KR100892255B1 - Picking apparatus for pick and place of test handler - Google Patents

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Abstract

본 발명은 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치에 관한 것으로, 반도체소자를 파지하거나 파지해제하는 픽킹소자들의 파지간격을 조절하여, 하나의 픽킹장치가 서로 다른 적재규격(적재되는 반도체소자들 간의 간격)의 테스트트레이에 모두 적용 가능해질 수 있도록 하는 기술이 개시된다.The present invention relates to a pick and place picking device of a test handler, by adjusting the holding interval of the picking device for holding or releasing the semiconductor device, one picking device is different loading standard (gap between the semiconductor devices loaded) Disclosed is a technique for enabling all of the test trays to be applied.

테스트핸들러, 픽앤플레이스장치, 로더핸드, 언로더핸드, 픽킹소자, 픽커 Test handler, pick and place device, loader hand, unloader hand, picking element, picker

Description

테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치{PICKING APPARATUS FOR PICK AND PLACE OF TEST HANDLER}Picking device for pick and place of test handler {PICKING APPARATUS FOR PICK AND PLACE OF TEST HANDLER}

도1은 종래기술에 따른 픽킹장치에 대한 정면도이다.1 is a front view of a picking apparatus according to the prior art.

도2는 본 발명의 제1실시예에 따른 픽킹장치에 대한 정면도이다.2 is a front view of a picking apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도3은 도2의 픽킹장치에 대한 다른 사용상태도이다.3 is another use state diagram of the picking apparatus of FIG.

도4는 도2의 픽킹장치에 대한 사용상태를 설명하기 위한 참조도이다.4 is a reference diagram for explaining a use state of the picking apparatus of FIG.

도5는 본 발명의 제2실시예에 따른 픽킹장치에 대한 정면도이다.5 is a front view of a picking apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도6은 도5의 픽킹장치에 대한 사용상태를 설명하기 위한 참조도이다.FIG. 6 is a reference diagram for describing a use state of the picking apparatus of FIG. 5. FIG.

도7은 본 발명의 제3실시예에 따른 픽킹장치에 대한 정면도이다.7 is a front view of a picking apparatus according to a third embodiment of the present invention.

도8은 본 발명의 제4실시예에 따른 픽킹장치에 대한 정면도이다.8 is a front view of a picking apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

도9는 도8의 W부분을 확대한 정단면도이다.FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view of part W of FIG. 8.

*도면의 주요부위에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

200, 500, 700, 800 : 픽킹장치200, 500, 700, 800: Picking device

211, 511, 711, 811 : 제1픽킹소자211, 511, 711, 811: first picking element

221, 521, 721, 821 : 제2픽킹소자221, 521, 721, 821: second picking element

230, 530, 730, 830 : 고정블록230, 530, 730, 830: fixed block

240, 540, 740 : 진공압전달부재240, 540, 740: vacuum pressure transmission member

840 : 회전방지부재840: anti-rotation member

250, 750 : 간격조절장치250, 750: Spacer

550 : 제1간격조절장치550: first interval adjusting device

560 : 제2간격조절장치560: second interval adjusting device

B : 진공유로B: vacuum flow path

Bi : 입구 Bo : 출구B i : Inlet B o : Outlet

본 발명은 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치에 관한 것이다.The present invention relates to a picking device for pick and place of a test handler.

테스트핸들러라 함은 생산된 반도체소자의 출하에 앞서 그 양부를 테스터에 의해 테스트하고자 할 경우, 테스터에 반도체소자를 공급한 후 테스트완료된 반도체소자를 그 양부에 따라는 분류하는 장치를 말한다.The test handler refers to a device for classifying the tested semiconductor devices according to their specifications after supplying the semiconductor devices to the tester before the shipment of the produced semiconductor devices.

그러한 테스트핸들러에 관해서는 이미 대한민국 공개특허공보 공개번호 특2003-0029266호(발명의 명칭 : 테스트핸들러) 등과 같은 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있다.Such a test handler has already been disclosed through a number of public documents such as Korean Patent Laid-Open Publication No. 2003-0029266 (name of the invention: test handler).

일반적으로 테스트핸들러는 고객트레이에 적재된 반도체소자들을 테스트트레이로 로딩시켜 테스트트레이에 적재된 상태의 반도체소자들을 테스터에 공급하고, 테스트가 완료된 반도체소자들을 테스트트레이로부터 고객트레이로 언로딩시키도록 되어 있다.In general, the test handler loads the semiconductor devices loaded in the customer tray into the test tray, supplies the semiconductor devices loaded in the test tray to the tester, and unloads the tested semiconductor devices from the test tray to the customer tray. have.

위와 같이 테스트핸들러는 반도체소자들을 고객트레이에서 테스트트레이로 로딩시키거나 테스트트레이에서 고객트레이로 언로딩시키는 작업을 수행하는데, 이러한 작업을 수행하기 위해서 픽앤플레이스라는 장치를 가진다. 이러한 픽앤플레이스는 그 역할에 따라서 로더핸드, 언로더핸드, 소터핸드 등으로 불린다. As described above, the test handler loads the semiconductor devices from the customer tray to the test tray or unloads the test tray into the customer tray, and has a device called pick and place to perform such a task. These pick and place are called loader hand, unloader hand, sorter hand, etc. according to their role.

픽앤플레이스는 다수의 픽킹장치로 구성되는데, 종래에는 하나의 픽킹장치가 하나의 반도체소자를 파지할 수 있도록 구성되어 있었다.The pick-and-place is composed of a plurality of picking devices. In the past, one picking device was configured to hold one semiconductor device.

그런데, 동시에 테스트되는 반도체소자의 수가 증가함에 따라, 하나의 픽킹장치에 의해 하나의 반도체소자를 파지하는 것이 더 이상 장치의 생산적인 측면에서 바람직하지 못하게 되었다.However, as the number of semiconductor devices tested simultaneously increases, holding one semiconductor device by one picking device is no longer desirable from the productive point of view of the device.

따라서 도1에서 도시된 바와 같이 하나의 픽킹장치에 두개의 픽킹소자를 구성시켜, 하나의 픽킹장치가 두개의 반도체소자를 파지할 수 있도록 하는 기술이 개발되었다.Accordingly, as shown in FIG. 1, a technology has been developed in which two picking devices are configured in one picking device so that one picking device can hold two semiconductor devices.

도1을 참조하면, 픽킹장치(100)는 두개의 픽킹소자(110)와, 두개의 픽킹소자(110) 상호간의 위치(즉, 픽킹소자들 간의 파지간격)를 고정시키는 고정블럭(120)과, 픽킹소자(110)들의 회전을 방지하기 위한 회전방지부재(130)로 구성되어 있다. 그리고 각각의 픽킹소자(110)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하는 픽커(111)와 미도시된 진공펌프로부터 오는 진공압을 픽커(111)로 공급하는 진공파이프(112)로 구성된다. 그리고 픽커(111)는 진공압에 의해 반도체소 자들을 흡착하거나 흡착해제하는 진공패드(111a)와 진공패드(111a)를 진공파이프(112)에 고정연결시키는 패드홀더(111b)로 구성된다.Referring to FIG. 1, the picking apparatus 100 includes a fixing block 120 for fixing two picking elements 110, a position between two picking elements 110 (that is, a holding interval between picking elements) and a picking element 110. The anti-rotation member 130 is configured to prevent rotation of the picking elements 110. Each picking element 110 includes a picker 111 for holding or releasing a semiconductor element by a vacuum pressure and a vacuum pipe 112 for supplying a vacuum pressure from a vacuum pump not shown to the picker 111. do. The picker 111 includes a vacuum pad 111a for adsorbing or releasing the semiconductor devices by vacuum pressure and a pad holder 111b for fixedly connecting the vacuum pad 111a to the vacuum pipe 112.

위와 같은 픽킹장치(100)는 미도시된 진공펌프의 작동에 의해 진공압이나 해제압(이하 '진공압'이라 통칭함)이 픽커(111), 더 구체적으로는 픽커(111)의 하방으로 오목한 진공패드(111a)로 전달되어 진공패드(111a)의 오목한 공간을 진공상태로 유지시키거나 진공상태를 해제시킴으로써 반도체소자를 진공패드(111a)로 파지하거나 파지해제할 수 있게 된다. Picking device 100 as described above is concave downwards picker 111, more specifically picker 111 by vacuum or release pressure (hereinafter referred to as "vacuum pressure") by the operation of the vacuum pump not shown The semiconductor device may be held or released by the vacuum pad 111a by being transferred to the vacuum pad 111a to maintain the concave space of the vacuum pad 111a in a vacuum state or to release the vacuum state.

한편, 테스트핸들러의 테스트트레이에는 일정한 간격을 유지한 상태로 다수의 반도체소자들이 적재되어 있는데, 테스트될 반도체소자들의 물리적 규격이 바뀌거나 1회의 테스트 양을 늘린다거나 할 경우와 같이 필요에 따라서 종전의 테스트트레이와 적재규격(적재되는 반도체소자들 간의 적재 간격)이 다른 테스트트레이로 교체되어지는 경우가 발생한다.On the other hand, the test tray of the test handler is loaded with a plurality of semiconductor devices at regular intervals, and if necessary, such as when the physical specifications of the semiconductor devices to be tested are changed or the amount of one test is increased. The test tray and the loading standard (load gap between the loaded semiconductor elements) may be replaced by another test tray.

만일 종전의 테스트트레이와 적재규격이 다른 테스트트레이로 교체된 경우, 새로이 교체된 테스트트레이에 적재된 반도체소자들 간의 간격이 종전의 테스트트레이에 적재된 반도체소자들 간의 간격과 다른 경우에는 종전의 픽킹장치를 더 이상 적용할 수 없기 때문에 종전의 픽앤플레이스도 더불어 새로운 픽킹장치가 적용된 픽앤플레이스로 교체되어져야 했다. 즉, 종전의 픽앤플레이스를 교체된 새로운 테스트트레이의 적재규격에 맞는 파지간격을 가지는 픽킹장치가 적용된 새로운 픽앤플레이스로 교체해야만 했던 것이다. 그러한 점은 자원의 낭비 및 교체비용의 증가를 초래하는 문제점의 원인이 된다.If the gap between the semiconductor elements loaded in the newly replaced test tray is different from the gap between the semiconductor elements loaded in the old test tray, the previous picking Since the device was no longer applicable, the old pick and place had to be replaced with a pick and place with a new picking device. That is, the old pick and place had to be replaced with a new pick and place with a picking device having a gripping interval that meets the loading standard of the replaced new test tray. This causes a problem that causes waste of resources and an increase in replacement costs.

상기한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 제1목적은 픽킹소자의 파지위치를 가변시킬 수 있는 픽킹장치를 제공하는 것이다.A first object of the present invention for solving the above problems is to provide a picking apparatus capable of varying the holding position of the picking element.

그리고 본 발명의 제2목적은 파지위치를 가변시킬 수 있는 픽킹장치를 더 구체적으로 활용하여 복수의 픽킹소자를 가지는 픽킹장치에서 픽킹소자들의 파지간격을 가변시킬 수 있는 기술을 제공하는 것이다.A second object of the present invention is to provide a technique capable of varying the holding intervals of picking elements in a picking device having a plurality of picking elements by more specifically utilizing a picking device capable of changing the holding position.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치는, 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 병렬로 구비되는 한 쌍의 픽킹소자; 상기 한 쌍의 픽킹소자 상호간을 고정시키는 고정블럭; 및 상기 한 쌍의 픽킹소자의 파지간격을 조절하기 위해 마련되는 간격조절장치; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Pick and place the picking device of the test handler according to the present invention for achieving the above object, a pair of picking elements provided in parallel to hold or release the semiconductor device; A fixed block for fixing the pair of picking elements to each other; And An interval adjusting device provided to adjust a holding interval of the pair of picking elements; Characterized in that it comprises a.

상기 한 쌍의 픽킹소자 각각은, 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 픽커; 및 상기 픽커로 파지 및 파지해제력을 전달하는 전달요소; 를 포함하고, 상기 간격조절장치는 상기 픽커들 간의 간격을 조절하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.Each of the pair of picking elements may include a picker provided to hold or release a semiconductor element; And a transfer element for transferring a gripping and gripping force to the picker. It includes, and the spacing device is characterized in that to adjust the spacing between the pickers more specific.

상기 간격조절장치는, 임의의 중심선을 회전축으로 하여 회전가능하게 마련되며, 상기 중심선을 기준으로 상기 픽커가 편중되게 고정되는 회전부재; 및 상기 회전부재를 고정시키는 고정부재; 를 포함하는 것을 또 하나의 구체적인 특징으로 한다.The gap adjusting device may include: a rotation member provided to be rotatable using any center line as a rotation axis, and the picker being fixedly biased based on the center line; And a fixing member for fixing the rotating member. It includes another specific feature to include.

상기 간격조절장치는, 특정 픽커가 타 픽커와 대향되게 슬라이딩될 수 있도록 하는 동력을 제공하는 동력원; 및 상기 동력원의 작동에 따라 슬라이딩하면서 상기 특정 픽커를 상기 타 픽커와 대향되게 이동시키는 슬라이딩부재; 를 포함하는 것을 또 하나의 구체적인 특징으로 한다.The spacing device may include: a power source providing power for allowing a specific picker to slide to face the other picker; And a sliding member for sliding the specific picker to face the other picker while sliding according to the operation of the power source. It includes another specific feature to include.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치는, 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되며, 적어도 둘 이상의 위치에 선택적으로 위치될 수 있는 픽커; 상기 픽커를 상기 적어도 둘 이상의 위치에 선택적으로 위치될 수 있도록 조절하는 위치조절장치; 상기 픽커에 진공압을 제공하기 위해 마련되는 진공파이프; 및 상기 진공파이프로부터 오는 진공압을 상기 위치조절장치에 의해 상기 적어도 둘 이상의 위치에 선택적으로 위치될 수 있는 상기 픽커로 전달하기 위해, 상기 진공파이프에 마주하는 하나의 입구와 상기 입구를 통해 입력된 진공압을 상기 픽커로 출력시키는 적어도 둘 이상의 출구를 가지는 진공유로가 형성된 진공압전달부재; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pick and place picking device of the test handler according to the present invention for achieving the above object is provided for holding or releasing the semiconductor element by vacuum pressure, which can be selectively positioned in at least two or more positions Pickers; A positioning device for adjusting the picker to be selectively positioned at the at least two positions; A vacuum pipe provided to provide a vacuum pressure to the picker; And an inlet facing the vacuum pipe and input through the inlet to transfer the vacuum pressure from the vacuum pipe to the picker, which can be selectively positioned at the at least two positions by the positioning device. A vacuum pressure transfer member having a vacuum flow path having at least two outlets for outputting a vacuum pressure to the picker; Characterized in that it comprises a.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹소자는, 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되며, 적어도 둘 이상의 위치에 선택적으로 위치될 수 있는 픽커; 및 상기 픽 커에 진공압을 제공하기 위해 마련되는 진공파이프; 를 포함하되, 상기 픽커 및 상기 진공파이프는 일체로 모듈화 되어 있고, 상기 진공파이프를 통해 진공압이 입력되는 입구와 상기 픽커를 통해 진공압이 출력되는 출구를 가지는 진공유로가 상기 진공파이프 및 상기 픽커에 걸쳐 단일한 경로로 형성되며, 상기 진공유로의 상기 입구와 상기 출구는 동일 수선(垂線) 상에 위치하지 않는 것을 특징으로 한다.In addition, the pick and place picking element of the test handler according to the present invention for achieving the above object is provided for holding or releasing the semiconductor element by vacuum pressure, which may be selectively positioned in at least two positions Pickers; And a vacuum pipe provided to provide a vacuum pressure to the picker. Including, The picker and the vacuum pipe is integrally modular, a vacuum flow path having an inlet through which the vacuum pressure is input through the vacuum pipe and an outlet through which the vacuum pressure is output through the picker is the vacuum pipe and the picker It is formed in a single path over, characterized in that the inlet and the outlet of the vacuum flow path is not located on the same water line.

이하에서는 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치(이하 '픽킹장치'로 약칭함)에 대한 바람직한 실시예들에 대하여 도2 이하를 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of a pick and place picking device for a test handler according to the present invention as described above (hereinafter, abbreviated as 'picking device') will be described with reference to FIG. 2 for the sake of brevity. Overlapping descriptions will be omitted or compressed if possible.

<제1실시예>First Embodiment

도2는 본 발명의 제1실시예에 따른 픽킹장치(200)에 대한 정면도이다.2 is a front view of the picking apparatus 200 according to the first embodiment of the present invention.

도2를 참조하면, 본 실시예에 따른 픽킹장치(200)는, 병렬로 구비되는 한 쌍의 픽킹소자(210, 220), 고정블럭(230), 진공압전달부재(240) 및 간격조절장치(250) 등을 포함하여 구성된다.Referring to Figure 2, the picking device 200 according to the present embodiment, a pair of picking elements (210, 220), a fixed block 230, a vacuum pressure transmission member 240 and a spacing device provided in parallel 250 and the like.

한 쌍의 픽킹소자들(210, 220) 중 제1픽킹소자(210)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제1픽커(211)와 이 제1픽커(211)로 진공압을 공급하기 위한 제1진공파이프(212)를 구비한다. 그리고 제1픽커(211)는 진공압에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착을 해제하는 제1진공패드(211a)와 제1 진공패드(211a)를 제1진공파이프(212)에 연결 및 고정시키는 제1패드홀더(211b)를 구비한다.The first picking element 210 of the pair of picking elements 210 and 220 is a first picker 211 and a first picker 211 provided to hold or release the semiconductor element by vacuum pressure. A first vacuum pipe 212 for supplying a vacuum pressure is provided. The first picker 211 connects and fixes the first vacuum pad 211a and the first vacuum pad 211a to the first vacuum pipe 212 to adsorb or release the semiconductor element by vacuum pressure. One pad holder 211b is provided.

그리고 한 쌍의 픽킹소자들(210, 220) 중 제2픽킹소자(220)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제2픽커(221)와 이 제2픽커(221)로 진공압을 공급하기 위한 제2진공파이프(222)를 구비한다. 그리고 제2픽커(221)는 진공압에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착을 해제하는 제2진공패드(221a)와 제2진공패드(221a)를 간격조절장치(250)에 연결 및 고정시키는 제2패드홀더(221b)를 구비한다.The second picking device 220 of the pair of picking elements 210 and 220 is a second picker 221 and the second picker 221 which are provided for holding or releasing the semiconductor device by vacuum pressure. A second vacuum pipe 222 for supplying a vacuum pressure to the furnace is provided. The second picker 221 connects and fixes the second vacuum pad 221a and the second vacuum pad 221a to the gap controller 250 to adsorb or release the semiconductor element by vacuum pressure. A pad holder 221b is provided.

참고로 제1 및 제2진공파이프(212, 222)는 미도시된 진공펌프로부터 발생된 진공압을 반도체소자를 파지 및 파지해제하기 위한 픽커(211, 221)로 전달하기 위한 요소로서, 궁극적으로 픽커(211, 221)에 동력원(진공펌프)으로부터 발생된 파지 및 파지해제력을 전달하는 전달요소의 역할을 한다.For reference, the first and second vacuum pipes 212 and 222 are elements for transferring the vacuum pressure generated from the vacuum pump not shown to the pickers 211 and 221 for holding and releasing the semiconductor device. The picker 211, 221 serves as a transmission element for transmitting the gripping and release force generated from the power source (vacuum pump).

한편, 고정블럭(230)은 양 픽킹소자들(210, 220)의 진공파이프들(212, 222)을 고정시킴으로써 한 쌍의 픽킹소자들(210, 220)의 상대적 위치를 잡아주며 한 쌍의 픽킹소자들(210, 220)이 블록화되어 하나의 픽킹장치(200)로 구성될 수 있도록 한다.On the other hand, the fixed block 230 holds the relative position of the pair of picking elements (210, 220) by fixing the vacuum pipes (212, 222) of both picking elements (210, 220) and a pair of picking The elements 210 and 220 are blocked to be configured as one picking device 200.

또한 진공압전달부재(240)는 진공파이프들(212, 222)의 하단을 고정시켜 진공파이프들(212, 222)의 회전을 방지한다. 그리고 제2픽커(221)에 대응되는 부분에는 확대도시된 부분에서 자세히 참조되는 바와 같이, 제2진공파이프(222)에 마주하 는 하나의 입구(a)와 이 입구(a)를 통해 입력된 진공압을 제1위치(P1)와 제2위치(P2)로 출력시키기 위한 2개의 출구(b, c)를 가지는 진공유로(A)가 형성되어 있다. 이로 인해 진공압전달부재(240)는 제2진공파이프(222)로부터 오는 진공압을 제1위치(P1) 및 제2위치(P2)에 선택적으로 위치될 수 있는 제2픽커(221)로 전달하는 역할을 수행하는 것이다.In addition, the vacuum pressure transfer member 240 fixes the lower ends of the vacuum pipes 212 and 222 to prevent rotation of the vacuum pipes 212 and 222. In addition, a portion corresponding to the second picker 221 is one inlet (a) facing the second vacuum pipe 222 and is input through the inlet (a) as described in detail in the enlarged portion. A vacuum flow path A having two outlets b and c for outputting the vacuum pressure to the first position P 1 and the second position P 2 is formed. As a result, the vacuum pressure transmitting member 240 may selectively select the vacuum pressure coming from the second vacuum pipe 222 at the first position P 1 and the second position P 2 . It is to carry out the role.

간격조절장치(250)는 제2픽커(221)의 위치를 변환시키는 위치조절장치로서 마련되며, 진공압전달부재(240)에 회전가능하게 결합되는 회전부재(251)와 이 회전부재(251)를 회전된 상태에서 고정시킬 수 있는 고정부재(252)를 포함한다. 본 실시예에서의 고정부재(252)는 수나사볼트로 구비되어 있으며, 회전부재(251) 및 진공압전달부재(240)에는 암나사볼트가 형성되어 있는데, 특히 진공압전달부재(240)에는 2개의 암나사볼트가 형성되어 있다.The gap adjusting device 250 is provided as a position adjusting device for converting the position of the second picker 221, and a rotating member 251 rotatably coupled to the vacuum pressure transmitting member 240 and the rotating member 251. It includes a fixing member 252 that can be fixed in a rotated state. In the present embodiment, the fixing member 252 is provided with a male screw bolt, and the female screw bolt is formed on the rotating member 251 and the vacuum pressure transmitting member 240, in particular, the vacuum pressure transmitting member 240 has two screws. A female thread bolt is formed.

회전부재(251)는 제2진공파이프(222)의 상하 중심선(Z)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 마련되며, 이 회전부재(251)에는 상기한 제2픽커(221)가 중심선(Z)에서 일측으로 반경 R만큼 편중되게 고정 연결되어 있다. 따라서 회전부재(251)의 회전상태에 따라서 중심선(Z)을 기준으로 일정반경(R)만큼 편중되어 고정된 제2픽커(221)가 제1위치(P1)와 제2위치(P2)에 선택적으로 위치될 수 있게 되는 것이다. 물론 실시하기에 따라서는 회전부재(251)와 제2픽커(221)가 하나의 부품으로 일체로 성형될 수도 있을 것이다. 또, 본 실시예에 따라서는 회전요소(S)를 회전중심으로 하여 회전부재(251)가 회전되도록 구현하고 있지만, 응용에 따라서는 서로 다른 위치에서 회전부재(251)를 진공압전달부재(240)에 탈착가능하게 고정시킬 수 있는 두개 이상의 고정부재를 구성시키는 것도 얼마든지 고려될 수 있다. The rotating member 251 is provided to be rotatable using the upper and lower center lines Z of the second vacuum pipe 222 as the rotation axis, and the second picker 221 is formed at the center line Z. It is fixedly connected to one side and is biased by a radius R. Therefore, according to the rotation state of the rotating member 251, the second picker 221 fixed by being biased by a predetermined radius R based on the center line Z is fixed to the first position P 1 and the second position P 2 . It can be selectively positioned in. Of course, depending on the implementation, the rotating member 251 and the second picker 221 may be integrally molded into one component. In addition, according to the present embodiment, the rotary member 251 is implemented by rotating the rotating element S as the center of rotation, but depending on the application, the rotary member 251 is vacuum pressure transfer member 240 at different positions. The configuration of two or more fixing members that can be detachably fixed to the) may also be considered.

참고적으로 제1위치(P1)와 제2위치(P2)는 중심선(Z)을 기준으로 하여 대칭적으로 2R의 간격을 가지고 있으며, 이와 더불어 진공유로(A)의 두개의 출구(b, c)도 2R의 간격을 가지고 있다. 그리고 진공유로(A)의 두개의 출구(b, c)는 각각 제1위치1 ( P1)와 제2위치(P2)로 개방되도록 형성되어 있어서, 제2픽커(221)가 제1위치(P1)에 있을 경우에는 출구 b를 통해 제2픽커(221)로 진공압이 전달되고, 제2픽커(221)가 제2위치(P2)에 있을 경우에는 출구 c를 통해 제2픽커(221)로 진공압이 전달되도록 되어 있다. 또, 본 실시예에서는 제2픽커(221)가 위치하지 않는 상태의 위치(제2픽커가 제2위치에 있을 경우에는 제1위치이며 제2픽커가 제1위치에 있을 경우에는 제2위치)에 대응되는 출구 b 또는 c는 회전부재(251)에 의해 출구가 폐쇄되도록 되어 있지만, 실시하기에 따라서는 별도의 폐쇄부재를 사용하여 제2픽커(221)가 위치하지 않는 상태의 위치에 대응되는 출구를 폐쇄하도록 구현시킬 수도 있다. For reference, the first position P 1 and the second position P 2 have a symmetrical interval of 2R with respect to the center line Z, and two outlets b of the vacuum flow path A. , c) also has a spacing of 2R. In addition, the two outlets b and c of the vacuum flow path A are formed to be opened to the first position 1 ( P 1 ) and the second position (P 2 ), respectively, so that the second picker 221 is placed in the first position. In the case of (P 1 ), the vacuum pressure is transmitted to the second picker 221 through the outlet b, and when the second picker 221 is in the second position P 2 , the second picker through the outlet c. A vacuum pressure is to be transmitted to 221. In addition, in the present embodiment, the position where the second picker 221 is not located (the first position when the second picker is in the second position and the second position when the second picker is in the first position). Although the outlet b or c corresponding to the outlet b or c is configured to be closed by the rotating member 251, the outlet b or c corresponds to a position where the second picker 221 is not positioned by using a separate closing member. It may be implemented to close the exit.

상술한 바와 같은 제1실시예에 따른 픽킹장치(200)의 사용상태에 대하여 도2 내지 도4를 참조하여 설명한다.A use state of the picking apparatus 200 according to the first embodiment as described above will be described with reference to FIGS.

도2는 현재 양 픽커들(211, 221) 간의 간격이 L인 상태를 유지하고 있다. 이러한 상태는 테스트트레이에 적재된 반도체소자들의 간격이 L인 경우에 선택되어 진다.FIG. 2 currently maintains the gap between the two pickers 211 and 221 at L. FIG. This state is selected when the interval between semiconductor elements loaded in the test tray is L. FIG.

이 후 필요에 따라 종전의 테스트트레이가 새로운 테스트트레이로 교체된 경 우, 새로운 테스트트레이에 적재된 반도체소자들 간의 간격이 L+2R이 된 경우 관리자는 고정부재(252)의 고정상태를 해제시킨 후 회전부재(251)를 180도 회전시켜 도3과 같은 상태로 되도록 한 후 다시 고정부재(252)에 의해 회전부재(251)를 고정시킨다. 참고로 회전부재(251)가 회전함에 의해 회전부재(251)에 고정 연결된 제2픽커(221)도 중심선(Z)을 기준으로 회전하게 된다.After that, when the old test tray is replaced with a new test tray as necessary, when the gap between semiconductor elements loaded in the new test tray becomes L + 2R, the administrator releases the fixing member 252 from being fixed. After rotating the rotating member 251 180 degrees to be in the state as shown in Figure 3 and again to fix the rotating member 251 by the fixing member 252. For reference, as the rotating member 251 rotates, the second picker 221 fixedly connected to the rotating member 251 also rotates based on the center line Z.

즉, 회전부재(251)가 도3과 같이 회전된 상태를 유지하게 됨으로써 양 픽커들(211, 221) 간의 간격은 L+2R로 되어 픽킹장치(200)의 교체 없이 동일한 픽킹장치(200)로 새로이 교체된 테스트트레이에 적용될 수 있게 되는 것이다.That is, since the rotating member 251 is maintained as shown in FIG. It can be applied to a newly replaced test tray.

도4는 도2의 상태와 도3의 상태에서의 픽커들(211, 221) 간의 간격을 비교하여 놓은 것으로 도4에서 참조되는 바와 같이 제2픽커(221)가 제1위치(P1)와 제2위치(P2) 중 어디에 위치하느냐에 따라 제1실시예에 따른 픽킹장치의 파지간격은 두개의 간격(L, L+2R) 중 어느 하나의 간격으로 임의적으로 선택될 수 있음을 알 수 있다.FIG. 4 compares the intervals between the pickers 211 and 221 in the state of FIG. 2 and the state of FIG. 3. As shown in FIG. 4, the second picker 221 is connected to the first position P 1 . It can be seen that the holding interval of the picking apparatus according to the first embodiment can be arbitrarily selected at any one of two intervals L and L + 2R depending on where the second position P 2 is located. .

<제2실시예>Second Embodiment

도5는 본 발명의 제2실시예에 따른 픽킹장치(500)에 대한 정면도이다. 본 실시예는 제1실시예에서 더욱 발전된 것으로, 두개의 픽커들 모두 위치변환을 할 수 있도록 하여 픽커들 간의 간격이 총 4개의 간격들 중에서 임의적으로 선택될 수 있도록 하는 기술에 관한 것이다.5 is a front view of a picking apparatus 500 according to a second embodiment of the present invention. This embodiment is further developed in the first embodiment, and relates to a technique for allowing both pickers to perform position conversion so that an interval between pickers can be arbitrarily selected from a total of four intervals.

도5를 참조하면, 본 실시예에 따른 픽킹장치(500)는, 병렬로 구비되는 한 쌍의 픽킹소자(510, 520), 고정블럭(530), 진공압전달부재(540), 제1간격조절장치(550) 및 제2간격조절장치(560) 등을 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 5, the picking apparatus 500 according to the present embodiment includes a pair of picking elements 510 and 520, a fixed block 530, a vacuum pressure transfer member 540, and a first interval provided in parallel. It is configured to include an adjusting device 550 and the second interval adjusting device 560 and the like.

한 쌍의 픽킹소자들(510, 520) 중 제1픽킹소자(510)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제1픽커(511)와 이 제1픽커(511)로 진공압을 공급하기 위한 제1진공파이프(512)를 구비한다. 그리고 제1픽커(511)는 진공압에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착을 해제하는 제1진공패드(511a)와 제1진공패드(511a)를 제1간격조절장치(550)에 연결 및 고정시키는 제1패드홀더(511b)를 구비한다.The first picking element 510 of the pair of picking elements 510 and 520 is a first picker 511 and a first picker 511 which are provided for holding or releasing the semiconductor element by vacuum pressure. A first vacuum pipe 512 for supplying a vacuum pressure is provided. The first picker 511 connects and fixes the first vacuum pad 511a and the first vacuum pad 511a to the first gap controller 550 to adsorb or release the semiconductor element by vacuum pressure. A first pad holder 511b is provided.

또, 한 쌍의 픽킹소자들(510, 520) 중 제2픽킹소자(520)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제2픽커(521)와 이 제2픽커(521)로 진공압을 공급하기 위한 제2진공파이프(522)를 구비한다. 그리고 제2픽커(521)는 진공압에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착을 해제하는 제2진공패드(521a)와 제2진공패드(521a)를 제2간격조절장치(560)에 연결 및 고정시키는 제2패드홀더(521b)를 구비한다.The second picking element 520 of the pair of picking elements 510 and 520 includes a second picker 521 and a second picker 521 which are provided for holding or releasing the semiconductor element by vacuum pressure. And a second vacuum pipe 522 for supplying a vacuum pressure. The second picker 521 connects and fixes the second vacuum pad 521a and the second vacuum pad 521a to the second gap controller 560 to adsorb or release the semiconductor element by vacuum pressure. A second pad holder 521b is provided.

고정블럭(530)은 제1 및 제2픽킹소자(510, 520)의 진공파이프들(512, 522)을 고정시킴으로써 한 쌍의 픽킹소자들(510, 520)의 상대적 위치를 잡아주며 한 쌍의 픽킹소자들(510, 520)이 블록화되어 하나의 픽킹장치(500)로 구성될 수 있도록 한다.The fixed block 530 fixes the pair of picking elements 510 and 520 by fixing the vacuum pipes 512 and 522 of the first and second picking elements 510 and 520. The picking elements 510 and 520 are blocked so that they can be configured as a single picking device 500.

또한 진공압전달부재(540)는 진공파이프들(512, 522)의 하단을 고정시켜 진 공파이프들(512, 522)의 회전을 방지한다. 그리고 양 픽커(511, 521)에 대응되는 부분들에는 각각 진공파이프(512, 522)에 마주하는 입구와 이 입구를 통해 입력된 진공압을 두개의 위치로 각각 출력시키기 위한 2개의 출구를 가지는 진공유로(A1, A2)가 형성되어 있다. 따라서, 진공압전달부재(540)는 진공파이프(512, 522)로부터 오는 진공압을 각각 2개의 위치 중 어느 하나의 위치에 선택적으로 위치될 수 있는 제1 및 제2픽커(511, 521)로 전달하는 역할을 수행하는 것이다.In addition, the vacuum pressure transfer member 540 fixes the lower ends of the vacuum pipes 512 and 522 to prevent rotation of the empty pipes 512 and 522. The portions corresponding to both pickers 511 and 521 have an inlet facing the vacuum pipes 512 and 522, respectively, and a vacuum having two outlets for outputting the vacuum pressure input through the inlets to two positions, respectively. Flow paths A 1 and A 2 are formed. Therefore, the vacuum pressure transfer member 540 is a vacuum pressure from the vacuum pipes (512, 522) to the first and second pickers (511, 521) that can be selectively positioned in any one of two positions respectively. It is to play a role.

제1간격조절장치(550)는 진공압전달부재(540)의 일측에 회전가능하게 결합되는 제1회전부재(551)와 이 제1회전부재(551)를 회전된 상태에서 고정시킬 수 있는 제1고정부재(552)를 포함한다. The first interval adjusting device 550 is a first rotation member 551 rotatably coupled to one side of the vacuum pressure transmission member 540 and an agent capable of fixing the first rotation member 551 in a rotated state. 1 includes a fixing member 552.

제1회전부재(551)는 제1진공파이프(512)의 상하 제1중심선(Z1)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 마련되며, 이 제1회전부재(551)에는 상기한 제1픽커(511)가 제1중심선(Z1)에서 일측으로 반경 R1만큼 편중되게 고정 연결되어 있다. 따라서 제1회전부재(551)의 회전상태에 따라서 제1중심선(Z1)을 기준으로 일정반경(R1)만큼 편중되어 고정된 제1픽커(511)가 제1중심선(Z1)을 기준으로 2R1만큼 간격을 가지는 두개의 위치에 선택적으로 위치될 수 있게 되는 것이다.The first rotating member 551 is provided to be rotatable using the upper and lower first center lines Z 1 of the first vacuum pipe 512 as the rotation axis. The first rotating member 551 includes the first picker 511. ) Is fixedly connected to the first center line (Z 1 ) to be biased by a radius R 1 to one side. Therefore, the first picker 511 which is fixed by being biased by a predetermined radius R 1 based on the first center line Z 1 according to the rotation state of the first rotating member 551 is referred to the first center line Z 1 . Therefore, it can be selectively positioned at two positions spaced by 2R 1 .

또한, 제2간격조절장치(560)는 진공압전달부재(540)의 타측에 회전가능하게 결합되는 제2회전부재(561)와 이 제2회전부재(561)를 회전된 상태에서 고정시킬 수 있는 제2고정부재(562)를 포함한다. In addition, the second interval adjusting device 560 may fix the second rotating member 561 and the second rotating member 561 rotatably coupled to the other side of the vacuum pressure transmission member 540 in a rotated state. And a second fixing member 562 thereon.

제2회전부재(561)는 제2진공파이프(522)의 상하 제2중심선(Z2)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 마련되며, 이 제2회전부재(561)에는 상기한 제2픽커(521)가 제2중심선(Z2)에서 일측으로 반경 R2만큼 편중되게 고정 연결되어 있다. 따라서 제2회전부재(561)의 회전상태에 따라서 제2중심선(Z2)을 기준으로 일정반경(R2)만큼 편중되어 고정된 제2픽커(521)가 제2중심선(Z2)을 기준으로 2R2만큼 간격을 가지는 두개의 위치에 선택적으로 위치될 수 있게 되는 것이다. 참고로 제2실시예에서는 R2 > R1 이다. 반대로 R2 < R1 인 경우도 가능하다.The second rotating member 561 is provided to be rotatable using the upper and lower second center lines Z 2 of the second vacuum pipe 522 as the rotation axis, and the second rotating member 561 has the second picker 521 described above. ) Is fixedly connected to the side of the second center line (Z 2 ) so as to be biased by a radius R 2 . Therefore, the second picker 521 is biased by a predetermined radius R 2 based on the second center line Z 2 and fixed according to the rotation state of the second rotating member 561 based on the second center line Z 2 . As a result, it can be selectively positioned at two positions spaced by 2R 2 . For reference, in the second embodiment, R 2 > R 1 . Conversely, it is also possible if R 2 <R 1 .

상술한 바와 같은 제2실시예에 따른 픽킹장치(500)의 사용상태에 대하여 도6을 참조하여 설명한다.A use state of the picking apparatus 500 according to the second embodiment as described above will be described with reference to FIG.

이미 제1실시예에서 설명한 바와 같이 제1 및 제2회전부재(551, 561)의 회전에 따라 함께 회전하는 제1 및 제2픽커(511, 521)의 회전상태에 따라서 제1픽커(511)와 제2픽커(521)는 그 위치가 가변될 수 있으며, 도6에는 그러한 제1 및 제2픽커(511, 521)의 회전상태에 따른 양 픽커들(511, 521) 간의 간격을 쉽게 표현해 놓았다.As described above in the first embodiment, the first picker 511 according to the rotation state of the first and second pickers 511 and 521 which rotate together with the rotation of the first and second rotating members 551 and 561. And the position of the second picker 521 may be varied. In FIG. 6, an interval between the two pickers 511 and 521 according to the rotation state of the first and second pickers 511 and 521 is easily represented. .

즉, 도6에서 참조되는 바와 같이 제1 및 제2픽커(511, 521)는 L, L+R1, L+R2, L+R1+R2의 간격들 중 임의적인 간격으로 선택될 수 있도록 되어 있다.That is, as referenced in FIG. 6, the first and second pickers 511 and 521 may be selected as an arbitrary interval among the intervals of L, L + R 1 , L + R 2 , and L + R 1 + R 2 . It is supposed to be.

따라서 테스트트레이에 적재된 반도체소자들의 적재간격이 L, L+R1, L+R2, L+R1+R2 중 어느 하나이면, 본 실시예에 따른 픽킹장치(500)가 테스트트레이의 교체에 영향을 받지 않고 계속 사용될 수 있게 된다. 참고로 R1=R2이면, 제1 및 제2픽커(511, 521) 간의 간격은 세 개의 간격(L, L+R1, L+2R1) 중 어느 하나의 간격으로 조정될 수 있을 것이다. Therefore, if the stacking interval of the semiconductor devices loaded on the test tray is any one of L, L + R 1 , L + R 2 , and L + R 1 + R 2 , the picking apparatus 500 according to the present embodiment may be configured as a test tray. It can be used continuously without being affected by the replacement. For reference, if R 1 = R 2 , the interval between the first and second pickers 511 and 521 may be adjusted to any one of three intervals L, L + R 1 , and L + 2R 1 .

<제3실시예>Third Embodiment

도7은 본 발명의 제3실시예에 따른 픽킹장치(700)에 대한 정면도이다.7 is a front view of a picking apparatus 700 according to a third embodiment of the present invention.

도7를 참조하면, 본 실시예에 따른 픽킹장치(700)는, 병렬로 구비되는 한 쌍의 픽킹소자(710, 720), 고정블럭(730), 진공압전달부재(740) 및 간격조절장치(750) 등을 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 7, the picking apparatus 700 according to the present embodiment includes a pair of picking elements 710 and 720, a fixed block 730, a vacuum pressure transfer member 740, and a gap adjusting device provided in parallel. 750 and the like.

한 쌍의 픽킹소자들(710, 720) 중 제1픽킹소자(710)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제1픽커(711)와 이 제1픽커(711)로 진공압을 공급하기 위한 제1진공파이프(712)를 구비한다. 그리고 제1픽커(711)는 진공압에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착을 해제하는 제1진공패드(711a)와 제1진공패드(711a)를 제1진공파이프(712)에 연결 및 고정시키는 제1패드홀더(711b)를 구비한다.The first picking element 710 of the pair of picking elements 710 and 720 is a first picker 711 and a first picker 711 which are provided for holding or releasing the semiconductor element by vacuum pressure. A first vacuum pipe 712 for supplying a vacuum pressure is provided. The first picker 711 connects and fixes the first vacuum pad 711a and the first vacuum pad 711a to the first vacuum pipe 712 to adsorb or release the semiconductor element by vacuum pressure. One pad holder 711b is provided.

그리고 한 쌍의 픽킹소자들(710, 720) 중 제2픽킹소자(720)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제2픽커(721)와 이 제2픽커(721)로 진공압을 공급하기 위한 제2진공파이프(722)를 구비한다. 그리고 제2픽 커(721)는 진공압에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착을 해제하는 제2진공패드(721a)와 제2진공패드(721a)를 간격조절장치(750)에 연결 및 고정시키는 제2패드홀더(721b)를 구비한다.The second picking element 720 of the pair of picking elements 710 and 720 is a second picker 721 and the second picker 721 which are provided for holding or releasing the semiconductor element by vacuum pressure. And a second vacuum pipe 722 for supplying a vacuum pressure to the furnace. The second picker 721 connects and fixes the second vacuum pad 721a and the second vacuum pad 721a, which adsorb or release the semiconductor element by vacuum pressure, to the gap controller 750. Two pad holders 721b are provided.

한편, 고정블럭(730)은 양 픽킹소자들(710, 720)의 진공파이프들(712, 722)을 고정시킴으로써 한 쌍의 픽킹소자들(710, 720)의 상대적 위치를 잡아주며 한 쌍의 픽킹소자들(710, 720)이 블록화되어 하나의 픽킹장치(700)로 구성될 수 있도록 한다.On the other hand, the fixed block 730 fixes the relative position of the pair of picking elements 710, 720 by fixing the vacuum pipes (712, 722) of both picking elements (710, 720) and a pair of picking The elements 710 and 720 may be blocked to be configured as one picking device 700.

또한 진공압전달부재(740)는 진공파이프들(712, 722)의 하단을 고정시켜 진공파이프들(712, 722)의 회전을 방지한다. 그리고 제2픽커(721)에 대응되는 부분에는 제2진공파이프(722)에 마주하는 하나의 입구와 이 입구를 통해 입력된 진공압을 제1위치(P1)와 제2위치(P2)로 출력시키기 위한 2개의 출구를 가지는 진공유로(U)가 형성되어 있다.In addition, the vacuum pressure transfer member 740 fixes the lower ends of the vacuum pipes 712 and 722 to prevent rotation of the vacuum pipes 712 and 722. In addition, a portion corresponding to the second picker 721 includes one inlet facing the second vacuum pipe 722 and a vacuum pressure input through the inlet to the first position P 1 and the second position P 2 . A vacuum flow path U having two outlets for outputting the furnace is formed.

간격조절장치(750)는 진공압전달부재(740)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩부재(751)와 이 슬라이딩부재(751)가 슬라이딩될 수 있도록 하는 동력을 제공하는 동력원으로서 구비되는 실린더(752)로 구성되어 있다. 즉, 실린더(752)는 슬라이딩부재(751)를 슬라이딩시킴으로써 궁극적으로 이 슬라이딩부재(751)에 결합된 제2픽커(721)를 제1픽커(711)에 대향되게 슬라이딩시키는 동력을 제공하는 역할을 하는 것이다. 참고로, 도7에는 도시되지 않았지만 슬리이딩부재(751)가 진공압전달부재(740)에 밀착할 수 있도록 하는 부재를 더하는 것이 더욱 바람직하다.The gap adjusting device 750 includes a sliding member 751 slidably coupled to the vacuum pressure transmission member 740 and a cylinder 752 provided as a power source for providing power for allowing the sliding member 751 to slide. Consists of That is, the cylinder 752 serves to provide power for sliding the sliding member 751 and ultimately sliding the second picker 721 coupled to the sliding member 751 to face the first picker 711. It is. For reference, although not shown in FIG. 7, it is more preferable to add a member that allows the sliding member 751 to be in close contact with the vacuum pressure transmission member 740.

위와 같은 제3실시예에 의하면 관리자가 간격조절을 위한 작업을 하지 않아도, 제어장치에 의해 자동적으로 실린더(752)를 작동시킴으로써 픽커들(711, 721) 간의 간격이 조절될 수 있도록 하는 편리함이 있게 된다. 물론, 제3실시예의 경우에서도 제2실시예의 경우와 같이 양 픽커들 모두 위치가 가변될 수 있도록 구성하는 것도 가능하다. 그리고 더 나아가서 하나의 픽앤플레이스에 여러 개의 픽킹장치들이 구비되어 있을 경우에 하나의 실린더에 의해서 여러 개의 픽킹장치들 각각의 픽커들 간의 간격을 함께 조절하는 것도 얼마든지 가능하다.According to the third embodiment as described above, even if the administrator does not work for adjusting the spacing, the space between the pickers 711 and 721 can be adjusted by automatically operating the cylinder 752 by the control device. do. Of course, in the case of the third embodiment, as in the case of the second embodiment, it is also possible to configure both pickers so that the position can be changed. In addition, when a plurality of picking devices are provided in one pick and place, it is possible to adjust the interval between pickers of each of the plurality of picking devices by one cylinder.

<제4실시예>Fourth Embodiment

도8은 본 발명의 제4실시예에 따른 픽킹장치(800)에 대한 정면도이고, 도9는 도8의 W부분을 확대도시한 정단면도이다.FIG. 8 is a front view of the picking apparatus 800 according to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 9 is an enlarged front sectional view of a portion W of FIG.

도8을 참조하면, 본 실시예에 따른 픽킹장치(800)는, 병렬로 구비되는 한 쌍의 픽킹소자(810, 820), 고정블럭(830), 회전방지부재(840) 등을 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 8, the picking apparatus 800 according to the present exemplary embodiment includes a pair of picking elements 810 and 820, a fixing block 830, a rotation preventing member 840, and the like, which are provided in parallel. do.

한 쌍의 픽킹소자들(810, 820) 중 제1픽킹소자(810)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제1픽커(811)와 이 제1픽커(811)로 진공압을 공급하기 위한 제1진공파이프(812)를 구비한다.The first picking element 810 of the pair of picking elements 810 and 820 is a first picker 811 and the first picker 811 which are provided for holding or releasing the semiconductor element by vacuum pressure. A first vacuum pipe 812 for supplying a vacuum pressure is provided.

한 쌍의 픽킹소자들(810, 820) 중 제2픽킹소자(820)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제2픽커(821)와 이 제2픽커(821)로 진공압을 공급하기 위한 제2진공파이프(822)를 구비한다. 여기서, 제2픽커(821) 및 제2진공파이프(822)는 도8 및 도9에서 참조되는 바와 같이 일체로 모듈화되어 있다. 그리고 제2진공파이프(822) 상측의 진공압이 유입되기 위한 입구(Bi) 및 제2픽커(821)의 하측의 진공압이 출력되기 위한 출구(Bo)를 가지는 진공유로(B)가 상하 방향으로 길게 형성되어 있는데, 여기서, 입구(Bi)와 출구(Bo)는 동일 수선 상에 있지 않다. 즉, 입구(Bi)는 수선 H1 상에 놓여 있고 출구(Bo)는 수선 H1 과 거리 L만큼 이격된 수선 H2상에 놓여 있다. 따라서 일체로 모듈화된 제2픽커(821) 및 제2진공파이프(822)를 수동 또는 자동으로 회전시키면 제1픽킹소자(810)의 제1픽커(811)와 제2픽킹소자(820)의 제2픽커(821) 간의 간격이 조정될 수 있게 된다. The second picking element 820 of the pair of picking elements 810 and 820 is a second picker 821 and the second picker 821 which are provided for holding or releasing the semiconductor element by vacuum pressure. A second vacuum pipe 822 for supplying a vacuum pressure is provided. Here, the second picker 821 and the second vacuum pipe 822 are integrally modularized as referenced in FIGS. 8 and 9. A vacuum flow path B having an inlet B i through which the vacuum pressure on the upper side of the second vacuum pipe 822 flows and an outlet Bo through which the vacuum pressure on the lower side of the second picker 821 is outputted are provided. There is formed long in the vertical direction, wherein the inlet (B i) and an outlet (B o) is not in the same repair. That is, the inlet (B i) is placed on the repair H 1 and the outlet (B o) lies on a repair H 2 H 1 and spaced a perpendicular distance L. Therefore, when the integrally modularized second picker 821 and the second vacuum pipe 822 are manually or automatically rotated, the first picker 811 and the second picking element 820 of the first picking element 810 are rotated. The interval between the two pickers 821 can be adjusted.

고정블럭(830)은 양 픽킹소자들(810, 820)의 진공파이프들(812, 822)을 고정시킴으로써 한 쌍의 픽킹소자들(810, 820)의 상대적 위치를 잡아주며 한 쌍의 픽킹소자들(810, 820)이 블록화되어 하나의 픽킹장치(800)로 구성될 수 있도록 한다.The fixed block 830 holds the pair of picking elements 810 and 820 by fixing the vacuum pipes 812 and 822 of both picking elements 810 and 820. 810 and 820 are blocked to be configured as one picking device 800.

또한 회전방지부재(840)는 진공파이프들(812, 822)의 하단을 고정시켜 진공파이프들(812, 822)의 회전을 방지한다.In addition, the rotation preventing member 840 fixes the lower ends of the vacuum pipes 812 and 822 to prevent rotation of the vacuum pipes 812 and 822.

본 실시예에 따른 제2픽킹소자(820)에서 제2픽커(821) 및 제2진공파이프(822)가 일체로 모듈화 되어 있는 상태에서 진공유로(B)가 단일한 경로를 가지도록 형성하되, 입구(Bi)와 출구(Bo)가 동일 수선 상에 위치하지 않게 함으로써, 제1픽커(811)와 제2픽커(821) 간의 간격을 조정할 수 있도록 하면서도, 제2픽커(821) 및 제2진공파이프(822) 사이에서 진공압이 누설되는 것을 방지할 수 있게 된다. In the second picking device 820 according to the present embodiment, the vacuum channel B is formed to have a single path in a state in which the second picker 821 and the second vacuum pipe 822 are integrally modularized. By not allowing the inlet (B i ) and the outlet (B o ) to be on the same waterline, it is possible to adjust the distance between the first picker 811 and the second picker 821, while the second picker 821 and the second picker It is possible to prevent the vacuum pressure from leaking between the vacuum pipes 822.

이상의 실시예에서 설명된 바와 같이 본 발명에 따른 픽킹장치는 픽커들 간의 간격을 조절함으로써 픽킹소자들의 파지간격을 조절하도록 되어 있지만, 본 발명은 기본적으로 픽킹소자들의 파지간격을 조절하기 위한 것으로 고정블록의 폭이 변화될 수 있도록 하는 구성도 얼마든지 가능함을 알 수 있을 것이다.As described in the above embodiments, the picking apparatus according to the present invention is configured to adjust the holding distance of the picking elements by adjusting the distance between the pickers, but the present invention is basically for adjusting the holding interval of the picking elements. It will be appreciated that a configuration can be made that allows the width of the device to be changed.

즉, 위에서 설명된 픽킹장치는 픽킹소자들의 파지간격을 가변시킨다는 기본적인 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 응용될 수 있을 것이다. 따라서 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.That is, the picking apparatus described above may be applied in various ways without departing from the basic technical idea of varying the holding interval of the picking elements. Therefore, although the detailed description of the present invention has been made by the embodiments with reference to the accompanying drawings, it is understood that the present invention is limited only to the above embodiments, since the above embodiments have only been described with reference to preferred examples of the present invention. It should not be understood that the scope of the invention should be understood by the claims and equivalent concepts described below.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.As described in detail above, the present invention has the following effects.

픽킹소자에 구비되는 픽커의 상대적 위치를 변환시킬 수 있도록 하여, 하나의 픽킹장치에 구성되는 복수의 픽킹소자들의 파지간격을 조절할 수 있기 때문에 다양한 규격의 테스트트레이에 적용될 수 있으며, 그로 인하여, 자원의 절감 및 A/S비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.Since it is possible to change the relative position of the picker provided in the picking element, it is possible to adjust the holding interval of a plurality of picking elements configured in one picking device, so that it can be applied to test trays of various standards, thereby, It has the effect of reducing the cost and A / S cost.

Claims (6)

삭제delete 삭제delete 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 병렬로 구비되는 한 쌍의 픽킹소자;A pair of picking elements provided in parallel to hold or release the semiconductor elements; 상기 한 쌍의 픽킹소자 상호간을 고정시키는 고정블럭; 및A fixed block for fixing the pair of picking elements to each other; And 상기 한 쌍의 픽킹소자의 파지간격을 조절하기 위해 마련되는 간격조절장치; 를 포함하며,An interval adjusting device provided to adjust a holding interval of the pair of picking elements; Including; 상기 한 쌍의 픽킹소자 각각은,Each of the pair of picking elements, 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 픽커; 및Pickers provided for holding or releasing the semiconductor device; And 상기 픽커로 파지력 및 파지해제력을 전달하는 전달요소; 를 포함하고,A transfer element for transferring a gripping force and a gripping force to the picker; Including, 상기 간격조절장치는 상기 픽커들 간의 간격을 조절하기 위해The spacing device to adjust the spacing between the pickers 임의의 중심선을 회전축으로 하여 회전가능하게 마련되며, 상기 중심선을 기준으로 상기 픽커가 편중되게 고정되는 회전부재; 및A rotation member provided to be rotatable with any center line as the rotation axis, and the picker being fixedly biased based on the center line; And 상기 회전부재를 고정시키는 고정부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는A fixing member for fixing the rotating member; Characterized in that it comprises 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치.Picking device for pick and place test handlers. 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 병렬로 구비되는 한 쌍의 픽킹소자;A pair of picking elements provided in parallel to hold or release the semiconductor elements; 상기 한 쌍의 픽킹소자 상호간을 고정시키는 고정블럭; 및A fixed block for fixing the pair of picking elements to each other; And 상기 한 쌍의 픽킹소자의 파지간격을 조절하기 위해 마련되는 간격조절장치; 를 포함하며,An interval adjusting device provided to adjust a holding interval of the pair of picking elements; Including; 상기 한 쌍의 픽킹소자 각각은,Each of the pair of picking elements, 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 픽커; 및Pickers provided for holding or releasing the semiconductor device; And 상기 픽커로 파지력 및 파지해제력을 전달하는 전달요소; 를 포함하고,A transfer element for transferring a gripping force and a gripping force to the picker; Including, 상기 간격조절장치는 상기 픽커들 간의 간격을 조절하기 위해,The spacing device to adjust the spacing between the pickers, 특정 픽커가 타 픽커와 대향되게 슬라이딩될 수 있도록 하는 동력을 제공하는 동력원; 및A power source that provides power to allow a particular picker to slide opposite the other picker; And 상기 동력원의 작동에 따라 슬라이딩하면서 상기 특정 픽커를 상기 타 픽커와 대향되게 이동시키는 슬라이딩부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는A sliding member for sliding the specific picker to face the other picker while sliding according to the operation of the power source; Characterized in that it comprises 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치.Picking device for pick and place test handlers. 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되며, 적어도 둘 이상의 위치에 선택적으로 위치될 수 있는 픽커;A picker provided to hold or release the semiconductor element by vacuum pressure, the picker being selectively positioned at at least two positions; 상기 픽커를 상기 적어도 둘 이상의 위치에 선택적으로 위치될 수 있도록 조절하는 위치조절장치;A positioning device for adjusting the picker to be selectively positioned at the at least two positions; 상기 픽커에 진공압을 제공하기 위해 마련되는 진공파이프; 및A vacuum pipe provided to provide a vacuum pressure to the picker; And 상기 진공파이프로부터 오는 진공압을 상기 위치조절장치에 의해 상기 적어도 둘 이상의 위치에 선택적으로 위치될 수 있는 상기 픽커로 전달하기 위해, 상기 진공파이프에 마주하는 하나의 입구와 상기 입구를 통해 입력된 진공압을 상기 픽 커로 출력시키는 적어도 둘 이상의 출구를 가지는 진공유로가 형성된 진공압전달부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는A vacuum input through the inlet and one inlet facing the vacuum pipe to transfer the vacuum pressure from the vacuum pipe to the picker which can be selectively positioned at the at least two positions by the positioning device. A vacuum pressure transfer member having a vacuum flow path having at least two outlets for outputting air pressure to the picker; Characterized in that it comprises 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치.Picking device for pick and place test handlers. 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되며, 적어도 둘 이상의 위치에 선택적으로 위치될 수 있는 픽커; 및A picker provided to hold or release the semiconductor element by vacuum pressure, the picker being selectively positioned at at least two positions; And 상기 픽커에 진공압을 제공하기 위해 마련되는 진공파이프; 를 포함하되,A vacuum pipe provided to provide a vacuum pressure to the picker; Including but not limited to: 상기 픽커 및 상기 진공파이프는 일체로 모듈화 되어 있고, 상기 진공파이프를 통해 진공압이 입력되는 입구와 상기 픽커를 통해 진공압이 출력되는 출구를 가지는 진공유로가 상기 진공파이프 및 상기 픽커에 걸쳐 단일한 경로로 형성되며,The picker and the vacuum pipe are integrally modularized, and a vacuum flow path having an inlet through which the vacuum pressure is input through the vacuum pipe and an outlet through which the vacuum pressure is output through the picker is provided across the vacuum pipe and the picker. Formed by a path, 상기 진공유로의 상기 입구와 상기 출구는 동일 수선(垂線) 상에 위치하지 않는 것을 특징으로 하는The inlet and the outlet of the vacuum flow passage are not located on the same water line. 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹소자.Picking element for pick and place of test handler.
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