발명은 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 검사를 위한 시편을 이동시키는 이동수단, 상기 이동된 시편의 동일한 부위에 다양한 각도에서 광을 순차적으로 조사하는 다수의 조명, 상기 조명의 각 위치에서 각각 조사된 시편을 촬상하는 카메라, 상기 시편에서 반사 또는 투과된 다수의 광을 집광시켜 카메라로 투과시키는 렌즈, 상기 시편에서 반사 또는 투과된 다수의 광이 상기 렌즈를 향하도록 편광시키는 스플리터, 및 상기 카메라의 영상을 전송받아 편집하여 시편 영상을 완성시키는 제어부를 포함하여 이루어진다.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 동일한 위치에서 시편의 각 라인을 각 조명별로 스캔하여 여러 종류의 결점을 검출할 수 있어 정밀성을 향상시킴에 따라 불량률을 감소시키고, 작업시간을 단축시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있으며, 종래에 비해 부피가 감소하여 설치공간도 감소시킬 수 있다.The present invention relates to a high-speed specimen test device using a multi-line sensor camera and multiple lights, and more particularly, a moving means for moving the specimen for inspection, sequentially irradiating light at various angles to the same portion of the moved specimen A plurality of lights, a camera for imaging the specimen irradiated at each position of the illumination, a lens for collecting a plurality of light reflected or transmitted from the specimen to transmit to the camera, a plurality of light reflected or transmitted from the specimen And a splitter for polarizing the lens toward the lens, and a controller for receiving and editing an image of the camera to complete the specimen image.
According to the present invention as described above, by scanning each line of the specimen for each illumination at the same position, it is possible to detect various kinds of defects to improve the precision, thereby reducing the defect rate, shortening the working time, productivity It can be improved, the volume can be reduced compared to the conventional can also reduce the installation space.

Description

멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치{Specimen inspecting apparatus using multi-line senser camera and multi-light}Specimen inspecting apparatus using multi-line senser camera and multi-light}

본 발명은 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 동일한 위치에서 시편의 각 라인을 각 조명별로 스캔하여 여러 종류의 시편 영상을 완성함에 따라 여러 종류의 결점을 정밀하게 검출할 수 있음은 물론, 작업시간을 단축시킬 수 있는 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an inspection apparatus, and more particularly, by scanning each line of the specimen in each light at the same position for each type of specimen image to accurately detect the various types of defects, of course, The present invention relates to a high-speed specimen test device using a multi-line sensor camera and multiple lights that can reduce time.

일반적으로, 카메라를 이용하여 시편을 촬상한 후, 촬상된 영상을 통해 시편의 불량 여부를 판단하는 기술이 다양한 부분에서 시행되고 있다.In general, after imaging the specimen using a camera, a technique for determining whether the specimen is defective by using the captured image has been implemented in various parts.

이러한 시편으로는 평판디스플레이, 유리판, LCD, 차량용 유리 등이 존재하며, 시편의 얼룩이나 스크래치 등의 결함이 촬상을 통해 검출된다.Such specimens include flat panel displays, glass plates, LCDs, and vehicle glass, and defects such as stains and scratches of the specimens are detected through imaging.

이와 같이, 카메라를 이용하여 시편의 불량 여부를 검출하는 기술로 시편의 상부에 라인스캔 카메라가 설치되고, 액정패널의 하부에 백라이트가 설치된다.As described above, a line scan camera is installed on the upper part of the specimen and a backlight is installed on the lower part of the liquid crystal panel.

여기서, 라인스캔 카메라는 이동수단에 의해 좌우로 이동되면서 시편을 라인별로 스캐닝하거나 시편이 이동되어 라인별로 스캐닝하게 되며, 백라이트는 시편에 조사될 광을 발생시킨다.Here, the line scan camera is moved left and right by the moving means to scan the specimen by line or the specimen is moved to scan by line, and the backlight generates light to be irradiated onto the specimen.

도 1에서 도시한 바와 같이, 시편이 이동되는 경로를 따라 다양한 각도로 각각 광을 조사하도록 다수의 조명을 배열하고, 각 조명에서 조사된 광과 함께 시편을 촬상하는 카메라가 구비되어 이동되는 시편을 촬상함에 따라 시편의 결함을 검출하게 된다.As shown in FIG. 1, a plurality of lights are arranged to irradiate light at various angles along a path along which the specimen is moved, and a camera is provided to photograph the specimen together with the light emitted from each illumination. Imaging detects defects in the specimen.

이에 따라, 시편에 다양한 각도로 광을 조사하고, 이 광에 의해 발견되는 결함을 카메라로 촬상함에 따라 각 각도로 조사된 광에 의한 시편의 영상을 촬상하여 시편의 모든 결함을 검출할 수 있다.Accordingly, the light is irradiated onto the specimen at various angles, and the defects found by the light are imaged by the camera, so that images of the specimen by the light irradiated at each angle can be captured to detect all the defects of the specimen.

그러나 이러한 검사장비는 각 각도로 광을 조사하고, 이미지 촬상을 하는 각각의 스테이지가 구비됨에 따라 부피가 커 넓은 설치공간이 필요한 문제점이 있다.However, such inspection equipment has a problem in that a large installation space is required as the stage is provided with each stage for irradiating light at each angle and taking an image.

특히, 각 스테이지를 거쳐야됨에 따라 작업시간이 길고, 비용이 고가인 문제점도 있다.
In particular, there is a problem that the work time is long, and the cost is expensive as it has to go through each stage.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로써, 시편을 이동 및 제어하는 이동수단과 시편에 다양한 각도로 광을 조사하도록 구비된 다수의 조명, 각 조명에 의해 순착적으로 조사된 시편을 촬상하는 카메라 및 카메라의 영상을 전송받아 편집함에 따라 시편 전체 영상을 완성하여 결함을 검출할 수 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, a plurality of lights, each of which is provided to irradiate light at various angles to the moving means for moving and controlling the specimen and the specimen is sequentially irradiated by each illumination By receiving and editing the camera photographing the specimen and the image of the camera, the entire specimen image can be completed to detect defects.

특히, 카메라는 라인별로 스캔하고, 다수 개 배열됨에 따라 각 조명별로 시편 영상을 촬상하거나 동시에 촬상하여 작업시간을 단축할 수 있어 비용을 절감시킬 수 있는 시편 검사장치를 제공하는 것이 목적이다.
In particular, it is an object of the present invention to provide a specimen inspection apparatus capable of reducing costs by scanning cameras line-by-line and arranging a plurality of cameras to image the specimens for each illumination or simultaneously photographing them, thereby reducing the working time.

상기 목적을 이루기 위한 본 발명은, 검사를 위한 시편을 이동시키는 이동수단, 상기 이동된 시편의 동일한 부위에 다양한 각도에서 광을 순차적으로 조사하는 다수의 조명, 상기 조명의 각 위치에서 각각 조사된 시편을 촬상하는 카메라, 상기 시편에서 반사 또는 투과된 다수의 광을 집광시켜 카메라로 투과시키는 렌즈, 상기 시편에서 반사 또는 투과된 다수의 광이 상기 렌즈를 향하도록 투과시키는 스플리터, 및 상기 카메라의 영상을 전송받아 편집하여 시편 영상을 완성시키는 제어부를 포함하여 이루어진다.The present invention for achieving the above object, the moving means for moving the specimen for inspection, a plurality of lights sequentially irradiating light at various angles to the same portion of the moved specimen, the specimen irradiated at each position of the illumination A camera for capturing the light, a lens for collecting and transmitting a plurality of light reflected or transmitted from the specimen, a splitter for transmitting the light reflected or transmitted from the specimen toward the lens, and an image of the camera. It includes a control unit for receiving and editing to complete the specimen image.

바람직하게, 상기 이동수단은, 평면을 기준으로, 상기 시편을 전후/좌우 이동시킨다.Preferably, the moving means moves the specimen back, forth, left and right with respect to the plane.

그리고 상하 오차에 따른 포커싱 보상을 위해 상기 이동수단이 시편을 상하방향으로 이동시키거나 또는 상기 카메라와 렌즈를 상하방향으로 이동시킨다.The moving means moves the specimen in the vertical direction or moves the camera and the lens in the vertical direction to compensate for focusing according to vertical error.

또한, 상기 카메라는, 라인스캔 카메라를 사용하여 각각 스캔하고, 상기 이동수단은 시편을 카메라의 라인별로 이동시킨다.In addition, the camera scans each using a line scan camera, and the moving means moves the specimen for each line of the camera.

그리고 상기 카메라는, 라인스캔부가 다수 개 구비되되, 순차적으로 배열된 각 라인스캔부는 각 해당되는 순서의 조명이 광을 조사한 상태에서 각각 촬상되어 시편의 라인 영상을 상기 제어부로 전송한다.The camera may include a plurality of line scan units, and each line scan unit sequentially arranged may be photographed in a state where illumination of each corresponding order is irradiated with light to transmit a line image of a specimen to the controller.

또한, 상기 카메라는 조명의 개수와 동일하게 라인스캔부가 구비되되, 시편의 이동방향을 따라 각 라인스캔부가 순차적으로 배열되고, 다수의 조명이 순차적으로 광을 조사하며, 첫 번째 라인스캔부가 시편의 첫 번째 스캔영역 상측에 위치된 상태로, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 첫 번째 라인스캔부는 시편의 첫 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하고, 상기 이동수단에 의해 시편이 이동되어 첫 번째 라인스캔부의 하측에 두 번째 스캔영역이 위치된 상태로, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 첫 번째 라인스캔부는 시편의 두 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하고, 두 번째 조명이 광을 조사할 경우, 두 번째 라인스캔부는 시편의 첫 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하며, 상기 이동수단에 의해 시편이 이동되어 첫 번째 라인스캔부의 하측에 n 번째 스캔영역이 위치된 상태로, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 첫 번째 라인스캔부는 시편의 n 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하고, 두 번째 조명이 광을 조사할 경우, 두 번째 라인스캔부는 시편의 n-1 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하며, n 번째 조명이 광을 조사할 경우, n 번째 라인스캔부는 시편의 첫 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하고, 상기 이동수단에 의해 시편이 이동되어 첫 번째 라인스캔부의 하측에 n+1 번째 스캔영역이 위치된 상태로, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 첫 번째 라인스캔부는 시편의 n+1 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하고, 두 번째 조명이 광을 조사할 경우, 두 번째 라인스캔부는 시편의 n 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하며, n 번째 조명이 광을 조사할 경우, n 번째 라인스캔부는 시편의 두 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하며, 상기 n 번째 라인스캔부가 시편의 마지막 스캔영역을 촬상할 때까지 상기의 영상획득 과정을 반복하고, 제어부는 각 라인스캔부의 영상을 편집하여 상기 시편에 대한 각 조명별 영상을 완성시킨다.In addition, the camera is provided with a line scan unit equal to the number of lights, each line scan unit is sequentially arranged along the moving direction of the specimen, a plurality of lights sequentially irradiate light, the first line scan unit of the specimen When the first illumination irradiates light with the first scan area positioned above the first scan area, the first line scan unit scans the first scan area of the specimen and transmits the image to the controller, and the specimen is moved by the moving means. When the second scan area is located under the first line scan unit, and the first light irradiates light, the first line scan unit scans the second scan area of the specimen and transmits the image to the control unit. When the first illumination irradiates the light, the second line scan unit scans the first scan area of the specimen and transmits the image to the controller, and the specimen is moved by the moving means. When the first light is irradiated with the nth scan area positioned below the first line scan unit, the first line scan unit scans the nth scan area of the specimen and transmits the image to the control unit. When the second illumination irradiates the light, the second line scan unit scans the n-1th scan area of the specimen and transmits the image to the controller. When the nth illumination irradiates the light, the nth line scan unit The first scan area is scanned and the image is transmitted to the control unit, and the specimen is moved by the moving means so that the n + 1 th scan area is positioned under the first line scan unit, and the first illumination is irradiated with light. In this case, the first line scan unit scans the n + 1 th scan area of the specimen and transmits the image to the control unit. When the second light is irradiated with light, the second line scan unit scans the n th scan area of the specimen. And the image is transmitted to the control unit, and when the nth illumination irradiates light, the nth line scan unit scans the second scan area of the specimen and transmits the image to the control unit, and the nth line scan unit scans the last scan of the specimen. The image acquisition process is repeated until the region is captured, and the controller edits the image of each line scan unit to complete the image for each light of the specimen.

그리고 상기 카메라는, 라인스캔부가 다수 개 구비되어 각 조명이 광을 조사 시, 동시에 촬상(고속으로 순차적 촬상)하여 각 라인스캔부에 해당되는 시편의 각 라인을 동시에 스캔함에 따라 시편의 일정부위를 한 번에 촬상한다.In addition, the camera is provided with a plurality of line scan units, and when each light is irradiated with light, images are captured simultaneously (sequential imaging at high speed) to simultaneously scan each line of the specimen corresponding to each line scan unit. Take a picture at a time.

또한, 상기 카메라는 라인스캔부가 다수 개 구비되고, 다수의 조명이 순차적으로 광을 조사하며, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 다수의 라인스캔부는 동시에 촬상(고속으로 순차적 촬상)하되, 첫 번째 라인스캔부는 시편의 첫 번째 스캔영역을 스캔하고, 두 번째 라인스캔부는 시편의 두 번째 스캔영역을 스캔하며, n 번째 라인스캔부는 시편의 n 번째 스캔영역을 스캔하여 첫 번째 조명의 첫 번째 영역(모든 라인스캔부에 의해 촬상되는 영역)에 대한 영상을 상기 제어부로 전송하고, 두 번째 조명이 광을 조사할 경우, 다수의 라인스캔부는 동시에 촬상(고속으로 순차적 촬상)하되, 첫 번째 라인스캔부는 시편의 첫 번째 스캔영역을 스캔하고, 두 번째 라인스캔부는 시편의 두 번째 스캔영역을 스캔하며, n 번째 라인스캔부는 시편의 n 번째 스캔영역을 스캔하여 두 번째 조명의 첫 번째 영역(모든 라인스캔부에 의해 촬상되는 영역)에 대한 영상을 상기 제어부로 전송하고, n 번째 조명이 광을 조사할 경우, 다수의 라인스캔부는 동시에 촬상(고속으로 순차적 촬상)하되, 첫 번째 라인스캔부는 시편의 첫 번째 스캔영역을 스캔하고, 두 번째 라인스캔부는 시편의 두 번째 스캔영역을 스캔하며, n 번째 라인스캔부는 시편의 n 번째 스캔영역을 스캔하여 n 번째 조명의 첫 번째 영역(모든 라인스캔부에 의해 촬상되는 영역)에 대한 영상을 상기 제어부로 전송하고, 첫 번째 영역에 대한 촬상이 끝난 시편은 상기 이동수단에 의해 시편의 두 번째 영역이 카메라 하측에 위치되도록 이동되어 각 조명에서 조사되는 광에 대한 영상을 상기 제어부로 전송하며, 상기 카메라가 시편의 마지막 영역을 촬상할 때까지 상기의 영상획득 과정을 반복하고, 제어부는 각 영상을 각 조명별로 편집하여 각 조명별 영상을 완성시킨다.In addition, the camera is provided with a plurality of line scan unit, a plurality of lights sequentially irradiate light, when the first illumination irradiates the light, a plurality of line scan unit at the same time (sequential imaging at high speed), but the first The first line scan unit scans the first scan area of the specimen, the second line scan unit scans the second scan area of the specimen, and the nth line scan unit scans the nth scan area of the specimen, so that the first area of the first illumination When the image of the area (area imaged by all the line scan unit) is transmitted to the control unit, and the second illumination is irradiated with light, a plurality of line scan units simultaneously image (sequential image capture at high speed), but the first line scan The part scans the first scan area of the specimen, the second line scan part scans the second scan area of the specimen, and the nth line scan part scans the nth scan area of the specimen. And can transmit an image of the first area of the second illumination (the area imaged by all the line scan units) to the control unit, and when the nth illumination irradiates the light, multiple line scan units simultaneously capture the image (high speed). Sequential imaging), where the first line scan unit scans the first scan region of the specimen, the second line scan unit scans the second scan region of the specimen, and the nth line scan unit scans the nth scan region of the specimen The image of the first area of the first illumination (the area photographed by all the line scan units) is transmitted to the controller, and after the imaging of the first area is completed, the second area of the specimen is moved by the moving means to the lower side of the camera. The image is transmitted to the control unit so as to be positioned at and transmits an image of the light irradiated from each light, until the camera captures the last region of the specimen. Repeating the image acquisition process, and the control unit to edit each image by each light is completed by the each light image.

그리고 상기 카메라는, 라인스캔부가 다수 개 구비되되, 상기 카메라의 라인스캔부 개수는, 상기 조명의 개수와 동일하거나 적게 구비된다.The camera may include a plurality of line scan units, and the number of line scan units of the camera may be equal to or less than the number of lights.

또한, 상기 각 조명이나 상기 카메라에 필터가 더 구비되어 파장별로 광을 조사하거나 촬상한다.In addition, each of the illumination or the camera is further provided with a filter for irradiating or imaging light for each wavelength.

그리고 상기 제어부는, 각 조명별로 시편의 영상을 편집하여 각 조명별 시편 영상을 완성한다.
The controller edits the image of the specimen for each illumination to complete the specimen image for each illumination.

상기한 바와 같이, 본 발명에 의한 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치에 의하면, 동일한 위치에서 시편의 각 라인을 각 조명별로 스캔하여 여러 종류의 결점을 검출할 수 있어 정밀성을 향상시킴에 따라 불량률을 감소시키고, 작업시간을 단축시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있으며, 종래에 비해 부피가 감소하여 설치공간도 감소시킬 수 있게 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.
As described above, according to the specimen high-speed inspection apparatus using the multi-line sensor camera and the multi-light according to the present invention, it is possible to detect various kinds of defects by scanning each line of the specimen for each illumination at the same position to improve the accuracy By reducing the defect rate, and can shorten the working time to improve the productivity, it is a very useful and effective invention that can reduce the installation space by reducing the volume compared to the conventional.

도 1은 종래 시편 검사장치를 계략적으로 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 시편 검사장치를 도시한 도면이며,
도 3은 본 발명에 따른 시편 검사장치의 카메라와 작동상태를 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 시편 검사장치의 카메라와 작동상태의 다른 실시 예를 도시한 도면이며,
도 5는 본 발명에 따른 각 조명에 따라 편집된 전체 영상을 계략적으로 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명에 따른 시편 검사장치에 필터가 더 구비된 상태를 도시한 도면이며,
도 7은 본 발명에 따른 시편 검사장치의 각 조명에 따라 획득되는 이미지의 일 실시 예를 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing a conventional specimen inspection device,
2 is a view showing a specimen inspection apparatus according to the present invention,
3 is a view showing the camera and the operating state of the specimen inspection apparatus according to the present invention,
Figure 4 is a view showing another embodiment of the camera and the operating state of the specimen inspection apparatus according to the present invention,
5 is a view schematically showing the entire image edited according to each illumination according to the present invention,
6 is a view showing a state in which a filter is further provided in the specimen inspection apparatus according to the present invention,
7 is a diagram illustrating an embodiment of an image obtained according to each illumination of the specimen inspection apparatus according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

또한, 본 실시 예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고 단지 예시로 제시된 것이며, 그 기술적 요지를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다.It should be noted that the present invention is not limited to the scope of the present invention but is only illustrative and various modifications are possible within the scope of the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 시편 검사장치를 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 시편 검사장치의 카메라와 작동상태를 도시한 도면이며, 도 4는 본 발명에 따른 시편 검사장치의 카메라와 작동상태의 다른 실시 예를 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명에 따른 각 조명에 따라 편집된 전체 영상을 계략적으로 도시한 도면이며, 도 6은 본 발명에 따른 시편 검사장치에 필터가 더 구비된 상태를 도시한 도면이고, 도 7은 본 발명에 따른 시편 검사장치의 각 조명에 따라 획득되는 이미지의 일 실시 예를 도시한 도면이다.2 is a view showing a specimen inspection apparatus according to the present invention, Figure 3 is a view showing a camera and the operating state of the specimen inspection apparatus according to the present invention, Figure 4 is a camera and a specimen inspection apparatus according to the present invention 5 is a view showing another embodiment of the operating state, Figure 5 is a view schematically showing the entire image edited according to each light according to the present invention, Figure 6 is a filter further in the specimen inspection apparatus according to the present invention 7 is a view showing an equipped state, Figure 7 is a view showing an embodiment of an image obtained according to each illumination of the specimen inspection apparatus according to the present invention.

도면에서 도시한 바와 같이, 시편 검사장치(10)는 이동수단(100)과 조명(200), 카메라(300), 렌즈(400), 스플리터(500) 및 제어부(600)로 구성됩니다.As shown in the drawing, the specimen inspection device 10 is composed of a moving means 100 and lighting (200), camera (300), lens (400), splitter (500) and control unit (600).

먼저, 이동수단(100)은 검사를 위한 시편(20)을 이동시키는 것으로, 평면을 기준으로, 시편(20)을 전후/좌우 이동시키게 된다.First, the moving means 100 moves the specimen 20 for inspection, and moves the specimen 20 back and forth / left and right based on a plane.

다시 말해, 시편 검사장치(10)는 시편(20)의 일부분씩 이미지로 촬상하여 전체적인 시편(20)의 영상을 편집하되, 카메라(300)가 한 번에 촬상할 수 있는 크기에 따라 이동수단(100)은 시편(20)을 전후/ 좌우로 이동 및 제어하는 것이다.In other words, the specimen inspection apparatus 10 edits the image of the entire specimen 20 by capturing an image of each part of the specimen 20, but the moving means according to the size that the camera 300 can capture at once ( 100 is to move and control the specimen 20 back and forth / left and right.

여기서, 이동수단(100)은 시편 검사 시, 정지하고, 조명(200)과 카메라(300)를 이동시키는 별도의 겐트리(미도 시)를 이용하여 시편검사가 이루어질 수도 있다.Here, the movement means 100 may be stopped when the specimen is inspected, and the specimen may be inspected by using a separate gantry (not shown) for moving the illumination 200 and the camera 300.

또한 이동수단(100)은 상하 오차에 따른 포커싱 보상을 위해 시편(20)을 상하방향으로 더 이동시킬 수도 있다.
In addition, the moving means 100 may further move the specimen 20 in the vertical direction to compensate for focusing due to vertical error.

한편, 상하 오차에 따른 포커싱 보상을 위해 카메라(300)와 렌즈(400)를 상하방향으로 이동시킬 수도 있다.On the other hand, the camera 300 and the lens 400 may be moved in the vertical direction to compensate for focusing due to the vertical error.

이를 위해, 카메라(300)와 렌즈(400)를 이동시키는 별도의 오토포커싱수단(미 도시)가 더 구비됨이 바람직하다.
To this end, a separate autofocusing means (not shown) for moving the camera 300 and the lens 400 is preferably further provided.

그리고 조명(200)은 다수 개 구비되는 것으로, 이동된 시편(20)의 동일한 부위에 다양한 각도에서 광을 순차적으로 조사함에 따라, 카메라(300)에 촬상되는 이미지가 다르게 촬상된다.In addition, a plurality of lights 200 are provided, and as the light is sequentially irradiated to the same portion of the moved specimen 20 at various angles, the image captured by the camera 300 is differently captured.

다시 말해, 시편(20)에 조사되는 광이 반사 또는 투과되거나 그림자 등이 생겨 시편(20)에 발생된 결함을 정밀하게 검출할 수 있는 것이다.In other words, the light irradiated onto the specimen 20 may be reflected or transmitted or a shadow may be generated to accurately detect defects generated in the specimen 20.

카메라(300)는 조명(200)의 각 위치에서 각각 조사된 시편(20)을 촬상하고, 렌즈(400)는 시편(20)에서 반사 또는 투과된 다수의 광을 집광시켜 카메라(300)로 투과시킨다.The camera 300 photographs the specimen 20 irradiated at each position of the illumination 200, and the lens 400 collects a plurality of light reflected or transmitted from the specimen 20 and transmits the same to the camera 300. Let's do it.

그리고 스플리터(500)는 시편(20)에서 반사 또는 투과된 다수의 광이 렌즈(400)를 향하도록 투과시킴에 따라 카메라(300)가 용이하게 시편(20)을 촬상할 수 있다.In addition, as the splitter 500 transmits the plurality of light reflected or transmitted from the specimen 20 toward the lens 400, the camera 300 may easily capture the specimen 20.

이때, 스플리터(500)는 카메라(300)와 동일한 축 상에서 광을 조사한 상태로 시편 영상을 획득하기 위한 것으로, 카메라(300)와 시편(20)을 지나는 기준 축과 직교방향에 위치된 조명(200)의 광을 시편(20)으로 조사하고, 시편(20)에 반사된 광을 카메라(300)로 투과시킴에 따라 시편 영상을 획득할 수 있다.At this time, the splitter 500 is for acquiring the specimen image in the state of irradiating light on the same axis as the camera 300, the illumination 200 located in the direction perpendicular to the reference axis passing through the camera 300 and the specimen 20 By irradiating the light of) to the specimen 20, and transmits the light reflected by the specimen 20 to the camera 300, the specimen image can be obtained.

또한 제어부(600)는 카메라(300)의 영상을 전송받아 편집하여 시편(20) 영상을 완성시키는 것으로, 각 조명(200)에 따른 획득한 영상을 편집하여 각 조명(200) 별로 전체 영상을 확인하여 시편(20)의 결함을 정밀하게 검출할 수 있다.
In addition, the control unit 600 receives and edits the image of the camera 300 to complete the specimen 20 image, and edits the acquired image according to each light 200 to check the entire image for each light 200. The defect of the specimen 20 can be detected accurately.

여기서 카메라(300)는 도 3 내지 4에서 도시한 바와 같이, 시편(20)을 라인별로 스캔하는 것으로, 라인스캔 카메라를 사용하여 각각 스캔하고, 이동수단(100)은 시편(20)을 카메라(300)의 라인별로 대응되도록 이동시킨다.3 to 4, the camera 300 scans the specimen 20 line by line, and scans each of the specimens 20 using a line scan camera, and the moving means 100 moves the specimen 20 to the camera ( 300 to move corresponding to each line.

다시 말해, 카메라(300)에서 촬상할 수 있는 크기가 한정되고, 시편(20)의 크기가 다양함에 따라 촬상되지 못하는 부분이 없도록 순차적으로 시편(20)을 이동시켜 각 라인별 영상을 획득하는 것이다.
In other words, the size that can be captured by the camera 300 is limited, and as the size of the specimen 20 varies, the specimen 20 is sequentially moved to obtain an image for each line so that no portion cannot be captured. .

이때, 도 3에서 도시한 바와 같이, 카메라(300)는 라인스캔부(A, B, C, D, E)가 다수 개 구비되되, 순차적으로 배열된 각 라인스캔부(A, B, C, D, E)는 각 해당되는 순서의 조명(200)이 광을 조사한 상태에서 각각 촬상되어 시편(20)의 라인 영상을 제어부(600)로 전송한다.At this time, as shown in Figure 3, the camera 300 is provided with a plurality of line scan unit (A, B, C, D, E), each line scan unit (A, B, C, D and E are respectively imaged in the state in which the illumination 200 of the corresponding order is irradiated with light to transmit a line image of the specimen 20 to the controller 600.

다시 말해, 카메라(300)는 조명(200)의 개수와 동일하게 라인스캔부가 구비되되, 시편의 이동방향을 따라 각 라인스캔부가 순차적으로 배열되고, 다수의 조명이 순차적으로 광을 조사한다.In other words, the camera 300 is provided with a line scan unit equal to the number of lights 200, each line scan unit is sequentially arranged along the moving direction of the specimen, a plurality of lights sequentially irradiate light.

첫 번째 라인스캔부가 시편(20)의 첫 번째 스캔영역(F1) 상측에 위치된 상태로, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 첫 번째 라인스캔부(A)는 시편의 첫 번째 스캔영역(F1)을 스캔하여 영상을 제어부(600)로 전송한다.When the first line is positioned above the first scan area F1 of the specimen 20 and the first light is irradiated with light, the first line scan part A is the first scan area of the specimen ( Scan the F1) and transmit the image to the controller 600.

이에 따라, 제어부(600)는 첫 번째 조명에 대한 시편의 첫 번째 스캔영역(F1) 영상을 획득하게 된다.Accordingly, the controller 600 acquires an image of the first scan region F1 of the specimen for the first illumination.

그리고 이동수단(100)에 의해 시편(20)이 이동되어 첫 번째 라인스캔부(A)의 하측에 두 번째 스캔영역(F2)이 위치된 상태로, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 첫 번째 라인스캔부(A)는 시편의 두 번째 스캔영역(F2)을 스캔하여 영상을 제어부(600)로 전송하고, 두 번째 조명이 광을 조사할 경우, 두 번째 라인스캔부(B)는 시편의 첫 번째 스캔영역(G1)을 스캔하여 영상을 제어부(600)로 전송한다.Then, the specimen 20 is moved by the moving means 100 so that the second scan area F2 is positioned under the first line scan part A, and the first illumination is irradiated with light. The first line scan unit A scans the second scan area F2 of the specimen and transmits the image to the control unit 600. When the second light is irradiated with light, the second line scan unit B the specimen. The first scan area G1 of the is scanned and the image is transmitted to the controller 600.

이에 따라, 제어부(600)는 첫 번째 조명에 대한 시편의 두 번째 스캔영역(F2) 이미지와 두 번째 조명에 대한 시편의 첫 번째 스캔영역(G1) 영상을 획득하게 된다.Accordingly, the controller 600 acquires an image of the second scan region F2 of the specimen for the first illumination and an image of the first scan region G1 of the specimen for the second illumination.

또한 이동수단(100)에 의해 시편이 이동되어 첫 번째 라인스캔부(A)의 하측에 n 번째 스캔영역(Fn)이 위치된 상태로, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 첫 번째 라인스캔부(A)는 시편의 n 번째 스캔영역(Fn)을 스캔하여 영상을 제어부(600)로 전송하고, 두 번째 조명이 광을 조사할 경우, 두 번째 라인스캔부(B)는 시편의 n-1 번째 스캔영역(Gn-1)을 스캔하여 영상을 제어부(600)로 전송하며, n 번째 조명이 광을 조사할 경우, n 번째 라인스캔부('E'라 표시함.)는 시편의 첫 번째 스캔영역(J1)을 스캔하여 영상을 제어부(600)로 전송한다.In addition, when the specimen is moved by the moving means 100 and the nth scan area Fn is positioned below the first line scan unit A, the first line scan is performed when the first illumination irradiates light. Part A scans the n-th scan area Fn of the specimen and transmits the image to the controller 600. When the second illumination irradiates light, the second line scan part B is n- of the specimen. The first scan area Gn-1 is scanned and the image is transmitted to the control unit 600. When the nth illumination irradiates light, the nth line scan unit (denoted as 'E') is the first of the specimens. The first scan area J1 is scanned and the image is transmitted to the controller 600.

이에 따라, 제어부(600)는 첫 번째 조명에 대한 시편의 n 번째 스캔영역(Fn) 이미지와 두 번째 조명에 대한 시편의 n-1 번째 스캔영역(Gn-1) 이미지, …, n 번째 조명에 대한 시편의 첫 번째 스캔영역(J1) 영상을 획득하게 된다.Accordingly, the control unit 600 controls the n-th scan area (Fn) image of the specimen for the first illumination and the n-th scan area (Gn-1) image of the specimen for the second illumination,. In other words, an image of the first scan region J1 of the specimen for the nth illumination is obtained.

그리고 이동수단(100)에 의해 시편이 이동되어 첫 번째 라인스캔부(A)의 하측에 n+1 번째 스캔영역(Fn+1)이 위치된 상태로, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 첫 번째 라인스캔부(A)는 시편의 n+1 번째 스캔영역(Fn+1)을 스캔하여 영상을 제어부(600)로 전송하고, 두 번째 조명이 광을 조사할 경우, 두 번째 라인스캔부(B)는 시편의 n 번째 스캔영역(Gn)을 스캔하여 영상을 제어부(600)로 전송하며, n 번째 조명이 광을 조사할 경우, n 번째 라인스캔부(E)는 시편의 두 번째 스캔영역(J2)을 스캔하여 영상을 제어부(600)로 전송한다.When the specimen is moved by the moving means 100 and the n + 1 th scan area Fn + 1 is positioned below the first line scan part A, when the first illumination irradiates light, The first line scan unit A scans the n + 1 th scan area (Fn + 1) of the specimen and transmits the image to the control unit 600. When the second illumination irradiates light, the second line scan unit A (B) scans the n-th scan area Gn of the specimen and transmits the image to the controller 600. When the n-th illumination irradiates light, the n-th line scan unit E scans the second scan of the specimen. The region J2 is scanned and the image is transmitted to the controller 600.

이에 따라, 제어부(600)는 첫 번째 조명에 대한 시편의 n+1 번째 스캔영역(Fn+1) 이미지와 두 번째 조명에 대한 시편의 n 번째 스캔영역(Gn) 이미지, …, n 번째 조명에 대한 시편의 두 번째 스캔영역(J2) 영상을 획득하게 된다.Accordingly, the control unit 600 controls the n + 1 th scan area (Fn + 1) image of the specimen for the first illumination and the n th scan area (Gn) image of the specimen for the second illumination,. The second scan region J2 of the specimen for the nth illumination is obtained.

이와 같은 과정을 거쳐 n 번째 라인스캔부(E)가 시편의 마지막 스캔영역(M)을 스캔할 때까지 반복하고, 제어부(600)는 각 라인스캔부의 영상(이미지)을 편집하여 시편에 대한 각 조명별 영상을 완성시킨다.Through this process, the n-th line scan unit E is repeated until the last scan area M of the specimen is scanned, and the control unit 600 edits an image (image) of each line scan unit to produce an angle for the specimen. Complete the image by lighting.

이는, 각 조명(200)에 해당되는 라인스캔부 중 어느 하나만 작동되어 시편에 대한 하나의 라인 영상을 획득하는 것으로, 초고배율과 초고정밀을 요하는 검사에 주로 사용됨이 바람직하다.In this case, only one of the line scan units corresponding to each illumination 200 is operated to obtain one line image of the specimen, and is preferably used mainly for an inspection requiring ultra high magnification and ultra high precision.

다시 말해, 동시에 촬상하는 방법과 구분되도록 특정 조명에 의해 광을 조사한 상태로, 이 조명에 해당되는 하나의 라인스캔부가 작동되어 시편 라인 영상을 한 번 이상 촬상할 수 있어 혹시 촬상되지 않은 결점을 검출할 수 있다.In other words, in a state in which light is irradiated by a specific light to distinguish it from a method of imaging simultaneously, one line scan unit corresponding to the light is operated to capture a specimen line image more than once, thereby detecting any defects that have not been captured. can do.

여기서, n개는 카메라(300)에 구비된 라인스캔부의 개수와 조명의 개수이고, 시편의 스캔영역은 n개 이상으로 구획됨이 당연하며, 시편의 마지막 스캔 영역을 m이라 표시하였다.Here, n is the number of the line scan unit and the number of lights provided in the camera 300, the scan area of the specimen is naturally divided into n or more, and the last scan region of the specimen is denoted by m.

도 3에 도시된 예에서, 첫 번째 라인스캔부는 A, 두 번째 라인스캔부는 B, n 번째 라인스캔부는 E에 해당되며, 라인스캔부의 개수는 한정되지 않고, 경우에 따라 다르게 형성됨이 바람직하다.
In the example shown in FIG. 3, the first line scan unit A, the second line scan unit B, the n-th line scan unit E, and the number of the line scan units are not limited and may be formed differently in some cases.

도 4에서 도시한 바와 같이, 카메라(300)는 라인스캔부(A, B, C, D, E)가 다수 개 구비되어 각 조명(200)이 광을 조사 시, 동시에 촬상하여 각 라인스캔부에 해당되는 시편(20)의 각 라인을 동시에 스캔함에 따라 시편의 일정부위를 한 번에 촬상할 수 있다.As shown in FIG. 4, the camera 300 includes a plurality of line scan units A, B, C, D, and E. When the illumination 200 irradiates light, each camera 200 simultaneously photographs each line scan unit. By scanning each line of the specimen 20 corresponding to the same, it is possible to image a predetermined portion of the specimen at a time.

다시 말해, 카메라(300)는 라인스캔부가 다수 개 구비되고, 다수의 조명(200)이 순차적으로 광을 조사하며, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 다수의 라인스캔부는 동시에 촬상하되, 첫 번째 라인스캔부(A)는 시편의 첫 번째 스캔영역(F1)을 스캔하고, 두 번째 라인스캔부(B)는 시편의 두 번째 스캔영역(F2)을 스캔하며, n 번째 라인스캔부(E)는 시편의 n 번째 스캔영역(F5)을 스캔하여 첫 번째 조명의 첫 번째 영역(모든 라인스캔부에 의해 촬상되는 영역)에 대한 영상을 제어부(600)로 전송한다.In other words, the camera 300 includes a plurality of line scan units, and a plurality of lights 200 sequentially irradiate light, and when the first illumination irradiates light, a plurality of line scan units simultaneously capture an image. The first line scan part A scans the first scan area F1 of the specimen, the second line scan part B scans the second scan area F2 of the specimen, and the nth line scan part E ) Scans the n-th scan area F5 of the specimen and transmits an image of the first area of the first illumination (the area picked up by all the line scan units) to the control unit 600.

그리고 두 번째 조명이 광을 조사할 경우, 다수의 라인스캔부는 동시에 촬상하되, 첫 번째 라인스캔부(A)는 시편의 첫 번째 스캔영역(G1)을 스캔하고, 두 번째 라인스캔부(B)는 시편의 두 번째 스캔영역(G2)을 스캔하며, n 번째 라인스캔부(E)는 시편의 n 번째 스캔영역(G5)을 스캔하여 두 번째 조명의 첫 번째 영역(모든 라인스캔부에 의해 촬상되는 영역)에 대한 영상을 제어부(600)로 전송한다.When the second illumination is irradiated with light, the plurality of line scan units simultaneously image, but the first line scan unit A scans the first scan area G1 of the specimen, and the second line scan unit B Scans the second scan area G2 of the specimen, and the n-th line scan part E scans the n-th scan area G5 of the specimen and captures the first area of the second illumination (all line scan parts). Image) is transmitted to the control unit 600.

또한 n 번째 조명이 광을 조사할 경우, 다수의 라인스캔부는 동시에 촬상(고속으로 순차적 촬상)하되, 첫 번째 라인스캔부(A)는 시편의 첫 번째 스캔영역(J1)을 스캔하고, 두 번째 라인스캔부(B)는 시편의 두 번째 스캔영역(J2)을 스캔하며, n 번째 라인스캔부(E)는 시편의 n 번째 스캔영역(J5)을 스캔하여 n 번째 조명의 첫 번째 영역(모든 라인스캔부에 의해 촬상되는 영역)에 대한 영상을 제어부(600)로 전송한다.In addition, when the nth illumination is irradiated with light, the plurality of line scan units simultaneously image (sequential imaging at high speed), but the first line scan unit A scans the first scan area J1 of the specimen, and the second The line scan part B scans the second scan area J2 of the specimen, and the n th line scan part E scans the nth scan area J5 of the specimen, so that the first area of the nth illumination (all The image of the area captured by the line scan unit is transmitted to the control unit 600.

이러한 각 과정을 거쳐 첫 번째 영역에 대한 촬상이 끝난 시편(20)은 이동수단(100)에 의해 두 번째 영역이 카메라(300) 하측에 위치되도록 이동되고, 두 번째 영역에 대한 영상은 상기와 같은 과정을 거쳐 시편의 두 번째 영역에 대한 촬상이 이루어져 제어부(600)로 전송되며, 카메라(300)가 시편의 마지막 영역(m)을 촬상할 때까지 반복하게 된다.After each of these processes, the specimen 20 which has been imaged on the first area is moved by the moving means 100 so that the second area is positioned under the camera 300, and the image of the second area is as described above. Through the process, the imaging of the second area of the specimen is made and transmitted to the control unit 600, and the camera 300 repeats the imaging until the last region m of the specimen.

시편의 각 영역에 대한 조명별 영상(이미지)는 제어부(600)로 전송되고, 제어부(600)는 각 영상을 각 조명별로 편집하여 각 조명별 영상을 완성시킨다.
Images for each lighting (image) for each region of the specimen is transmitted to the controller 600, the controller 600 edits each image for each lighting to complete the image for each lighting.

도 4에서 도시한 일 실시 예로, 카메라(300)의 각 라인스캔부(A, B, C, D, E)와 각 조명(F, G, H, I, J)이 구성되며, 각 라인스캔부(A, B, C, D, E)가 시편(20)을 각 라인별로 스캔하여 연속되는 영상을 한번에 획득하는 것이다.As shown in FIG. 4, each of the line scan units A, B, C, D, and E and the illuminations F, G, H, I, and J of the camera 300 is configured, and each line scan Part A, B, C, D, and E scan the specimen 20 for each line to obtain a continuous image at a time.

이러한 카메라(300)의 작동상태를 살펴보면, 시편(20)을 위치시킨 후, 어느 하나의 조명(F)에 의해 광을 조사한 상태로 라인스캔부(A, B, C, D, E)가 시편(20)의 라인별 연속된 이미지(F1, F2, F3, F4, F5)를 촬상하게 된다.Looking at the operating state of the camera 300, after placing the specimen 20, the line scan unit (A, B, C, D, E) is a specimen in the state irradiated with light by any one of the lights (F) The continuous images F1, F2, F3, F4, and F5 for each line of 20 are captured.

이 연속된 이미지는 제어부(600)로 전송되고, 각 조명에 따라 획득한 영상을 각각 순차적으로 저장하게 된다.The continuous image is transmitted to the control unit 600, and sequentially stores the images acquired according to each illumination.

그리고 다른 조명(G)을 통해 광을 조사한 상태로 라인스캔부(A, B, C, D, E)를 통해 연속된 이미지(G1, G2, G3, G4, G5)를 획득하여 제어부(600)로 전송함에 따라 각각 저장된다.The controller 600 obtains a continuous image G1, G2, G3, G4, and G5 through the line scan units A, B, C, D, and E while irradiating light through another illumination G. Each is stored as it is sent.

이러한 과정을 다른 조명(H, I, J)을 순차적으로 조사하여 연속된 이미지(H1~H5, I1~I5, J1~J5)를 획득하여 제어부(600)로 전송함에 따라 각각 저장된다.This process is performed by sequentially irradiating different lights (H, I, J) to obtain a continuous image (H1 ~ H5, I1 ~ I5, J1 ~ J5) to be transmitted to the control unit 600, respectively.

이와 같은, 작업은 필요한 검사를 위한 조명(200)의 개수와 동일하게 반복되고, 시편(200) 첫 번째 영역(모든 라인스캔부에 의해 촬상되는 영역)의 이미지가 다 획득되면 이동수단(100)에 의해 시편(20)의 두 번째 영역이 카메라(300)의 하측에 위치된 후, 상기와 같은 스캔과정을 반복하게 되며, 이 스캔과정은 시편의 마지막 영역(m)을 촬상할 때까지 반복한다.As such, the operation is repeated in the same manner as the number of illuminations 200 for the necessary inspection, and once the image of the first area of the specimen 200 (the area photographed by all the line scan units) is acquired, the moving means 100 After the second region of the specimen 20 is located under the camera 300, the above scanning process is repeated, and the scanning process is repeated until the last region m of the specimen is captured. .

이렇게 획득된 다수의 이미지는 제어부(600)에서 각 조명 별로 시편(20)에 해당되는 전체 또는 라인별 이미지로 편집되어 결함을 찾을 수 있다.The plurality of images obtained as described above may be edited as a whole or line-specific image corresponding to the specimen 20 for each illumination by the controller 600 to find defects.

여기서, 동시에 촬상함은 다수의 라인스캔부가 고속으로 순차적 촬상하는 것으로, 단계별로 광이 조사되거나 카메라가 촬상되는 것과 구분하기 위해 명시하였으며, 이하 동일한 의미로 표기하는 것임.
In this case, the image capturing at the same time is a plurality of line scan unit to sequentially photograph at a high speed, it is specified in order to distinguish from the light is irradiated or the camera is photographed step by step, it will be denoted by the same meaning hereinafter.

한편, 카메라(300)는 라인스캔부(A, B, C, D, E)가 다수 개 구비되어 동시에 촬상하되, 순차적으로 배열된 각 라인스캔부는 각 해당되는 순서의 조명(200)이 광을 조사한 상태에서 촬상된 시편(20)의 라인 이미지만을 제어부(600)로 전송한다.
On the other hand, the camera 300 is provided with a plurality of line scan unit (A, B, C, D, E) to take a picture at the same time, each of the line scan unit arranged in sequence, the light 200 of the corresponding order for each light Only the line image of the specimen 20 photographed in the irradiated state is transmitted to the controller 600.

여기서, 카메라(300)의 라인스캔부 개수는 조명(200)의 개수와 동일하거나 적게 구비되는 것으로, 상기에서 명시한 각 실시 예에서 카메라(300)의 라인스캔부와 조명(200)이 다섯 개이지만, 이는 한정이 아닌 일 실시 예이다.
Here, the number of line scan units of the camera 300 is equal to or less than the number of lights 200. In each of the embodiments described above, the line scan unit and the lights 200 of the camera 300 are five, This is one embodiment, not limitation.

이와 같은, 시편 검사장치(10)에 의해 각 조명(200)별 이미지는 도 5에서 도시한 바와 같이, 제어부(600)에서 각 조명별로 시편(20)의 영상을 편집하여 각 조명별 시편 영상을 완성하여 결함을 검출할 수 있다.
As shown in FIG. 5, the image for each illumination 200 is determined by the specimen inspection apparatus 10 such that the image of the specimen 20 for each illumination is edited by the controller 600. The defect can be detected by completion.

그리고 도 6에서 도시한 바와 같이, 각 조명(200)은 필터(700)가 더 구비되어 파장별로 광을 조사함에 따라 시편(20)의 결점을 더욱 용이하게 검출할 수 있다.As shown in FIG. 6, each illumination 200 may further include a filter 700 to more easily detect defects of the specimen 20 as the light is irradiated for each wavelength.

또한 필터(700)는 카메라(300)에 더 구비되어 각 조명(200)에서 조사된 광을 파장별로 촬상시킬 수 있다.
In addition, the filter 700 may be further provided in the camera 300 to capture light irradiated from each illumination 200 for each wavelength.

도 7은 조명(200)의 실시 예와 각 조명(200)에 의해 촬상된 영상을 도시한 것으로, 동일한 시편(20)을 촬상함에 있어서, 다른 느낌의 영상을 획득하여 다른 이미지에서 검출되지 않는 결함도 정밀하게 검출할 수 있게 된다.
FIG. 7 illustrates an embodiment of the illumination 200 and an image captured by each illumination 200. In imaging the same specimen 20, a defect that is not detected in another image by obtaining an image having a different feeling. Can also be detected accurately.

10 : 검사장치 20 : 시편
100 : 이송수단 200 : 조명
300 : 카메라 400 : 렌즈
500 : 스플리터 600 : 제어부
700 : 필터10: inspection device 20: specimen
100: transfer means 200: lighting
300: camera 400: lens
500: splitter 600: control unit
700: Filter

Claims (11)

검사를 위한 시편을 이동시키는 이동수단;
상기 이동된 시편의 동일한 부위에 다양한 각도에서 광을 순차적으로 조사하는 다수의 조명;
상기 조명의 각 위치에서 각각 조사된 시편을 촬상하는 카메라;
상기 시편에서 반사 또는 투과된 다수의 광을 집광시켜 카메라로 투과시키는 렌즈;
상기 시편에서 반사 또는 투과된 다수의 광이 상기 렌즈를 향하도록 투과시키는 스플리터; 및
상기 카메라의 영상을 전송받아 편집하여 시편 영상을 완성시키는 제어부를 포함하여 이루어지고,
상기 카메라는,
라인스캔 카메라를 사용하고, 상기 이동수단은 해당 시편을 카메라의 라인별로 이동시키며,
상기 카메라는,
상기 조명의 개수와 동일하게 라인스캔부가 구비되되, 순차적으로 배열된 각 라인스캔부는 해당 조명이 광을 조사할 경우, 시편을 촬상하여 영상을 상기 제어부로 전송하는 것을 특징으로 하는 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치.
Moving means for moving the specimen for inspection;
A plurality of lights sequentially irradiating light at various angles to the same portion of the moved specimen;
A camera for imaging the specimens irradiated at each position of the illumination;
A lens for condensing a plurality of light reflected or transmitted from the specimen and transmitting the light to the camera;
A splitter configured to transmit a plurality of light reflected or transmitted from the specimen toward the lens; And
It includes a control unit for receiving the edited image of the camera to complete the specimen image,
The camera comprises:
Using a line scan camera, the means for moving the specimen by line of the camera,
The camera comprises:
The line scan unit is provided in the same number as the number of the lights, and each line scan unit arranged in sequence, when the corresponding light is irradiated with light, the multi-line sensor camera, characterized in that for imaging the specimen and transmits the image to the control unit; High speed specimen tester using multiple lights.
검사를 위한 시편을 이동시키는 이동수단;
상기 이동된 시편의 동일한 부위에 다양한 각도에서 광을 순차적으로 조사하는 다수의 조명;
상기 조명의 각 위치에서 각각 조사된 시편을 촬상하는 카메라;
상기 시편에서 반사 또는 투과된 다수의 광을 집광시켜 카메라로 투과시키는 렌즈;
상기 시편에서 반사 또는 투과된 다수의 광이 상기 렌즈를 향하도록 투과시키는 스플리터; 및
상기 카메라의 영상을 전송받아 편집하여 시편 영상을 완성시키는 제어부를 포함하여 이루어지고,
상기 카메라는,
라인스캔 카메라를 사용하고, 상기 이동수단은 해당 시편을 카메라의 라인별로 이동시키며,
상기 카메라는 조명의 개수와 동일하게 라인스캔부가 구비되되, 시편의 이동방향을 따라 각 라인스캔부가 순차적으로 배열되고, 다수의 조명이 순차적으로 광을 조사하며,
첫 번째 라인스캔부가 시편의 첫 번째 스캔영역 상측에 위치된 상태로, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 첫 번째 라인스캔부는 시편의 첫 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하고,
상기 이동수단에 의해 시편이 이동되어 첫 번째 라인스캔부의 하측에 두 번째 스캔영역이 위치된 상태로, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 첫 번째 라인스캔부는 시편의 두 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하고, 두 번째 조명이 광을 조사할 경우, 두 번째 라인스캔부는 시편의 첫 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하며,
상기 이동수단에 의해 시편이 이동되어 첫 번째 라인스캔부의 하측에 n 번째 스캔영역이 위치된 상태로, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 첫 번째 라인스캔부는 시편의 n 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하고, 두 번째 조명이 광을 조사할 경우, 두 번째 라인스캔부는 시편의 n-1 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하며, n 번째 조명이 광을 조사할 경우, n 번째 라인스캔부는 시편의 첫 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하고,
상기 이동수단에 의해 시편이 이동되어 첫 번째 라인스캔부의 하측에 n+1 번째 스캔영역이 위치된 상태로, 첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 첫 번째 라인스캔부는 시편의 n+1 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하고, 두 번째 조명이 광을 조사할 경우, 두 번째 라인스캔부는 시편의 n 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하며, n 번째 조명이 광을 조사할 경우, n 번째 라인스캔부는 시편의 두 번째 스캔영역을 스캔하여 영상을 제어부로 전송하며,
상기 n 번째 라인스캔부가 시편의 마지막 스캔영역을 촬상할 때까지 상기의 영상획득 과정을 반복하고, 제어부는 각 라인스캔부의 영상을 편집하여 상기 시편에 대한 각 조명별 영상을 완성시키는 것을 특징으로 하는 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치.
Moving means for moving the specimen for inspection;
A plurality of lights sequentially irradiating light at various angles to the same portion of the moved specimen;
A camera for imaging the specimens irradiated at each position of the illumination;
A lens for condensing a plurality of light reflected or transmitted from the specimen and transmitting the light to the camera;
A splitter configured to transmit a plurality of light reflected or transmitted from the specimen toward the lens; And
It includes a control unit for receiving the edited image of the camera to complete the specimen image,
The camera comprises:
Using a line scan camera, the means for moving the specimen by line of the camera,
The camera is provided with a line scan unit equal to the number of lights, each line scan unit is sequentially arranged along the moving direction of the specimen, a plurality of lights sequentially irradiate light,
When the first line scan unit is located above the first scan area of the specimen, and the first light is irradiated with light, the first line scan unit scans the first scan area of the specimen and transmits the image to the control unit.
When the test piece is moved by the moving means and the second scan area is positioned under the first line scan part, and the first illumination irradiates light, the first line scan part scans the second scan area of the test piece. When the image is transmitted to the control unit, and the second light is irradiated with light, the second line scan unit scans the first scan area of the specimen and transmits the image to the control unit.
When the specimen is moved by the moving means and the nth scan area is located under the first line scan part, and the first illumination irradiates light, the first line scan part scans the nth scan area of the specimen. When the image is transmitted to the control unit and the second illumination irradiates the light, the second line scan unit scans the n-1th scan area of the specimen and transmits the image to the control unit. The n th line scan unit scans the first scan area of the specimen and transmits the image to the control unit.
When the specimen is moved by the moving means and the n + 1 th scan area is located under the first line scan part, and the first illumination irradiates light, the first line scan part scans the n + 1 th scan of the specimen. When the area is scanned and the image is transmitted to the control unit, and the second light is irradiated with light, the second line scan unit scans the n-th scan area of the specimen and transmits the image to the control unit, and the n-th light is irradiated with light. In this case, the n th line scan unit scans the second scan area of the specimen and transmits the image to the control unit.
The image acquisition process is repeated until the n-th line scan unit photographs the last scan area of the specimen, and the control unit edits the image of each line scan unit to complete an image for each illumination of the specimen. High speed specimen testing device using multi-line sensor camera and multiple lighting.
검사를 위한 시편을 이동시키는 이동수단;
상기 이동된 시편의 동일한 부위에 다양한 각도에서 광을 순차적으로 조사하는 다수의 조명;
상기 조명의 각 위치에서 각각 조사된 시편을 촬상하는 카메라;
상기 시편에서 반사 또는 투과된 다수의 광을 집광시켜 카메라로 투과시키는 렌즈;
상기 시편에서 반사 또는 투과된 다수의 광이 상기 렌즈를 향하도록 투과시키는 스플리터; 및
상기 카메라의 영상을 전송받아 편집하여 시편 영상을 완성시키는 제어부를 포함하여 이루어지고,
상기 카메라는,
라인스캔 카메라를 사용하고, 상기 이동수단은 해당 시편을 카메라의 라인별로 이동시키며,
상기 카메라는,
라인스캔부가 다수 개 구비되어 각 조명이 광을 조사 시, 동시에 촬상(고속으로 순차적 촬상)하여 각 라인스캔부에 해당되는 시편의 각 라인을 동시에 스캔함에 따라 시편의 일정부위를 한 번에 촬상하는 것을 특징으로 하는 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치.
Moving means for moving the specimen for inspection;
A plurality of lights sequentially irradiating light at various angles to the same portion of the moved specimen;
A camera for imaging the specimens irradiated at each position of the illumination;
A lens for condensing a plurality of light reflected or transmitted from the specimen and transmitting the light to the camera;
A splitter configured to transmit a plurality of light reflected or transmitted from the specimen toward the lens; And
It includes a control unit for receiving the edited image of the camera to complete the specimen image,
The camera comprises:
Using a line scan camera, the means for moving the specimen by line of the camera,
The camera comprises:
A plurality of line scan units are provided so that each light is simultaneously imaged (sequential imaging at high speed) and simultaneously scans each line of the specimen corresponding to each line scan unit to capture a predetermined portion of the specimen at once. Specimen high-speed inspection device using a multi-line sensor camera, and multiple lights.
검사를 위한 시편을 이동시키는 이동수단;
상기 이동된 시편의 동일한 부위에 다양한 각도에서 광을 순차적으로 조사하는 다수의 조명;
상기 조명의 각 위치에서 각각 조사된 시편을 촬상하는 카메라;
상기 시편에서 반사 또는 투과된 다수의 광을 집광시켜 카메라로 투과시키는 렌즈;
상기 시편에서 반사 또는 투과된 다수의 광이 상기 렌즈를 향하도록 투과시키는 스플리터; 및
상기 카메라의 영상을 전송받아 편집하여 시편 영상을 완성시키는 제어부를 포함하여 이루어지고,
상기 카메라는,
라인스캔 카메라를 사용하고, 상기 이동수단은 해당 시편을 카메라의 라인별로 이동시키며,
상기 카메라는 라인스캔부가 다수 개 구비되고, 다수의 조명이 순차적으로 광을 조사하며,
첫 번째 조명이 광을 조사할 경우, 다수의 라인스캔부는 동시에 촬상(고속으로 순차적 촬상)하되,
첫 번째 라인스캔부는 시편의 첫 번째 스캔영역을 스캔하고, 두 번째 라인스캔부는 시편의 두 번째 스캔영역을 스캔하며, n 번째 라인스캔부는 시편의 n 번째 스캔영역을 스캔하여 첫 번째 조명의 첫 번째 영역(모든 라인스캔부에 의해 촬상되는 영역)에 대한 영상을 상기 제어부로 전송하고,
두 번째 조명이 광을 조사할 경우, 다수의 라인스캔부는 동시에 촬상(고속으로 순차적 촬상)하되,
첫 번째 라인스캔부는 시편의 첫 번째 스캔영역을 스캔하고, 두 번째 라인스캔부는 시편의 두 번째 스캔영역을 스캔하며, n 번째 라인스캔부는 시편의 n 번째 스캔영역을 스캔하여 두 번째 조명의 첫 번째 영역(모든 라인스캔부에 의해 촬상되는 영역)에 대한 영상을 상기 제어부로 전송하고,
n 번째 조명이 광을 조사할 경우, 다수의 라인스캔부는 동시에 촬상(고속으로 순차적 촬상)하되,
첫 번째 라인스캔부는 시편의 첫 번째 스캔영역을 스캔하고, 두 번째 라인스캔부는 시편의 두 번째 스캔영역을 스캔하며, n 번째 라인스캔부는 시편의 n 번째 스캔영역을 스캔하여 n 번째 조명의 첫 번째 영역(모든 라인스캔부에 의해 촬상되는 영역)에 대한 영상을 상기 제어부로 전송하고,
첫 번째 영역에 대한 촬상이 끝난 시편은 상기 이동수단에 의해 시편의 두 번째 영역이 카메라 하측에 위치되도록 이동되어 각 조명에서 조사되는 광에 대한 영상을 상기 제어부로 전송하며,
상기 카메라가 시편의 마지막 영역을 촬상할 때까지 상기의 영상획득 과정을 반복하고, 제어부는 각 영상을 각 조명별로 편집하여 각 조명별 영상을 완성시키는 것을 특징으로 하는 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치.
Moving means for moving the specimen for inspection;
A plurality of lights sequentially irradiating light at various angles to the same portion of the moved specimen;
A camera for imaging the specimens irradiated at each position of the illumination;
A lens for condensing a plurality of light reflected or transmitted from the specimen and transmitting the light to the camera;
A splitter configured to transmit a plurality of light reflected or transmitted from the specimen toward the lens; And
It includes a control unit for receiving the edited image of the camera to complete the specimen image,
The camera comprises:
Using a line scan camera, the means for moving the specimen by line of the camera,
The camera is provided with a plurality of line scan unit, a plurality of lights sequentially irradiate light,
When the first light is irradiated with light, the plurality of line scan units simultaneously image (sequential imaging at high speed),
The first line scan unit scans the first scan area of the specimen, the second line scan unit scans the second scan area of the specimen, and the nth line scan unit scans the nth scan area of the specimen so that the first Send an image of a region (the region photographed by all the line scan units) to the controller,
When the second light is irradiated with light, the plurality of line scan units simultaneously capture (sequential imaging at high speed),
The first line scan unit scans the first scan area of the specimen, the second line scan unit scans the second scan area of the specimen, and the nth line scan unit scans the nth scan area of the specimen so that the first scan of the second illumination Send an image of a region (the region photographed by all the line scan units) to the controller,
When the nth illumination is irradiated with light, the plurality of line scan units simultaneously image (sequential imaging at high speed),
The first line scan unit scans the first scan area of the specimen, the second line scan unit scans the second scan area of the specimen, and the nth line scan unit scans the nth scan area of the specimen so that the first scan of the nth illumination Send an image of a region (the region photographed by all the line scan units) to the controller,
After the imaging of the first region is completed, the specimen is moved so that the second region of the specimen is positioned under the camera by the moving means, and transmits an image of light emitted from each illumination to the controller.
The image acquisition process is repeated until the camera captures the last region of the specimen, and the controller edits each image for each light to complete the image for each light. Used specimen high speed inspection device.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이동수단은,
평면을 기준으로, 상기 시편을 전후/좌우 이동시키는 것을 특징으로 하는 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치.
The method of any one of claims 1 to 4, wherein the moving means,
A high-speed specimen testing device using a multi-line sensor camera and multiple illumination, characterized in that for moving the specimen back and forth / left and right relative to the plane.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상하 오차에 따른 포커싱 보상을 위해 상기 이동수단이 시편을 상하방향으로 이동시키거나 또는 상기 카메라와 렌즈를 상하방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The high speed inspection device using a multi-line sensor camera and multiple lights, characterized in that the moving means to move the specimen in the vertical direction or to move the camera and the lens in the vertical direction to compensate for focusing according to the vertical error.
삭제delete 삭제delete 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 카메라는,
라인스캔부가 다수 개 구비되되, 상기 카메라의 라인스캔부 개수는,
상기 조명의 개수와 동일하거나 적게 구비되는 것을 특징으로 하는 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치.
The camera of claim 1, wherein the camera comprises:
A plurality of line scan unit is provided, the number of line scan unit of the camera,
Specimen high-speed inspection device using a multi-line sensor camera and multiple lights, characterized in that the same or less than the number of illumination.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 각 조명이나 상기 카메라에 필터가 더 구비되어 파장별로 광을 조사하거나 촬상하는 것을 특징으로 하는 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
A filter for each of the illumination or the camera further comprises a multi-line sensor camera and a high-speed specimen using the multiple illumination, characterized in that for irradiating light or imaging by wavelength.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제어부는,
각 조명별로 시편의 영상을 편집하여 각 조명별 시편 영상을 완성하는 것을 특징으로 하는 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치.The method according to any one of claims 1 to 4, wherein the control unit,
A high-speed specimen inspection device using a multi-line sensor camera and multiple illumination, characterized in that the image of the specimen is edited by each light to complete the specimen image for each light.
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