KR101102025B1

KR101102025B1 - Chamber

Info

Publication number: KR101102025B1
Application number: KR1020040104749A
Authority: KR
Inventors: 김병수
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2004-12-13
Filing date: 2004-12-13
Publication date: 2012-01-04
Also published as: KR20060066224A

Abstract

본 발명은 에이징 테스트를 위하여 기판 및 테스트 지그들을 외부에서 다룰 수 있는 구조의 에이징 챔버를 개시한다. 본 발명에 따른 에이징 챔버는 내부 공간은 다수의 공간부들로 구분되며, 각 공간부에는 다수의 수평 공간(유니트)을 형성하는 프레임이 설치되고, 각 유니트를 구성하는 프레임의 좌우측에는 안내 부재가 동일한 높이로 각각 고정되어 있고, 기판 및 지그가 로딩되는 베이스의 양측단부는 이 안내 부재에 지지되어 있어 베이스가 안내 부재를 따라 이동 가능하며, 따라서 베이스는 챔버의 외부로 인출될 수 있다.The present invention discloses an aging chamber having a structure capable of externally handling a substrate and test jigs for an aging test. In the aging chamber according to the present invention, the internal space is divided into a plurality of space portions, and each space portion is provided with a frame forming a plurality of horizontal spaces (units), and the guide members are the same on the left and right sides of the frame constituting each unit. It is fixed at each height, and both end portions of the base on which the substrate and the jig are loaded are supported by the guide member so that the base can move along the guide member, so that the base can be drawn out of the chamber.

유기 전계 발광 소자, 챔버Organic electroluminescent element, chamber

Description

Chamber {Chamber}

도 1은 다수의 유기 전계 발광 소자들이 형성된 기판의 평면도.1 is a plan view of a substrate on which a plurality of organic electroluminescent devices are formed.

도 2는 도 1의 "A"의 상세도.2 is a detail of "A" of FIG.

도 3은 유기 전계 발광 소자의 에이징 테스트를 위하여 도 1에 도시된 기판을 테스트용 지그와 대응시킨 상태를 도시한 개략적인 정면도.FIG. 3 is a schematic front view showing a state in which the substrate shown in FIG. 1 is matched with a test jig for an aging test of the organic electroluminescent device. FIG.

도 4는 본 발명에 따른 (에이징) 챔버의 정면도.4 is a front view of the (aging) chamber according to the present invention.

도 5는 도 4에 도시된 어느 한 유니트의 정면도.5 is a front view of any one of the units shown in FIG.

도 6는 도 4의 선 A-A을 따라 절취한 상태의 단면도.6 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 4.

본 발명은 챔버에 관한 것으로서, 특히 다수의 기판들 (및 지그들)을 외부에서 장착하여 내부로 로딩한 후, 기판들에 대한 테스트 또는 공정을 진행할 수 있는 구조로 이루어진 챔버에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chamber, and more particularly, to a chamber having a structure in which a plurality of substrates (and jigs) are externally mounted and loaded therein and then subjected to a test or a process on the substrates.

글라스 기판 표면에 다수의 유기 전계 발광 소자들(이하, 편의상 "소자"라 칭함)을 형성한 후에 각 소자에 대한 에이징 테스트(aging test)를 실시한다. After forming a plurality of organic electroluminescent elements (hereinafter referred to as "elements" for convenience) on the glass substrate surface, an aging test for each element is performed.

에이징 테스트는 정상적인 구동 조건보다 가혹한 조건을 소자들에게 부여하 여 불량 가능성이 있는 소자들을 선별하는 테스트로서, 에이징 테스트 과정에서는 소자들을 고온의 (에이징) 챔버 내에 로딩시킨 상태에서 높은 구동 전압을 인가하게 된다. The aging test is a test that selects devices that are likely to be defective by giving the devices more severe conditions than normal driving conditions. In the aging test process, a high driving voltage is applied while the devices are loaded in a high temperature (aging) chamber. do.

제조 단계에서 정상적인 상태로 간주된 소자들은 미세한 결함을 가질 수 있으며, 소자들에게 가혹 조건을 부여하는 에이징 테스트 과정에서 소자의 미세한 결함을 판별할 수 있다. 즉, 예를 들어 정상적인 구동 전압 조건(5 볼트)에서는 정상 소자로 간주될 수 있는 정도의 미세한 결함을 갖고 있는 소자들은 높은 구동 전압(예를 들어, 15 내지 20볼트)이 인가될 경우 배선이 단락되는 등의 치명적인 결함을 갖게 된다. Devices deemed to be in a normal state at the manufacturing stage may have fine defects, and microscopic defects of the devices may be determined in an aging test process that imposes harsh conditions on the devices. That is, for example, devices having a microscopic defect that can be regarded as a normal device under normal driving voltage conditions (5 volts) may have a short circuit when a high driving voltage (for example, 15 to 20 volts) is applied. There will be fatal defects such as

제조 완료된 소자들을 완제품으로서 출하되기 전에 에이징 테스트를 실시하여 불량 소자화될 수 있는 소자들을 선별하여 폐기하게 된다. 이러한 목적으로 수행되는 에이징 테스트의 한 단계를 간단히 설명하면 다음과 같다. Aging test is performed before the manufactured devices are shipped as finished products to select and discard devices that may be defective. Briefly, one step of the aging test performed for this purpose is as follows.

도 1은 다수의 유기 전계 발광 소자들이 형성된 기판의 평면도로서, 기판(1) 상에 다수의 유기 전계 발광 소자(2; 이하, "소자"라 칭함)들이 형성된 상태를 도시하고 있다. 도 2는 도 1의 "A"의 상세도로서, 기판(1)에 형성된 하나의 소자(2)를 나타낸다.1 is a plan view of a substrate on which a plurality of organic electroluminescent elements are formed, and shows a state in which a plurality of organic electroluminescent elements 2 (hereinafter, referred to as “elements”) are formed on a substrate 1. FIG. 2 is a detailed view of "A" in FIG. 1, showing one element 2 formed in the substrate 1.

도 2에 도시된 바와 같이, 각 소자(2)는 기판(2)에 부착된 캡(2A) 내에 구성 요소들이 형성되어 있으며, 캡(2A) 외부로 다수의 데이터 라인(2B)과 스캔 라인(2C)이 연장되어 있다. 또한, 데이터 라인(2B)과 스캔 라인(2C)의 종단에는 스캔 라인들이 집속된 2개의 스캔 라인 패드(2C-1) 및 데이터 라인들이 집속된 데이터 라인 패드(2B-1)가 형성된다. As shown in FIG. 2, each element 2 has components formed in a cap 2A attached to the substrate 2, and a plurality of data lines 2B and scan lines (2) outside the cap 2A. 2C) is extended. In addition, two scan line pads 2C-1 on which scan lines are focused and a data line pad 2B-1 on which data lines are focused are formed at ends of the data line 2B and the scan line 2C.

도 1에 도시된 모든 소자들(2)에는 이러한 스캔 라인 패드들(2C-1) 및 데이터 라인 패드(2B-1)가 각각 형성되어 있다. 에이징 테스트 과정에서, 이 스캔 라인 패드들(2C-1) 및 데이터 라인 패드(2B-1)를 통하여 모든 소자들(2)에게 구동 전압(물론 정상적인 구동 전압보다 높은 전압)을 인가한다. All of the elements 2 shown in FIG. 1 are formed with these scan line pads 2C-1 and data line pads 2B-1, respectively. In the aging test process, a driving voltage (a voltage higher than a normal driving voltage, of course) is applied to all of the elements 2 through the scan line pads 2C-1 and the data line pads 2B-1.

도 3은 유기 전계 발광 소자의 에이징 테스트를 위하여 도 1에 도시된 기판을 테스트용 지그와 대응시킨 상태를 도시한 개략적인 단면도로서, 편의상 기판(1) 및 지그(3)의 일부만을 도시하였다.FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a state in which the substrate shown in FIG. 1 corresponds to a test jig for aging test of the organic electroluminescent device, and only a part of the substrate 1 and the jig 3 are shown for convenience.

지그(3)의 표면에는 전원부에 연결된 다수의 전압 인가 핀(3B, 3C; 일명, 리노 핀)들이 장착되어 있으며, 각 전압 인가 핀(3B, 3C)은 각 소자(2)의 데이터 라인 패드(2B-1)들 및 스캔 라인 패드(2C-1)에 각각 접촉하게 된다. 이와 같은 상태에서 전원을 온(on)시키면, 각 전압 인가 핀(3B, 3C)과 데이터 라인 패드(2B-1)들 및 스캔 라인 패드(2C-1)를 통하여 각 소자(2)에 높은 구동 전압이 인가된다.On the surface of the jig 3, a plurality of voltage applying pins 3B and 3C (aka Reno pins) connected to the power supply unit are mounted, and each voltage applying pin 3B and 3C is provided with a data line pad (for each element 2). 2B-1) and scan line pad 2C-1, respectively. When the power is turned on in such a state, high driving to each element 2 is performed through the voltage applying pins 3B and 3C, the data line pads 2B-1, and the scan line pads 2C-1. Voltage is applied.

위에서 설명한 바와 같이, 정상 소자로 간주될 수 있는 정도의 미세한 결함을 갖고 있는 소자들은 높은 구동 전압이 인가될 경우 배선이 단락되는 등의 치명적인 결함을 갖게 되며, 각 소자들은 이러한 구동 전압 인가 단계 후 점등 단계로 이송된다.As described above, devices having a microscopic defect that can be regarded as a normal device have a fatal defect such as short-circuit of the wiring when a high driving voltage is applied, and each device is turned on after the driving voltage application step. Are transferred to the step.

소자 점등 단계에서는, (도 1에서와 같이 기판에 실장된 상태의) 각 소자에 정상적인 구동 전압을 인가하여 각 소자의 구동(발광 여부)을 판단한다. 이 단계에서, 이전 단계에서 높은 구동 전압의 인가에 의하여 내부에 결함이 발생한 소자들 은 점등되지 않으며, 점등되지 않은 소자들을 체크하여 불량 처리한 후, 소자들에 대한 전기적인 에이징 테스트를 종료한다.In the element lighting step, a normal driving voltage is applied to each element (in the state mounted on the substrate as shown in FIG. 1) to determine the driving (light emission) of each element. In this step, the devices in which the defects are generated internally by the application of the high driving voltage in the previous step are not lit, and after the defective devices are checked for defective processing, the electrical aging test for the devices is terminated.

위에서 언급한, 기판에 형성된 각 소자에 정상 구동 전압보다 높은 구동 전압을 인가하는 단계는 고온의 에이징 챔버 내에서 실시하게 된다. As described above, applying a driving voltage higher than the normal driving voltage to each element formed in the substrate is performed in a high temperature aging chamber.

에이징 챔버에는 도 1에 도시된 다수의 기판들이 로딩되며, 고온의 조건 하에서 기판들에 대한 에이징 테스트가 진행된다. 에이징 챔버 내에는 다수의 기판들및 테스트 지그들이 적층 형태로 배치되며, 또한 각 테스트 지그에 전원을 공급하기 위한 다수의 케이블 등과 같은 부재들이 설비되어 있다.The aging chamber is loaded with a plurality of substrates shown in FIG. 1 and subjected to an aging test on the substrates under high temperature conditions. In the aging chamber, a plurality of substrates and test jigs are arranged in a stacked form, and members such as a plurality of cables and the like for supplying power to each test jig are provided.

다수의 부재들이 설비되어 있는 좁은 공간의 에이징 챔버 내에 다수의 기판과 테스트 지그를 배치하기에는 많은 어려움이 뒤따르며, 특히 테스트 지그에 각종 케이블을 연결하는 작업은 상당한 시간이 소요된다.There are many difficulties in placing a plurality of substrates and test jigs in a small space aging chamber equipped with a plurality of members, and in particular, connecting various cables to the test jig takes considerable time.

본 발명은 에이징 테스트를 위하여 기판 및 테스트 지그들을 에이징 챔버 내로 로딩시키는 과정에서 발생하는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 작업자가 외부에서 기판과 테스트 지그를 다룰 수 있는 구조의 에이징 챔버를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems in the process of loading the substrate and the test jig into the aging chamber for aging test, to provide an aging chamber of the structure that the operator can handle the substrate and the test jig from the outside. There is a purpose.

본 발명에 따른 에이징 챔버는 내부 공간은 다수의 공간부로 구분되며, 각 공간부에는 다수의 수평 공간(유니트)을 형성하는 프레임이 설치되고, 각 유니트를 구성하는 프레임의 좌우측에는 안내 부재가 동일한 높이로 각각 고정되어 있고, 기판 및 지그가 로딩되는 베이스의 양측단부는 이 안내 부재에 지지되어 있어 베이스 가 안내 부재를 따라 이동 가능하며, 따라서 베이스는 외부로 인출될 수 있다.In the aging chamber according to the present invention, the internal space is divided into a plurality of spaces, and each space is provided with a frame forming a plurality of horizontal spaces (units), and the guide members are the same height on the left and right sides of the frame constituting each unit. Each side end of the base on which the substrate and the jig are loaded is supported by the guide member so that the base can move along the guide member, and thus the base can be pulled out.

이하, 본 발명을 첨부한 도면을 통하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 에이징 챔버의 정면도, 도 5는 도 4에 도시된 어느 한 유니트의 정면도, 도 6는 도 4의 선 A-A을 따라 절취한 상태의 단면도로서, 에이징 챔버의 내부 구성을 도시하고 있다. 4 is a front view of an aging chamber according to the present invention, FIG. 5 is a front view of one unit shown in FIG. 4, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the aging chamber taken along the line AA of FIG. 4. It is shown.

한편, 도 6에서는 에이징 챔버의 하우징은 도시하지 않았으며, 단면도임에도 불구하고 각 부재를 명확하게 도시하기 위하여 단면 처리를 하지 않았다. 또한 테스트 지그에 연결되는 각종 케이블 등의 본 발명과 직접적인 관련이 없는 구성 부재들 또한 도시하지 않았다. On the other hand, in Figure 6, the housing of the aging chamber is not shown, in spite of the cross-sectional view is not cross-sectional treatment in order to clearly show each member. Also, structural members not directly related to the present invention, such as various cables connected to the test jig, are not shown.

본 발명에 따른 에이징 챔버(100)의 가장 큰 특징은 챔버(100) 내부에 설치된 프레임(101)을 다단으로 구분하여 각 단에 기판(도 3의 1) 및 테스트 지그(도 3의 3)를 장착할 수 있도록 구성하였으며, 또한, 각 단에 설치된 베이스를 프레임 (101)의 전방, 즉 챔버(100) 외부로 인출할 수 있도록 구성한 것이다. 이를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.The biggest feature of the aging chamber 100 according to the present invention is to divide the frame 101 installed in the chamber 100 into a multi-stage substrate (1 in Figure 3) and the test jig (3 in Figure 3) in each stage It is configured to be mounted, and also configured to be able to withdraw the base installed in each stage to the front of the frame 101, that is to the outside of the chamber 100. This will be described in more detail as follows.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 에이징 챔버(100)의 내부 공간은 좌측 및 우측 공간부로 구분되며, 각 공간부에는 프레임(도 5의 101)이 설치되어 있다. 각 프레임(101)은 상부, 하부 및 후방 부재로 구분되며, 후방 부재에서는 전 높이에 걸쳐 4개의 수평 프레임(101-1)이 연장되어 각 프레임(101)의 내부는 5개의 유니트(110)로 구분된다. 결과적으로, 에이징 챔버(100)에는 총 10개의 유니트 (110)가 구성된다. 한편, 도 4에는 챔버(100) 내부에 10개의 유니트가 구성되어 있으나, 챔버의 내부 공간 크기에 따라 달라질 수 있으며, 따라서 그 수는 제한되지 않음은 물론이다. As shown in FIG. 4, the internal space of the aging chamber 100 according to the present invention is divided into a left and a right space part, and each space part is provided with a frame (101 in FIG. 5). Each frame 101 is divided into upper, lower, and rear members. In the rear member, four horizontal frames 101-1 extend over the entire height, and the inside of each frame 101 is divided into five units 110. Are distinguished. As a result, a total of ten units 110 are configured in the aging chamber 100. Meanwhile, although 10 units are configured in the chamber 100 in FIG. 4, they may vary depending on the size of the internal space of the chamber, and thus the number is not limited thereto.

각 유니트(110)의 좌측 및 우측부에는 상, 하 수평 프레임(101-1)을 지지하는 2개의 포스트(102)가 각각 설치되어 있으며, 각 측부의 2개의 포스트(102) 내면에는 에이징 챔버의 길이 방향(도 5에서의 폭 방향)으로 안내 부재(103)가 동일한 높이로 각각 고정되어 있다. 각 안내 부재(103)의 내측에는 중앙부에 길이 방향으로 소정 폭 및 높이의 절개부(103-1)가 형성되어 있으며, 소정 면적의 베이스(104)의 양측단부는 이 안내 부재(103)의 절개부(103-1)에 수용되어 있다. On the left and right sides of each unit 110, two posts 102 supporting the upper and lower horizontal frames 101-1 are provided, respectively, and the inner surfaces of the two posts 102 on each side of the aging chamber. The guide members 103 are respectively fixed to the same height in the longitudinal direction (the width direction in FIG. 5). The inside of each guide member 103 is formed with a cutout 103-1 having a predetermined width and height in the longitudinal direction at the center portion, and both end portions of the base 104 having a predetermined area are cut out of the guide member 103. It is accommodated in the part 103-1.

따라서, 베이스(104)는 양측의 안내 부재(103)에 지지된 상태로 안내 부재(103)를 따라 이동 가능하며, 결과적으로 베이스(104)는 에이징 챔버(100) 밖으로 인출될 수 있고 에이징 챔버(100) 내로 이동될 수 있다. Accordingly, the base 104 is movable along the guide member 103 while being supported by the guide members 103 on both sides, and as a result, the base 104 can be drawn out of the aging chamber 100 and the aging chamber ( 100) can be moved into.

베이스(104)의 상부면에는 테스트 지그(도 3의 3)를 장착할 수 있는 장착대(105)가 설치되어 있으며, 이 장착대(105)에는 테스트 지그에 연결되는 케이블 등, 각종 부재가 설치된다. On the upper surface of the base 104, a mounting table 105 for mounting a test jig (3 in FIG. 3) is installed, and various members such as a cable connected to the test jig are installed in the mounting table 105. do.

위와 같은 유니트(110) 내의 설비는 모든 유니트에 동일하게 구성되어 있다.The equipment in the unit 110 as described above is configured identically in all units.

도 6에는 각 유니트(110)의 베이스(104)가 프레임(101)의 전방, 즉 에이징 챔버 밖으로 인출된 상태를 도시하고 있으며, 유니트(110)중 최하단의 유니트의 베이스(104) 상에는 테스트용 지그(도 3의 3)가 장착되어 있음을 도시하고 있다. 6 shows a state in which the base 104 of each unit 110 is drawn out of the front of the frame 101, that is, out of the aging chamber, and the test jig is mounted on the base 104 of the lowest unit of the units 110. (3 in FIG. 3) is shown.

에이징 챔버 밖으로 인출된 베이스(104) 상에는 장착대(105)를 통하여 지그( 도 3의 3)가 로딩되며, 지그 상에는 테스트를 하고자 하는 기판(도 3의 1)이 로딩된다. 물론, 이때 전술한 바와 같이 기판 상에 형성된 각 소자의 스캔 라인 패드와 데이터 라인 패드가 지그의 전압 인가 핀들과 각각 접촉하게 된다.On the base 104 drawn out of the aging chamber, a jig (3 in FIG. 3) is loaded through the mounting base 105, and a substrate (1 in FIG. 3) to be tested is loaded on the jig. Of course, as described above, the scan line pad and the data line pad of each element formed on the substrate are in contact with the voltage applying pins of the jig, respectively.

도 6에서의 미설명 부호 106은 지그에 전원을 공급하는 전원 공급 플레이트로서, 베이스 상에 로딩되어 챔버 내로 이동되는 지그와 대응한다. Reference numeral 106 in FIG. 6 is a power supply plate for supplying power to the jig, and corresponds to a jig loaded on the base and moved into the chamber.

이상과 같은 본 발명에 따른 에이징 챔버에서는, 도 6에 도시된 바와 같이 테스트 지그 및 기판이 장착되는 베이스가 안내 부재를 따라서 전방으로 이동 가능한 상태로 챔버 내에 설치되어 있기 때문에 테스트 지그 및 기판 장착을 위해서 베이스를 에이징 챔버 밖으로 인출시킬 수 있어 테스트 지그 및 기판을 용이하게 장착할 수 있다. In the aging chamber according to the present invention as described above, since the base on which the test jig and the substrate is mounted is installed in the chamber to be moved forward along the guide member, as shown in FIG. The base can be pulled out of the aging chamber to facilitate mounting of the test jig and substrate.

따라서, 에이징 챔버의 내부 공간을 효율적으로 사용할 수 있음과 동시에 테스트 지그와 기판을 손쉽게 장착할 수 있어 장비의 사용 효율 및 공정 시간 단축이라는 효과를 얻을 수 있다. Therefore, the internal space of the aging chamber can be used efficiently, and the test jig and the substrate can be easily mounted, thereby reducing the use efficiency of the equipment and reducing the process time.

위에서 설명한 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다. Preferred embodiments of the present invention described above are disclosed for purposes of illustration, and those skilled in the art having various ordinary knowledge of the present invention may make various modifications, changes, and additions within the spirit and scope of the present invention. Additions should be considered to be within the scope of the following claims.

즉, 본 명세서에서는 기판에 대한 에이징 테스트를 수행하는 에이징 챔버를 예를 들어 설명하였지만, 다수의 기판을 로딩한 각종 테스트 및 공정을 진행하는 어떠한 챔버에도 적용할 수 있음은 물론이다. That is, in the present specification, an aging chamber for performing an aging test on a substrate has been described as an example. However, the present invention can be applied to any chamber that performs various tests and processes loaded with a plurality of substrates.

Claims

A chamber in which a plurality of substrates and jigs are loaded to undergo a test or process,

The internal space is divided into a plurality of space parts, and each space part is provided with a frame forming a unit forming a plurality of horizontal spaces, and guide members having the same height are fixed to the left and right sides of the frame constituting each unit, respectively. The base on which the substrate and the jig are loaded is supported at both ends of the guide member so that the base can be drawn out along the guide member.

The base includes a mount for mounting a test jig or substrate mounted on its top surface,

Each unit is provided with two posts supporting the upper and lower horizontal frames on the left and right sides, respectively, and the guide members are fixed at the same height in the longitudinal direction on the two inner posts of each side.

Each of the guide members is provided with a cutout having a predetermined width and height in a longitudinal direction at an inner central portion thereof, and both side ends of the base having a predetermined area are accommodated in the cutout of the guide member.

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The chamber of claim 1, wherein each frame is divided into upper, lower, and rear members, and a plurality of horizontal frames extend from the rear member to the entire height so that the interior of each frame is divided into a plurality of units.

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