KR100936749B1 - Quadrupole mass filter of quadrupole mass spectrometer and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 메인필터와 프리필터를 용이하게 정렬시킬 수 있도록 메인필터와 프리필터를 일체로 구성한 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터에 관한 것이다. The present invention relates to a quadrupole mass filter of a quadrupole mass spectrometer in which the main filter and the prefilter are integrally formed to easily align the main filter and the prefilter.

이러한 본 발명에 따른 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터는 사중극자 질량분석기에 구비된 사중극자 질량필터에 있어서, 원형 혹은 쌍곡선면을 갖는 봉체 형상을 이루는 4개의 메인전극과 ; 상기 메인전극의 일측단부에 일체로 연결된 프리전극과 ; 상기 메인전극과 프리전극 사이에 설치되어 둘을 연결하는 절연체로 구성됨을 특징으로 한다. The quadrupole mass filter of the quadrupole mass spectrometer according to the present invention is a quadrupole mass filter provided in the quadrupole mass spectrometer, comprising: four main electrodes having a rod shape having a circular or hyperbolic surface; A free electrode integrally connected to one end of the main electrode; It is characterized by consisting of an insulator installed between the main electrode and the free electrode to connect the two.

또한 본 발명에 따른 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터 제조 방법은 도전성 금속을 가공하여 봉체 형상으로 가공하고, 절단하여 메인전극과 프리전극을 제작하는 단계와 ; 제작된 메인전극과 프리전극의 서로 대향되는 단부에 절연체를 설치하여 메인전극과 프리전극을 결합하는 단계로 이루어짐을 특징으로 한다.In addition, the method for manufacturing a quadrupole mass filter of a quadrupole mass spectrometer according to the present invention comprises the steps of: processing a conductive metal into a rod-shaped shape, cutting and manufacturing a main electrode and a free electrode; It characterized in that the step of coupling the main electrode and the free electrode by installing an insulator at the opposite ends of the produced main electrode and the free electrode.

질량분석기, 필터, 메인필터, 프리필터, Mass spectrometer, filter, main filter, pre-filter,

Description

사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터 및 그 제조 방법{quadrupole mass filter of quadrupole mass spectrometer and manufacturing method thereof}Quadrupole mass filter and quadrupole mass filter of quadrupole mass spectrometer

본 발명은 사중극자 질량분석기에 관한 것으로써, 상세하게는 메인필터와 프리필터를 용이하게 정렬시킬 수 있도록 메인필터와 프리필터를 일체로 구성한 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터 및 그 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a quadrupole mass spectrometer, and more particularly, to a quadrupole mass filter of a quadrupole mass spectrometer integrally configured with a main filter and a prefilter so that the main filter and the prefilter can be easily aligned. It is about.

질량분석이란 10-6torr이하의 고진공하에서 기화된 시료분자나 원자를 이온화(ionization)하여 이들을 전장이나 자장 또는 전자장하에서 이온화된 분자나 원자의 특이한 운동을 이용하여 질량대하전비(mass-to-charge ratio)를 측정하는 방법이다. Mass spectrometry refers to the mass-to-charge method of ionizing sample molecules or atoms vaporized under high vacuum below 10 -6 torr and using the specific motions of molecules or atoms ionized under electric, magnetic or electromagnetic fields. ratio).

이러한 질량분석을 위해서는 고진공장치, 이온화장치, 질량대하전비값에 따른 분리장치, 분리된 각 하전입자의 검출장치등이 필요하다. For mass spectrometry, a high vacuum device, an ionizer, a separator according to the mass-to-charge ratio value, and a detector for each charged particle are required.

이러한 질량분석장치 중에는 사중극자 질량분석기(quadrupole mass spectrometer)가 있으며, 이 사중극자 질량분석기는 One such mass spectrometer is a quadrupole mass spectrometer, which is a quadrupole mass spectrometer.

다른 질량분석기에 비해 장치의 부피가 작고, 시료를 안정적으로 측정 할 수 있고, 다른 질량분석기와 비교해 저렴하고, 구조가 간단하여 잔류가스 검출기, 공기 모니터링, 환자의 호흡기 검사, 발효과정 모니터링 등에 많이 사용되고 있다. Compared to other mass spectrometers, the volume of the device is small, samples can be measured reliably, inexpensive compared to other mass spectrometers, and the structure is simple, so it is widely used for residual gas detector, air monitoring, respiratory inspection of patients, monitoring of fermentation process have.

이러한 사중극자 질량분석기는 도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이 구성된 사중극자 질량필터(quadrupole mass filter)를 구비하고 있다. Such a quadrupole mass spectrometer includes a quadrupole mass filter configured as shown in FIGS. 9 and 10.

도시한 바와 같이, 사중극자 질량필터는 길이 100mm 이상인 메인필터(main filter)(100)와, 길이 약 20mm인 프리필터(prefilter)(200)로 구성된다. As shown, the quadrupole mass filter is composed of a main filter 100 having a length of 100 mm or more and a prefilter 200 having a length of about 20 mm.

사중극자 메인필터(100)는 도시한 바와 같이 4개의 전극으로 구성되는 데, 서로 마주 설치된 전극이 한 쌍을 이루고 서로 다른 쌍에 대하여 정반대 위상의 전원을 공급한다. Quadrupole main filter 100 is composed of four electrodes, as shown in the figure, the pair of electrodes facing each other forms a pair and supplies the power of the opposite phase to the different pairs.

이렇게 구성된 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터는 하나의 알루미나링(210)에 조립된 프리필터(200)를 메인필터(100)와 함께 하나의 원통형 케이스(300)의 내부에 장착하여 구성된다. The quadrupole mass filter of the quadrupole mass spectrometer configured as described above is configured by mounting the prefilter 200 assembled to one alumina ring 210 together with the main filter 100 inside one cylindrical case 300.

그러나 이렇게 구성된 사중극자 질량필터는 프리필터와 메인필터를 구성하는 각 전극을 동일선상에 정렬시키기 어려운 단점이 있었다. However, the quadrupole mass filter configured as described above has a disadvantage in that it is difficult to align each electrode constituting the prefilter and the main filter in the same line.

본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위해 개발된 것으로서, 메인필터와 프리필터를 용이하게 정렬시킬 수 있도록 메인필터와 프리필터를 일체로 구성한 사 중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention was developed to solve the above problems, the quadrupole mass filter of the quadrupole mass spectrometer integrally configured with the main filter and the pre-filter so as to easily align the main filter and the pre-filter and a manufacturing method thereof It aims to provide.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터는 사중극자 질량분석기에 구비된 사중극자 질량필터에 있어서, 원형 혹은 쌍곡선면을 갖는 봉체 형상을 이루는 4개의 메인전극과 ; 상기 매인전극의 일측단부에 일체로 연결된 프리전극과 ; 상기 메인전극과 프리전극 사이에 설치되어 둘을 연결하는 절연체로 구성됨을 특징으로 한다. The quadrupole mass filter of the quadrupole mass spectrometer according to the present invention for achieving the above object comprises: four main electrodes forming a rod-shaped shape having a circular or hyperbolic surface in a quadrupole mass filter provided in the quadrupole mass spectrometer; A free electrode connected integrally with one side end of the main electrode; It is characterized by consisting of an insulator installed between the main electrode and the free electrode to connect the two.

또한 본 발명에 따른 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터 제조 방법은 도전성 금속을 가공하여 봉체 형상으로 가공하고, 절단하여 메인전극과 프리전극을 제작하는 단계와 ; 제작된 메인전극과 프리전극의 서로 대향되는 단부에 절연체를 설치하여 메인전극과 프리전극을 결합하는 단계로 이루어짐을 특징으로 한다.In addition, the method for manufacturing a quadrupole mass filter of a quadrupole mass spectrometer according to the present invention comprises the steps of: processing a conductive metal into a rod-shaped shape, cutting and manufacturing a main electrode and a free electrode; It characterized in that the step of coupling the main electrode and the free electrode by installing an insulator at the opposite ends of the produced main electrode and the free electrode.

본 발명은 사중극자 질량분석기의 질량필터를 구성하는 프리전극과 메인전극을 일체로 구성함으로서 프리전극과 메인전극을 정렬하지 않고도 질량분석기를 구성할 수 있어 용이하게 질량분석기를 조립할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, since the pre-electrode and the main electrode constituting the mass filter of the quadrupole mass spectrometer are integrally formed, the mass spectrometer can be configured without aligning the pre-electrode and the main electrode, so that the mass spectrometer can be easily assembled. .

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily understand and reproduce.

도 1은 본 발명에 따른 사중극자 질량필터의 일예를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A 단면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 사중극자 질량필터를 구성하는 전극의 일예를 도시한 분해 사시도이고, 도 4는 도 3의 B-B 단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 사중극자 질량필터를 구성하는 전극의 다른 일예를 도시한 분해 사시도이고, 도 6은 도 5의 C-C 단면도이고, 도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 사중극자 질량필터를 구성하는 전극의 서로 다른 일예를 도시한 단면도이다. 1 is a perspective view illustrating an example of a quadrupole mass filter according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 1, and FIG. 3 is an exploded view illustrating an example of an electrode constituting the quadrupole mass filter according to the present invention. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG. 3, and FIG. 5 is an exploded perspective view showing another example of an electrode constituting the quadrupole mass filter according to the present invention, FIG. 6 is a sectional view taken along line CC of FIG. 8 is a cross-sectional view showing another example of the electrodes constituting the quadrupole mass filter according to the present invention.

도시한 바와 같이 본 발명에 따른 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터는 메인전극(10)과 프리전극(20)을 일체로 구성하였다. As shown in the quadrupole mass filter of the quadrupole mass spectrometer according to the present invention, the main electrode 10 and the free electrode 20 are integrally formed.

즉, 단면이 원형 또는 쌍곡선면을 갖는 봉체 형상을 이루는 4개의 메인전극(10)과 상기 매인전극(10)의 일측단부에 일체로 연결된 프리전극(20) 사이를 절연체(30)로 연결하여 구성된다. That is, the insulator 30 is connected between the four main electrodes 10 having a rod-shaped cross section having a circular or hyperbolic surface and the free electrodes 20 integrally connected to one end of the main electrode 10. do.

상기와 같이 구성된 전극(10, 20)을 포함하여 구성된 사중극자 질량필터는 이미 잘 알려진 것으로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. The quadrupole mass filter including the electrodes 10 and 20 configured as described above is well known and detailed description thereof will be omitted.

상기 메인전극(10)과 프리전극(20) 사이를 연결하는 절연체(21)를 두 전극 사이에 연결하는 방법은 다양하게 변형하여 실시할 수 있다. The method of connecting the insulator 21 connecting the main electrode 10 and the free electrode 20 between the two electrodes may be variously modified.

그 하나로는 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 접착제를 절연체(21)의 양면 즉, 상기 메인전극(10)과 프리전극(20)과 대향되는 면에 도포하여 결합하는 방법이다. As one example, as shown in FIGS. 3 and 4, the adhesive is applied to both surfaces of the insulator 21, that is, the surfaces opposite to the main electrode 10 and the free electrode 20.

이 방법의 경우 접착제로는 세라믹 접착제가 사용될 수 있으며, 이러한 세라믹 접착제는 이미 개발되어 제공되고 있는 것 중 어느 하나를 선택하여 사용할 수 있다. In this case, a ceramic adhesive may be used as the adhesive, and the ceramic adhesive may be selected from any of those already developed and provided.

상기 메인전극(10)과 프리전극(20) 사이에 절연체(21)를 연결하는 다른 방법은 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 메인전극(10)과 프리전극(20)의 서로 대향되는 단부에는 결합홈(10a, 20a)을 형성하고, 상기 절연체(21)의 양면에는 상기 결합홈(10a, 20a)에 끼워지는 결합돌기(21a)가 형성하여 결합홈(10a, 20a)에 결합돌기(21a)가 끼워지게 함에 의해 결합될 수 있다. As another method of connecting the insulator 21 between the main electrode 10 and the free electrode 20, as shown in FIGS. 5 and 6, the main electrode 10 and the free electrode 20 face each other. Coupling grooves 10a and 20a are formed at the end portions, and coupling protrusions 21a fitted to the coupling grooves 10a and 20a are formed on both sides of the insulator 21 to be coupled to the coupling grooves 10a and 20a. The projections 21a can be engaged by fitting them.

또 다른 방법으로는 도 7에 도시한 바와 같이, 위의 설명과는 반대로 상기 메인전극(10)과 프리전극(20)의 서로 대향되는 단부에는 결합돌기(10b, 20b)를 형성하고, 상기 절연체(21)의 양면에는 상기 결합돌기(10b, 20b)에 끼워지는 결합홈(21b)을 형성하여 구성할 수 있으며, 이때 결합돌기와 결합홈 사이에는 접착제를 더 도포하여 결합력을 강화시킬 수도 있다. As another method, as shown in FIG. 7, contrary to the above description, coupling protrusions 10b and 20b are formed at opposite ends of the main electrode 10 and the free electrode 20 to form the insulator. Both sides of the 21 may be formed by forming a coupling groove (21b) to be fitted to the coupling projections (10b, 20b), and at this time may further enhance the bonding force by further applying an adhesive between the coupling projection and the coupling groove.

또한, 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 절연체(21)를 단순하게 지름이 작은 봉체 형상으로 형성하고, 메인전극과 프리전극에 각각 연결홈을 형성하여 봉체 형상의 절열체가 연결홈에 끼워져 두 전극을 연결하는 방법을 사용할 수도 있다. In addition, as shown in FIG. 8, the insulator 21 is simply formed in a rod-shaped shape having a small diameter, and connecting grooves are formed in the main electrode and the free electrode, respectively, and a rod-shaped insulator is inserted into the connecting groove so as to form two electrodes. You can also use the method of connecting.

상기와 같이 구성된 질량필터의 메인전극(10)과 프리전극(20)사이의 거리는 일정하게 이격된 상태를 유지하고 있어야 하며, 이에 따라 상기 절연체(21)의 두께는 1.8mm내지 3.5mm로 형성하여 두 전극(10, 20)들 사이가 이격되게 한다. The distance between the main electrode 10 and the free electrode 20 of the mass filter configured as described above should be kept at a constant distance, and thus the thickness of the insulator 21 is formed to be 1.8 mm to 3.5 mm. The two electrodes 10 and 20 are spaced apart.

위와 같이 구성된 사중단자 질량분석기의 사중단자 질량필터를 제조하는 방 법은 도전성 금속을 가공하여 봉체 형상으로 가공하고, 절단하여 메인전극(10)과 프리전극(20)을 제작하는 단계와 ; 제작된 메인전극(10)과 프리전극(20)의 서로 대향되는 단부에 절연체(21)를 설치하여 메인전극(10)과 프리전극(20)을 결합하는 단계로 이루어진다. Method of manufacturing a quadruple terminal mass filter of a quadrupole mass spectrometer configured as described above is a step of manufacturing a main electrode 10 and a free electrode 20 by cutting a conductive metal, processing into a rod shape, cutting; The main electrode 10 and the free electrode 20 are coupled to each other by installing an insulator 21 at opposite ends of the manufactured main electrode 10 and the free electrode 20.

이러한 과정에서 상기 봉체는 상기한 바와 같이 전도성을 갖는 금속으로 만들어지고, 전체길이는 메인전극(10)과 프리전극(20)의 전체길이보다 다소 크게 제작하고 이렇게 제작한 후 절단하여 구성된다. In this process, the rod is made of a conductive metal as described above, and the overall length is made to be somewhat larger than the total length of the main electrode 10 and the free electrode 20 and then cut and manufactured.

이렇게 잘려진 두 전극(10, 20) 사이에 상기 절연체(21)를 연결하는 방법은 상기한 바와 같으나, 이를 부연설명한다. The method of connecting the insulator 21 between the two cut electrodes 10 and 20 is as described above, but this will be described in detail.

즉, 상기 전극(10, 20)들 사이에 절연체(21)를 결합하는 단계는 절연체(21)와 전극(10, 20)의 서로 대향되는 단부에 세라믹 접착제를 도포하여 접착하여 이루어진다. That is, the coupling of the insulator 21 between the electrodes 10 and 20 is performed by applying a ceramic adhesive to the ends of the insulator 21 and the electrodes 10 and 20 facing each other.

또 하나의 방법으로는 상기 전극(10, 20)을 형성하는 단계에서 형성된 전극들(10, 20)의 서로 대향되는 단부에 결합홈(10a, 20a) 또는 결합돌기(10b, 20b)를 형성하고, 절연체(21)의 양면에는 결합돌기(21a) 또는 결합홈(21b)를 형성하는 단계를 더 수행하여 서로 결합되는 돌기와 홈을 형성한 후, 상기 전극(10, 20)들 사이에 절연체(21)를 결합하는 단계에서 결합돌기(10b, 20b, 21a)가 결합홈(10a, 20a, 21b)에 끼워지게 결합하여 두 전극(10, 20)을 절연체(21)로 연결할 수 있다. In another method, coupling grooves 10a and 20a or coupling protrusions 10b and 20b are formed at opposite ends of the electrodes 10 and 20 formed in the step of forming the electrodes 10 and 20. After the coupling step 21a or the coupling groove 21b is further formed on both surfaces of the insulator 21 to form protrusions and grooves coupled to each other, the insulator 21 is formed between the electrodes 10 and 20. In the step of coupling), the coupling protrusions 10b, 20b, and 21a may be coupled to the coupling grooves 10a, 20a, and 21b to connect the two electrodes 10 and 20 to the insulator 21.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예를 중심으로 기술되었지만 당업자라면 이러한 기재로부터 본 발명의 범주를 벗어남이 없이 많은 다양한 자명한 변형이 가능하다는 것은 명백하다. 따라서 본 발명은 첨부된 특허청구범위의 문언에 의해서만 제한 해석될 수 있다. While the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, it will be apparent to those skilled in the art that many various obvious modifications are possible without departing from the scope of the invention from this description. Accordingly, the invention can only be construed limited by the words of the appended claims.

도 1은 본 발명에 따른 사중극자 질량필터의 일예를 도시한 사시도이고, 1 is a perspective view showing an example of a quadrupole mass filter according to the present invention,

도 2는 도 1의 A-A 단면도이고, 2 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG.

도 3은 본 발명에 따른 사중극자 질량필터를 구성하는 전극의 일예를 도시한 분해 사시도이고, 3 is an exploded perspective view showing an example of the electrode constituting the quadrupole mass filter according to the present invention;

도 4는 도 3의 B-B 단면도이고, 4 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG.

도 5는 본 발명에 따른 사중극자 질량필터를 구성하는 전극의 다른 일예를 도시한 분해 사시도이고, 5 is an exploded perspective view showing another example of the electrode constituting the quadrupole mass filter according to the present invention;

도 6은 도 5의 C-C 단면도이고,6 is a cross-sectional view taken along line C-C of FIG.

도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 사중극자 질량필터를 구성하는 전극의 서로 다른 일예를 도시한 단면도이고, 7 and 8 are cross-sectional views showing different examples of the electrodes constituting the quadrupole mass filter according to the present invention,

도 9는 종래의 사중극자 질량분석기의 질량필터를 도시한 사시도이며, 9 is a perspective view showing a mass filter of a conventional quadrupole mass spectrometer,

도 10은 도 9의 D-D단면도이다. 10 is a cross-sectional view taken along the line D-D of FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호설명><Code Description of Main Parts of Drawing>

10 : 메인전극10: main electrode

10a : 결합홈 10b : 결합돌기  10a: coupling groove 10b: coupling protrusion

20 : 프리전극20: free electrode

20a : 결합홈 20b : 결합돌기  20a: coupling groove 20b: coupling protrusion

21 : 절연체21: insulator

21a : 결합돌기 21b : 결합홈   21a: engaging projection 21b: coupling groove

Claims (8)

사중극자 질량분석기에 구비된 사중극자 질량필터에 있어서, In the quadrupole mass filter provided in the quadrupole mass spectrometer, 단면이 원형 혹은 쌍곡선면을 갖는 봉체 형상을 이루는 4개의 메인전극(10)과 ; Four main electrodes 10 having a rod-shaped cross section having a circular or hyperbolic surface; 상기 매인전극(10)의 일측단부에 일체로 연결된 프리전극(20)와 ; A free electrode 20 integrally connected to one end of the main electrode 10; 상기 메인전극(10)과 프리전극(20) 사이에 설치되어 둘을 연결하는 절연체(21)로 구성되며, It is composed of an insulator 21 installed between the main electrode 10 and the free electrode 20 to connect the two, 상기 메인전극(10)과 프리전극(20)의 서로 대향되는 단부에는 결합홈(10a, 20a)이 형성되고, 상기 절연체(21)의 양면에는 상기 결합홈(10a, 20a)에 끼워지는 결합돌기(21a)가 형성됨을 특징으로 하는 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터.Coupling grooves 10a and 20a are formed at ends of the main electrode 10 and the free electrode 20 that face each other, and coupling protrusions fitted into the coupling grooves 10a and 20a on both surfaces of the insulator 21. A quadrupole mass filter of a quadrupole mass spectrometer, characterized in that (21a) is formed. 삭제delete 삭제delete 사중극자 질량분석기에 구비된 사중극자 질량필터에 있어서, In the quadrupole mass filter provided in the quadrupole mass spectrometer, 단면이 원형 혹은 쌍곡선면을 갖는 봉체 형상을 이루는 4개의 메인전극(10)과 ; Four main electrodes 10 having a rod-shaped cross section having a circular or hyperbolic surface; 상기 매인전극(10)의 일측단부에 일체로 연결된 프리전극(20)와 ; A free electrode 20 integrally connected to one end of the main electrode 10; 상기 메인전극(10)과 프리전극(20) 사이에 설치되어 둘을 연결하는 절연체(21)로 구성되며, It is composed of an insulator 21 installed between the main electrode 10 and the free electrode 20 to connect the two, 상기 메인전극(10)과 프리전극(20)의 서로 대향되는 단부에는 결합돌기(10b, 20b)가 형성되고, 상기 절연체(21)의 양면에는 상기 결합돌기(10b, 20b)에 끼워지는 결합홈(21b)이 형성됨을 특징으로 하는 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터.Coupling protrusions 10b and 20b are formed at opposite ends of the main electrode 10 and the free electrode 20, and coupling grooves fitted to the coupling protrusions 10b and 20b on both surfaces of the insulator 21. A quadrupole mass filter of a quadrupole mass spectrometer, characterized in that (21b) is formed. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, The method according to claim 1 or 4, 상기 절연체(21)의 두께는 1.8mm 내지 3.5mm임을 특징으로 하는 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터.Quadrupole mass filter of the quadrupole mass spectrometer, characterized in that the thickness of the insulator 21 is 1.8mm to 3.5mm. 삭제delete 원형 혹은 쌍곡선면을 갖는 봉체 형상을 이루는 4개의 메인전극(10)과 ; 상기 매인전극(10)의 일측단부에 일체로 연결된 프리전극(20)와 ; 상기 메인전극(10)과 프리전극(20) 사이에 설치되어 둘을 연결하는 절연체(30)를 포함하여 구성된 사중극자 질량필터를 제조하는 방법에 있어서, Four main electrodes 10 forming a rod-shaped shape having a circular or hyperbolic surface; A free electrode 20 integrally connected to one end of the main electrode 10; In the method for manufacturing a quadrupole mass filter comprising an insulator 30 provided between the main electrode 10 and the free electrode 20 to connect the two, 도전성 금속을 가공하여 봉체 형상으로 가공하고, 절단하여 메인전극(10)과 프리전극(20)을 제작하는 단계와 ; Processing the conductive metal into a rod-like shape, and cutting to prepare a main electrode 10 and a free electrode 20; 제작된 메인전극(10)과 프리전극(20)의 서로 대향되는 단부에 절연체(21)를 설치하여 메인전극(10)과 프리전극(20)을 결합하는 단계로 이루어지고, The main electrode 10 and the pre-electrode 20 is provided with an insulator 21 installed at opposite ends of the opposite ends to combine the main electrode 10 and the free electrode 20, 상기 전극(10, 20)들 사이에 절연체(21)를 결합하는 단계는 절연체(21)와 전극(10, 20)의 서로 대향되는 단부에 세라믹 접착제를 도포하여 접착하여 이루어짐을 특징으로 하는 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터 제조 방법. Coupling the insulator 21 between the electrodes 10, 20 is a quadrupole, characterized in that by applying a ceramic adhesive to the end of the insulator 21 and the electrode (10, 20) facing each other Method for producing a quadrupole mass filter of a mass spectrometer. 원형 혹은 쌍곡선면을 갖는 봉체 형상을 이루는 4개의 메인전극(10)과 ; 상기 매인전극(10)의 일측단부에 일체로 연결된 프리전극(20)와 ; 상기 메인전극(10)과 프리전극(20) 사이에 설치되어 둘을 연결하는 절연체(30)를 포함하여 구성된 사중극자 질량필터를 제조하는 방법에 있어서, Four main electrodes 10 forming a rod-shaped shape having a circular or hyperbolic surface; A free electrode 20 integrally connected to one end of the main electrode 10; In the method for manufacturing a quadrupole mass filter comprising an insulator 30 provided between the main electrode 10 and the free electrode 20 to connect the two, 도전성 금속을 가공하여 봉체 형상으로 가공하고, 절단하여 메인전극(10)과 프리전극(20)을 제작하는 단계와 ; Processing the conductive metal into a rod-like shape, and cutting to prepare a main electrode 10 and a free electrode 20; 제작된 메인전극(10)과 프리전극(20)의 서로 대향되는 단부에 절연체(21)를 설치하여 메인전극(10)과 프리전극(20)을 결합하는 단계로 이루어지고, The main electrode 10 and the pre-electrode 20 is provided with an insulator 21 installed at opposite ends of the opposite ends to combine the main electrode 10 and the free electrode 20, 상기 전극(10, 20)을 형성하는 단계에서 형성된 전극들(10, 20)의 서로 대향되는 단부에 결합홈(10a, 20a) 또는 결합돌기(10b, 20b)를 형성하고, 절연체(21)의 양면에는 결합돌기(21a) 또는 결합홈(21b)를 형성하는 단계를 더 수행하며, Coupling grooves 10a and 20a or coupling protrusions 10b and 20b are formed at opposite ends of the electrodes 10 and 20 formed in the step of forming the electrodes 10 and 20, and the insulator 21 is formed. Further performing the step of forming the engaging projection (21a) or the coupling groove (21b) on both sides, 상기 전극(10, 20)들 사이에 절연체(21)를 결합하는 단계는 결합돌기(10b, 20b, 21a)가 결합홈(10a, 20a, 21b)에 끼워지게 결합하여 이루어짐을 특징으로 하는 사중극자 질량분석기의 사중극자 질량필터 제조 방법. Coupling the insulator 21 between the electrodes (10, 20) is a quadrupole characterized in that the coupling protrusions (10b, 20b, 21a) is coupled to fit into the coupling groove (10a, 20a, 21b). Method for producing a quadrupole mass filter of a mass spectrometer.
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