KR101199303B1 - microfluidic device - Google Patents

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KR101199303B1 KR1020090026261A KR20090026261A KR101199303B1 KR 101199303 B1 KR101199303 B1 KR 101199303B1 KR 1020090026261 A KR1020090026261 A KR 1020090026261A KR 20090026261 A KR20090026261 A KR 20090026261A KR 101199303 B1 KR101199303 B1 KR 101199303B1
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Abstract

본 발명은 미세 유체 소자를 제공한다. 이 미세 유체 소자는 시료 유체가 투입되어 저장되는 저장 챔버; 상기 시료 유체 내의 특정물질을 감지하는 감지 챔버; 세정액을 저장하는 세정액 저장 챔버; 상기 챔버들을 연결하는 유로들; 및 상기 세정액을 이송시키는 미세펌프를 포함하며, 소량의 시료 유체만으로도 정확한 검사를 수행할 수 있다.

Figure R1020090026261

미세 유체 제어, 플라스틱 칩, 소수성 밸브, 화학 반응 펌프, 면역반응칩

The present invention provides a microfluidic device. The microfluidic device comprises a storage chamber into which sample fluid is injected and stored; A sensing chamber for sensing a specific substance in the sample fluid; A cleaning liquid storage chamber for storing the cleaning liquid; Flow paths connecting the chambers; And a micropump to transfer the cleaning liquid, it is possible to perform an accurate test even with a small amount of sample fluid.

Figure R1020090026261

Microfluidic Control, Plastic Chip, Hydrophobic Valve, Chemical Reaction Pump, Immune Reaction Chip

Description

미세 유체 소자{microfluidic device}Microfluidic device

본 발명은 미세유체소자에 관한 것이다. The present invention relates to a microfluidic device.

본 발명은 지식경제부 및 정보통신연구진흥원의 IT원천기술개발 사업의 일환으로 수행한 연구로부터 도출된 것이다[과제관리번호: 2006-S-007-03, 과제명: 유비쿼터스 건강관리용 모듈 시스템]The present invention is derived from a study conducted as part of the IT source technology development project of the Ministry of Knowledge Economy and the Ministry of Information and Communication Research and Development.

미세 유체 소자들은 정확하고 세밀한 유체제어가 필요한 단백질칩, DNA칩, 약물전달시스템(drug delivery system)미세 생물/화학 분석기(micro total analysis system), 생물/화학 반응기(micro reactor)를 포함하는 랩온어칩에 다양하게 적용되고 있다. Microfluidic devices are lab-on-the-air, including protein chips, DNA chips, drug delivery systems, micro-total analysis systems, and micro-reactors that require precise and precise fluid control. It is applied to a variety of chips.

일반적인 미세 유체 소자에서는 기본적으로 모세관력에 기초한 유체의 유동을 이용한다. 미세 유체 소자에서는 시료 유체 내에 포함된 특정 물질에 대한 감도를 향상시키기 위해, 시료 유체의 이동 속도를 제어하는 것이 중요하다. 이를 위해 다양한 방법들이 연구되고 있으나, 종래의 미세 유체 소자는 많은 양의 시료 유체를 필요로 하며, 유체 이송 속도의 제어에 어려움이 있다. In general microfluidic devices, basically, the flow of a fluid based on capillary force is used. In microfluidic devices, it is important to control the rate of movement of the sample fluid in order to improve the sensitivity to certain materials contained in the sample fluid. Various methods have been studied for this purpose, but the conventional microfluidic device requires a large amount of sample fluid, and has difficulty in controlling the fluid transfer speed.

따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 적은 양의 시료 유체로 정확한 검사를 할 수 있는 미세 유체 소자를 제공하는데 있다. Accordingly, the problem to be solved by the present invention is to provide a microfluidic device capable of accurate inspection with a small amount of sample fluid.

또한 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 시료 유체의 이동을 순차적으로 제어할 수 있는 미세 유체 소자를 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a microfluidic device capable of sequentially controlling the movement of a sample fluid.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 미세 유체 소자는, 시료 유체가 투입되어 저장되는 저장 챔버; 상기 시료 유체 내의 특정물질을 감지하는 감지 챔버; 세정액을 저장하는 세정액 저장 챔버; 상기 챔버들을 연결하는 유로들; 및 상기 세정액을 이송시키는 미세펌프를 포함한다. The microfluidic device according to the present invention for achieving the above object is a storage chamber in which the sample fluid is added and stored; A sensing chamber for sensing a specific substance in the sample fluid; A cleaning liquid storage chamber for storing the cleaning liquid; Flow paths connecting the chambers; And a micropump transferring the cleaning liquid.

상기 미세 펌프는 가스를 발생시킬 수 있다. 이때 상기 미세펌프는, 밀폐된 미세 탱크 안에 든 물; 및 상기 미세 탱크 주변에 위치하는 구연산과 탄산염을 포함할 수 있으며, 상기 미세 탱크는 파라핀막으로 이루어질 수 있다. 상기 미세 유체 소자는 상기 미세 펌프에 인접하여 상기 파라핀막을 녹이는 미세 히터를 더 포함할 수 있다. 상기 미세 유체 소자는 상기 미세 히터에 인접하는 온도 센서를 더 포함할 수 있다. The fine pump may generate gas. At this time, the fine pump, the water contained in a closed fine tank; And citric acid and carbonate positioned around the fine tank, and the fine tank may be formed of a paraffin film. The microfluidic device may further include a fine heater that melts the paraffin film adjacent to the micropump. The microfluidic device may further include a temperature sensor adjacent to the microheater.

상기 미세 유체 소자는 상기 미세 펌프에 의해 이송된 세정액과 시료 유체가 폐기되는 폐기챔버를 더 포함할 수 있다. The microfluidic device may further include a waste chamber in which the cleaning liquid and the sample fluid transferred by the micropump are disposed.

상기 미세 유체 소자는 상기 챔버들과 유로를 정의하는 홈이 형성되며 서로 접하는 상판과 하판을 더 포함할 수 있으며, 상기 상판의 하단부는 상기 하판 상에 융착되거나 접착될 수 있다. 상기 상판과 상기 하판 중 적어도 하나는 COC(cyclo olefin copolymer), PMMA(polymethylmethacrylate), PC(polycarbonate), COP(cyclo olefin polymer), LCP (liquid Crystalline Polymers), PDMS(polydimethylsiloxane), PA(polyamide), PE(polyethylene), PI(polyimide), PP(polypropylene), PPE(polyphenylene ether), PS(polystyrene), POM(polyoxymethylene), PEEK(polyetheretherketone), PES(polyethylenephthalate), PET(polyethylenephthalate), PTFE(polytetrafluoroethylene), PVC(polyvinylchloride), PVDF(polyvinylidene fluoride), PBT(polybutyleneterephthalate), FEP(fluorinated ethylenepropylene) 및 PFA(perfluoralkoxyalkane)을 포함하는 그룹에서 선택되는 적어도 하나로 이루어질 수 있다. The microfluidic device may further include a top plate and a bottom plate formed with grooves defining the chambers and the flow path, and a lower end of the top plate may be fused or adhered to the bottom plate. At least one of the upper plate and the lower plate is COC (cyclo olefin copolymer), PMMA (polymethylmethacrylate), PC (polycarbonate), COP (cyclo olefin polymer), LCP (liquid crystalline polymers), PDMS (polydimethylsiloxane), PA (polyamide), PE (polyethylene), PI (polyimide), PP (polypropylene), PPE (polyphenylene ether), PS (polystyrene), POM (polyoxymethylene), PEEK (polyetheretherketone), PES (polyethylenephthalate), PET (polyethylenephthalate), PTFE (polytetrafluoroethylene) , Polyvinylchloride (PVC), polyvinylidene fluoride (PVDF), polybutyleneterephthalate (PBT), fluorinated ethylenepropylene (FEP), and at least one selected from the group consisting of perfluoralkoxyalkane (PFA).

상기 미세 유체 소자는 상기 저장 챔버와 상기 유로 사이에 개재된 필터를 더 포함할 수 있다. The microfluidic device may further include a filter interposed between the storage chamber and the flow path.

상기 미세 유체 소자에서는 상기 유로에 친수성 또는 소수성 처리를 하여 상기 시료 유체의 이송 속도를 조절할 수 있다. In the microfluidic device, a flow rate of the sample fluid may be controlled by performing hydrophilic or hydrophobic treatment on the flow path.

상기 미세 유체 소자는 상기 유로의 폭보다 넓은 폭을 가지거나 소수성 처리가 된 내부 표면을 가지는 밸브부를 더 포함할 수 있다. 상기 밸브부는 상기 유로의 폭보다 넓은 폭과 소수성 처리가 된 내부 표면을 가질 수 있다. 상기 밸브부는 바람직하게는 상기 감지 챔버의 적어도 일 단부에 위치한다. The microfluidic device may further include a valve part having a width wider than that of the flow path or having a hydrophobic treatment inner surface. The valve portion may have a width wider than the width of the flow path and an inner surface that has been hydrophobized. The valve portion is preferably located at at least one end of the sensing chamber.

본 발명의 일 예에 따른 미세 유체 소자에서는 세정액을 강제적으로 이송시키는 미세 펌프에 의해 감지챔버에서 시료 유체 내의 특정물질을 감지하는 생화학 반응 후, 감도에 부정적인 영향을 미치는 입자들을 제거할 수 있다. 이로써, 미세 유체 소자 내에서 소량의 시료 유체만으로도 정확한 검사를 수행할 수 있다. In the microfluidic device according to an embodiment of the present invention, after the biochemical reaction for detecting a specific substance in the sample fluid in the sensing chamber by a micropump forcibly transferring the cleaning liquid, particles having a negative effect on the sensitivity may be removed. Thus, accurate inspection can be performed even with a small amount of sample fluid in the microfluidic device.

또한 본 발명의 일 예에 따른 미세 유체 소자에서는 밸브부에 의해 시료 유체의 이동 속도를 제어할 수 있다. 특히, 상기 밸브부는 감지 챔버의 적어도 일 단부에 위치하므로 감지 챔버 내에서 시료 유체가 머무는 시간이 길어져 감도를 향상시킬 수 있다. In addition, in the microfluidic device according to an embodiment of the present invention, the moving speed of the sample fluid may be controlled by the valve unit. In particular, since the valve unit is located at at least one end of the sensing chamber, the length of time that the sample fluid stays in the sensing chamber is increased, thereby improving sensitivity.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 이하의 실 시예는 이 기술 분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the following embodiments are provided to those skilled in the art to fully understand the present invention can be modified in various forms, the scope of the present invention is limited to the embodiments described below It is not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 유체 소자의 평면도이다. 도 2a는 도 1의 하판의 평면도를 나타낸다. 도 2b는 도 1의 상판의 평면도를 나타낸다. 도 3은 도 1을 I-I' 선으로 자른 단면도를 나타낸다. 도 4a는 본 발명의 일 예에 따라 도 1을 II-II' 선으로 자른 단면도를 나타낸다. 도 5a는 본 발명의 일 예에 따라 도 1을 III-III' 선으로 자른 단면도를 나타낸다. 1 is a plan view of a microfluidic device according to an embodiment of the present invention. 2A is a plan view of the lower plate of FIG. 1. 2B is a plan view of the top plate of FIG. 1. 3 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 1. 4A is a cross-sectional view taken along line II-II ′ of FIG. 1 according to an example of the present invention. 5A is a cross-sectional view taken along line III-III ′ of FIG. 1 according to an example of the present invention.

도 1, 2a, 2b, 3, 4a 및 5a를 참조하면, 본 실시예에 따른 미세 유체 소자는 상판(10)과 하판(50)을 포함한다. 상기 상판(10)과 상기 하판(50)은 맞물리어 접하며, 상기 상판(10) 및/또는 상기 하판(50)에 형성된 홈에 의해 챔버들(14, 20, 26, 32, 34 ), 유로들(18, 24) 및 밸브부들(22, 30)이 정의된다. 상기 챔버들(14, 20, 26, 32, 34 )은 시료 유체가 투입되어 저장되는 시료 저장챔버(14), 상기 시료 유체 내의 특정물질을 감지하는 감지챔버(20), 세정액이 저장되는 세정액 저장 챔버(32), 미세 펌프(36)가 저장되는 미세 펌프 챔버(34), 및 상기 세정액과 상기 시료 유체가 폐기되는 폐기 챔버(26)를 포함한다. 상기 미세 펌프 챔버(34)와 감지 챔버(20) 사이에는 세정액 저장 챔버(32)가 배치된다. 상기 밸브부들(22, 30)은 상기 감지 챔버(20)과 상기 폐기 챔버(26) 사이에 배치되는 제 1 밸브부(22)와, 상기 세정액 저장 챔버(32)와 상기 감지 챔버(20) 사이에 배치되는 제 2 밸브부(30)을 포함한다. 상기 유로들(18, 24)은 상기 시료 저장 챔버(14)와 상기 감지 챔버(20) 사이를 연결하는 제 1 유로(18)와, 상기 제 2 밸브부(30)와 상기 폐기 챔버(26) 사이를 연결하는 제 2 유로(24)를 포함한다. 1, 2A, 2B, 3, 4A, and 5A, the microfluidic device according to the present embodiment includes an upper plate 10 and a lower plate 50. The upper plate 10 and the lower plate 50 are in contact with each other, and the chambers 14, 20, 26, 32, 34, flow paths are formed by grooves formed in the upper plate 10 and / or the lower plate 50. 18 and 24 and valve portions 22 and 30 are defined. The chambers 14, 20, 26, 32, and 34 are a sample storage chamber 14 into which a sample fluid is added and stored, a sensing chamber 20 to detect a specific substance in the sample fluid, and a cleaning liquid storage to store a cleaning liquid. Chamber 32, a fine pump chamber 34 in which the fine pump 36 is stored, and a waste chamber 26 in which the cleaning liquid and the sample fluid are discarded. The cleaning liquid storage chamber 32 is disposed between the fine pump chamber 34 and the sensing chamber 20. The valve parts 22 and 30 may include a first valve part 22 disposed between the sensing chamber 20 and the waste chamber 26, and between the cleaning liquid storage chamber 32 and the sensing chamber 20. It includes a second valve portion 30 disposed in. The flow paths 18 and 24 may include a first flow path 18 connecting the sample storage chamber 14 and the sensing chamber 20, the second valve part 30, and the waste chamber 26. And a second flow passage 24 for connecting therebetween.

계속해서, 상기 시료 저장 챔버(14)의 상판(10)에는 시료 유체를 투입하는 투입구(12)가 형성되고, 상기 시료 저장 챔버(14)와 상기 제 1 유로(18) 사이에는 필터(16)가 개재된다. 상기 밸브부들(22, 30)은 상기 유로들(18, 24)의 폭보다 넓은 폭을 가지며 내부에 소수성 처리된 영역(72, 74)을 가진다. 상기 밸브부들(22, 30)은 평면적으로 볼때 리본 형태를 가질 수 있다. 즉, 상기 밸브부들(22, 30)은 상기 유로들(18, 24)의 폭보다 넓은 폭을 가지는 두 영역들과 그 사이에 위치하는 소수성 처리된 영역(72)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 벨브부(22)에는 에어 벤 트(air vent, 23)가 연결될 수 있다. 상기 폐기 챔버(26)의 상판(10)에는 폐기구(28)가 형성될 수 있다. 상기 폐기구(28)로 폐기된 세정액과 시료 유체가 흘러나올 수 있다. 상기 폐기구(28)는 에어 벤트의 역할을 할 수 있다. 상기 세정액 저장 챔버(32)에는 세정액(70)이 저장된다. 상기 세정액(70)은 물일 수 있다. Subsequently, an inlet 12 for injecting sample fluid is formed in the upper plate 10 of the sample storage chamber 14, and a filter 16 is disposed between the sample storage chamber 14 and the first flow path 18. Is interposed. The valve parts 22 and 30 have a width wider than that of the flow paths 18 and 24 and have hydrophobic regions 72 and 74 therein. The valve parts 22 and 30 may have a ribbon shape in plan view. That is, the valve parts 22 and 30 may include two regions having a width wider than that of the flow paths 18 and 24 and a hydrophobic treated region 72 positioned therebetween. An air vent 23 may be connected to the first valve part 22. The waste plate 28 may be formed on the top plate 10 of the waste chamber 26. The cleaning liquid and the sample fluid discarded by the waste opening 28 may flow out. The waste outlet 28 may serve as an air vent. The cleaning liquid 70 is stored in the cleaning liquid storage chamber 32. The cleaning liquid 70 may be water.

계속해서, 도 1, 2a 및 3을 참조하면, 상기 미세 펌프 챔버(34)에는 미세 챔버(36)가 위치한다. 상기 미세 챔버(36)는 가스를 발생시켜 상기 미세 챔버(34) 내의 압력을 증가시키고 이로써 상기 세정액(70)을 강제로 이송시킨다. 상기 미세 펌프 챔버(34)는 밀폐된 미세 탱크(35b) 안에 든 물(35a)과 상기 미세 탱크(35b) 외부에 위치하는 혼합물(37)을 포함한다. 상기 혼합물(37)은 구연산과 탄산염을 포함한다. 상기 미세 탱크(35b)는 파라핀 막으로 이루어질 수 있다. 상기 파라핀막으로 이루어지는 상기 미세 탱크(35b)는 열에 의해 녹을 수 있고, 상기 파라핀막이 녹음으로써 상기 미세 탱크(35b) 안에 있던 물이 밖으로 흘러나오게 됨에 따라 상기 구연산과 탄산염이 물에 용해된다. 그리고 상기 구연산과 탄산염이 서로 반응하여 이산화탄소와 같은 가스를 발생시키게 된다. 상기 미세 펌프 챔버(34) 하부의 상기 하판(50)에는 미세 히터(52)가 배치된다. 상기 미세 히터(52)는 상기 파라핀막을 녹이기 위한 열을 발생시킨다. 상기 하판(50)에는 상기 미세히터(52)에 인접하여 상기 미세 히터(52)의 정확한 온도 제어를 위해 온도센서(54)가 배치될 수 있다. 상기 미세 히터(52)와 상기 온도센서(54)의 단자들(52a, 54a)은 상기 상판(10)으로 덮이지 않고 상기 하판(50) 상에서 외부로 노출된다. 상기 미세 히터(52)와 상기 온도센서(54)의 표면은 상기 미세 펌프(36)와 접하지 않고 보호막(미도시)에 의해 덮일 수 있다. 이때 상기 미세 히터(52)가 발생시키는 열은 상기 보호막을 통해 상기 미세 펌프(36)로 전달될 수 있다. 1, 2A and 3, the fine chamber 36 is positioned in the fine pump chamber 34. The microchamber 36 generates a gas to increase the pressure in the microchamber 34, thereby forcibly transferring the cleaning liquid 70. The fine pump chamber 34 includes water 35a contained in a closed fine tank 35b and a mixture 37 located outside the fine tank 35b. The mixture 37 contains citric acid and carbonate. The fine tank 35b may be made of a paraffin film. The fine tank 35b made of the paraffin film may be melted by heat, and the citric acid and carbonate are dissolved in water as the paraffin film is melted and the water in the fine tank 35b flows out. The citric acid and carbonate react with each other to generate a gas such as carbon dioxide. A fine heater 52 is disposed on the lower plate 50 below the fine pump chamber 34. The fine heater 52 generates heat for melting the paraffin film. A temperature sensor 54 may be disposed on the lower plate 50 to precisely control the temperature of the fine heater 52 adjacent to the fine heater 52. The terminals 52a and 54a of the fine heater 52 and the temperature sensor 54 are not covered with the upper plate 10 and exposed to the outside on the lower plate 50. Surfaces of the fine heater 52 and the temperature sensor 54 may be covered by a protective film (not shown) without being in contact with the fine pump 36. At this time, the heat generated by the fine heater 52 may be transferred to the fine pump 36 through the protective film.

계속해서, 도 1, 2a, 3 및 5a을 참조하면, 상기 감지챔버(20)의 상기 하판(50)에는 적어도 하나의 감지전극(60)이 배치될 수 있다. 상기 감지전극(60)에는 예를 들면, 금나노입자가 고정된 탐지항체를 포획하는 포획 항체가 도포되어 있을 수 있다. 상기 감지전극(60)의 포획 항체에 포획되는 금나노입자가 고정된 탐지항체가 많을수록 전기전도도가 증가할 수 있으며, 이러한 점을 이용하여 특정물질을 검출 및 판독할 수 있다. 감지 전극(120)에는 응용 목적에 따라서, 항원, 항체와 같은 단백질, 혹은 유전자와 같은 다양한 생화학 물질이 고정화될 수 있으며, 자기 정렬 단분자막(self-assembled monolayer)과 같은 표면 처리가 되어 있을 수 있다. 필요에 따라서 덴드리머를 포함한 다양한 화학물질들이 미리 형성되어 있을 수 있다. 1, 2A, 3, and 5A, at least one sensing electrode 60 may be disposed on the lower plate 50 of the sensing chamber 20. For example, the detection electrode 60 may be coated with a capture antibody that captures the detection antibody to which the gold nanoparticles are fixed. As the number of detection antibodies to which the gold nanoparticles are captured by the capture antibody of the sensing electrode 60 is fixed, the electrical conductivity may increase, and the specific substance may be detected and read using the above points. The sensing electrode 120 may be immobilized with various biochemicals such as antigens, proteins such as antibodies, or genes, and may have a surface treatment such as a self-assembled monolayer. If desired, various chemicals, including dendrimers, may be preformed.

상기 감지 전극(60)의 감도를 향상시키기 위해, 상기 감지 챔버(20)에 고이는 시료 유체의 양을 충분히 늘려줄 수 있다. 이를 위한 하나의 방도로 도 5b에서 처럼 상기 상판(10)과 상기 하판(50) 사이에 중간판(90)을 삽입시킬 수 있다. In order to improve the sensitivity of the sensing electrode 60, the amount of sample fluid accumulated in the sensing chamber 20 may be sufficiently increased. One way for this purpose is to insert the intermediate plate 90 between the upper plate 10 and the lower plate 50 as shown in Figure 5b.

상기 감지 전극(60)은 전극 연결부(60a)와 전극단자(60b)에 연결되며, 상기 전극 단자(60b)는 상기 상판(10)에 의해 덮이지 않고 상기 하판(50) 상에서 외부로 노출된다. 상기 전극 연결부(60a)는 외부에 노출될 수도 있지만, 바람직하게는 비특이적 생물학적 결합을 줄이기 위해 도 5a에서처럼 보호막(85)으로 덮이거나 또는 도 5b에서처럼 상기 하판(50) 내에 위치할 수 있다. 상기 미세 히터(52)의 단 자(52a), 상기 온도센서(54)의 단자(54a), 및 상기 감지 전극(60)의 단자(60b)는 외부 측정 장치의 전원부나 계측부에 연결될 수 있다.  The sensing electrode 60 is connected to the electrode connecting portion 60a and the electrode terminal 60b, and the electrode terminal 60b is not covered by the upper plate 10 and exposed to the outside on the lower plate 50. The electrode connection 60a may be exposed to the outside, but may preferably be covered with a protective film 85 as in FIG. 5A or located in the bottom plate 50 as in FIG. 5B to reduce nonspecific biological binding. The terminal 52a of the fine heater 52, the terminal 54a of the temperature sensor 54, and the terminal 60b of the sensing electrode 60 may be connected to a power supply unit or a measurement unit of an external measuring device.

상기 상판(10)과 상기 하판(50)은 COC(cyclo olefin copolymer), PMMA(polymethylmethacrylate), PC(polycarbonate), COP(cyclo olefin polymer), LCP (liquid Crystalline Polymers), PDMS(polydimethylsiloxane), PA(polyamide), PE(polyethylene), PI(polyimide), PP(polypropylene), PPE(polyphenylene ether), PS(polystyrene), POM(polyoxymethylene), PEEK(polyetheretherketone), PES(polyethylenephthalate), PET(polyethylenephthalate), PTFE(polytetrafluoroethylene), PVC(polyvinylchloride), PVDF(polyvinylidene fluoride), PBT(polybutyleneterephthalate), FEP(fluorinated ethylenepropylene), 및 PFA(perfluoralkoxyalkane)을 포함하는 그룹에서 선택되는 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 상판(10)과 상기 하판(50)은 사출성형(Injection Molding), 핫엠보싱(Hot Embossing), 캐스팅(Casting), 광성형(Stereolithography), 레이저 어블레이션(Laser Ablation), 쾌속조형(Rapid Prototyping), 실크스크린 뿐만 아니라, NC(Numerical Control) 머시닝과 같은 전통적인 기계가공법 또는 포토리소그래피(Photolithography)와 식각을 이용한 반도체가공법으로 제작될 수 있다. 상기 상판(10)과 상기 하판(50)은 접착제(80)로 접착될 수 있다. 상기 접착제(80)로는 액체형의 접착 물질, 혹은 분말형이나 종이와 같은 얇은 판 형태의 접착제일 수 있다. 상기 상판(10)과 상기 하판(50)을 접합시킬 때, 상기 감지전극(60) 표면 상의 포획 항체와 같은 생화학 물질의 변성을 막기 위하여 상온 혹은 저온 접합을 할 수 있으며, 이 경우 압력만으로 접합이 이루어지는 점착제(pressure sensitive adhesive)를 사용할 수 있다. 또는 두 기판을 접합시 생화학 물질의 변성을 막기 위하여 상온 혹은 저온 접합을 실시할 경우, 도 4b에서처럼 상기 상판(10)의 단부(11)를 뾰족하게 형성하고 이 뾰족한 부분에 초음파 에너지를 인가하여 국부적으로 용융시키고 상기 상판(10)을 상기 하판(50) 상에 밀착시키는 융착 또는 초음파 접합(ultrasonic bonding) 방법을 수행할 수 있다. 또는 도 5b에서처럼, 두 개 이상의 판들(10, 50, 90)을 접합시킬 때, 접착제(80)과 융착 방법이 모두 사용될 수 있다. The upper plate 10 and the lower plate 50 include a cyclo olefin copolymer (COC), polymethylmethacrylate (PMMA), polycarbonate (PC), cyclo olefin polymer (COP), liquid crystalline polymers (LCP), polydimethylsiloxane (PDMS), and PA (PA). polyamide, PE (polyethylene), PI (polyimide), PP (polypropylene), PPE (polyphenylene ether), PS (polystyrene), POM (polyoxymethylene), PEEK (polyetheretherketone), PES (polyethylenephthalate), PET (polyethylenephthalate), PTFE (polytetrafluoroethylene), polyvinylchloride (PVC), polyvinylidene fluoride (PVDF), polybutylene terephthalate (PBT), fluorinated ethylenepropylene (FEP), and at least one selected from the group consisting of perfluoralkoxyalkane (PFA). The upper plate 10 and the lower plate 50 are injection molding, hot embossing, casting, stereolithography, laser ablation, rapid prototyping. ), As well as silkscreen, can be produced by traditional machining methods such as NC (Numerical Control) machining or by semiconductor processing using photolithography and etching. The upper plate 10 and the lower plate 50 may be bonded with an adhesive (80). The adhesive 80 may be a liquid adhesive material or a thin plate adhesive such as powder or paper. When the upper plate 10 and the lower plate 50 are bonded, room temperature or low temperature bonding may be performed to prevent denaturation of a biochemical such as a capture antibody on the surface of the sensing electrode 60. A pressure sensitive adhesive may be used. Alternatively, when the two substrates are bonded at room temperature or at a low temperature in order to prevent denaturation of biochemicals, the end 11 of the top plate 10 is sharply formed as shown in FIG. 4B, and ultrasonic energy is applied to the pointed portions to provide localization. Melting and bonding the upper plate 10 on the lower plate 50 may be performed by a fusion or ultrasonic bonding (ultrasonic bonding) method. Alternatively, as in FIG. 5B, when bonding two or more plates 10, 50, 90, both adhesive 80 and fusion method may be used.

다음은 도 6a, 6b 및 6c를 참조하여 도 1의 미세 유체 소자에서 유체의 유동을 순차적으로 설명하기로 한다. Next, the flow of the fluid in the microfluidic device of FIG. 1 will be described sequentially with reference to FIGS. 6A, 6B, and 6C.

먼저, 도 6a를 참조하면, 투입구(12)를 통해 시료 유체(100)를 투입한다. 상기 시료 유체(100)를 투입할 때 항원/항체 반응과 같은 생화학 반응에 참여할 표시 인자가 고정된 항원 또는 항체를 혼합하여 투입할 수 있다. 예를 들면 상기 시료 유체(100)는 예를 들면 혈액일 수 있다. 상기 시료 유체(100)를 투입할 때, 예를 들면 금나노입자가 고정된 탐지항체도 같이 투입될 수 있다. 세정액 저장 챔버(32) 안에는 세정액(70)이 미리 들어가 있다. First, referring to FIG. 6A, the sample fluid 100 is introduced through the inlet 12. When the sample fluid 100 is introduced, an antigen or an antibody having a display factor fixed to participate in a biochemical reaction such as an antigen / antibody reaction may be mixed. For example, the sample fluid 100 may be blood, for example. When the sample fluid 100 is introduced, for example, a detection antibody to which gold nanoparticles are fixed may also be added. The cleaning liquid 70 is previously contained in the cleaning liquid storage chamber 32.

도 6b를 참조하면, 상기 시료유체(100)가 투입되면 모세관력에 의한 자연 유동으로 시료 저장 챔버(14)에서 필터(16)를 거쳐 제 1 유로(18)로 이동한다. 상기 필터(16)에서 상기 시료 유체(100) 속의 큰 입자들은 걸러진다. 예를 들면, 상기 시료 유체(100)가 혈액일 경우, 백혈구와 적혈구들은 상기 필터(16)에 의해 걸러지고, 혈청이나 금나노 입자가 고정된 탐지항체와 같은 크기가 작은 입자들이 통과할 수 있다. 상기 필터(16)에 의해 걸러진 시료 유체(100a)는 상기 제 1 유로(18)를 거쳐 감지 챔버(20)로 흐른다. 상기 시료 유체(100a)는 상기 제 2 밸브부(30)에 의해 상기 세정액 저장 챔버(32) 쪽으로 흘러들어가지는 않는다. 왜냐하면 상기 제 2 밸브부(30)의 상기 제 1 유로(18)과 접하는 부분은 상기 제 1 유로(18) 보다 넓은 폭을 가지므로, 모세관력 약해지기 때문이다. 또한 상기 시료 유체(100a)가 혈액일 경우 대부분 물을 상당량 포함하므로, 제 2 밸브부(30)의 소수성 처리된 영역(72)의 소수성에 반발하는 물의 성질 때문에도 상기 시료 유체(100a)는 상기 제 2 밸브부(30)를 통과할 수 없다. 상기 감지 챔버(20) 안에서 항원-항체 반응으로 예를 들면, 금나노 입자가 고정된 탐지항체가 포획항체에 포획된다. 상기 감지 챔버(20) 안의 상기 시료 유체(100a)는 제 1 밸브부(22)에 의해 제 2 유로(24) 쪽으로 쉽게 넘어가지 못한다. 이는 상기 제 1 밸브부(22)도 상기 제 2 밸브부(30)와 같은 구조를 가져 동일한 역할을 하기 때문이다. 상기 세정액(70)은 별도의 힘을 추가로 받지 못한다면 상기 제 2 밸브부(30)에 의해 상기 감지 챔버(20) 쪽으로 이송되지 못한다. Referring to FIG. 6B, when the sample fluid 100 is introduced, the sample fluid 100 moves from the sample storage chamber 14 to the first flow path 18 through the filter 16 in a natural flow by capillary force. Large particles in the sample fluid 100 are filtered out of the filter 16. For example, when the sample fluid 100 is blood, white blood cells and red blood cells are filtered by the filter 16, and small particles such as detection antibodies to which serum or gold nanoparticles are fixed may pass. . The sample fluid 100a filtered by the filter 16 flows to the sensing chamber 20 via the first flow path 18. The sample fluid 100a does not flow toward the cleaning liquid storage chamber 32 by the second valve part 30. This is because the portion of the second valve portion 30 that is in contact with the first flow passage 18 has a wider width than the first flow passage 18, and thus the capillary force is weakened. In addition, since the sample fluid 100a is mostly blood, the sample fluid 100a contains a considerable amount of water. It cannot pass through the second valve part 30. Antigen-antibody reactions within the sensing chamber 20, for example, capture antibodies to which gold nanoparticles are immobilized are captured by the capture antibody. The sample fluid 100a in the sensing chamber 20 does not easily pass toward the second flow path 24 by the first valve part 22. This is because the first valve part 22 also has the same structure as the second valve part 30 and plays the same role. The cleaning liquid 70 may not be transferred toward the sensing chamber 20 by the second valve part 30 unless additionally received a separate force.

도 6c를 참조하면, 상기 감지 챔버(20) 안에서 항원-항체 반응이 충분히 일어나면, 외부 측정 장치의 전자 신호에 의해, 상기 미세 히터(52)에 전류가 공급되고, 상기 미세 히터(52)에서 열이 발생되어 미세 펌프(36)의 파라핀막이 녹는다. 그리고 물이 나와 구연산(C6H8O7)과 탄산염(NaHCO3)을 녹이고, 이 둘이 반응하여 C6H7O7Na, 물(H2O) 및 이산화탄소(CO2)가 생성될 수 있다. 이산화탄소의 발생으로 미세 펌프 챔버(34)의 압력이 상승하여 세정액(70)이 상기 제 2 밸브부(30)를 통과하여 상기 감지 챔버(20) 쪽으로 이송되고, 상기 세정액(70)은 상기 감지 챔버(20) 안의 시료 유체(100a)와 합류되고 폐기 챔버(28)로 이송된다. 이로써, 상기 폐기 챔버(28)에는 상기 세정액(70)과 상기 시료유체(100a)의 혼합액(110b)이 저장된다. 상기 세정액(70)을 상기 미세 펌프(36)로 강제로 이송시키어 상기 감지 챔버(20) 내에 있던 상기 반응에 참여하지 않거나 상기 감지 전극(60)과의 결합이 약해진 반응물들을 세척하여 상기 감지 전극(60)의 감도를 향상시킬 수 있다. 이로써, 미세 유체 소자 내에서 소량의 시료 유체만으로도 정확한 검사를 수행할 수 있다. Referring to FIG. 6C, when the antigen-antibody reaction occurs sufficiently in the sensing chamber 20, current is supplied to the micro heater 52 by an electronic signal of an external measuring device, and heat is generated in the micro heater 52. Is generated and the paraffin film of the fine pump 36 is melted. And water comes out to dissolve citric acid (C 6 H 8 O 7 ) and carbonate (NaHCO 3 ), the two react to produce C 6 H 7 O 7 Na, water (H 2 O) and carbon dioxide (CO 2 ). have. The pressure of the fine pump chamber 34 rises due to the generation of carbon dioxide, and the cleaning liquid 70 passes through the second valve part 30 to the sensing chamber 20, and the cleaning liquid 70 is transferred to the sensing chamber. It is joined with the sample fluid 100a in 20 and transferred to the waste chamber 28. Thus, the mixed chamber 110b of the cleaning liquid 70 and the sample fluid 100a is stored in the waste chamber 28. The cleaning solution 70 is forcibly transferred to the fine pump 36 to clean the reactants that do not participate in the reaction in the sensing chamber 20 or have weakened the coupling with the sensing electrode 60. 60) sensitivity can be improved. Thus, accurate inspection can be performed even with a small amount of sample fluid in the microfluidic device.

본 실시예에서 미세 펌프는 이산화탄소를 발생시키기 위하여 구연산과 탄산염을 포함하였으나, 이는 일 예를 나타낸 것으로, 이산화탄소를 발생시키기 위하여 상기 미세 펌프가 다른 혼합물을 포함하거나, 또는 상기 미세 펌프가 이산화탄소 외에 다른 산소나 질소와 같은 여러 가스를 발생시킬 수 있음은 당업자에게 자명한 것이다. In this embodiment, the micropump includes citric acid and carbonate to generate carbon dioxide, but this is an example, and the micropump includes another mixture to generate carbon dioxide, or the micropump includes oxygen other than carbon dioxide. It will be apparent to those skilled in the art that various gases such as nitrogen may be generated.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described in detail, this invention is not limited to the said embodiment, A various deformation | transformation by a person of ordinary skill in the art within the scope of the technical idea of this invention is carried out. This is possible.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 유체 소자의 평면도이다. 1 is a plan view of a microfluidic device according to an embodiment of the present invention.

도 2a는 도 1의 하판의 평면도를 나타낸다. 2A is a plan view of the lower plate of FIG. 1.

도 2b는 도 1의 상판의 평면도를 나타낸다. 2B is a plan view of the top plate of FIG. 1.

도 3은 도 1을 I-I' 선으로 자른 단면도를 나타낸다. 3 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 1.

도 4a는 본 발명의 일 예에 따라 도 1을 II-II' 선으로 자른 단면도를 나타낸다. 4A is a cross-sectional view taken along line II-II ′ of FIG. 1 according to an example of the present invention.

도 4b는 본 발명의 다른 예에 따라 도 1을 II-II' 선으로 자른 단면도를 나타낸다. 4B is a cross-sectional view taken along line II-II ′ of FIG. 1 according to another example of the present invention.

도 5a는 본 발명의 일 예에 따라 도 1을 III-III' 선으로 자른 단면도를 나타낸다. 5A is a cross-sectional view taken along line III-III ′ of FIG. 1 according to an example of the present invention.

도 5b는 본 발명의 다른 예에 따라 도 1을 III-III' 선으로 자른 단면도를 나타낸다. 5B is a cross-sectional view taken along line III-III ′ of FIG. 1 according to another example of the present invention.

도 6a, 6b 및 6c는 도 1의 미세 유체 소자에서 유체의 유동을 순차적으로 나타내는 평면도들이다. 6A, 6B and 6C are plan views sequentially illustrating the flow of fluid in the microfluidic device of FIG. 1.

Claims (13)

시료 유체가 투입되어 저장되는 시료 저장 챔버;A sample storage chamber into which sample fluid is added and stored; 상기 시료 저장 챔버에 연결되고, 상기 시료 유체 내의 특정물질을 감지하는 감지 챔버;A sensing chamber connected to the sample storage chamber and sensing a specific substance in the sample fluid; 상기 감지 챔버에 연결되고, 세정액을 저장하는 세정액 저장 챔버; A cleaning liquid storage chamber connected to the sensing chamber and storing a cleaning liquid; 상기 챔버들을 연결하는 유로들; 및Flow paths connecting the chambers; And 상기 세정액을 이송시키고, 가스를 발생시키는 미세펌프를 포함하되,Including a fine pump for transferring the cleaning liquid, generating gas, 상기 미세펌프는, The fine pump, 밀폐된 미세 탱크 안에 든 물; 및 Water in a closed fine tank; And 상기 미세 탱크 주변에 위치하는 구연산과 탄산염을 포함하며,It includes citric acid and carbonate located around the fine tank, 상기 미세 탱크는 파라핀막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자. The micro tank is a microfluidic device, characterized in that made of a paraffin film. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 미세 펌프에 인접하여 상기 미세 펌프에 열을 가하는 미세 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자. And a micro heater for applying heat to the micro pump adjacent to the micro pump. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 미세 히터에 인접하는 온도 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자. And a temperature sensor adjacent the micro heater. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 미세 펌프에 의해 이송된 세정액과 상기 시료 유체가 폐기되는 폐기챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자. And a waste chamber in which the cleaning liquid and the sample fluid transferred by the fine pump are discarded. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 챔버들과 유로를 정의하는 홈이 형성되며 서로 접하는 상판과 하판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자. The microfluidic device further comprising a top plate and a bottom plate formed with grooves defining the chambers and the flow path. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 상판의 하단부는 상기 하판 상에 융착되거나 접착되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자. The lower end of the upper plate is a microfluidic device, characterized in that fused or bonded on the lower plate. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 상판과 상기 하판 중 적어도 하나는 COC(cyclo olefin copolymer), PMMA(polymethylmethacrylate), PC(polycarbonate), COP(cyclo olefin polymer), LCP (liquid Crystalline Polymers), PDMS(polydimethylsiloxane), PA(polyamide), PE(polyethylene), PI(polyimide), PP(polypropylene), PPE(polyphenylene ether), PS(polystyrene), POM(polyoxymethylene), PEEK(polyetheretherketone), PES(polyethylenephthalate), PET(polyethylenephthalate), PTFE(polytetrafluoroethylene), PVC(polyvinylchloride), PVDF(polyvinylidene fluoride), PBT(polybutyleneterephthalate), FEP(fluorinated ethylenepropylene) 및 PFA(perfluoralkoxyalkane)을 포함하는 그룹에서 선택되는 적어도 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자. At least one of the upper plate and the lower plate is COC (cyclo olefin copolymer), PMMA (polymethylmethacrylate), PC (polycarbonate), COP (cyclo olefin polymer), LCP (liquid crystalline polymers), PDMS (polydimethylsiloxane), PA (polyamide), PE (polyethylene), PI (polyimide), PP (polypropylene), PPE (polyphenylene ether), PS (polystyrene), POM (polyoxymethylene), PEEK (polyetheretherketone), PES (polyethylenephthalate), PET (polyethylenephthalate), PTFE (polytetrafluoroethylene) , At least one selected from the group consisting of polyvinylchloride (PVC), polyvinylidene fluoride (PVDF), polybutylene terephthalate (PBT), fluorinated ethylenepropylene (FEP), and perfluoralkoxyalkane (PFA). 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 저장 챔버와 상기 유로 사이에 개재된 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자.And a filter interposed between the storage chamber and the flow path. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유로에 친수성 또는 소수성 처리를 하여 상기 시료 유체의 이송 속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자. A hydrophilic or hydrophobic treatment on the flow path to control the feed rate of the sample fluid. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유로의 폭보다 넓은 폭을 가지거나 소수성 처리가 된 내부 표면을 가지는 밸브부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자. And a valve portion having a width wider than that of the flow path or having a hydrophobic inner surface. 제 12 항에 있어서,13. The method of claim 12, 상기 밸브부는 상기 감지 챔버의 적어도 일 단부에 위치하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자. And the valve portion is positioned at at least one end of the sensing chamber.
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