KR101101848B1 - Touch panel inspection apparatus - Google Patents

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무네히로 야마시타
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니혼덴산리드가부시키가이샤
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Abstract

(과제)
본 발명은, 검사대상물이 x축 방향 및 y축 방향으로 즉 매트릭스 모양으로 배치되는 배선을 구비하는 터치패널과 같은 검사물이더라도 비접촉 검사방식으로 검사를 실시함으로써 검사시간을 단축하여 효율적으로 검사를 실시할 수 있는 터치패널 검사장치를 제공한다.
(해결수단)
터치패널 검사장치로서, 상기 검사대상이 되는 x축 배선의 도통검사를 실시하기 위하여 교류신호를 공급하는 제1신호공급수단과, 상기 검사대상이 되는 y축 배선의 도통검사를 실시하기 위한 교류신호를 공급하는 제2신호공급수단과, 상기 검사대상이 되는 x축 배선과 인접하는 y축 배선과의 단락검사를 실시하기 위한 교류신호를 공급하는 제3신호공급수단과, 상기 검사대상의 배선의 도통 및 단락을 검사하기 위하여 각 공급수단으로부터의 교류신호를 공급하는 복수의 급전부와, 상기 배선으로부터의 전기신호를 검출하는 복수의 검전부를 구비하는 검사헤드부와, 상기 검사헤드부를 상기 검사물의 표면 상을 소정의 축방향으로 이동시키는 이동수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
(assignment)
According to the present invention, even if the inspection object is an inspection object such as a touch panel having wirings arranged in the x-axis direction and the y-axis direction, that is, in a matrix form, the inspection time is shortened by performing the inspection in a non-contact inspection method to efficiently perform the inspection. It provides a touch panel inspection device that can be.
(Solution)
A touch panel inspection apparatus, comprising: first signal supply means for supplying an AC signal for conducting conduction inspection of an x-axis wiring to be inspected, and an alternating signal for conducting conduction inspection of a y-axis wiring to be inspected A second signal supply means for supplying a signal, a third signal supply means for supplying an AC signal for conducting a short circuit inspection between the x-axis wiring to be inspected and the y-axis wiring adjacent to the inspection object, and the wiring to be inspected. An inspection head portion including a plurality of feeding portions for supplying an AC signal from each supply means for inspecting the conduction and a short circuit, a plurality of inspection portions for detecting an electrical signal from the wiring, and the inspection head portion for the inspection And moving means for moving the surface of the water in a predetermined axial direction.

Description

터치패널 검사장치{TOUCH PANEL INSPECTION APPARATUS}Touch Panel Inspection Device {TOUCH PANEL INSPECTION APPARATUS}
본 발명은 터치패널 검사장치(touch panel 檢査裝置)에 관한 것으로서, 더 상세하게는 비접촉의 공급전극(供給電極) 및 검출전극(檢出電極)을 사용함으로써 터치패널을 손상시키지 않고, 터치패널에 형성되는 배선(配線)의 도통(導通) 및 단락검사(短絡檢査)를 신속하고 또한 효율적으로 실시할 수 있는 터치패널 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a touch panel inspection apparatus, and more particularly, to a touch panel without damaging the touch panel by using a non-contact supply electrode and a detection electrode. The present invention relates to a touch panel inspection device capable of quickly and efficiently conducting conduction and short-circuit inspection of wires to be formed.
한편 본 발명은 소위 터치패널에 한정되지 않고, 터치패널과 같이 X축 방향 및 Y축 방향으로 즉 매트릭스(matrix) 모양으로 배열되는 배선을 구비하는 검사대상물에 대하여 검사를 실시할 수 있다.
Meanwhile, the present invention is not limited to the so-called touch panel, and inspection can be performed on an inspection object having wirings arranged in the X-axis direction and the Y-axis direction, that is, in a matrix form like the touch panel.
종래에 있어서 터치패널(또는 터치스크린(touch screen)이나 터치화면(touch 畵面))이라고 불리는 ITO 막(Indium Tin Oxide 膜) 상에 형성되고 X축 방향 및 Y축 방향으로 형성되는 즉 매트릭스 모양으로 배치되는 배선을 구비하는 검사대상물은, X축 방향과 Y축 방향으로 배치되는 각각의 배선에 각각 접촉자(接觸子)(바늘 모양의 도통 프로브(導通 probe))를 접촉시켜서, 각 배선의 도통과 인접하는 배선과의 단락검사가 실시되고 있었다.It is conventionally formed on an ITO film (Indium Tin Oxide film) called a touch panel (or touch screen or touch screen) and formed in the X-axis direction and Y-axis direction, that is, in a matrix shape. The inspection object provided with the wiring to be arranged is brought into contact with a contactor (needle-shaped conducting probe) to each of the wirings arranged in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the conduction of each wiring Short circuit inspection with adjacent wiring was performed.
그러나 이와 같이 접촉자를 각 배선에 접촉시켜서 검사를 실시하는 방법에서는, ITO 막에 형성되는 배선과 접촉자에 있어서 안정성이 없어, 산화막(酸化膜)에 의한 접촉저항(接觸低抗)의 불안정성으로부터 전기적 특성이 정확하게 측정될 수 없다는 문제를 가지고 있었다. 또한 접촉자가 검사대상의 배선과 압접(壓接)되는 것이기 때문에, 배선에 접촉자가 접촉됨으로써 충격에 의한 흔적이 발생한다는 문제를 가지고 있었다.However, in this method of inspecting the contact by contacting each wiring, there is no stability in the wiring formed in the ITO film and the contact, and the electrical characteristics are caused by the instability of the contact resistance caused by the oxide film. There was a problem that this could not be measured accurately. In addition, since the contactor is press-contacted with the wiring to be inspected, there is a problem that traces due to impact are generated when the contactor contacts the wiring.
한편 특허문헌1에 개시되어 있는 바와 같이 조립된 터치패널 상의 소정의 터치입력위치의 검출을 우수한 정밀도로 할 수 있고 터치패널 전체 저항치 등의 전기적 특성을 정확하게 검사하는 검사기술이 제안되어 있다. 이와 같이 조립된 터치패널의 기능에 대한 전기적 특성을 검사하는 기술이 개시되어 있다.On the other hand, as disclosed in Patent Literature 1, an inspection technique for detecting a predetermined touch input position on an assembled touch panel with excellent accuracy and accurately inspecting electrical characteristics such as overall resistance of the touch panel has been proposed. The technology for inspecting the electrical properties of the function of the assembled touch panel is disclosed.
그러나 상기한 바와 같이 조립 전에 있어서 배선의 도통 및 단락을 검사하는 기술은 개시되어 있지 않다.However, as mentioned above, the technique of checking the conduction and short circuit of wiring before assembly is not disclosed.
또 종래에 있어서 표면 상에 형성되는 배선을 구비하는 글래스 기판(glass 基板)으로서, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등이 존재한다. PDP의 글래스 기판은, 일방향(一方向)으로 복수의 막대 모양의 배선이 형성되어 있다. 제조공정에서는 일방향으로 복수 배열되는 배선의 도통 및 단락을 검사할 필요가 있다.In the related art, a plasma display panel (PDP) or the like exists as a glass substrate having wiring formed on the surface thereof. In the glass substrate of the PDP, a plurality of rod-shaped wirings are formed in one direction. In the manufacturing process, it is necessary to check the conduction and short circuit of the wiring arranged in one direction.
이러한 PDP의 검사장치로서, 특허문헌2에 개시되어 있는 것과 같은 비접촉 검사기술이 제안되어 있다. 이 특허문헌2에 개시되어 있는 비접촉 검사기술에서는, 검사대상이 되는 배선에 신호를 공급하고, 이 배선으로부터 검출되는 신호와, 이 배선으로부터 4 또는 5의 패턴 간격으로 떨어진 배선으로부터 검출되는 신호를 비교하여 차이를 검출함으로써 검사를 실시하고 있다.As such a PDP inspection apparatus, a non-contact inspection technique such as disclosed in Patent Document 2 has been proposed. In the non-contact inspection technique disclosed in Patent Document 2, a signal is supplied to a wiring to be inspected, and a signal detected from the wiring is compared with a signal detected from a wiring separated by 4 or 5 pattern intervals from the wiring. The inspection is conducted by detecting the difference.
그러나 이러한 특허문헌2에 개시되어 있는 기술은 일방향으로 나란하게 배치되는 배선을 검사하는 것이 가능하고, 터치패널과 같은 x축 방향과 y축 방향으로 즉 매트릭스 모양으로 배치되는 배선을 검사할 수는 없었다.
However, in the technique disclosed in Patent Document 2, it is possible to inspect the wirings arranged side by side in one direction, and it was not possible to inspect the wirings arranged in the x-axis direction and the y-axis direction, i.e., in a matrix form, such as a touch panel. .
일본국 공개특허 특개2005-274225호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2005-274225 일본국 공개특허 특개2006-200992호 공보Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2006-200992
본 발명은 이러한 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 검사대상물이 x축 방향 및 y축 방향으로 즉 매트릭스 모양으로 배치되는 배선을 구비하는 터치패널과 같은 검사물이더라도 비접촉 검사방식으로 검사를 실시함으로써 검사시간을 단축하여 효율적으로 검사를 실시할 수 있는 터치패널 검사장치를 제공한다.
The present invention has been made in view of the above situation, and even if the inspection object is an inspection object such as a touch panel having wiring arranged in the x-axis direction and the y-axis direction, that is, in the form of a matrix, the inspection time is performed by performing a non-contact inspection method. Provided is a touch panel inspection apparatus capable of shortening and efficiently inspecting.
청구항1에 기재되어 있는 발명은, 복수의 막대 모양의 배선(配線)이 나란하게 형성되는 x축 배선과, 상기 x축 배선과 매트릭스(matrix) 모양으로 배치됨과 아울러 복수의 막대 모양의 배선이 나란하게 형성되는 y축 배선을 구비하는 검사물의, 상기 x축 배선과 y축 배선의 도통(導通) 및 단락(短絡)을 검사하는 검사장치(檢査裝置)로서, 상기 검사대상이 되는 x축 배선의 도통검사를 실시하기 위하여 교류신호(交流信號)를 공급하는 제1신호공급수단(第一信號供給手段)과, 상기 검사대상이 되는 y축 배선의 도통검사를 실시하기 위한 교류신호를 공급하는 제2신호공급수단과, 상기 검사대상이 되는 x축 배선과 인접하는 y축 배선과의 단락검사를 실시하기 위한 교류신호를 공급하는 제3신호공급수단과, 상기 검사대상의 배선의 도통 및 단락을 검사하기 위하여 각 공급수단으로부터의 교류신호를 공급하는 복수의 급전부(給電部)와, 상기 배선으로부터의 전기신호를 검출하는 복수의 검전부(檢電部)를 구비하는 검사헤드부(檢査 head部)와, 상기 검사헤드부를 상기 검사물의 표면 상을 소정의 축방향으로 이동시키는 이동수단(移動手段)과, 상기 검사헤드부의 복수의 급전부 및 상기 복수의 검전부와, 상기 제1신호공급수단 내지 제3신호공급수단을 전기적으로 접속시키는 접속수단(接續手段)과, 상기 복수의 x축 배선의 일단부(一端部)와 상기 복수의 y축 배선의 일단부 모두에 대하여 비접촉(非接觸)으로 배치되고, 상기 제1신호공급수단의 일단과 상기 제2신호공급수단의 일단에 각각 전기적으로 접속되는 공통전극부(共通電極部)와, 상기 검사헤드부에서의 검출신호를 기초로 하여 x축 배선과 y축 배선 각각의 도통 및 단락 검사를 실시하는 판정수단(判定手段)을 구비하고, 상기 검사헤드부는, 상기 검사대상이 되는 x축 배선의 타단부(他端部)에 비접촉으로 배치됨과 아울러, 상기 제1신호공급수단의 타단과 전기적으로 접속되는 제1급전부(第一給電部)와, 상기 검사대상이 되는 x축 배선의 전기신호를 검출하기 위하여 상기 x축 배선 상에 비접촉으로 배치되는 제1검전부(第一檢電部)와, 상기 복수의 y축 배선의 타단부에 각각 비접촉으로 배치되고, 상기 제2신호공급수단의 타단 또는 상기 제3신호공급수단의 일단과 전기적으로 접속되는 복수의 제2급전부와, 상기 복수의 y축 배선 상의 각각에 비접촉으로 배치되고, 상기 제2신호공급수단 및/또는 상기 제3신호공급수단이 공급하는 교류신호에 기인하는 전기신호를 검출하는 복수의 제2검전부와, 상기 제3신호공급수단의 타단과 전기적으로 접속됨과 아울러, 상기 검사대상이 되는 x축 배선과 비접촉으로 배치되는 제3급전부를 구비하는 것을 특징으로 하는 터치패널 검사장치(touch panel 檢査裝置)를 제공한다.According to the invention described in claim 1, the x-axis wiring in which a plurality of rod-shaped wirings are formed in parallel with each other is arranged in a matrix shape with the x-axis wiring, and the plurality of rod-shaped wirings are in parallel with each other. An inspection apparatus for inspecting conduction and short-circuit between the x-axis wiring and the y-axis wiring, including the y-axis wiring formed so as to be used. A first signal supply means for supplying an AC signal for conducting a conduction test, and an supply of an AC signal for conducting a conduction test of the y-axis wiring to be inspected; Second signal supply means, third signal supply means for supplying an AC signal for conducting a short circuit inspection between the x-axis wiring and the y-axis wiring adjacent to the inspection object, and the inspection A plurality of power supply units for supplying an AC signal from each supply means to check the conduction and short circuit of the wirings on the upper circuit, and a plurality of tester units for detecting the electrical signals from the wirings An inspection head portion, moving means for moving the inspection head portion on the surface of the inspection object in a predetermined axial direction, a plurality of feeding portions and the plurality of inspection portions of the inspection head portion; Connecting means for electrically connecting the first signal supply means to the third signal supply means, one end of the plurality of x-axis wirings and one end of the plurality of y-axis wirings; The common electrode disposed non-contact with respect to both, and electrically connected to one end of the first signal supply means and one end of the second signal supply means, respectively. And a judging means for conducting conduction and short-circuit inspection of each of the x-axis wiring and the y-axis wiring based on the detection signal from the inspection head portion, wherein the inspection head portion A first feeding portion arranged non-contact with the other end of the x-axis wiring to be inspected and electrically connected to the other end of the first signal supply means; In order to detect an electrical signal of the x-axis wiring to be inspected, the first inspection unit is disposed on the x-axis wiring in a non-contact manner, and the other ends of the plurality of y-axis wirings are contacted in a non-contact manner. And a plurality of second feeders electrically connected to the other end of the second signal supply means or one end of the third signal supply means, and non-contacted to each of the plurality of y-axis wires. And a plurality of second detectors for detecting an electrical signal resulting from an AC signal supplied by the second signal supply means and / or the third signal supply means, and electrically connected to the other end of the third signal supply means. In addition, there is provided a touch panel inspection apparatus (touch panel), characterized in that it comprises a third feed portion which is arranged in contact with the x-axis wiring to be the inspection object.
청구항2에 기재되어 있는 발명은, 상기 제2신호공급수단이 복수의 제2급전부에 공급하는 교류신호는, 각각 주파수가 서로 다른 교류신호인 것을 특징으로 하는 청구항1의 터치패널 검사장치를 제공한다.The invention described in claim 2 provides the touch panel inspecting apparatus of claim 1, wherein the AC signals supplied to the plurality of second feeders by the second signal supply means are AC signals having different frequencies. do.
청구항3에 기재되어 있는 발명은, 제1신호공급수단 내지 제3신호공급수단이 공급하는 교류신호가 모두 주파수가 서로 다른 교류신호인 것을 특징으로 하는 청구항1 또는 청구항2의 터치패널 검사장치를 제공한다.The invention described in claim 3 provides the touch panel inspecting apparatus of claim 1 or 2, wherein all of the AC signals supplied by the first to third signal supply means are AC signals having different frequencies. do.
청구항4에 기재되어 있는 발명은, 상기 이동수단은, 상기 y축 배선이 연장되는 y축 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 청구항1의 터치패널 검사장치를 제공한다.The invention described in claim 4 provides the touch panel inspecting apparatus of claim 1, wherein the moving means moves in a y-axis direction in which the y-axis wiring extends.
이들의 발명을 제공함으로써 상기 과제를 전부 해결한다.
By providing these inventions, all the above problems are solved.
청구항1 내지 청구항4에 기재된 발명에 의하면, 검사대상물이 x축 방향 및 y축 방향으로 즉 매트릭스 모양으로 배치되는 배선을 구비하는 터치패널과 같은 검사물이더라도, 비접촉 검사방식으로 검사를 실시함으로써 검사시간을 단축하여 효율적으로 검사를 실시할 수 있는 터치패널 검사장치를 제공하는 것을 가능하게 한다.
According to the invention of claims 1 to 4, even if the inspection object is an inspection object such as a touch panel having wiring arranged in the x-axis direction and the y-axis direction, that is, in a matrix shape, the inspection time is performed by performing a non-contact inspection method. It is possible to provide a touch panel inspection apparatus capable of shortening the inspection efficiency efficiently.
도1은 본 발명의 검사대상이 되는 터치패널의 한 실시예를 나타내는 개략적인 평면도이다.
도2는 본 검사장치의 검사방법을 설명하기 위한 개략적인 모식도이다.
도3은 본 검사장치의 검사방법을 설명하기 위한 교류신호와 패턴(배선)으로부터 검출되는 교류신호를 나타내는 그래프이다.
도4는 본 발명에 관한 검사장치의 검사헤드부(3)와 공통전극부(6)의 한 실시예를 나타낸다.
도5는 본 검사장치가 실시되는 경우의 상태를 나타내는 개략적인 평면도이다.
도6은 x축 배선의 도통검사를 실시하는 경우를 나타내는 개략적인 평면도이다. 한편 검사대상의 x축 배선은 도1의 Line : X6을 나타내고 있다.
도7은 y축 배선의 도통검사를 실시하는 경우를 나타내는 개략적인 평면도이다. 한편 검사대상의 y축 배선은 도1의 Line : Y1을 나타내고 있다.
도8은 x축 배선과 y축 배선의 단락검사를 실시하는 경우를 나타내는 개략적인 평면도이다. 한편 검사대상의 x축 배선은 도1의 Line : X1을 나타내고 있고, y축 배선은 도1의 Line : Y1을 나타내고 있다.
도9는 y축 배선의 도통검사를 실시하는 경우를 나타내는 개략적인 평면도이다. 한편 검사대상의 y축 배선은 도1의 Line : Y8을 나타내고 있다.
1 is a schematic plan view showing an embodiment of a touch panel to be inspected of the present invention.
2 is a schematic diagram for explaining an inspection method of the inspection apparatus.
Fig. 3 is a graph showing an AC signal detected from an AC signal and a pattern (wiring) for explaining the inspection method of the inspection apparatus.
Fig. 4 shows an embodiment of the inspection head portion 3 and the common electrode portion 6 of the inspection apparatus according to the present invention.
Fig. 5 is a schematic plan view showing a state when the inspection apparatus is implemented.
Fig. 6 is a schematic plan view showing a case where conduction inspection of the x-axis wiring is performed. On the other hand, the x-axis wiring of the inspection object shows Line: X6 in FIG.
Fig. 7 is a schematic plan view showing a case where conduction inspection of the y-axis wiring is performed. On the other hand, the y-axis wiring of the inspection object shows Line: Y1 in FIG.
Fig. 8 is a schematic plan view showing a case where the short-circuit inspection of the x-axis wiring and the y-axis wiring is performed. On the other hand, the x-axis wiring of the inspection object shows Line: X1 in FIG. 1, and the y-axis wiring shows Line: Y1 in FIG.
Fig. 9 is a schematic plan view showing a case where conduction inspection of the y-axis wiring is performed. On the other hand, the y-axis wiring of the inspection object shows Line: Y8 in FIG.
본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 설명한다.Detailed description for carrying out the present invention.
본 검사장치는, 터치패널(touch panel)과 같이 x축 방향과 y축 방향의 매트릭스 모양으로 배치되는 복수의 배선을 구비하는 기판이나 글래스 기판(glass 基板)에 있어서 검사효율을 향상시킬 수 있다.This inspection apparatus can improve inspection efficiency in a substrate or a glass substrate provided with a plurality of wirings arranged in a matrix shape in the x-axis direction and the y-axis direction like a touch panel.
우선 본 검사장치의 검사대상이 되는 터치패널에 대하여 설명한다.First, a touch panel to be inspected by the inspection apparatus will be described.
도1은 본 발명의 검사대상이 되는 터치패널의 한 실시예를 나타내는 개략적인 평면도이다. 이 도1에서의 터치패널(TP)에서는, 글래스 기판 상에 x축 방향으로 배치되는 x축 배선과 y축 방향으로 배치되는 y축 배선이 각각 복수 배치되어 있다. 이 도1에서는, x축 배선이 14개(부호로 나타나 있는 Line:X1∼Line:X14) 형성되어 있고, y축 배선이 8개(부호로 나타나 있는 Line:Y1∼Line:Y8) 형성되어 있다.1 is a schematic plan view showing an embodiment of a touch panel to be inspected of the present invention. In the touch panel TP in FIG. 1, a plurality of x-axis wirings arranged in the x-axis direction and y-axis wirings arranged in the y-axis direction are disposed on the glass substrate, respectively. In FIG. 1, fourteen x-axis wirings (Line: X1 to Line: X14) are formed, and eight y-axis wirings are formed (Line: Y1 to Line: Y8, indicated by reference). .
터치패널(TP)에 있어서 x축 배선과 y축 배선은, 이들 배선에 의하여 화면 상의 터치 에리어(touch area)(P1과 P2에 의하여 덮이는 부분)를 덮도록 배치되기 때문에, 도1에 나타나 있는 바와 같이 1개의 x축 배선(및 y축 배선)이 광폭부(廣幅部)와 협폭부(狹幅部)가 반복하여 형성됨으로써 터치 에리어 전체를 덮도록 형성된다. 이렇게 형성됨으로써 터치패널(TP)이 사용되는 경우에 터치된 장소(접촉장소)가 어느 x축 배선과 어느 y축 배선 상에 위치하는 것인지를 검출할 수 있다.In the touch panel TP, since the x-axis wiring and the y-axis wiring are arranged to cover the touch areas (parts covered by P1 and P2) on the screen by these wirings, they are shown in FIG. As can be seen, one x-axis wiring (and y-axis wiring) is formed so as to cover the entire touch area by repeatedly forming the wide portion and the narrow portion. In this way, when the touch panel TP is used, it is possible to detect which x-axis wiring and which y-axis wiring are located on the touched place (contact location).
또 x축 배선과 y축 배선은 각각 14개와 8개로 한정되는 것이 아니라, 터치패널의 제조자에 의하여 적절하게 조정된다. 또한 광폭부와 협폭부의 길이나 그 크기도 터치패널의 제조자에 의하여 적절하게 조정된다.The x-axis wiring and the y-axis wiring are not limited to 14 and 8, respectively, but are appropriately adjusted by the manufacturer of the touch panel. In addition, the length and the size of the wide portion and the narrow portion are also appropriately adjusted by the manufacturer of the touch panel.
이들 x축 배선과 y축 배선은, 그 일단(一端)이 드라이버(driver) 등의 전자부품과 접속이 가능하도록 태그부(tag部)(T)가 형성되어 있고, 다른 전자부품과의 전기적 접속부(태그부(T))가 각각 연장되어 형성되어 있다. 이 태그부(T)는, 터치 에리어(P1∼P2)로부터 평면에서 볼 때에 있어서 이간(離間)된 장소에 형성되어 전기적 접속이 될 수 있도록 되어 있다. 도1의 터치패널(TP)에서는, 지면(紙面)을 향하여 우측에 각각(x축 배선과 y축 배선)의 태그부(T)가 형성되어 있다. 이 태그부(T)는 터치 에리어 이외의 장소 1곳에 형성될 수도 있고, x축 배선과 y축 배선의 태그부(T)가 각각 가장자리 부분에 형성되도록 할 수도 있다.These x-axis wires and y-axis wires have a tag portion T formed so that one end thereof can be connected to an electronic component such as a driver, and an electrical connection portion with other electronic components. (Tag part T) is extended and formed, respectively. This tag portion T is formed at a place separated from the touch areas P1 to P2 in plan view so as to be electrically connected. In the touch panel TP of FIG. 1, the tag part T of each (x-axis wiring and y-axis wiring) is formed in the right side toward the paper surface. The tag portion T may be formed at one place other than the touch area, or the tag portion T of the x-axis wiring and the y-axis wiring may be formed at the edge portion, respectively.
본 검사장치(도면에는 나타내지 않는다)는, 제1신호공급수단(第一信號供給手段)(21), 제2신호공급수단(22), 제3신호공급수단(23), 검사헤드부(檢査 head部)(3), 이동수단(移動手段), 접속수단(接續手段), 공통전극부(共通電極部)(6)와 판정수단(判定手段)을 구비하여 이루어진다.This inspection apparatus (not shown) includes a first signal supply means 21, a second signal supply means 22, a third signal supply means 23, and an inspection head portion. and a head portion 3, a moving means, a connecting means, a common electrode portion 6, and a determining means.
제1신호공급수단(21)은, 검사대상이 되는 x축 배선의 도통검사(導通檢査)를 실시하기 위한 제1교류신호를 공급한다. 제1신호공급수단(21)은 위상이 180도 다른 2개의 교류전원을, 어스를 통하여 접속하여 구성된다(도2에 나타나 있는 전원(PW1)과 전원(PW2) 참조).The first signal supply means 21 supplies a first alternating signal for conducting conduction inspection of the x-axis wiring to be inspected. The first signal supply means 21 is constituted by connecting two AC power sources of 180 degrees out of phase through earth (see power supply PW1 and power source PW2 shown in Fig. 2).
이 제1신호공급수단(21)은, 일단(一端)이 공통전극부(6)와 전기적으로 접속되어 있고, 타단(他端)이 제1급전부(第一給電部)(71)와 전기적으로 접속되어 있다. 이 때문에 제1신호공급수단(21)은, 공통전극부(6)와 제1급전부(71)를 통하여 x축 배선에 검사용의 교류신호를 공급한다.One end of the first signal supply means 21 is electrically connected to the common electrode portion 6, and the other end thereof is electrically connected to the first feed portion 71. Is connected. For this reason, the first signal supply means 21 supplies the AC signal for inspection to the x-axis wiring through the common electrode portion 6 and the first feed portion 71.
제2신호공급수단(22)은, 검사대상이 되는 y축 배선의 도통검사를 실시하기 위한 제2교류신호를 공급한다. 이 제2신호공급수단(22)은 제1신호공급수단(21)과 마찬가지로 위상이 180도 다른 2개의 교류전원을, 어스를 통하여 접속하여 구성된다. 이 제2신호공급수단(22)은, 일단이 공통전극부(6)와 전기적으로 접속되어 있고, 타단이 제2급전부(72)와 전기적으로 접속되어 있다. 이 때문에 제2신호공급수단(22)은, 공통전극부(6)와 제2급전부(72)를 통하여 y축 배선에 검사용의 교류신호를 공급한다.The second signal supply means 22 supplies a second alternating signal for conducting conduction inspection of the y-axis wiring to be inspected. Similarly to the first signal supply means 21, the second signal supply means 22 is configured by connecting two AC power sources of 180 degrees out of phase through earth. One end of the second signal supply means 22 is electrically connected to the common electrode part 6, and the other end thereof is electrically connected to the second power supply part 72. For this reason, the second signal supply means 22 supplies the AC signal for inspection to the y-axis wiring through the common electrode portion 6 and the second feed portion 72.
이 제2신호공급수단(22)은 터치패널(TP)에 형성되는 모든 y축 배선에 대하여 도통검사가 실시될 수 있도록 설치된다. 구체적으로는, y축 배선의 수와 동일한 수만큼 서로 다른 주파수의 교류신호를 설정하고, 각각의 y축 배선에 각각의 주파수의 교류신호를 공급하는 방법도 있고, 2개 주파수의 서로 다른 교류신호를 인접하는 y축 배선에 교대로 공급할 수도 있다.The second signal supply means 22 is provided so that conduction inspection can be performed on all y-axis wirings formed on the touch panel TP. Specifically, there is also a method of setting AC signals of different frequencies by the same number as the number of y-axis wirings, and supplying AC signals of each frequency to each y-axis wiring, and different AC signals of two frequencies. May be alternately supplied to adjacent y-axis wiring.
또 이 제2신호공급수단(22)은 서로 다른 주파수의 교류신호수만큼 복수의 교류신호원을 준비하는 것이 바람직하다.In addition, the second signal supply means 22 preferably prepares a plurality of AC signal sources as many as the number of AC signals having different frequencies.
제3신호공급수단(23)은, 검사대상이 되는 x축 배선과 인접하게 배치되는 y축 배선과의 단락검사(短絡檢査)를 실시하기 위한 제3교류신호를 공급한다.The third signal supply means 23 supplies a third alternating signal for performing a short circuit inspection with the y-axis wiring arranged adjacent to the x-axis wiring to be inspected.
이 제3신호공급수단(23)은, 일단이 제2급전부(72)와 전기적으로 접속되어 있고, 타단이 제3급전부(73)와 전기적으로 접속되어 있다. 이 때문에 제3신호공급수단(23)은 제2급전부(72)와 제3급전부(73)를 통하여 x축 배선과 y축 배선의 단락을 검사한다.One end of the third signal supply means 23 is electrically connected to the second power supply unit 72, and the other end is electrically connected to the third power supply unit 73. For this reason, the third signal supply means 23 checks the short circuit of the x-axis wiring and the y-axis wiring through the second feed section 72 and the third feed section 73.
이 검사장치의 검사원리를 개략적인 모식도를 사용하여 설명한다. 도2는 본 검사장치의 검사방법을 설명하기 위한 모식도이다. 본 검사장치는, 글래스 기판 상에 형성되는 배선(W)의 도통을 검사하기 위하여 그 배선(W)의 양단부에 급전부(A)와 급전부(B)를 물리적으로 비접촉(非接觸)으로 배치한다. 이 급전부(A)와 급전부(B)에, 위상이 180도 다른 교류신호를 공급하는 교류전원(PW1)과 교류전원(PW2)으로부터 각각 주파수가 동일하고 위상이 180도 다른 교류신호를 공급한다(도3 참조).The inspection principle of this inspection apparatus is explained using a schematic diagram. 2 is a schematic diagram for explaining an inspection method of the inspection apparatus. In this inspection apparatus, in order to test the conduction of the wiring W formed on the glass substrate, the power feeding portion A and the power feeding portion B are physically non-contacted at both ends of the wiring W. do. The power supply unit A and the power supply unit B are supplied with an AC signal having the same frequency and 180 degrees in phase from an AC power supply PW1 and an AC power supply PW2 that respectively supply an AC signal having a phase of 180 degrees. (See Fig. 3).
2개의 교류전원(PW1·PW2)으로부터 공급되는 교류신호는, 급전부(A)(또는 급전부(B))에 검사용의 교류신호가 공급되어 급전부(A)(또는 급전부(B))로부터 배선(W)으로 이 교류신호가 공급되면, 배선(W)과 급전부(A)는 정전용량(靜電容量)에 의한 결합을 이루기 때문에 배선(W)에서는 위상이 90도 진행한 전류가 발생하게 된다. 이 때에 급전부(A)와 급전부(B)는 위상이 180도 다른 교류신호를 배선(W)에 공급하기 때문에, 배선(W)에 불량이 존재하지 않는 경우(도통상태가 양호한 경우)에는 2개의 급전부로부터 공급되는 교류신호의 영향에 의하여 신호가 서로 소거된다(도3에 나타나 있는 패턴인가전류(pattern 印加電流) 참조).The AC signal supplied from the two AC power supplies PW1 and PW2 is supplied with an AC signal for inspection to the power supply unit A (or the power supply unit B) so that the power supply unit A (or the power supply unit B) is supplied. When the AC signal is supplied from the wire to the wiring W, the wiring W and the power supply unit A form a coupling due to the capacitance. Will occur. At this time, since the power supply unit A and the power supply unit B supply an AC signal having a phase of 180 degrees to the wiring W, when no defect exists in the wiring W (when the conduction state is good), The signals are erased from each other under the influence of the AC signals supplied from the two power feeding sections (see the pattern applied current shown in Fig. 3).
이 때문에 배선(W)에 발생한 신호를 검출하기 위하여 배치되는 검출전극부(檢出電極部)(C)는, 0레벨에서의 신호를 검출하게 된다.For this reason, the detection electrode part C arrange | positioned in order to detect the signal which generate | occur | produced in the wiring W detects the signal at zero level.
만약에 도3에 나타나 있는 배선(W) 상의 저항으로 나타나 있는 장소에 도통 불량(단선 불량(斷線不良))이 존재하면, 검출전극부(C)는 급전부(A)로부터 공급되는 교류신호의 영향을 받는 신호를 검출하게 되어 도통 불량을 검출할 수 있다.If there is a poor conduction (disruption defect) at the place indicated by the resistance on the wiring W shown in Fig. 3, the detection electrode portion C is an AC signal supplied from the feed portion A. By detecting the signal affected by the can be detected a poor conduction.
또 이 검출전극부는 도3의 실시예에서는 2개의 검출전극부(C, D)로 되어 있지만, 한 쪽의 검출전극부만을 사용하는 구성으로 하여도 좋고, 양방의 검출전극부를 사용하는 구성으로 하여도 좋다.In addition, in the embodiment of Fig. 3, the detection electrode part is composed of two detection electrode parts C and D. However, only one detection electrode part may be used, or both detection electrode parts may be used. Also good.
제1신호공급수단(21) 내지 제3신호공급수단(23)이 공급하는 교류신호는 모두 서로 다른 주파수로 설정할 수도 있다. 이 경우에 도통 또는 단락 불량이 검출되었을 때에, 어느 배선 상에 불량이 존재하는 것인가 아닌가를 특정할 수 있게 된다.The AC signals supplied by the first signal supply means 21 to the third signal supply means 23 may all be set to different frequencies. In this case, when conduction or short circuit failure is detected, it is possible to specify on which wiring there is a failure.
도4는 본 발명에 관한 검사장치의 검사헤드부(3)와 공통전극부(6)의 한 실시예를 나타낸다. 본 발명에 관한 검사헤드부(3)는, 검사대상 배선의 도통 및 단락을 검사하기 위하여 각 공급수단으로부터의 교류신호를 공급하는 복수의 급전부와, 상기 배선으로부터의 전기신호를 검출하는 복수의 검전부(檢電部)를 구비하고 있다.Fig. 4 shows an embodiment of the inspection head portion 3 and the common electrode portion 6 of the inspection apparatus according to the present invention. The inspection head section 3 according to the present invention includes a plurality of power supply sections for supplying an AC signal from each supply means to inspect the conduction and short circuit of the inspection target wiring, and a plurality of detection signals for electrical signals from the wiring. It has a test part.
도4에 나타나 있는 검사헤드부(3)는 검사대상이 되는 x축 배선의 타단부에 비접촉으로 배치됨과 아울러, 제1신호공급수단(21)의 타단과 전기적으로 접속되는 제1급전부(71)를 구비하여 이루어진다.The inspection head portion 3 shown in FIG. 4 is arranged in a non-contact portion at the other end of the x-axis wiring to be inspected and is also electrically connected to the other end of the first signal supply means 21. ) Is made.
이 제1급전부(71)는 검사헤드부(3)에 있어서 x축 배선의 좌단(左端)에 위치하도록 배치된다. 이 위치에 배치됨으로써 공통전극부(6)와 제1급전부(71)가 x축 배선의 단(端)으로부터 단까지의 도통검사를 실시할 수 있다.The first feed part 71 is disposed in the inspection head part 3 so as to be located at the left end of the x-axis wiring. By arrange | positioning at this position, the common electrode part 6 and the 1st power supply part 71 can perform the conduction test from the end to the end of an x-axis wiring.
또 이 제1급전부(71)는 x축 배선에 있어서 가장 단부(端部)의 광폭부 상에 배치되도록 설치되어 있다.Moreover, this 1st power supply part 71 is provided so that it may be arrange | positioned on the wide part of the edge part in x-axis wiring.
검사대상이 되는 x축 배선의 전기신호를 검출하기 위하여 x축 배선 상에 비접촉으로 배치되는 제1검전부(第一檢電部)(81)를 구비하고 있다. 이 제1검전부(81)는, 제1급전부(71)에 인접하는 x축 배선의 광폭부 상에 배치되어 있다. 이 제1검전부(81)가 배치되는 장소는 제1급전부(71)와 공통전극부(6)의 사이라면 특별히 한정되지 않지만, 패널 에리어 내의 장소가 바람직하다.In order to detect an electrical signal of the x-axis wiring to be inspected, a first inspection unit 81 is provided on the x-axis wiring in a non-contact manner. The first inspection unit 81 is disposed on the wide portion of the x-axis wiring adjacent to the first feeding unit 71. The place where the first inspection unit 81 is disposed is not particularly limited as long as it is between the first feeding unit 71 and the common electrode unit 6, but a place in the panel area is preferable.
또 제1급전부(71)와 제1검전부(81)는 동일한 x축 배선 상에 비접촉으로 배치된다.In addition, the first power feeding portion 71 and the first inspection portion 81 are arranged in a non-contact manner on the same x-axis wiring.
제1검전부(81)는 상기한 바와 같이 검사대상의 x축 배선(1개의 x축 배선) 상에 배치되지만, x축 배선의 전기신호를 검출하기 위하여 2번째의 검전부(보조검전부)를 설치할 수도 있다. 도4에서는, 패널 에리어에 있어서 우단(右端)의 x축 배선의 광폭부 상에 위치하는 장소에 보조검전부(補助檢電部)(83)를 배치할 수도 있다.As described above, the first inspection unit 81 is disposed on the x-axis wiring (one x-axis wiring) to be inspected, but the second inspection unit (auxiliary inspection unit) is used to detect an electrical signal of the x-axis wiring. You can also install In FIG. 4, the auxiliary inspection part 83 can also be arrange | positioned in the position located on the wide part of the x-axis wiring of the right end in a panel area.
검사헤드부(3)는 복수의 y축 배선의 타단부에 각각 비접촉으로 배치되고, 제2신호공급수단(22)의 타단 또는 제3신호공급수단(23)의 일단과 전기적으로 접속되는 복수의 제2급전부(72)를 구비한다.The inspection head part 3 is arranged in contact with each other end of the plurality of y-axis wires, and is electrically connected to the other end of the second signal supply means 22 or one end of the third signal supply means 23. The second feeder 72 is provided.
이 제2급전부(72)는 y축 배선의 수(도1의 실시예에서는 8개)와 동일한 수로 설치되고, 각 제2급전부(72)가 각각 y축 배선과 물리적으로 비접촉으로 배치된다.This second feeder 72 is provided in the same number as the number of y-axis wires (eight in the embodiment of FIG. 1), and each second feeder 72 is physically disposed in non-contact with the y-axis wires, respectively. .
이 제2급전부(72)는 제2신호공급수단(22)과 제3신호공급수단(23)에 접속되어 있고, 접속수단에 의하여 어느 일방과 접속되거나 또는 양방과 접속되도록 제어된다.The second feeder 72 is connected to the second signal supply means 22 and the third signal supply means 23, and is controlled to be connected to either one or both by the connecting means.
검사헤드부(3)는 복수의 y축 배선 상의 각각에 비접촉으로 배치되고, 제2신호공급수단(22) 및/또는 제3신호공급수단(23)이 공급하는 교류신호에 기인하는 전기신호를 검출하는 복수의 제2검전부(82)를 구비한다.The inspection head portion 3 is arranged in contact with each other on the plurality of y-axis wires, and receives an electrical signal resulting from an AC signal supplied by the second signal supply means 22 and / or the third signal supply means 23. A plurality of second inspection units 82 for detecting are provided.
이 제2검전부(82)는 y축 배선의 수(도1의 실시예에서는 8개)와 동일한 수로 설치되고, 각 제2검전부(82)가 각각 y축 배선과 물리적으로 비접촉으로 배치된다.The second detector 82 is provided with the same number as the number of y-axis wires (eight in the embodiment of FIG. 1), and each second detector 82 is disposed in physical contact with the y-axis wires, respectively. .
도4에 나타나 있는 검사헤드부(3)에서는, y축 배선의 태그부의 형상에 의하여 4개의 y축 배선에 대한 제2급전부(72)와 제2검전부(82)는 지면을 향하여 검사헤드부(3)의 상측에 제2급전부(72)가 배치되어 있고, 이 제2급전부(72)가 배치되는 y축 배선의 광폭부에서도 인접위치에 있는 광폭부의 상방에 제2검전부(82)가 배치되어 있다. 나머지 4개의 y축 배선에 대해서는 지면을 향하여 검사헤드부(3)의 하측에 제2검전부(82)가 배치되어 있고, 이 제2검전부(82)가 배치되는 y축 배선의 광폭부에서도 인접위치에 있는 광폭부의 상방에 제2급전부(72)가 배치되어 있다.In the inspection head portion 3 shown in Fig. 4, the second feed portion 72 and the second inspection portion 82 for the four y-axis wirings face the ground according to the shape of the tag portion of the y-axis wiring. The second power supply unit 72 is disposed above the unit 3, and the second test unit may be disposed above the wide unit that is adjacent to the wide unit of the y-axis wiring on which the second feed unit 72 is disposed. 82 is arranged. As for the remaining four y-axis wirings, the second inspection unit 82 is disposed below the inspection head unit 3 toward the ground, and the wide section of the y-axis wiring where the second inspection unit 82 is disposed is also provided. The second feed section 72 is disposed above the wide section at the adjacent position.
검사헤드부(3)는 제3신호공급수단(23)의 타단과 전기적으로 접속됨과 아울러, 검사대상이 되는 x축 배선과 비접촉으로 배치되는 제3급전부(73)를 구비하고 있다.The test head section 3 is provided with a third feed section 73 which is electrically connected to the other end of the third signal supply means 23 and is arranged in contact with the x-axis wiring to be inspected.
이 제3급전부(73)는, 제1급전부(71)와 제2급전부(72)와 동일한 검사대상이 되는 x축 배선 상에 배치되어 있다. 이 제3급전부(73)는, 터치 에리어 내에 있어서 x축 배선의 대략 중앙부의 광폭부 상에 배치되도록 형성되어 있다.The third power feeding portion 73 is disposed on the x-axis wiring that is the same inspection object as the first feeding portion 71 and the second feeding portion 72. The third power feed portion 73 is formed to be disposed on the wide portion of the substantially center portion of the x-axis wiring in the touch area.
이 검사장치의 검사헤드부(3)를 나타내는 도4에서는 제1급전부(71)를 전극부(電極部)(X11)로 나타내고 있고, 제1검전부(81)를 전극부(X21)로 나타내고 있고, 복수의 제2급전부(72)를 전극부(Y11), 전극부(Y21), 전극부(Y31), 전극부(Y41), 전극부(Y52), 전극부(Y62), 전극부(Y72), 전극부(Y82)로 나타내고 있고, 제2검전부(82)를 전극부(Y12), 전극부(Y22), 전극부(Y32), 전극부(Y42), 전극부(Y51), 전극부(Y61), 전극부(Y71), 전극부(Y81)로 나타내고 있고, 제3급전부(73)를 전극부(X51)로 나타내고 있고, 보조검전부(83)를 전극부(X91)로 나타내고 있다.In FIG. 4 showing the inspection head portion 3 of this inspection apparatus, the first feed portion 71 is shown as an electrode portion X11, and the first inspection portion 81 is referred to as an electrode portion X21. The plurality of second feed sections 72 are shown in the following drawings: electrode section Y11, electrode section Y21, electrode section Y31, electrode section Y41, electrode section Y52, electrode section Y62, and electrode. The portion Y72 and the electrode portion Y82 are shown, and the second detection portion 82 is the electrode portion Y12, the electrode portion Y22, the electrode portion Y32, the electrode portion Y42, and the electrode portion Y51. ), An electrode portion Y61, an electrode portion Y71, and an electrode portion Y81, the third power feeding portion 73 is represented by an electrode portion X51, and the auxiliary inspection portion 83 is denoted by an electrode portion ( X91).
이들 전극부는, 배선의 광폭부와 동일한 정도 크기의 형상(예를 들면 원형이나 사각형)을 구비하여 형성된다.These electrode portions are formed to have a shape (eg, a circle or a quadrangle) of the same size as the wide portion of the wiring.
검사헤드부(3)는 상기와 같은 전극부를 구비하는 판자 모양의 부재로 형성되어 있고, 이 검사헤드부(3)가 글래스 기판 상을 이동함으로써 검사를 실시하게 된다. 우선 도4에 나타나 있는 바와 같이 이 검사헤드부(3)는, x축 배선의 길이와 y축 배선의 광폭부 2개분의 크기를 구비하도록 형성되어 있다.The inspection head portion 3 is formed of a board-like member having the electrode portion as described above, and the inspection head portion 3 performs inspection by moving on the glass substrate. First, as shown in FIG. 4, this inspection head part 3 is formed so that it may have the length of an x-axis wiring and the width | variety of two wide parts of a y-axis wiring.
공통전극부(6)는 복수의 x축 배선의 일단부와 상기 복수의 y축 배선의 일단부 모두에 비접촉으로 배치되고, 제1신호공급수단의 일단과 제2신호공급수단의 일단에 각각 전기적으로 접속된다. 도5의 실시예에서는 x축 배선의 태그부(T)와 y축 배선의 태그부가 글래스 기판 상의 1곳으로 모아져 있고, 이들 태그부(T)를 전체에 걸쳐서 물리적으로 비접촉상태로 배치하고 있다. 또 이 공통전극부(6)는 후술하는 검사헤드부와 동시에 이동되어도 좋지만, 후술하는 모든 배선과 비접촉상태를 유지한다.The common electrode part 6 is disposed in contact with both of one end of the plurality of x-axis wirings and one end of the plurality of y-axis wirings, and electrically connected to one end of the first signal supply means and one end of the second signal supply means, respectively. Is connected. In the embodiment of Fig. 5, the tag portion T of the x-axis wiring and the tag portion of the y-axis wiring are collected in one place on the glass substrate, and these tag portions T are arranged in a physically non-contact state throughout. In addition, although the common electrode part 6 may be moved simultaneously with the test head part mentioned later, it maintains a non-contact state with all the wiring mentioned later.
이 검사장치는, 검사헤드부(3)를 검사물인 글래스 기판의 표면 상을 소정의 축방향(도5에서는 y축 배선의 장축방향(長軸方向)(v))으로 이동시킨다. 이 이동수단은 리니어 모터(linear motor) 등을 이용한 직선궤도를 이동하는 기구를 사용할 수 있다.This inspection apparatus moves the inspection head part 3 on the surface of the glass substrate which is an inspection object to a predetermined axial direction (long-axis direction v of a y-axis wiring in FIG. 5). This moving means can use a mechanism for moving a linear orbit using a linear motor or the like.
본 검사장치는, 검사헤드부(3)에 있어서 복수의 급전부 및 복수의 검전부와, 제1신호공급수단 내지 제3신호공급수단을 전기적으로 접속하는 접속수단을 구비한다. 이 접속수단은 복수의 절환 스위치를 사용하여 적절하게 전기적 접속을 한다.The inspection apparatus includes a plurality of feed sections and a plurality of inspection sections in the inspection head section 3 and connecting means for electrically connecting the first signal supply means to the third signal supply means. This connecting means makes appropriate electrical connection using a plurality of switching switches.
본 검사장치는, 검사헤드부(3)로부터의 검출신호를 기초로 하여 x축 배선과 y축 배선에 있어서 각각의 도통 및 단락검사를 실시하는 판정수단을 구비한다.The inspection apparatus is provided with determination means for conducting respective conduction and short circuit inspections in the x-axis wiring and the y-axis wiring based on the detection signal from the inspection head section 3.
이 판정수단은, 각 검전부로부터 검출되는 검사신호를 기초로 하여 검사대상이 되는 x축 배선과 y축 배선의 도통 및 단락을 판정한다.This judging means judges the conduction and short circuit of the x-axis wiring and y-axis wiring which are inspection objects based on the inspection signal detected from each inspection part.
검사대상이 되는 x축 배선의 도통을 판정하는 경우에는, 제1급전부(71)와 공통전극부(6)로부터 교류신호가 공급되고, 제1검전부(81)가 검출하는 신호가 제1급전부(71)로부터 공급되는 교류신호에 기인한 것인지, 공통전극부(6)로부터 공급되는 교류신호에 기인한 것인지, 모두의 영향을 받은 것인지에 의하여 판정된다. 또 어느 급전부로부터의 영향을 받아 신호가 소거되었던 경우에 도통 양호라고 판정된다.When the conduction of the x-axis wiring to be inspected is determined, an AC signal is supplied from the first feed section 71 and the common electrode section 6, and the signal detected by the first inspecting section 81 is the first. It is determined whether it is due to the AC signal supplied from the power supply part 71, the AC signal supplied from the common electrode part 6, or whether all were affected. In addition, it is determined that the conduction is good when the signal is canceled under the influence of any power supply unit.
검사대상이 되는 y축 배선의 도통을 판정하는 경우에는, 제2급전부(72)와 공통전극부(6)로부터 교류신호가 공급되고, 제2검전부(82)가 검출하는 신호가 제2급전부(72)로부터 공급되는 교류신호에 기인한 것인지, 공통전극부(6)로부터 공급되는 교류신호에 기인한 것인지, 모두의 영향을 받은 것인지에 의하여 판정된다. 또 어느 급전부로부터의 영향을 받아 신호가 소거되었던 경우에 도통 양호라고 판정된다.When the conduction of the y-axis wiring to be inspected is determined, an AC signal is supplied from the second feed section 72 and the common electrode section 6, and the signal detected by the second inspecting section 82 is the second. It is determined whether it is due to the AC signal supplied from the power supply part 72, the AC signal supplied from the common electrode part 6, or whether all were affected. In addition, it is determined that the conduction is good when the signal is canceled under the influence of any power supply unit.
검사대상이 되는 x축 배선과 y축 배선의 단락을 판정하는 경우에는, 제2급전부(72)와 제3급전부(73)로부터 제3신호공급수단(23)의 교류신호가 공급되고, 제2검전부(82)가 검출하는 신호가 제2급전부(72)로부터 공급되는 교류신호에 기인한 것인지, 제3급전부(73)로부터 공급되는 교류신호에 기인한 것인지, 모두의 영향을 받은 것인지에 의하여 판정된다. 이 경우에 단락 불량이 존재하는 경우에는, 제2급전부(72)와 제3급전부(73)로부터의 교류신호가 서로 소거되거나, 제2급전부(72)로부터의 신호에 영향을 받게 된다.When the short circuit between the x-axis wiring and the y-axis wiring to be inspected is determined, an AC signal of the third signal supply means 23 is supplied from the second feed portion 72 and the third feed portion 73, Whether the signal detected by the second detector 82 is due to an AC signal supplied from the second feeder 72 or an AC signal supplied from the third feeder 73 affects both. It is determined by whether it was received. In this case, when there is a short circuit failure, the AC signals from the second feed section 72 and the third feed section 73 are mutually erased or affected by the signals from the second feed section 72. .
또 단락 불량이 존재하지 않는 경우에는, 제3급전부(73)로부터의 신호의 영향을 받게 된다.In addition, when there is no short circuit defect, the signal from the third power supply unit 73 is affected.
터치패널(TP)의 태그부(T)는, 각 배선의 태그부(T)가 복수 병렬로 배치되어 있기 때문에 인접하는 태그부(T)와의 단락 불량의 문제가 있고, 특히 도1에 나타나 있는 바와 같이 y축 배선의 태그부(T)는 단락 불량이 발생하는 경우가 있다.In the tag portion T of the touch panel TP, since the tag portions T of the respective wirings are arranged in parallel, there is a problem of a short circuit failure with the adjacent tag portions T, and particularly shown in FIG. As described above, a short circuit failure may occur in the tag portion T of the y-axis wiring.
이 경우에는, 검사대상의 y축 배선과 단락검사 대상이 되는 y축 배선에 배치되는 제2급전부(72)에 교류신호를 공급함으로써, 제2검전부(82)가 y축 배선으로부터 서로 다른 교류신호를 검출하면, 단락 불량을 검출하게 된다.In this case, by supplying an AC signal to the second power supply unit 72 disposed on the y-axis wiring to be inspected and the y-axis wiring to be inspected for short-circuit, the second inspection unit 82 is different from the y-axis wiring. When the AC signal is detected, a short circuit failure is detected.
또한 y축 배선의 단락을 검출하는 교류신호는, 주파수가 서로 다른 교류신호를 설정하여도 좋고, 서로 다른 주파수를 교대로 설정하여 단락을 검출하도록 설정하여도 좋다.The AC signal that detects a short circuit in the y-axis wiring may be set to an AC signal having a different frequency or may be set to alternately set different frequencies to detect a short circuit.
이상의 설명은, 검사헤드부(3)가 이동수단에 의하여 y축 배선의 장축방향으로 이동하는 경우에 있어서의 전극부와 급전부의 배치에 관한 것이고, 검사헤드부(3)가 x축 배선의 장축 방향으로 이동하는 경우에는 이 전극부와 급전부의 x축과 y축 대응이 교체되어 배치된다.The above description relates to the arrangement of the electrode portion and the power feeding portion in the case where the inspection head portion 3 moves in the major axis direction of the y-axis wiring by the moving means, and the inspection head portion 3 is the x-axis wiring. When moving in the long axis direction, the x-axis and y-axis correspondence of the electrode portion and the power feeding portion are alternately arranged.
이상은 본 발명에 관한 터치패널 검사장치의 구성이다.The above is the structure of the touch panel inspection apparatus which concerns on this invention.
다음에 본 검사장치의 동작을 설명한다.Next, the operation of the inspection apparatus will be described.
본 검사장치에 있어서 소정의 위치에 터치패널(TP)이 배치되어, 터치패널(TP)의 검사가 시작된다(도5 참조).In this inspection apparatus, the touch panel TP is disposed at a predetermined position, and the inspection of the touch panel TP is started (see Fig. 5).
도5에 나타나 있는 바와 같이 검사헤드부(3)는 지면을 향하여 하방으로 이동수단에 의하여 이동된다.As shown in Fig. 5, the inspection head portion 3 is moved by the moving means downwardly toward the ground.
또 도1의 터치패널(TP)을 검사하는 경우에는, x축 배선 상에 제1급전부(71)와 제1검전부(81)가 배치되고, y축 배선라인 : Y1 ∼ Y4까지의 y축 배선 상에 각 제2급전부(72)과 제2검전부(82)가 배치된 경우에 검사가 시작된다.In addition, when inspecting the touch panel TP of FIG. 1, the 1st feed part 71 and the 1st inspection part 81 are arrange | positioned on an x-axis wiring, y-axis wiring line: y to Y1-Y4. The inspection is started when each of the second feed section 72 and the second inspection section 82 are disposed on the axial wiring.
상기와 같이 검사가 시작되는 경우에는, x축 배선라인 : X1의 도통검사와 y축 배선라인 : Y1∼Y4까지의 도통검사가 실시된다.When the inspection starts as described above, the conduction inspection of the x-axis wiring line: X1 and the conduction inspection of the y-axis wiring line: Y1 to Y4 are performed.
이 때에 예를 들면 도6에 나타나 있는 바와 같이 x축 배선의 도통검사가 실시되고, 도7에 나타나 있는 바와 같이 y축 배선의 도통검사가 실시된다.At this time, for example, as shown in FIG. 6, the conduction inspection of the x-axis wiring is performed, and as shown in FIG. 7, the conduction inspection of the y-axis wiring is performed.
상기한 x축 배선과 y축 배선의 도통검사가 실시되면, x축 배선(Line:X1)과 이들 y축 배선(line:Y1∼Y8)과의 단락검사가 실시된다.When the conduction inspection of the x-axis wiring and the y-axis wiring is performed, a short circuit inspection of the x-axis wiring (Line: X1) and these y-axis wiring (Y1 to Y8) is performed.
다음에 검사헤드부(3)가 장축방향(v)으로 이동하여 x축 배선라인:X2를 검사대상으로 하여 검사한다. 이 경우에 제1급전부(71)와 제1검전부(81)가 x축 배선라인:X2의 광폭부 상에 배치될 때까지 이동한다.Next, the inspection head portion 3 moves in the major axis direction v to inspect the x-axis wiring line X2 as the inspection object. In this case, the first feed section 71 and the first inspection section 81 are moved until they are disposed on the wide section of the x-axis wiring line X2.
이 경우에 x축 배선라인:X1일 때와 동일하게 도통검사가 실시되어 각 y축 배선과의 단락검사가 실시된다.In this case, conduction inspection is carried out as in the case of x-axis wiring line: X1, and short-circuit inspection with each y-axis wiring is carried out.
x축 배선의 검사대상이 x축 배선라인:X14가 되고 이 도통검사가 실시되면, 다음에 도9에 나타나 있는 바와 같이 y축 배선라인:Y5∼Y8의 도통검사가 실시된다.When the inspection target of the x-axis wiring is the x-axis wiring line: X14 and this conduction inspection is performed, conduction inspection of the y-axis wiring lines Y5 to Y8 is performed as shown in FIG.
각 검사공정에 있어서 불량(도통 불량이나 단락 불량)이 검출된다.In each inspection process, defects (conduction failure or short circuit failure) are detected.
이상이 본 발명의 동작에 대한 설명이다.
The above is the description of the operation of the present invention.
21 : 제1신호공급수단
22 : 제2신호공급수단
23 : 제3신호공급수단 3 : 검사헤드부
71 : 제1급전부 72 : 제2급전부
73 : 제3급전부 81 : 제1검전부
82 : 제2검전부
21: first signal supply means
22: second signal supply means
23: third signal supply means 3: inspection head portion
71: first feed part 72: second feed part
73: Class 3 Feeding Unit 81: First Inspection Unit
82: second inspection unit

Claims (4)

  1. 복수의 막대 모양의 배선(配線)이 나란하게 형성되는 x축 배선과, 상기 x축 배선과 매트릭스(matrix) 모양으로 배치됨과 아울러 복수의 막대 모양의 배선이 나란하게 형성되는 y축 배선을 구비하는 검사물의, 상기 x축 배선과 y축 배선의 도통(導通) 및 단락(短絡)을 검사하는 검사장치(檢査裝置)로서,
    상기 검사물의 x축 배선의 도통검사를 실시하기 위하여 교류신호(交流信號)를 공급하는 제1신호공급수단(第一信號供給手段)과,
    상기 검사물의 y축 배선의 도통검사를 실시하기 위한 교류신호를 공급하는 제2신호공급수단과,
    상기 검사물의 x축 배선과 인접하는 y축 배선과의 단락검사를 실시하기 위한 교류신호를 공급하는 제3신호공급수단과,
    상기 검사물의 배선의 도통 및 단락을 검사하기 위하여 각 공급수단으로부터의 교류신호를 공급하는 복수의 급전부(給電部)와, 상기 배선으로부터의 전기신호를 검출하는 복수의 검전부(檢電部)를 구비하는 검사헤드부(檢査 head部)와,
    상기 검사헤드부를 상기 검사물의 표면 상을 소정의 축방향으로 이동시키는 이동수단(移動手段)과,
    상기 검사헤드부의 복수의 급전부 및 상기 복수의 검전부와, 상기 제1신호공급수단 내지 제3신호공급수단을 전기적으로 접속시키는 접속수단(接續手段)과,
    상기 복수의 x축 배선의 일단부(一端部)와 상기 복수의 y축 배선의 일단부 모두에 대하여 비접촉(非接觸)으로 배치되고, 상기 제1신호공급수단의 일단과 상기 제2신호공급수단의 일단에 각각 전기적으로 접속되는 공통전극부(共通電極部)와,
    상기 검사헤드부에서의 검출신호를 기초로 하여 x축 배선과 y축 배선 각각의 도통 및 단락 검사를 실시하는 판정수단(判定手段)을
    구비하고,
    상기 검사헤드부는,
    상기 검사물의 x축 배선의 타단부(他端部)에 비접촉으로 배치됨과 아울러, 상기 제1신호공급수단의 타단과 전기적으로 접속되는 제1급전부(第一給電部)와,
    상기 검사물의 x축 배선의 전기신호를 검출하기 위하여 상기 x축 배선 상에 비접촉으로 배치되는 제1검전부(第一檢電部)와,
    상기 복수의 y축 배선의 타단부에 각각 비접촉으로 배치되고, 상기 제2신호공급수단의 타단 또는 상기 제3신호공급수단의 일단과 전기적으로 접속되는 복수의 제2급전부와,
    상기 복수의 y축 배선 상의 각각에 비접촉으로 배치되고, 상기 제2신호공급수단 및/또는 상기 제3신호공급수단이 공급하는 교류신호에 기인하는 전기신호를 검출하는 복수의 제2검전부와,
    상기 제3신호공급수단의 타단과 전기적으로 접속됨과 아울러, 상기 검사물의 x축 배선과 비접촉으로 배치되는 제3급전부를
    구비하고,
    상기 제2신호공급수단이 복수의 제2급전부에 공급하는 교류신호는, 각각 주파수가 서로 다른 교류신호인 것을 특징으로 하는 터치패널 검사장치(touch panel 檢査裝置).
    An x-axis wiring in which a plurality of rod-shaped wires are formed side by side, and a y-axis wiring in which a plurality of rod-shaped wires are arranged side by side while being arranged in a matrix shape with the x-axis wiring; An inspection apparatus for inspecting conduction and short circuit between the x-axis wiring and the y-axis wiring of an inspection object,
    First signal supply means for supplying an AC signal for conducting conduction inspection of the x-axis wiring of the inspection object ;
    Second signal supply means for supplying an AC signal for conducting conduction inspection of the y-axis wiring of the inspection object ;
    Third signal supply means for supplying an AC signal for conducting a short circuit inspection between the x-axis wiring and the y-axis wiring adjacent to the inspection object ;
    A plurality of feeders for supplying an AC signal from each supply means for inspecting the conduction and short circuit of the wiring of the inspection object, and a plurality of inspectors for detecting an electrical signal from the wires; An inspection head having a head;
    Moving means for moving the inspection head portion on the surface of the inspection object in a predetermined axial direction;
    Connecting means for electrically connecting the plurality of feeder portions of the inspection head portion, the plurality of inspection portions, and the first signal supply means to the third signal supply means;
    It is disposed in a non-contact manner with respect to both one end of the plurality of x-axis wirings and one end of the plurality of y-axis wirings, and one end of the first signal supply means and the second signal supply means. A common electrode part electrically connected to one end of the
    Determination means for conducting conduction and short-circuit inspection of each of the x-axis wiring and the y-axis wiring based on the detection signal from the inspection head portion;
    Equipped,
    The inspection head portion,
    A first feed portion disposed non-contact with the other end of the x-axis wiring of the inspection object and electrically connected to the other end of the first signal supply means;
    A first inspection unit disposed in a non-contact manner on the x-axis wiring to detect an electrical signal of the x-axis wiring of the inspection object ;
    A plurality of second feeders disposed non-contacted to the other ends of the plurality of y-axis wires and electrically connected to the other end of the second signal supply means or one end of the third signal supply means;
    A plurality of second inspection units disposed in contact with each other on the plurality of y-axis wires and detecting an electrical signal resulting from an AC signal supplied by the second signal supply means and / or the third signal supply means;
    A third feeding part which is electrically connected to the other end of the third signal supply means and which is arranged in contact with the x-axis wiring of the inspection object ;
    Equipped,
    And an AC signal supplied to the plurality of second feeders by the second signal supply means is an AC signal having a different frequency from each other .
  2. 복수의 막대 모양의 배선이 나란하게 형성되는 x축 배선과, 상기 x축 배선과 매트릭스 모양으로 배치됨과 아울러 복수의 막대 모양의 배선이 나란하게 형성되는 y축 배선을 구비하는 검사물의, 상기 x축 배선과 y축 배선의 도통 및 단락을 검사하는 검사장치로서,
    상기 검사물의 x축 배선의 도통검사를 실시하기 위하여 교류신호를 공급하는 제1신호공급수단과,
    상기 검사물의 y축 배선의 도통검사를 실시하기 위한 교류신호를 공급하는 제2신호공급수단과,
    상기 검사물의 x축 배선과 인접하는 y축 배선과의 단락검사를 실시하기 위한 교류신호를 공급하는 제3신호공급수단과,
    상기 검사물의 배선의 도통 및 단락을 검사하기 위하여 각 공급수단으로부터의 교류신호를 공급하는 복수의 급전부와, 상기 배선으로부터의 전기신호를 검출하는 복수의 검전부를 구비하는 검사헤드부와,
    상기 검사헤드부를 상기 검사물의 표면 상을 소정의 축방향으로 이동시키는 이동수단과,
    상기 검사헤드부의 복수의 급전부 및 상기 복수의 검전부와, 상기 제1신호공급수단 내지 제3신호공급수단을 전기적으로 접속시키는 접속수단과,
    상기 복수의 x축 배선의 일단부와 상기 복수의 y축 배선의 일단부 모두에 대하여 비접촉으로 배치되고, 상기 제1신호공급수단의 일단과 상기 제2신호공급수단의 일단에 각각 전기적으로 접속되는 공통전극부와,
    상기 검사헤드부에서의 검출신호를 기초로 하여 x축 배선과 y축 배선 각각의 도통 및 단락 검사를 실시하는 판정수단을
    구비하고,
    상기 검사헤드부는,
    상기 검사물의 x축 배선의 타단부에 비접촉으로 배치됨과 아울러, 상기 제1신호공급수단의 타단과 전기적으로 접속되는 제1급전부와,
    상기 검사물의 x축 배선의 전기신호를 검출하기 위하여 상기 x축 배선 상에 비접촉으로 배치되는 제1검전부와,
    상기 복수의 y축 배선의 타단부에 각각 비접촉으로 배치되고, 상기 제2신호공급수단의 타단 또는 상기 제3신호공급수단의 일단과 전기적으로 접속되는 복수의 제2급전부와,
    상기 복수의 y축 배선 상의 각각에 비접촉으로 배치되고, 상기 제2신호공급수단 및/또는 상기 제3신호공급수단이 공급하는 교류신호에 기인하는 전기신호를 검출하는 복수의 제2검전부와,
    상기 제3신호공급수단의 타단과 전기적으로 접속됨과 아울러, 상기 검사물의 x축 배선과 비접촉으로 배치되는 제3급전부를
    구비하고,
    제1신호공급수단 내지 제3신호공급수단이 공급하는 교류신호가 모두 주파수가 서로 다른 교류신호인 것을 특징으로 하는 터치패널 검사장치.
    The x-axis, wherein the x-axis wiring is formed in parallel with a plurality of rod-shaped wires, and the y-axis wiring is arranged in parallel with the x-axis wiring and a plurality of rod-shaped wires are formed in parallel. An inspection device for inspecting the conduction and short circuit between the wiring and the y-axis wiring,
    First signal supply means for supplying an AC signal for conducting conduction inspection of the x-axis wiring of the inspection object ;
    Second signal supply means for supplying an AC signal for conducting conduction inspection of the y-axis wiring of the inspection object ;
    Third signal supply means for supplying an AC signal for conducting a short circuit inspection between the x-axis wiring and the y-axis wiring adjacent to the inspection object ;
    An inspection head portion including a plurality of feeding portions for supplying an AC signal from each supply means for inspecting the conduction and short circuit of the wiring of the inspection object , and a plurality of inspection portions for detecting an electrical signal from the wiring;
    Moving means for moving the inspection head portion on the surface of the inspection object in a predetermined axial direction;
    Connecting means for electrically connecting the plurality of feeder portions of the inspection head portion, the plurality of inspector portions, and the first signal supply means to the third signal supply means;
    It is disposed in contact with both of one end of the plurality of x-axis wirings and one end of the plurality of y-axis wirings, and is electrically connected to one end of the first signal supply means and one end of the second signal supply means, respectively. A common electrode unit,
    Determination means for conducting conduction and short-circuit inspection of each of the x-axis wiring and the y-axis wiring based on the detection signal from the inspection head portion;
    Equipped,
    The inspection head portion,
    A first feeding part arranged in a non-contact portion at the other end of the x-axis wiring of the inspection object and electrically connected to the other end of the first signal supply means;
    A first inspection unit disposed in a non-contact manner on the x-axis wiring to detect an electrical signal of the x-axis wiring of the inspection object ;
    A plurality of second feeders disposed non-contacted to the other ends of the plurality of y-axis wires and electrically connected to the other end of the second signal supply means or one end of the third signal supply means;
    A plurality of second inspection units disposed in contact with each other on the plurality of y-axis wires and detecting an electrical signal resulting from an AC signal supplied by the second signal supply means and / or the third signal supply means;
    A third feeding part which is electrically connected to the other end of the third signal supply means and which is arranged in contact with the x-axis wiring of the inspection object ;
    Equipped,
    Touch panel inspection apparatus, characterized in that the AC signal supplied from the first signal supply means to the third signal supply means are all AC signals of different frequencies .
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 이동수단은, 상기 y축 배선이 연장되는 y축 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 터치패널 검사장치.
    The method according to claim 1 or 2,
    And the moving means moves in a y-axis direction in which the y-axis wiring extends .
  4. 삭제delete
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