KR101016745B1 - Method for fabricating resonator of high frequency filter and resonator - Google Patents

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KR101016745B1 KR1020100085163A KR20100085163A KR101016745B1 KR 101016745 B1 KR101016745 B1 KR 101016745B1 KR 1020100085163 A KR1020100085163 A KR 1020100085163A KR 20100085163 A KR20100085163 A KR 20100085163A KR 101016745 B1 KR101016745 B1 KR 101016745B1
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조학래
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Abstract

PURPOSE: A high frequency resonator manufacturing method and a resonance thereof are provided to offer a communication system of high reliability by having small frequency deviation of a resonator according to the temperature variation. CONSTITUTION: The metal base and the carbon group powder are prepared in the step(S10, S20). The metal base and the carbon group power are dry mixed and shattered in the step(S30). The base metal is formed by heat-melting and cooling the mixed powder in the step(S40). The base material is cut in the resonator in the step(S50).

Description

고주파 필터용 공진기의 제조방법 및 공진기{Method for fabricating resonator of high frequency filter and resonator}Method for fabricating resonator of high frequency filter and resonator

본 발명은 고주파 필터용 공진기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 저열팽창계수 및 높은 전기전도도를 갖음으로써 고주파(마이크로파) 필터의 온도 변화에 따른 공진기의 주파수 편이가 작으며 가공 역시 용이한 고주파 필터용 공진기의 제조방법 및 공진기에 관한 것이다. The present invention relates to a resonator for a high frequency filter, and more particularly, has a low coefficient of thermal expansion and high electrical conductivity, so that the frequency shift of the resonator according to the temperature change of the high frequency (microwave) filter is small and the processing is also easy. It relates to a manufacturing method and a resonator.

필터는 입력되는 주파수 신호 중 특정 주파수 대역의 신호만을 통과시키기 위한 장치로써 다양한 형식으로 구현되고 있다. 이동통신 시스템의 기지국에는 고주파 신호에 대한 필터링을 위해 일반적으로 캐비티(Cavity) 필터가 구비되며, 캐비티 필터는 다수의 캐비티 내에 공진기가 구비되는 구조의 필터이다. 이러한 캐비티 필터에 이용되는 공진기는 유전체 공진기 또는 금속봉이 사용되고 있다. A filter is a device for passing only a signal of a specific frequency band among input frequency signals, and has been implemented in various forms. A base station of a mobile communication system generally includes a cavity filter for filtering high frequency signals, and the cavity filter is a filter having a structure in which a resonator is provided in a plurality of cavities. As the resonator used in such a cavity filter, a dielectric resonator or a metal rod is used.

여기서, 공진기의 품질을 가름하는 변수는 Q(품질계수), εr(비유전율), τi(공진 주파수 온도계수) 등으로 크게 나눌 수 있다. Here, the parameters for determining the quality of the resonator can be largely divided into Q (quality coefficient), ε r (relative dielectric constant), τ i (resonant frequency temperature coefficient), and the like.

캐비터 필터는 내부공간을 형성하는 하우징과, 상부 및 하부커버, 공진기 및 튜닝볼트로 이루어져 있다. 또한, 이들 각 부품들은 신호 손실을 최소화하기 위하여 저항이 작은 물질(예로써, 은)로 도금되어 있다. 이러한 작은 저항의 경우 전기회로에 적용할 때 온도의 영향은 유전체 공진기의 특성에 치명적이라고 볼 수 있다. 특히, 온도의 영향에 의해 공진 주파수(fo)의 변동을 가져오는 경우 필터의 삽입손실 및 주파수 특성을 변화시키고 이는 오실레이터의 발진 주파수 변동을 야기할 수 있다. The cavity filter is composed of a housing forming an inner space, an upper and lower cover, a resonator, and a tuning bolt. In addition, each of these components is plated with a low resistance material (eg, silver) to minimize signal loss. In the case of such a small resistor, the effect of temperature when applied to an electric circuit can be considered fatal to the characteristics of the dielectric resonator. In particular, when the variation of the resonance frequency fo is brought about by the influence of temperature, the insertion loss and the frequency characteristic of the filter may be changed, which may cause oscillation frequency variation of the oscillator.

한편, 금속 공진기 및 필터의 재료로는 온도 특성을 맞추기 위해 주로 알루미늄, 황동, 순동 및 철 등을 사용하고 있다. 그러나, 이들 재질의 열팽창계수는 필터에 적용하기에는 비교적 큰 편이므로 온도에 따른 주파수의 편이가 큰 편이다. 따라서, 열팽창계수가 매우 작은 인바(Ni과 철의 합금)를 사용하여 규격이 까다로운 필터의 제작에 사용하고 있다. 그러나, 인바는 강도가 매우 높아 기계가공이 어려우며, 가격이 기존의 알루미늄, 황동, 순동 및 철 등의 소재에 비해 상대적으로 매우 비싼 문제점을 안고 있다. On the other hand, the material of the metal resonator and filter is mainly used aluminum, brass, pure copper and iron to match the temperature characteristics. However, the coefficient of thermal expansion of these materials is relatively large to be applied to the filter, so the frequency shifts with temperature. Therefore, Invar (alloy of Ni and iron) having a very small coefficient of thermal expansion is used for the manufacture of filters having a high standard. However, Invar is difficult to machine due to its high strength, and the price is relatively expensive compared to conventional materials such as aluminum, brass, pure copper and iron.

이러한, 알루미늄, 순동 및 철의 열팽창 계수는 [표 1]에 나타낸 바와 같다.The thermal expansion coefficients of aluminum, pure copper, and iron are as shown in [Table 1].

재질material 열팽창계수(ppm/℃)Thermal expansion coefficient (ppm / ℃) 알루미늄aluminum 23.923.9 순동Pure copper 1717 iron 11.711.7

한편, 금속 캐비티 내에 유전체를 이용한 공진기의 경우 급격한 온도의 변화시 유전체 공진기와 금속 프레임의 온도차에 의해 상대적으로 유전체 공진기가 낮은 온도를 가진다. 이와 같은 경우 유전체 공진기의 표면에 습기가 맺히기 쉽고, 습기가 맺히는 경우 유전체 공진기의 품질계수(Q)가 크게 떨어지고 공진 주파수(fo)의 변동이 발생한다. 따라서, 실제 유전체 공진기를 이용한 필터의 성능이 현저히 떨어지는 문제점이 있다.On the other hand, in the case of a resonator using a dielectric in the metal cavity, the dielectric resonator has a relatively low temperature due to the temperature difference between the dielectric resonator and the metal frame when the temperature changes abruptly. In this case, moisture tends to form on the surface of the dielectric resonator, and when moisture forms, the quality factor Q of the dielectric resonator drops significantly and a change in the resonance frequency fo occurs. Therefore, there is a problem in that the performance of the filter using the actual dielectric resonator is significantly reduced.

한편, 대한민국공개특허 특1999-0074403호에서는 온도와 습도에 따른 특성저하를 방지할 수 있도록 유전체 공진기 본체의 표면에 저손실 저유전율의 유전체 테프론, 폴리에틸렌, 폴리스타일렌 등의 차폐막을 구비한 유전체 공진기에 대한 것으로 습기를 완전히 제거하나 공진기 제조상의 공정이 추가되는 문제점을 안고 있다.On the other hand, Korean Patent Laid-Open No. 1999-0074403 discloses a dielectric resonator having a low loss low dielectric constant dielectric Teflon, polyethylene, and polystyrene shielding film on the surface of the dielectric resonator main body to prevent characteristics deterioration due to temperature and humidity. It completely removes moisture, but adds a resonator manufacturing process.

또한, 대한미국공개특허10-2005-0077232호에서는 각각의 금속 공진기를 세라믹필터로 대체함으로써 금속 캐비티 필터의 온도특성을 향상시키고, 무게를 줄일 수 있음을 보여주고 있다. 그러나, 세라믹공진기로 구성된 필터의 경우 온도가 높아지면 특성이 열화되고, 유전체에 인가되는 전압이 변동되면 유전상수 값이 변하여 공진주파수가 변화는 문제가 있다.In addition, Korean Patent Publication No. 10-2005-0077232 shows that by replacing each metal resonator with a ceramic filter, it is possible to improve the temperature characteristics of the metal cavity filter, and to reduce the weight. However, in the case of a filter composed of a ceramic resonator, the characteristics deteriorate when the temperature is increased, and when the voltage applied to the dielectric is changed, the dielectric constant value is changed to change the resonance frequency.

그리고, 실용신안등록 20-0417739호에서는 온도 변화에 따른 공진주파수의 편이를 억제하기 위하여 하우징 또는 커버의 소정 위치에 바이메탈과 단락수단을 구비하여 온도 변화에 따른 주파수 편이를 방지하는 필터를 제시하고 있으나, 추가적인 부품이 요구되므로 제조비용 및 시간을 늘리게 되는 문제점이 있었다.In addition, Utility Model Registration No. 20-0417739 proposes a filter for preventing frequency shift due to temperature change by providing a bimetal and a short circuit means at a predetermined position of the housing or cover to suppress the shift of resonance frequency due to temperature change. Since additional parts are required, there is a problem of increasing manufacturing cost and time.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 단점과 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 저열팽창계수 및 높은 전기전도도를 갖음으로써 고주파(마이크로파) 필터의 온도 변화에 따른 공진기의 주파수 편이가 작으며 가공 역시 용이한 고주파 필터용 공진기의 제조방법 공진기를 제공함에 그 목적이 있다. Accordingly, the present invention is to solve all the disadvantages and problems of the prior art as described above, the present invention has a low coefficient of thermal expansion and high electrical conductivity has a low frequency shift of the resonator according to the temperature change of the high frequency (microwave) filter It is also an object of the present invention to provide a resonator method of manufacturing a resonator for a high frequency filter that is easy to process.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 금속기지와 탄소계 분말을 각각 준비하는 단계; 금속기지와 탄소계 분말을 건식 혼합 및 분쇄하여 혼합분말을 형성하는 단계; 혼합분말을 가열용융시킨 후 냉각하여 고주파필터용 공진기의 모재를 형성하는 단계; 모재를 기설정된 공진기 형상으로 절삭가공하는 단계; 및 절삭가공된 공진기의 표면에 금속도금하여 고주파필터용 공진기를 완성하는 단계;를 포함하여 구성된 고주파 필터용 공진기의 제조방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention comprises the steps of preparing a metal base and a carbon-based powder; Dry mixing and pulverizing the metal base and the carbon-based powder to form a mixed powder; Heating and melting the mixed powder to form a base material of the resonator for a high frequency filter; Cutting the base material into a predetermined resonator shape; And metal-plating the surface of the cut resonator to complete the high frequency filter resonator.

여기서, 금속기지는 0.3 내지 10um 정도의 입자크기를 갖는 알루미늄(Al), 철(Fe), 구리(Cu) 및 은(Ag) 중 하나 이상의 금속이고, 탄소계 분말은 0.1 내지 5um 정도의 입자크기를 갖는 흑연 혹은 탄소분말인 것이 바람직하다.Here, the metal base is at least one metal of aluminum (Al), iron (Fe), copper (Cu), and silver (Ag) having a particle size of about 0.3 to 10um, and the carbon-based powder has a particle size of about 0.1 to 5um. It is preferable that it is graphite or carbon powder which has a.

그리고, 금속기지와, 탄소계 분말은, 금속기지 20 내지 80중량%와 탄소계 분말 20 내지 80중량%인 것이 바람직하다.The metal base and the carbon-based powder are preferably 20 to 80% by weight of the metal base and 20 to 80% by weight of the carbon-based powder.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 금속기지와 탄소계 분말 및 탄소섬유를 각각 준비하는 단계; 금속기지와 탄소계 분말 및 탄소섬유를 건식 혼합 및 분쇄하여 혼합분말을 형성하는 단계; 혼합분말을 가열용융시킨 후 냉각하여 고주파필터용 공진기의 모재를 형성하는 단계; 모재를 기설정된 공진기형상으로 절삭가공하는 단계; 및 절삭가공된 공진기 표면에 금속도금하여 고주파필터용 공진기를 완성하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 고주파 필터용 공진기의 제조방법을 제공한다.In addition, to achieve the above object, the present invention comprises the steps of preparing a metal base and carbon-based powder and carbon fiber; Dry mixing and pulverizing the metal base, carbon-based powder, and carbon fiber to form a mixed powder; Heating and melting the mixed powder to form a base material of the resonator for a high frequency filter; Cutting the base material into a predetermined resonator shape; And forming a metal plate on the cut surface of the resonator to complete the high frequency filter resonator.

여기서, 금속기지는 0.3 내지 10um 정도의 입자크기를 갖는 알루미늄(Al), 철(Fe), 구리(Cu) 및 은(Ag) 중 하나 이상의 금속이고, 탄소계 분말은 0.1 내지 5um 정도의 입자크기를 갖는 흑연 혹은 탄소분말이며, 탄소섬유는 0.5 내지 5mm의 탄소섬유, 단일벽 탄소나노튜브 및 다중벽 탄소나노튜브 중 하나 이상인 것이 바람직하다.Here, the metal base is at least one metal of aluminum (Al), iron (Fe), copper (Cu), and silver (Ag) having a particle size of about 0.3 to 10um, and the carbon-based powder has a particle size of about 0.1 to 5um. It is preferably a graphite or carbon powder having a carbon fiber of at least one of 0.5 to 5mm carbon fiber, single-walled carbon nanotubes and multi-walled carbon nanotubes.

그리고, 금속기지와, 탄소계 분말 및 탄소섬유는, 금속기지 20 내지 90 중량%와, 탄소계 분말 및 탄소섬유 10 내지 80 중량%인 것이 바람직하다.The metal base, the carbon-based powder, and the carbon fiber are preferably 20-90 wt% of the metal base, and 10-80 wt% of the carbon-based powder and the carbon fiber.

한편, 혼합분말을 가열용융시킨 후 냉각하여 고주파필터용 공진기의 모재를 형성하는 단계는, HP(Hot Press)를 이용하여 10-1 내지 10-3 torr 진공 또는 불활성가스 분위기에서 200 내지 300kg/cm2의 압력으로 열처리하여 이루어지는 것이 바람직하다.Meanwhile, the step of forming the base material of the high frequency filter resonator by heating and melting the mixed powder and then cooling it is performed using HP (Hot Press) at 10 -1 to 10 -3 torr in a vacuum or inert gas atmosphere at 200 to 300 kg / cm It is preferable to carry out heat treatment at a pressure of 2 .

그리고, 혼합분말을 가열용융시킨 후 냉각하여 고주파필터용 공진기의 모재를 형성하는 단계는, 금속기지로 알루미늄을 이용하는 경우 500 내지 600℃ 온도에서 0.5 내지 1시간 열처리하고, 금속기지로 철을 이용하는 경우에는 1100 내지 1300℃ 온도에서 0.5 내지 1시간 열처리하는 것이 바람직하다.In addition, the step of heating and melting the mixed powder to form the base material of the resonator for a high frequency filter may include heat treatment at a temperature of 500 to 600 ° C. for 0.5 to 1 hour when aluminum is used as the metal base, and iron as the metal base. In the 1100 to 1300 ℃ temperature is preferably 0.5 to 1 hour heat treatment.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 0.3 내지 10um의 입자크기의 알루미늄(Al), 철(Fe), 구리(Cu) 및 은(Ag) 중 어느 하나 이상의 금속기지; 및 0.1 내지 5um의 입자크기의 흑연 혹은 탄소분말 중 어느 하나 이상의 탄소계 분말;로 구성되는 것을 특징으로 하는 고주파 필터용 공진기를 제공한다.In addition, the present invention, in order to achieve the above object, the metal base of any one of aluminum (Al), iron (Fe), copper (Cu) and silver (Ag) having a particle size of 0.3 to 10um; And at least one carbon-based powder of graphite or carbon powder having a particle size of 0.1 to 5 μm.

한편, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 0.3 내지 10um의 입자크기를 갖는 알루미늄(Al), 철(Fe), 구리(Cu) 및 은(Ag) 중 어느 하나 이상의 금속기지; 0.1 내지 5um의 입자크기를 갖는 흑연 혹은 탄소분말 중 어느 하나 이상의 탄소계 분말; 및 0.5 내지 5mm의 탄소섬유, 단일벽 탄소나노튜브 및 다중벽 탄소나노튜브 중 어느 하나 이상의 탄소섬유;로 구성되는 것을 특징으로 하는 고주파 필터용 공진기를 제공한다.On the other hand, the present invention in order to achieve the above object is any one or more of the metal base of aluminum (Al), iron (Fe), copper (Cu) and silver (Ag) having a particle size of 0.3 to 10um; Carbon-based powder of any one or more of graphite or carbon powder having a particle size of 0.1 to 5um; And 0.5 to 5 mm of carbon fiber, single-wall carbon nanotubes and multi-walled carbon nanotubes of at least one carbon fiber; and provides a resonator for a high frequency filter.

여기서, 고주파 필터용 공진기의 열팽창계수는 4.5ppm/oC 이하이고, 꺾임강도는 10MPa 이상인 것이 바람직하다.Here, the thermal expansion coefficient of the resonator for high frequency filter is preferably 4.5 ppm / o C or less, and the bending strength is preferably 10 MPa or more.

본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.The present invention has the following effects.

첫째, 고주파(마이크로파) 필터의 온도 변화에 따른 공진기의 주파수 편이가 작아 삽입손실이나 주파수 특성 변화를 최소화할 수 있어 신뢰도 높은 통신 시스템을 제공할 수 있다.First, the frequency shift of the resonator according to the temperature change of the high frequency (microwave) filter is small, thereby minimizing the insertion loss or the change in the frequency characteristic, thereby providing a reliable communication system.

둘째, 고주파 필터용 공진 소자로 가공이 용이한 금속 소자와 흑연 분말이나 섬유가 균일하게 분산된 복합소재를 이용함으로써 가공이 용이함은 물론 저비용 소자를 이용한 고주파 필터용 공진기를 제공할 수 있다.Second, as a resonator element for a high frequency filter, a metal element that is easy to process and a composite material in which graphite powder or fibers are uniformly dispersed may be easily processed, and a resonator for a high frequency filter using a low cost element may be provided.

도 1은 본 발명 제 1 실시예에 따른 고주파 필터용 공진기의 제조방법을 설명하기 위한 플로우차트,
도 2는 본 발명 제 2 실시예에 따른 고주파 필터용 공진기의 제조방법을 설명하기 위한 플로우차트,
도 3은 본 발명에 따른 고주파 필터용 공진기의 주사전자현미경(SEM) 사진이다.
1 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a resonator for a high frequency filter according to a first embodiment of the present invention;
2 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a resonator for a high frequency filter according to a second embodiment of the present invention;
3 is a scanning electron microscope (SEM) photograph of a resonator for a high frequency filter according to the present invention.

이하, 본 발명을 첨부한 도면들을 참조하여 바람직한 실시예를 통해 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the present invention will be described in detail through a preferred embodiment.

아울러, 본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며 이 경우는 해당되는 발명의 설명부분에서 상세히 그 의미를 기재하였으므로, 단순한 용어의 명칭이 아닌 용어가 가지는 의미로서 본 발명을 파악하여야 함을 밝혀두고자 한다. 또한 실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고, 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다. In addition, the terminology used in the present invention was selected as a general term that is widely used at present, but in certain cases, the term is arbitrarily selected by the applicant, and in this case, since the meaning is described in detail in the corresponding part of the present invention, a simple term It is to be understood that the present invention is to be understood as a meaning of terms rather than names. In addition, in describing the embodiments, descriptions of technical contents which are well known in the technical field to which the present invention belongs and are not directly related to the present invention will be omitted. This is to more clearly communicate without obscure the subject matter of the present invention by omitting unnecessary description.

도 1은 본 발명 제 1 실시예에 따른 고주파 필터용 공진기의 제조방법을 설명하기 위한 플로우차트이다. 본 발명 제 1 실시예에 따른 고주파 필터용 공진기의 제조방법은 도 1에 나타낸 바와 같이, 금속기지와 탄소계 분말을 준비한다(S10)(S20). 여기서, 금속기지로는 0.3 내지 10um 정도의 입자크기를 갖는 알루미늄(Al), 철(Fe), 구리(Cu) 및 은(Ag) 중 하나 이상의 금속으로 준비한다. 그리고, 탄소계 분말로는 0.1 내지 5um 정도의 입자크기를 갖는 흑연 혹은 탄소분말을 준비한다. 이때, 금속기지와 탄소계 분말의 함량을 100으로 하였을 때, 탄소계 분말의 함유량은 20wt% 내지 80wt%이다. 1 is a flowchart for explaining a method of manufacturing a resonator for a high frequency filter according to a first embodiment of the present invention. In the method of manufacturing the resonator for a high frequency filter according to the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, a metal base and a carbon-based powder are prepared (S10) (S20). Here, the metal base is prepared from one or more metals of aluminum (Al), iron (Fe), copper (Cu), and silver (Ag) having a particle size of about 0.3 to 10 μm. As the carbon-based powder, graphite or carbon powder having a particle size of about 0.1 to 5 μm is prepared. At this time, when the content of the metal base and the carbon-based powder is 100, the content of the carbon-based powder is 20wt% to 80wt%.

이어, 금속기지와 탄소계 분말을 볼밀(grinding)에서 1시간 정도 건식 혼합 및 분쇄하여 균일한 혼합분말을 얻는다(S30).Subsequently, the metal base and the carbon-based powder are dry mixed and ground for about 1 hour in a ball mill (grinding) to obtain a uniform mixed powder (S30).

그리고, 이들 혼합분말을 HP(Hot Press)를 이용하여 10-1 내지 10-3 torr 진공에서 200 내지 300kg/cm2의 압력으로 가열용융시킨 후, 냉각하여 고주파필터용 공진기를 형성한다(S40). 이때, 본 발명 제 1 실시예에서는 금속기지로 알루미늄을 이용하는 경우 500 내지 600℃에서 가열용융하고, 금속기지로 철을 이용하는 경우에는 1100 내지 1300℃ 온도에서 0.5 내지 1시간 정도 가열용융한다. Then, these mixed powders are melted by heating at a pressure of 200 to 300 kg / cm 2 in a vacuum of 10 -1 to 10 -3 torr using HP (Hot Press), and then cooled to form a resonator for a high frequency filter (S40). . At this time, in the first embodiment of the present invention, when aluminum is used as the metal base, it is heated and melted at 500 to 600 ° C., and when the iron is used as the metal base, it is heated and molten at about 1100 to 1300 ° C. for about 0.5 to 1 hour.

그 다음, 해당 모재를 기 설정된 공진기형상으로 절삭가공한다(S50). 이때, 고주파 필터용의 공진기뿐만 아니라 하우징 형상, 캐비티 형상 및 커버형상 등으로도 가공할 수 있다.Next, the base material is cut into a predetermined resonator shape (S50). At this time, not only the resonator for high frequency filters but also a housing shape, a cavity shape, a cover shape, etc. can be processed.

이어서, 절삭가공된 공진기 표면에 금속도금하여 고주파필터용 공진기를 완성한다(S60). 이때, 금속으로는 전기전도도가 높은 물질, 예로써 은(Ag)으로 도금함이 바람직하다.Subsequently, metal plating is performed on the cut resonator surface to complete the high frequency filter resonator (S60). In this case, the metal is preferably plated with a material having high electrical conductivity, for example, silver (Ag).

도 2는 본 발명 제 2 실시예에 따른 고주파 필터용 공진기의 제조방법을 설명하기 위한 플로우차트이다. 본 발명 제 2 실시예에 따른 고주파 필터용 공진기의 제조방법은 도 2에 나타낸 바와 같이, 금속기지와 탄소계 분말 및 탄소섬유를 준비한다(S110)(S120)(S130). 여기서, 금속기지로는 0.3내지 10um 정도의 입자크기를 갖는 알루미늄(Al), 철(Fe), 구리(Cu) 및 은(Ag) 중 하나 이상의 금속을 준비한다. 그리고, 탄소계 분말로는 0.1 내지 5um 정도의 입자크기를 갖는 흑연 혹은 탄소 분말을 준비한다. 또한, 탄소섬유로는 0.5 내지 5mm의 탄소섬유, 단일벽 탄소나노튜브 및 다중벽 탄소나노튜브 중 하나 이상을 준비한다. 이때, 금속기지와 탄소계 분말 및 탄소섬유의 함량을 100으로 하였을 때, 탄소계 분말 및 탄소섬유의 함유량은 10 내지 80wt%이다. 2 is a flowchart for explaining a method of manufacturing a high frequency filter resonator according to a second embodiment of the present invention. In the method of manufacturing the resonator for a high frequency filter according to the second embodiment of the present invention, as shown in FIG. 2, a metal base, carbon powder, and carbon fiber are prepared (S110) (S120) and S130. Here, as the metal base, at least one metal of aluminum (Al), iron (Fe), copper (Cu), and silver (Ag) having a particle size of about 0.3 to 10 μm is prepared. And as a carbon-based powder, graphite or carbon powder having a particle size of about 0.1 to 5um is prepared. In addition, as the carbon fiber is prepared one or more of 0.5 to 5mm carbon fiber, single-walled carbon nanotubes and multi-walled carbon nanotubes. At this time, when the content of the metal base and the carbon-based powder and carbon fiber is 100, the content of the carbon-based powder and carbon fiber is 10 to 80wt%.

이어, 금속기지와 탄소계 분말 및 탄소섬유를 볼밀(grinding)에서 1시간 정도 건식 혼합 및 분쇄하여 균일한 혼합분말을 얻는다(S140).Subsequently, the metal base, carbon-based powder, and carbon fiber are dry mixed and ground for about 1 hour in a ball mill (grinding) to obtain a uniform mixed powder (S140).

그리고, 이들 혼합분말을 HP(Hot Press)를 이용하여 10-1 내지 10-3 torr 진공에서200 내지 300kg/cm2의 압력으로 가열용융시킨 후 냉각하여 고주파필터용 공진기의 모재를 형성한다(S150). 이러한, 본 발명 제 2 실시예에서도 금속기지로 철을 이용하는 경우 500 내지 600℃에서 가열용융하고, 철의 경우에는 1100 내지 1300℃ 온도에서 0.5 내지 1시간 정도 가열용융함으로써 고주파필터용 공진기의 모재를 제조할 수 있다. 이때, 공진기의 모재의 열팽창계수는 4.5ppm/oC 이하이고, 꺾임강도는 10MPa 이상인 것이 바람직하다.Then, these mixed powders are melted by heating at a pressure of 200 to 300 kg / cm 2 in a vacuum of 10 -1 to 10 -3 torr using HP (Hot Press) and cooled to form a base material of the high frequency filter resonator (S150). ). In the second embodiment of the present invention, in the case of using iron as a metal base, it is heated and melted at 500 to 600 ° C., and in the case of iron, it is heated and melted at a temperature of 1100 to 1300 ° C. for about 0.5 to 1 hour to form the base material of the high frequency filter resonator. It can manufacture. At this time, the thermal expansion coefficient of the base material of the resonator is 4.5 ppm / o C or less, it is preferable that the bending strength is 10 MPa or more.

그 다음, 해당 공진기 모재를 설정된 형상으로 절삭가공한다(S160). 이때, 고주파 필터용의 공진기뿐만 아니라 하우징 형상, 캐비티 형상 및 커버형상 등으로도 가공할 수 있다.Next, the resonator base material is cut into a predetermined shape (S160). At this time, not only the resonator for high frequency filters but also a housing shape, a cavity shape, a cover shape, etc. can be processed.

이어서, 가공된 공진기의 표면에 금속을 도금한다(S170). 이때, 금속으로는 전기전도도가 높은 물질, 예로써 은(Ag)으로 도금함이 바람직하다.Subsequently, the surface of the processed resonator is plated with metal (S170). In this case, the metal is preferably plated with a material having high electrical conductivity, for example, silver (Ag).

한편, 금속기지로 알루미늄을 이용하며, 탄소계 분말로 흑연을 이용하고, 탄소섬유를 선택적으로 추가하여 조성물을 구성한 경우의 열팽창 계수 및 꺽임강도는 다음 표 2와 같다.On the other hand, the thermal expansion coefficient and the bending strength in the case of using aluminum as a metal base, using graphite as a carbon-based powder, and selectively adding carbon fiber to constitute the composition are shown in Table 2 below.

시료sample 흑연
함량(wt%)
black smoke
Content (wt%)
알루미늄
함량(wt%)
aluminum
Content (wt%)
탄소섬유
함량(wt%)
Carbon fiber
Content (wt%)
소결온도
(℃)
Sintering Temperature
(℃)
열팽창계수
(ppm/℃)
Coefficient of thermal expansion
(ppm / ℃)
꺽임강도
(MPa)
Bending strength
(MPa)
1One 2020 8080 00 600600 18.418.4 2525 22 3030 7070 00 600600 17.617.6 4545 33 4040 6060 00 600600 17.317.3 6060 44 4040 6060 00 550550 19.619.6 2424 55 4040 6060 00 500500 20.020.0 1212 66 5050 5050 00 600600 12.112.1 6464 77 6060 4040 00 600600 11.211.2 6565 88 5050 4040 1010 600600 10.510.5 7676 99 8080 2020 00 600600 9.39.3 112112 1010 7070 2020 1010 600600 8.48.4 124124

그리고, 금속기지로 철을 이용하며, 탄소계 분말로 흑연을 이용하고, 탄소섬유를 선택적으로 추가하여 조성물을 구성한 경우의 열팽창 계수 및 꺽임 강도는 다음 표 3과 같다.In addition, the coefficient of thermal expansion and the bending strength in the case of using iron as a metal base, graphite as a carbon-based powder, and selectively adding carbon fiber to form a composition are shown in Table 3 below.

시료sample 흑연
함량(wt%)
black smoke
Content (wt%)

함량(wt%)
iron
Content (wt%)
탄소섬유
함량(wt%)
Carbon fiber
Content (wt%)
소결온도
(℃)
Sintering Temperature
(℃)
열팽창계수
(ppm/℃)
Coefficient of thermal expansion
(ppm / ℃)
꺽임강도
(MPa)
Bending strength
(MPa)
1One 4040 6060 00 11001100 8.98.9 287287 22 5050 5050 00 11001100 7.67.6 151151 33 6060 4040 00 11001100 6.46.4 7777 44 7070 3030 00 11001100 5.55.5 3535 55 6060 3030 1010 11001100 4.84.8 3939 66 8080 2020 00 11001100 4.94.9 1212 77 8080 2020 00 12001200 4.44.4 1515 88 8080 2020 00 13001300 4.14.1 1717 99 7070 2020 1010 11001100 3.93.9 1919

한편, 이들 [표 2]와 [표 3]에 나타낸 복합소재로 구성된 조성물의 열팽창계수는 가로*세로*높이=5*5*25mm인 시편을 팽창기(Dilatometer)를 이용하여 상온에서 200℃까지 측정한 경우이다. 또한, 꺽임강도는 가로*세로*높이=5*5*12.5mm인 시편을 인스트론(Instron) 장비를 이용하여 측정한 결과이다. 특히, 표 3의 결과를 보면, 표 1에 나타낸 바와 같은 알루미늄, 순동 및 철 소재 등에 비해 열팽창계수에 있어서 우수한 결과를 나타냄을 알 수 있다. 이때, 열팽창계수는 낮을수록, 꺽임강도는 높을수록 온도변화에 따른 주파수 편이를 억제하여 설계된 공진기 특성을 유지할 수 있으므로, 가급적 열팽창계수는 4.5ppm/oC 이하이고, 꺽임강도는 10MPa 이상인 조성물을 이용하여 공진소자를 조성하는 것이 바람직하다.On the other hand, the coefficient of thermal expansion of the composition consisting of the composite material shown in Table 2 and Table 3 measured the specimen of width * length * height = 5 * 5 * 25mm from room temperature to 200 ℃ using a dilatometer One case. In addition, the bending strength is the result of measuring the specimen of width * length * height = 5 * 5 * 12.5mm using an Instron equipment. In particular, looking at the results in Table 3, it can be seen that excellent results in the coefficient of thermal expansion compared to aluminum, pure copper and iron materials as shown in Table 1. At this time, the thermal expansion coefficient is low, the more, the bending strength is high, more so to maintain the resonator characteristics are designed to suppress the frequency deviation due to temperature changes, and as much as possible the thermal expansion coefficient is 4.5ppm / o C or less, the bending strength is 10MPa or greater using the composition It is desirable to form a resonant element.

또한, 복합소재를 형성함에 있어 진공상태뿐만 아니라 불활성가스 분위기에서 처리할 수도 있다. 이때, 진공상태나 불활성가스 분위에서 열처리하는 경우 비진공상태에 비해 상대적으로 높은 소결밀도를 얻을 수 있어, 저열팽창계수에 유리하다.In addition, in forming the composite material, it may be treated in an inert gas atmosphere as well as in a vacuum state. At this time, when the heat treatment in a vacuum or inert gas atmosphere can be obtained a relatively high sintered density compared to the non-vacuum state, it is advantageous for the low thermal expansion coefficient.

도 3은 본 발명에 따른 고주파 필터용 공진기의 주사전자현미경(SEM) 사진이다. 이러한 본 발명 고주파 필터용 공진 소자기는 흑연과 알루미늄이 각각 중량비 50 : 50으로 혼합된 복합 소재의 표면 SEM 사진으로 흑연(10)과 알루미늄(20)으로 구성된 것을 나타내고 있다. 3 is a scanning electron microscope (SEM) photograph of a resonator for a high frequency filter according to the present invention. The resonator device for a high frequency filter of the present invention is a surface SEM photograph of a composite material in which graphite and aluminum are mixed in a weight ratio of 50: 50, respectively, indicating that graphite 10 and aluminum 20 are formed.

상기와 같이 본 발명을 바람직한 실시예로 설명하였으나, 이는 본 발명의 이해를 돕고자 하는 것일 뿐 기술적범위를 이에 한정하고자 하는 것이 아니다. 따라서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 개조나 변형이 가능함은 물론이다. As described above, the present invention has been described as a preferred embodiment, which is intended to help the understanding of the present invention but is not intended to limit the technical scope thereto. Therefore, those skilled in the art to which the present invention pertains that various modifications and variations are possible without departing from the technical spirit of the present invention.

10 : 흑연 20 : 알루미늄10: graphite 20: aluminum

Claims (11)

금속기지와 탄소계 분말을 각각 준비하는 단계;
상기 금속기지와 탄소계 분말을 건식 혼합 및 분쇄하여 혼합분말을 형성하는 단계;
상기 혼합분말을 가열용융시킨 후 냉각하여 고주파필터용 공진기의 모재를 형성하는 단계;
상기 모재를 기설정된 공진기 형상으로 절삭가공하는 단계; 및
상기 절삭가공된 공진기의 표면에 금속도금하여 고주파필터용 공진기를 완성하는 단계; 를 포함하여 구성된 고주파 필터용 공진기의 제조방법.
Preparing a metal base and a carbon-based powder, respectively;
Dry mixing and pulverizing the metal base and the carbon-based powder to form a mixed powder;
Forming a base material of the resonator for a high frequency filter by heating and melting the mixed powder;
Cutting the base material into a predetermined resonator shape; And
Metal plating a surface of the cut resonator to complete a high frequency filter resonator; Method of manufacturing a resonator for a high frequency filter comprising a.
제1항에 있어서,
상기 금속기지는 0.3 내지 10um의 입자크기를 갖는 알루미늄(Al), 철(Fe), 구리(Cu) 및 은(Ag) 중 하나 이상의 금속이고,
상기 탄소계 분말은 0.1 내지 5um의 입자크기를 갖는 흑연 혹은 탄소분말인 것을 특징으로 하는 고주파 필터용 공진기의 제조방법.
The method of claim 1,
The metal base is at least one metal of aluminum (Al), iron (Fe), copper (Cu) and silver (Ag) having a particle size of 0.3 to 10um,
The carbon-based powder is a graphite or carbon powder having a particle size of 0.1 to 5um of manufacturing method for a high frequency filter resonator, characterized in that.
제1항에 있어서,
상기 금속기지와, 상기 탄소계 분말은,
상기 금속기지 20 내지 80중량%와 상기 탄소계 분말 20 내지 80중량%인 것을 특징으로 하는 고주파 필터용 공진기의 제조방법.
The method of claim 1,
The metal base and the carbon-based powder,
20 to 80% by weight of the metal base and 20 to 80% by weight of the carbon-based powder.
금속기지와 탄소계 분말 및 탄소섬유를 각각 준비하는 단계;
상기 금속기지와 탄소계 분말 및 탄소섬유를 건식 혼합 및 분쇄하여 혼합분말을 형성하는 단계;
상기 혼합분말을 가열용융시킨 후 냉각하여 고주파필터용 공진기의 모재를 형성하는 단계;
상기 모재를 기설정된 공진기 형상으로 절삭가공하는 단계; 및
상기 절삭가공된 공진기 표면에 금속도금하여 고주파필터용 공진기를 완성하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 고주파 필터용 공진기의 제조방법.
Preparing a metal base, carbon-based powder, and carbon fiber, respectively;
Dry mixing and pulverizing the metal base, carbon-based powder, and carbon fiber to form a mixed powder;
Forming a base material of the resonator for a high frequency filter by heating and melting the mixed powder;
Cutting the base material into a predetermined resonator shape; And
And metal-plating the cut resonator surface to complete the high frequency filter resonator.
제4항에 있어서,
상기 금속기지는 0.3 내지 10um의 입자크기를 갖는 알루미늄(Al), 철(Fe), 구리(Cu) 및 은(Ag) 중 하나 이상의 금속이고,
상기 탄소계 분말은 0.1 내지 5um의 입자크기를 갖는 흑연 혹은 탄소분말이며,
상기 탄소섬유로는 0.5 내지 5mm의 탄소섬유, 단일벽 탄소나노튜브 및 다중벽 탄소나노튜브 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 고주파 필터용 공진기의 제조방법.
The method of claim 4, wherein
The metal base is at least one metal of aluminum (Al), iron (Fe), copper (Cu) and silver (Ag) having a particle size of 0.3 to 10um,
The carbon-based powder is graphite or carbon powder having a particle size of 0.1 to 5um,
The carbon fiber is a method of manufacturing a resonator for a high frequency filter, characterized in that at least one of 0.5 to 5mm carbon fiber, single-walled carbon nanotubes and multi-walled carbon nanotubes.
삭제delete 제1항 또는 제4항에 있어서,
상기 혼합분말을 가열용융시킨 후 냉각하여 고주파필터용 공진기의 모재를 형성하는 단계는,
HP(Hot Press)를 이용하여 10-1 내지 10-3 torr 진공 또는 불활성가스 분위기에서 200 내지 300kg/cm2의 압력으로 가열용융하는 것을 특징으로 하는 고주파 필터용 공진기의 제조방법.
The method according to claim 1 or 4,
Forming the base material of the resonator for high frequency filter by heating and melting the mixed powder after cooling,
A method of manufacturing a resonator for a high frequency filter using HP (Hot Press) for heating and melting at a pressure of 200 to 300kg / cm 2 in a vacuum or inert gas atmosphere 10 -1 to 10 -3 torr.
제1항 또는 제4항에 있어서,
상기 혼합분말을 가열용융시킨 후 냉각하여 고주파필터용 공진기의 모재를 형성하는 단계는,
상기 금속기지로 알루미늄을 이용하는 경우 500 내지 600℃ 온도에서 0.5 내지 1시간 열처리하고, 금속기지로 철을 이용하는 경우에는 1100 내지 1300℃ 온도에서 0.5 내지 1시간 가열용융하는 것을 특징으로 하는 고주파 필터용 공진기의 제조방법.
The method according to claim 1 or 4,
Forming the base material of the resonator for high frequency filter by heating and melting the mixed powder after cooling,
In case of using aluminum as the metal base, heat treatment is performed at 500 to 600 ° C. for 0.5 to 1 hour, and when iron is used as the metal base, heating and melting is performed at 1100 to 1300 ° C. for 0.5 to 1 hour. Manufacturing method.
0.3 내지 10um의 입자크기의 알루미늄(Al), 철(Fe), 구리(Cu) 및 은(Ag) 중 어느 하나 이상의 금속기지; 및
0.1 내지 5um의 입자크기의 흑연 혹은 탄소분말 중 어느 하나 이상의 탄소계 분말;로 구성되는 것을 특징으로 하는 고주파 필터용 공진기.
A metal base of at least one of aluminum (Al), iron (Fe), copper (Cu), and silver (Ag) having a particle size of 0.3 to 10 μm; And
Resonator for high frequency filters, characterized in that consisting of; carbon-based powder of any one or more of graphite or carbon powder having a particle size of 0.1 to 5um.
0.3 내지 10um의 입자크기를 갖는 알루미늄(Al), 철(Fe), 구리(Cu) 및 은(Ag) 중 어느 하나 이상의 금속기지;
0.1 내지 5um의 입자크기를 갖는 흑연 혹은 탄소분말 중 어느 하나 이상의 탄소계 분말; 및
0.5 내지 5mm의 탄소섬유, 단일벽 탄소나노튜브 및 다중벽 탄소나노튜브 중 어느 하나 이상의 탄소섬유;로 구성되는 것을 특징으로 하는 고주파 필터용 공진기.
At least one metal base of aluminum (Al), iron (Fe), copper (Cu), and silver (Ag) having a particle size of 0.3 to 10 μm;
Carbon-based powder of any one or more of graphite or carbon powder having a particle size of 0.1 to 5um; And
Resonator for high frequency filters, characterized in that consisting of; carbon fiber of 0.5 to 5mm, at least one carbon fiber of single-walled carbon nanotubes and multi-walled carbon nanotubes.
제9항 또는 제10항에 있어서,
상기 고주파 필터용 공진기의 열팽창계수는 4.5ppm/oC 이하이고, 꺾임강도는 10MPa 이상인 것을 특징으로 하는 고주파 필터용 공진기.
The method of claim 9 or 10,
The thermal expansion coefficient of the high frequency filter resonator is 4.5ppm / o C or less, the bending strength is characterized in that 10MPa or more.
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