KR101133080B1 - Apparatus of repairing flat pannel display - Google Patents
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Abstract
본 발명은 표시장치의 휘점불량 수리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레이저 조사영역 전범위에 걸쳐 레이저 빔의 에너지밀도가 균일한 표시장치의 휘점불량 수리장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 휘점불량 수리장치는 본 발명에 의한 휘점불량 수리장치는 휘점불량이 있는 색필터에 레이저 빔을 조사하는 레이저부; 상기 레이저 빔을 상기 색필터의 조사구간에서 스캐닝하는 스캐너; 및 스캐닝되는 상기 레이저 빔이 가속구간 또는 감속구간에서는 상기 색필터에 조사되지 않도록 필터링하는 빔가공면 제어수단;을 포함한다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for repairing a defective spot defect of a display device, and more particularly, to an apparatus for repairing a defective spot defect of a display device having a uniform energy density of a laser beam over the entire laser irradiation area.
Bright spot defect repair apparatus according to the present invention comprises a laser unit for irradiating a laser beam to the color filter has a bright spot defect; A scanner scanning the laser beam at an irradiation section of the color filter; And beam processing surface control means for filtering the laser beam to be scanned so that the laser beam is not irradiated to the color filter in the acceleration or deceleration section.
Description
본 발명은 표시장치의 휘점불량 수리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레이저 조사영역 전범위에 걸쳐 레이저 빔의 에너지밀도가 균일한 표시장치의 휘점불량 수리장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE
최근에 액정표시장치는 소비전력이 낮고, 휴대성이 양호하여 기술집약적이며 부가가치가 높은 차세대 첨단 디스플레이(display)소자로 각광받고 있다. 이러한 액정표시장치 중에서도, 각 화소(pixel)별로 인가되는 전압을 스위칭할 수 있는 스위칭 소자가 구비된 액티브 매트릭스형 액정표시장치가 해상도 및 동영상 구현능력이 뛰어나 가장 주목받고 있다.Recently, the liquid crystal display device has been spotlighted as a next generation advanced display device having low power consumption, good portability, technology intensive, and high added value. Among such liquid crystal display devices, an active matrix liquid crystal display device having a switching element capable of switching a voltage applied to each pixel is attracting the most attention due to its excellent resolution and ability to implement video.
도 1을 참조하면, 통상적인 액정패널(500)은 상부 기판인 컬러필터 기판과 하부 기판인 TFT(Thin Film Transistor)어레이 기판(510)이 서로 대향 되도록 합착 되고, 그 사이에 유전 이방성을 갖는 액정층(520)이 형성되는 구조로 구비되어, 화소 선택용 어드레스(address)배선을 통해 수십 만개의 화소에 부가된 박막트랜지스터(TFT)를 스위칭 동작시켜 해당 화소에 전압을 인가해 주는 방식으로 구동된다. 여기서, 상기 컬러필터 기판은 글래스(531)와, RGB 등의 색필터(532)와, 상기 색필터(532)들 사이에 형성된 블랙매트릭스(533)와, 오버코트층(534)과, 공통전극용 ITO(535)와, 배향막(536)으로 이루어지며, 상기 글래스의 상부에 편광판(537)이 부착된다. Referring to FIG. 1, in a typical
한편, 이와 달리 오버코트층이나 블랙매트릭스를 생략하는 구조의 액정패널이 개시되었고, COA(COLOR FILTER ON ARRAY)구조도 개시되었다. On the other hand, a liquid crystal panel having a structure in which an overcoat layer or a black matrix is omitted is disclosed, and a COA (COLOR FILTER ON ARRAY) structure is also disclosed.
이러한 액정패널을 제조하기 위해서는 박막트랜지스터 어레이 기판 공정, 컬러필터 기판 공정, 액정셀 공정 등을 수행하여야 한다. In order to manufacture such a liquid crystal panel, a thin film transistor array substrate process, a color filter substrate process, a liquid crystal cell process, and the like must be performed.
상기 박막트랜지스터 어레이 기판 공정은 증착(deposition) 및 포토리소그래피(photolithography), 식각(etching)공정을 반복하여 유리 기판상에 게이트 배선, 데이터 배선, 박막트랜지스터 및 화소 전극을 형성하는 공정이다. The thin film transistor array substrate process is a process of forming a gate wiring, a data wiring, a thin film transistor, and a pixel electrode on a glass substrate by repeating deposition, photolithography, and etching processes.
상기 컬러 필터 기판 공정은 블랙매트릭스가 형성된 글래스상에 일정한 순서로 배열되어 색상을 구현하는 RGB의 색필터를 제작한 후, 공통전극용 ITO막 등을 형성하는 공정이다. The color filter substrate process is a process of forming an ITO film for a common electrode after fabricating an RGB color filter arranged in a predetermined order on a glass on which a black matrix is formed to realize color.
상기 액정셀 공정은 박막트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 어레이 기판 사이의 일정한 틈이 유지되도록 합착한 후, 그 틈 사이로 액정을 주입하여 액정층을 형성하는 공정이다. 또한 근래에는 박막트랜지스터 어레이 기판에 액정을 균일하게 도포한 후, 컬러필터 기판을 합착하는 ODF(One Drop Filling)공정이 개시되고 있다. The liquid crystal cell process is a step of forming a liquid crystal layer by bonding a liquid crystal between the thin film transistor array substrate and the color filter array substrate so as to maintain a predetermined gap therebetween. In addition, recently, an ODF (One Drop Filling) process is disclosed in which a liquid crystal is uniformly coated on a thin film transistor array substrate and then the color filter substrate is bonded.
상기 액정표시 장치의 검사 과정에서는, 액정패널의 화면에 테스트 패턴을 띄우고 불량 화소의 유무를 탐지하여 불량 화소가 발견되었을 때 이에 대한 수정 작업을 수행하게 된다. 액정패널의 불량에는 점 결함과, 선 결함 및 표시 불균일로 나눌 수 있다. 점 결함은 TFT 소자, 화소전극, 컬러필터 배선의 불량 등에 의해 발생되며, 선 결함은 배선간의 단선(Open), 쇼트(Short), 정전기에 의한 TFT들의 파괴, 구동회로와 접속불량에 기인한다. 표시 불균일은 셀 두께 불균일, 액정배향의 불균일, TFT 특성 장소 산포 및 상대적으로 큰 배선의 시정수에 의해 발생될 수 있다.In the inspection process of the liquid crystal display, a test pattern is displayed on the screen of the liquid crystal panel and the presence or absence of a bad pixel is detected to correct a defect when a bad pixel is found. The defects of the liquid crystal panel can be classified into point defects, line defects, and display irregularities. Point defects are caused by defective TFT elements, pixel electrodes, color filter wiring, and the like, and line defects are caused by disconnection between lines, short circuits, breakdown of TFTs by static electricity, and poor connection with the driving circuit. Display unevenness may be caused by cell thickness unevenness, liquid crystal orientation unevenness, TFT characteristic place distribution, and a relatively large time constant of the wiring.
이 중, 점 결함 및 선 결함은 일반적으로 배선의 불량이 그 원인으로 종래에는 단선(open)된 배선이 발견되면, 단선된 부분을 연결해 주고, 쇼트(short)의 경우 해당 배선들을 단선시키는 정도에 불과하였다. Among these, point defects and line defects are generally caused by a defect in wiring, and when a wiring is found open in the related art, the disconnected portion is connected, and in the case of a short, the degree of disconnection of the wiring is short. It was only.
이러한 결함 외에도 액정패널을 제조하는 과정에서 먼지, 유기물 또는 금속 등을 포함하는 불순물이 흡착되는데, 이러한 불순물이 컬러필터 부근에 흡착될 경우 해당 픽셀은 패널 구동 시 다른 정상적인 픽셀의 밝기보다 매우 밝은 빛을 내는 이른바 빛샘 현상을 유발한다. 이러한 휘점불량을 수리하기 위하여 레이저를 이용하는 방법에 대한 연구가 진행되고 있다. In addition to these defects, impurities including dust, organic matter, and metals are adsorbed in the manufacturing process of the liquid crystal panel. If such impurities are adsorbed near the color filter, the pixels emit much brighter light than the brightness of other normal pixels when the panel is driven. I cause so-called light leakage. Research into a method using a laser to repair such bright spots is in progress.
보다 구체적으로 설명하면, 휘점불량이 발견된 색필터에 레이저를 조사하여 흑화시키는 것이다. More specifically, the laser is irradiated to the color filter in which the bright spot is found and blackened.
이와 같이 흑화된 화소는 광투과율이 저하되어 표시장치의 광원부(백라이트유닛)로부터 발생된 빛을 투과시키지 않고 흡수하도록 암점화되기 때문에 휘점불량이 수리되는 것이다. The blackened pixel is reduced in light transmittance and darkened so as to be absorbed without transmitting light generated from the light source unit (backlight unit) of the display device.
따라서 조사되는 레이저는 흑화할 해당 화소의 투과율이 낮은 파장, 다시 말해 흡수율이 높은 파장을 가지는 레이저를 조사하여야 한다. 이러한 파장은 도 2에 나타난 색필터의 파장별 투과율을 참조하여 선택된다. Therefore, the irradiated laser should irradiate a laser having a low transmittance of the pixel to be blackened, that is, a wavelength having a high absorption. This wavelength is selected with reference to the transmittance for each wavelength of the color filter shown in FIG.
도 3을 참조하면, 종래의 휘점불량 수리장치는 레이저부(110)와, 상기 레이저 빔을 패널(P)의 색필터의 조사구간에서 스캐닝하는 스캐너(130)와, 색필터(또는 패널)을 실시간으로 확인하는 모니터링부 (140)와 조명(141), 상기 레이저 빔의 초점을 조절하는 자동초점조절수단(150)과 포커싱렌즈(160)를 포함한다. 또한 광경로를 조절하는 미러(M1,M2)가 다수 배치된다. Referring to FIG. 3, the conventional bright spot repair apparatus includes a
도 4를 참조하면, 상기 스캐너는 공지의 수단으로서, 레이저 빔의 방향을 전환시켜 주는 X-갈바노미러(132) 및 Y-갈바노미러(131), 상기 각 미러에 의해 방향이 전환된 레이저 빔을 집속시켜주는 스캔 렌즈(133)을 포함한다. Referring to Figure 4, the scanner is a known means, the
도 5는 위와 같이 구성된 종래의 수리장치를 이용하여 휘점불량이 있는 색필터를 수리하는 공정을 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 스캐너를 이용하여 레이저 빔을 지그재그방식으로 조사하여 휘점불량이 있는 색필터 전범위에 걸쳐 흑화하게 된다. 그런데 이때 스캐닝의 시작위치(가속구간)이나 터닝위치(가속 또는 감속)에서는 평균속도보다 작은 속도로 레이저 빔을 스캐닝하기 때문에 레이저 에너지 밀도가 기타 구간에 비해 높다는 문제점이 있다. 또는 터닝위치에서 레이저 빔이 중첩되기도 한다. 이와 같이 에너지 밀도가 기타 구간에 비해 높게 되면, 칼라필터 하부층에 손상을 주어 액정이 칼라필터층으로 올라오는 심각한 불량이 발생하게 되는 문제점이 있다. 이러한 가속구간이나 감속구간은 색필터(532)의 양측 가장자리(L1)가 된다. Figure 5 shows a process for repairing the color filter having a bright spot using a conventional repair device configured as described above. As shown in the drawing, the laser beam is irradiated in a zigzag manner using a scanner to blacken the entire color filter with a bright spot. However, there is a problem that the laser energy density is higher than that of other sections because the laser beam is scanned at a speed smaller than the average speed at the start position (acceleration section) or turning position (acceleration or deceleration) of the scanning. Alternatively, the laser beam may overlap at the turning position. As such, when the energy density is higher than that of the other sections, there is a problem in that a serious defect in which the liquid crystal rises to the color filter layer due to damage to the lower layer of the color filter occurs. The acceleration section and the deceleration section are both edges L1 of the
한편, 도 6은 일반적인 레이저 빔(B)의 단면형태를 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 최초 레이저부에서 조사되는 레이저 빔은 단면형태가 원형이면서 가우시안 형태로 에너지가 가운데 영역에 집중되어 있다. On the other hand, Figure 6 shows the cross-sectional shape of a general laser beam (B). As shown, the laser beam irradiated from the initial laser portion has a circular cross section and a Gaussian shape, where energy is concentrated in the center region.
따라서 색필터의 위치마다 조사되는 레이저 빔의 에너지 밀도차가 존재한다는 문제점이 있다.
Therefore, there is a problem that an energy density difference of the laser beam irradiated for each position of the color filter exists.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 레이저 조사영역 전범위에 걸쳐 레이저 빔의 에너지밀도가 균일한 표시장치의 휘점불량 수리장치를 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an apparatus for repairing a failure point of a display device having a uniform energy density of a laser beam over the entire laser irradiation area.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 휘점불량 수리장치는 휘점불량이 있는 색필터에 레이저 빔을 조사하는 레이저부; 상기 레이저 빔을 상기 색필터의 조사구간에서 스캐닝하는 스캐너; 및 스캐닝되는 상기 레이저 빔이 가속구간 또는 감속구간에서는 상기 색필터에 조사되지 않도록 필터링하는 빔가공면 제어수단;을 포함한다. In order to solve the above technical problem, the apparatus for repairing a point defect according to the present invention includes a laser unit for irradiating a laser beam to a color filter having a point defect; A scanner scanning the laser beam at an irradiation section of the color filter; And beam processing surface control means for filtering the laser beam to be scanned so that the laser beam is not irradiated to the color filter in the acceleration or deceleration section.
상기 빔가공면 제어수단은 한 쌍의 X축 블레이드와, 한 쌍의 Y축 블레이드를 갖는 빔 슬릿이거나 또는 상기 빔가공면 제어수단은 투과부가 형성된 마스크일 수 있다. 한편, 상기 한 쌍의 X축 블레이드와 한 쌍의 Y축 블레이드 중 적어도 어느 하나를 회전시키는 구동수단이 더 구비되는 것이 바람직하다. The beam processing surface control means may be a beam slit having a pair of X-axis blades and a pair of Y-axis blades, or the beam processing surface control means may be a mask in which a transmission part is formed. On the other hand, it is preferable that the driving means for rotating at least one of the pair of X-axis blade and the pair of Y-axis blade is further provided.
또한 상기 레이저 빔의 에너지 밀도가 낮은 영역은 필터링하고, 에너지 밀도가 높은 피크 영역만을 투과시키는 빔형상 제어수단을 포함하는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable to include a beam shape control means for filtering the region of low energy density of the laser beam, and transmits only the peak region of high energy density.
또한 상기 빔형상 제어수단은 한 쌍의 X축 블레이드와, 한 쌍의 Y축 블레이드를 갖는 빔 슬릿인 것이 바람직하다. Further, the beam shape control means is preferably a beam slit having a pair of X-axis blades and a pair of Y-axis blades.
또한 상기 빔형상 제어수단은 투과부가 형성된 마스크인 것이 바람직하다. In addition, the beam shape control means is preferably a mask formed with a transmission portion.
또한 상기 레이저 빔의 세기를 조절하는 빔세기조절부 또는 상기 레이저 빔의 에너지 밀도가 균일한 영역을 넓혀서 빔의 가공 가능영역을 확장하고 빔의 모양을 평탄하게 하는 빔 쉐이퍼를 더 포함하는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable to further include a beam intensity control unit for adjusting the intensity of the laser beam or a beam shaper for extending the processable area of the beam and flatten the shape of the beam by widening a region where the energy density of the laser beam is uniform. .
또한 휘점불량 수리장치의 패널과 빔이 서로 대향되는 방향으로 이동하며 휘점불량을 수리하도록 하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to move the panel and the beam of the apparatus for repairing a failure point in a direction opposite to each other to repair the failure point.
또한 상기 휘점불량 수리장치에는 상기 레이저 빔과 가공 대상의 광 입사 및 출력 특성을 제어하는 제어부; 더 구비하게 하는 것이 바람직하다.The bright spot repair apparatus may include a controller configured to control light incident and output characteristics of the laser beam and a processing target; It is preferable to make it further equipped.
또한 상기 제어부는 레이저부와 스캐너 사이에 위치되게 하거나 상기 제어부는 스캐너와 빔가공면 제어수단 사이에 위치되게 하는 것이 바람직하다.
In addition, the control unit is preferably located between the laser unit and the scanner or the control unit is located between the scanner and the beam processing surface control means.
본 발명에 따르면, 레이저 조사영역 전범위에 걸쳐 레이저 빔의 에너지밀도를 균일하게 할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, there is an effect that the energy density of the laser beam can be made uniform over the entire laser irradiation area.
이로 인해, 칼라필터 하부층에 손상을 주는 것을 방지할 수 있다. This can prevent damage to the color filter lower layer.
또한 가우시안 분포를 갖는 레이저 빔의 중심만을 사용함으로써, 상대적으로 균일한 에너지를 갖는 레이저 빔을 사용할 수 있는 효과도 있다.
In addition, by using only the center of the laser beam having a Gaussian distribution, there is an effect that can use a laser beam having a relatively uniform energy.
도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면도이다.
도 2는 색필터의 파장별 투과율 그래프이다.
도 3은 종래 휘점불량 수리장치를 나타낸 것이다.
도 4는 도 3에 도시된 수리장치에 구비된 스캐너를 나타낸 것이다.
도 5는 도 3에 도시된 수리장치의 사용상태를 나타낸 것이다.
도 6은 도 3에 도시된 수리장치에서 조사되는 레이저 빔의 에너지 분포를 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명에 의한 수리장치의 제1실시예를 나타낸 것이다.
도 8은 제1실시예의 사용상태를 나타낸 것이다.
도 9 및 도 10은 제1실시예에 구비되는 빔가공면 제어수단을 나타낸 것이다.
도 11은 제1실시예에서 조사되는 레이저 빔의 에너지 분포를 나타낸 것이다.
도 12는 본 발명에 의한 수리장치의 제2실시예를 나타낸 것이다.
도 13은 본 발명에 따른 슬릿 형태로 형성된 빔을 나타낸 것이다.
도 14는 본 발명에 따른 제3실시예를 나타낸 것이다.1 is a cross-sectional view of a general liquid crystal display device.
2 is a graph showing transmittance of each color filter.
Figure 3 shows a conventional bright point repair device.
4 illustrates a scanner provided in the repair apparatus shown in FIG. 3.
5 shows a state of use of the repair apparatus shown in FIG.
FIG. 6 illustrates energy distribution of a laser beam irradiated by the repair apparatus shown in FIG. 3.
7 shows a first embodiment of a repair apparatus according to the present invention.
8 shows the use state of the first embodiment.
9 and 10 show the beam processing surface control means provided in the first embodiment.
11 shows the energy distribution of the laser beam irradiated in the first embodiment.
12 shows a second embodiment of a repair apparatus according to the present invention.
Figure 13 shows a beam formed in the form of a slit according to the present invention.
Figure 14 shows a third embodiment according to the present invention.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예들은 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. These embodiments are provided to explain in detail the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of each element shown in the drawings may be exaggerated to emphasize a more clear description.
도 7을 참조하면, 본 발명에 의한 휘점불량 수리장치의 제1실시예(200)는 레이저부(210)와, 상기 레이저부에서 조사된 레이저 빔의 세기를 조절하는 빔세기조절부(220)와, 빔형상 제어수단(270)과, 상기 레이저 빔을 패널(P)의 색필터의 조사구간에서 스캐닝하는 스캐너(230)와, 빔가공면 제어수단(280)과, 색필터(또는 패널)을 실시간으로 확인하는 모니터링부(240)와 조명(241), 상기 레이저 빔의 초점을 조절하는 자동초점조절수단(250)과 포커싱렌즈(260)를 포함한다. 또한 광경로를 조절하는 미러(M1,M2)가 다수 배치된다. Referring to FIG. 7, the
상기 스캐너(230)는 공지의 수단으로서, 레이저 빔의 방향을 전환시켜 주는 X-갈바노미러 및 Y-갈바노미러, 상기 각 미러에 의해 방향이 전환된 레이저 빔을 집속시켜주는 스캔 렌즈를 포함한다. The
특히, 상기 빔가공면 제어수단(280)은 스캐닝되는 상기 레이저 빔이 가속구간 또는 감속구간에서는 상기 색필터에 조사되지 않도록 필터링하는 구성요소이다. 가속구간 또는 감속구간와 기타구간에서는 레이저 에너지 밀도가 차이가 있기 때문에 이 구간에서의 레이저 빔을 사용하지 않기 위하여 필터링하는 것이다. 이로써, 색필터 전체 조사영역을 균일한 에너지 밀도로 가공하기 위한 것이다.
In particular, the beam processing surface control means 280 is a component for filtering the laser beam to be scanned so that the color filter is not irradiated in the acceleration section or the deceleration section. Since the laser energy density is different in the acceleration or deceleration section and other sections, the filtering is performed so as not to use the laser beam in this section. This is to process the entire color filter irradiated area at a uniform energy density.
도 8은 상기 빔가공면 제어수단(280)의 사용상태를 나타낸 것이다. 8 shows a state of use of the beam processing surface control means 280.
이를 참조하면, 레이저 빔의 가속구간 또는 감속구간은 빔가공면 제어수단에 의해 차단되어 색필터(532)에 조사되지 않고, 기타 구간(평균속도구간)에서만 레이저 빔이 투과되어 색필터(532)에 조사되는 것이다. 따라서 색필터 전체 구간에 걸쳐 균일한 에너지 밀도로 가공하는 것이 가능해진다. Referring to this, the acceleration or deceleration section of the laser beam is blocked by the beam processing surface control means and is not irradiated to the
도 9는 상기 빔가공면 제어수단의 일예로서, 한 쌍의 X축 블레이드(Sb)와 한 쌍의 Y축 블레이드(Sa)를 갖는 빔 슬릿(S)으로 이루어진다. 상기 블레이드를 작동시켜 투과부(O1,O2)의 크기를 조절할 수 있다((a) 및 (b)참조). 상기 투과부(O1,O2)의 크기를 조절하기 위하여 X축 블레이드를 구동하는 구동모터와, Y축 블레이드를 구동하는 구동모터가 구비된다. Fig. 9 shows an example of the beam processing surface control means, which comprises a beam slit S having a pair of X-axis blades Sb and a pair of Y-axis blades Sa. By operating the blades it is possible to adjust the size of the transmission portion (O1, O2) (see (a) and (b)). A drive motor for driving the X-axis blade and a drive motor for driving the Y-axis blade are provided to adjust the sizes of the transmission units O1 and O2.
이로 인해 가속구간 또는 감속구간에서는 빔이 차단되어 색필터에 조사되지 않고, 기타 구간(평균속도구간)에서만 레이저 빔이 투과되어 색필터에 조사되는 것이다.
For this reason, the beam is blocked in the acceleration section or the deceleration section and is not irradiated to the color filter, and the laser beam is transmitted to the color filter only in the other section (average speed section).
도 10은 빔가공면 제어수단의 다른 예로서, 투과부(O)가 형성된 마스크(M)로 이루어진다. 상기 마스크에는 각기 다른 크기와 형태를 갖는 다수의 투과부(O)가 형성될 수 있다. FIG. 10 is a mask M in which the transmission part O is formed as another example of the beam processing surface control means. The mask may have a plurality of transmissive portions O having different sizes and shapes.
도 11은 본 실시예에서 조사되는 레이저 빔(B)의 단면형태를 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 최초 레이저부에서 조사되는 레이저 빔(B)은 단면형태가 원형이면서 가우시안 형태로 에너지가 가운데 영역에 집중되어 있지만, 이러한 레이저 빔은 빔형상 제어수단을 통과하면서 직사각형상 또는 정사각형상으로 형성된다. 즉, 원형인 최초 레이저 빔 중심의 상대적으로 높은 에너지 영역인 피크 영역(B2)만을 투과시키고, 상대적으로 약한 에너지 영역인 가장자리(B3)는 차단하는 것이다. 이로 인해 가우시안 형태의 에너지 분포를 갖는 레이저 빔에서 비교적 균일한 에너지 분포를 갖는 중심(B2)만을 사용할 수 있게 되는 것이다. 11 shows a cross-sectional shape of the laser beam B irradiated in this embodiment. As shown, although the laser beam B irradiated from the initial laser portion has a circular cross section and a Gaussian shape, the energy is concentrated in the center region, but the laser beam passes through the beam shape control means and is rectangular or square. Is formed. That is, only the peak region B2, which is a relatively high energy region of the circular laser beam center, is transmitted, and the edge B3, which is a relatively weak energy region, is blocked. This makes it possible to use only the center (B2) having a relatively uniform energy distribution in the laser beam having a Gaussian energy distribution.
도 12는 본 발명에 의한 제2실시예(300)를 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 빔 쉐이퍼(391)와 구동수단(392)이 더 구비된다는 점 이외에는 제1실시예와 동일하다. 따라서 중복된 구성요소에 대한 설명은 생략하기로 한다. 12 shows a
상기 빔 쉐이퍼(beam shaper,391)는 에너지 밀도가 균일한 영역을 넓혀서 빔의 가공 가능 영역을 확장하고 빔의 모양을 평탄하게 하는 역할을 한다. The
또한 상기 구동수단(392)은 빔가공면 제어수단인 상기 한 쌍의 X축 블레이드 또는 한 쌍의 Y축 블레이드 중 어느 하나를 회전시키거나, 또는 이들 모두를 동시에 회전시키는 구성요소이다. 이와 같이 블레이드를 회전시킴으로써 투과부(도 9의 O1,O2 참조)를 다양한 형태로 형성할 수 있게 된다. 이것은 색필터의 형태에 맞게 투과부의 형태로 조정하기 위한 것이다. Further, the driving means 392 is a component that rotates either one of the pair of X-axis blades or the pair of Y-axis blades, which are beam processing surface control means, or both of them simultaneously. By rotating the blades as described above, it is possible to form the transmission part (see O 1 , O 2 in FIG. 9) in various forms. This is for adjusting the shape of the transmissive part to the shape of the color filter.
예컨대 본 발명의 실시예들에서는 도 13에 도시된 바와 같이 빔(B)이 슬릿 형태로 넓혀서 가공 가능 영역을 확장하여 패널(P)을 수리하도록 하는 것이다.For example, in the embodiments of the present invention, as shown in FIG. 13, the beam B is widened in a slit form to expand the processable area so that the panel P can be repaired.
앞서 설명한 본 발명의 실시예들에서는 빔(B)이 패널 위에서 이동하며 패널의 휘점불량을 수리하도록 하고 있으나, 도 14에 도시된 바와 같이 패널(P)과 빔(B)이 서로 대향되는 방향으로 이동하며 수리토록 함으로써 패널 수리에 소요되는 시간을 단축할 수 있게 하는 것도 가능하다.In the above-described embodiments of the present invention, the beam B moves on the panel to repair the failure point of the panel, but as shown in FIG. 14, the panel P and the beam B face each other. It is also possible to reduce the time required for panel repair by moving and repairing.
한편, 도면상에 도시하고 있지는 않지만 상기 실시예에서는 제어부(미도시)를 더 구비하는 것이 바람직하다. 상기 제어부는 앞서 설명한 레이저부(210)와 스캐너 사이(230)에 배치되거나 또는 스캐너(230)와 빔가공면 제어수단(280) 사이에 배치되어 액정 패널에 편광판이 설치된 경우에 한하여 레이저 빔의 편광 상태를 변경할 수 있도록 하여 레이저 빔의 균일도를 향상시킬 수 있게 하고 있다.Although not shown in the drawings, it is preferable to further include a controller (not shown) in the above embodiment. The control unit is disposed between the
본 발명은 상기에 기술된 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되는 본 발명의 취지와 범위에 포함된다.The present invention is not limited by the embodiments described above, and various changes and modifications can be made by those skilled in the art, which are included in the spirit and scope of the present invention as defined in the appended claims.
Claims (13)
상기 레이저 빔을 상기 색필터의 조사구간에서 스캐닝하는 스캐너; 및
스캐닝되는 상기 레이저 빔이 가속구간 또는 감속구간에서는 상기 색필터에 조사되지 않도록 필터링하는 빔가공면 제어수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 휘점불량 수리장치.
A laser unit for irradiating a laser beam to the color filter having a bright point defect;
A scanner scanning the laser beam at an irradiation section of the color filter; And
And a beam processing surface control means for filtering the laser beam to be scanned so that the laser beam is not irradiated to the color filter in the acceleration section or the deceleration section.
상기 빔가공면 제어수단은 한 쌍의 X축 블레이드와, 한 쌍의 Y축 블레이드를 갖는 빔 슬릿인 것을 특징으로 하는 휘점불량 수리장치.
The method of claim 1,
The beam processing surface control means is a failure point repair device, characterized in that the beam slit having a pair of X-axis blades, and a pair of Y-axis blades.
상기 한 쌍의 X축 블레이드와 한 쌍의 Y축 블레이드 중 적어도 어느 하나의 블레이드를 구동시키는 구동수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 휘점불량 수리장치.
The method of claim 2,
And a driving means for driving at least one blade of the pair of X-axis blades and the pair of Y-axis blades.
상기 빔가공면 제어수단은 투과부가 형성된 마스크인 것을 특징으로 하는 휘점불량 수리장치.
The method of claim 1,
The beam processing surface control means is a failure point repair apparatus, characterized in that the mask formed with a transmission.
상기 레이저 빔이 소정의 에너지 밀도를 갖는 피크 영역만을 투과시키는 빔 형상 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 휘점불량 수리장치.
The method of claim 1,
And a beam shape control means for transmitting the laser beam to only a peak region having a predetermined energy density.
상기 빔 형상 제어수단은 한 쌍의 X축 블레이드와, 한 쌍의 Y축 블레이드를 갖는 빔 슬릿인 것을 특징으로 하는 휘점불량 수리장치.
The method of claim 5,
And the beam shape control means is a beam slit having a pair of X-axis blades and a pair of Y-axis blades.
상기 빔 형상 제어수단은 투과부가 형성된 마스크인 것을 특징으로 하는 휘점불량 수리장치.
The method of claim 5,
The beam shape control means is a failure point repair device, characterized in that the mask formed with a transmission.
상기 레이저 빔의 세기를 조절하는 빔세기조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 휘점불량 수리장치.
The method of claim 1,
And a beam intensity control unit for adjusting the intensity of the laser beam.
상기 레이저 빔의 에너지 밀도가 균일한 영역을 넓혀서 빔의 가공 가능영역을 확장하고 빔의 모양을 평탄하게 하는 빔 쉐이퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 휘점불량 수리장치.
The method of claim 1,
And a beam shaper for widening a region where the energy density of the laser beam is uniform to extend a processable region of the beam and to flatten the shape of the beam.
The apparatus for repairing a defective spot of claim 1 to 9, wherein the panel and the beam of the apparatus for repairing a defect of point of failure according to any one of claims 1 to 9 are moved to face each other.
상기 레이저 빔의 편광 상태를 변경시키도록 제어하는 제어부; 더 구비하게 하는 것을 특징으로 하는 휘점불량 수리장치.
The method of claim 1,
A control unit controlling to change the polarization state of the laser beam; Bright point repair device characterized in that it further comprises.
상기 제어부는 레이저부와 스캐너 사이에 위치되게 하는 것을 특징으로 하는 휘점불량 수리장치.
The method of claim 11,
The control unit is a failure point repair apparatus, characterized in that positioned between the laser unit and the scanner.
상기 제어부는 스캐너와 빔가공면 제어수단 사이에 위치되게 하는 것을 특징으로 하는 휘점불량 수리장치.The method of claim 11,
And the control unit is positioned between the scanner and the beam processing surface control means.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN112230459A (en) * | 2020-10-21 | 2021-01-15 | 苏州科韵激光科技有限公司 | System and method for repairing bright spot defect of display panel |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002273584A (en) | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Laser beam machining device |
KR20070010876A (en) * | 2005-07-20 | 2007-01-24 | (주)미래컴퍼니 | Device and method for correcting faults of panel |
KR20080022845A (en) * | 2006-09-08 | 2008-03-12 | 김일호 | Carbonized organic film, hazing apparatus for organic film and method the same |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW349178B (en) * | 1994-11-15 | 1999-01-01 | Sharp Kk | A method for the correction of a defect in a liquid crystal display device |
JP2000280082A (en) * | 1999-03-31 | 2000-10-10 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Method and device for perforation processing by laser |
TW499617B (en) * | 2001-02-08 | 2002-08-21 | Au Optronics Corp | Darkening method for the light spot on the matrix display |
CN100395586C (en) * | 2003-05-09 | 2008-06-18 | 奥林巴斯株式会社 | Defect correction device and defect correction method |
JP4723915B2 (en) * | 2005-06-03 | 2011-07-13 | 株式会社東芝 | Method and apparatus for repairing liquid crystal panel |
-
2010
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002273584A (en) | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Laser beam machining device |
KR20070010876A (en) * | 2005-07-20 | 2007-01-24 | (주)미래컴퍼니 | Device and method for correcting faults of panel |
KR20080022845A (en) * | 2006-09-08 | 2008-03-12 | 김일호 | Carbonized organic film, hazing apparatus for organic film and method the same |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101414805B1 (en) | 2013-04-02 | 2014-07-01 | 주식회사 엘티에스 | Substrate detaching apparatus of Laser Lift-Off process |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI425283B (en) | 2014-02-01 |
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