KR101056100B1 - 전자 부품 실장 장치 및 실장 방법 - Google Patents

Abstract

반송 수단(2)의 테이블용 Z 구동원(7)에 의해 상하 방향으로 구동되고, 하강 방향으로 구동되었을 때에 백업툴(14)에 의해 하면이 지지된 기판의 측변부에 접착된 TCP를 가압 가열하여 실장하는 압착툴(15)과, 카세트용 Z 구동원(23)에 의해 상하 방향으로 구동되고, 압착툴에 의해 TCP를 실장할 때에 기판의 측변부의 상면과 압착툴 사이에 개재되는 시트를 구비하는 카세트(25)와, 압착툴에 의해 TCP를 기판에 실장한 후, Z·θ 구동원에 의해 압착툴을 상승시키고 나서, 카세트용 Z 구동원에 의해 카세트를 상승시키고, Z·θ 구동원에 의해 기판을 카세트보다도 느린 속도로 상승시켜, TCP의 실장 시에 TCP로부터 노출된 이방성 도전 부재의 부분에 접착한 시트를 박리시키는 제어 장치를 구비한다.

Description

전자 부품 실장 장치 및 실장 방법{ELECTRONIC COMPONENT MOUNTING APPARATUS AND MOUNTING METHOD}

본 발명은 기판에 전자 부품을 가압하여 압착하는 실장 장치 및 실장 방법에 관한 것이다.

예컨대, 기판으로서의 액정 셀에는 접착 재료로서의 이방성 도전 부재를 통해 전자 부품인 TCP(Tape Carrier Package)가 압착된다. 상기 액정 셀은, 2장의 유리판을 시일제를 통해 미리 정해진 간격으로 접착하고, 이들 유리판 사이에 액정을 봉입하며, 각 유리판의 외면에 각각 편광판을 접착하여 구성된다.

그리고, 상기 구성의 액정 셀의 측변부의 상면에는 테이프 형상이며, 양면에 점착성을 갖는 상기 이방성 도전 부재를 그 측변부의 거의 전체 길이에 걸쳐 접착하고, 이 이방성 도전 부재 상에 복수의 TCP를 미리 정해진 간격으로 가(假)압착한 후, 본(本)압착하도록 하고 있다.

액정 셀에 TCP를 가압착하거나, 본압착하는 경우에는 실장 장치가 이용된다. 실장 장치는 주지하는 바와 같이 장치 본체를 가지며, 이 장치 본체에는 백업툴 및 이 백업툴의 상방에 상하 방향으로 구동되는 압착툴이 마련되어 있다.

이방성 도전 부재를 통해 TCP가 접착된 액정 셀의 측변부의 하면을, 백업툴의 상단면에 위치 결정하여 배치한 후, 상기 압착툴을 하강 방향으로 구동함으로써, 상기 TCP를 상기 액정 셀에 가압착 또는 본압착하도록 하고 있다.

상기 액정 셀에 TCP를 본압착하는 경우, 가열된 상기 백업툴과 압착툴에 의해 이방성 도전 부재를 가열 경화시킨다. 그 때문에, TCP가 압착툴에 의해 가압 가열되면, 용융된 이방성 도전 부재의 일부가 경화하기 전에 TCP로부터 비어져 나와 압착툴에 부착되는 경우가 있다.

압착툴에 이방성 도전 부재가 부착되면, 압착툴에 의해 TCP를 균일하게 가압할 수 없게 되는 가압 불량을 초래하거나, 압착툴에 부착된 이방성 도전 부재가 TCP로 전이하여 더러워짐의 원인이 되는 등의 경우가 있어, 바람직하지 않다.

그래서, TCP를 본압착하는 경우, TCP와 압착툴 사이에 실리콘 수지나 불소 수지 등의 내열성을 갖는 재료에 의해 형성된 시트를 개재시킨다. 그것에 의해, TCP를 가압 가열할 때에, 용융된 이방성 도전 부재가 압착툴에 부착되는 것을 방지하도록 하고 있다.

상기 시트는 카세트에 마련된 공급릴로부터 도출되어 권취릴에 권취되도록 되어 있고, 그 중도부가 상기 압착툴과 TCP 사이에 개재하도록 되어 있다. 이러한 선행 기술은 특허 문헌 1에 나타나 있다.

액정 셀에 TCP를 본압착할 때, TCP와 압착툴 사이에 개재한 시트는, 상기 압착툴에 의해 TCP가 가압착된 액정 셀의 측변부에 TCP와 함께 가압되게 된다. 액정 셀의 측변부에는, 이 측변부의 전체 길이에 걸쳐 접착된 이방성 도전 부재에 의해 복수의 TCP가 미리 정해진 간격으로 가압착되어 있다. 그 때문에, 이웃하는 TCP 사이의 부분으로부터는 상기 액정 셀의 측변부의 전체 길이에 걸쳐 접착된 이방성 도전 부재가 노출되어 있다.

이방성 도전 부재가 이웃하는 TCP 사이의 부분으로부터 노출되어 있으면, 압착툴이 시트를 통해 TCP를 가압 가열했을 때, 시트가 이웃하는 TCP 사이에서 노출된 이방성 도전 부재의 부분에 접착해 버리는 것을 피할 수 없다.

최근에는 액정 셀이 대형화하는 경향이 있다. 액정 셀이 대형화하면, 그 측변부가 길어지고, 측변부에 접착되는 TCP의 수도 증대된다. 그에 따라, 이웃하는 TCP 사이의 이방성 도전 부재의 노출 부위도 많아지기 때문에, 시트가 액정 셀의 측변부에 강하게 접착해 버리는 경우가 있다.

종래, TCP를 액정 셀의 측변부에 실장함으로써, 액정 셀의 측변부에 접착된 시트는, 상기 기판을 하강시키거나, 상기 시트가 마련된 카세트를 상승시키는 등에 의해 액정 셀의 측변부로부터 박리하도록 하고 있다.

특허 문헌 1: 일본 특허 공개 제2001-28382호 공보

그런데, 시트가 액정 셀의 측변부에 강하게 접착된 상태에서, 단지 상기 시트를 상승시키거나, 액정 셀을 하강시키는 등에 의해 액정 셀의 측변부로부터 시트를 박리하더라도, 시트는 액정 셀로부터 간단히 박리되지 않고, 시트와 함께 액정 셀이 테이블 상으로부터 부상(浮上)해 버린다.

액정 셀이 시트와 함께 부상하면, 액정 셀의 자중에 의해 시트가 박리되게 된다. 그러나, 시트가 액정 셀로부터 박리되면, 액정 셀은 테이블로부터 부상하고 있기 때문에 낙하하게 된다. 이로 인해, 액정 셀에는 낙하에 의한 충격이 가해지기 때문에, 그 충격에 의해 액정 셀에 균열이 발생하는 경우가 있다. 특히, 상술한 바와 같이 액정 셀이 대형화하면, 시트가 액정 셀에 접착되기 쉽기 때문에 그 경향이 두드러진다.

본 발명의 과제는, 이방성 도전 부재에 의해 기판의 측변부에 접착된 전자 부품을 시트를 통해 압착툴로 가압하여 실장할 때, 상기 시트가 이방성 도전 부재에 접착해도, 기판이 시트에 의해 들어올려졌다 낙하하는 일 없이, 그 시트를 기판으로부터 박리할 수 있도록 한 전자 부품 실장 장치 및 실장 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명은, 이방성 도전 부재에 의해 기판의 측변부의 상면에 접착된 전자 부품을 실장하는 전자 부품 실장 장치로서,

제1 상하 구동 수단을 가지며, 상기 기판을 수평 방향 및 상하 방향으로 반송하는 반송 수단과,

이 반송 수단에 의해 반송 위치가 결정된 상기 기판의 상기 전자 부품이 접착된 측변부의 하면을 지지하는 백업툴과,

상기 기판이 상기 제1 상하 구동 수단에 의해 하강 방향으로 구동되어 상기 기판의 측변부의 하면이 상기 백업툴에 의해 지지되었을 때에, 상기 기판의 상기 측변부의 상면에 접착된 전자 부품을 가압 가열하여 실장하는 압착툴과,

제2 상하 구동 수단에 의해 상하 방향으로 구동되고, 상기 압착툴에 의해 상기 전자 부품을 실장할 때에 상기 기판의 측변부의 상면과 상기 압착툴 사이에 개재되는 시트를 구비하는 시트 공급 수단과,

상기 압착툴에 의해 상기 전자 부품을 상기 기판에 실장하고 상기 압착툴을 상승시킨 후, 상기 제2 상하 구동 수단에 의해 상기 시트 공급 수단을 상승시키며, 상기 제1 상하 구동 수단에 의해 상기 기판을 상승시킬 때에, 상기 기판을 상기 시트 공급 수단보다도 느린 속도로 상승시켜, 상기 전자 부품의 실장 시에 상기 전자 부품으로부터 노출된 상기 이방성 도전 부재의 부분에 접착된 상기 시트를 박리시키는 제어 수단

을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치를 제공한다.

또한, 본 발명은, 이방성 도전 부재에 의해 기판의 측변부의 상면에 접착된 전자 부품을 실장하는 전자 부품 실장 방법으로서,

상기 전자 부품이 접착된 상기 기판의 측변부의 하면을 백업툴로 지지하는 공정과,

하면이 지지된 상기 기판의 측변부의 상면에 접착된 전자 부품을 압착툴로 가압 가열하여 실장하는 공정과,

상기 전자 부품을 상기 기판의 측변부의 상면에 실장할 때에 상기 기판의 측변부의 상면과 상기 압착툴 사이에 시트를 개재시키는 공정과,

상기 압착툴에 의해 상기 전자 부품을 상기 기판에 실장한 후, 상기 압착툴을 상승시키고 나서, 상기 시트를 상승시키면서 상기 기판을 상기 시트보다도 느린 속도로 상승시켜, 상기 전자 부품의 실장 시에 상기 전자 부품으로부터 노출된 상기 이방성 도전 부재의 부분에 접착된 상기 시트를 박리하는 공정

을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 방법을 제공한다.

본 발명의 전자 부품 실장 장치 및 실장 방법에 따르면, 이방성 도전 부재에 의해 기판의 측변부에 접착된 전자 부품을 시트를 통해 압착툴로 가압하여 실장할 때, 시트가 이방성 도전 부재에 접착해도, 기판이 시트에 의해 들어올려졌다 낙하하는 일 없이, 그 시트를 기판으로부터 박리할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태를 도시하는 실장 장치의 개략적 구성도이다.
도 2는 제어계통의 블록도이다.
도 3은 일측부에 TCP가 마련된 액정 패널의 평면도이다.
도 4a는 이방성 도전 부재에 시트가 접착된 상태를 도시하는 설명도이다.
도 4b는 기판과 시트를 상승시킴으로써, 이방성 도전 부재로부터 시트가 박리되기 시작한 상태를 도시하는 설명도이다.
도 4c는 도 4b의 상태로부터 기판을 더 상승시킴으로써, 이방성 도전 부재로부터 시트가 더 박리된 상태를 도시하는 설명도이다.

이하, 본 발명의 일 실시형태를 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1은 실장 장치의 개략적 구성을 나타내며, 이 실장 장치는 장치 본체(1)를 구비하고 있다. 이 장치 본체(1)에는 반송 수단(2)이 마련되어 있다. 이 반송 수단(2)은 화살표로 나타내는 X 방향으로 이동 가능하고, 상기 장치 본체(1)에 마련된 X 구동원(3)에 의해 X 방향으로 구동되는 X 테이블(4)과, 이 X 테이블(4)에 X 방향과 직교하는 Y 방향으로 이동 가능하게 마련되고 Y 구동원(5)에 의해 구동되는 Y 테이블(6)과, 이 Y 테이블(6)에 마련되고 테이블용 Z 구동원(7)에 의해 상하 방향인 Z 방향으로 구동되는 Z 가동체(9) 및 이 Z 가동체(9)에 회전 방향인 θ방향으로 구동 가능하게 마련되고 θ 구동원(10)에 의해 회전 방향으로 구동되는 배치 테이블(8)을 갖는다. 그에 따라, 상기 배치 테이블(8)은 X, Y, Z 및 θ 방향으로 구동되도록 되어 있다. 또한, 상기 테이블용 Z 구동원(7)과 Z 가동체(9)에 의해 제1 상하 구동 수단을 구성하고 있다.

상기 배치 테이블(8)에는 예컨대 액정 셀 등의 기판(W)이 주변부를 배치 테이블(8)의 상면으로부터 외방으로 돌출시킨 상태로 공급 배치되고, 진공 흡착 등의 유지 수단에 의해 유지되도록 되어 있다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 상기 기판(W)의 일측부에는 이방성 도전 부재(11)를 통해 전자 부품으로서의 복수의 TCP(12)가 미리 정해진 간격으로 가압착되어 있다. 상기 이방성 도전 부재(11)는 기판(W)의 측변부의 전체 길이에 걸쳐 접착되어 있다. 그에 따라, 도 3에 도면 부호 11a로 나타내는 바와 같이 이웃하는 TCP(12) 사이에서 상기 이방성 도전 부재(11)가 노출되어 있다.

상기 장치 본체(1)에는, 상기 배치 테이블(8)에 유지된 기판(W)의 일측부의 하면을 상단면에 의해 지지하는 백업툴(14)이 마련되어 있다. 기판(W)의 측변부에 가압착된 TCP(12)는, 기판(W)의 측변부의 하면이 상기 백업툴(14)의 상단면에 지지된 상태에서, 그 측변부에 가압착된 TCP(12)가 압착툴(15)에 의해 본압착되도록 되어 있다.

상기 압착툴(15)은 가압 헤드(16)의 하면에 마련되어 있다. 이 가압 헤드(16)는, 리니어 가이드(17)에 의해 화살표로 나타내는 Z 방향으로 이동 가능하게 마련되고, 서보 모터나 리니어 모터 등의 가압용 Z 구동원(18)에 의해 Z 방향으로 구동되도록 되어 있다.

상기 장치 본체(1)의 상기 압착툴(15)의 하방이면서 상기 백업툴(14)보다도 상방에는, 시트 공급 수단으로서의 후술하는 카세트(25)가 착탈 가능하게 장착되는 장착부로서의 한 쌍의 레일 부재(21)(한쪽만 도시)가 Y 방향으로 미리 정해진 간격으로 이격되어 X 방향을 따라 수평으로 마련되어 있다.

상기 레일 부재(21)에 상기 카세트(25)를 장착하면, 도 1에 도시하는 미리 정해진 위치에서 상기 카세트(25)에 마련된 스토퍼(도시하지 않음)가 상기 장치 본체(1)에 마련된 접촉부(도시하지 않음)에 접촉한다. 그에 따라, 상기 카세트(25)가 위치 결정되도록 되어 있다.

한 쌍의 레일 부재(21)의 적어도 길이 방향의 양단부는 연결 부재(22)에 의해 일체적으로 연결되어 있다. 연결 부분의 양단부, 즉 한 쌍의 레일 부재(21)의 양단부에 대응하는 부분에는 각각 펄스 모터나 리니어 모터 등으로 이루어지는 제2 상하 구동 수단으로서의 카세트용 Z 구동원(23)이 설치되어 있다. 그에 따라, 한 쌍의 레일 부재(21)는 4개의 카세트용 Z 구동원(23)(2개만 도시)에 의해 상하 방향인 Z 방향으로 구동되도록 되어 있다.

또한, 4개의 카세트용 Z 구동원(23)은 후술하는 제어 장치(35)에 의해 동기하여 구동된다. 그에 따라, 한 쌍의 레일 부재(21)는 수평 상태로 Z 방향으로 구동되도록 되어 있다.

상기 카세트(25)는, 도 1에 도시하는 바와 같이 4코너부가 연결축(26)에 의해 미리 정해진 간격으로 연결된 직사각형 형상의 한 쌍의 측판(27)(한쪽만 도시)을 갖는다. 한 쌍의 측판(27)은 상기 기판(W)의 TCP(12)가 가압착된 측변부의 길이보다도 큰 간격으로 연결되어 있다.

한 쌍의 측판(27)의 길이 방향 일단부에는, 실리콘 수지제나 불소 수지제의 내열성을 갖는 시트(28)가 감겨진 조출축(繰出軸; 29)이 상기 측판(27)에 대하여 회전 가능하고 또한 착탈 가능하게 설치되어 있다.

상기 측판(27)의 길이 방향 타단부에는 상기 조출축(29)에 감겨진 시트(28)를, 복수의 중계 롤러(31)를 통해 권취하는 권취축(32)이 설치되어 있다. 이 권취축(32)은 도 2에 도시하는 권취 모터(33)에 의해 회전 구동되고, 상기 시트(28)를 상기 권취축(32)에 미리 정해진 길이씩 권취하도록 되어 있다.

도 1에 도시하는 바와 같이 카세트(25)가 장치 본체(1)의 미리 정해진 위치에 장착되면, 이 카세트(25)에 장착된 시트(28)의 조출축(29)과 권취축(32) 사이에 위치하는 부분이 기판(W)의 TCP(12)가 가압착된 측변부의 상방에 대향 위치하도록 되어 있다.

또한, 상기 X 구동원(3), Y 구동원(5), 테이블용 Z 구동원(7), θ 구동원(10), 가압용 Z 구동원(18), 카세트용 Z 구동원(23) 및 상기 권취 모터(33)는 도 2에 도시하는 제어 장치(35)에 의해 구동이 제어되도록 되어 있다.

다음으로, 상기 구성의 실장 장치에 의해 기판(W)의 측변부에 가압착된 TCP(12)를 본압착하는 경우에 대해서 설명한다. 우선, 도 1에 도시하는 바와 같이 장치 본체(1)의 레일 부재(21)에 카세트(25)가 장착된 상태에서 배치 테이블(8)이 구동되어, TCP(12)가 가압착된 기판(W)의 측변부가 백업툴(14)의 상단면의 상방에 위치 결정된다. 이어서, 배치 테이블(8)이 Z 방향 하방으로 구동되어 상기 기판(W)의 측변부의 하면이 상기 백업툴(14)의 상단면에 지지된다.

이어서, 테이블용 Z 구동원(7)이 작동하여 압착툴(15)이 Z 방향 하방으로 구동된다. 그에 따라, 압착툴(15)은 시트(28)를 통해 기판(W)의 측변부에 미리 정해진 간격으로 마련된 복수의 TCP(12)를 동시에 가열하면서 가압하기 때문에, 이방성 도전 부재(11)가 용융되어 복수의 TCP(12)가 기판(W)의 측변부에 본압착되게 된다.

TCP(12)를 기판(W)의 측변부에 본압착하면, 압착툴(15)과 기판(W)의 측변부 사이에 개재한 시트(28)의 이웃하는 TCP(12) 사이에 위치하는 부분은, 도 4a에 쇄선으로 나타내는 바와 같이 압착툴(15)에 의해 이웃하는 TCP(12) 사이에서 노출된 이방성 도전 부재(11)의 부분(11a)에 가압되어 접착된다. 즉, 시트(28)는, 이웃하는 TCP(12) 사이에 형성된 간극의 수에 대응하는 복수 부위가 이웃하는 TCP(12) 사이에서 노출된 이방성 도전 부재(11)의 부분(11a)에 접착되게 된다.

이웃하는 TCP(12) 사이에서 노출된 이방성 도전 부재(11)의 부분(11a)에 접착한 시트(28)는 이하와 같이 박리된다. 즉, 본압착이 종료되면, 제어 장치(35)에 의해 가압용 Z 구동원(18)이 구동되어 압착툴(15)이 상승 방향으로 구동된다. 이때, 이웃하는 TCP(12) 사이에 위치하는 시트(28)의 부분은 도 4a에 도시하는 바와 같이 기판(W)의 측변부에 있어서 이웃하는 TCP(12) 사이에서 노출된 이방성 도전 부재(11)의 부분에 접착하고 있다.

압착툴(15)이 카세트(25)에 간섭하지 않는 위치까지 상승하면, 카세트용 Z 구동원(23)에 의해 카세트(25)를 상승 방향으로 구동하는 것과 동시에, 테이블용 Z 구동원(7)이 작동하여, 배치 테이블(8)에 의해 기판(W)을 상승 방향으로 구동한다. 이때, 기판(W)의 상승 속도를 V1, 카세트(25)의 상승 속도를 V2라고 하면, V1＜V2가 되도록, 이들의 상승 속도가 상기 제어 장치(35)에 의해 제어된다.

또한, 카세트(25)의 상승 구동과, 기판(W)의 상승 구동은 동기하여 행해지지만, 카세트(25)를 약간 상승시키고 나서, 기판(W)의 상승을 개시시킬 수도 있다.

이와 같이, 카세트(25)와 함께 기판(W)을 상승시키고, 또한 기판(W)의 상승 속도(V1)를 카세트(25), 즉 시트(28)의 상승 속도보다도 느리게 하면, 이방성 도전 부재(11)에 접착된 시트(28)의 부분에는 장력이 완만하게 가해지기 때문에, 도 4b에 도시하는 바와 같이 시트(28)는 이방성 도전 부재(11)의 노출된 부분(11a)의 폭방향 양단부로부터 서서히 박리된다.

또한, 기판(W)을 도 4c에 도시하는 바와 같이 본압착 시의 최초의 위치로부터 높이(H)까지 상승시키면, 시트(28)에 장력이 계속해서 완만하게 가해짐으로써, 그 시트(28)는 이방성 도전 부재(11)의 노출된 부분(11a)의 폭방향 중앙부를 제외한 대부분의 부분이 박리되게 된다. 그리고, 카세트(25)를 기판(W)에 대하여 더 상승시키면, 시트(28)가 기판(W)의 측변부로부터 확실하게 박리되게 된다.

이와 같이, 기판(W)의 측변부에 있어서 TCP(12)로부터 노출된 이방성 도전 부재(11)의 부분에 접착한 시트(28)를 박리할 때, 단지 카세트(25)를 상승시키는 것만이 아니라, 카세트(25)의 상승 속도(V2)보다도 느린 속도(V1)로 기판(W)을 상승시키도록 하였다.

그 때문에, 시트(28)는 기판(W)의 측변부에 노출된 이방성 도전 부재(11)의 부분(11a)으로부터, 카세트(25)와 기판(W)의 상승 속도의 차이에 의해 서서히 박리되기 때문에, 이방성 도전 부재(11)에 접착된 시트(28)가 기판(W)을 강하게 끌어당겨 그 기판(W)을 배치 테이블(8)로부터 상승시키는 일이 없다.

그에 따라, 시트(28)를 이방성 도전 부재(11)로부터 박리할 때, 기판(W)을 배치 테이블(8)로부터 부상시켜 낙하시키는 일이 없기 때문에, 기판(W)에 충격을 주어 손상시키는 것을 방지할 수 있다.

또한, 기판(W)의 상승 속도(V1)와 카세트(25)의 상승 속도(V2)의 차이(V2-V1)는, 기판(W)의 측변부에 대한 이방성 도전 부재(11)의 접착력과, 배치 테이블(8)에 대한 기판(W)의 흡착 유지력에 따라 기판(W)이 배치 테이블(8)로부터 부상하지 않도록, 제어 장치(35)에 의해 설정 가능하다.

본 발명에 따르면, 기판과 시트를 상승시키고, 기판의 상승 속도를 시트의 상승 속도보다도 느리게 함으로써, 기판의 측변부로부터 시트를 박리하도록 하였다.

이 때문에, 기판과 시트의 상승 속도의 차이에 의해 시트가 기판으로부터 서서히 박리되기 때문에, 시트가 기판을 들어올리는 일 없이, 시트가 기판으로부터 완만하게 박리되게 된다.

Claims (3)

1. 이방성 도전 부재에 의해 기판의 측변부의 상면에 접착된 전자 부품을 실장하는 전자 부품 실장 장치로서,
   제1 상하 구동 수단을 가지며, 상기 기판을 수평 방향 및 상하 방향으로 반송하는 반송 수단과,
   이 반송 수단에 의해 반송 위치가 결정된 상기 기판의 상기 전자 부품이 접착된 측변부의 하면을 지지하는 백업툴과,
   상기 기판이 상기 제1 상하 구동 수단에 의해 하강 방향으로 구동되어 상기 기판의 측변부의 하면이 상기 백업툴에 의해 지지되었을 때에, 상기 기판의 상기 측변부의 상면에 접착된 전자 부품을 가압 가열하여 실장하는 압착툴과,
   제2 상하 구동 수단에 의해 상하 방향으로 구동되고, 상기 압착툴에 의해 상기 전자 부품을 실장할 때에 상기 기판의 측변부의 상면과 상기 압착툴 사이에 개재되는 시트를 갖는 시트 공급 수단과,
   상기 압착툴에 의해 상기 전자 부품을 상기 기판에 실장하고 상기 압착툴을 상승시킨 후, 상기 제2 상하 구동 수단에 의해 상기 시트 공급 수단을 상승시키며, 상기 제1 상하 구동 수단에 의해 상기 기판을 상승시킬 때에, 상기 기판을 상기 시트 공급 수단보다도 느린 속도로 상승시켜, 상기 전자 부품의 실장 시에 상기 전자 부품으로부터 노출된 상기 이방성 도전 부재의 부분에 접착된 상기 시트를 박리시키는 제어 수단
   을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 시트 공급 수단이 착탈 가능하게 장착되는 장착부가 설치되고,
   상기 제2 상하 구동 수단은 상기 장착부와 함께 상기 시트 공급 수단을 상하 방향으로 구동하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.
3. 이방성 도전 부재에 의해 기판의 측변부의 상면에 접착된 전자 부품을 실장하는 전자 부품 실장 방법으로서,
   상기 전자 부품이 접착된 상기 기판의 측변부의 하면을 백업툴로 지지하는 공정과,
   하면이 지지된 상기 기판의 측변부의 상면에 접착된 전자 부품을 압착툴로 가압 가열하여 실장하는 공정과,
   상기 전자 부품을 상기 기판의 측변부의 상면에 실장할 때에 상기 기판의 측변부의 상면과 상기 압착툴 사이에 시트를 개재시키는 공정과,
   상기 압착툴에 의해 상기 전자 부품을 상기 기판에 실장한 후, 상기 압착툴을 상승시키고 나서, 상기 시트를 상승시키면서 상기 기판을 상기 시트보다도 느린 속도로 상승시켜, 상기 전자 부품의 실장 시에 상기 전자 부품으로부터 노출된 상기 이방성 도전 부재의 부분에 접착된 상기 시트를 박리하는 공정
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 방법.

Images