KR101200296B1 - Light orientation illuminating apparatus used a polarizer for LCD display - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정패널소자 제조용으로 대면적에 대응 가능하고 패널상에서의 임의의 방향으로 배향 방향을 조정가능하여 편광각 분포와 소광비를 개선할 수 있는 편광자를 이용한 액정표시소자의 광배향 조사장치에 관한 것으로, 광을 발산하는 램프; 상기 램프로부터 발산되는 광을 집광하는 집광경; 상기 집광경에 의해 집광된 광의 조도분포를 균일하게 하기 위한 플라이아이 렌즈; 상기 플라이아이 렌즈를 지난 광 중 필요한 파장의 광만 통과시키는 밴드패스 필터; 상기 플라이아이 렌즈에 의해 확산되는 상기 밴드패스 필터를 통과한 광을 평행하게 보정하는 콜리메이션 렌즈; 상기 콜리메이션 렌즈를 지난 광을 편광시키는 편광부; 상기 편광부에 의한 편광광의 조사면적의 배율을 조정하기 위하여 서로 배향하도록 배치되는 한쌍의 구면경을 포함하고, 상기 편광부에 유입되는 광을 차단할 수 있는 셔터가 상기 집광경 이후로부터 상기 편광부 직전의 위치에 선택적으로 배치된다.The present invention relates to a light alignment irradiation device of a liquid crystal display device using a polarizer capable of coping with a large area for manufacturing a liquid crystal panel device and an orientation direction can be adjusted in an arbitrary direction on the panel to improve the polarization angle distribution and extinction ratio. A lamp for emitting light; A condenser for condensing light emitted from the lamp; A fly's eye lens for uniformizing an illuminance distribution of light collected by the condenser; A bandpass filter passing only the light having a required wavelength among the light passing through the fly's eye lens; A collimation lens configured to parallelly correct light passing through the band pass filter diffused by the fly's eye lens; A polarizer which polarizes light passing through the collimation lens; A pair of spherical mirrors arranged to orient each other to adjust the magnification of the irradiation area of the polarized light by the polarizing unit, and a shutter capable of blocking the light flowing into the polarizing unit is a position immediately after the condensing mirror immediately before the polarizing unit; Is optionally disposed.
Description
본 발명은 편광자를 이용한 액정표시소자의 광배향 조사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정패널소자 제조용으로 대면적에 대응 가능하고 패널상에서의 임의의 방향으로 배향 방향을 조정가능하여 편광각 분포와 소광비를 개선할 수 있는 편광자를 이용한 액정표시소자의 광배향 조사장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a photo-alignment irradiation apparatus of a liquid crystal display device using a polarizer, and more particularly, to a large area for manufacturing a liquid crystal panel device, and to adjust the alignment direction in any direction on the panel, The present invention relates to an optical alignment device of a liquid crystal display device using a polarizer capable of improving extinction ratio.
액정소자의 상하판에는 액정을 특정한 방향으로 배향시키기 위한 배향막이 구성되어 있다. 보통 배향막은 표면에 러빙이라는 처리를 실시하여 특정한 방향으로 미세홈을 만들고, 액정 분자들은 이 홈을 따라 방향성을 가지고 배열하게 되는데, 이를 러빙 배향이라 한다.The upper and lower plates of the liquid crystal element are configured with an alignment film for orienting the liquid crystal in a specific direction. Usually, the alignment film is subjected to a treatment called rubbing on the surface to form microgrooves in a specific direction, and the liquid crystal molecules are arranged with orientation along the groove, which is called rubbing orientation.
최근에는 이러한 러빙배향이 가지는 단점을 극복하기 위해서 배향박에 편광된 빛을 조사하여 폴리이미드 등의 박막중의 특정 방향만의 폴리머만 광화학반응에 의해 분극이나 구조변화시키는 방법이 사용된다.Recently, in order to overcome the disadvantages of such a rubbing orientation, a method of polarizing or changing the structure by photochemical reaction of only a polymer in a specific direction in a thin film such as polyimide by irradiating polarized light onto an oriented foil is used.
이와 같은 광배향 방법에서는 조사하는 편광광에는 대부분 자외선을 사용한다. 이러한 광배향 조사장치(100)의 일반적인 형태는 도 1에 도시된 바와 같이, 광을 발생하는 램프(102)와, 상기 램프(102)에 의해 방출된 광을 집과하는 집광경(104)과, 상기 집광경(104)에 의해 집광된 광의 분포를 균일하게 하는 플라이아이렌즈(Fly eye lens)(108)와, 빛을 선택적으로 차단하는 셔터(110)와, 상기 플라이아이렌즈(108)를 지나서 퍼지는 광을 평행광으로 만드는 콜리메이션 렌즈(114)와, 상기 콜리메이션 렌즈(114)를 지난 광을 편광시키는 편광자(116)룰 포함하여 구성된다. 상기 편광자(116)를 지난 편광광은 작업편(118)에 균일하게 조사하게 된다.In such a photoalignment method, ultraviolet rays are mostly used for the polarized light to be irradiated. As shown in FIG. 1, a general form of the
이러한 광배치 방법에서, 대면적 조사 영역의 확보를 위해서는 조사면 앞단에 있는 편광자의 대형화가 필요하게 된다. 또한, 입사빔의 각도가 커져 소광비가 저하되고 편광각의 분포를 깨뜨리는 것을 극복하기 위해 도 2와 같이 편광자(116) 전단에 콜리메이션 렌즈(114)를 두어 입사광을 평행하게 만든다. 그러나, 여전히 편광자가 조사면적에 따라 너무 커진다는 문제점이 있다.In this optical arrangement method, in order to secure a large area irradiation area, it is necessary to enlarge the polarizer in front of the irradiation surface. In addition, the
이러한 편광자(116) 크기에 따른 문제점을 극복하기 위해 종래 기술에서는 집광경에서 나온 광이 제1평면경을 지나 광이 모이는 플라이아이 렌즈의 입사단이나 출사단에 두어 편광자 크기를 줄이는 방법을 사용한다. In order to overcome the problems caused by the size of the
도 2에서는 편광자(208)가 플라이아이렌즈(210)의 입사단에 배치되고 있으며, 상기 플라이아이렌즈(210)의 출사단에 밴드패스 필터(214)를 두고 있다. 따라서, 램프(202)로부터 방출된 광은 집광경(204)에 의해 집광돼서 상기 편광자(208)에 편광된 후에 상기 플라이아이렌즈(210)에서 균일분포를 이루면서 셔터(212)를 지나 밴드패스 필터(214)를 통과한 후 작업편(218)에 도달하게 된다. 상기 밴드패스 필터(214)는 종래기술에서 일반적으로 상기 편광자(208)의 후단에 두고 있으며, 필요없는 파장을 제거하는 역할을 한다.In FIG. 2, a
도 3의 경우는 도 2와 유사하나, 밴드패스 필터(314)를 지난 광을 평행광으로 보정하는 콜리메이션 렌즈(318)와, 멀티 도메인법에 의한 노광 처리를 행하기 위한 얼라인먼트 현미경(320)과 마스크(322)가 추가된다.3 is similar to FIG. 2 except that the
그러나, 도 2 및 도 3과 같이, 집광경에서 나온 광선을 곧바로 편광자에 통과시키는 경우, 집광경에서 나온 광선은 입사각이 커서 편광자를 통과한 편광광은 소광비가 저하되고 편광각 분포를 나쁘게 한다. However, as shown in FIGS. 2 and 3, when the light beam emitted from the condenser is directly passed through the polarizer, the light beam emitted from the condenser has a large incident angle, so that the extinction ratio is lowered and the polarization angle distribution is worse.
따라서, 도 4에 도시된 바와 같이 도 3과 같은 구성에서 편광자(310)의 전단에 인풋렌즈(408)를 두거나, 도 6에 도시된 바와 같이 플라이아이 렌즈(608) 후단에 편광자(612)가 배치되는 경우에 상기 편광자(612)의 전후단에 인풋렌즈(610)와 아웃풋렌즈(614)를 두어 입사각의 크기를 줄이는 방법을 사용하기도 했다.Therefore, as shown in FIG. 4, the
또, 집광경(504)에서 나온 광선이 집광되는 플라이아이렌즈(510) 부근에는 고온의 열이 발생하기 때문에 종래의 다층막 코팅으로 제작된 편광자의 경우 손상의 우려가 있기 때문에 도 5에 도시된 바와 같이 브루스터 각도를 이용한 적층식 편광판(508)을 사용하기도 한다.In addition, since high temperature heat is generated in the vicinity of the fly's
대형 액정표시소자의 광배향에 있어서, 도 1과 같이 편광자(116)를 조사영역이 있는 최종단에 위치 시킬 경우 편광자(116)와 콜리메이션 렌즈(114)의 크기가 너무 커지는 문제점 있어 제작상 불가능하게 된다.In the optical alignment of the large LCD, when the
또한, 도 2 및 도 3의 경우처럼 플라이아이렌즈(210,310) 전단에 편광자(208,308)가 위치할 경우 편광자(208,308)에 입사되는 광선이 평행광이 되지 않게 되고, 이런 경우에는 소광비가 저하되고 전체 조사영역에 대한 소광비 분포가 나빠지게 된다. 또한, 다층막을 이용한 편광자의 경우 고온의 열로 인한 막의 손상을 초래하는 문제점이 있다.2 and 3, when the
또, 도 5에서처럼 브루스터 각도를 이용한 적층식 편광자(508)를 사용하는 경우에는, 입사광이 평행광이 아니기 때문에 소광비 및 편광각도 방향의 분포가 저하된다.In addition, in the case of using the
그리고, 도 4와 도 6에서처럼 편광자(410,612)를 플라이아이렌즈(412,608)의 전단 또는 후단에 두고, 추가적으로 인풋/아웃풋렌즈(408,610,614)를 적용하게 되면 상기 플라이아이렌즈(412,608)에 의해서 광의 분포는 균일해지고 인풋/아웃풋렌즈(408,610,614)에 의해서 광선이 평행하게 되어서 소광비 및 편광각 개선의 효과는 있으나, 최종 조사영역의 확대 과정에서 광선의 경사각이 커지게 되므로 마스크를 통과한 광선의 균일도가 저하된다.
4 and 6, the
상기의 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 액정패널소자 제조용으로 대면적에 대응 가능하고 패널상에서의 임의의 방향으로 배향 방향을 조정가능하여 편광각 분포와 소광비를 개선할 수 있는 편광자를 이용한 액정표시소자의 광배향 조사장치를 제공하는 데에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention devised to solve the above problems is a polarizer capable of coping with a large area for liquid crystal panel device manufacturing and adjusting an orientation direction in an arbitrary direction on a panel to improve polarization angle distribution and extinction ratio. An object of the present invention is to provide an optical alignment device for a liquid crystal display device.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 광을 발산하는 램프; 상기 램프로부터 발산되는 광을 집광하는 집광경; 상기 집광경에 의해 집광된 광의 조도분포를 균일하게 하기 위한 플라이아이 렌즈; 상기 플라이아이 렌즈를 지난 광 중 필요한 파장의 광만 통과시키는 밴드패스 필터; 상기 플라이아이 렌즈에 의해 확산되는 상기 밴드패스 필터를 통과한 광을 평행하게 보정하는 콜리메이션 렌즈; 상기 콜리메이션 렌즈를 지난 광을 편광시키는 편광부; 상기 편광부에 의한 편광광의 조사면적의 배율을 조정하기 위하여 서로 배향하도록 배치되는 한쌍의 구면경을 포함하고, 상기 편광부에 유입되는 광을 차단할 수 있는 셔터가 상기 집광경 이후로부터 상기 편광부 직전의 위치에 선택적으로 배치되는 광배향 조사장치이다.The present invention for achieving the above object, the lamp for emitting light; A condenser for condensing light emitted from the lamp; A fly's eye lens for uniformizing an illuminance distribution of light collected by the condenser; A bandpass filter passing only the light having a required wavelength among the light passing through the fly's eye lens; A collimation lens configured to parallelly correct light passing through the band pass filter diffused by the fly's eye lens; A polarizer which polarizes light passing through the collimation lens; A pair of spherical mirrors arranged to orient each other to adjust the magnification of the irradiation area of the polarized light by the polarizing unit, and a shutter capable of blocking the light flowing into the polarizing unit is a position immediately after the condensing mirror immediately before the polarizing unit; It is a photo-alignment irradiation device selectively disposed on.
상기 한쌍의 구면경 사이에는 조리개가 배치되는 것을 특징으로 한다.The diaphragm may be disposed between the pair of spherical mirrors.
또, 상기 편광부는 서로 마주보는 한쌍의 편광자를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the polarizing unit is characterized in that it comprises a pair of polarizers facing each other.
또, 상기 편광자는 광의 입사방향에 대하여 브루스터 각도로 경사지고, 상호 선대칭을 이루도록 마주보는 것을 특징으로 한다.In addition, the polarizer is inclined at a Brewster angle with respect to the direction of incidence of light, characterized in that they face each other to form a line symmetry.
또, 상기 편광자는 상기 편광부의 몸체를 구성하는 편광하우징의 내부에 장착되는 로터지지부재에 대하여 회전가능하도록 설치되는 로터의 회전중심에 일체로 형성되는 편광자암에 고정되는 것을 특징으로 한다.The polarizer may be fixed to a polarizer arm which is integrally formed at the center of rotation of the rotor installed to be rotatable with respect to the rotor support member mounted inside the polarization housing constituting the body of the polarizer.
또, 상기 편광자는 상기 편광자암의 단부에 각도조정힌지에 의해 각도조정이 가능하도록 고정되는 것을 특징으로 한다.The polarizer may be fixed to an end of the polarizer arm by an angle adjusting hinge.
또, 상기 편광자는 상기 편광자암의 단부에 고정되는 편광자홀더에 복수의 편광판을 적층하여 형성되는 것을 특징으로 한다.
The polarizer may be formed by stacking a plurality of polarizing plates on a polarizer holder fixed to an end of the polarizer arm.
본 발명에 따른 광배향 조사장치는 액정패널소자 제조용으로 대면적에 대응 가능하고 패널상에서의 임의의 방향으로 배향 방향을 조정가능하여 편광각 분포와 소광비를 개선할 수 있다.
The optical alignment irradiating apparatus according to the present invention can cope with a large area for the manufacture of liquid crystal panel elements and can adjust the orientation direction in any direction on the panel to improve the polarization angle distribution and extinction ratio.
도 1은 종래기술에 따른 광배향 조사장치의 제1예의 개략도이다.
도 2는 종래기술에 따른 광배향 조사장치의 제2예의 개략도이다.
도 3은 종래기술에 따른 광배향 조사장치의 제3예의 개략도이다.
도 4는 종래기술에 따른 광배향 조사장치의 제4예의 개략도이다.
도 5는 종래기술에 따른 광배향 조사장치의 제5예의 개략도이다.
도 6은 종래기술에 따른 광배향 조사장치의 제6예의 개략도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 광배향 조사장치의 개략도이다.
도 8은 도 7의 광배향 조사장치에 사용되는 편광부의 구성도이다.
도 9는 도 7의 광배향 조사장치의 변형예의 개략도이다.1 is a schematic diagram of a first example of a photo-alignment irradiation apparatus according to the prior art.
2 is a schematic diagram of a second example of a photo-alignment irradiation apparatus according to the prior art.
3 is a schematic diagram of a third example of a photo-alignment irradiation apparatus according to the prior art.
4 is a schematic diagram of a fourth example of a photo-alignment irradiation apparatus according to the prior art.
5 is a schematic diagram of a fifth example of a photo-alignment irradiation apparatus according to the prior art.
6 is a schematic diagram of a sixth example of a photo-alignment irradiation apparatus according to the prior art.
7 is a schematic view of an optical alignment apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is a configuration diagram of a polarizer used in the photoalignment irradiation apparatus of FIG. 7.
FIG. 9 is a schematic diagram of a modification of the light alignment irradiation device of FIG. 7. FIG.
이하, 본 발명을 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 하기의 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In adding reference numerals to components of the following drawings, it is determined that the same components have the same reference numerals as much as possible even if displayed on different drawings, and it is determined that they may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention. Detailed descriptions of well-known functions and configurations will be omitted.
본 발명의 실시예에 따른 광배향 조사장치(700)는 도 7에 도시된 바와 같이, 광을 발산하는 램프(702)와, 상기 램프(702)로부터 발산되는 광을 집광하는 집광경(704)과, 상기 집광경(704)에 의해 집광된 광을 단속하는 셔터(708)와, 상기 셔터(708)를 통과하여 집광된 광의 조도분포를 균일하게 하기 위한 플라이아이 렌즈(710)와, 상기 플라이아이 렌즈(710)를 지난 광 중 필요한 파장의 광만 통과시키는 밴드패스 필터(712)와, 상기 플라이아이 렌즈(710)에 의해 확산되는 광을 평행하게 보정하는 콜리메이션 렌즈(714)와, 상기 콜리메이션 렌즈(714)를 지난 광을 편광시키는 편광부(716)와, 상기 편광부(716)에 의한 편광광의 조사면적의 배율을 조정하기 위한 제1구면경(724) 및 제2구면경(726)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 7, the optical
상기 램프(702)는 자외선을 방출하는 공지의 기술이며, 상기 집광경(704)은 상기 램프(702)에 의한 광을 모아서 상기 셔터(708)를 향해 나아가도록 한다.The
본 발명의 실시예에서는 셔터(708)를 집광경(704)의 후단에 배치시켰으며, 그 위치는 상기 플라이렌즈(710)의 후단, 상기 밴드패스 필터(712)의 후단 등에도 배치가 가능하지만, 광의 폭이 좁아서 집광경(704)의 후단에 배치시키는 것이 바람직하다.In the exemplary embodiment of the present invention, the
또, 상기 플라이아이 렌즈(710), 상기 밴드패스 필터(712), 및 상기 콜리메이션 렌즈(714) 순의 배치는 공지의 기술과 마찬가지로, 광의 분포를 좋게 한 후 필요대역의 광을 선별하여 확산되는 광을 평행광으로 바꾸어, 상기 편광부(716)에 입사시킨다.The fly-
상기 편광부(716)에 입사된 광의 편광각 분포와 소광비 분포를 좋게하기 위해서는 상기 편광부(716)에 입사되는 빔이 평행광이 되어야 하고 균일한 조도 분포를 가져야 하기 때문에 상기 편광부(716)는 도 7과 같이 상기 플라이아이 렌즈(710) 및 상기 콜리메이션 렌즈(714)의 후단에 위치하게 된다. 특히, 브루스터 앵글을 이용한 편광자(718,720)의 경우 입사광선이 평행하지 않으면 소광비가 나빠지게 되고, 플라이아이 렌즈(710)를 이용하여 조도 분포를 균일하게 하지 않으면 바깥부분에서 조도저하 및 편광각 방향의 균일도를 저하시키기 때문에 이러한 광배치 방법으로 이러한 단점을 극복할 수 있다.In order to improve the polarization angle distribution and the extinction ratio distribution of the light incident on the
상기 편광부(716)는 브루스터 각도만큼 기울어지고 다수의 적층구조로 만들어 쌍으로 구성한 편광자(718,720)를 포함하여 구성된다. 특히, 상기 편광부(716)는 도 8에 도시된 바와 같이, 임의의 편광 방향으로 광배향이 가능하도록 구성된다. 이러한 상기 편광부(716)는 상기 편광자(718,720)를 ±90도 회전 가능하도록, 몸체를 이루는 편광하우징(752)의 내벽면에 고정된 설치브라켓(750)에 고정되는 로터지지부재(748)와, 상기 로터지지부재(748)에 회전가능하도록 로터베어링(744,746)에 의해 지지되는 한쌍의 로터(740,742)와, 상기 로터(740,742)의 회전중심에서 돌출되도록 형성되는 편광자암(736,738)에 고정되는 상기 편광자(718,720)를 포함한다.The
특히, 상기 편광자(718,720)는 상기 로터지지부재(748)를 중심면으로 하여 서로 대칭되게 배치돼서, 상기 편광자(718,720)가 회전할 경우 중심 광축이 회전과 함께 변하지 않도록 하였다. 이렇게 하면 상기 편광부(716)의 조사면에서 P파의 방향이 360도 임의의 어느 각도라도 대응이 가능하며 중심 광축이 변하지 않아 조사면적도 변하지 않는다. In particular, the
또한, 상기 편광자(718,720)는 소광비를 높이기 위하여 브루스터 각도를 조정할 수 있도록 각도조정힌지(754,756) 위에 장착되어 있다. 또, 상기 편광자(718,720)는 편광자홀더(758,760)에 복수의 편광판을 적층하여 이루어지며, 상기 편광판의 적층수는 필요에 따라 조절할 수 있다.In addition, the
그리고, 상기 편광부(716)에 의한 편광광의 조사면적을 크게하면서 평행광을 유지하고, 편광각 분포의 개선을 위해서 상기 편광부(716) 다음에는 쌍으로 구성된 구면경(724,726)이 서로 배향되도록 배치된다. 구면경(724,726)을 쌍으로 구성할 경우, 도 7과 같이 제1구면경(724)과 제2구면경(726)의 광선의 반사 각도를 서로 반대로 두게 되면 편광각 방향이 서로 반대가 되어 상쇄효과를 보여 편광각 방향의 균일도가 좋게 된다. In addition, the parallel light is maintained while increasing the irradiation area of the polarized light by the
그러나, 경우에 따라서는 실시예2에 따른 도 8과 같이 제1구면경(824)과 제2구면경(826)의 광선의 반사각도를 서로 같은 방향으로 할 수도 있는데 이렇게 배치할 경우 편광각 방향이 같은 방향으로 누적되어 편광각 방향의 균일도가 저하된다.However, in some cases, as shown in FIG. 8 according to the second embodiment, the reflection angles of the light rays of the first spherical mirror 824 and the second
또, 제1구면경(724)과 제2구면경(726) 사이에 조리개(728)를 두면 조도의 손실은 조금 있으나 편광각 방향의 분포를 줄일 수 있다. 즉, 상기 조리개(728)는 편광각 방향의 틀어짐을 보정하여 전체 조사영역에 대해서 편광각 방향의 균일도를 개선시킬 수 있다.In addition, if the
그리고, 상기 광배향 조사장치(700)에는 광의 경로를 바꿔주기 위한 제1 내지 제3평면경(706,722,730)이 포함된다. 상기 제1평면경(706)은 상기 집광경(804)과 상기 셔터(708) 사이에 위치하고, 상기 제2평면경(722)은 상기 편광자(716)와 상기 제1구면경(724) 사이에 위치하며, 상기 제3평면경(730)은 상기 제2구면경(726)과 작업편(732) 사이에 위치한다. 상기 제1 내지 제3평면경(706,722,730)은전체적인 광배향 조사장치(700)를 구성하면서 그 위치가 조정될 수 있다.In addition, the
상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
As described above, it has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, but those skilled in the art various modifications and changes of the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below I can understand that you can.
100,200,300,400,500,600,700,701: 광배향 조사장치
102,202,302,402,502,602,702: 램프
104,204,304,404,504,604,704: 집광경
106,206,306,406,506,606,706: 제1반사경
108,210,310,412,510,608,710: 플라이아이렌즈
110,212,312,414,512,616,708: 셔터
112,216,316,418,514,618,722: 제2반사경
114,318,714: 콜리메이션 렌즈
116,208,308,410,508,612,712,718: 편광자
118,218,324,420,516,620: 작업편
214,314,416,712: 밴드패스 필터
320: 얼라인먼트 현미경 322: 마스크
610: 인풋렌즈 614: 아웃풋렌즈
716: 편광부 724: 제1구면경
726: 제2구면경 728: 조리개
730: 제3반사경 732: 작업편
736,738: 편광자암 740,742: 로터
744,746: 로터베어링 748: 로터지지부재
750: 설치브라켓 752: 편광하우징
754,756: 각도조정힌지 758,760: 편광자홀더100,200,300,400,500,600,700,701: Optical alignment survey device
102,202,302,402,502,602,702: lamp
104,204,304,404,504,604,704: Condenser
106,206,306,406,506,606,706: First Reflector
108,210,310,412,510,608,710: fly's eye lens
110,212,312,414,512,616,708: Shutter
112,216,316,418,514,618,722: second reflector
114,318,714: Collimation Lens
116,208,308,410,508,612,712,718: polarizer
118,218,324,420,516,620: Workpiece
214,314,416,712: Bandpass Filter
320: alignment microscope 322: mask
610: input lens 614: output lens
716: polarizer 724: first spherical mirror
726: second sphere diameter 728: aperture
730: third reflector 732: the workpiece
736,738: polarizer arm 740,742: rotor
744,746 rotor bearing 748 rotor support member
750: mounting bracket 752: polarized housing
754,756: Angle adjustment hinge 758,760: Polarizer holder
Claims (7)
상기 램프(702)로부터 발산되는 광을 집광하는 집광경(704);
상기 집광경(704)에 의해 집광된 광의 조도분포를 균일하게 하기 위한 플라이아이 렌즈(710);
상기 플라이아이 렌즈(710)를 지난 광 중 필요한 파장의 광만 통과시키는 밴드패스 필터(712);
상기 플라이아이 렌즈(710)에 의해 확산되는 상기 밴드패스 필터(712)를 통과한 광을 평행하게 보정하는 콜리메이션 렌즈(714);
상기 콜리메이션 렌즈(714)를 지난 광을 편광시키는 편광부(716); 및
상기 편광부(716)에 의한 편광광의 조사면적의 배율을 조정하기 위하여 서로 배향하도록 배치되는 한쌍의 구면경(724,726)을 포함하고,
상기 편광부(716)에 유입되는 광을 차단할 수 있는 셔터(708)가 상기 집광경(704) 이후로부터 상기 편광부(716) 직전의 위치에 선택적으로 배치되는 광배향 조사장치.
A lamp 702 that emits light;
A condenser 704 for condensing light emitted from the lamp 702;
A fly's eye lens 710 for uniformizing an illuminance distribution of the light collected by the condensing mirror 704;
A bandpass filter 712 which passes only the light having a required wavelength among the light passing through the fly's eye lens 710;
A collimation lens 714 for correcting parallel the light passing through the band pass filter 712 diffused by the fly's eye lens 710;
A polarizer 716 for polarizing light passing through the collimation lens 714; And
In order to adjust the magnification of the irradiation area of the polarized light by the polarizing unit 716 includes a pair of spherical mirrors (724,726),
And a shutter (708) capable of blocking light entering the polarizer (716) is selectively disposed at a position immediately after the condenser (704) at the position just before the polarizer (716).
2. An apparatus according to claim 1, wherein an aperture (728) is disposed between the pair of spherical mirrors (724,726).
The apparatus of claim 1, wherein the polarizer 716 includes a pair of polarizers 718 and 720 facing each other.
4. The apparatus of claim 3, wherein the polarizers (718, 720) are inclined at Brewster's angle with respect to the direction of incidence of light and face each other to form mutually symmetry.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100074060A KR101200296B1 (en) | 2010-07-30 | 2010-07-30 | Light orientation illuminating apparatus used a polarizer for LCD display |
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Publication Number | Publication Date |
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KR20120012118A KR20120012118A (en) | 2012-02-09 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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