KR100994505B1 - Electrostatic Chuck having bi-polar electrode pattern - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정전 척에 관한 것으로, 양의 전극과 음의 전극에 전압을 인가하여 웨이퍼 또는 기판 등의 피흡착체를 쿨롱(coulomb)힘으로 흡착하는 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전척에 관한 것이다. The present invention relates to that, the positive electrode and the bipolar electrostatic chuck electrode pattern is formed to absorb the voltage applied to the negative electrode to the wafer or the absorbate complex coulomb (coulomb) of the substrate or the like force on the electrostatic chuck.
본 발명인 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척을 이루는 구성수단은, 전극이 패턴화되는 영역을 복수개의 분할 영역으로 나누고, 양의 전극 및 음의 전극을 분기하여 각 분할 영역에 분할 전극 패턴을 형성하는 것을 특징으로 한다. Configuration means for forming the electrostatic chuck, the present inventors bipolar electrode pattern is formed is divided the area in which the electrodes are patterned into a plurality of slices, and a branch to the positive electrode and the negative electrode to form a divided electrode pattern in each partition It characterized.
정전척, 전극 The electrostatic chuck, electrodes

Description

바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척{Electrostatic Chuck having bi-polar electrode pattern} The electrostatic chuck is a bipolar electrode patterns formed {Electrostatic Chuck having bi-polar electrode pattern}

도 1은 종래의 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척의 개략도이다. 1 is a schematic view of the electrostatic chuck is a conventional bipolar electrode pattern is formed.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 정전 척의 개략도이다. Figure 2 is a schematic view of the electrostatic chuck according to the first embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 정전 척의 개략도이다. Figure 3 is a schematic view of the electrostatic chuck according to a second embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 정전 척의 개략도이다. Figure 4 is a schematic view of the electrostatic chuck according to a third embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 정전 척의 개략도이다. Figure 5 is a schematic view of the electrostatic chuck according to a fourth embodiment of the present invention.

본 발명은 정전 척에 관한 것으로, 양의 전극과 음의 전극에 전압을 인가하여 웨이퍼 또는 기판 등의 피흡착체를 쿨롱(coulomb)힘으로 흡착하는 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전척에 관한 것이다. The present invention relates to that, the positive electrode and the bipolar electrostatic chuck electrode pattern is formed to absorb the voltage applied to the negative electrode to the wafer or the absorbate complex coulomb (coulomb) of the substrate or the like force on the electrostatic chuck.

최근, 반도체 또는 액정의 제조 프로세스, 예컨대 반도체 또는 패널 제조장치에는, 그것의 일부를 구성하고 있는 드라이 에칭, 이온주입, CVD, PVD, 합착 등의 처리가, 자동화 및 공해방지의 입장에서, 습식법으로부터 건식법에 의한 처리로 변화하고 있다. In recent years, a semiconductor or liquid crystal manufacturing processes, for example the semiconductor or panel production apparatus, a dry etching that form a part of it, ion implantation, CVD, PVD, the position of the treatment such as cementation, automation and anti-pollution, from the wet and changes to the process according to the dry method. 그 건식법에 의한 처리의 대부분은, 진공분위기하에서 행하여지는 것이 보통이다. Most of the processing by the dry process, is usually carried out in a vacuum atmosphere.

이러한 건식처리에 있어서 중요한 것은, 예컨대, 기판으로서 사용하고 있는 실리콘 웨이퍼 또는 유리판 등에 대해서는, 최근, 회로의 고집적화 또는 미세가공화의 관점에서, 패터닝 때의 위치결정 정밀도를 향상시키는 것에 있다. The important thing in such a dry process, for example, for a silicon wafer or glass plate or the like that is used as a substrate, recently, in view of the highly integrated circuit or the fine R-is to improve the positioning accuracy of the time pattern.

이러한 요청에 따르기 위해서 종래, 기판의 반송 또는 흡착고정에 있어서, 진공척 또는 기계척을 채용하고 있었다. To comply with such a request prior art, in the transport or absorption of the fixed substrate, there is adopted a vacuum chuck or mechanical chuck. 그렇지만, 진공척은, 진공하에서의 처리가 되기 때문에, 압력차가 적어 흡착 효과가 적고, 가령 흡착할 수 있었다고 해도 흡착부분이 국부적으로 되기 때문에, 기판에 변형이 생긴다고 하는 결점이 있었다. However, a vacuum chuck, since a treatment under a vacuum, the pressure difference is less less adsorption effect, for example, even if there may be adsorbed since the adsorption portion locally, there was a disadvantage that the deformation of the substrate infused.

또한, 웨이퍼처리의 고온화에 따르는 가스냉각을 할 수 없기 때문에, 최근의 고성능 반도체 제조 프로세스에 적용할 수 없다고 하는 불편이 있었다. In addition, there was the inconvenience that since there can be a cooling gas heated to high temperature in accordance with the processing of the wafer, can not be applied to the recent high-performance semiconductor manufacturing process. 한편, 기계척의 경우, 장치가 복잡해지고, 보수점검에 시간을 요하는 등의 결점이 있었다. On the other hand, machine chuck the case, the device is complicated, there are drawbacks, such as requiring the time for maintenance.

이러한 종래 기술의 결점을 보충하기 위해서 최근, 정전기력을 이용한 정전 척이 개발되고, 널리 채용되어 있다. In order to compensate for the drawbacks of the prior art Recently, the development of the electrostatic chuck by an electrostatic force, and is widely employed. 상기 정전 척은 하나의 전극을 사용하는 유니폴라(uni-polar) 정전 척과 두 개의 전극을 사용하는 바이폴라(bi-polar) 정전 척으로 나뉠 수 있다. The electrostatic chuck is unipolar (uni-polar) to use a single electrode electrostatic chuck, it can be divided into bipolar (bi-polar) electrostatic chuck using two electrodes.

상기 유니 폴라 정전 척은 정전기력이 약하고 고전압이 요구되기 때문에 대형의 기판 등에서는 적용하기 힘든 단점이 있는 반면, 상기 바이 폴라 정전 척은 정전기력이 강하고 저전압에서도 기판 흡착이 가능하기 때문에 대형의 기판을 흡착할 수 있는 장점이 있다. The unipolar electrostatic chuck, the bipolar electrostatic chuck, whereas this is difficult to apply is, etc. Formation of the substrate disadvantage because a weak electrostatic force, a high voltage is required is to adsorb a large-sized substrate because it is possible that the substrate adsorption in a strong electrostatic force, low voltage It has the advantage that you can.

상기 정전 척은 기본 구성 요소로서 절연층과 전극을 가지고 있으며, 절연층 위에 웨이퍼 등의 피흡착제가 얹어 놓아진다. The electrostatic chuck has an insulating layer and the electrode as the main components, it is placed topped with the blood of the adsorbent such as a wafer on an insulating layer. 즉, 절연층을 통하여, 웨이퍼와 전극이 대향 배치되게 된다. That is, through an insulating layer, the wafer and the opposite electrode to be placed. 이 상태에서 피흡착체와 전극과의 사이에 전압을 인가하면, 한족에 +, 다른 쪽에 -의 전하가 생기고, 이 전하들 간에 쿨롱힘이 작용하게 된다. When a voltage is applied between the electrode and the absorbate complex and in this state, a + Han, other side-looking and the electric charge of, is a Coulomb force acts between the charges. 결과적으로 이 쿨롱힘에 의해 피흡착체가 흡착된다. As a result, the absorption body is blood absorption by the Coulomb force.

이와 같은 동작에 따라 피흡착체를 흡착하는 종래의 정전 척은 도 1에 도시된 바와 같은, 전극 패턴으로 이루어져 있다. The conventional electrostatic chuck to adsorb absorbate complex according to the same operation is made, the electrode pattern as shown in Fig. 즉, 정전 척의 전면에 양의 전극 패턴이 형성되고, 상기 양의 전극 사이 사이에 음의 전극이 맞물려서 형성된다. That is, the amount of the electrode pattern on the electrostatic chuck is formed in the front, it is formed the electrodes of the negative being engaged between the between the two electrodes. 더 상세하게 설명하면, 손가락 형태의 양의 전극이 상기 정전척 전면에 걸쳐 패턴화되고, 손가락 형태의 음의 전극이 상기 양의 전극 사이 사이에 끼워져서 패턴화된다. When more specifically described, the amount of the electrode finger shape is patterned on the entire surface of the electrostatic chuck, the electrode finger of the negative form is patterned is sandwiched between between the electrodes. 이와 같이 손가락 형태의 양의 전극와 음의 전극이 서로 맞물려서 패턴화되는 것을 이하에서는 인터디지테이티드(interdigitated) 패턴이라 명한다. In this manner, more than that the screen, the amount of the electrode finger of the negative jeongeukwa form each other engaged pattern name as interdigitated (interdigitated) pattern.

상기와 같은 전극 패턴(정전 척 전면에 걸쳐 형성된 하나의 인터디지테이티드 패턴)을 가지는 종래의 정전 척에서, 전극 패턴의 일정 부분(도 1에서 'A'로 표시된 부분)에서 단락이 발생한 경우에는 정전 척을 사용할 수 없는 단점이 있다. In (a interdigitated pattern formed over the electrostatic chuck front) conventional electrostatic chuck having such electrode patterns described above, if a short circuit occurs in a portion (portions indicated by 'A' in FIG. 1) of the electrode pattern, there is a disadvantage not to use the electrostatic chuck. 즉, 정전척의 전극 패턴 중 어느 한 부분이라도 단락(short)이 발생한 경우에는 정전기력이 전혀 발생하지 않으므로 피흡착체를 흡착하기 위한 정전 척으로 사용할 수 없는 문제점이 발생한다. That is, the electrode pattern of the electrostatic chuck of any one part of any short-circuit (short) has a problem that can not be used as an electrostatic chuck for adsorbing the absorbate complex because it does not at all occur if the electrostatic force occurred during occurs.

또한 이 경우에는 정전 척 자체를 교체하지 않고서는 피흡착체를 흡착할 수 없기 때문에, 전극 패턴의 일부 결함에 따른 무조건적인 정전 척 교체라는 비효율 성의 문제를 안고 있다. Also in this case, it faces the problem of inefficient Castle, Unconditional replacement electrostatic chuck according to some defect of the electrode pattern because it is not possible to adsorb the absorbate complex without replacing the electrostatic chuck itself.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 정전 척에 전극이 패턴화되는 영역을 복수개의 분할 영역으로 나누고, 전극을 분기하여 각 분할 영역에 분할 전극 패턴을 형성하거나, 정전 척에 형성되는 전극 패턴을 다중화함으로써, 전극의 일부에 결함이 발생한 경우에도 정전기력이 발생하도록 하여 피흡착체를 흡착할 수 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척을 제공하는 것을 그 목적으로 한다. The present invention has been conceived to solve the problems of the prior art, divides the area in which the screen on the electrostatic chuck electrode pattern into a plurality of partitions, to branch the electrode or forms a split electrode patterns on each partition, by multiplexing the electrode pattern formed on the electrostatic chuck, and a portion of the electrodes such that the electrostatic force generated in the event of a fault to provide an electrostatic chuck having a bipolar electrode can be a pattern that is to adsorb the absorbate complexes for that purpose.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 정전 척을 이루는 구성수단은, 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척에 있어서, 전극이 패턴화되는 영역을 복수개의 분할 영역으로 나누고, 양의 전극 및 음의 전극을 분기하여 각 분할 영역에 분할 전극 패턴을 형성하는 것을 특징으로 한다. Configuration means for constituting the present inventors chuck suggested to solve the technical problems as described above, in the electrostatic chuck is a bipolar electrode pattern is formed, dividing the region in which the electrodes are patterned into a plurality of partitions, the positive electrode and the negative branch of the electrodes characterized by forming a divided electrode pattern in each partition.

여기서, 상기 분할 전극 패턴은 인터디지테이티드(interdigitated) 패턴인 것이 바람직하고, 상기 양의 전극 및 음의 전극은 n개로 분기되고, 상기 분할 영역은 n * n 개인 것이 바람직하다. Here, the divided electrode pattern is interdigitated electrode of the positive electrode and the negative is desirable, and the (interdigitated) pattern is open-circuit branch n, the partition is preferably n * n individual.

또한, 다른 실시예에 따른 본 발명의 구성수단은, 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척에 있어서, 상기 전극 패턴은 양의 전극 또는 음의 전극을 시작으로 바깥 쪽에서부터 안 쪽으로 순차적으로 반복해서 감겨지는 다중 패턴인 것을 특징 으로 한다. Also, the configuration means of the present invention in accordance with another embodiment, in a power failure, the bipolar electrode patterns formed vessels, which the electrode pattern is wound by sequentially repeating the start of the positive electrode or negative electrode inward from the outside of the multi- characterized in that the pattern. 여기서, 상기 전극 패턴은 두 개의 양의 전극과 두 개의 음의 전극이 서로 교차하여 형성된 것이 바람직하다. Here, the electrode pattern is preferred that the electrodes of the two positive electrodes and two negative formed to cross each other.

또한, 다른 실시예에 따른 본 발명의 구성수단은, 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척에 있어서, 상기 정전 척 전면에 특정 양의 전극과 특정 음의 전극이 서로 인터디지테이티드(interdigitated) 패턴으로 형성되고, 별도의 음의 전극이 상기 특정 양의 전극의 주위를 따라 형성되며, 별도의 양의 전극이 상기 특정 음의 전극의 주위를 따라 형성되는 것을 특징으로 한다. Also, the configuration means of the present invention in accordance with another embodiment, in the electrostatic chuck is a bipolar electrode pattern is formed, formed in the electrostatic chuck over a certain amount of the electrode with each other interdigitated (interdigitated) pattern the electrodes of a certain sound in and, the electrode of the separate sound is formed along the periphery of the electrodes of the predetermined, characterized in that the amount of separate electrodes formed along the periphery of the specific negative electrode.

또한, 다른 실시예에 따른 본 발명의 구성수단은, 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척에 있어서, 전극이 패턴화되는 영역을 복수개의 분할 영역으로 나누고, 양의 전극 및 음의 전극을 분기하여 각 분할 영역에 분할 전극 패턴을 형성하되, 일부의 분할 영역에는 인터디지테이티드(interdigitated) 패턴이 형성되고, 나머지 부분에는 양의 전극 또는 음의 전극을 시작으로 바깥 쪽에서부터 안 쪽으로 순차적으로 반복해서 감겨지는 다중 패턴이 형성되는 것을 특징으로 한다. Also, the configuration means of the present invention in accordance with another embodiment, in a power failure, the bipolar electrode patterns formed chuck, the electrodes are patterned dividing the area into a plurality of slices, both the divided branches the electrodes of the electrode and the negative but in a region to form a divided electrode pattern, the partition in some cases interdigitated (interdigitated) and the pattern is formed, the remainder of positive electrode or negative start electrode of the inward from the outside of the wound repeatedly in sequence It is characterized in that the multi-pattern is formed.

여기서, 상기 인터디지테이티드(interdigitated) 패턴은 상기 정전 척의 중앙 부분에 형성되고, 상기 다중 패턴은 상기 중앙 부분 이외의 가장 자리 부분에 형성되이 바람직하다. Here, the interdigitated (interdigitated) pattern is formed in the center of the electrostatic chuck, the multi-pattern is preferred hyeongseongdoeyi at the edge portion other than the central portion.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척에 관한 작용 및 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. With reference to the accompanying drawings, it will be described in detail the action of an electrostatic chuck formed with the inventors bipolar electrode pattern consisting of a configuration means, such as the above, and preferred embodiments.

도 2는 본 발명인 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척의 제1 실시예를 설명하기 위한 정전 척의 개략도이다. Figure 2 is a schematic view of the electrostatic chuck for explaining an embodiment of the electrostatic chuck of claim 1 having a bipolar electrode the inventors pattern.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척(10)은 전극이 패턴화되는 영역이 복수개로 분할되어 있다. A first exemplary electrostatic chuck 10 having a bipolar electrode pattern according to the embodiment of the present invention as shown in Figure 2 is divided into a plurality of the region in which the electrodes are patterned. 이하에서는 각각의 전극 패턴이 형성되는 각각의 영역을 분할 영역이라 칭하고, 각 분할 영역에 패턴화되는 전극을 분할 전극이라 칭한다. Hereinafter referred to as respectively the area of ​​the partition to be formed, each of the electrode patterns, it referred to as a split electrode the electrode is patterned on each partition.

도 2에서는 분할 영역은 9개(1-1 내지 3-3)로 예시되어 있고, 각 분할 영역의 명확한 패턴은 일부 분할 영역(1-1, 2-2, 3-1)에만 도시되고 있지만, 분할 영역의 개수는 이에 한정하지 않고, 다른 분할 영역(1-2, 2-2, 3-2, 1-3, 2-3, 3-3)도 동일한 패턴으로 이루어져 있다. Although Figure 2, the partition may be exemplified by the nine (1-1 to 3-3), a clear pattern of each divided region is shown with some partitions (1-1, 2-2, 3-1), the number of partitions is not limited to this, but is also made in the same pattern different slices (1-2, 2-2, 3-2, 1-3, 2-3, 3-3).

상기 각각의 분할 영역에 패턴화된 전극 패턴은 양의 전극 분기점(13) 및 음의 전극 분기점(11)으로부터 분기되는 양의 전극 및 음의 전극으로 패턴화되어 있다. The pattern in each of divided regions of the screen electrode pattern is patterned as a positive electrode and a negative electrode that is branched from the amount of the fork 13 and the negative electrode of the branch point (11) electrode.

즉, 1-1 분할 영역에 패턴화된 분할 전극 패턴은 음의 전극 분기점(11)으로부터 분기된 음의 전극(11c)과 양의 전극 분기점(13)으로부터 분기된 양의 전극(13c)으로 패턴화되어 형성되고, 2-1 분할 영역에 패턴화된 분할 전극 패턴은 음의 전극 분기점(11)으로부터 분기된 음의 전극(11b)과 양의 전극 분기점(13)으로부터 분기된 양의 전극(13b)으로 패턴화되어 형성되고, 3-1 분할 영역에 패턴화된 분할 전극 패턴은 음의 전극 분기점(11)으로부터 분기된 음의 전극(11a)과 양의 전극 분기점(13)으로부터 분기된 양의 전극(13a)으로 패턴화되어 형성된다. In other words, the dividing pattern 1-1 zoning divided electrode pattern is a pattern in positive electrode (13c) is branched from the branch of the negative electrodes from the branching point 11 of the negative electrode (11c) and a positive electrode junctions 13 and the screen is formed, the partition 2-1 pattern screen divided electrode pattern of the branch from the amount of the negative branch from the electrode junctions 11 of the negative electrode (11b) and the positive electrode junctions (13) electrode (13b ) in a pattern is formed by screen, of the branch from both the divided electrode pattern is patterned in the negative branch from the electrode junctions 11 of the negative electrode (11a) and a positive electrode branch point 13 to the partition 3-1 It is formed by patterning the electrode (13a).

상기와 같이 패턴화되는 각각의 분할 전극 패턴은 손가락 형태의 양의 전극과 음의 전극이 서로 맞물려서 패턴화된다. Each divided electrode pattern that is patterned as described above is a positive electrode and a negative electrode fingers form is engaged screen patterns each other. 이하에서는 상기와 같이 손가락 형태의 양의 전극과 음의 전극이 서로 맞물려서 패턴화되는 것을 "인터디지테이티드(interdigitated) 패턴"이라 칭한다. In the following description that the amount of the screen electrode and the negative electrode of the fingers being engaged with each other form a pattern as described above is referred to as "interdigitated (interdigitated) pattern."

한편, 상기 분기점(11, 13)으로부터 분기되는 분기 전극 개수와 분할 영역의 개수는 다양하게 변경 가능하나, 본 발명에서는 정전척 전면에 형성되는 분할 영역이 가로와 세로 방향으로 동일한 개수로 형성되고, 상기 분기되는 양의 전극과 음의 전극은 상기 가로(세로) 방향으로 형성되는 분할 영역의 개수와 동일한 개수로 분기된다. On the other hand, the number of the branch electrode number and the partition is branched from the branch point (11, 13) is one possible variously changed, according to the present invention, the partition is formed on the entire electrostatic chuck is formed of the same number as the horizontal and vertical direction, the electrodes of the positive electrode and the negative branch which is branched in the same number as the number of slices to be formed to the horizontal (vertical) direction. 즉, 본 발명에 따른 분할 영역은 n * n개로 형성되고, 상기 양의 전극과 음의 전극은 n개로 분기된다. That is, the formed slices according to the invention are open-circuit n * n, the electrodes of the positive electrode and the negative branch is open-circuit n.

상기와 같은 전극 패턴을 가지는 본 발명의 제1 실시예에 따른 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척에 전압을 인가하면, 각각의 분할 영역마다 정전기력에 의하여 흡착력이 발생하여 피흡착체를 효과적으로 흡착할 수 있다. When voltage is applied to the electrostatic chuck having a first bipolar electrode pattern according to the first embodiment of the present invention having the electrode pattern as described above, it is possible to each of the partitions attraction force generated by the electrostatic force to adsorb the absorbate complex effectively.

즉, 양의 전압 입력단(17)에 양의 전압을 인가하고, 음의 전압 입력단(15)에 음의 전압을 인가하면, 양의 전극과 음의 전극이 분기되어 각각의 분할 영역에 패턴화되어 있기 때문에, 각각의 분할 영역마다 흡착력이 발생한다. That is, applying a positive voltage to the positive voltage input terminal 17, and when applying a negative voltage to the negative voltage input terminal 15 of the electrode in the positive electrode and the negative branches are patterned in each partition of since, the attraction force is generated for each partition.

이와 같은 본 발명의 제1 실시예에 따른 구조에서, 특정 분할 영역(도 2에서 2-1의 분할 영역)에 패턴화된 전극 패턴 중 일정 부분(도 2에서 'B'로 표기됨)에 단락과 같은 결함이 발생하더라도, 상기 특정 분할 영역(도 2에서 2-1의 분할 영역)을 제외한 분할 영역에서는 여전히 정전기력이 발생하기 때문에 피흡착체를 효 과적으로 흡착할 수 있다. In such the structure according to the first embodiment of the invention, the particular partition (denoted by 'B' in Figure 2) a portion of the patterned electrode pattern (Fig. Slices of 2-1 in 2), the short-circuit even if a fault occurs, such as, in the specific partition, the partition, except for (also slices of 2-1 in 2), still because of the electrostatic force generated can adsorb the absorbate complex effectively.

다음은 본 발명의 제2 실시예에 따른 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척에 대하여 설명한다. The following is a description of the static chuck having a bipolar electrode patterns according to another embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척의 개략도이다. Figure 3 is a schematic view of the electrostatic chuck is a bipolar electrode patterns according to another embodiment of the present invention is formed.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 정전 척은 양의 전극과 음의 전극이 순차적으로 반복해서 패턴화되어 있다. As shown in Figure 3, a first electrode of the electrostatic chuck is a positive and a negative electrode according to the second embodiment of the present invention is screen repeatedly in sequence patterns. 즉, 양의 전극과 음의 전극들로 이루어진 전극 패턴은 상기 양의 전극 또는 음의 전극을 시작으로 정전척의 바깥 쪽(정전 척의 가장 자리 쪽)에서부터 안 쪽(정전 척의 중심 쪽)으로 순차적으로 반복해서 감겨지는 패턴으로 형성된다. That is, an electrode pattern consisting of a positive electrode and a negative electrode are repeated in sequence not side (the electrostatic chuck center side) from the electrostatic chuck, the outside (the electrostatic chuck edge side) beginning on the electrodes of the electrode or the negative of the positive it is formed of a wound pattern. 이하에서는, 상기와 같이 양의 전극 또는 음의 전극을 시작으로 정전척의 바깥 쪽(정전 척의 가장 자리 쪽)에서부터 안 쪽(정전 척의 중심 쪽)으로 순차적으로 반복해서 감겨지는 패턴을 "다중 패턴"이라 칭한다. Hereinafter, the positive electrode or a negative pattern that is not side wound repeatedly in sequence (the electrostatic chuck center side) from the electrostatic chuck, the outside (the electrostatic chuck edge side) of the electrode to the start of such as the term "multi-pattern." called.

도 3에서는 제1 양의 전극(21)을 시작으로 제1 음의 전극(23), 제2 양의 전극(25), 제2 음의 전극(27) 순으로 반복해서 패턴화되어 있다. In Figure 3 there is the screen repeatedly to one positive electrode 21 by starting with the negative electrode of the first 23, a second positive electrode 25, the second negative electrode 27, the net pattern. 상기 본 발명의 정전 척의 전극 패턴을 구성하는 음의 전극과 양의 전극의 개수는 다양하게 변경될 수 있지만, 본 발명에서는 전극 패턴의 복잡도와 일정 이상의 흡착력 유지를 고려하여 두 개의 양의 전극과 두 개의 음의 전극을 이용한다. The number of the negative electrodes and the electrodes constituting the electrostatic chuck electrode pattern of the present invention may be variously changed, according to the present invention, two positive electrodes and two in consideration of the complexity and schedule more attractive force holding the electrode pattern It uses a single negative electrode. 이때, 상기 두 개의 양의 전극과 두 개의 음의 전극은 서로 교차된 상태(양의 전극, 음의 전극, 양의 전 극, 음의 전극 순으로 교차된 상태 또는 그 반대로 교차된 상태)로 순차 반복해서 감겨진다. At this time, the two positive electrodes and two electrodes, the negative cross with each other sequentially with (a positive electrode, a negative electrode, a positive electrode, a cross to a negative electrode in order state, or vice versa, the cross-state) repeatedly wound.

이와 같은 구조로 이루어진 본 발명의 제2 실시예에 따른 정전 척에 전압을 인가하면, 정전척의 전면적에서 정전기력이 발생하여 피흡착체를 효과적으로 흡착할 수 있다. In applying a voltage to the electrostatic chuck according to the second embodiment of the present invention made of a same structure, by the electrostatic force generated in the electrostatic chuck across the board it can be absorbed effectively complex the absorbate. 이 때, 도 3에 도시된 전극 패턴 중 일정 부분(도 3에서 'C'로 표기됨)에 단락과 같은 결함이 발생한 경우에도, 제1 양의 전극(21)과 제1 음의 전극(23)에 의한 정전기력은 발생하지 않지만, 제2 양의 전극(25)과 제2 음의 전극(27)에 의한 정전기력에 의하여 여전히 피흡착체를 효과적으로 흡착할 수 있다. At this time, even (denoted by 'C' in Fig. 3) the electrode pattern a portion of the shown in Figure 3, even if the occurrence of defects such as short circuit, the electrode of the first positive electrode 21 and the first negative (23 ) by the electrostatic force it does not occur, it is possible to still adsorbing absorbate effectively complex by an electrostatic force according to the second positive electrode 25 and the electrode 27 of the second sound.

다음은 본 발명의 제3 실시예에 따른 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척에 대하여 설명한다. The following is a description with respect to the electrostatic chuck having a bipolar electrode pattern according to the third embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척의 개략도이다. Figure 4 is a schematic view of the electrostatic chuck having a bipolar electrode patterns according to another embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 정전 척의 바이폴라 전극 패턴은 특정 양의 전극(31)과 특정 음의 전극(37)이 상기 정전 척 전면에 인터디지테이티드(interdigitated) 패턴으로 형성되고, 별도의 음의 전극(33)이 상기 특정 양의 전극(31)의 주위를 따라 패턴 형성되며, 별도의 양의 전극(35)이 상기 특정 음의 전극(37)의 주위를 따라 패턴 형성된다. As shown in Figure 4, the electrostatic chuck bipolar electrode patterns according to another embodiment of the present invention, a certain amount of the electrode 31 and the particular negative electrode 37 is on the entire surface of the electrostatic chuck interdigitated (interdigitated ) is formed in a pattern, the electrode 33 of the separate sound pattern is formed along the periphery of the predetermined amount of the electrode 31, around a separate positive electrode 35, the particular negative electrode 37 of the patterns are formed along a.

이와 같은 구조로 이루어진 본 발명의 제3 실시예에 따른 정전 척에 전압을 인가하면, 정전척의 전면적에서 정전기력이 발생하여 피흡착체를 효과적으로 흡착 할 수 있다. By this structure of the invention consisting of applying a first voltage to the electrostatic chuck according to the third embodiment, it is possible by the electrostatic force generated in the full-scale of the electrostatic chuck to adsorb absorbate complex effectively. 이 때, 도 4에 도시된 전극 패턴 중 일정 부분(도 4에서 'D'로 표기됨)에 단락과 같은 결함이 발생한 경우에도, 별도의 양의 전극(35)과 특정 음의 전극(37)에 의한 정전기력은 발생하지 않지만, 특정 양의 전극(31)과 별도의 음의 전극(33)에 의한 정전기력에 의하여 여전히 피흡착체를 효과적으로 흡착할 수 있다. At this time, 4 an electrode pattern a portion (also denoted 4 in 'D') a separate amount of the electrode 35 and the particular negative electrode 37 of, even when a defect is caused such as a short circuit to one shown in electrostatic forces, by does not occur, and by an electrostatic force due to a certain amount of electrode 31 and separate the negative electrode 33 is still capable of adsorbing the absorbate complex effectively.

또한, 도 4에 도시된 전극 패턴 중 일정 부분(도 4에서 'E'로 표기됨)에 단락과 같은 결함이 발생한 경우에도, 별도의 양의 전극(35)과 별도의 음의 전극(33)에 의한 정전기력은 발생하지 않지만, 인터디지테이티드 패턴의 전극을 구성하는 특정 양의 전극(31)과 특정 음의 전극(37)에 의한 정전기력에 의하여 여전히 피흡착체를 효과적으로 흡착할 수 있다. In addition, Figure 4 an electrode pattern a portion (also labeled at 4 with 'E'), defects such as short circuit, a separate positive electrode 35 and separate the negative electrode 33 of any error in the city in the electrostatic force does not occur, inter digital table by electrostatic force due to the specific amount of the electrode 31 and the electrode 37 of a particular negative constituting the electrodes of the lactide pattern still can be effectively adsorbed by the absorbate complex.

물론 이 경우에는 특정 양의 전극(31)과 특정 음의 전극(37) 간의 간격이 커서 흡착력이 다소 떨어지는 단점이 있으나, 전극에 인가하는 전압을 증대시켜 원하는 정도의 흡착력을 유지할 수 있다. Of course, in this case, it is possible to maintain the suction force of a desired degree by increasing the voltage, but this is a disadvantage cursor is somewhat less attractive force a certain amount of distance between electrode 31 and the particular negative electrode 37 of, applied to the electrodes.

다음은 본 발명의 제4 실시예에 따른 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척에 대하여 설명한다. The following is a description of the static chuck having a bipolar electrode pattern according to a fourth embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척의 개략도이다. Figure 5 is a schematic view of the electrostatic chuck having a bipolar electrode pattern according to a fourth embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 정전 척의 바이폴라 전극 패턴은, 상기 제1 실시예와 동일하게 전극이 패턴화되는 영역을 복수개의 분할 영역으로 나누고, 양의 전극 및 음의 전극을 분기하여 각 분할 영역에 분할 전 극 패턴을 형성한다. As it is shown in Figure 5, the electrostatic chuck bipolar electrode pattern according to a fourth embodiment of the present invention, to share the same region in which the electrodes are patterned in the first embodiment into a plurality of slices, a positive electrode and to branch to the negative electrode to form a divided electrode pattern in each partition.

다만, 본 발명의 제4 실시예에 따른 정전 척의 바이폴라 전극 패턴은 상기 분할 영역 중 일부 영역에는 상기 제1 실시예에서 설명한 인터디지테이티드 패턴을 형성하고, 나머지 부분에는 상기 제2 실시예에서 설명한 바와 같은, 양의 전극 또는 음의 전극을 시작으로 바깥 쪽에서부터 안 쪽으로 순차적으로 반복해서 감겨지는 다중 패턴으로 형성한다. However, the electrostatic chuck bipolar electrode pattern is a partial area of ​​the partition according to the fourth embodiment of the present invention to form an interdigitated pattern described in the first embodiment, the remaining part is described in the second embodiment , to form a positive electrode or a multi-pattern wound repeatedly in sequence the negative electrode of the start inward from the outside as described.

상기 제4 실시예에 따른 바이폴라 전극 패턴을 구성하는 인터디지테이티드 패턴과 다중 패턴은 다양한 구조로 배치할 수 있지만, 본 발명에서는 도 5에 도시된 바와 같이, 정전 척의 중앙 부분에는 인터디지테이티드 패턴을 형성하고, 상기 중앙 부분 이외의 가장 자리 부분에는 다중 패턴을 형성한다. The first to place a interdigitated pattern and the multi-pattern is different structure constituting the bipolar electrode pattern according to the fourth embodiment, but, as illustrated in the present invention Figure 5, an electrostatic chuck, the central portion has interdigitated forming a pattern, and the edge portion other than the central part, to form a multi-pattern.

여기서 중요한 것은, 상기 인터디지테이티드 패턴으로 형성된 분할 영역의 분할 전극들은 상기 제1 실시예에서 설명한 바와 같이, 양의 전극과 음의 전극이 분기되어 패턴화된 것이다. It is important, split electrodes of the divided regions formed by the interdigitated pattern as a will, of a positive electrode and the negative electrode is branched pattern described in the first embodiment Chemistry. 그리고 상기 다중 패턴으로 형성된 분할 영역의 분할 전극들은 상기 제2 실시예에서 설명한 바와 같은 전극 패턴으로 형성된다. And split electrodes, the partition formed of the multi-pattern are formed as an electrode pattern as described in the second embodiment.

이와 같은 구조로 이루어진 본 발명의 제4 실시예에 따른 정전 척에 전압을 인가하면, 정전척의 전면적에서 정전기력이 발생하여 피흡착체를 효과적으로 흡착할 수 있다. In applying a voltage to the electrostatic chuck according to the fourth embodiment of the present invention made of a same structure, by the electrostatic force generated in the electrostatic chuck across the board it can be absorbed effectively complex the absorbate. 이 때, 도 5에 도시된 전극 패턴 중 일정 부분에 단락과 같은 결함이 발생한 경우에도, 단락과 같은 결함이 발생한 일정 부분이 포함되는 분할 영역에는 흡착력이 발생하지 않지만, 나머지 분할 영역에서는 정상적으로 흡착력이 발생하기 때문에 효과적으로 피흡착체를 흡착할 수 있다. At this time, also, even if a certain portion of the electrode pattern shown in Figure 5 occurs, defects such as short circuit, in the partition, which includes a portion, defects such as short circuit occurred does not generate the attraction force, the rest of the partition is normally attraction force since the generation can be effectively adsorbed absorbate complex.

상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척에 의하면, 패턴화된 전극의 일부에 결함이 발생하더라도 계속적으로 일정한 흡착력을 유지한 상태로 피흡착체를 흡착할 수 있는 장점이 있다. According to the construction and operation, and an electrostatic chuck formed with the inventors bipolar electrode pattern having a preferred embodiment as described above, even if a fault occurs in a part of the patterned electrode can absorb the absorbate complex with a continuously maintain a constant suction force state there is an advantage in that.

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  7. 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척에 있어서, In the electrostatic chuck is a bipolar electrode pattern is formed,
    전극이 패턴화되는 영역을 복수개의 분할 영역으로 나누고, 양의 전극 및 음의 전극을 분기하여 각 분할 영역에 분할 전극 패턴을 형성하되, 일부의 분할 영역에는 인터디지테이티드(interdigitated) 패턴이 형성되고, 나머지 부분에는 양의 전극 또는 음의 전극을 시작으로 바깥 쪽에서부터 안 쪽으로 순차적으로 반복해서 감겨지는 다중 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척. Dividing the region in which the electrodes are patterned into a plurality of partitions, to branch the positive electrode and negative electrode of, but form a divided electrode pattern in each partition, the interdigitated (interdigitated) pattern is formed slices in some and the remaining portion, the positive electrode or bipolar electrode electrostatic chuck pattern is formed such that a multi-pattern wound to sequentially repeat the negative electrode of the start inward from the outside is formed.
  8. 청구항 7에 있어서, The system according to claim 7,
    상기 인터디지테이티드(interdigitated) 패턴은 상기 정전 척의 중앙 부분에 형성되고, 상기 다중 패턴은 상기 중앙 부분 이외의 가장 자리 부분에 형성되는 것을 특징으로 하는 바이폴라 전극 패턴이 형성된 정전 척. The interdigitated (interdigitated) pattern is formed in the center of the electrostatic chuck, the electrostatic chuck is a multi-pattern is a bipolar electrode pattern, characterized in that formed at the edge portion other than the central portion is formed.
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