KR100991821B1 - 대면적 기판 처리 시스템의 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평면 디스플레이용 대면적 유리 기판 처리 시스템에서 복수개의 유리 기판이 장착된 보트가 챔버 내에서 상하로 용이하게 이송될 수 있도록 하는 대면적 기판 처리 시스템의 기판 이송 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 기판의 이송을 위한 동력을 발생하는 복수개의 전동부(M); 전동부(M)의 회전속도를 감속시키는 복수개의 감속부(M1); 감속부(M1)를 통하여 전달된 동력에 의해 상하로 이동하면서 기판을 이송하는 복수개의 구동부(2); 전동부(M)에서 발생된 동력을 구동부(2)로 전달하는 구동 벨트(1); 및 구동 벨트(1)의 텐션을 조절하는 텐션 조절부(100)를 포함하고, 복수개의 전동부(M)는 서로 연동되어 있으며 복수개의 전동부(M)에 의해 상기 복수개의 구동부(2)가 동시에 구동되는 것을 특징으로 한다.

기판 이송 장치, 구동 벨트, 텐션

Description

대면적 기판 처리 시스템의 기판 이송 장치{Apparatus For Transferring Substrate In Large Area Substrate Treating System}

본 발명은 대면적 기판 처리 시스템에 적용되는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 평면 디스플레이용 대면적 유리 기판 처리 시스템에서 복수개의 유리 기판이 장착된 보트가 챔버 내에서 상하로 용이하게 이송될 수 있도록 하는 대면적 기판 처리 시스템의 기판 이송 장치에 관한 것이다.

최근 평판 디스플레이에 대한 수요가 폭발적으로 증가할 뿐만 아니라 점점 대화면 디스플레이를 선호하는 경향이 두드러지기 때문에, 평판 디스플레이 제조용 대면적 기판 처리 시스템에 대한 관심이 고조되고 있다.

평판 디스플레이 제조에 사용되는 대면적 기판 처리 시스템은 크게 증착 장치와 열처리 장치로 구분될 수 있다.

증착 장치는 평판 디스플레이의 핵심 구성을 이루는 투명 전도층, 절연층, 금속층 또는 실리콘층을 형성하는 단계를 담당하는 장치로서, LPCVD(low pressure chemical vapor deposition) 또는 PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)와 같은 화학 증착 장치와 스퍼터링(sputtering)과 같은 물리 증착 장 치가 증착 장치에 해당된다. 또한, 열처리 장치는 증착 공정 후에 수반되는 어닐링 단계를 담당하는 장치로서, 어닐링 노(furnace)가 열처리 장치에 해당된다.

액정 디스플레이를 제조하는 경우, 대표적인 증착 장치로는 박막 트랜지스터(thin film transistor; TFT)의 액티브 영역에 해당하는 비정질 실리콘 층을 증착하는 증착 장치가 되고, 대표적인 열처리 장치로는 상기에서 증착 장치로 형성한 비정질 실리콘층을 열처리하여 폴리 실리콘층으로 결정화시키는 장치가 된다.

최근 평판 디스플레이의 대면적화 경향 및 생산성 제고 측면에서 복수개의 평판 디스플레이를 동시에 처리할 수 있는 대면적 기판(예를 들어, 유리 또는 석영 기판) 처리 시스템이 주목을 받고 있다.

한편, 평판 디스플레이의 유리 기판의 크기(예를 들어, 5세대 LCD의 경우 1,100㎜×1300㎜)를 감안할 때, 대면적 기판 처리 시스템의 구성 중에서 복수개의 기판을 동시에 열처리 챔버로 로딩하거나 열처리 챔버로부터 언로딩하기 위한 기판 이송 장치는 엄청난 부하를 견딜 수 있도록 설계 제작되어야 한다. 특히, 대면적 기판 처리 시스템의 특성상 복수개의 기판을 상하로 이송하는 과정에서는 무엇보다도 각 기판의 수평 유지가 매우 중요한데, 만일 기판 이송 과정에서 기판의 수평 유지에 실패하여 기판이 한쪽으로 기울어 떨어지게 되면 기판 손상뿐만 아니라 자칫하면 대면적 기판 처리 시스템이 고장을 일으키거나 대형 안전 사고로 이어질 수 있는 문제점이 있다.

따라서, 대면적 기판 처리 시스템에서 복수개의 기판을 효율적이면서도 안전하게 챔버에 로딩시킬 수 있는 기판 이송 장치의 개발이 필요한 실정이다.

이에 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 복수개의 기판을 효율적이면서도 안전하게 챔버에 로딩시키거나 챔버로부터 언로딩시킬 수 있는 대면적 기판 처리 시스템의 기판 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 대면적 기판 처리 시스템의 기판 이송 장치는, 대면적 기판 처리 시스템에 적용되는 기판 이송 장치로서, 기판의 이송을 위한 동력을 발생하는 복수개의 전동부; 상기 전동부의 회전 속도를 감속시키는 복수개의 감속부; 상기 감속부를 통하여 전달된 동력에 의해 상하로 이동하면서 상기 기판을 이송하는 복수개의 구동부; 상기 전동부에서 발생된 동력을 상기 구동부로 전달하는 구동 벨트; 및 상기 구동 벨트의 텐션을 조절하는 텐션 조절부를 포함하고 상기 복수개의 전동부는 서로 연동되어 있으며, 상기 복수개의 전동부에 의해 상기 복수개의 구동부가 동시에 구동되는 것을 특징으로 한다.

상기 기판 이송 장치는 2개의 전동부, 2개의 감속부 및 4개의 구동부를 포함하며, 상기 2개의 전동부에 의해 상기 4개의 구동부가 동시에 구동될 수 있다.

상기 전동부는 모터를 포함할 수 있다.

상기 감속부는 웜기어를 포함할 수 있다.

상기 구동부는 볼 스크류(ball screw)를 포함할 수 있다.

상기 텐션 조절부는 직육면체 형태로 형성되고 양 단부에는 양측으로 제1 연결단이 형성되는 중앙 블록; 상기 중앙 블록 양측으로 연결되는 상기 제1 및 제2 세팅 플레이트; 상기 제1 및 제2 세팅 플레이트의 일측으로 형성되고 상기 중앙 블록의 제1 연결단에 연결되는 제2 연결단; 및 상기 제1 및 제2 세팅 플레이트에 설치되는 아이들러를 포함하고, 상기 중앙 블록과 상기 제1 및 제2 세팅 플레이트의 연결 상태 조정에 의해 상기 아이들러와 상기 구동 벨트의 밀착 정도를 변화시킬 수 있다.

상기 중앙 블록 양측으로 연결되는 제1 및 제2 세팅 플레이트의 연결 상태는 각각 독립적으로 조정될 수 있다.

상기 제1 세팅 플레이트 또는 제2 세팅 플레이트의 후방에 센서 블록에 의해 설치되어 상기 구동 벨트의 장력을 측정하는 벨트 센서를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 대면적 기판 처리 시스템에서 복수개의 기판을 효율적이면서도 안전하게 챔버에 로딩시키거나 챔버로부터 언로딩시킬 수 있는 효과를 갖는다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세하게 설명하도록 한다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 텐션 조정부의 구성을 나타내는 도면 및 분해 사시도이다. 또한, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.

우선, 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 2 개의 전동부(M), 2개의 감속부(M1) 및 4 개의 구동부(2)를 기본적인 구성으로 한다. 전동부(M)와 구동부(2)의 개수는 대면적 기판 처리 시스템의 크기에 따라 달라질 수 있다. 예를 들어, 유리 기판의 크기가 커지면 3 개의 전동부로 6 개의 구동부가 구동되는 기판 이송 장치를 채택할 수 있다.

전동부(M)는 외부에서 공급되는 전기로 동작하는 모터를 포함한다. 이하의 설명에서는 전동부(2)를 모터(2)로 칭하기로 한다. 본 발명에서 2개의 모터(M)는 모두 동일한 구성을 취하는 것이 바람직하다.

모터(M)와 구동부(2) 사이에는 모터(M)의 회전속도가 구동부(2)의 상하 이동에 알맞은 속도로 감속되도록 하는 감속부(M1)가 설치될 수 있다. 여기서, 감속부(M1)는 웜기어와 웜휠로 구성될 수 있다. 웜휠과 웜기어는 회전수의 감속 비가 크기 때문에 감속부의 구성을 간단하게 할 수 있다는 장점이 있다. 또한, 웜휠과 웜기어로 구성되는 감속부(M1)는 브레이크 역할도 가능하기 때문에, 보트가 챔버 내의 원하는 위치에 도달한 경우 그 위치에서 보트가 더 이상 움직이는 것을 방지할 수 있다. 본 발명에서 2개의 감속부(M1)는 모두 동일한 구성을 취하는 것이 바람직하다.

모터(M)와 구동부(2)는 구동 벨트(1)에 의해 연결되어 모터(M)의 구동력이 구동부(2)로 전달될 수 있도록 한다.

구동부(2)는 모터에서 발생된 회전 동력을 직선 이동 동력으로 변환시키는 역할을 한다. 이를 위해서 구동부(2)는 수직으로 설치된 나선축과 구동 벨트(1)를 통해 모터의 구동력을 전달받아 나선축을 중심으로 회전하면서 나선축을 따라 상하로 이동하는 너트를 포함하는 볼 스크류(ball screw)로 구성될 수 있다. 본 발명에서 4개의 구동부(2)는 모두 동일한 구성을 취하는 것이 바람직하다.

구동 벨트(1)를 통해 구동부(2)로의 구동력 전달을 용이하게 하기 위해 구동부(2)의 하단으로는 구동 벨트(1)가 감기는 풀리(3)가 설치될 수 있다. 이때 풀리(3)는 구동부(2)의 나선축과 동축 연결될 수 있다.

구동부(2)와 보트(미도시)가 장착되는 챔버 셔터(6)는 연결 로드(4)에 의해 연결되어 구동부(2)의 동작에 의해 챔버 셔터(6)가 상하 이동한다. 이때, 보트의 하중에 의해 구동부(2)와 챔버 셔터(6)간의 연결 부위에 처짐 현상이 발생할 수 있는데, 이를 방지하기 위하여 구동부(2)와 평행하게 지지대(4)를 설치한 후 연결 로드(4)의 일단을 지지대(4)에 연결하는 것이 바람직하다.

본 발명에서 모터(M)에서 발생된 회전 동력을 구동부(2)로 전달하는 구동 벨트(1)의 중간부에는 텐션 조정부(100)를 설치하여 사용자의 필요에 따라 구동 벨트(1)의 텐션을 조정하도록 한다. 이하 텐션 조정부(100)의 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.

텐션 조정부(100)는 직육면체 형성되고 양단으로는 제1 연결단(210)이 양측으로 돌출 형성되어 '工'자 형태로 형성된 중앙 블록(200)과, 중앙 블록(200)의 양측에 각각 연결되는 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)를 기본적인 구성으로 한다. 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)는 동일한 크기로 서로 대칭되는 형태인 것이 바람직하다. 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)의 상부와 하부 일 측으로는 제1 연결단(210)과 연결되는 제2 연결단(310)이 각각 설치된다. 제1 연결단(210)과 제2 연결단(310)의 단부에는 상하 방향으로 볼트홀을 형성하여, 제1 연결단(210)과 제2 연결단(310)은 볼트 연결될 수 있도록 한다.

제1 연결단(210)과 제2 연결단(310)의 연결에 의해 중앙 블록(200)의 양측으로는 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)와의 사이에 구동 벨트가 통과할 수 있는 공간이 형성된다.

제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B) 각각에는 다수의 볼트홀(304)이 형성되어 있어, 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)가 중앙 블록(200)과 연결된 상태에서 프레임(10)에 볼트 고정될 수 있도록 한다.

제1 연결단(210)과 제2 연결단(310)이 연결될 때, 중앙 블록(200)과 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)의 연결 각도는 사용자의 필요에 따라 변화될 수 있다.

기판 이송 장치의 동작 중에 구동 벨트(1)에 손상이 발생하여 구동 벨트(1)가 파손되는 것을 방지하기 위해 구동 벨트(1)의 장력을 측정하는 벨트 센서(미도시)를 설치할 수 있도록 'ㄴ' 형상의 센서 블록(330)이 제1 세팅 플레이트(300A) 또는 제2 세팅 플레이트(300B)의 후방에 설치될 수 있다.

중앙 블록(200)의 양측으로 연결된 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)의 후방으로는 세팅 플레이트에 상단과 하단에 소정의 길이로 형성되는 연결 플레이트(320)에 의해 원통형의 아이들러(idler)(340)를 설치한다. 즉, 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)의 상단과 하단에는 동일한 길이를 갖는 연결 플레이트(320) 를 고정 설치한 후, 상단과 하단의 연결 플레이트(320)의 단부 사이에는 아이들러(340)의 양단이 회전 가능하게 설치된다. 아이들러(340)의 폭은 아이들러(340)가 접하게 되는 구동 벨트(1)의 폭보다 길게 형성되도록 하여, 아이들러(340)가 구동 벨트(1)의 접촉이 안정적으로 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.

아이들러(340) 설치시, 아이들러(340)가 원활히 회전할 수 있도록 하기 위해 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 연결축(342), 축받이(344), 아이들러 베어링(346), 내부 회전축(348)과 같은 구성 요소가 추가로 설치될 수 있다. 도 2는 제1 세팅 플레이트(300A)를 예로 들어 세팅 플레이트의 연결 상태를 나타내고 있으나, 제2 세팅 플레이트(300B)도 동일한 방식으로 설치되므로, 상세한 설명은 생략한다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예의 동작을 설명하면 다음과 같다.

기판 이송 장치에 설치되어 있는 2개의 모터(M)에 전원이 인가되어 구동이 시작되면, 각각의 모터(M)의 회전력은 구동 벨트(1)에 의해 좌측 및 우측에 설치되어 있는 구동부(2)로 전달된다. 전달된 구동력은 풀리(3)를 회전시키고, 풀리(3)의 회전은 풀리(3)의 상부에 연결되어 있는 구동부(2)로 전달되고, 전달받은 구동력에 의해 좌측 및 우측의 구동부(2)가 구동하면서 복수개의 기판이 장착되는 보트가 안착되어 있는 챔버 셔터(6)가 상하로 이동한다.

구동 벨트(1)에 의해 모터(M)에서 구동부(2)로의 동력 전달이 원활히 되도록 하기 위해서는 구동 벨트(1)의 텐션이 모두 동일하게 설정되는 것이 필요하므로, 구동 벨트(1) 각각에는 텐션 조정부(100)가 설치된다. 이때, '工' 형태로 형성된 중앙 블록(200)과 'ㄷ' 형태로 형성된 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)를 서로 연결할 때, 중앙 블록(200)과 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)의 사이에 각각 형성되는 공간으로 구동 벨트(1)가 통과될 수 있도록 한다.

구동 벨트(1)의 텐션은 다음과 같이 설정하도록 한다.

구동 벨트(1)의 중간부에는 텐션 조정부(100)가 설치된다. 텐션 조정부(100)에는 구동 벨트(1)와 접하는 아이들러(340)가 설치되므로, 아이들러(340)와 구동 벨트(1)의 접촉 정도를 변화시키면서 구동 벨트(1)의 텐션을 설정할 수 있다. 다시 말하여, 텐션 조정부(100)를 구성하는 중앙 블록(200)과 제1 세팅 플레이트(300A)에 각각 형성되어 있는 제1 연결단(210)과 제2 연결단(310)은 볼트 연결되는데, 제1 연결단(210)과 제2 연결단(310)이 볼트 연결될 때 중앙 블록(200)과 세팅 플레이트(300)의 연결 각도를 사용자의 필요에 따라 변경하여 설정함으로써 구동 벨트(1)의 텐션을 설정할 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 텐션 조정부의 설정을 설명하기 위한 도면이다.

도시한 바와 같이, 중앙 블록(200)과 제1 세팅 플레이트(300A)의 초기 연결 상태는 a 와 같이 수평 상태로 설정되어 있다. 이때, 구동 벨트(1)의 텐션을 낮추고자 하는 경우에는, 아이들러(340)가 구동 벨트(1)에 접촉될 때의 접촉 압력을 낮추는 것이 필요하다. 따라서, 제1 연결단(210)과 제2 연결단(310)이 연결될 때, 중앙 블록(200)과 제1 세팅 플레이트(300A)의 연결 각도를 도 4의 b 상태로 설정하도록 한다. 제1 세팅 플레이트(300A)의 연결 각도가 b 상태와 같이 설정된 상태에 서 제1 연결단(210)과 제2 연결단(310)을 연결하는 볼트를 고정한 후 텐션 조정부(100)를 기판 이송 장치에 설치하면, 아이들러(340)와 구동 벨트(1)의 접촉 압력이 낮아지게 되고, 이 상태에서 모터(M)를 동작시키면 구동부(2)로 회전력을 전달하는 구동 벨트(1)의 텐션이 낮아지게 된다.

그리고, 구동 벨트(1)의 텐션을 높이고자 하는 경우에는 아이들러(340)가 구동 벨트(1)에 접촉될 때의 접촉 압력을 높이는 것이 필요하다. 따라서, 제1 연결단(210)과 제2 연결단(310)이 연결될 때, 중앙 블록(200)과 제1 세팅 플레이트(300A)의 연결 각도를 도 4의 c 상태로 설정하도록 한다. 제1 세팅 플레이트(300A)의 연결 각도가 c 상태와 같이 설정된 상태에서 제1 연결단(210)과 제2 연결단(310)을 연결하는 볼트를 고정한 후, 텐션 조정부(100)를 기판 이송 장치에 설치하면, 아이들러(340)와 구동 벨트(1)의 접촉 압력이 낮아지게 되고, 이 상태에서 모터(M)를 동작시키면 구동부(2)로 회전력을 전달하는 구동 벨트(1)의 텐션이 높아지게 된다.

제1 세팅 플레이트(300A)의 조정을 예로 들어 구동 벨트의 텐션 조절을 설명하였으나, 제2 세팅 플레이트(300B)를 이용한 구동 벨트의 텐션 조절도 동일한 방식으로 이루어진다.

한편, 본 발명의 기판 이송 장치에는 복수개의 모터(M)가 설치되고, 각각의 모터(M)는 구동 벨트(1)에 의해 구동부(2)와 연결되므로 각각의 구동 벨트(1)마다 텐션 조정부(100)를 설치하고, 상기한 바와 같은 방법으로 텐션 조정부(100)를 조정하여 구동 벨트(1)의 텐션을 설정한다.

중앙 블록(200)과 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)의 연결 각도가 설정된 상태에서, 중앙 블록(200)과 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)로 이루어진 텐션 조정부(100)를 기판 이송 장치에 고정하도록 한다. 이때, 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)에는 볼트홀(304)이 복수개로 형성되어 있으므로, 중앙 블록(200)과 세팅 플레이트(300)의 설정이 완료된 후 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)의 볼트홀(304)에 볼트를 삽입하여 프레임(10)에 고정함으로써, 기판 이송 장치가 동작하면서 발생하는 구동 벨트(1)가 아이들러(340)와 접촉할 때의 접촉 압력에 의해 중앙 블록(200)과 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)의 연결 각도가 변화되지 않도록 하여 구동 벨트(1)의 텐션이 유지되도록 한다.

특히, 본 발명에서는 중앙 블록(200)의 양측으로 설치되어 있는 제1 및 제2 세팅 플레이트(300A, 300B)를 통하여 각 세팅 플레이트를 통과하는 구동 벨트(1)의 텐션을 독립적으로 조절할 수 있다. 그 결과 4개의 구동부(2)에 전달되는 각각의 구동력을 독립적으로 미세하게 조절할 수 있기 때문에 기판 이송 과정에서 기판의 수평 유지가 보다 수월하게 이루어질 수 있는 이점이 있다.

또한, 센서 블록(330)에 의해 텐션 조정부(100)에 설치된 벨트 센서(미도시)를 사용하여 구동 벨트(1)의 장력(텐션)측정할 수 있다, 구동 벨트(1)의 장력은 의도치 않은 방향으로 변화될 수 있다. 이를 테면, 구동 벨트(1)가 갑작스럽게 끊어지는 경우도 있을 수 있으며, 합성 수지 재질로 구성된 구동 벨트(1)의 장시간 사용으로 인하여 구동 벨트(1)의 늘어짐이 발생하는 경우도 있을 수 있다. 또한, 경우에 따라서는 제1 연결단(210)과 제2 연결단(310)을 연결하는 볼트가 고정되지 않아서 구동 벨트(1)의 장력이 변화하는 경우도 있을 수 있다. 벨트 센서는 위와 같은 장력의 변화를 감지하기 위하여 이용되며, 벨트 센서로 구동 벨트(1)의 장력을 측정한 결과 구동 벨트(1)의 장력이 의도치 않은 방향으로 변화하는 경우, 작업자는 적절한 조치를 취함으로써 기판 이송 장치의 동작 불량을 최소화할 수 있을 것이다.

상기와 같이 텐션 조정부(100)에 의해 구동 벨트(1)의 텐션이 설정되면 사용자는 설치되어 있는 2개의 모터(M)를 동일하게 동작시킨다. 모터(M)의 동작에 의 해 발생된 구동력은 감속부(M1)를 통해 알맞은 회전수로 감속된 후 구동 벨트(1)로 전달되고, 구동 벨트(1)에 의해 전달된 모터(M)의 구동력은 풀리(3)를 통해 구동부(2)로 전달되어 구동부(2)의 나선축을 회전시킨다. 이때, 구동 벨트(1)의 텐션이 모두 동일하게 설정되어 있기 때문에 구동부(2)로는 동일한 구동력이 전달되어, 각각의 구동부(2)는 동일한 방향으로 연동하게 된다.

연결 로드(4)에 의해 챔버 셔터(6)의 4 코너 부위를 지지할 수 있도록 설치되어 있는 구동부(2)는 동일한 구동력을 전달받아 동작하고, 이에 따라 보트(미도시)가 수평을 유지하면서 상하로 이송될 수 있게 된다.

본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 텐션 조정부의 구성을 나타내는 도면.

도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 텐션 조정부의 구성을 나타내는 분해 사시도.

도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 구성을 나타내는 사시도.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 텐션 조정부의 설정을 설명하기 위한 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 구동 벨트

2: 구동부

3: 풀리

4: 연결 로드

5: 지지대

6: 챔버 셔터

100: 텐션 조정부

200: 중앙 블록

210: 제1 연결단

300A, 300B: 제1 및 제2 세팅 플레이트

310: 제2 연결단

320: 연결 플레이트

330: 센서 블록

340: 아이들러

M: 전동부(모터)

M1: 감속부

Claims (8)

1. 대면적 기판 처리 시스템에 적용되는 기판 이송 장치로서,

   기판의 이송을 위한 동력을 발생하는 복수개의 전동부;

   상기 전동부의 회전속도를 감속시키는 복수개의 감속부;

   상기 감속부를 통하여 전달된 동력에 의해 상하로 이동하면서 상기 기판을 이송하는 복수개의 구동부;

   상기 전동부에서 발생된 동력을 상기 구동부로 전달하는 구동 벨트; 및

   상기 구동 벨트의 텐션을 조절하는 텐션 조절부

   를 포함하고,

   상기 복수개의 전동부는 서로 연동되어 있으며, 상기 복수개의 전동부에 의해 상기 복수개의 구동부가 동시에 구동되며,

   상기 텐션 조절부는

   양 단부에 제1 연결단이 형성되는 중앙 블록;

   상기 중앙 블록 양측으로 연결되는 제1 및 제2 세팅 플레이트;

   상기 제1 및 제2 세팅 플레이트의 일측으로 형성되고 상기 제1 연결단에 연결되는 제2 연결단; 및

   상기 제1 및 제2 세팅 플레이트에 설치되는 아이들러

   를 포함하고,

   상기 중앙 블록과 상기 제1 및 제2 세팅 플레이트간의 연결 상태를 조절함으로써 상기 아이들러와 상기 구동 벨트의 밀착 정도를 변화시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
2. 제1항에 있어서,

   2개의 전동부, 2개의 감속부 및 4개의 구동부를 포함하며, 상기 2개의 전동부에 의해 상기 4개의 구동부가 동시에 구동되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 전동부는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 감속부는 웜기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 구동부는 볼 스크류(ball screw)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
6. 삭제
7. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 중앙 블록과 상기 제1 및 제2 세팅 플레이트간의 연결 상태는 각각 독립적으로 조정되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
8. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 제1 세팅 플레이트 또는 제2 세팅 플레이트의 후방에 센서 블록에 의해 설치되어 상기 구동 벨트의 장력을 측정하는 벨트 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.

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