KR101212817B1 - Coating Apparatus Having Device for Feeding Transferring Carrier Used in Substrate Transferring Unit of Coating Region - Google Patents

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Abstract

본 발명은 코팅 영역의 기판 이송 유닛에 사용되는 이송 캐리어의 피딩 장치를 구비한 코팅 장치를 개시한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치는 로딩 영역을 제공하는 제 1 부상 유닛, 코팅 영역을 제공하는 제 2 부상 유닛, 및 언로딩 영역을 제공하는 제 3 부상 유닛으로 구성되는 기판 부상 유닛; 상기 로딩 영역에서 상기 코팅 영역, 및 상기 코팅 영역에서 상기 언로딩 영역으로 기판을 이송하는 기판 이송 장치; 상기 제 2 부상 유닛 상에서 상기 기판을 이송하기 위한 이송 캐리어, 및 상기 이송 캐리어의 피딩 장치를 구비한 기판 이송 유닛; 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치; 및 상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리를 포함하는 것을 특징으로 한다.
The present invention discloses a coating apparatus with a feeding device of a transfer carrier for use in a substrate transfer unit in a coating area.
A coating apparatus according to an embodiment of the present invention includes a substrate floating unit comprising a first floating unit providing a loading area, a second floating unit providing a coating area, and a third floating unit providing an unloading area; A substrate transfer device for transferring a substrate from the loading region to the coating region and from the coating region to the unloading region; A substrate transfer unit having a transfer carrier for transferring the substrate on the second floating unit, and a feeding device of the transfer carrier; A nozzle device provided on the coating area and applying a coating liquid on the substrate; And a gantry on which the nozzle device is mounted.

Description

코팅 영역의 기판 이송 유닛에 사용되는 이송 캐리어의 피딩 장치를 구비한 코팅 장치{Coating Apparatus Having Device for Feeding Transferring Carrier Used in Substrate Transferring Unit of Coating Region}Coating Apparatus Having Device for Feeding Transferring Carrier Used in Substrate Transferring Unit of Coating Region}

본 발명은 코팅 영역의 기판 이송 유닛에 사용되는 이송 캐리어의 피딩 장치를 구비한 코팅 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a coating apparatus having a feeding device of a transfer carrier for use in a substrate transfer unit in a coating area.

좀 더 구체적으로, 본 발명은 PDP 패널 또는 LCD 패널 등과 같은 평판 패널 디스플레이(Flat Panel Display: 이하 "FPD"라 합니다) 제조용 기판을 부상 방식으로 이송하면서 그 상부에 코팅액을 도포할 경우 코팅 영역에서 소프트 재질의 이송 캐리어를 왕복 이동시켜 기판을 이송함으로써, 종래 기판 부상 유닛의 사용에 따른 코팅액 얼룩 방지를 포함한 다수의 문제점을 해결할 수 있는 코팅 영역의 기판 이송 유닛에 사용되는 이송 캐리어의 피딩 장치를 구비한 코팅 장치에 관한 것이다. More specifically, the present invention is a soft in the coating area when the coating liquid is applied on top of the substrate for manufacturing a flat panel display (hereinafter referred to as "FPD"), such as a PDP panel or LCD panel, in a floating manner. By transporting the substrate by reciprocating the transfer carrier of the material, there is provided a feeding device of the transfer carrier used in the substrate transfer unit of the coating area that can solve a number of problems, including prevention of coating liquid staining according to the use of the conventional substrate floating unit It relates to a coating device.

일반적으로 FPD와 같은 전자소자를 제조하기 위해서는 글래스 기판(이하 "기판"이라 합니다)과 같은 작업물(work piece) 상에 코팅액의 도포가 요구되며, 이를 위해 노즐 디스펜서(nozzle dispenser) 또는 슬릿 다이(이하 노즐 디스펜서 및 슬릿 다이를 통칭하여 "노즐 장치"라 합니다)를 구비한 코팅 장치가 사용된다. 이러한 코팅 장치는 기판을 스테이지 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry)에 부착된 노즐 장치를 수평방향으로 이동시키면서 다양한 코팅액의 도포 동작을 수행한다. 이러한 코팅액의 도포 동작의 예로는, LCD 패널을 제조하는 경우 LCD 패널 기판 상에 포토레지스트(photoresist: PR), 블랙 매트릭스(Black Matrix: B.M), 컬럼 스페이스(column space: C.S) 등을 형성하기 위해 감광성 코팅액을 도포할 수 있다. 또한, PDP 패널을 제조하는 경우 PDP 패널 기판 상에 상유전체, 하유전체, 격벽을 형성하기 위해 코팅액 또는 감광성 코팅액을 도포할 수 있다. In general, in order to manufacture an electronic device such as an FPD, application of a coating liquid onto a work piece such as a glass substrate (hereinafter referred to as a “substrate”) is required, and for this purpose, a nozzle dispenser or a slit die ( Hereinafter, a coating apparatus having a nozzle dispenser and a slit die collectively referred to as a "nozzle apparatus" is used. Such a coating apparatus performs a coating operation of various coating liquids while positioning a substrate on a stage and moving a nozzle apparatus attached to a gantry in a horizontal direction. Examples of the coating operation of the coating liquid include forming photoresist (PR), black matrix (BM), column space (CS), and the like on the LCD panel substrate when manufacturing the LCD panel. The photosensitive coating liquid can be applied. In the case of manufacturing a PDP panel, a coating liquid or a photosensitive coating liquid may be applied to form a dielectric, a lower dielectric, and a partition on a PDP panel substrate.

그러나, 상술한 종래 기술에서는 기판을 스테이지 상에 위치시킨 후 스테이지를 코팅 위치로 이동한 상태에서 기판의 상부에 설치되는 노즐 장치 및 노즐 장치가 부착되는 갠트리가 기판 상에서 이동하는 노즐 이동 방식 구조이기 때문에 코팅 장치의 정밀 구동이 어려워지며 또한 복잡하다. 좀 더 구체적으로, 큰 중량의 대형 노즐 장치, 갠트리 및 스테이지의 이동을 위해서는 막대한 에너지가 필요하다. 또한, 코팅액 도포 후에는 원래의 위치로 복귀하여 상술한 동작을 반복하여야 하므로 코팅액 도포 동작의 효율성이 저하된다는 문제가 발생한다. 또한, 대면적 FPD의 요구에 따라 노즐 장치 및 갠트리도 대형화되어야 한다. 대형화된 갠트리의 중량은 대략 1톤 내지 2톤에 달하여, 이러한 거대 중량의 갠트리를 이동시키면서 정밀하게 가속시키거나 감속시키는 피딩 장치의 구현이 어려워진다.However, in the above-described conventional technology, since the nozzle device installed on the substrate and the gantry to which the nozzle device is attached are moved on the substrate after the substrate is placed on the stage and the stage is moved to the coating position. Precise drive of the coating device becomes difficult and complex. More specifically, enormous energy is required for the movement of large, large nozzle devices, gantry and stages. In addition, after the coating liquid is applied, it is necessary to return to the original position and repeat the above-described operation, thereby causing a problem that the efficiency of the coating liquid coating operation is lowered. In addition, the nozzle device and the gantry must be enlarged according to the requirements of the large area FPD. The weight of the enlarged gantry amounts to about 1 to 2 tons, making it difficult to implement a feeding device for precisely accelerating or decelerating while moving such a large weight gantry.

상술한 종래 기술의 노즐 이동 방식의 코팅 장치의 문제점을 해소하기 위한 방안의 하나로 에어의 분사 또는 분사 및 흡인을 통해 기판을 부상시켜 이송하면서 기판의 표면에 코팅액을 도포하는 부상방식의 기판 이송 장치가 제안되었다.As a way to solve the problems of the above-described conventional nozzle movement type coating apparatus, the floating substrate transfer apparatus for applying the coating liquid to the surface of the substrate while floating and transporting the substrate through the injection or spraying and suction of air is Proposed.

도 1a는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다. 이러한 도 1a 및 도 1b에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치는 예를 들어 2006년 3월 20일자에 도쿄 엘렉트론 주식회사에 의해 "도포방법 및 도포장치"라는 발명의 명칭으로 일본 특허출원 제 2006-76815호로 출원되어, 2007년 10월 4일자에 공개된 일본 특허출원공개번호 특개 2007-252971호에 상세히 개시되어 있다.Figure 1a is a schematic view showing a perspective view of a substrate transfer apparatus and a coating apparatus of the prior art floating method according to the prior art, Figure 1b is a substrate transfer apparatus and the same of the conventional method shown in Figure 1a It is a figure which shows the front view of one application | coating device schematically. 1A and 1B, the substrate transfer apparatus of the floating method according to the related art and the coating apparatus having the same are, for example, a "coating method and coating apparatus" by Tokyo Electron Co., Ltd. on March 20, 2006. It is disclosed in detail in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-252971, filed under Japanese Patent Application No. 2006-76815 under the name of the invention, and published on October 4, 2007.

다시 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 종래 기술에 따른 도포장치(40)는 부상방식의 기판 이송 장치(84)를 구비한다. 기판(G)은 예를 들어 이송 암(transfer arm: 미도시)에 의해 스테이지(76)의 로딩 영역(도 1b의 M1 영역) 상으로 이송된다. 그 후, 스테이지(76)의 로딩 영역(M1 영역)의 하부에 제공되는 리프트 장치(미도시)에 의해 복수개의 리프트핀(lift pin: 86)이 상승하여 기판(G)을 지지한다. 그 후, 복수개의 리프트핀(86)이 하강하면 기판(G)은 한 쌍의 리니어 모션 가이드(96) 상에서 이동 가능한 한 쌍의 슬라이더(98)에 제공되는 지지부(102) 상의 흡착 패드(104) 상에 진공 흡착 방식으로 장착된다. 로딩 영역(M1 영역) 상에는 복수개의 에어 분출구(88)만이 제공된다. 로딩 영역(M1 영역) 상에서 자중(self-weight)에 의해 아래로 휘어진 기판(G)은 에어 분출구(88)를 통해 분출되는 에어에 의해 대략 250 내지 350㎛ 범위의 부상 높이(Ha)로 부상한 상태에서 부상방식의 기판 이송 장치(84)에 의해 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)을 거쳐 코팅 영역(도 1b에 도시된 M3 영역) 상으로(즉, X 방향으로) 이송된다. 제 1 인터페이스 영역(M2 영역) 내에는 진공 펌핑 장치(미도시)와 연결된 에어 흡입구(90)가 부분적으로 설치되어 있다. 기판(G)이 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)으로 진입하면, 에어 분출구(88)의 분출력이 에어 흡입구(90)의 흡입력에 의해 일부 상쇄되어 기판(G)은 그 부상 높이가 점차 낮아지면서 코팅 영역(M3 영역)으로 진입한다. 코팅 영역(M3 영역)에서는 에어 흡입구(90)의 수가 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)에 비해 더 많이 제공되어 기판(G)이 대략 50㎛의 코팅 높이(Hb)로 부상한 상태를 유지하면서 X축 방향으로 이송한다. 이러한 코팅 영역(M3 영역)에서는 노즐 장치(78)가 코팅액(R: 예를 들어 레지스트액)을 공급관(94)을 통해 공급받아 기판(G) 상에 도포한다.Referring again to FIGS. 1A and 1B, the coating apparatus 40 according to the prior art includes a substrate transfer apparatus 84 in a floating manner. The substrate G is transferred onto the loading region of the stage 76 (M1 region in FIG. 1B) by, for example, a transfer arm (not shown). Thereafter, a plurality of lift pins 86 are lifted by the lift device (not shown) provided under the loading area M1 area of the stage 76 to support the substrate G. Thereafter, when the plurality of lift pins 86 are lowered, the substrate G is provided on the suction pad 104 on the support 102 provided on the pair of sliders 98 that are movable on the pair of linear motion guides 96. Is mounted in a vacuum adsorption manner. Only a plurality of air jets 88 are provided on the loading region M1 region. The substrate G, which is bent down by self-weight on the loading region M1 region, floats to a floating height Ha in the range of approximately 250 to 350 μm by air ejected through the air ejection opening 88. In the state, it is conveyed by the floating substrate transfer apparatus 84 onto the coating region (M3 region shown in Fig. 1B) (i.e., in the X direction) via the first interface region (M2 region). An air inlet 90 connected to a vacuum pumping device (not shown) is partially provided in the first interface region M2. When the substrate G enters the first interface region M2 region, the ejection output of the air ejection opening 88 is partially offset by the suction force of the air intake opening 90, so that the floating height of the substrate G gradually decreases. Enter the coating area (M3 area). In the coating area (M3 area), the number of air inlets 90 is provided more than the first interface area (M2 area), so that the substrate G is floated at a coating height Hb of approximately 50 mu m. Feed in the axial direction. In this coating area (M3 area), the nozzle device 78 receives a coating liquid (for example, a resist liquid) through the supply pipe 94 and applies the coating liquid onto the substrate G.

그 후, 코팅액이 도포된 기판(G)은 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)으로 이송된다. 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)은 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)과 마찬가지로 진공 펌핑 장치(미도시)와 연결된 에어 흡입구(90)가 부분적으로 설치되어 있다(도 1a 참조). 기판(G)이 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)으로 진입하면, 에어 분출구(88)의 분출력이 에어 흡입구(90)의 흡입력에 의해 일부만 상쇄되어 기판(G)은 그 부상 높이가 점차 높아진다. 그 후, 기판(G)은 언로딩 영역(M5 영역)으로 진입하고, 언로딩 영역(M5 영역)은 로딩 영역(M1 영역)과 마찬가지로 복수개의 에어 분출구(88)만이 제공된다. 따라서, 기판(G)은 언로딩 영역(M5 영역)에 제공된 복수개의 에어 분출구(88)를 통해 분출되는 에어에 의해 대략 250 내지 350㎛ 범위의 부상 높이(Hc)로 부상한 상태에서 기판(G)은 흡착 패드(104)로부터 제공되는 진공 흡착이 해제된다. 그 후, 언로딩 영역(M5 영역)의 스테이지(76) 하부에 제공되는 리프팅 장치(미도시)에 의해 복수개의 리프트핀(86)이 상승하여 기판(G)을 상승시킨 후, 로봇 암(미도시)에 의해 다음 공정 위치로 이송된다.Thereafter, the substrate G coated with the coating liquid is transferred to the second interface region M4 region. Similar to the first interface region M2 region, the second interface region M4 region is partially provided with an air intake port 90 connected to a vacuum pumping device (not shown) (see FIG. 1A). When the substrate G enters the second interface region M4 region, only part of the ejection output of the air ejection opening 88 is canceled by the suction force of the air intake opening 90, so that the floating height of the substrate G gradually increases. Thereafter, the substrate G enters the unloading region M5 region, and the unloading region M5 region is provided with only a plurality of air jets 88 as with the loading region M1 region. Therefore, the board | substrate G is floated by the air which blows out through the some air ejection opening 88 provided in the unloading area | region M5 area | region, and the board | substrate G in the state which floated at the floating height Hc of the range of about 250-350 micrometers. ) Is released from the vacuum adsorption provided from the adsorption pad 104. Thereafter, a plurality of lift pins 86 are raised by a lifting device (not shown) provided below the stage 76 of the unloading area M5 area to raise the substrate G, and then the robot arm (not shown). Is transferred to the next process position.

상술한 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치(84) 및 이를 구비한 도포 장치(40)는 기판(G)을 부상 방식으로 이동시킨다는 점에서 노즐 이동 방식의 코팅 장치의 단점을 대부분 해소할 수 있다는 장점이 달성되지만, 여전히 다음과 같은 문제를 갖는다.The above-mentioned floating substrate transfer device 84 and the coating device 40 having the same can solve most of the disadvantages of the coating apparatus of the nozzle movement method in that the substrate G is moved in the floating manner. Although the advantage is achieved, it still has the following problem.

1. 예를 들어 리니어 모션 가이드 및 리니어 모터, 또는 리니어 모션 가이드 및 볼 스크루를 사용하는 종래 기계적인 이송 장치에서는 이송 동작시 댐핑이 발생할 수 있다. 이러한 댐핑 효과에 의해 기판에 진동 및 쇼크가 전달되고 또한 기판을 부상시키는 부상 유닛도 언듈레이션이 발생할 수 있다. 그 결과, 기판 상에 도포되는 코팅액의 두께가 일정하게 도포되지 못한다.1. Damping may occur during the transfer operation, for example, in a conventional mechanical transfer device using a linear motion guide and a linear motor, or a linear motion guide and a ball screw. Due to this damping effect, vibration and shock are transmitted to the substrate, and an undulation may also occur in the floating unit that floats the substrate. As a result, the thickness of the coating liquid applied on the substrate cannot be uniformly applied.

2. 특히 기판의 진행 방향으로 유동이 발생하여 기판 이송 속도가 불안정해질 수 있다.2. In particular, flow may occur in the advancing direction of the substrate and the substrate transfer speed may become unstable.

3. 코팅 영역 전체에 걸쳐 복수의 에어 분출구 및 복수의 에어 흡입구의 사용에 따라 기판 상에 온도 편차가 발생할 수 있으며 그에 따라 기판 상에 도포된 코팅액의 건조 조건이 달라져서 얼룩이 발생할 수 있다. 또한, 복수의 에어 분출구의 부상력과 복수의 에어 흡입구의 흡입력에 의해 기판이 국소적으로 휘어지는 변형이 발생할 수 있으며, 그에 따라 코팅액의 두께가 일정하게 도포되지 못한다.3. Temperature variations may occur on the substrate depending on the use of the plurality of air blowing holes and the plurality of air intake ports throughout the coating area, and thus, the drying conditions of the coating liquid applied on the substrate may be changed to cause staining. In addition, the substrate may be locally deformed due to the floating force of the plurality of air blowing holes and the suction force of the plurality of air intake ports, and thus the thickness of the coating liquid may not be uniformly applied.

4. 복수의 에어 분출구 및 복수의 에어 흡입구의 사용에 따라 기판과 부상 유닛 사이에 이물이 유입될 수 있다. 또한, 코팅 장치의 예측하지 못한 오동작이 발생하는 경우 기판과 부상 유닛 간의 접촉 또는 충돌이 발생할 수 있다. 이러한 이물 유입 또는 기판과 부상 유닛 간의 접촉 또는 충돌이 발생하는 경우, 기판의 하부에 스크래치의 발생 및 그에 따른 미세 입자(fine particles)의 발생에 의한 기판의 2차 오염이 발생할 수 있다.4. Foreign materials may flow between the substrate and the floating unit according to the use of the plurality of air ejection ports and the plurality of air intake ports. In addition, if an unexpected malfunction of the coating apparatus occurs, contact or collision between the substrate and the floating unit may occur. When such foreign matter inflow or contact or collision between the substrate and the floating unit occurs, secondary contamination of the substrate may occur due to the occurrence of scratches and consequent generation of fine particles.

5. 코팅 영역의 부상 유닛이 복수개의 플레이트로 구성되는 경우, 복수개의 플레이트 간의 미세 단차 발생시 그에 따른 대응성 또는 응답성이 불량하다.5. In the case where the floating unit of the coating area is composed of a plurality of plates, there is a poor correspondence or responsiveness when a minute step occurs between the plurality of plates.

6. 코팅 장치의 오작동 등으로 인하여 코팅액이 코팅 영역의 기판 부상 유닛 상에 떨어지는 경우, 미세한 사이즈의 복수의 에어 분출구 및 복수의 에어 흡입구가 막혀서 부상력 또는 흡입력이 불안정해지고, 세정이 어려우며, 미세 입자 발생에 따른 코팅 장치 전체가 오염되고, 에어 분출구 또는 에어 흡입구의 막힘이 심한 경우 코팅 영역의 기판 부상 유닛에 고장이 발생한다.6. If the coating liquid falls on the substrate floating unit in the coating area due to malfunction of the coating device, the plurality of fine air jets and the plurality of air inlets are blocked, so that the floating force or suction force becomes unstable, and the cleaning is difficult, and the fine particles If the whole coating apparatus is contaminated due to occurrence, and the blockage of the air jet or the air intake is severe, a failure occurs in the substrate floating unit in the coating area.

7. 기판 상에 코팅액 도포 전에 코팅액의 예비 토출 동작을 위해 별도의 프라이밍 롤의 사용이 요구되므로, 코팅 장치 전체의 구성이 복잡해진다. 또한, 예비 토출 동작 후 프라이밍 롤을 세정하는 동안 코팅 영역 상으로 기판의 이송 및 코팅액의 도포 동작이 불가능하여 전체 공정시간(tact time)이 증가된다.7. Since the use of a separate priming roll is required for the preliminary discharging operation of the coating liquid before the coating liquid is applied onto the substrate, the construction of the entire coating apparatus is complicated. In addition, during the cleaning of the priming roll after the preliminary ejection operation, the transfer of the substrate onto the coating area and the application of the coating liquid are impossible, thereby increasing the overall tact time.

따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다. Therefore, a new method for solving the above-mentioned problems is required.

일본 특허출원공개번호 특개 2007-252971호.Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-252971.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 평판 패널 디스플레이(FPD) 제조용 기판을 부상 방식으로 이송하면서 그 상부에 코팅액을 도포할 경우 코팅 영역에서 소프트 재질의 이송 캐리어를 왕복 이동시켜 기판을 이송함으로써, 종래 기판 부상 유닛의 사용에 따른 코팅액 얼룩 방지를 포함한 다수의 문제점을 해결할 수 있는 코팅 영역의 기판 이송 유닛에 사용되는 이송 캐리어의 피딩 장치를 구비한 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, when the substrate for flat panel display (FPD) manufacturing substrates are transported in a floating manner, when the coating liquid is applied to the upper surface of the substrate by transferring the transfer carrier of the soft material in the coating area It is to provide a coating apparatus having a feeding device for feeding carriers used in the substrate transfer unit of the coating area that can solve a number of problems, including the prevention of coating liquid staining with the use of the conventional substrate floating unit.

본 발명의 특징에 따른 코팅 장치는 로딩 영역을 제공하는 제 1 부상 유닛, 코팅 영역을 제공하는 제 2 부상 유닛, 및 언로딩 영역을 제공하는 제 3 부상 유닛으로 구성되는 기판 부상 유닛; 상기 로딩 영역에서 상기 코팅 영역, 및 상기 코팅 영역에서 상기 언로딩 영역으로 기판을 이송하는 기판 이송 장치; 상기 제 2 부상 유닛 상에서 상기 기판을 이송하기 위한 이송 캐리어, 및 상기 이송 캐리어의 피딩 장치를 구비한 기판 이송 유닛; 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치; 및 상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, a coating apparatus includes: a substrate floating unit including a first floating unit providing a loading area, a second floating unit providing a coating area, and a third floating unit providing an unloading area; A substrate transfer device for transferring a substrate from the loading region to the coating region and from the coating region to the unloading region; A substrate transfer unit having a transfer carrier for transferring the substrate on the second floating unit, and a feeding device of the transfer carrier; A nozzle device provided on the coating area and applying a coating liquid on the substrate; And a gantry on which the nozzle device is mounted.

본 발명의 이송 캐리어의 피딩 장치를 구비한 코팅 영역의 기판 이송 유닛에서는 다음과 같은 장점이 달성된다.The following advantages are achieved in the substrate transfer unit of the coating area with the feeding device of the transfer carrier of the present invention.

1. 기판이 코팅 영역에서 이송 캐리어를 구비한 기판 이송 유닛에 의해 이송되므로, 이송 동작 시 댐핑 발생이 방지된다. 따라서, 종래 기술과는 달리 기판에 진동 및 쇼크 전달 및 기판 부상 유닛의 언듈레이션의 발생이 방지되어, 기판 상에 도포되는 코팅액의 두께가 일정하게 도포된다.1. Since the substrate is transferred by the substrate transfer unit with the transfer carrier in the coating area, damping is prevented during the transfer operation. Thus, unlike the prior art, the generation of vibration and shock transfer to the substrate and the unduration of the substrate floating unit are prevented, so that the thickness of the coating liquid applied on the substrate is uniformly applied.

2. 기판의 길이 방향으로의 유동 발생이 방지되므로 기판의 이송 속도가 일정하게 유지될 수 있다.2. Since the occurrence of flow in the longitudinal direction of the substrate is prevented, the conveying speed of the substrate can be kept constant.

3. 복수의 에어 분출구 및 복수의 에어 흡입구를 사용하더라도 이송 캐리어에 의해 기판 상의 온도 편차 발생이 최소화되거나 방지된다. 또한, 복수의 에어 분출구의 부상력과 복수의 에어 흡입구의 흡입력에 의한 영향이 이송 캐리어에 의해 최소화되거나 방지되므로 기판의 국소적 휘어짐 변형의 발생도 최소화되거나 방지된다. 그 결과, 기판 상에 도포되는 코팅액의 두께가 일정하게 도포된다.3. The occurrence of temperature deviation on the substrate is minimized or prevented by the transfer carrier even when using a plurality of air blowers and a plurality of air inlets. In addition, the influence of the floating force of the plurality of air jets and the suction force of the plurality of air inlets is minimized or prevented by the transfer carrier, so that the occurrence of local warpage deformation of the substrate is also minimized or prevented. As a result, the thickness of the coating liquid applied on the substrate is uniformly applied.

4. 부상력과 흡입력에 의한 영향을 줄이기 위해 종래 에어 분출구 및 에어 흡입구에 대한 특정한 구성(분출구 및 흡입구의 미세한 사이즈 및 특정한 배열)에 대한 요구조건이 상대적으로 용이하거나 불필요하며, 그에 따라 코팅 장치의 제조 비용이 절감된다.4. To reduce the effects of flotation and suction forces, the requirement for a particular configuration (fine size and specific arrangement of the blowout and inlet) of the conventional air blower and air inlet is relatively easy or unnecessary, and accordingly The manufacturing cost is reduced.

5. 이송 캐리어에 의해 기판과 부상 유닛 사이에 이물 유입 가능성이 실질적으로 제거된다. 또한, 코팅 장치의 예측하지 못한 오동작에 의해 기판과 부상 유닛 간의 접촉 또는 충돌이 발생할 경우에도, 이송 캐리어가 완충 및 저항 작용을 할 수 있다. 따라서, 기판의 하부에 스크래치의 발생 및 그에 따른 2차 오염 발생의 가능성도 최소화되거나 완전히 제거된다.5. The possibility of foreign material entry between the substrate and the floating unit is substantially eliminated by the transfer carrier. In addition, even in the event of contact or collision between the substrate and the floating unit due to unforeseen malfunction of the coating apparatus, the transfer carrier can buffer and resist. Thus, the possibility of scratching and hence secondary contamination occurring at the bottom of the substrate is minimized or eliminated completely.

6. 기판 부상 유닛을 구성하는 복수개의 플레이트 간에 발생하는 미세 단차가 기판 부상 높이에 미치는 영향이 이송 캐리어에 의해 실질적으로 차단된다. 따라서, 복수개의 플레이트 간에 발생하는 미세 단차에 따른 기판 높이의 대응성 또는 응답성이 양호하다.6. The influence of the fine step occurring between the plurality of plates constituting the substrate floating unit on the substrate floating height is substantially blocked by the transfer carrier. Accordingly, the responsiveness or responsiveness of the substrate height due to the minute step occurring between the plurality of plates is good.

7. 이송 캐리어의 사용에 의해, 코팅 장치의 오작동 등으로 인하여 코팅액이 코팅 영역의 기판 부상 유닛 상에 도포되는 경우 발생하는 문제점(미세한 사이즈의 복수의 에어 분출구 및 복수의 에어 흡입구의 막힘에 따른 부상력 또는 흡입력이 불안정해지고, 세정이 어려우며, 미세 입자 발생에 따른 코팅 장치 전체가 오염되고, 에어 분출구 또는 에어 흡입구의 막힘이 심한 경우 코팅 영역의 기판 부상 유닛의 고장 발생 등)이 최소화되거나 완전히 방지된다.7. Problems caused when the coating liquid is applied onto the substrate floating unit in the coating area due to the malfunction of the coating apparatus, etc. by the use of the transfer carrier (injuries caused by clogging of the plurality of air jets and the plurality of air inlets of fine size Force or suction force becomes unstable, difficult to clean, the whole coating apparatus is contaminated due to the generation of fine particles, and the blockage of the substrate floating unit in the coating area is minimized or completely prevented when the air outlet or the air intake is severely blocked. .

8. 코팅액의 예비 토출 동작이 이송 캐리어 상에서 이루어지므로 프라이밍 롤의 사용이 불필요하여 코팅 장치의 전체 구성이 단순화되고, 이송 캐리어 상에 예비 토출된 코팅액의 세정 동작과 기판의 이송 및 코팅액의 도포 동작이 연속적으로 이루어질 수 있으므로, 전체 공정시간(tact time)이 현저하게 감소된다. 8. Since the preliminary ejection of the coating liquid is performed on the conveying carrier, the use of a priming roll is unnecessary, simplifying the overall configuration of the coating apparatus, and the cleaning operation of the preliminarily ejected coating liquid on the conveying carrier and the conveyance of the substrate and the application of the coating liquid. Since it can be done continuously, the overall tact time is significantly reduced.

본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다. Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which like or similar reference numerals denote like elements.

도 1a는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛에 사용되는 이송 캐리어의 피딩 장치, 및 이를 구비한 기판 이송 유닛 및 코팅 장치를 개략적으로 도시한 정단면도이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛에 사용되는 이송 캐리어의 피딩 장치의 일부 평면도 및 이송 캐리어의 피딩 장치가 제 1 및 제 2 베이스 플레이트 상에서 이동하는 동작을 함께 도시한 도면이다.
도 2c는 도 2b에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 피딩 장치의 상세 단면도이다.
도 2d는 도 2c에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 피딩 장치가 베이스 플레이트 상에서 이동하는 동작을 도시한 측면도이다.
도 2e는 도 2a에 도시된 코팅 영역의 기판 이송 유닛에 사용되는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 피딩 장치의 일부 평면도 및 이송 캐리어의 피딩 장치가 제 1 및 제 2 베이스 플레이트 상에서 이동하는 동작을 함께 도시한 도면이다.
도 2f는 도 2e에 도시된 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 피딩 장치가 베이스 플레이트 상에서 이동하는 동작을 도시한 측면도이다.
Figure 1a is a schematic view showing a perspective view of a substrate transfer apparatus of the floating method and a coating apparatus having the same according to the prior art.
FIG. 1B schematically illustrates a front view of a substrate transfer apparatus of a floating method according to the related art shown in FIG. 1A and a coating apparatus having the same.
2A is a front sectional view schematically showing a feeding device of a transfer carrier used in a substrate transfer unit of a coating area, a substrate transfer unit and a coating device having the same, according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2B is a partial plan view of the feeding device of the conveying carrier used in the substrate conveying unit of the coating area shown in FIG. 2A and the feeding device of the conveying carrier being moved on the first and second base plates. FIG. The figure shows the operation together.
FIG. 2C is a detailed cross-sectional view of the feeding apparatus according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 2B.
FIG. 2D is a side view illustrating an operation of moving the feeding device on the base plate shown in FIG. 2C.
FIG. 2E is a partial plan view of the feeding device according to another embodiment of the present invention used for the substrate transfer unit of the coating area shown in FIG. 2A and the operation of the feeding device of the transfer carrier to move on the first and second base plates. FIG. Figure is shown together.
FIG. 2F is a side view illustrating an operation of moving the feeding device on the base plate according to another embodiment of the present invention shown in FIG. 2E.

이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments and drawings.

본 발명에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛은 기본적으로 소프트 재질의 이송 캐리어를 구비하는 것을 특징으로 한다.The substrate transfer unit of the coating area according to the invention is basically characterized in that it comprises a transfer carrier of soft material.

좀 더 구체적으로, 본 발명의 이송 캐리어는 예를 들어 내마모성, 치수 안정성 및 유연성을 구비한 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate: PET) 재질 또는 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene Naphthalate: PEN) 재질의 플렉시블 필름(flexible film) 또는 유연성 박막 글래스(flexible thin film glass)로 구현될 수 있다. 이러한 이송 캐리어는 코팅 영역의 부상 유닛으로부터 공급되는 에어의 투과가 불가능한 불투과 재료로 구현되거나 또는 에어의 투과가 가능한 통기성 재료로 구현될 수 있다.More specifically, the transfer carrier of the present invention may be, for example, a flexible film made of polyethylene terephthalate (PET) or polyethylene naphthalate (PEN) made of abrasion resistance, dimensional stability, and flexibility. Or flexible thin film glass. Such a transfer carrier may be embodied in an impermeable material which is not permeable to air supplied from the floating unit of the coating area or in a breathable material which is permeable to air.

이하에서 기술되는 본 발명의 모든 실시예에서, 로딩 영역의 부상 유닛(276a), 코팅 영역의 부상 유닛(276b), 및 언로딩 영역의 부상 유닛(276b)은 모두 복수의 에어 분출구(미도시)만을 구비하거나, 또는 복수의 에어 분출구(미도시) 및 복수의 에어 흡입구(미도시)를 구비하고 있으며, 이들의 동작은 도 1a 및 도 1b를 참조하면 상세히 기술한 종래 기술의 경우와 동일 또는 유사하므로 이들에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.In all embodiments of the present invention described below, the floating unit 276a of the loading area, the floating unit 276b of the coating area, and the floating unit 276b of the unloading area are all of a plurality of air jets (not shown). Or a plurality of air outlets (not shown) and a plurality of air intakes (not shown), the operation of which is the same or similar to that of the prior art described in detail with reference to FIGS. 1A and 1B. Therefore, detailed description thereof will be omitted.

도 2a는 본 발명의 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛(201)은 코팅 영역의 부상 유닛(276b) 상에서 기판(G)을 이송하기 위한 이송 캐리어(220); 상기 이송 캐리어(220)를 공급 및 회수하기 위한 공급/회수 롤(222a); 상기 이송 캐리어(220)를 회수 및 공급하기 위한 회수/공급 롤(222b); 상기 부상 유닛(276b)의 양 측면에 제공되며, 상기 기판(G)이 상기 코팅 영역 상에서 이동하도록 상기 이송 캐리어(220)를 이송시키는 제 1 및 제 2 이송 롤(224a,224b); 상기 이송 캐리어(220) 상에 예비 토출된 코팅액을 세정하기 위한 세정 장치(228); 상기 공급/회수 롤(222a)과 상기 회수/공급 롤(222b) 사이에서 상기 이송 캐리어(220)를 왕복 이동시키는 피딩 장치(230)를 포함한다. 여기서 피딩 장치(230)는 서로 이격되어 나란히 제공되며, 상기 이송 캐리어(220)를 왕복 이동시키도록 반대방향으로 회전하는 제 1 및 제 2 구동 롤(232a,232b)을 포함한다.2A and 2B of the present invention, the substrate transfer unit 201 of the coating area according to an embodiment of the present invention is for transferring the substrate G on the floating unit 276b of the coating area. Transfer carrier 220; A supply / recovery roll (222a) for supplying and withdrawing the transfer carrier 220; A recovery / supply roll 222b for recovering and supplying the transfer carrier 220; First and second transfer rolls 224a and 224b provided on both sides of the floating unit 276b and transferring the transfer carrier 220 to move the substrate G on the coating area; A cleaning device (228) for cleaning the coating liquid preliminarily discharged onto the transfer carrier (220); And a feeding apparatus 230 for reciprocating the transfer carrier 220 between the supply / recovery roll 222a and the recovery / feed roll 222b. The feeding device 230 is provided side by side spaced apart from each other, and includes a first and second drive rolls (232a, 232b) to rotate in the opposite direction to reciprocate the transfer carrier 220.

상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛(201)은 상기 공급/회수 롤(222a)과 상기 피딩 장치(230) 사이 및 상기 피딩 장치(230)와 상기 제 1 이송 롤(224a) 사이에 제공되며, 상기 이송 캐리어(220)의 장력을 유지하기 위한 복수의 제 1 보조 롤(225a); 상기 회수/공급 롤(222b)과 상기 피딩 장치(230) 사이 및 상기 피딩 장치(230)와 상기 제 2 이송 롤(224b) 사이에 제공되며, 상기 이송 캐리어(220)의 장력을 유지하기 위한 복수의 제 2 보조 롤(225b); 상기 복수의 제 1 보조 롤(225a) 중 어느 하나의 제 1 보조 롤(225a1)에 연결되며, 상기 이송 캐리어(220)의 장력을 제어하기 위한 제 1 장력 제어 장치(227a); 및 상기 복수의 제 2 보조 롤(225b) 중 어느 하나의 제 2 보조 롤(225b1)에 연결되며, 상기 이송 캐리어(220)의 장력을 제어하기 위한 제 2 장력 제어 장치(227b)를 추가로 포함할 수 있다.The substrate transfer unit 201 of the coating area according to the embodiment of the present invention described above is provided between the feed / recovery roll 222a and the feeding device 230 and the feeding device 230 and the first transfer roll ( 224a, a plurality of first auxiliary rolls 225a for maintaining the tension of the transfer carrier 220; A plurality of feed / feed rolls 222b and between the feeding device 230 and between the feeding device 230 and the second transfer roll 224b to maintain the tension of the transfer carrier 220. Second auxiliary roll 225b; A first tension control device (227a) connected to any one of the plurality of first auxiliary rolls (225a) and controlling the tension of the transfer carrier (220); And a second tension control device 227b connected to any one of the second auxiliary rolls 225b1 of the plurality of second auxiliary rolls 225b and configured to control the tension of the transfer carrier 220. can do.

또한, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛(201)은 상기 이송 캐리어(220)에서 발생하는 정전기를 제거하기 위한 하나 이상의 제전(除電) 장치(226a,226b); 및 상기 이송 캐리어(220) 상의 이물 또는 오염 물질(이하 통칭하여 "이물"이라 합니다)을 제거하기 위한 복수의 이물 제거 장치(228a)를 추가로 포함할 수 있다.In addition, the substrate transfer unit 201 of the coating area according to the embodiment of the present invention described above includes at least one antistatic device (226a, 226b) for removing the static electricity generated in the transfer carrier 220; And a plurality of foreign material removal devices 228a for removing foreign matter or contaminants (hereinafter, referred to as "foreign materials") on the transfer carrier 220.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.Hereinafter, the specific configuration and operation of the substrate transfer unit of the coating area according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

다시 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛(201)은 코팅 영역의 부상 유닛(276b) 상에서 기판(G)을 이송하기 위한 이송 캐리어(220)를 포함한다. 이송 캐리어(220)는 공급/회수 롤(222a)로부터 복수의 제 1 보조 롤(225a), 피딩 장치(230)의 제 1 구동 롤(232a), 제 1 및 제 2 이송 롤(224a,224b), 피딩 장치(230)의 제 2 구동 롤(232b), 및 복수의 제 2 보조 롤(225b)을 거쳐 회수/공급 롤(222b)까지 연장되어 연결되어 있다. 코팅 동작이 시작되기 전에 피딩 장치(230)는 우측 위치(R)에 위치되어 있다. 이 상태에서, 노즐 장치(278)가 코팅액(예를 들어 레지스트액)을 이송 캐리어(220) 상에 도포하여 코팅액의 예비 토출 동작이 이루어진다. 코팅액의 예비 토출 동작이 이루어진 후, 피딩 장치(230)의 제 1 및 제 2 구동 장치(250a,250b)가 제어장치(미도시)에 의해 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)를 R 위치에서 L 위치로 이동하도록 구동하면, 피딩 장치(230)의 제 1 구동 롤(232a) 및 제 2 구동 롤(232b)은 반시계 방향으로 회전하여 피딩 장치(230)는 우측 위치(R)에서 중앙 위치(C)를 거쳐 좌측 위치(L)로 이동한다. 그에 따라, 이송 캐리어(220) 상에 예비 토출된 코팅액이 세정 장치(228)로 이송되어 세정이 이루어진다. 이와 동시에, 기판(G)이 로딩 영역의 부상 유닛(276a) 상에서 별도의 기판 이송 장치(미도시)에 의해 코팅 영역의 부상 유닛(276b) 상에 제공되는 이송 캐리어(220) 상으로 이송된다. 그 후, 기판(G)은 피딩 장치(230)의 제 1 및 제 2 구동 롤(232a,232b)의 회전 동작에 의해 이송 캐리어(220) 상에 안착되어 일정한 부상 높이를 유지한 상태로 코팅 영역을 통과하면서 노즐 장치(278)에 의해 코팅액이 도포된다. 그 후, 기판(G)은 기판 이송 장치(미도시)에 의해 코팅 영역에서 언로딩 영역 상으로 이송된다. 여기서 기판 이송 장치는 각각 도 1a에 도시된 바와 같이 기판(G)을 진공 흡착 방식으로 장착하여 이송하는 종래 기판 이송 장치(84)(도 1a 참조)로 구현될 수 있다.Referring again to FIGS. 2A and 2B, the substrate transfer unit 201 of the coated area according to one embodiment of the present invention is a transfer carrier 220 for transferring the substrate G on the floating unit 276b of the coated area. It includes. The feed carrier 220 includes a plurality of first auxiliary rolls 225a from the supply / recovery rolls 222a, first drive rolls 232a of the feeding device 230, and first and second transfer rolls 224a and 224b. The second drive roll 232b of the feeding device 230 and the plurality of second auxiliary rolls 225b extend to the recovery / supply roll 222b. The feeding device 230 is positioned at the right position R before the coating operation starts. In this state, the nozzle apparatus 278 applies a coating liquid (for example, a resist liquid) onto the transfer carrier 220 to perform a preliminary ejection operation of the coating liquid. After the preliminary discharging operation of the coating liquid is performed, the first and second driving devices 250a and 250b of the feeding device 230 move the first and second supporting members 236a and 236b by a controller (not shown). When driven to move from the position to the L position, the first drive roll 232a and the second drive roll 232b of the feeding device 230 rotate counterclockwise so that the feeding device 230 is in the right position R. It moves to the left position L via the center position C. Accordingly, the coating liquid preliminarily discharged on the transfer carrier 220 is transferred to the cleaning device 228 to perform cleaning. At the same time, the substrate G is conveyed on the floating carrier 220 provided on the floating unit 276b of the coating area by a separate substrate transfer device (not shown) on the floating unit 276a of the loading area. Subsequently, the substrate G is seated on the transfer carrier 220 by the rotational operation of the first and second drive rolls 232a and 232b of the feeding device 230 to maintain a constant floating height. The coating liquid is applied by the nozzle device 278 while passing through it. Subsequently, the substrate G is transferred from the coating area onto the unloading area by a substrate transfer device (not shown). Here, the substrate transfer apparatus may be implemented as a conventional substrate transfer apparatus 84 (see FIG. 1A) for mounting and transferring the substrate G by vacuum adsorption, respectively, as shown in FIG. 1A.

상술한 코팅액의 예비 토출 동작의 시작에서 코팅액 도포 동작이 완료되어 기판(G)이 언로딩 영역으로 이송이 완료된 후, 피딩 장치(230)의 제 1 및 제 2 구동 장치(250a,250b)가 제어장치(미도시)에 의해 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)를 L 위치에서 R 위치로 이동하도록 구동하면, 피딩 장치(230)의 제 1 구동 롤(232a) 및 제 2 구동 롤(232b)이 시계 방향으로 회전하여 피딩 장치(230)는 좌측 위치(L)에서 중앙 위치(C)를 거쳐 원래 위치인 우측 위치(R)로 이동한다. 그 결과, 이송 캐리어(220)는 회수/공급 롤(222b)에서 공급/회수 롤(222a)로 이송된다. 이러한 피딩 장치(230)의 1회 왕복 운동(R 위치 -> C 위치 -> L 위치 -> C 위치 -> R 위치)에 의해 하나의 기판(G)에 대한 코팅액의 도포 동작이 완료된다. 그 후, 노즐 장치(278)에 의해 이송 캐리어(220) 상에 코팅액의 후속 예비 토출 동작이 이루어지고, 후속적으로 공급되는 기판(G)에 대해 상술한 바와 같은 코팅액의 도포 동작이 반복된다.After the coating liquid application operation is completed at the beginning of the preliminary discharging operation of the coating liquid and the transfer of the substrate G to the unloading area is completed, the first and second driving devices 250a and 250b of the feeding device 230 are controlled. When the first and second support members 236a and 236b are driven to move from the L position to the R position by an apparatus (not shown), the first drive roll 232a and the second drive roll (of the feeding device 230) 232b rotates in a clockwise direction so that the feeding device 230 moves from the left position L to the right position R, which is the original position, through the center position C. FIG. As a result, the transfer carrier 220 is transferred from the recovery / feed roll 222b to the supply / recovery roll 222a. The application operation of the coating liquid to one substrate G is completed by one reciprocating motion of the feeding device 230 (R position-> C position-> L position-> C position-> R position). Thereafter, a subsequent preliminary ejection operation of the coating liquid is performed on the transfer carrier 220 by the nozzle device 278, and the application operation of the coating liquid as described above is repeated for the substrate G that is subsequently supplied.

상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛(201)에서는, 공급/회수 롤(222a)과 피딩 장치(230) 사이 및 피딩 장치(230)와 제 1 이송 롤(224a) 사이에 제공되는 복수의 제 1 보조 롤(225a) 및 회수/공급 롤(222b)과 피딩 장치(230) 사이 및 피딩 장치(230)와 제 2 이송 롤(224b) 사이에 제공되는 복수의 제 2 보조 롤(225b)에 의해 이송 캐리어(220)의 장력이 유지된다. 또한, 이송 캐리어(220)의 장력을 제어하기 위해 복수의 제 1 보조 롤(225a) 중 어느 하나의 제 1 보조 롤(225a1) 및 복수의 제 2 보조 롤(225b) 중 어느 하나의 제 2 보조 롤(225b1)에 각각 연결되는 제 1 및 제 2 장력 제어 장치(227a,227b)가 사용될 수 있다. 제 1 및 제 2 장력 제어 장치(227a,227b)는 각각 제 1 및 제 2 보조 롤(225a1,225b1)의 축과 연결된 제 1 및 제 2 로드(rod: 229a,229b)의 회동(rotational movement)에 의해 이송 캐리어(220)의 장력을 제어할 수 있다.In the substrate transfer unit 201 of the coating area according to the embodiment of the present invention as described above, between the feed / recovery roll 222a and the feeding device 230 and the feeding device 230 and the first transfer roll 224a A plurality of first auxiliary rolls 225a and a plurality of recovery / supply rolls 222b and a feeding device 230 provided between the plurality of first auxiliary rolls 225a and the feeding device 230 and the second transfer roll 224b. The tension of the transfer carrier 220 is maintained by the two auxiliary rolls 225b. In addition, a second auxiliary of any one of the first auxiliary roll 225a1 of the plurality of first auxiliary rolls 225a and the plurality of second auxiliary rolls 225b to control the tension of the transfer carrier 220. First and second tension control devices 227a and 227b connected to roll 225b1 may be used, respectively. The first and second tension control devices 227a and 227b are rotational movements of the first and second rods 229a and 229b connected to the axes of the first and second auxiliary rolls 225a1 and 225b1, respectively. The tension of the transport carrier 220 can be controlled by the.

또한, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛(201)은 상기 이송 캐리어(220)에서 발생하는 정전기를 제거하기 위한 하나 이상의 제전(除電) 장치(226a,226b)를 포함할 수 있다. 도 2a에 도시된 실시예에서는 2개의 제전 장치(226a,226b)가 제 1 이송 롤(224a)의 전단 및 상기 제 2 이송 롤(224b)의 후단에 제공되는 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 이러한 제전 장치(226a,226b)의 수는 필요에 따라 증가 또는 감소될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.In addition, the substrate transfer unit 201 of the coating area according to the embodiment of the present invention described above includes one or more antistatic devices 226a and 226b for removing static electricity generated from the transfer carrier 220. can do. In the embodiment shown in FIG. 2A, two antistatic devices 226a and 226b are exemplarily shown to be provided at the front end of the first transfer roll 224a and at the rear end of the second transfer roll 224b. It will be appreciated that the number of such antistatic devices 226a, 226b can be increased or decreased as needed.

또한, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛(201)은 이송 캐리어(220) 상의 이물을 제거하기 위한 복수의 이물 제거 장치(228a)를 포함할 수 있다. 복수의 이물 제거 장치(228a)는 통상적으로 진공 펌핑 장치(미도시)를 이용한 진공 흡입 방식 또는 에어 공급 장치(미도시)를 이용한 에어 블로우(air blow) 방식으로 이송 캐리어(220) 상의 이물을 제거할 수 있다.In addition, the substrate transfer unit 201 of the coating area according to the embodiment of the present invention described above may include a plurality of foreign matter removal apparatus 228a for removing foreign matter on the transfer carrier 220. The plurality of foreign material removing apparatus 228a removes foreign materials on the transport carrier 220 by a vacuum suction method using a vacuum pumping device (not shown) or an air blow method using an air supply device (not shown). can do.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 코팅액의 예비 토출 동작이 코팅 영역상의 이송 캐리어(220) 상에서 이루어지고, 그 후 피딩 장치(230)에 의해 이송 캐리어(220) 상에 도포된 예비 토출된 코팅액이 세정 장치(228)에 의해 세정된다. 따라서, 종래 기술과는 달리 프라이밍 롤의 사용이 불필요하므로 코팅 장치의 전체 구성이 단순화된다. 또한, 본 발명에서는 이송 캐리어(220) 상에 예비 토출된 코팅액의 세정 동작과 기판의 이송 및 코팅액의 도포 동작이 연속적으로 이루어질 수 있으므로, 전체 공정시간(tact time)이 현저하게 감소된다.As described above, in the present invention, the preliminary ejection of the coating liquid is performed on the transport carrier 220 on the coating area, and then the preliminarily ejected coating liquid applied on the transport carrier 220 by the feeding device 230 is cleaned. It is cleaned by the device 228. Thus, unlike the prior art, the use of a priming roll is unnecessary, thereby simplifying the overall configuration of the coating apparatus. In addition, in the present invention, since the cleaning operation of the coating liquid preliminarily discharged on the transfer carrier 220 and the operation of transferring the substrate and applying the coating liquid may be continuously performed, the total tact time is significantly reduced.

도 2c는 도 2b에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 피딩 장치의 상세 단면도이고, 도 2d는 도 2c에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 피딩 장치가 베이스 플레이트 상에서 이동하는 동작을 도시한 측면도이다.FIG. 2C is a detailed cross-sectional view of the feeding apparatus according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 2B, and FIG. 2D illustrates an operation of moving the feeding apparatus on the base plate shown in FIG. 2C. One side view.

도 2c 및 도 2d를 도 2a 및 도 2b와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛(201)에 사용되는 이송 캐리어(220)의 피딩 장치(230)는 서로 이격되어 나란히 제공되며, 상기 이송 캐리어(220)를 왕복 이동시키도록 동일한 방향으로 회전 또는 역회전하는 제 1 및 제 2 구동 롤(232a,232b); 상기 제 1 및 제 2 구동 롤(232a,232b)의 각각의 한 쌍의 제 1 및 제 2 회전축(232a1,232a2;232b1,232b2)이 회전 가능하게 장착되는 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b); 상기 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)의 하부에 제공되며, 상기 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)를 각각 이동시키는 제 1 및 제 2 리니어 모션 가이드(Linear Motion Guide: 240a,240b); 상기 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)의 각각의 하부 일측(도 2c의 실시예에서는 내측)에 연결되며, 상기 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)를 구동하는 제 1 및 제 2 구동장치(250a,250b); 상기 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)의 각각의 하부 타측(도 2c의 실시예에서는 외측)에 장착되며, 상기 피딩 장치(230)의 미리 정해진 기준점(predetermined reference points)을 확인하기 위한 제 1 및 제 2 스케일 센서(scale sensor: 260a,260b); 및 상기 제 1 및 제 2 리니어 모션 가이드(240a,240b)의 방향을 따라 상기 제 1 및 제 2 스케일 센서(260a,260b)의 하부에 제공되는 제 1 및 제 2 리니어 스케일(linear scale: 262a,262b)을 포함하고 있다.2C and 2D in conjunction with FIGS. 2A and 2B, the feeding device 230 of the transfer carrier 220 used in the substrate transfer unit 201 of the coating area according to an embodiment of the present invention is spaced apart from each other. First and second drive rolls 232a and 232b rotated or reversely rotated in the same direction to reciprocate the transfer carrier 220; First and second support members 236a on which the pair of first and second rotational shafts 232a1, 232a2; 232b1, 232b2, respectively, of the first and second drive rolls 232a, 232b are rotatably mounted; 236b); First and second linear motion guides 240a provided below the first and second support members 236a and 236b to move the first and second support members 236a and 236b, respectively. , 240b); First and second driving members connected to the lower one side of each of the first and second support members 236a and 236b (inner side in the embodiment of FIG. 2C) and driving the first and second support members 236a and 236b; Second drive units 250a and 250b; Mounted on the other lower side of each of the first and second support members 236a and 236b (outside in the embodiment of FIG. 2C), for identifying a predetermined reference point of the feeding device 230. First and second scale sensors 260a and 260b; And first and second linear scales 262a provided below the first and second scale sensors 260a and 260b along the directions of the first and second linear motion guides 240a and 240b. 262b).

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛(201)에 사용되는 피딩 장치(230)는 상기 제 1 리니어 모션 가이드(240a), 상기 제 1 구동장치(250a), 상기 제 1 리니어 스케일(262a), 및 한 쌍의 제 1 리미트 센서(264a1,264a2)(도 2c 참조)가 각각 장착되는 제 1 베이스 플레이트(base plate: 270a), 및 상기 제 2 리니어 모션 가이드(240b), 상기 제 2 구동장치(250b), 상기 제 2 리니어 스케일(262b), 및 한 쌍의 제 2 리미트 센서(264b1,264b2)(도 2c 참조)가 각각 장착되는 제 2 베이스 플레이트(270b)를 추가로 포함할 수 있다.In addition, the feeding device 230 used in the substrate transfer unit 201 of the coating area according to an embodiment of the present invention is the first linear motion guide 240a, the first driving device 250a, the first A first base plate 270a on which the linear scale 262a and a pair of first limit sensors 264a1 and 264a2 (see FIG. 2C) are mounted, and the second linear motion guide 240b, Further, a second base plate 270b to which the second driving device 250b, the second linear scale 262b, and the pair of second limit sensors 264b1 and 264b2 (see FIG. 2C) are mounted are respectively mounted. It may include.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛에 사용되는 피딩 장치(230)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.Hereinafter, the specific configuration and operation of the feeding device 230 used in the substrate transfer unit of the coating area according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

다시 도 2c 및 도 2d를 도 2a 및 도 2b와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛(201)에 사용되는 피딩 장치(230)는 서로 이격되어 나란히 제공되는 제 1 및 제 2 구동 롤(232a,232b)을 포함한다. 제 1 및 제 2 구동 롤(232a,232b)은 이송 캐리어(220)를 왕복 이동시키도록 동일한 방향으로 회전 또는 역회전한다. 또한, 제 1 및 제 2 구동 롤(232a,232b)은 각각 그 양쪽 단부에 한 쌍의 제 1 및 제 2 회전축(232a1,232a2;232b1,232b2)을 구비한다. 한 쌍의 제 1 및 제 2 회전축(232a1,232a2;232b1,232b2)은 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)의 상부에서 쌍으로 이루어진 복수의 제 1 및 제 2 베어링(235a1,235a2;235b1,235b2)에 의해 회전 가능하게 장착된다. 한 쌍의 제 1 및 제 2 회전축(232a1,232a2;232b1,232b2)은 각각 한 쌍의 제 1 및 제 2 고정 지그(fixing jig)(234a1,234a2;234b1,234b2)에 의해 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)의 외측면 상에 고정된다.Referring again to FIGS. 2C and 2D in conjunction with FIGS. 2A and 2B, the feeding device 230 used in the substrate transfer unit 201 of the coating area according to an embodiment of the present invention may be spaced apart from each other. First and second drive rolls 232a and 232b. The first and second drive rolls 232a and 232b rotate or reverse in the same direction to reciprocate the transfer carrier 220. Further, the first and second drive rolls 232a and 232b have a pair of first and second rotational shafts 232a1 and 232a2 and 232b1 and 232b2 at both ends thereof, respectively. The pair of first and second rotational shafts 232a1, 232a2; 232b1, 232b2 includes a plurality of first and second bearings 235a1, 235a2 formed in pairs on top of the first and second support members 236a, 236b; 235b1 and 235b2 are rotatably mounted. The pair of first and second rotational shafts 232a1, 232a2; 232b1, 232b2 are respectively coupled to the first and second by a pair of first and second fixing jig 234a1, 234a2; 234b1, 234b2. It is fixed on the outer surface of the support members 236a and 236b.

한편, 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)의 하부에는 제 1 및 제 2 리니어 모션 가이드(240a,240b)가 제공되어 있다. 제 1 리니어 모션 가이드(240a)는 제 1 고정 가이드(242a)(예를 들어, 레일); 및 상기 제 1 고정 가이드(242a) 상에서 이동하는 제 1 이동 가이드(244a)로 구성되고, 제 2 리니어 모션 가이드(240b)는 제 2 고정 가이드(242b)(예를 들어, 레일); 및 상기 제 2 고정 가이드(242b) 상에서 이동하는 제 2 이동 가이드(244b)로 구성된다.Meanwhile, first and second linear motion guides 240a and 240b are provided below the first and second support members 236a and 236b. The first linear motion guide 240a may include a first fixed guide 242a (eg, a rail); And a first moving guide 244a moving on the first fixed guide 242a, wherein the second linear motion guide 240b includes a second fixed guide 242b (eg, a rail); And a second moving guide 244b moving on the second fixed guide 242b.

또한, 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)의 각각의 하부 일측(도 2c의 실시예에서는 내측)에는 제 1 및 제 2 구동장치(250a,250b)가 연결되어 있다. 이러한 제 1 및 제 2 구동장치(250a,250b)는 각각 리니어 모터 또는 서보 모터로 구현될 수 있다. 좀 더 구체적으로, 제 1 구동 장치(250a)는 제 1 고정자(252a); 및 상기 제 1 지지 부재(236a)의 하부에 연결되며, 상기 제 1 고정자(252a) 내에서 이동하는 제 1 이동자(254a)로 구성되고, 제 2 구동 장치(250b)는 제 2 고정자(252b); 및 상기 제 2 지지 부재(236b)의 하부에 연결되며, 상기 제 2 고정자(252b) 내에서 이동하는 제 2 이동자(254b)로 구성될 수 있다.In addition, the first and second driving devices 250a and 250b are connected to one lower side of each of the first and second supporting members 236a and 236b (inner side in the embodiment of FIG. 2C). The first and second driving devices 250a and 250b may be implemented as linear motors or servo motors, respectively. More specifically, the first driving device 250a may include a first stator 252a; And a first mover 254a connected to a lower portion of the first support member 236a and moving in the first stator 252a, and the second driving device 250b includes a second stator 252b. ; And a second mover 254b connected to a lower portion of the second support member 236b and moving in the second stator 252b.

상술한 제 1 및 제 2 구동 장치(250a,250b)가 제어장치(미도시)에 의해 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)를 R 위치에서 L 위치로 이동하도록 구동하면, 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)에 장착된 제 1 및 제 2 이동 가이드(244a,244b)가 제 1 및 제 2 고정 가이드(242a,242b) 상에서 피딩 장치(230)를 R 위치에서 C 위치를 거쳐 L 위치로 이동시킨다(도 2a 및 도 2b 참조). 그 결과, 이송 캐리어(220)는 공급/회수 롤(222a)에서 회수/공급 롤(222b) 방향으로 이동한다. 그 후, 제 1 및 제 2 스케일 센서(260a,260b)가 각각 제 1 및 제 2 리니어 스케일(262a,262b) 상에 표시된 미리 정해진 각각의 제 1 기준점을 감지하면, 각각의 제 1 감지 신호를 제어장치로 전송한다. 제어장치는 제 1 및 제 2 리니어 스케일(262a,262b)의 제 1 감지 신호에 따라 제 1 및 제 2 구동장치(250a,250b)에 인가되는 전원을 차단하여 피딩 장치(230)의 동작을 정지시킨다. 그 후, 제어장치가 제 1 및 제 2 구동 장치(250a,250b)를 L 위치에서 R 위치로 이동하도록 구동하면, 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)에 장착된 제 1 및 제 2 이동 가이드(244a,244b)가 제 1 및 제 2 고정 가이드(242a,242b) 상에서 피딩 장치(230)를 L 위치에서 C 위치를 거쳐 R 위치로 이동시킨다(도 2a 및 도 2b 참조). 그 결과, 이송 캐리어(220)는 회수/공급 롤(222b)에서 공급/회수 롤(222a) 방향으로 이동한다. 그 후, 제 1 및 제 2 스케일 센서(260a,260b)가 각각 제 1 및 제 2 리니어 스케일(262a,262b) 상에 표시된 미리 정해진 각각의 제 2 기준점을 감지하면, 각각의 제 2 감지 신호를 제어장치로 전송한다. 제어장치는 제 1 및 제 2 리니어 스케일(262a,262b)의 제 2 감지 신호에 따라 제 1 및 제 2 구동장치(250a,250b)에 인가되는 전원을 차단하여 피딩 장치(230)의 동작을 정지시킨다. 이러한 방식으로 피딩 장치(230)는 R 위치에서 L 위치 사이를 반복하여 왕복 이동함으로써 이송 캐리어(220)도 공급/회수 롤(222a)과 회수/공급 롤(222b) 사이에서 왕복 이동하여, 기판(G)을 코팅 영역 상에서 순차적으로 이송시킬 수 있다.When the first and second drive devices 250a and 250b described above are driven to move the first and second support members 236a and 236b from the R position to the L position by a controller (not shown), The first and second moving guides 244a and 244b mounted to the second supporting members 236a and 236b move the feeding device 230 from the R position to the C position on the first and second fixing guides 242a and 242b. To the L position (see FIGS. 2A and 2B). As a result, the transfer carrier 220 moves in the direction of the recovery / feed roll 222b from the supply / recovery roll 222a. Thereafter, when the first and second scale sensors 260a and 260b sense respective predetermined first reference points displayed on the first and second linear scales 262a and 262b, respectively, each first sensing signal is detected. Send to the control unit. The control device stops the operation of the feeding device 230 by cutting off the power applied to the first and second driving devices 250a and 250b according to the first sensing signals of the first and second linear scales 262a and 262b. Let's do it. Then, when the controller drives the first and second drive devices 250a and 250b to move from the L position to the R position, the first and second mounted on the first and second support members 236a and 236b. The movement guides 244a and 244b move the feeding device 230 from the L position through the C position to the R position on the first and second fixing guides 242a and 242b (see FIGS. 2A and 2B). As a result, the transfer carrier 220 moves in the recovery / feed roll 222b in the direction of the supply / recovery roll 222a. Thereafter, when the first and second scale sensors 260a and 260b detect respective predetermined second reference points displayed on the first and second linear scales 262a and 262b, respectively, each second detection signal is detected. Send to the control unit. The control device stops the operation of the feeding device 230 by cutting off the power applied to the first and second driving devices 250a and 250b according to the second sensing signals of the first and second linear scales 262a and 262b. Let's do it. In this manner, the feeding apparatus 230 reciprocates between the R position and the L position repeatedly to reciprocate the transfer carrier 220 also between the supply / recovery roll 222a and the recovery / feed roll 222b, thereby providing a substrate ( G) can be transferred sequentially on the coating area.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 피딩 장치(230)는 상기 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)의 외측면에 각각 장착되는 제 1 및 제 2 리미트 부재(limit member: 266a,266b); 및 상기 제 1 및 제 2 리미트 부재(266a,266b)의 각각의 하부에서 서로 이격되어 제공되며, 상기 제 1 및 제 2 리미트 부재(266a,266b)의 통과 여부에 따라 상기 피딩 장치(230)의 정상 동작 위치 범위를 확인하기 위한 한 쌍의 제 1 제 1 리미트 센서(264a1,264a2) 및 한 쌍의 제 2 리미트 센서(264b1,264b2)를 추가로 포함할 수 있다. 여기서, 제 1 및 제 2 리미트 부재(266a,266b)는 각각 플레이트(plate), 바(bar) 또는 탐침(probe) 형상으로 구현될 수 있다.In addition, the feeding device 230 according to an embodiment of the present invention is the first and second limit members (limit member: 266a, 266b) mounted on the outer surface of the first and second support members (236a, 236b), respectively. ); And provided at a lower portion of each of the first and second limit members 266a and 266b and spaced apart from each other, depending on whether the first and second limit members 266a and 266b pass. The apparatus may further include a pair of first limit sensors 264a1 and 264a2 and a pair of second limit sensors 264b1 and 264b2 for checking a normal operating position range. Here, the first and second limit members 266a and 266b may be embodied in a plate, bar, or probe shape, respectively.

상술한 제 1 리미트 부재(266a)가 한 쌍의 제 1 리미트 센서(264a1 또는 264a2)를 통과하거나 또는 제 2 리미트 부재(266b)가 한 쌍의 제 2 리미트 센서((264b1 또는 264b2)를 통과하는 경우, 제 1 리미트 센서(264a1 또는 264a2) 또는 제 2 리미트 센서((264b1 또는 264b2)는 감지된 각각의 리미트 신호를 제어장치로 전송한다. 제어장치는 각각의 리미트 신호를 수신하면 피딩 장치(230)가 정상 동작 위치를 벗어난 것으로 판단하여 제 1 및 제 2 구동장치(250a,250b)에 인가되는 전원을 자동으로 차단하여 피딩 장치(230)의 동작을 정지시킨다. 이러한 한 쌍의 제 1 및 제 2 리미트 센서(264a1,264a2;264b1,264b2)는 제 1 및 제 2 스케일 센서(260a,260b)의 오동작 또는 고장에 의한 피딩 장치(230)의 비정상 동작의 발생 및 그에 따른 고장 발생을 방지하기 위한 것이다.The first limit member 266a described above passes through the pair of first limit sensors 264a1 or 264a2, or the second limit member 266b passes through the pair of second limit sensors 264b1 or 264b2. In this case, the first limit sensor 264a1 or 264a2 or the second limit sensor 264b1 or 264b2 transmits each detected limit signal to the control device. ) Is determined to be out of the normal operation position, and the power applied to the first and second driving devices 250a and 250b is automatically cut off to stop the operation of the feeding device 230. The pair of first and first The two limit sensors 264a1, 264a2; 264b1, 264b2 may be used to prevent an abnormal operation of the feeding device 230 due to a malfunction or failure of the first and second scale sensors 260a and 260b, and a failure thereof. will be.

도 2e는 도 2a에 도시된 코팅 영역의 기판 이송 유닛에 사용되는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 피딩 장치의 일부 평면도 및 이송 캐리어의 피딩 장치가 제 1 및 제 2 베이스 플레이트 상에서 이동하는 동작을 함께 도시한 도면이고, 도 2f는 도 2e에 도시된 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 피딩 장치가 베이스 플레이트 상에서 이동하는 동작을 도시한 측면도이다.FIG. 2E is a partial plan view of the feeding device according to another embodiment of the present invention used for the substrate transfer unit of the coating area shown in FIG. 2A and the operation of the feeding device of the transfer carrier to move on the first and second base plates. FIG. FIG. 2F is a side view illustrating an operation of the feeding device moving on the base plate according to another embodiment of the present invention shown in FIG. 2E.

도 2e 및 도 2f를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 피딩 장치(230)에서는 도 2b 및 도 2d의 실시예와는 달리, 제 1 및 제 2 스케일 센서(260a,260b)는 각각 상기 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)(도 2c 참조)의 각각의 하부 외측에서 서로 이격되어 장착되는 한 쌍의 제 1 스케일 센서(260a1,260a2) 및 한 쌍의 제 2 스케일 센서(260b1,260b2), 및 상기 제 1 및 제 2 지지 부재(236a,236b)의 각각의 외측면에서 서로 이격되어 장착되는 한 쌍의 제 1 리미트 부재(266a1,266a2) 및 한 쌍의 제 2 리미트 부재(260b1,260b2) 중 어느 하나 또는 양자가 함께 사용될 수 있다. 한 쌍의 제 1 스케일 센서(260a1,260a2) 및 한 쌍의 제 2 스케일 센서(260b1,260b2)가 사용되는 경우, 한 쌍의 제 1 스케일 센서(260a1,260a2)가 각각 제 1 리니어 스케일(270a) 상에 표시된 미리 정해진 제 1 및 제 2 기준점을 감지하거나 또는 한 쌍의 제 2 스케일 센서(26ba1,260b2)가 각각 제 2 리니어 스케일(270b) 상에 표시된 미리 정해진 제 1 및 제 2 기준점을 감지하면, 각각의 제 1 및 제 2 감지 신호를 제어장치로 전송한다. 제어장치는 제 1 및 제 2 감지 신호에 따라 제 1 및 제 2 구동장치(250a,250b)에 인가되는 전원을 차단하여 피딩 장치(230)의 동작을 정지시킨다.2E and 2F, in the feeding apparatus 230 according to another embodiment of the present invention, unlike the embodiment of FIGS. 2B and 2D, the first and second scale sensors 260a and 260b are respectively A pair of first scale sensors 260a1 and 260a2 and a pair of second scale sensors mounted spaced apart from each other outside each lower side of the first and second support members 236a and 236b (see FIG. 2C). 260b1, 260b2, and a pair of first limit members 266a1, 266a2 and a pair of second limit members mounted on each outer surface of the first and second support members 236a, 236b apart from each other. Either or both of 260b1 and 260b2 may be used together. When a pair of first scale sensors 260a1 and 260a2 and a pair of second scale sensors 260b1 and 260b2 are used, the pair of first scale sensors 260a1 and 260a2 are respectively the first linear scale 270a. ) Detects a predetermined first and second reference point indicated on) or a pair of second scale sensors 26ba1, 260b2 respectively detect a predetermined first and second reference point indicated on second linear scale 270b The first and second sensing signals are then transmitted to the control device. The control device stops the operation of the feeding device 230 by cutting off the power applied to the first and second driving devices 250a and 250b according to the first and second sensing signals.

또한, 한 쌍의 제 1 리미트 부재(266a1,266a2) 및 한 쌍의 제 2 리미트 부재(266b1,266b2)가 사용되는 경우, 한 쌍의 제 1 리미트 부재(266a1,266a2)가 한 쌍의 제 1 리미트 센서(264a1,264a2)를 통과하거나 또는 한 쌍의 제 2 리미트 부재(266b1,266b2)가 한 쌍의 제 2 리미트 센서((264b1,264b2)를 통과하면, 한 쌍의 제 1 리미트 센서(264a1,264a2) 또는 한 쌍의 제 2 리미트 센서((264b1,264b2)는 감지된 각각의 리미트 신호를 제어장치로 전송한다. 제어장치는 각각의 리미트 신호를 수신하면 피딩 장치(230)가 정상 동작 위치를 벗어난 것으로 판단하여 제 1 및 제 2 구동장치(250a,250b)에 인가되는 전원을 자동으로 차단하여 피딩 장치(230)의 동작을 정지시킨다.In addition, when a pair of first limit members 266a1 and 266a2 and a pair of second limit members 266b1 and 266b2 are used, a pair of first limit members 266a1 and 266a2 are used as a pair of first pairs. When passing through the limit sensors 264a1 and 264a2 or when the pair of second limit members 266b1 and 266b2 pass through the pair of second limit sensors 264b1 and 264b2, the pair of first limit sensors 264a1 264a2 or a pair of second limit sensors 264b1 and 264b2 transmit the sensed respective limit signals to the control device. The control device receives the respective limit signals and the feeding device 230 is in the normal operating position. Determining out of the state, the power applied to the first and second driving devices 250a and 250b is automatically cut off to stop the operation of the feeding device 230.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치의 구성 및 동작에 대해 기술하기로 한다.Hereinafter will be described the configuration and operation of the coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

다시 도 2a 내지 도 2f를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치(200)는 로딩 영역을 제공하는 제 1 부상 유닛(276a), 코팅 영역을 제공하는 제 2 부상 유닛(276b), 및 언로딩 영역을 제공하는 제 3 부상 유닛(276c)으로 구성되는 기판 부상 유닛; 상기 로딩 영역에서 상기 코팅 영역, 및 상기 코팅 영역에서 상기 언로딩 영역으로 기판(G)을 이송하는 기판 이송 장치(미도시); 상기 제 2 부상 유닛(276b) 상에서 상기 기판(G)을 이송하기 위한 이송 캐리어(220), 및 상기 이송 캐리어(220)의 피딩 장치(230)를 구비한 기판 이송 유닛(201); 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판(G) 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치(278); 및 상기 노즐 장치(278)가 장착되는 갠트리(미도시)를 포함한다. 여기서, 기판 이송 장치(미도시)는 기판(G)을 진공 흡착 방식으로 장착하여 이송하는 종래 기판 이송 장치(84)(도 1a 참조)로 구현될 수 있으며, 제 2 부상 유닛(276b)은 도 2a에 도시된 코팅 영역의 부상 유닛(276b)과 동일하다.Referring again to FIGS. 2A-2F, the coating apparatus 200 according to an embodiment of the present invention includes a first floating unit 276a for providing a loading area, a second floating unit 276b for providing a coating area, And a third floating unit 276c providing an unloading area; A substrate transfer device (not shown) for transferring the substrate (G) from the loading region to the coating region and from the coating region to the unloading region; A substrate transfer unit (201) having a transfer carrier (220) for transferring the substrate (G) on the second floating unit (276b), and a feeding device (230) of the transfer carrier (220); A nozzle device 278 provided on the coating area and applying a coating liquid on the substrate G; And a gantry (not shown) on which the nozzle device 278 is mounted. Here, the substrate transfer apparatus (not shown) may be implemented as a conventional substrate transfer apparatus 84 (see FIG. 1A) for mounting and transferring the substrate G in a vacuum suction method, and the second floating unit 276b is illustrated in FIG. Same as floating unit 276b of the coating area shown in 2a.

상술한 본 발명의 실시예에 따른 코팅 장치(200)에 사용되는 이송 캐리어(220)를 구비한 기판 이송 유닛(201)은 도 2a 내지 도 2f에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛(201)으로 구현될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 코팅 영역의 기판 이송 유닛(201)과 이송 캐리어(220)의 피딩 장치(230)의 구체적인 구성 및 동작은 도 2a 내지 도 2f를 참조하여 이미 상세히 기술하였으므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.The substrate transfer unit 201 having the transfer carrier 220 used in the coating apparatus 200 according to the embodiment of the present invention described above is provided with a coating area according to the embodiment of the present invention shown in FIGS. 2A to 2F. It may be implemented as a substrate transfer unit 201. Specific configurations and operations of the substrate transfer unit 201 and the feeding device 230 of the transfer carrier 220 in the coating area according to the embodiment of the present invention have been described in detail with reference to FIGS. It will be omitted.

상술한 바와 같이, 본 발명의 이송 캐리어의 피딩 장치, 및 이를 구비한 기판 이송 유닛 및 코팅 장치를 사용하면, 기판 상의 온도 편차 발생의 최소화 또는 방지, 기판 상에 일정 두께의 코팅액 도포가 가능하여 얼룩 발생 방지, 코팅 장치의 제조 비용 절감, 이물 유입 가능성 제거 및 그에 따른 기판의 하부의 스크래치 발생 및 2차 오염 발생 가능성 최소화 또는 제거, 프라이밍 롤의 사용이 불필요에 따른 코팅 장치의 전체 구성의 단순화, 및 예비 토출된 코팅액의 세정 동작과 기판의 이송 및 코팅액의 도포 동작의 연속적 수행 가능으로 인한 전체 공정시간의 감소 효과가 달성될 수 있다.As described above, by using the feeding device of the transfer carrier of the present invention, and the substrate transfer unit and coating device having the same, it is possible to minimize or prevent the occurrence of temperature deviation on the substrate, and to apply a coating liquid having a predetermined thickness on the substrate to prevent staining. Prevention of occurrence, reducing the manufacturing cost of the coating apparatus, eliminating the possibility of foreign material inflow and thus minimizing or eliminating the occurrence of scratches and secondary contamination of the lower part of the substrate, simplification of the overall composition of the coating apparatus without the use of a priming roll, and The effect of reducing the overall process time due to the continuous operation of the cleaning operation of the preliminarily discharged coating liquid, the transfer of the substrate and the application of the coating liquid can be achieved.

다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.Various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims. It is not. Accordingly, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be determined only in accordance with the following claims and their equivalents.

200: 코팅 장치 201: 기판 이송 장치 220: 이송 캐리어
222a,222b: 공급/회수 롤 및 회수/공급 롤 224a,224b: 이송 롤
228: 세정 장치 230: 피딩 장치 232a,232b: 구동 롤
232a1,232a2;232b1,232b2: 회전축 235a1,235a2;235b1,235b2: 베어링
234a1,234a2;234b1,234b2: 고정 지그 236a,236b: 지지 부재
240a,240b: 리니어 모션 가이드 250a,250b: 구동장치
260a,260b;260a1,260a2;260b1,260b2: 스케일 센서
262a,262b: 리니어 스케일 270a,270b: 베이스 플레이트
264a1,264a2;264b1,264b2: 리미트 센서
266a,266b;266a1,266a2;266b1,266b2: 리미트 부재
276a,276b,276c: 부상 유닛 278: 노즐 장치
200: coating apparatus 201: substrate transfer apparatus 220: transfer carrier
222a, 222b: feed / recovery roll and recovery / feed roll 224a, 224b: feed roll
228: cleaning device 230: feeding device 232a, 232b: drive roll
232a1,232a2; 232b1,232b2: rotating shaft 235a1,235a2; 235b1,235b2: bearing
234a1,234a2; 234b1,234b2: Fixing jig 236a, 236b: Support member
240a, 240b: Linear Motion Guide 250a, 250b: Drive
260a, 260b; 260a1,260a2; 260b1,260b2: scale sensor
262a, 262b: linear scale 270a, 270b: base plate
264a1,264a2; 264b1,264b2: limit sensor
266a, 266b; 266a1, 266a2; 266b1, 266b2: Limit member
276a, 276b, 276c: floating unit 278: nozzle unit

Claims (9)

코팅 장치에 있어서,
로딩 영역을 제공하는 제 1 부상 유닛, 코팅 영역을 제공하는 제 2 부상 유닛, 및 언로딩 영역을 제공하는 제 3 부상 유닛으로 구성되는 기판 부상 유닛;
상기 로딩 영역에서 상기 코팅 영역, 및 상기 코팅 영역에서 상기 언로딩 영역으로 기판을 이송하는 기판 이송 장치;
상기 제 2 부상 유닛 상에서 상기 기판을 이송하기 위한 이송 캐리어, 및 상기 이송 캐리어의 피딩 장치를 구비한 기판 이송 유닛;
상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치; 및
상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리
를 포함하는 코팅 장치.
In the coating apparatus,
A substrate floating unit comprising a first floating unit providing a loading area, a second floating unit providing a coating area, and a third floating unit providing an unloading area;
A substrate transfer device for transferring a substrate from the loading region to the coating region and from the coating region to the unloading region;
A substrate transfer unit having a transfer carrier for transferring the substrate on the second floating unit, and a feeding device of the transfer carrier;
A nozzle device provided on the coating area and applying a coating liquid on the substrate; And
Gantry to which the nozzle device is mounted
Coating device comprising a.
제 1항에 있어서,
상기 기판 이송 유닛은
상기 이송 캐리어를 공급 및 회수하기 위한 공급/회수 롤;
상기 이송 캐리어를 회수 및 공급하기 위한 회수/공급 롤;
상기 기판의 이송 방향을 따라 상기 부상 유닛의 양 측면에 제공되며, 상기 기판이 상기 코팅 영역 상에서 이동하도록 상기 이송 캐리어를 이송시키는 제 1 및 제 2 이송 롤; 및
상기 이송 캐리어 상에 예비 토출된 코팅액을 세정하기 위한 세정 장치
를 포함하고,
상기 피딩 장치는 서로 이격되어 나란히 제공되며, 상기 이송 캐리어를 왕복 이동시키도록 동일한 방향으로 회전 또는 역회전하는 제 1 및 제 2 구동 롤을 구비하며,
상기 제 1 및 제 2 구동 롤은 각각 상기 공급/회수 롤과 상기 제 1 이송 롤 사이 및 상기 회수/공급 롤과 상기 제 2 이송 롤 사이에 제공되며,
상기 피딩 장치는 상기 공급/회수 롤과 상기 회수/공급 롤 사이에서 상기 제 1 및 제 2 이송 롤을 통해 상기 이송 캐리어를 왕복 이동시키는
코팅 장치.
The method of claim 1,
The substrate transfer unit
A feed / recovery roll for supplying and withdrawing the transfer carrier;
A recovery / feed roll for recovering and supplying the transfer carrier;
First and second transfer rolls provided on both sides of the floating unit along a transfer direction of the substrate and transferring the transfer carrier to move the substrate on the coating area; And
Cleaning device for cleaning the coating liquid pre-discharged on the transfer carrier
Including,
The feeding device is provided side by side spaced apart from each other, and has a first and second drive roll to rotate or reverse rotation in the same direction to reciprocate the transfer carrier,
The first and second drive rolls are respectively provided between the supply / recovery roll and the first transfer roll and between the recovery / feed roll and the second transfer roll,
The feeding device reciprocates the transfer carrier through the first and second transfer rolls between the supply / recovery roll and the recovery / feed roll.
Coating device.
제 2항에 있어서,
상기 기판 이송 유닛은
상기 공급/회수 롤과 상기 피딩 장치 사이 및 상기 피딩 장치와 상기 제 1 이송 롤 사이에 제공되며, 상기 이송 캐리어의 장력을 유지하기 위한 복수의 제 1 보조 롤;
상기 회수/공급 롤과 상기 피딩 장치 사이 및 상기 피딩 장치와 상기 제 2 이송 롤 사이에 제공되며, 상기 이송 캐리어의 장력을 유지하기 위한 복수의 제 2 보조 롤;
상기 복수의 제 1 보조 롤 중 어느 하나의 제 1 보조 롤에 연결되며, 상기 이송 캐리어의 장력을 제어하기 위한 제 1 장력 제어 장치; 및
상기 복수의 제 2 보조 롤 중 어느 하나의 제 2 보조 롤에 연결되며, 상기 이송 캐리어의 장력을 제어하기 위한 제 2 장력 제어 장치
를 추가로 포함하는 코팅 장치.
The method of claim 2,
The substrate transfer unit
A plurality of first auxiliary rolls provided between said feed / recovery roll and said feeding device and between said feeding device and said first transfer roll, for maintaining tension of said transfer carrier;
A plurality of second auxiliary rolls provided between the recovery / supply roll and the feeding device and between the feeding device and the second transfer roll to maintain tension of the transfer carrier;
A first tension control device connected to any one of the plurality of first auxiliary rolls to control the tension of the transfer carrier; And
A second tension control device connected to one of the second auxiliary rolls of the plurality of second auxiliary rolls to control the tension of the transfer carrier;
Coating device further comprising a.
제 3항에 있어서,
상기 기판 이송 유닛은
상기 이송 캐리어에서 발생하는 정전기를 제거하기 위한 하나 이상의 제전 장치; 및
상기 이송 캐리어 상의 이물을 제거하기 위한 복수의 이물 제거 장치
를 추가로 포함하는 코팅 장치.
The method of claim 3,
The substrate transfer unit
At least one antistatic device for removing static electricity from the transfer carrier; And
A plurality of foreign matter removing apparatus for removing foreign matter on the transfer carrier
Coating device further comprising a.
제 4항에 있어서,
상기 복수의 이물 제거 장치는 진공 펌핑 장치를 이용한 진공 흡입 방식 또는 에어 공급 장치를 이용한 에어 블로우 방식으로 상기 이물을 제거하는 코팅 장치.
5. The method of claim 4,
The plurality of foreign matter removing apparatus is a coating apparatus for removing the foreign matter by a vacuum suction method using a vacuum pumping device or an air blow method using an air supply device.
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 피딩 장치는
상기 제 1 및 제 2 구동 롤의 각각의 한 쌍의 제 1 및 제 2 회전축이 회전 가능하게 장착되는 제 1 및 제 2 지지 부재;
상기 제 1 및 제 2 지지 부재의 하부에 제공되며, 상기 제 1 및 제 2 지지 부재를 각각 이동시키는 제 1 및 제 2 리니어 모션 가이드;
상기 제 1 및 제 2 지지 부재의 각각의 하부 일측에 연결되며, 상기 제 1 및 제 2 지지 부재를 구동하는 제 1 및 제 2 구동장치;
상기 제 1 및 제 2 지지 부재의 각각의 하부 타측에 장착되며, 상기 피딩 장치의 미리 정해진 기준점을 확인하기 위한 제 1 및 제 2 스케일 센서; 및
상기 제 1 및 제 2 리니어 모션 가이드의 방향을 따라 상기 제 1 및 제 2 스케일 센서의 하부에 제공되는 제 1 및 제 2 리니어 스케일
을 포함하는 코팅 장치.
The method according to any one of claims 1 to 5,
The feeding device
First and second support members rotatably mounted with a pair of first and second rotational shafts of each of the first and second drive rolls;
First and second linear motion guides provided below the first and second support members to move the first and second support members, respectively;
First and second driving devices connected to one lower side of each of the first and second support members and driving the first and second support members;
First and second scale sensors mounted on the other lower side of each of the first and second support members and configured to identify a predetermined reference point of the feeding device; And
First and second linear scales provided below the first and second scale sensors in a direction of the first and second linear motion guides;
≪ / RTI >
제 6항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 스케일 센서가 각각 상기 제 1 및 제 2 지지 부재의 각각의 상기 하부 타측에 장착되며, 상기 피딩 장치의 미리 정해진 기준점을 확인하기 위한 한 쌍의 제 1 스케일 센서 및 한 쌍의 제 2 스케일 센서로 구현되는 코팅 장치.
The method according to claim 6,
The first and second scale sensors are mounted on the other lower side of each of the first and second support members, respectively, and a pair of first scale sensors and a pair of pairs for checking a predetermined reference point of the feeding device. Coating device implemented with a second scale sensor.
제 6항에 있어서,
상기 피딩 장치가
상기 제 1 및 제 2 지지 부재의 각각의 외측면에 서로 이격되어 장착되는 한 쌍의 제 1 리미트 부재 및 한 쌍의 제 2 리미트 부재; 및
상기 한 쌍의 제 1 리미트 부재 및 상기 한 쌍의 제 2 리미트 부재의 각각의 하부에서 서로 이격되어 제공되며, 상기 한 쌍의 제 1 및 제 2 리미트 부재의 통과 여부에 따라 상기 피딩 장치의 정상 동작 위치 범위를 확인하기 위한 한 쌍의 제 1 리미트 센서 및 한 쌍의 제 2 리미트 센서
를 추가로 포함하는 코팅 장치.
The method according to claim 6,
The feeding device
A pair of first limit members and a pair of second limit members mounted on each outer surface of said first and second support members spaced apart from each other; And
Provided at a lower portion of each of the pair of first limit members and the pair of second limit members, the normal operation of the feeding device according to whether the pair of first and second limit members have passed; A pair of first limit sensors and a pair of second limit sensors to confirm the position range
Coating device further comprising a.
제 6항에 있어서,
상기 피딩 장치가
상기 제 1 및 제 2 지지 부재의 각각의 외측면에 서로 이격되어 장착되는 한 쌍의 제 1 리미트 부재 및 한 쌍의 제 2 리미트 부재; 및
상기 한 쌍의 제 1 리미트 부재 및 상기 한 쌍의 제 2 리미트 부재의 각각의 하부에서 서로 이격되어 제공되며, 상기 한 쌍의 제 1 및 제 2 리미트 부재의 통과 여부에 따라 상기 피딩 장치의 정상 동작 위치 범위를 확인하기 위한 한 쌍의 제 1 리미트 센서 및 한 쌍의 제 2 리미트 센서
를 추가로 포함하는 코팅 장치.
The method according to claim 6,
The feeding device
A pair of first limit members and a pair of second limit members mounted on each outer surface of said first and second support members spaced apart from each other; And
Provided at a lower portion of each of the pair of first limit members and the pair of second limit members, the normal operation of the feeding device according to whether the pair of first and second limit members have passed; A pair of first limit sensors and a pair of second limit sensors to confirm the position range
Coating device further comprising a.
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