KR101052460B1 - Glove box with clean room capacity and its used transfer system - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 소자를 제조하기 위한 클린룸 기능을 구비하는 글로브박스 및 이를 이용한 이송 시스템에 관한 것이다.
The present invention relates to a glove box having a clean room function for manufacturing a semiconductor device and a transfer system using the same.
잘 알려진 바와 같이, 유기 전계 발광 소자(OLED : organic electro luminescent device)는 평판 디스플레이 소자 중 하나로 웨이퍼 상의 양전극층과 음전극층 사이에 유기 전계 발광층을 구비하며, 매우 얇은 두께의 매트릭스 형태를 가진다.As is well known, an organic electroluminescent device (OLED) is one of flat panel display devices and has an organic electroluminescent layer between a positive electrode layer and a negative electrode layer on a wafer, and has a very thin matrix form.
이러한 유기 전계 발광 소자에 형성되는 유기 박막층은 수분(H2O) 및 산소(O2)와 쉽게 반응하여 소자의 수명과 특성에 많은 영향을 미치게 되기 때문에, 유기 전계 발광 소자가 형성된 기판 상에 봉지캡 또는 봉지용 박막 등의 봉지 수단을 통해 유기 전계 발광 소자를 봉지함으로써, 기판 상에 형성된 유기 전계 발광 소자의 유기 박막층을 외부의 수분과 산소로부터 격리하여 보호할 수 있다.Since the organic thin film layer formed on the organic EL device easily reacts with moisture (H 2 O) and oxygen (O 2) to affect the lifespan and characteristics of the device, an encapsulation cap or encapsulation on the substrate on which the organic EL device is formed. By encapsulating the organic electroluminescent element through a sealing means such as a thin film, the organic thin film layer of the organic electroluminescent element formed on the substrate can be protected from external moisture and oxygen.
그런데, 유기 전계 발광 소자를 봉지하는 공정에서도 외부로부터 산소 및 수분이 유입될 수 있기 때문에, 이러한 봉지 공정은 글로브박스(glove box) 내에서 진행되며, 글러브 박스 내 분위기의 안정적인 유지가 유기 전계 발광 소자의 성능 및 수율에 큰 영향을 미칠 수 있다.However, in the process of encapsulating the organic EL device, since oxygen and moisture may be introduced from the outside, the encapsulation process is performed in a glove box, and stable maintenance of the atmosphere in the glove box is achieved. Can have a big impact on performance and yield.
상술한 바와 같이 유기 전계 발광 소자와 같은 반도체 소자의 제조 과정에 사용되는 글로브박스는 글로브박스 본체, 조절 유닛, 진공 펌프 등을 구비하고 있으며, 글로브박스 본체는 작업자가 손을 넣고 작업하는 글로브, 정면창 등으로 구성될 수 있고, 조절 유닛은 불활성 기체 및 진공 조절 장치들을 포함하고 있다.As described above, the glove box used in the manufacturing process of a semiconductor device such as an organic electroluminescent device is provided with a glove box body, a control unit, a vacuum pump, etc., the glove box body is a glove box, the front of the worker to work with hands, Window, etc., wherein the regulating unit includes an inert gas and vacuum regulating devices.
이러한 글로브박스는 하나의 공정을 수행하기 위해 대상 물체(예를 들면, 유기 전계 발광 소자 등)를 챔버 내부로 이송하고, 소정의 가스, 압력, 온도 등으로 설정 및 조절하며, 필요에 따라 글로브를 이용하여 대상 물체를 작업자의 손으로 조작할 수 있다. 이 후, 공정이 종료되면, 다음 공정을 위해 대상 물체를 해당 공정실로부터 다음 공정실로 이송시켜 다음 공정을 수행할 수 있다.Such a glove box transfers a target object (for example, an organic electroluminescent element, etc.) into a chamber, sets and adjusts a predetermined gas, pressure, temperature, etc. to perform one process, and adjusts the glove as necessary. Can be operated by the operator's hand. Thereafter, when the process is finished, the object may be transferred from the process chamber to the next process chamber to perform the next process for the next process.
상술한 바와 같은 글로브박스의 내부에는 대상 물체를 오염시키는 먼지(또는 분진) 등이 존재할 수 있고, 이는 대상 물체의 오염 및 해당 공정에 심각한 오류를 발생시키는 요인이 될 수 있으며, 먼지 등의 존재로 인해 발생되는 정전기는 더욱 심각한 오류를 발생시키는 문제점이 있다.
Inside the glove box as described above, there may be dust (or dust) that contaminates an object, which may cause contamination of the object and a serious error in the process, and the presence of dust, etc. The static electricity generated due to this problem has a more serious error.
본 발명은 글로브박스에 구비된 필터링 유닛을 통해 내부 공기를 순환시켜 먼지를 필터링하며, 정전기 방지 유닛을 구비하여 정전기 발생을 미연에 방지할 수 있는 클린룸 기능이 구비된 글로브박스 및 이를 이용한 이송 시스템을 제공하고자 한다.The present invention is to filter the dust by circulating the internal air through the filtering unit provided in the glove box, and a glove box with a clean room function that can prevent the generation of static electricity by the anti-static unit and the transfer system using the same To provide.
또한, 본 발명은 공기 순환 유닛 및 정전기 방지 유닛을 구비한 글로브박스를 복수 개 연장 연결하여 현 공정실에서 다음 공정실로 대상 물체를 청정하게 이송시킬 수 있는 클린룸 기능이 구비된 글로브박스 및 이를 이용한 이송 시스템을 제공하고자 한다.The present invention also provides a glove box having a clean room function capable of cleanly transferring a target object from the current process chamber to the next process chamber by connecting a plurality of glove boxes including an air circulation unit and an antistatic unit, and using the same. To provide a transfer system.
본 발명의 실시예들의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
The objects of the embodiments of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects, which are not mentioned above, will be clearly understood by those skilled in the art from the following description. .
본 발명의 일 측면에 따르면, 산소 및 수분을 제거하여 청정 공정 환경을 제공하는 글로브박스에 있어서, 상기 글로브박스에 구비되는 챔버(B)의 상부 및 하부에 설치되는 상부 구조물(A) 및 하부 구조물(C)에 설치되며, 상기 챔버(B)의 내부 공기를 외부로 순환시켜 먼지를 필터링하는 필터링 유닛(110)과, 상기 상부 구조물(A)에 설치되며, 상기 먼지로 인해 발생하는 정전기를 제거하는 정전기 제거 유닛(120)과, 공정 작업을 위해 상기 챔버(B)에 구비되는 챔버 유닛(130)을 포함하는 클린룸 기능이 구비된 글로브박스가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, in the glove box to remove oxygen and moisture to provide a clean process environment, the upper structure (A) and the lower structure installed on the upper and lower portions of the chamber (B) provided in the glove box Installed in (C), the
본 발명의 다른 측면에 따르면, 제 1 공정실에서 제 2 공정실로 대상 물체를 이송하는 이송 시스템에 있어서, 챔버(B)의 상부 및 하부에 설치되는 상부 구조물(A) 및 하부 구조물(C)에 설치되며 상기 챔버(B)의 내부 공기를 외부로 순환시켜 먼지를 필터링하는 필터링 유닛(110)과, 상기 상부 구조물(A)에 설치되며, 상기 먼지로 인해 발생하는 정전기를 제거하는 정전기 제거 유닛(120)과, 공정 작업을 위해 상기 챔버(B)에 구비되는 챔버 유닛(130)을 포함하는 글로브박스가 복수 개 연장 연결되며, 상기 제 1 공정실과 연결되어 이로부터 배출된 상기 대상 물체를 이송시키는 제 1 글로브박스(100a)와, 상기 제 1 글로브박스(100a)와 동일한 구성을 가지며, 상기 제 2 공정실과 연결되어 이송되는 상기 대상 물체를 상기 제 2 공정실로 유입시키는 제 3 글로브박스(100c)와, 상기 제 1 글로브박스(100a)로부터 이송되는 상기 대상 물체를 승강 또는 하강시키고, 동일한 방향으로 이송하거나 회전시켜 이송시키는 제 1 승강부(200a)와, 상기 제 1 승강부(200a)와 동일한 기능을 가지며, 상기 제 3 글로브박스(100c)로 상기 대상 물체를 이송시키는 제 2 승강부(200b)와, 상기 제 1 글로브박스(100a)와 동일한 구성을 가지며, 상기 제 1 승강부(200a)와 상기 제 2 승강부(200b)를 연결시켜 상기 대상 물체를 이송시키는 제 2 글로브박스(100b)를 포함하는 클린룸 기능이 구비된 글로브박스를 이용한 이송 시스템이 제공될 수 있다.
According to another aspect of the present invention, in the transfer system for transferring the object from the first process chamber to the second process chamber, the upper structure (A) and the lower structure (C) installed on the upper and lower portions of the chamber (B) A
본 발명에서는, 글로브박스의 챔버 내부 공기를 순화시켜 배출 박스에서 먼지를 1차 제거하고, 송풍 박스에서 먼지를 2차 제거하며, 정전기 방지 유닛을 통해 먼지에서 발생하는 정전기를 제거함으로써, 클린룸 기능을 구현하여 청정 공정 환경을 제공할 수 있다.In the present invention, by purifying the air in the chamber of the glove box to remove the dust first from the discharge box, secondary dust from the blower box, by removing the static electricity generated in the dust through the antistatic unit, clean room function It can be implemented to provide a clean process environment.
또한, 클린룸 기능이 구비된 글로브박스를 이용한 이송 시스템에서는 먼지 필터링 기능과 정전기 제거 기능을 갖는 글로브박스를 복수 개 연장 연결하여 이송시키며, 승강부를 통해 상하 이동 및 회전 이동을 통해 대상 물체를 이송시킴으로써, 청정한 공정 환경을 유지하여 제 1 공정실에서 제 2 공정실로 대상 물체를 이송시킬 수 있다.In addition, in the transfer system using a glove box equipped with a clean room function, a plurality of glove boxes having a dust filtering function and an electrostatic elimination function are connected and extended, and a target object is moved by moving up and down and rotating through an elevator. In addition, the object may be transferred from the first process chamber to the second process chamber by maintaining a clean process environment.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 기능이 구비된 글로브박스의 상부 사시도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 기능이 구비된 글로브박스의 하부 사시도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 기능이 구비된 글로브박스의 단면도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 글로브박스의 챔버에 구비되는 바닥 플레이트를 예시한 도면,
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 시스템의 승강부의 상부 사시도,
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 시스템의 승강부의 하부 사시도,
도 7은 본 발명의 다른 실시에에 따른 이송 시스템을 예시한 도면.1 is a top perspective view of a glove box having a clean room function according to an embodiment of the present invention;
2 is a bottom perspective view of a glove box provided with a clean room function according to an embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view of a glove box having a clean room function according to an embodiment of the present invention;
4 is a view illustrating a bottom plate provided in a chamber of a glove box according to an embodiment of the present invention;
5 is a top perspective view of a lift unit of a transport system according to another embodiment of the present invention;
Figure 6 is a bottom perspective view of the lifting portion of the transfer system according to another embodiment of the present invention,
7 illustrates a transport system according to another embodiment of the present invention.
본 발명의 실시예들에 대한 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the embodiments of the present invention, and methods of achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.
본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명의 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. In describing the embodiments of the present invention, if it is determined that a detailed description of a known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, terms to be described below are terms defined in consideration of functions in the embodiments of the present invention, which may vary according to intentions or customs of users and operators. Therefore, the definition should be based on the contents throughout this specification.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 기능이 구비된 글로브박스의 상부 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 기능이 구비된 글로브박스의 하부 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 기능이 구비된 글로브박스의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 글로브박스의 챔버에 구비되는 바닥 플레이트를 예시한 도면이다.1 is a top perspective view of a glove box with a clean room function according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a bottom perspective view of a glove box with a clean room function according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3. 4 is a cross-sectional view of a glove box provided with a clean room function according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a view illustrating a bottom plate provided in a chamber of the glove box according to an embodiment of the present invention.
종래의 글로브박스는 작업자가 손으로 작업하도록 구비된 글로브가 구비되고, 수분 및 산소를 제거하기 위한 공기조화기 등을 구비하는데, 본 발명의 실시예들에 따른 글로브박스를 설명함에 있어 이러한 글로브, 수분 및 산소 제거 장치 등에 대해서 설명하지 않고 본 발명의 특징에 대해서만 이하에서 설명한다.Conventional glove box is provided with a glove provided by the operator to work by hand, and provided with an air conditioner for removing moisture and oxygen, in the description of the glove box according to embodiments of the present invention, Only the features of the present invention will be described below without describing the water and oxygen removal device and the like.
물론, 글로브의 경우 설치되지 않을 수 있으며, 글로브가 설치되지 않은 경우에도 통상적으로 청정한 상태에서 공정 작업을 수행할 수 있도록 구성된 장치를 글로브박스라고 하고 있기 때문에 이하에서는 글로브박스로 명명하여 설명하기로 한다.Of course, in the case of the glove may not be installed, even if the glove is not installed because the device is configured to perform a process operation in a clean state is generally referred to as a glove box will be described below. .
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 기능이 구비된 글로브박스는 필터링 유닛(110), 정전기 제거 유닛(120), 챔버 유닛(130) 등을 포함할 수 있다.
1 to 4, a glove box having a clean room function according to an embodiment of the present invention may include a
필터링 유닛(110)은 글로브박스에 구비되는 챔버(B)의 상부 및 하부에 설치되는 상부 구조물(A) 및 하부 구조물(C)에 설치되며, 챔버(B)의 내부 공기를 외부로 순환시켜 먼지를 필터링할 수 있다.The
여기에서, 필터링 유닛(110)은 송풍 박스(111), 순환 배관(112), 배출 박스(113) 등을 포함할 수 있다.Here, the
송풍 박스(111)는 상부 구조물(A)에 복수 개의 송풍기(111a)와 복수 개의 필터(111b)가 쌍으로 설치되며, 배출 박스(113)에서 상대적으로 입자가 큰 먼지가 1차적으로 제거된 후 순환된 내부 공기에서 상대적으로 입자가 작은 먼지를 필터링한 후 챔버(B)로 유입시킬 수 있다. 여기에서, 필터(111b)는 예를 들어 HEPA 필터 등을 사용할 수 있으며, 이러한 필터(111b)는 송풍기(111a)의 하부에 설치되어 챔버(B)에 연결된 유입구에 구비될 수 있다.
순환 배관(112)은 챔버(B)의 외부에 설치되어 송풍 박스(111)가 설치된 상부 구조물(A)과 배기 박스(113)를 연결하며, 내부 공기를 순환시킬 수 있다.The
여기에서, 순환 배관(112)은 송풍 박스(111)와 직접 연결되거나 송풍 박스(111)를 포함하는 상기 상부 구조물(A)이 밀폐된 공간을 가질 경우 상부 구조물(A)과 연결시킬 수 있다.Here, the
배기 박스(113)는 하부 구조물(C)에 복수 개가 상기 챔버(B)에 인접하여 설치되며, 상기 내부 공기를 배출할 수 있다.A plurality of
여기에서, 배기 박스(113)는, 내부면에 먼지를 흡착시키는 흡착 수단을 구비할 수 있다. 이러한 흡착 수단은 예를 들면, 흡착포 등을 포함할 수 있으며, 입자가 큰 먼지를 흡착하여 먼지를 1차적으로 제거할 수 있다.
Here, the
정전기 제거 유닛(120)은 상부 구조물(A)에 설치되며, 먼지로 인해 발생하는 정전기를 제거하는데, 정전기 제거 유닛(120)에서 (-)전기를 발생시켜 먼지에서 발생하는 (+)전기를 제거할 수 있다. 이러한 정전기 제거 유닛(120)은 종래에 다양하게 개발 및 공개되어 있으므로 그 구체적인 설명은 생략한다.
The static
챔버 유닛(130)은 공정 작업을 위해 챔버(B)에 구비되는 것으로, 배기 박스(113)에 대응하여 복수 개의 배출부(131a)가 구비되고 내부 공기가 배출부(131a)를 통해 배출되는 바닥 플레이트(131)를 구비할 수 있다.The
또한, 챔버 유닛(130)은 공정 작업을 위한 대상 물체가 안착되는 공정 플레이트(133)를 지지 및 이송시킬 수 있는 이송 롤러(132)를 구비할 수 있다.In addition, the
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 글로브박스에서는 글로브박스의 챔버 내부 공기를 순화시켜 배출 박스에서 먼지를 1차 제거하고, 송풍 박스에서 먼지를 2차 제거하며, 정전기 방지 유닛을 통해 먼지에서 발생하는 정전기를 제거함으로써, 클린룸 기능을 구현하여 청정 공정 환경을 제공할 수 있다.
Therefore, in the glovebox according to an embodiment of the present invention, the air inside the chamber of the glovebox is purified to remove dust from the discharge box first, to remove dust from the blower box secondly, and to generate dust from the dust through an antistatic unit. By eliminating static electricity, clean room functions can be implemented to provide a clean process environment.
다음에 상술한 바와 같은 구성을 갖는 글로브박스를 공정실 간의 대상 물체 이송에 적용하여 클린룸 기능을 구현시킨 클린룸 기능이 구비된 글로브박스를 이용한 이송 시스템에 대해 설명한다.Next, a description will be given of a transfer system using a glove box having a clean room function, which implements a clean room function by applying a glove box having the above-described configuration to a target object transfer between process chambers.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 시스템의 승강부의 상부 사시도이고, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 시스템의 승강부의 하부 사시도이고, 도 7은 본 발명의 다른 실시에에 따른 이송 시스템을 예시한 도면이다.5 is a top perspective view of a lift unit of a transfer system according to another embodiment of the present invention, FIG. 6 is a bottom perspective view of a lift unit of a transfer system according to another embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a view showing another embodiment of the present invention. Figure is a diagram illustrating a transport system according to.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 시스템은 제 1 공정실에서 제 2 공정실로 대상 물체를 이송하는 시스템으로, 제 1 글로브박스(100a), 제 2 글로브박스(100b), 제 3 글로브박스(100c), 제 1 승강부(200a), 제 2 승강부(200b) 등을 포함할 수 있다.5 to 7, a transfer system according to another embodiment of the present invention is a system for transferring a target object from a first process chamber to a second process chamber, and includes a
제 1 글로브박스(100a)는 챔버(B)의 상부 및 하부에 설치되는 상부 구조물(A) 및 하부 구조물(C)에 설치되며 챔버(B)의 내부 공기를 외부로 순환시켜 먼지를 필터링하는 필터링 유닛(110)과, 상부 구조물(A)에 설치되며, 먼지로 인해 발생하는 정전기를 제거하는 정전기 제거 유닛(120)과, 공정 작업을 위해 챔버(B)에 구비되는 챔버 유닛(130)을 포함하는 글로브박스가 복수 개 연장 연결되며, 제 1 공정실과 연결되어 이로부터 배출된 대상 물체를 제 1 승강부(200a)로 이송시킬 수 있다.The
제 2 글로브박스(100b)는 제 1 글로브박스(100a)와 동일한 구성을 가지며, 제 1 승강부(200a)와 제 2 승강부(200b)를 연결시켜 제 1 승강부(200a)에서 유입되는 대상 물체를 제 2 승강부(200b)로 이송시킬 수 있다.The
제 3 글로브박스(100c)는 제 1 글로브박스(100a)와 동일한 구성을 가지며, 제 2 공정실과 연결되어 제 2 승강부(200b)에서 유입되는 대상 물체를 제 2 공정 실로 유입시킬 수 있다.The
제 1 승강부(200a)는 제 1 글로브박스(100a)로부터 이송되는 대상 물체를 승강 또는 하강시키고, 동일한 방향으로 제 2 그로브박스(100b)로 이송하거나 회전시켜 제 2 그로브박스(100b)로 이송시킬 수 있다.The
제 2 승강부(200b)는 제 1 승강부(200a)와 동일한 기능을 가지며, 제 2 글로브박스(100b)로부터 이송되는 대상 물체를 제 3 글로브박스(100c)로 이송시킬 수 있다.The second elevating
도시된 바와 같이 도 5 내지 도 7에서는 제 1 승강부(200a)가 직각 방향으로 회전시켜 이송하는 것을 나타내고, 제 2 승강부(200b)는 동일한 방향으로 대상 물체를 이송하는 것을 나타내지만 이에 한정되는 것은 아니며, 제 1 승강부(200a)가 동일한 방향으로 이송하거나 다른 각도로 회전시켜 대상 물체를 이송할 수 있고, 제 2 승강부(200b) 또한 다른 각도로 회전시켜 이송할 수 있음은 물론이다.
As shown in FIG. 5 to FIG. 7, the
여기에서, 제 1 승강부(200a) 및 제 2 승강부(200b)는, 지지포스트(202), 지지대(204), 상하구동모터(206), 스크류(208), 턴테이블 지지대(210), 턴테이블(212), 제 2 이송롤러(214), 회전구동모터(216) 등을 포함할 수 있다.Here, the
지지포스트(202)는 제 1 승강부(200a) 및 제 2 승강부(200b)의 각 내부 공간의 일측면에 고정 설치되며, 양 측에 두 개가 설치되어 다른 구성부를 안정적으로 지지할 수 있다.The support posts 202 are fixedly installed on one side of each inner space of the
지지대(204)는 두 개의 지지포스트(202)의 사이에 가로 방향으로 고정 설치될 수 있다.The
상하구동모터(206)는 지지대(204)에 고정되며 스크류(208)에 구동력을 전달할 수 있다.The
턴테이블 지지대(210)는 스크류(208)에 결합되어 상하구동모터의 구동에 따라 상하 방향으로 턴테이블(212)을 이동시킬 수 있다.The
회전구동모터(216)는 턴테이블 지지대(210)의 하부에 설치되며, 턴테이블(212)을 회전시키는 구동력을 제공하고, 롤러 구동력을 제공할 수 있다.The
제 2 이송롤러(214)는 턴테이블의 상부에 설치되며, 상기 회전구동모터(216)로부터 제공되는 롤러 구동력을 통해 회전되어 대상 물체를 이송시킬 수 있다.
The
한편, 상술한 바와 같은 제 1 글로브박스(100a), 제 2 글로브박스(100b) 및 제 3 글로브박스(100c)는 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한 글로브박스(100)의 구성과 동일한 구성을 가지므로, 그 구체적인 설명은 생략한다.
Meanwhile, the
따라서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 클린룸 기능이 구비된 글로브박스를 이용한 이송 시스템에서는 먼지 필터링 기능과 정전기 제거 기능을 갖는 글로브박스를 복수 개 연장 연결하여 이송시키며, 승강부를 통해 상하 이동 및 회전 이동을 통해 대상 물체를 이송시킴으로써, 청정한 공정 환경을 유지하여 제 1 공정실에서 제 2 공정실로 대상 물체를 이송시킬 수 있다.
Therefore, in a transfer system using a glove box equipped with a clean room function according to another embodiment of the present invention, a plurality of glove boxes having a dust filtering function and an electrostatic elimination function are connected to each other and transferred, and are moved up and down through a lifting unit. By moving the target object through the movement, the target object can be transferred from the first process chamber to the second process chamber while maintaining a clean process environment.
이상의 설명에서는 본 발명의 다양한 실시예들을 제시하여 설명하였으나 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함을 쉽게 알 수 있을 것이다.
In the above description, various embodiments of the present invention have been described and described, but the present invention is not necessarily limited thereto. It will be readily appreciated that branch substitutions, modifications and variations are possible.
100 : 글로브박스 110 : 필터링 유닛
120 : 정전기 제거 유닛 130 : 챔버 유닛
200a : 제 1 승강부 200b : 제 2 승강부100: glove box 110: filtering unit
120: static electricity removing unit 130: chamber unit
200a: first lifting
Claims (11)
챔버(B)의 상부 및 하부에 설치되는 상부 구조물(A) 및 하부 구조물(C)에 설치되며 상기 챔버(B)의 내부 공기를 외부로 순환시켜 먼지를 필터링하는 필터링 유닛(110)과, 상기 상부 구조물(A)에 설치되며, 상기 먼지로 인해 발생하는 정전기를 제거하는 정전기 제거 유닛(120)과, 공정 작업을 위해 상기 챔버(B)에 구비되는 챔버 유닛(130)을 포함하는 글로브박스가 복수 개 연장 연결되며, 상기 제 1 공정실과 연결되어 이로부터 배출된 상기 대상 물체를 이송시키는 제 1 글로브박스(100a)와,
상기 제 1 글로브박스(100a)와 동일한 구성을 가지며, 상기 제 2 공정실과 연결되어 이송되는 상기 대상 물체를 상기 제 2 공정실로 유입시키는 제 3 글로브박스(100c)와,
상기 제 1 글로브박스(100a)로부터 이송되는 상기 대상 물체를 승강 또는 하강시키고, 동일한 방향으로 이송하거나 회전시켜 이송시키는 제 1 승강부(200a)와,
상기 제 1 승강부(200a)와 동일한 기능을 가지며, 상기 제 3 글로브박스(100c)로 상기 대상 물체를 이송시키는 제 2 승강부(200b)와,
상기 제 1 글로브박스(100a)와 동일한 구성을 가지며, 상기 제 1 승강부(200a)와 상기 제 2 승강부(200b)를 연결시켜 상기 대상 물체를 이송시키는 제 2 글로브박스(100b)
를 포함하는 클린룸 기능이 구비된 글로브박스를 이용한 이송 시스템.
In a transfer system for transferring a target object from the first process chamber to the second process chamber,
A filtering unit 110 installed in the upper structure A and the lower structure C installed at the upper and lower portions of the chamber B and filtering dust by circulating the internal air of the chamber B to the outside; The glove box is installed on the upper structure (A), and includes a electrostatic removal unit 120 for removing the static electricity generated by the dust, and a chamber unit 130 provided in the chamber (B) for the process operation A plurality of first glove boxes 100a connected to the plurality of extension chambers and transferring the target objects discharged from the first process chambers;
A third glove box 100c having the same configuration as that of the first glove box 100a, for introducing the object to be transferred and connected to the second process chamber into the second process chamber;
A first elevating unit 200a for elevating or lowering the object to be conveyed from the first glove box 100a and conveying or rotating the same in the same direction;
A second lifting unit 200b having the same function as the first lifting unit 200a and transferring the target object to the third glove box 100c;
A second glove box 100b having the same configuration as that of the first glove box 100a and connecting the first lifting unit 200a and the second lifting unit 200b to transfer the target object.
Transfer system using a glove box with a clean room function including a.
상기 제 1 승강부(200a) 및 제 2 승강부(200b)는,
상기 제 1 승강부(200a) 및 제 2 승강부(200b)의 각 내부 공간의 일측면에 고정 설치되는 두 개의 지지포스트(202)와,
상기 지지포스트(202)의 사이에 가로 방향으로 고정 설치되는 지지대(204)와,
상기 지지대(204)에 고정되며 스크류(208)에 구동력을 전달하는 상하구동모터(206)와,
상기 스크류(208)에 결합되어 상기 상하구동모터의 구동에 따라 상하 방향으로 턴테이블(212)을 이동시키는 턴테이블 지지대(210)와,
상기 턴테이블 지지대(210)의 하부에 설치되며, 상기 턴테이블(212)을 회전시키는 구동력을 제공하고, 롤러 구동력을 제공하는 회전구동모터(216)와,
상기 턴테이블의 상부에 설치되며, 상기 롤러 구동력을 통해 회전되어 상기 대상 물체를 이송시키는 제 2 이송롤러(214)
를 포함하는 클린룸 기능이 구비된 글로브박스를 이용한 이송 시스템.
The method according to claim 6,
The first lifting unit 200a and the second lifting unit 200b are
Two support posts 202 fixed to one side of each inner space of the first lifting unit 200a and the second lifting unit 200b;
A support 204 fixedly installed in the horizontal direction between the support posts 202,
A vertical drive motor 206 fixed to the support 204 and transmitting a driving force to the screw 208;
A turntable support 210 coupled to the screw 208 to move the turntable 212 in an up and down direction according to the driving of the up and down drive motor;
A rotation driving motor 216 installed below the turntable support 210 and providing a driving force for rotating the turntable 212 and providing a roller driving force;
A second feed roller 214 installed at an upper portion of the turntable to rotate through the roller driving force to transfer the object;
Transfer system using a glove box with a clean room function including a.
상기 필터링 유닛(110)은,
상기 상부 구조물(A)에 복수 개의 송풍기(111a)와 복수 개의 필터(111b)가 쌍으로 설치되며, 순환된 상기 내부 공기에서 상기 먼지를 필터링한 후 챔버(B)로 유입시키는 송풍 박스(111)와,
상기 하부 구조물(C)에 복수 개가 상기 챔버(B)에 인접하여 설치되며, 상기 내부 공기를 배출하는 배기 박스(113)와,
챔버(B)의 외부에 설치되어 상기 송풍 박스(111)와 상기 배기 박스(113)를 연결하며, 상기 내부 공기를 순환시키는 순환 배관(112)
을 포함하는 클린룸 기능이 구비된 글로브박스를 이용한 이송 시스템.
The method according to claim 6 or 7,
The filtering unit 110,
A plurality of blowers 111a and a plurality of filters 111b are installed in pairs in the upper structure A, and the blower box 111 filters the dust from the circulated internal air and then introduces the dust into the chamber B. Wow,
A plurality of exhaust boxes 113 are installed in the lower structure (C) adjacent to the chamber (B), and discharge the internal air;
A circulation pipe 112 installed outside the chamber B to connect the blower box 111 and the exhaust box 113 to circulate the internal air.
Transfer system using a glove box with a clean room function comprising a.
상기 순환 배관(112)은, 상기 송풍 박스(111)와 직접 연결되거나 상기 송풍 박스(111)를 포함하는 상기 상부 구조물(A)이 밀폐된 공간을 가질 경우 상기 상부 구조물(A)과 연결되는 것을 특징으로 하는 클린룸 기능이 구비된 글로브박스를 이용한 이송 시스템.
The method of claim 8,
The circulation pipe 112 is directly connected to the blower box 111 or when the upper structure A including the blower box 111 has a sealed space, it is connected to the upper structure A. Transfer system using a glove box equipped with a clean room function.
상기 배기 박스(113)는, 내부면에 상기 먼지를 흡착시키는 흡착 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 클린룸 기능이 구비된 글로브박스를 이용한 이송 시스템.
The method of claim 9,
The exhaust box (113) is a transport system using a glove box with a clean room function, characterized in that the inner surface is provided with adsorption means for adsorbing the dust.
상기 챔버 유닛(130)은, 상기 배기 박스(113)에 대응하여 복수 개의 배출부(131a)가 구비되고 상기 내부 공기가 상기 배출부(131a)를 통해 배출되는 바닥 플레이트(131)를 구비하는 것을 특징으로 하는 클린룸 기능이 구비된 글로브박스를 이용한 이송 시스템.The method of claim 10,
The chamber unit 130 includes a plurality of discharge parts 131a corresponding to the exhaust box 113 and a bottom plate 131 through which the internal air is discharged through the discharge part 131a. Transfer system using a glove box equipped with a clean room function.
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