KR100943405B1 - 래터럴 스캔을 이용한 3차원 형상 측정 시스템 - Google Patents
래터럴 스캔을 이용한 3차원 형상 측정 시스템 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (9)
- 전자적으로 정현파 형상의(sinusoidal) 패턴이 형성되어 3차원 형상 측정용 조사광이 통과 또는 반사함으로써 정현파 형상으로 패턴화된 광을 발생시키는 패턴형성부(110)를 포함하여 이루어지며, 패턴화된 광이 측정대상물(2000)로 조사되는 각도를 변화시킬 수 있도록 상기 측정대상물(2000)이 배치되는 위치를 중심으로 회동 가능하게 형성되는 패턴전사부(100) 및 상기 패턴전사부(100)로부터 나와 패턴화된 후 상기 측정대상물(2000)에 반사되어 나온 광을 받아들이는 결상렌즈(210) 및 상기 결상렌즈(210)를 통해 들어온 광으로부터 영상을 획득하는 영상획득부(220)를 포함하여 이루어지는 결상부(200)를 포함하여 이루어지는 측정프로브 (1000); 및 상기 측정대상물(2000)이 얹히는 스테이지 ; 를 포함하여 이루어지는 3차원 형상 측정 시스템에 있어서,상기 측정프로브(1000)는 상기 측정대상물(2000)의 높이 방향에 대하여 수직한 방향으로 상대 운동이 가능하도록 형성되어,상기 측정프로브(1000)는 상기 영상획득부(220)의 FOV(field of view)의 일측 방향 길이를 FOV라 할 때, 동 방향으로 1/mFOV만큼(m은 3, 4, 또는 5) 이동할 때마다 상기 영상획득부(220)가 영상을 획득하며, 상기 측정대상물(2000)의 각 부분에 대하여 획득되는 m개씩의 영상을 사용하여 상기 측정대상물(2000)의 각 부분의 높이를 산출하는 것을 특징으로 하는 래터럴 스캔을 이용한 3차원 형상 측정 시스템.
- 삭제
- 제 1항에 있어서, 상기 측정프로브(1000)는영상 촬영 시 정지하지 않고, 일정 속도로 연속적으로 이동하면서 주기적으로 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 래터럴 스캔을 이용한 3차원 형상 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서,상기 측정프로브(1000)만이 이동 가능하거나, 상기 측정대상물(2000)이 얹힌 스테이지만이 이동 가능하거나, 또는 상기 측정프로브(1000) 및 상기 측정대상물(2000)이 얹힌 스테이지 모두가 이동 가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 래터럴 스캔을 이용한 3차원 형상 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서, 상기 패턴형성부(110)는투과형 LCD 모듈, 반사형 LCoS 모듈 또는 반사형 DMD 모듈 중에서 선택되는 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 래터럴 스캔을 이용한 3차원 형상 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서, 상기 영상획득부(220)는CCD 어레이로 이루어지는 것을 특징으로 하는 래터럴 스캔을 이용한 3차원 형상 측정 시스템.
- 제 1항에 있어서, 상기 결상부(200)는상기 측정대상물(2000)이 배치되는 위치를 중심으로 회동 가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 래터럴 스캔을 이용한 3차원 형상 측정 시스템.
- 제 8항에 있어서, 상기 결상부(200)는상기 측정대상물(2000)이 배치되는 위치를 중심으로 상기 패턴전사부(100)와 좌우 대칭을 이루도록 배치되는 것을 특징으로 하는 래터럴 스캔을 이용한 3차원 형상 측정 시스템.
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KR20020021700A (ko) * | 2000-09-16 | 2002-03-22 | 장기화 | 3차원 측정 장치 및 방법 |
KR100612932B1 (ko) * | 2005-12-14 | 2006-08-14 | 주식회사 고영테크놀러지 | 3차원 형상 측정장치 및 방법 |
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- 2007-07-23 KR KR1020070073411A patent/KR100943405B1/ko active IP Right Grant
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