KR100965238B1 - Substrate for immobilizing physiological material, and a method of preparing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판; 상기 기판 위에 형성된 감응제층(sensitizing agent layer); 및 상기 감응제층 위에 형성된 금 박막을 포함하고, 상기 금 박막의 두께는 30 내지 200nm이고, 상기 금 박막 샘플에 1.5도의 입사각으로 조사할 때 (111) 및 (200) 면에서 XRD 피크를 나타내는 생체물질 고정용 기판을 제공한다. 상기 생체물질 고정용 기판은 기판 위에 감응제를 포함하는 코팅액을 코팅하여 감응제층을 형성하는 단계; 상기 감응제층이 형성된 기판을 금 콜로이드 분산액을 코팅하여 시드(seed) 콜로이드 촉매층을 형성하는 단계; 상기 시드 콜로이드 촉매층이 형성된 기판을 건조 또는 열처리하는 단계; 및 금염 함유 수용액과 환원제 용액의 혼합물로 이루어진 코팅액으로 기판을 코팅하여 금 박막을 얻는 단계를 포함하는 공정에 의하여 제조된다.The present invention relates to a substrate; A sensitizing agent layer formed on the substrate; And a gold thin film formed on the sensitizer layer, wherein the gold thin film has a thickness of 30 to 200 nm and exhibits XRD peaks at (111) and (200) planes when the gold thin film is irradiated with an incident angle of 1.5 degrees. Provided is a substrate for fixing. The substrate for fixing the biomaterial is formed by coating a coating solution including a sensitizer on the substrate to form a sensitizer layer; Coating a gold colloidal dispersion on the substrate on which the sensitizer layer is formed to form a seed colloidal catalyst layer; Drying or heat-treating the substrate on which the seed colloidal catalyst layer is formed; And coating the substrate with a coating solution consisting of a mixture of a gold salt-containing aqueous solution and a reducing agent solution to obtain a gold thin film.

시드콜로이드, 감응제, 금박막, 생체물질, 고정화, 바이오칩Seed colloid, sensitizer, gold thin film, biomaterial, immobilization, biochip

Description

생체물질 고정용 기판 및 이의 제조방법{SUBSTRATE FOR IMMOBILIZING PHYSIOLOGICAL MATERIAL, AND A METHOD OF PREPARING THE SAME}SUBSTRATE FOR IMMOBILIZING PHYSIOLOGICAL MATERIAL, AND A METHOD OF PREPARING THE SAME}

도 1은 본 발명의 생체물질 고정용 기판의 제조공정 단계를 보인 도면.1 is a view showing a manufacturing process step of a substrate for fixing a biomaterial of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시예 1의 금 박막 형성 반응시간에 따른 표면 플라즈몬 공명(SPR) 효과를 보인 도면.2 is a view showing the surface plasmon resonance (SPR) effect according to the gold thin film formation reaction time of Example 1 of the present invention.

도 3a 및 도 3b는 각각 본 발명의 실시예 1 및 비교예 1의 방법으로 형성된 금 박막에 대한 XRD 분석 결과를 보인 도면.3A and 3B show XRD analysis results of gold thin films formed by the methods of Example 1 and Comparative Example 1 of the present invention, respectively.

도 4a 및 도 4b는 각각 본 발명의 실시예 1의 생체물질 고정용 기판의 평면 및 단면의 전자 현미경 사진. 4A and 4B are electron micrographs of a plane and a cross section of a substrate for fixing a biomaterial according to Example 1 of the present invention, respectively.

도 5a 및 도 5b는 비교예 1의 생체물질 고정용 기판의 평면 및 단면의 전자 현미경 사진. 5A and 5B are electron micrographs of a plane and a cross section of a substrate for fixing a biomaterial of Comparative Example 1;

도 6a 및 도 6b는 비교예 2의 생체물질 고정용 기판의 평면 및 단면의 전자 현미경 사진. 6a and 6b are electron micrographs of the plane and cross section of the substrate for fixing a biomaterial of Comparative Example 2.

도 7은 본 발명의 실시예 1 및 비교예 2의 생체물질 고정용 기판의 투과율을 보인 도면.7 is a view showing the transmittance of the substrate for fixing the biological material of Example 1 and Comparative Example 2 of the present invention.

[발명이 속하는 기술분야][TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION]

본 발명은 생체물질 고정용 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 투명도와 SPR 특성이 우수한 생체물질 고정용 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate for fixing a biomaterial and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a substrate for fixing a biomaterial and a method for manufacturing the same having excellent transparency and SPR characteristics.

[종래기술][Private Technology]

최근 들어 생명공학과 반도체 제조 기술을 접목시켜 핵산, 단백질, 효소, 항원, 항체 등과 같은 생체물질 분자들의 활성을 밝히려는 노력이 전세계적으로 확산되고 있다. 작은 실리콘 칩 위에 반도체 가공 기술을 이용하여 미세한 특정한 구역 내에 원하는 생체물질 분자를 고정한 바이오 칩을 생화학적으로 일괄 검색하면 유용한 정보를 쉽게 얻어낼 수 있다. Recently, efforts to discover the activity of biomaterial molecules such as nucleic acids, proteins, enzymes, antigens, antibodies and the like by combining biotechnology and semiconductor manufacturing technology are spreading around the world. By using semiconductor processing technology on small silicon chips, biochemically searching biochips in which desired biomolecule molecules are fixed within a specific area can be easily obtained.

바이오칩은 생물에서 유래된 효소, 단백질, 항체, DNA, 미생물, 동식물 세포 및 기관, 신경세포 및 기관, 신경세포 등과 같은 생체 유기물과 반도체와 같은 무기물을 조합하여 기존의 반도체 칩 형태로 만든 소자이다. 바이오 칩은 크게 DNA 탐침(probe)이 고정된 "DNA 칩", 효소, 항체, 항원 등과 같은 단백질이 고정된 "단백질 칩", 시료의 전처리, 생화학 반응, 검출, 자료해석 기능까지 소형 집적화 되어 자동 분석기능을 갖는 "lab-on-a-chip" 등으로 분류될 수 있다.Biochip is a device made in the form of a conventional semiconductor chip by combining biological organisms such as enzymes, proteins, antibodies, DNA, microorganisms, animal and plant cells and organs, nerve cells and organs, neurons derived from living organisms and inorganic materials such as semiconductors. Biochips are largely integrated with DNA probes with fixed DNA probes, protein proteins with enzymes, antibodies, antigens, etc., and sample pretreatment, biochemical reactions, detection, and data analysis. It can be classified into "lab-on-a-chip" having an analysis function.

이러한 바이오칩을 개발하기 위해서는 생체물질과 고정화 기판의 계면을 효율적으로 형성하고 생체물질의 고유 기능을 최대한 활용할 수 있도록 하는 생체물질의 고정화 기술이 중요하다. 생체물질의 고정화는 슬라이드 유리, 실리콘 웨이 퍼, 마이크로웰 플레이트(microwell plate), 튜브, 구형 입자, 다공성막 표면에서 일어난다. 특히 DNA칩이나 단백질칩 등과 같은 바이오칩에서는 관련 생체물질을 마이크로미터 스케일의 제한된 영역에 고정화하는 일이 무엇보다 중요하다.In order to develop such a biochip, an immobilization technology of biomaterials that effectively forms an interface between the biomaterial and the immobilization substrate and makes the most of the unique functions of the biomaterial is important. Immobilization of biomaterials occurs on slide glass, silicon wafers, microwell plates, tubes, spherical particles, and porous membrane surfaces. In particular, in biochips such as DNA chips and protein chips, it is important to fix related biomaterials in limited areas on a micrometer scale.

단백질 고정용으로 사용되는 대표적인 기질의 하나인 금의 경우 금 표면에 화학적 결합형성이 가능한 설파이드, 다이설파이드 등의 기능기를 가진 티옥틱 에시드(thioctic acid), L-시스테인(L-cysteine), 머캅토프로필 에시드(mercaptopropyl acid), 파라아미노티오펜(paraaminothiophene), 시스테아민(cysteamine) 등이 흔히 사용되고 있으며, 분자의 한쪽 말단에 금과 반응이 가능한 -SH, -NH2 등의 기능기를 가지고 다른 말단은 단백질과 친화력이 우수한 -OH, -NH2 등의 기능기를 가진 칼리사렌(calixarene), 사이클로덱스트린(cyclodextrine) 등의 유도체가 포함되어 있다. 또한 고분자를 통한 2차원적 그물구조로 -NH2 기를 형성하기 위하여 폴리-L-리신(poly-L-lysine)을 사용하기도 한다(Biosensors & Bioelectronics, 13, 1213 (1998), Anal Biochem. 272, 66 (1999)). Gold, one of the typical substrates used for fixing proteins, has thioctic acid, L-cysteine, and mercapto having functional groups such as sulfide and disulfide, which can form chemical bonds on the surface of gold. Propyl acid (mercaptopropyl acid), paraaminothiophene, cysteamine, etc. are commonly used, and have other functional groups such as -SH and -NH 2 capable of reacting with gold at one end of the molecule and the other end. Derivatives such as calixarene and cyclodextrine having functional groups such as -OH and -NH 2 having excellent affinity with silver proteins are included. In addition, poly-L-lysine is used to form -NH 2 groups as a two-dimensional network through polymers (Biosensors & Bioelectronics, 13, 1213 (1998), Anal Biochem. 272, 66 (1999).

유리나 실리콘 웨이퍼 또는 플라스틱 기판 상에 단백질 고정화가 가능한 금 표면을 형성하기 위해서 가장 일반적으로 사용하는 방법이 증착법(sputtering) 또는 증발법(evaporation)이다. 그러나 이 방법들은 고가의 정밀한 진공설비가 필요하며 대량생산 시 대규모 투자가 불가피하다는 단점이 있다.Sputtering or evaporation is the most commonly used method for forming a gold surface capable of protein immobilization on glass, silicon wafers or plastic substrates. However, these methods require expensive and precise vacuum facilities and large-scale investment is inevitable in mass production.

1960년 Samuel Wein에 의해 발표된 금 코팅 기술("Gold Films", The Glass Industry, May 1959 p.280 and June 1959, p330)은 침적방법이나 스프레이 방법에 의해 원하는 금 표면을 얻을 수 있었다. 그러나 반응속도가 느리고 고온을 요구하는 단점이 있다.The gold coating technology ("Gold Films", The Glass Industry, May 1959 p.280 and June 1959, p330), published by Samuel Wein in 1960, achieved the desired gold surface by deposition or spray methods. However, the reaction rate is slow and requires a high temperature.

이밖에도 자발촉매 금 박막형성(autocatalytic gold deposition)에 의한 많은 연구들이 있어 예를 들어 미국특허 제3,700,469호에서는 시안화금 착체와 알칼리 금속 보로하이드라이드(borohydride) 또는 디메틸아민 보란(dimethylamine borane)을 환원제로 이용하여 박막을 형성하는 방법을 제시하였다. 그러나 이러한 방법들 역시 환원제의 가수분해 반응을 위해서는 온도를 올려야 하고 용액 내에서 금 용액의 자발적 분해에 의하여 슬러지가 발생하는 문제점이 있다.In addition, many studies have been conducted by autocatalytic gold deposition. For example, US Pat. No. 3,700,469 uses gold cyanide complexes and alkali metal borohydride or dimethylamine borane as reducing agents. It was proposed a method of forming a thin film. However, these methods also have to raise the temperature for the hydrolysis reaction of the reducing agent and there is a problem that the sludge is generated by the spontaneous decomposition of the gold solution in the solution.

최근 들어서는 전자제품 패키징에 사용하기 위하여 용액의 pH를 낮춘 비시안화물(non-cyanide) 금 착체를 사용한 특허들이 출원되고 있다(미국특허 제4,804,559호; 제5,198,273호; 제5,202,151호; 제5,318,621호; 제5,470,381호; 제5,935,306호). 상기 특허들에 의하여 제안된 방법들은 회로기판, IC칩과 같은 전자제품에 활용하기 위하여 개발되었으며 일반적으로 금 박막의 두께는 0.5에서 2마이크로미터 정도이다. Recently, patents have been filed using non-cyanide gold complexes that lower the pH of a solution for use in electronics packaging (US Pat. Nos. 4,804,559; 5,198,273; 5,202,151; 5,318,621; 5,470,381; 5,935,306). The methods proposed by the above patents have been developed for use in electronic products such as circuit boards and IC chips. In general, the thickness of the gold thin film is about 0.5 to 2 micrometers.

한편 단백질칩 또는 DNA칩과 같은 바이오칩의 분석장치는 칩에 결합하는 생체물질의 상호작용을 분석하는 장치로 그 핵심기술은 현재 레이져 발광 이미지 해석기술, 전기화학적 분석기술, SPR(Surface Plasmon Resonance)과 SELDI(Surface-Enhanced Laser Desorption/Ionization) TOF 등의 기술이 이용되며 특히 금 박막 기판의 경우에는 SPR 기술과 같은 광학적인 방법과 전기화학적 분석기술이 주로 이 용되고 있다. 결국, 상기 특허에 의한 방법으로는 이러한 분석기술을 적용하기 어려운 문제점이 있어 0.1 마이크로미터 이하의 균일한 두께를 얻을 수 있는 코팅방법이 필요하다.On the other hand, the analysis device of biochips such as protein chips or DNA chips is a device for analyzing the interaction of biomaterials that bind to the chip. The core technologies are laser emission image analysis technology, electrochemical analysis technology, surface plasma resonance technology (SPR) and Technologies such as Surface-Enhanced Laser Desorption / Ionization (SELDI) TOF are used, and in the case of gold thin film substrates, optical methods such as SPR technology and electrochemical analysis techniques are mainly used. After all, the method according to the patent has a problem that it is difficult to apply such an analysis technology, there is a need for a coating method that can obtain a uniform thickness of 0.1 micrometer or less.

최근, 미국특허 제6,168,825호에서는 금이온 용액과 환원제를 이용하여 300나노미터 이하의 박막을 제조할 수 있었으나 자발적 분해에 의하여 슬러지가 발생하는 문제점이 여전히 잔존하고 있다. Yongdong Jin 등(Anal. Chem., 2001, vol73, 2843-2849)에 의해서는 아미노실란 코팅 기판상에 금 콜로이드를 형성한 후 상기 방법에 의하여 SPR 기판으로서의 활용 가능성을 제시하였으나 SPR 특성이 기존 스퍼터링(sputtering) 금 기판보다는 많이 떨어지는 문제점이 나타났다.Recently, in US Pat. No. 6,168,825, a thin film of 300 nanometers or less could be manufactured using a gold ion solution and a reducing agent, but the problem of sludge generation due to spontaneous decomposition still remains. Yongdong Jin et al. (Anal. Chem., 2001, vol73, 2843-2849) suggested the possibility of use as an SPR substrate by the above method after forming a gold colloid on an aminosilane-coated substrate. The problem of falling much more than the sputtering gold substrate appeared.

상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자, 본 발명은 투명도와 SPR 특성이 우수한 생체물질 고정용 기판을 제공하기 위한 것이다.In order to solve the problems of the prior art as described above, the present invention is to provide a substrate for fixing a biological material excellent in transparency and SPR characteristics.

본 발명의 다른 목적은 투명도와 SPR 특성이 우수한 생체물질 고정용 기판의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a substrate for fixing a biomaterial having excellent transparency and SPR characteristics.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 기판; 상기 기판 위에 형성된 감응제층(sensitizing agent layer); 및 상기 감응제층 위에 형성된 금 박막을 포함하고, 상기 금 박막의 두께는 50 나노미터 이하이고, 상기 금 박막 샘플에 1.5도의 입사각으로 조사할 때 (111) 및 (200) 면에서 XRD 피크를 나타내는 생체물질 고정용 기판을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention is a substrate; A sensitizing agent layer formed on the substrate; And a gold thin film formed on the sensitizer layer, wherein the gold thin film has a thickness of 50 nanometers or less, and exhibits XRD peaks at (111) and (200) planes when irradiated with an incident angle of 1.5 degrees to the gold thin film sample. Provided is a substrate for fixing substances.                     

또한 본 발명은 생체물질 고정용 기판 위에 감응제를 포함하는 코팅액을 코팅하여 감응제층을 형성하는 단계; 상기 감응제층이 형성된 기판을 금 콜로이드 분산액을 코팅하여 시드(seed) 콜로이드 촉매층을 형성하는 단계; 상기 시드 콜로이드 촉매층이 형성된 기판을 건조 또는 열처리하는 단계; 및 금염 함유 수용액과 환원제 용액의 혼합물로 이루어진 코팅액으로 기판을 코팅하여 금 박막을 얻는 단계를 포함하는 생체물질 고정용 기판의 제조방법을 제공한다.In another aspect, the present invention is to form a sensitizer layer by coating a coating liquid containing a sensitizer on a substrate for fixing a biomaterial; Coating a gold colloidal dispersion on the substrate on which the sensitizer layer is formed to form a seed colloidal catalyst layer; Drying or heat-treating the substrate on which the seed colloidal catalyst layer is formed; And coating a substrate with a coating liquid consisting of a mixture of a gold salt-containing aqueous solution and a reducing agent solution to obtain a gold thin film.

또한 본 발명은 상기 생체물질 고정용 기판에 고정된 생체물질을 포함하는 바이오칩을 제공한다. The present invention also provides a biochip comprising a biomaterial fixed to the substrate for fixing the biomaterial.

이하, 본 발명을 더욱 자세히 설명하고자 한다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

본 발명의 생체물질 고정용 기판은 기판 위에 형성된 감응제층과 그 위에 형성된 금 박막을 포함한다. 상기 기판은 투명한 고체 기질 또는 실리콘 웨이퍼와 같은 불투명 고체 기질 어느 것도 사용 가능하다. 바람직하게는 환경적으로 안정하거나 내화학성을 가진 유리, 폴리카보네이트, 폴리에스터, 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP) 또는 웨이퍼 등이 가능하나, 이들에 한정되는 것은 아니다. The substrate for fixing a biomaterial of the present invention includes a sensitizer layer formed on the substrate and a gold thin film formed thereon. The substrate may use either a transparent solid substrate or an opaque solid substrate such as a silicon wafer. Preferably, environmentally stable or chemically resistant glass, polycarbonate, polyester, polyethylene (PE), polypropylene (PP), wafer, or the like is possible, but is not limited thereto.

상기 감응제층에 사용되는 감응제 물질로는 주석(tin), 인듐(induim), 팔라듐(palladium), 게르마늄(germanium), 알루미늄(aluminum), 납(lead), 티타늄(titanium), 갈륨(gallium), 이들의 염, 혼합물 등이 사용될 수 있다. 상기 염의 바람직한 예로는 PdCl2, PbCl2 GeCl2, InCl3, AlCl 3, GaCl3, TiCl, SnCl2와 같은 염화물, 또는 불화물 등이 있으며, 이중에서 SnCl2와 같은 염화주석이 가장 바람직 하다. Examples of the sensitizer material used in the sensitizer layer include tin, indium, palladium, germanium, aluminum, lead, titanium, and gallium. , Salts thereof, mixtures and the like can be used. Preferred examples of the salt include chlorides such as PdCl 2 , PbCl 2 GeCl 2 , InCl 3 , AlCl 3 , GaCl 3 , TiCl, SnCl 2 , or fluorides, among which tin chloride, such as SnCl 2 , is most preferred.

상기 금 박막의 두께는 30 내지 200nm이고, 바람직하게는 30 내지 70nm이고, 더욱 바람직하게는 30 내지 50 nm이고, 상기 금 박막 샘플에 1.5도의 입사각으로 조사할 때 (111) 및 (200) 면에서 XRD 피크를 나타낸다. XRD 측정은 기질 표면에 금 박막을 형성하고 Cu 타겟을 사용하고 0.02도/초의 스캔 속도로 스캔하여 실시하는 것이 바람직하다.The thickness of the gold thin film is 30 to 200 nm, preferably 30 to 70 nm, more preferably 30 to 50 nm, in terms of (111) and (200) when irradiating the gold thin film sample with an incident angle of 1.5 degrees. XRD peaks are shown. XRD measurements are preferably carried out by forming a thin film of gold on the substrate surface and using a Cu target and scanning at a scan rate of 0.02 degrees / second.

본 발명의 생체물질 고정용 기판은 티옥틱 에시드(thioctic acid), L-시스테인(L-cysteine), 머캅토프로필 에시드(mercaptopropyl acid), 파라아미노티오펜(paraaminothiophene), 시스테아민(cysteamine) 등을 이용하여 생체물질을 기판에 고정할 수 있으며, 생체물질의 고정 여부 및 생체물질들의 상호작용을 SPR 또는 전기화학적 방법 등과 같은 바이오칩 분석방법에 의하여 분석 가능하다.The substrate for immobilizing the biomaterial of the present invention is thioctic acid (thioctic acid), L-cysteine (L-cysteine), mercaptopropyl acid (mercaptopropyl acid), paraaminothiophene (paraaminothiophene), cysteamine (cysteamine), etc. The biomaterial may be fixed to the substrate using the biochip analysis method such as fixing of the biomaterial and interaction of the biomaterials by SPR or electrochemical method.

본 발명에서 "생체물질"이라 함은 생물에서 유래되거나, 이와 동등한 것이나 생체외에서 제조된 것을 모두 포함하며, 예컨대 효소, 단백질, 항체, 미생물, 동식물 세포 및 기관, 신경세포, DNA, 및 RNA 등을 의미한다. 더욱 바람직하게는 DNA, RNA 또는 단백질일 수 있으며, 여기서, 상기 DNA는 cDNA, 게놈 DNA, 올리고뉴클레오타이드를 포함하며, 상기 RNA는 게놈 RNA, mRNA, 올리고뉴클레오타이드를 포함하며, 상기 단백질의 예로는 항체, 항원, 효소, 펩타이드 등을 포함한다. In the present invention, the term "biomaterial" includes all of those derived from an organism, equivalent thereto, or manufactured in vitro, and examples thereof include enzymes, proteins, antibodies, microorganisms, animal and plant cells and organs, nerve cells, DNA, RNA, and the like. it means. More preferably, it may be DNA, RNA or protein, wherein the DNA comprises cDNA, genomic DNA, oligonucleotide, the RNA comprises genomic RNA, mRNA, oligonucleotide, examples of the protein include antibodies, Antigens, enzymes, peptides and the like.

생체물질은 포토리소그래피(photolithography) 방법, 잉크젯 프린터와 같은 압전 인쇄(piezoelectric printing) 방법, 마이크로 피펫팅, 스폿팅(spotting) 등 의 방법을 통하여 고정화 기판에 고정될 수 있다.The biomaterial may be fixed to the immobilized substrate through a photolithography method, a piezoelectric printing method such as an inkjet printer, micro pipetting, spotting, or the like.

본 발명의 생체물질 고정용 기판의 제조공정의 개략도는 도 1에 도시되어 있다. 먼저 세정된 기판(1)을 감응제를 함유하는 슬러리 상태의 코팅액으로 코팅하여 감응제층(2)을 형성한다. 감응제로 사용되는 물질은 상기 기재된 바와 같고, 코팅액은 감응제를 희석용매에 첨가하여 제조한다. 상기 희석 용매는 물, 또는 물과 유기용매의 혼합용매가 사용가능하다. 상기 유기용매로는 메탄올, 에탄올, 프로판올, 셀루솔브류 용매, 및 디메틸포름알데히드로 이루어진 군에서 선택되는 것이 바람직하다.A schematic diagram of the manufacturing process of the substrate for fixing a biomaterial of the present invention is shown in FIG. 1. First, the cleaned substrate 1 is coated with a coating liquid in a slurry state containing a sensitizer to form a sensitizer layer 2. The material used as the sensitizer is as described above, and the coating liquid is prepared by adding the sensitizer to the diluent solvent. The diluting solvent may be water or a mixed solvent of water and an organic solvent. The organic solvent is preferably selected from the group consisting of methanol, ethanol, propanol, cellulose solvents, and dimethylformaldehyde.

코팅액에 함유된 감응제의 농도는 0.01중량% 내지 50중량%인 것이 바람직하다. 감응제의 농도가 0.01중량%보다 낮으면 감응제로서의 효과가 나타나지 않으며 50중량%보다 높으면 기판이 불균일해진다. 코팅방법으로는 침적법(dipping), 스프레이법, 스핀코팅법, 프린팅법 등과 같은 습식 코팅방법이 이용될 수 있으며, 이중에서 침적법이나 스프레이 코팅법이 바람직하다. 침적코팅시 침적시간은 1분 이상이면 된다. 코팅한 다음 순수(demineralized water)로 세정하여 기판에 묻은 과량의 감응제를 제거한다. 그런 다음 건조하여 감응제층을 형성한다. The concentration of the sensitizer contained in the coating liquid is preferably 0.01% by weight to 50% by weight. If the concentration of the sensitizer is lower than 0.01% by weight, no effect as a sensitizer is exhibited. If the concentration of the sensitizer is higher than 50% by weight, the substrate becomes uneven. As the coating method, a wet coating method such as dipping, spraying, spin coating, printing, or the like may be used, and among these, dipping or spray coating is preferable. The deposition time during the deposition coating should be at least 1 minute. The coating is then cleaned with demineralized water to remove excess sensitizer on the substrate. It is then dried to form a sensitizer layer.

감응제층(2)이 형성된 기판을 금 콜로이드 분산액을 코팅하여 시드 콜로이드 촉매층(3)을 형성한다. 시드 콜로이드 촉매층(3)은 입경이 5nm 내지 500nm인 금 콜로이드를 포함한다. The substrate on which the sensitizer layer 2 is formed is coated with a gold colloidal dispersion to form a seed colloidal catalyst layer 3. The seed colloid catalyst layer 3 includes a gold colloid having a particle diameter of 5 nm to 500 nm.

상기 금 콜로이드 분산액은 금염, 환원제, 안정화제 및 용매를 포함한다. 상기 금염으로는 HAuCl4, NaAuCl4 등의 금 염화물이 사용될 수 있으며 이에 한정되는 것은 아니다. 금염의 농도는 금 콜로이드 분산액을 기준으로 0.001 내지 10 중량%인 것이 바람직하고 0.005 내지 1 중량%인 것이 더 바람직하다. 금염의 농도가 10 중량%보다 높으면 콜로이드 입자의 단분산성이 떨어지므로 바람직하지 않고, 금염의 농도가 0.001 중량%보다 낮으면 시드 콜로이드 촉매층을 형성하기에 충분하지 않다.The gold colloidal dispersion contains a gold salt, a reducing agent, a stabilizer and a solvent. As the gold salt, gold chlorides such as HAuCl 4 and NaAuCl 4 may be used, but are not limited thereto. The concentration of the gold salt is preferably 0.001 to 10% by weight and more preferably 0.005 to 1% by weight based on the gold colloidal dispersion. If the concentration of the gold salt is higher than 10% by weight, the monodispersibility of the colloidal particles is lowered, which is not preferable. If the concentration of the gold salt is lower than 0.001% by weight, it is not sufficient to form the seed colloidal catalyst layer.

상기 환원제로는 NaBH4, 티오시아네이트, 포타슘 카보네이트, 트리소듐 시트레이트 또는 이들의 수화물, 탄닌산(tannic acid), 히드록시아민 또는 그 염 또는 이들의 혼합물 등이 사용가능하다. 상기 환원제의 농도는 금 콜로이드 분산액에 대하여 0.01 내지 10 중량%인 것이 바람직하고 0.1 내지 5 중량%인 것이 더 바람직하다.The reducing agent may be NaBH 4 , thiocyanate, potassium carbonate, trisodium citrate or hydrates thereof, tannic acid, hydroxyamine or salts thereof, or mixtures thereof. The concentration of the reducing agent is preferably 0.01 to 10% by weight and more preferably 0.1 to 5% by weight based on the gold colloidal dispersion.

안정화제로는 소듐 시트레이트 등이 사용가능하다. 상기 용매는 물, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 셀루솔브류 용매, 및 디메틸포름알데히드로 이루어진 군에서 선택된다.As a stabilizer, sodium citrate etc. can be used. The solvent is selected from the group consisting of water, methanol, ethanol, propanol, cellulose solvents, and dimethylformaldehyde.

코팅방법으로는 침적법, 스프레이법, 스핀코팅법, 프린팅법 등과 같은 습식 코팅방법이 이용될 수 있으며, 이중에서 침적법이 바람직하다. 침적 코팅시 침적시간은 1분 이상이면 충분하다.As the coating method, a wet coating method such as a deposition method, a spray method, a spin coating method, a printing method, or the like may be used, and among these, the deposition method is preferable. In immersion coating, immersion time of 1 minute or more is sufficient.

시드 콜로이드가 흡착되어 시드 콜로이드 촉매층(3)이 형성된 기판을 건조 또는 열처리한다. 그런 다음 자발촉매 박막형성방법(autocatalytic deposition)을 이용하여 금 박막(4)을 형성하여 생체물질 고정용 기판을 제조한다. 자발촉매 박막 형성시 코팅액은 금염 함유 수용액과 환원제 용액의 혼합물이다. 상기 금염 함유 수용액과 환원제 용액은 별도로 만든 다음 코팅 직전에 혼합하여 사용한다. 상기 금염은 시드 콜로이드 촉매층을 형성하기 위한 코팅액 제조시 사용된 금염과 동일하다. 금염의 농도는 금염 함유 수용액에 대하여 0.01중량% 내지 20중량%의 양으로 사용가능하며, 0.1중량% 내지 10중량%의 농도로 사용하는 것이 더 바람직하다. 금염의 농도가 0.01중량%보다 낮으면 원하는 두께를 얻을 수가 없고 20중량% 이상의 농도에서는 박막의 두께가 불균일하며 고가의 금염이 과량 소모되는 단점이 있다.The seed colloid is adsorbed to dry or heat-treat the substrate on which the seed colloid catalyst layer 3 is formed. Then, a gold thin film 4 is formed by using an autocatalytic deposition method to prepare a substrate for fixing a biomaterial. In forming the spontaneous catalyst thin film, the coating solution is a mixture of a gold salt-containing aqueous solution and a reducing agent solution. The gold salt-containing aqueous solution and the reducing agent solution are separately prepared and then mixed and used immediately before coating. The gold salt is the same as the gold salt used in preparing the coating liquid for forming the seed colloid catalyst layer. The concentration of the gold salt may be used in an amount of 0.01% by weight to 20% by weight with respect to the gold salt-containing aqueous solution, and more preferably used in a concentration of 0.1% by weight to 10% by weight. If the concentration of the gold salt is lower than 0.01% by weight, the desired thickness cannot be obtained. At a concentration of 20% by weight or more, the thickness of the thin film is uneven and expensive gold salt is consumed excessively.

환원제로는 NaBH4, 티오시아네이트, 포타슘 카보네이트, 트리소듐 시트레이트 또는 이들의 수화물, 탄닌산(tannic acid), 히드록시아민 또는 그 염 또는 이들의 혼합물 등이 사용가능하나, 이중에서 히드록시아민 또는 그 염이 균일한 박막을 얻을 수 있어 바람직하다. 환원제 용액의 농도는 0.01mM 내지 1M, 바람직하게는 0.01mM 내지 100mM의 농도로 사용할 수 있다. 환원제의 농도가 0.01mM 이하의 농도는 원하는 금 박막 두께를 얻을 수 없으며 시간이 과다하게 소모된다. 또한 1M 이상의 농도는 반응속도가 빨라 금 박막 두께 조절의 용이성을 떨어진다. The reducing agent may be NaBH 4 , thiocyanate, potassium carbonate, trisodium citrate or hydrates thereof, tannic acid, hydroxyamines or salts thereof, or mixtures thereof, among others hydroxyamine or It is preferable because the salt can obtain a uniform thin film. The concentration of the reducing agent solution may be used in a concentration of 0.01mM to 1M, preferably 0.01mM to 100mM. If the concentration of the reducing agent is 0.01mM or less, the desired gold thin film thickness cannot be obtained and the time is consumed excessively. In addition, the concentration of 1M or more is fast reaction rate is less easy to control the thickness of the gold thin film.

상기 금 박막을 형성하기 위한 코팅방법으로는 도금법을 이용하며, 특히 무전해 도금법(electroless plating)이 이용된다. 즉 금염 함유 수용액과 환원제 용액을 반응용기에서 잘 혼합한 후 시드 콜로이드 촉매층이 형성된 기판을 침적한 다 음 교반하여 금 박막을 형성한다. 금 박막의 두께와 반응시간은 선형적 관계를 가지므로 적정한 시간 침적하여 원하는 두께의 금 박막을 형성할 수 있으며, SPR 특성을 얻기 위하여 10분 정도 반응시키는 것이 바람직하다. 이러한 도금법을 이용하면 박막의 두께를 원하는 나노두께까지 용이하게 조절할 수 있다. 또한 진공증착 설비와 같은 고가의 설비투자가 없어도 대량 생산에 필수적인 대형 기판을 제조할 수 있다.As a coating method for forming the gold thin film, a plating method is used, and in particular, an electroless plating method is used. That is, the gold salt-containing aqueous solution and the reducing agent solution are mixed well in a reaction vessel, and the substrate on which the seed colloidal catalyst layer is formed is deposited and then stirred to form a gold thin film. Since the thickness and the reaction time of the gold thin film have a linear relationship, it is possible to form a gold thin film having a desired thickness by appropriate time deposition, and it is preferable to react for about 10 minutes to obtain the SPR characteristics. By using this plating method, the thickness of the thin film can be easily adjusted to the desired nano-thickness. In addition, it is possible to manufacture large substrates necessary for mass production without expensive equipment investment such as vacuum deposition equipment.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 기재한다. 그러나 하기 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것으로서 본 발명이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described. However, the following examples are intended to illustrate the invention and the present invention is not limited to the following examples.

[실시예]EXAMPLE

실시예 1Example 1

금 콜로이드 분산액의 제조Preparation of Gold Colloidal Dispersion

순수 100ml에 1% HAuCl4·3H2O 수용액 1ml 첨가 후 격렬하게 교반하였다. 1분 후 1% 소듐 시트레이트 수용액 1ml를 첨가하면서 교반하였다. 다시 1분 후 0.075% NaBH4을 함유한 1% 소듐 시트레이트 용액 1ml 첨가하였다. 5분간 더 교반한 후에 4℃에서 보관하였다.To 100 ml of pure water, 1 ml of 1% HAuCl 4 .3H 2 O aqueous solution was added, followed by vigorous stirring. After 1 minute, 1 ml of 1% aqueous sodium citrate solution was added while stirring. After 1 min 1 ml of 1% sodium citrate solution containing 0.075% NaBH 4 was added. After further stirring for 5 minutes, it was stored at 4 ° C.

금 박막 형성용 코팅액의 제조Preparation of Coating Liquid for Gold Thin Film Formation

HAuCl4·3H2O를 순수에 첨가하여 1중량% 농도의 금염화물 수용액을 제조하였다. 환원제로 8mM NH2OH·HCl를 순수에 첨가하여 환원제 용액을 제조하였다. HAuCl 4 .3H 2 O was added to the pure water to prepare an aqueous gold chloride solution at a concentration of 1% by weight. A reducing agent solution was prepared by adding 8 mM NH 2 OH.HCl to pure water as a reducing agent.

생체물질 고정용 기판의 제조Preparation of Biomaterial Fixing Substrate

세정된 슬라이드 글라스(25x75mm)를 SnCl2·2H2O 1% 수용액에 10분간 침적한 후 순수에 5분간 교반 세정한 후 건조하였다. 이 기판을 금 콜로이드 분산액 1시간 침적하여 시드 콜로이드 촉매층을 형성하였다. 시드 콜로이드 촉매층이 형성된 기판을 금 염화물 수용액 1ml와 환원제 용액 40ml가 혼합되어 있는 반응용기에 침적하여 금 박막을 형성하였다. The washed slide glass (25x75mm) was immersed in a 1% aqueous solution of SnCl 2 .2H 2 O for 10 minutes, stirred and washed for 5 minutes in pure water, and dried. This substrate was deposited for 1 hour with a gold colloidal dispersion to form a seed colloidal catalyst layer. The substrate on which the seed colloidal catalyst layer was formed was deposited on a reaction vessel in which 1 ml of an aqueous gold chloride solution and 40 ml of a reducing agent solution were mixed to form a thin gold film.

상기 얻어진 생체물질 고정용 기판에 적합한 두께의 금 박막 기판 얻기 위하여 SPR spectrometer (Optrel GBR, FRG)를 이용하여 SPR 피크가 분명하게 발현되는 반응시간을 측정하였다. 그 결과를 도 2에 나타내었다. 도 2에 도시된 바와 같이 반응시간이 증가할수록 SPR 피크가 더 분명하게 나타남을 알 수 있다.In order to obtain a gold thin film substrate having a thickness suitable for the substrate for fixing the biomaterial, the reaction time was clearly expressed using an SPR spectrometer (Optrel GBR, FRG). The results are shown in FIG. As shown in FIG. 2, it can be seen that as the reaction time increases, the SPR peak appears more clearly.

또한 반응시간에 따른 기판의 전기저항값을 측정하여 하기 표 1에 기재하였다.In addition, it is shown in Table 1 to measure the electrical resistance value of the substrate according to the reaction time.

[표 1]TABLE 1

반응시간
(min)
Reaction time
(min)
22 44 66 88 1010 1212
저항값Resistance over* over * 7.5E+017.5E + 01 1.2E+001.2E + 00 6.4E-16.4E-1 2.6E-012.6E-01 2.1E-012.1E-01

*over: 측성설비의 한계치인 10E7을 넘음* over: exceeds the limit of 10E7 of surveying equipment

표 1에 기재된 바와 같이 반응시간이 길수록 박막의 저항값이 낮아짐을 알 수 있다. 박막의 저항값이 낮다는 것은 그 만큼 코팅막이 치밀하다는 것을 의미한다. As shown in Table 1, the longer the reaction time, the lower the resistance value of the thin film. The low resistance value of the thin film means that the coating is dense.

비교예 1Comparative Example 1

ULVAC사의 SRH-820 스퍼터링 장치를 이용하여 금 박막을 형성한 글라스 기판 을 제조하였다.A glass substrate on which a gold thin film was formed was prepared by using SRVAC-820 sputtering apparatus of ULVAC.

비교예 2Comparative Example 2

10g의 tin(II) chloride-2H2O와 37.3 % HCl 40mL를 1L의 물에 혼합한 후 희석하였다. 이 슬러리 용액에 2분 동안 기판을 침적시킨 후 표면이 마르기 전에 환원제 용액과 금염수용액을 스프레이하여 원하는 금 박막을 형성시켰다. 이때 환원제 용액은 1L의 물에 3% 과산화수소 20mL를 섞은 용액과 1L 물에 소듐 카보네이트 1.2g을 섞은 용액을 사용하기 전 혼합하여 준비하였다. 금염 수용액은 소듐 테트라클로로라우레이트 1.5g과 소듐 카보네이트 1.5g을 물 1L에 녹여 준비하였다. 상기 실시예 1 및 비교예 1의 방법으로 형성된 금 박막에 대하여 구리 타겟을 이용하여 0.02도/초의 스캔속도로 XRD 분석을 실시하였다. detector의 해상도는 0.037도였고 X-ray 조사는 CuKa를 이용하였다. 그 결과를 도 3a 및 도 3b에 도시하였다. 10 g of tin (II) chloride-2H 2 O and 40 mL of 37.3% HCl were mixed with 1 L of water and diluted. After the substrate was dipped in this slurry solution for 2 minutes, the reducing agent solution and the gold salt solution were sprayed to form a desired gold thin film before the surface dries. In this case, the reducing agent solution was prepared by mixing 20 ml of 3% hydrogen peroxide in 1 L of water and 1.2 g of sodium carbonate in 1 L of water. Gold salt solution was prepared by dissolving 1.5 g of sodium tetrachlorolaurate and 1.5 g of sodium carbonate in 1 L of water. XRD analysis was performed on a gold thin film formed by the method of Example 1 and Comparative Example 1 at a scanning speed of 0.02 degrees / second using a copper target. The resolution of the detector was 0.037 degrees and CuKa was used for X-ray irradiation. The results are shown in FIGS. 3A and 3B.

도 3a에서 보는 바와 같이 실시예 1에 따른 박막은 (111) 및 (200) 면에서 결정상이 우선적으로 성장함을 알 수 있다. 이에 비하여 도 3b에 도시된 비교예 1의 박막은 (220) 면에서 결정상이 성장되어 실시예 1의 박막과는 다른 결정상을 보였다.As shown in FIG. 3A, it can be seen that in the thin film according to Example 1, crystal phases preferentially grow in (111) and (200) planes. In contrast, in the thin film of Comparative Example 1 shown in FIG. 3B, the crystal phase was grown on the (220) plane, and thus, the thin film of Comparative Example 1 showed a different crystal phase from the thin film of Example 1.

상기 실시예 1의 생체물질 고정용 기판의 평면과 단면의 전자현미경 사진(SEM)을 도 4a 및 도 4b에 도시하였다. 또한 비교예 1의 생체물질 고정용 기판의 평면과 단면의 전자현미경 사진을 도 5a 및 도 5b에 도시하였다. 또한 미국특허 제6,168,825호에 따라 형성된 비교예 2의 생체물질 고정용 기판의 평면과 단 면의 전자현미경 사진을 도 6a 및 도 6b에 도시하였다.4A and 4B show electron micrographs (SEM) of planes and cross sections of the substrate for fixing a biomaterial according to Example 1. FIG. In addition, electron micrographs of the plane and the cross-section of the substrate for fixing a biomaterial of Comparative Example 1 are shown in FIGS. 5A and 5B. 6A and 6B illustrate electron microscope photographs of planes and cross-sections of the substrate for fixing a biomaterial according to US Pat. No. 6,168,825.

도 4a 및 4b에서 보는 바와 같이 본 발명에 따른 금 박막은 시드 콜로이드에 의해 금 박막이 형성되어 시드 콜로이드를 중심으로 그레인(grain)을 형성함을 알 수 있다. 이에 비하여 도 5a 및 도 5b에 도시된 비교예 1의 금 박막은 이러한 그레인이 관찰되지 않았으며, 도 6a 및 도 6b에 도시된 비교예 2의 경우에는 그레인의 크기가 매우 크고 거칠며 표면 공극이 많이 발생됨을 알 수 있다. As shown in FIGS. 4A and 4B, the gold thin film according to the present invention can be seen that the gold thin film is formed by the seed colloid to form grains around the seed colloid. On the other hand, in the gold thin film of Comparative Example 1 shown in FIGS. 5A and 5B, such grains were not observed. In Comparative Example 2 shown in FIGS. 6A and 6B, the grain size was very large and rough, and the surface pores were large. It can be seen that.

실시예 1의 생체물질 고정용 기판과 비교예 2(미국 특허 제6,168,825호)의 생체물질 고정용 기판의 투과율을 측정하여 도 7에 도시하였다. 도 7에 도시된 바와 같이 실시예 1과 비교예 2는 서로 상반된 투과율을 나타내었다. 실시예 1의 기판은 황금빛의 반사색을 가지며 투과색으로 보면 진한 보라색을 띠었다. 반면에 비교예 2의 기판은 황금빛의 반사색을 가졌으나 투과색은 짙은 자줏빛을 띠었다. 또한 실시예 1의 기판은 가시광선 영역에서 특정 흡수피크가 나타난 반면 비교예 2의 기판은 가시광선 영역에서 특정 흡수피크가 나타나지 않았으며 투과색도 불투명한 것으로 나타났다.The transmittances of the biomaterial-fixing substrate of Example 1 and the substrate for-fixing the biomaterial of Comparative Example 2 (US Pat. No. 6,168,825) were measured and shown in FIG. 7. As shown in FIG. 7, Example 1 and Comparative Example 2 exhibited opposite transmittances. The substrate of Example 1 had a golden reflective color and was dark purple when viewed in transmission color. On the other hand, the substrate of Comparative Example 2 had a golden reflective color, but the transmission color was dark purple. In addition, the substrate of Example 1 showed a specific absorption peak in the visible region, while the substrate of Comparative Example 2 did not show a specific absorption peak in the visible region and the transmission color was also opaque.

본 발명의 생체물질 고정용 기판은 진공증착 설비와 같은 고가의 설비투자가 없어도 대량 생산에 필수적인 대형 기판을 저비용으로 제조할 수 있다.The substrate for fixing a biomaterial of the present invention can produce a large substrate at a low cost, which is essential for mass production, without expensive equipment investment such as vacuum deposition equipment.

Claims (24)

기판; 상기 기판 위에 형성된 감응제층(sensitizing agent layer); 및 상기 감응제층 위에 형성된 금 박막을 포함하고, Board; A sensitizing agent layer formed on the substrate; And a gold thin film formed on the sensitizer layer, 상기 금 박막의 두께는 30 내지 200 nm이고, 상기 금 박막 샘플에 1.5도의 입사각으로 조사할 때 (111) 및 (200) 면에서 XRD 피크를 나타내는 생체물질 고정용 기판으로서,The gold thin film has a thickness of 30 to 200 nm, and when the gold thin film sample is irradiated with an incident angle of 1.5 degrees exhibits an XRD peak at (111) and (200) plane, 상기 생체물질 고정용 기판은 The substrate for fixing the biomaterial 기판 위에 감응제를 포함하는 코팅액을 코팅하여 감응제층을 형성하는 단계;Coating a coating solution including a sensitizer on the substrate to form a sensitizer layer; 상기 감응제층이 형성된 기판을 금 콜로이드 분산액을 코팅하여 시드(seed) 콜로이드 촉매층을 형성하는 단계; Coating a gold colloidal dispersion on the substrate on which the sensitizer layer is formed to form a seed colloidal catalyst layer; 상기 시드 콜로이드 촉매층이 형성된 기판을 건조 또는 열처리하는 단계; 및 Drying or heat-treating the substrate on which the seed colloidal catalyst layer is formed; And 금염 함유 수용액과 환원제 용액의 혼합물로 이루어진 코팅액으로 기판을 코팅하여 금 박막을 얻는 단계에 의하여 제조되는 것인 생체물질 고정용 기판.A substrate for fixing a biomaterial, which is prepared by coating a substrate with a coating solution consisting of a mixture of a gold salt-containing aqueous solution and a reducing agent solution to obtain a gold thin film. 제1항에 있어서, 상기 기판은 유리, 폴리카보네이트, 폴리에스터, 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP) 및 웨이퍼로 이루어진 군에서 선택되는 것인 생체물질 고정용 기판.The substrate of claim 1, wherein the substrate is selected from the group consisting of glass, polycarbonate, polyester, polyethylene (PE), polypropylene (PP), and wafers. 제1항에 있어서, 상기 감응제층에 사용되는 감응제는 주석(tin), 인듐(induim), 팔라듐(palladium), 게르마늄(germanium), 알루미늄(aluminum), 납(lead), 티타늄(titanium), 갈륨(gallium), 이들의 염, 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 것인 생체물질 고정용 기판.The method of claim 1, wherein the sensitizer used in the sensitizer layer comprises tin, indium, palladium, germanium, aluminum, lead, titanium, A substrate for fixing a biomaterial, which is selected from the group consisting of gallium, salts thereof, and mixtures thereof. 제3항에 있어서, 상기 염은 염화물 또는 불화물인 생체물질 고정용 기판.The substrate of claim 3, wherein the salt is chloride or fluoride. 제4항에 있어서, 상기 염화물은 PdCl2, PbCl2 GeCl2, InCl3 , AlCl3, GaCl3, TiCl, 및 SnCl2으로 이루어진 군에서 선택되는 것인 생체물질 고정용 기판.The substrate of claim 4, wherein the chloride is selected from the group consisting of PdCl 2 , PbCl 2 GeCl 2 , InCl 3 , AlCl 3 , GaCl 3 , TiCl, and SnCl 2 . 제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 따른 기판에 고정화된 생체 물질을 포함하는 바이오칩.A biochip comprising a biomaterial immobilized on a substrate according to any one of claims 1 to 5. 제6항에 있어서, 상기 생체 물질은 효소, 단백질, DNA, RNA, 미생물, 동식물 세포 및 기관, 및 신경세포로 이루어진 군에서 선택되는 것인 바이오칩.The biochip of claim 6, wherein the biomaterial is selected from the group consisting of enzymes, proteins, DNA, RNA, microorganisms, animal and plant cells and organs, and neurons. 기판 위에 감응제를 포함하는 코팅액을 코팅하여 감응제층을 형성하는 단계;Coating a coating solution including a sensitizer on the substrate to form a sensitizer layer; 상기 감응제층이 형성된 기판을 금 콜로이드 분산액을 코팅하여 시드(seed) 콜로이드 촉매층을 형성하는 단계; Coating a gold colloidal dispersion on the substrate on which the sensitizer layer is formed to form a seed colloidal catalyst layer; 상기 시드 콜로이드 촉매층이 형성된 기판을 건조 또는 열처리하는 단계; 및 Drying or heat-treating the substrate on which the seed colloidal catalyst layer is formed; And 금염 함유 수용액과 환원제 용액의 혼합물로 이루어진 코팅액으로 기판을 코팅하여 금 박막을 얻는 단계Coating a substrate with a coating solution consisting of a mixture of a gold salt-containing aqueous solution and a reducing agent solution to obtain a gold thin film 를 포함하는 제1항의 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of manufacturing a substrate for fixing a biomaterial according to claim 1. 제8항에 있어서, 상기 감응제는 주석(tin), 인듐(induim), 팔라듐(palladium), 게르마늄(germanium), 알루미늄(aluminum), 납(lead), 티타늄(titanium), 갈륨(gallium), 이들의 염, 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 것인 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 8, wherein the sensitizer is tin, indium, palladium, germanium, aluminum, lead, titanium, gallium, A method for producing a substrate for fixing a biomaterial, which is selected from the group consisting of salts thereof and mixtures thereof. 제9항에 있어서, 상기 염은 염화물 또는 불화물인 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 9, wherein the salt is chloride or fluoride. 제8항에 있어서, 상기 감응제는 코팅액에 대하여 0.01중량% 내지 50중량%의 양으로 사용되는 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 8, wherein the sensitizer is used in an amount of 0.01 wt% to 50 wt% with respect to the coating liquid. 제8항에 있어서, 상기 감응제층의 코팅방법은 침적법(dipping), 스프레이법, 스핀코팅법, 및 프린팅법으로 이루어진 군에서 선택되는 것인 생체물질 고정용 기판의 제조방법. The method of claim 8, wherein the coating method of the sensitizer layer is selected from the group consisting of a dipping method, a spraying method, a spin coating method, and a printing method. 제8항에 있어서, 상기 시드 콜로이드 촉매층은 입경이 5nm 내지 500nm인 금 콜로이드를 포함하는 것인 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 8, wherein the seed colloidal catalyst layer comprises a gold colloid having a particle diameter of 5 nm to 500 nm. 제8항에 있어서, 상기 금 콜로이드 분산액은 금염, 환원제, 안정화제 및 용매를 포함하는 것인 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 8, wherein the gold colloidal dispersion comprises a gold salt, a reducing agent, a stabilizer, and a solvent. 제14항에 있어서, 상기 금염은 HAuCl4, NaAuCl4 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 14, wherein the gold salt is selected from the group consisting of HAuCl 4 , NaAuCl 4, and mixtures thereof. 제14항에 있어서, 상기 환원제는 NaBH4, 티오시아네이트, 포타슘 카보네이트, 트리소듐 시트레이트 또는 이들의 수화물, 탄닌산(tannic acid), 히드록시아민 또는 그 염 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나인 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 14, wherein the reducing agent is selected from the group consisting of NaBH 4 , thiocyanate, potassium carbonate, trisodium citrate or hydrates thereof, tannic acid, hydroxyamine or salts thereof and mixtures thereof. At least one method for manufacturing a substrate for fixing a biomaterial. 제14항에 있어서, 상기 안정화제는 소듐 시트레이트인 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 14, wherein the stabilizer is sodium citrate. 제8항에 있어서, 상기 시드 콜로이드 촉매층의 코팅방법은 침적법(dipping), 스프레이법, 스핀코팅법, 및 프린팅법으로 이루어진 군에서 선택되는 것인 생체물질 고정용 기판의 제조방법. The method of claim 8, wherein the seed colloid catalyst layer coating method is selected from the group consisting of a dipping method, a spray method, a spin coating method, and a printing method. 제8항에 있어서, 상기 금염 함유 수용액 제조시 사용되는 금염은 HAuCl4, NaAuCl4 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 8, wherein the gold salt used in preparing the gold salt-containing aqueous solution is selected from the group consisting of HAuCl 4 , NaAuCl 4, and mixtures thereof. 제8항에 있어서, 상기 금염 함유 수용액은 0.01중량% 내지 20중량%의 금염을 함유하는 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 8, wherein the gold salt-containing aqueous solution contains 0.01 wt% to 20 wt% gold salt. 제8항에 있어서, 상기 환원제 용액 제조시 사용되는 환원제는 히드록시아민 또는 그 염인 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 8, wherein the reducing agent used in the preparation of the reducing agent solution is hydroxyamine or a salt thereof. 제8항에 있어서, 상기 환원제 용액의 농도는 0.01mM 내지 1M인 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 8, wherein the concentration of the reducing agent solution is 0.01mM to 1M. 제22항에 있어서, 상기 환원제 용액의 농도는 0.01mM 내지 100mM인 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 22, wherein the concentration of the reducing agent solution is 0.01mM to 100mM. 제8항에 있어서, 상기 금 박막을 형성하기 위한 코팅방법은 도금법인 생체물질 고정용 기판의 제조방법.The method of claim 8, wherein the coating method for forming the gold thin film is a plating method.
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