KR100892255B1 - Picking apparatus for pick and place of test handler - Google Patents
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Abstract
본 발명은 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치에 관한 것으로, 반도체소자를 파지하거나 파지해제하는 픽킹소자들의 파지간격을 조절하여, 하나의 픽킹장치가 서로 다른 적재규격(적재되는 반도체소자들 간의 간격)의 테스트트레이에 모두 적용 가능해질 수 있도록 하는 기술이 개시된다.The present invention relates to a pick and place picking device of a test handler, by adjusting the holding interval of the picking device for holding or releasing the semiconductor device, one picking device is different loading standard (gap between the semiconductor devices loaded) Disclosed is a technique for enabling all of the test trays to be applied.
테스트핸들러, 픽앤플레이스장치, 로더핸드, 언로더핸드, 픽킹소자, 픽커 Test handler, pick and place device, loader hand, unloader hand, picking element, picker
Description
도1은 종래기술에 따른 픽킹장치에 대한 정면도이다.1 is a front view of a picking apparatus according to the prior art.
도2는 본 발명의 제1실시예에 따른 픽킹장치에 대한 정면도이다.2 is a front view of a picking apparatus according to a first embodiment of the present invention.
도3은 도2의 픽킹장치에 대한 다른 사용상태도이다.3 is another use state diagram of the picking apparatus of FIG.
도4는 도2의 픽킹장치에 대한 사용상태를 설명하기 위한 참조도이다.4 is a reference diagram for explaining a use state of the picking apparatus of FIG.
도5는 본 발명의 제2실시예에 따른 픽킹장치에 대한 정면도이다.5 is a front view of a picking apparatus according to a second embodiment of the present invention.
도6은 도5의 픽킹장치에 대한 사용상태를 설명하기 위한 참조도이다.FIG. 6 is a reference diagram for describing a use state of the picking apparatus of FIG. 5. FIG.
도7은 본 발명의 제3실시예에 따른 픽킹장치에 대한 정면도이다.7 is a front view of a picking apparatus according to a third embodiment of the present invention.
도8은 본 발명의 제4실시예에 따른 픽킹장치에 대한 정면도이다.8 is a front view of a picking apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.
도9는 도8의 W부분을 확대한 정단면도이다.FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view of part W of FIG. 8.
*도면의 주요부위에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
200, 500, 700, 800 : 픽킹장치200, 500, 700, 800: Picking device
211, 511, 711, 811 : 제1픽킹소자211, 511, 711, 811: first picking element
221, 521, 721, 821 : 제2픽킹소자221, 521, 721, 821: second picking element
230, 530, 730, 830 : 고정블록230, 530, 730, 830: fixed block
240, 540, 740 : 진공압전달부재240, 540, 740: vacuum pressure transmission member
840 : 회전방지부재840: anti-rotation member
250, 750 : 간격조절장치250, 750: Spacer
550 : 제1간격조절장치550: first interval adjusting device
560 : 제2간격조절장치560: second interval adjusting device
B : 진공유로B: vacuum flow path
Bi : 입구 Bo : 출구B i : Inlet B o : Outlet
본 발명은 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치에 관한 것이다.The present invention relates to a picking device for pick and place of a test handler.
테스트핸들러라 함은 생산된 반도체소자의 출하에 앞서 그 양부를 테스터에 의해 테스트하고자 할 경우, 테스터에 반도체소자를 공급한 후 테스트완료된 반도체소자를 그 양부에 따라는 분류하는 장치를 말한다.The test handler refers to a device for classifying the tested semiconductor devices according to their specifications after supplying the semiconductor devices to the tester before the shipment of the produced semiconductor devices.
그러한 테스트핸들러에 관해서는 이미 대한민국 공개특허공보 공개번호 특2003-0029266호(발명의 명칭 : 테스트핸들러) 등과 같은 다수의 공개문서들을 통해 공개되어 있다.Such a test handler has already been disclosed through a number of public documents such as Korean Patent Laid-Open Publication No. 2003-0029266 (name of the invention: test handler).
일반적으로 테스트핸들러는 고객트레이에 적재된 반도체소자들을 테스트트레이로 로딩시켜 테스트트레이에 적재된 상태의 반도체소자들을 테스터에 공급하고, 테스트가 완료된 반도체소자들을 테스트트레이로부터 고객트레이로 언로딩시키도록 되어 있다.In general, the test handler loads the semiconductor devices loaded in the customer tray into the test tray, supplies the semiconductor devices loaded in the test tray to the tester, and unloads the tested semiconductor devices from the test tray to the customer tray. have.
위와 같이 테스트핸들러는 반도체소자들을 고객트레이에서 테스트트레이로 로딩시키거나 테스트트레이에서 고객트레이로 언로딩시키는 작업을 수행하는데, 이러한 작업을 수행하기 위해서 픽앤플레이스라는 장치를 가진다. 이러한 픽앤플레이스는 그 역할에 따라서 로더핸드, 언로더핸드, 소터핸드 등으로 불린다. As described above, the test handler loads the semiconductor devices from the customer tray to the test tray or unloads the test tray into the customer tray, and has a device called pick and place to perform such a task. These pick and place are called loader hand, unloader hand, sorter hand, etc. according to their role.
픽앤플레이스는 다수의 픽킹장치로 구성되는데, 종래에는 하나의 픽킹장치가 하나의 반도체소자를 파지할 수 있도록 구성되어 있었다.The pick-and-place is composed of a plurality of picking devices. In the past, one picking device was configured to hold one semiconductor device.
그런데, 동시에 테스트되는 반도체소자의 수가 증가함에 따라, 하나의 픽킹장치에 의해 하나의 반도체소자를 파지하는 것이 더 이상 장치의 생산적인 측면에서 바람직하지 못하게 되었다.However, as the number of semiconductor devices tested simultaneously increases, holding one semiconductor device by one picking device is no longer desirable from the productive point of view of the device.
따라서 도1에서 도시된 바와 같이 하나의 픽킹장치에 두개의 픽킹소자를 구성시켜, 하나의 픽킹장치가 두개의 반도체소자를 파지할 수 있도록 하는 기술이 개발되었다.Accordingly, as shown in FIG. 1, a technology has been developed in which two picking devices are configured in one picking device so that one picking device can hold two semiconductor devices.
도1을 참조하면, 픽킹장치(100)는 두개의 픽킹소자(110)와, 두개의 픽킹소자(110) 상호간의 위치(즉, 픽킹소자들 간의 파지간격)를 고정시키는 고정블럭(120)과, 픽킹소자(110)들의 회전을 방지하기 위한 회전방지부재(130)로 구성되어 있다. 그리고 각각의 픽킹소자(110)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하는 픽커(111)와 미도시된 진공펌프로부터 오는 진공압을 픽커(111)로 공급하는 진공파이프(112)로 구성된다. 그리고 픽커(111)는 진공압에 의해 반도체소 자들을 흡착하거나 흡착해제하는 진공패드(111a)와 진공패드(111a)를 진공파이프(112)에 고정연결시키는 패드홀더(111b)로 구성된다.Referring to FIG. 1, the
위와 같은 픽킹장치(100)는 미도시된 진공펌프의 작동에 의해 진공압이나 해제압(이하 '진공압'이라 통칭함)이 픽커(111), 더 구체적으로는 픽커(111)의 하방으로 오목한 진공패드(111a)로 전달되어 진공패드(111a)의 오목한 공간을 진공상태로 유지시키거나 진공상태를 해제시킴으로써 반도체소자를 진공패드(111a)로 파지하거나 파지해제할 수 있게 된다. Picking
한편, 테스트핸들러의 테스트트레이에는 일정한 간격을 유지한 상태로 다수의 반도체소자들이 적재되어 있는데, 테스트될 반도체소자들의 물리적 규격이 바뀌거나 1회의 테스트 양을 늘린다거나 할 경우와 같이 필요에 따라서 종전의 테스트트레이와 적재규격(적재되는 반도체소자들 간의 적재 간격)이 다른 테스트트레이로 교체되어지는 경우가 발생한다.On the other hand, the test tray of the test handler is loaded with a plurality of semiconductor devices at regular intervals, and if necessary, such as when the physical specifications of the semiconductor devices to be tested are changed or the amount of one test is increased. The test tray and the loading standard (load gap between the loaded semiconductor elements) may be replaced by another test tray.
만일 종전의 테스트트레이와 적재규격이 다른 테스트트레이로 교체된 경우, 새로이 교체된 테스트트레이에 적재된 반도체소자들 간의 간격이 종전의 테스트트레이에 적재된 반도체소자들 간의 간격과 다른 경우에는 종전의 픽킹장치를 더 이상 적용할 수 없기 때문에 종전의 픽앤플레이스도 더불어 새로운 픽킹장치가 적용된 픽앤플레이스로 교체되어져야 했다. 즉, 종전의 픽앤플레이스를 교체된 새로운 테스트트레이의 적재규격에 맞는 파지간격을 가지는 픽킹장치가 적용된 새로운 픽앤플레이스로 교체해야만 했던 것이다. 그러한 점은 자원의 낭비 및 교체비용의 증가를 초래하는 문제점의 원인이 된다.If the gap between the semiconductor elements loaded in the newly replaced test tray is different from the gap between the semiconductor elements loaded in the old test tray, the previous picking Since the device was no longer applicable, the old pick and place had to be replaced with a pick and place with a new picking device. That is, the old pick and place had to be replaced with a new pick and place with a picking device having a gripping interval that meets the loading standard of the replaced new test tray. This causes a problem that causes waste of resources and an increase in replacement costs.
상기한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 제1목적은 픽킹소자의 파지위치를 가변시킬 수 있는 픽킹장치를 제공하는 것이다.A first object of the present invention for solving the above problems is to provide a picking apparatus capable of varying the holding position of the picking element.
그리고 본 발명의 제2목적은 파지위치를 가변시킬 수 있는 픽킹장치를 더 구체적으로 활용하여 복수의 픽킹소자를 가지는 픽킹장치에서 픽킹소자들의 파지간격을 가변시킬 수 있는 기술을 제공하는 것이다.A second object of the present invention is to provide a technique capable of varying the holding intervals of picking elements in a picking device having a plurality of picking elements by more specifically utilizing a picking device capable of changing the holding position.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치는, 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 병렬로 구비되는 한 쌍의 픽킹소자; 상기 한 쌍의 픽킹소자 상호간을 고정시키는 고정블럭; 및 상기 한 쌍의 픽킹소자의 파지간격을 조절하기 위해 마련되는 간격조절장치; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Pick and place the picking device of the test handler according to the present invention for achieving the above object, a pair of picking elements provided in parallel to hold or release the semiconductor device; A fixed block for fixing the pair of picking elements to each other; And An interval adjusting device provided to adjust a holding interval of the pair of picking elements; Characterized in that it comprises a.
상기 한 쌍의 픽킹소자 각각은, 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 픽커; 및 상기 픽커로 파지 및 파지해제력을 전달하는 전달요소; 를 포함하고, 상기 간격조절장치는 상기 픽커들 간의 간격을 조절하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.Each of the pair of picking elements may include a picker provided to hold or release a semiconductor element; And a transfer element for transferring a gripping and gripping force to the picker. It includes, and the spacing device is characterized in that to adjust the spacing between the pickers more specific.
상기 간격조절장치는, 임의의 중심선을 회전축으로 하여 회전가능하게 마련되며, 상기 중심선을 기준으로 상기 픽커가 편중되게 고정되는 회전부재; 및 상기 회전부재를 고정시키는 고정부재; 를 포함하는 것을 또 하나의 구체적인 특징으로 한다.The gap adjusting device may include: a rotation member provided to be rotatable using any center line as a rotation axis, and the picker being fixedly biased based on the center line; And a fixing member for fixing the rotating member. It includes another specific feature to include.
상기 간격조절장치는, 특정 픽커가 타 픽커와 대향되게 슬라이딩될 수 있도록 하는 동력을 제공하는 동력원; 및 상기 동력원의 작동에 따라 슬라이딩하면서 상기 특정 픽커를 상기 타 픽커와 대향되게 이동시키는 슬라이딩부재; 를 포함하는 것을 또 하나의 구체적인 특징으로 한다.The spacing device may include: a power source providing power for allowing a specific picker to slide to face the other picker; And a sliding member for sliding the specific picker to face the other picker while sliding according to the operation of the power source. It includes another specific feature to include.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치는, 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되며, 적어도 둘 이상의 위치에 선택적으로 위치될 수 있는 픽커; 상기 픽커를 상기 적어도 둘 이상의 위치에 선택적으로 위치될 수 있도록 조절하는 위치조절장치; 상기 픽커에 진공압을 제공하기 위해 마련되는 진공파이프; 및 상기 진공파이프로부터 오는 진공압을 상기 위치조절장치에 의해 상기 적어도 둘 이상의 위치에 선택적으로 위치될 수 있는 상기 픽커로 전달하기 위해, 상기 진공파이프에 마주하는 하나의 입구와 상기 입구를 통해 입력된 진공압을 상기 픽커로 출력시키는 적어도 둘 이상의 출구를 가지는 진공유로가 형성된 진공압전달부재; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pick and place picking device of the test handler according to the present invention for achieving the above object is provided for holding or releasing the semiconductor element by vacuum pressure, which can be selectively positioned in at least two or more positions Pickers; A positioning device for adjusting the picker to be selectively positioned at the at least two positions; A vacuum pipe provided to provide a vacuum pressure to the picker; And an inlet facing the vacuum pipe and input through the inlet to transfer the vacuum pressure from the vacuum pipe to the picker, which can be selectively positioned at the at least two positions by the positioning device. A vacuum pressure transfer member having a vacuum flow path having at least two outlets for outputting a vacuum pressure to the picker; Characterized in that it comprises a.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹소자는, 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되며, 적어도 둘 이상의 위치에 선택적으로 위치될 수 있는 픽커; 및 상기 픽 커에 진공압을 제공하기 위해 마련되는 진공파이프; 를 포함하되, 상기 픽커 및 상기 진공파이프는 일체로 모듈화 되어 있고, 상기 진공파이프를 통해 진공압이 입력되는 입구와 상기 픽커를 통해 진공압이 출력되는 출구를 가지는 진공유로가 상기 진공파이프 및 상기 픽커에 걸쳐 단일한 경로로 형성되며, 상기 진공유로의 상기 입구와 상기 출구는 동일 수선(垂線) 상에 위치하지 않는 것을 특징으로 한다.In addition, the pick and place picking element of the test handler according to the present invention for achieving the above object is provided for holding or releasing the semiconductor element by vacuum pressure, which may be selectively positioned in at least two positions Pickers; And a vacuum pipe provided to provide a vacuum pressure to the picker. Including, The picker and the vacuum pipe is integrally modular, a vacuum flow path having an inlet through which the vacuum pressure is input through the vacuum pipe and an outlet through which the vacuum pressure is output through the picker is the vacuum pipe and the picker It is formed in a single path over, characterized in that the inlet and the outlet of the vacuum flow path is not located on the same water line.
이하에서는 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 테스트핸들러의 픽앤플레이스용 픽킹장치(이하 '픽킹장치'로 약칭함)에 대한 바람직한 실시예들에 대하여 도2 이하를 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of a pick and place picking device for a test handler according to the present invention as described above (hereinafter, abbreviated as 'picking device') will be described with reference to FIG. 2 for the sake of brevity. Overlapping descriptions will be omitted or compressed if possible.
<제1실시예>First Embodiment
도2는 본 발명의 제1실시예에 따른 픽킹장치(200)에 대한 정면도이다.2 is a front view of the picking
도2를 참조하면, 본 실시예에 따른 픽킹장치(200)는, 병렬로 구비되는 한 쌍의 픽킹소자(210, 220), 고정블럭(230), 진공압전달부재(240) 및 간격조절장치(250) 등을 포함하여 구성된다.Referring to Figure 2, the
한 쌍의 픽킹소자들(210, 220) 중 제1픽킹소자(210)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제1픽커(211)와 이 제1픽커(211)로 진공압을 공급하기 위한 제1진공파이프(212)를 구비한다. 그리고 제1픽커(211)는 진공압에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착을 해제하는 제1진공패드(211a)와 제1 진공패드(211a)를 제1진공파이프(212)에 연결 및 고정시키는 제1패드홀더(211b)를 구비한다.The
그리고 한 쌍의 픽킹소자들(210, 220) 중 제2픽킹소자(220)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제2픽커(221)와 이 제2픽커(221)로 진공압을 공급하기 위한 제2진공파이프(222)를 구비한다. 그리고 제2픽커(221)는 진공압에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착을 해제하는 제2진공패드(221a)와 제2진공패드(221a)를 간격조절장치(250)에 연결 및 고정시키는 제2패드홀더(221b)를 구비한다.The
참고로 제1 및 제2진공파이프(212, 222)는 미도시된 진공펌프로부터 발생된 진공압을 반도체소자를 파지 및 파지해제하기 위한 픽커(211, 221)로 전달하기 위한 요소로서, 궁극적으로 픽커(211, 221)에 동력원(진공펌프)으로부터 발생된 파지 및 파지해제력을 전달하는 전달요소의 역할을 한다.For reference, the first and
한편, 고정블럭(230)은 양 픽킹소자들(210, 220)의 진공파이프들(212, 222)을 고정시킴으로써 한 쌍의 픽킹소자들(210, 220)의 상대적 위치를 잡아주며 한 쌍의 픽킹소자들(210, 220)이 블록화되어 하나의 픽킹장치(200)로 구성될 수 있도록 한다.On the other hand, the fixed
또한 진공압전달부재(240)는 진공파이프들(212, 222)의 하단을 고정시켜 진공파이프들(212, 222)의 회전을 방지한다. 그리고 제2픽커(221)에 대응되는 부분에는 확대도시된 부분에서 자세히 참조되는 바와 같이, 제2진공파이프(222)에 마주하 는 하나의 입구(a)와 이 입구(a)를 통해 입력된 진공압을 제1위치(P1)와 제2위치(P2)로 출력시키기 위한 2개의 출구(b, c)를 가지는 진공유로(A)가 형성되어 있다. 이로 인해 진공압전달부재(240)는 제2진공파이프(222)로부터 오는 진공압을 제1위치(P1) 및 제2위치(P2)에 선택적으로 위치될 수 있는 제2픽커(221)로 전달하는 역할을 수행하는 것이다.In addition, the vacuum
간격조절장치(250)는 제2픽커(221)의 위치를 변환시키는 위치조절장치로서 마련되며, 진공압전달부재(240)에 회전가능하게 결합되는 회전부재(251)와 이 회전부재(251)를 회전된 상태에서 고정시킬 수 있는 고정부재(252)를 포함한다. 본 실시예에서의 고정부재(252)는 수나사볼트로 구비되어 있으며, 회전부재(251) 및 진공압전달부재(240)에는 암나사볼트가 형성되어 있는데, 특히 진공압전달부재(240)에는 2개의 암나사볼트가 형성되어 있다.The
회전부재(251)는 제2진공파이프(222)의 상하 중심선(Z)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 마련되며, 이 회전부재(251)에는 상기한 제2픽커(221)가 중심선(Z)에서 일측으로 반경 R만큼 편중되게 고정 연결되어 있다. 따라서 회전부재(251)의 회전상태에 따라서 중심선(Z)을 기준으로 일정반경(R)만큼 편중되어 고정된 제2픽커(221)가 제1위치(P1)와 제2위치(P2)에 선택적으로 위치될 수 있게 되는 것이다. 물론 실시하기에 따라서는 회전부재(251)와 제2픽커(221)가 하나의 부품으로 일체로 성형될 수도 있을 것이다. 또, 본 실시예에 따라서는 회전요소(S)를 회전중심으로 하여 회전부재(251)가 회전되도록 구현하고 있지만, 응용에 따라서는 서로 다른 위치에서 회전부재(251)를 진공압전달부재(240)에 탈착가능하게 고정시킬 수 있는 두개 이상의 고정부재를 구성시키는 것도 얼마든지 고려될 수 있다. The rotating
참고적으로 제1위치(P1)와 제2위치(P2)는 중심선(Z)을 기준으로 하여 대칭적으로 2R의 간격을 가지고 있으며, 이와 더불어 진공유로(A)의 두개의 출구(b, c)도 2R의 간격을 가지고 있다. 그리고 진공유로(A)의 두개의 출구(b, c)는 각각 제1위치1 ( P1)와 제2위치(P2)로 개방되도록 형성되어 있어서, 제2픽커(221)가 제1위치(P1)에 있을 경우에는 출구 b를 통해 제2픽커(221)로 진공압이 전달되고, 제2픽커(221)가 제2위치(P2)에 있을 경우에는 출구 c를 통해 제2픽커(221)로 진공압이 전달되도록 되어 있다. 또, 본 실시예에서는 제2픽커(221)가 위치하지 않는 상태의 위치(제2픽커가 제2위치에 있을 경우에는 제1위치이며 제2픽커가 제1위치에 있을 경우에는 제2위치)에 대응되는 출구 b 또는 c는 회전부재(251)에 의해 출구가 폐쇄되도록 되어 있지만, 실시하기에 따라서는 별도의 폐쇄부재를 사용하여 제2픽커(221)가 위치하지 않는 상태의 위치에 대응되는 출구를 폐쇄하도록 구현시킬 수도 있다. For reference, the first position P 1 and the second position P 2 have a symmetrical interval of 2R with respect to the center line Z, and two outlets b of the vacuum flow path A. , c) also has a spacing of 2R. In addition, the two outlets b and c of the vacuum flow path A are formed to be opened to the first position 1 ( P 1 ) and the second position (P 2 ), respectively, so that the
상술한 바와 같은 제1실시예에 따른 픽킹장치(200)의 사용상태에 대하여 도2 내지 도4를 참조하여 설명한다.A use state of the
도2는 현재 양 픽커들(211, 221) 간의 간격이 L인 상태를 유지하고 있다. 이러한 상태는 테스트트레이에 적재된 반도체소자들의 간격이 L인 경우에 선택되어 진다.FIG. 2 currently maintains the gap between the two
이 후 필요에 따라 종전의 테스트트레이가 새로운 테스트트레이로 교체된 경 우, 새로운 테스트트레이에 적재된 반도체소자들 간의 간격이 L+2R이 된 경우 관리자는 고정부재(252)의 고정상태를 해제시킨 후 회전부재(251)를 180도 회전시켜 도3과 같은 상태로 되도록 한 후 다시 고정부재(252)에 의해 회전부재(251)를 고정시킨다. 참고로 회전부재(251)가 회전함에 의해 회전부재(251)에 고정 연결된 제2픽커(221)도 중심선(Z)을 기준으로 회전하게 된다.After that, when the old test tray is replaced with a new test tray as necessary, when the gap between semiconductor elements loaded in the new test tray becomes L + 2R, the administrator releases the fixing
즉, 회전부재(251)가 도3과 같이 회전된 상태를 유지하게 됨으로써 양 픽커들(211, 221) 간의 간격은 L+2R로 되어 픽킹장치(200)의 교체 없이 동일한 픽킹장치(200)로 새로이 교체된 테스트트레이에 적용될 수 있게 되는 것이다.That is, since the rotating
도4는 도2의 상태와 도3의 상태에서의 픽커들(211, 221) 간의 간격을 비교하여 놓은 것으로 도4에서 참조되는 바와 같이 제2픽커(221)가 제1위치(P1)와 제2위치(P2) 중 어디에 위치하느냐에 따라 제1실시예에 따른 픽킹장치의 파지간격은 두개의 간격(L, L+2R) 중 어느 하나의 간격으로 임의적으로 선택될 수 있음을 알 수 있다.FIG. 4 compares the intervals between the
<제2실시예>Second Embodiment
도5는 본 발명의 제2실시예에 따른 픽킹장치(500)에 대한 정면도이다. 본 실시예는 제1실시예에서 더욱 발전된 것으로, 두개의 픽커들 모두 위치변환을 할 수 있도록 하여 픽커들 간의 간격이 총 4개의 간격들 중에서 임의적으로 선택될 수 있도록 하는 기술에 관한 것이다.5 is a front view of a
도5를 참조하면, 본 실시예에 따른 픽킹장치(500)는, 병렬로 구비되는 한 쌍의 픽킹소자(510, 520), 고정블럭(530), 진공압전달부재(540), 제1간격조절장치(550) 및 제2간격조절장치(560) 등을 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 5, the picking
한 쌍의 픽킹소자들(510, 520) 중 제1픽킹소자(510)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제1픽커(511)와 이 제1픽커(511)로 진공압을 공급하기 위한 제1진공파이프(512)를 구비한다. 그리고 제1픽커(511)는 진공압에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착을 해제하는 제1진공패드(511a)와 제1진공패드(511a)를 제1간격조절장치(550)에 연결 및 고정시키는 제1패드홀더(511b)를 구비한다.The
또, 한 쌍의 픽킹소자들(510, 520) 중 제2픽킹소자(520)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제2픽커(521)와 이 제2픽커(521)로 진공압을 공급하기 위한 제2진공파이프(522)를 구비한다. 그리고 제2픽커(521)는 진공압에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착을 해제하는 제2진공패드(521a)와 제2진공패드(521a)를 제2간격조절장치(560)에 연결 및 고정시키는 제2패드홀더(521b)를 구비한다.The
고정블럭(530)은 제1 및 제2픽킹소자(510, 520)의 진공파이프들(512, 522)을 고정시킴으로써 한 쌍의 픽킹소자들(510, 520)의 상대적 위치를 잡아주며 한 쌍의 픽킹소자들(510, 520)이 블록화되어 하나의 픽킹장치(500)로 구성될 수 있도록 한다.The fixed
또한 진공압전달부재(540)는 진공파이프들(512, 522)의 하단을 고정시켜 진 공파이프들(512, 522)의 회전을 방지한다. 그리고 양 픽커(511, 521)에 대응되는 부분들에는 각각 진공파이프(512, 522)에 마주하는 입구와 이 입구를 통해 입력된 진공압을 두개의 위치로 각각 출력시키기 위한 2개의 출구를 가지는 진공유로(A1, A2)가 형성되어 있다. 따라서, 진공압전달부재(540)는 진공파이프(512, 522)로부터 오는 진공압을 각각 2개의 위치 중 어느 하나의 위치에 선택적으로 위치될 수 있는 제1 및 제2픽커(511, 521)로 전달하는 역할을 수행하는 것이다.In addition, the vacuum
제1간격조절장치(550)는 진공압전달부재(540)의 일측에 회전가능하게 결합되는 제1회전부재(551)와 이 제1회전부재(551)를 회전된 상태에서 고정시킬 수 있는 제1고정부재(552)를 포함한다. The first
제1회전부재(551)는 제1진공파이프(512)의 상하 제1중심선(Z1)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 마련되며, 이 제1회전부재(551)에는 상기한 제1픽커(511)가 제1중심선(Z1)에서 일측으로 반경 R1만큼 편중되게 고정 연결되어 있다. 따라서 제1회전부재(551)의 회전상태에 따라서 제1중심선(Z1)을 기준으로 일정반경(R1)만큼 편중되어 고정된 제1픽커(511)가 제1중심선(Z1)을 기준으로 2R1만큼 간격을 가지는 두개의 위치에 선택적으로 위치될 수 있게 되는 것이다.The first
또한, 제2간격조절장치(560)는 진공압전달부재(540)의 타측에 회전가능하게 결합되는 제2회전부재(561)와 이 제2회전부재(561)를 회전된 상태에서 고정시킬 수 있는 제2고정부재(562)를 포함한다. In addition, the second
제2회전부재(561)는 제2진공파이프(522)의 상하 제2중심선(Z2)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 마련되며, 이 제2회전부재(561)에는 상기한 제2픽커(521)가 제2중심선(Z2)에서 일측으로 반경 R2만큼 편중되게 고정 연결되어 있다. 따라서 제2회전부재(561)의 회전상태에 따라서 제2중심선(Z2)을 기준으로 일정반경(R2)만큼 편중되어 고정된 제2픽커(521)가 제2중심선(Z2)을 기준으로 2R2만큼 간격을 가지는 두개의 위치에 선택적으로 위치될 수 있게 되는 것이다. 참고로 제2실시예에서는 R2 > R1 이다. 반대로 R2 < R1 인 경우도 가능하다.The second
상술한 바와 같은 제2실시예에 따른 픽킹장치(500)의 사용상태에 대하여 도6을 참조하여 설명한다.A use state of the
이미 제1실시예에서 설명한 바와 같이 제1 및 제2회전부재(551, 561)의 회전에 따라 함께 회전하는 제1 및 제2픽커(511, 521)의 회전상태에 따라서 제1픽커(511)와 제2픽커(521)는 그 위치가 가변될 수 있으며, 도6에는 그러한 제1 및 제2픽커(511, 521)의 회전상태에 따른 양 픽커들(511, 521) 간의 간격을 쉽게 표현해 놓았다.As described above in the first embodiment, the
즉, 도6에서 참조되는 바와 같이 제1 및 제2픽커(511, 521)는 L, L+R1, L+R2, L+R1+R2의 간격들 중 임의적인 간격으로 선택될 수 있도록 되어 있다.That is, as referenced in FIG. 6, the first and
따라서 테스트트레이에 적재된 반도체소자들의 적재간격이 L, L+R1, L+R2, L+R1+R2 중 어느 하나이면, 본 실시예에 따른 픽킹장치(500)가 테스트트레이의 교체에 영향을 받지 않고 계속 사용될 수 있게 된다. 참고로 R1=R2이면, 제1 및 제2픽커(511, 521) 간의 간격은 세 개의 간격(L, L+R1, L+2R1) 중 어느 하나의 간격으로 조정될 수 있을 것이다. Therefore, if the stacking interval of the semiconductor devices loaded on the test tray is any one of L, L + R 1 , L + R 2 , and L + R 1 + R 2 , the picking
<제3실시예>Third Embodiment
도7은 본 발명의 제3실시예에 따른 픽킹장치(700)에 대한 정면도이다.7 is a front view of a
도7를 참조하면, 본 실시예에 따른 픽킹장치(700)는, 병렬로 구비되는 한 쌍의 픽킹소자(710, 720), 고정블럭(730), 진공압전달부재(740) 및 간격조절장치(750) 등을 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 7, the picking
한 쌍의 픽킹소자들(710, 720) 중 제1픽킹소자(710)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제1픽커(711)와 이 제1픽커(711)로 진공압을 공급하기 위한 제1진공파이프(712)를 구비한다. 그리고 제1픽커(711)는 진공압에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착을 해제하는 제1진공패드(711a)와 제1진공패드(711a)를 제1진공파이프(712)에 연결 및 고정시키는 제1패드홀더(711b)를 구비한다.The
그리고 한 쌍의 픽킹소자들(710, 720) 중 제2픽킹소자(720)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제2픽커(721)와 이 제2픽커(721)로 진공압을 공급하기 위한 제2진공파이프(722)를 구비한다. 그리고 제2픽 커(721)는 진공압에 의해 반도체소자를 흡착하거나 흡착을 해제하는 제2진공패드(721a)와 제2진공패드(721a)를 간격조절장치(750)에 연결 및 고정시키는 제2패드홀더(721b)를 구비한다.The
한편, 고정블럭(730)은 양 픽킹소자들(710, 720)의 진공파이프들(712, 722)을 고정시킴으로써 한 쌍의 픽킹소자들(710, 720)의 상대적 위치를 잡아주며 한 쌍의 픽킹소자들(710, 720)이 블록화되어 하나의 픽킹장치(700)로 구성될 수 있도록 한다.On the other hand, the fixed
또한 진공압전달부재(740)는 진공파이프들(712, 722)의 하단을 고정시켜 진공파이프들(712, 722)의 회전을 방지한다. 그리고 제2픽커(721)에 대응되는 부분에는 제2진공파이프(722)에 마주하는 하나의 입구와 이 입구를 통해 입력된 진공압을 제1위치(P1)와 제2위치(P2)로 출력시키기 위한 2개의 출구를 가지는 진공유로(U)가 형성되어 있다.In addition, the vacuum
간격조절장치(750)는 진공압전달부재(740)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩부재(751)와 이 슬라이딩부재(751)가 슬라이딩될 수 있도록 하는 동력을 제공하는 동력원으로서 구비되는 실린더(752)로 구성되어 있다. 즉, 실린더(752)는 슬라이딩부재(751)를 슬라이딩시킴으로써 궁극적으로 이 슬라이딩부재(751)에 결합된 제2픽커(721)를 제1픽커(711)에 대향되게 슬라이딩시키는 동력을 제공하는 역할을 하는 것이다. 참고로, 도7에는 도시되지 않았지만 슬리이딩부재(751)가 진공압전달부재(740)에 밀착할 수 있도록 하는 부재를 더하는 것이 더욱 바람직하다.The
위와 같은 제3실시예에 의하면 관리자가 간격조절을 위한 작업을 하지 않아도, 제어장치에 의해 자동적으로 실린더(752)를 작동시킴으로써 픽커들(711, 721) 간의 간격이 조절될 수 있도록 하는 편리함이 있게 된다. 물론, 제3실시예의 경우에서도 제2실시예의 경우와 같이 양 픽커들 모두 위치가 가변될 수 있도록 구성하는 것도 가능하다. 그리고 더 나아가서 하나의 픽앤플레이스에 여러 개의 픽킹장치들이 구비되어 있을 경우에 하나의 실린더에 의해서 여러 개의 픽킹장치들 각각의 픽커들 간의 간격을 함께 조절하는 것도 얼마든지 가능하다.According to the third embodiment as described above, even if the administrator does not work for adjusting the spacing, the space between the
<제4실시예>Fourth Embodiment
도8은 본 발명의 제4실시예에 따른 픽킹장치(800)에 대한 정면도이고, 도9는 도8의 W부분을 확대도시한 정단면도이다.FIG. 8 is a front view of the
도8을 참조하면, 본 실시예에 따른 픽킹장치(800)는, 병렬로 구비되는 한 쌍의 픽킹소자(810, 820), 고정블럭(830), 회전방지부재(840) 등을 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 8, the picking
한 쌍의 픽킹소자들(810, 820) 중 제1픽킹소자(810)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제1픽커(811)와 이 제1픽커(811)로 진공압을 공급하기 위한 제1진공파이프(812)를 구비한다.The
한 쌍의 픽킹소자들(810, 820) 중 제2픽킹소자(820)는 진공압에 의해 반도체소자를 파지하거나 파지해제하기 위해 마련되는 제2픽커(821)와 이 제2픽커(821)로 진공압을 공급하기 위한 제2진공파이프(822)를 구비한다. 여기서, 제2픽커(821) 및 제2진공파이프(822)는 도8 및 도9에서 참조되는 바와 같이 일체로 모듈화되어 있다. 그리고 제2진공파이프(822) 상측의 진공압이 유입되기 위한 입구(Bi) 및 제2픽커(821)의 하측의 진공압이 출력되기 위한 출구(Bo)를 가지는 진공유로(B)가 상하 방향으로 길게 형성되어 있는데, 여기서, 입구(Bi)와 출구(Bo)는 동일 수선 상에 있지 않다. 즉, 입구(Bi)는 수선 H1 상에 놓여 있고 출구(Bo)는 수선 H1 과 거리 L만큼 이격된 수선 H2상에 놓여 있다. 따라서 일체로 모듈화된 제2픽커(821) 및 제2진공파이프(822)를 수동 또는 자동으로 회전시키면 제1픽킹소자(810)의 제1픽커(811)와 제2픽킹소자(820)의 제2픽커(821) 간의 간격이 조정될 수 있게 된다. The
고정블럭(830)은 양 픽킹소자들(810, 820)의 진공파이프들(812, 822)을 고정시킴으로써 한 쌍의 픽킹소자들(810, 820)의 상대적 위치를 잡아주며 한 쌍의 픽킹소자들(810, 820)이 블록화되어 하나의 픽킹장치(800)로 구성될 수 있도록 한다.The fixed
또한 회전방지부재(840)는 진공파이프들(812, 822)의 하단을 고정시켜 진공파이프들(812, 822)의 회전을 방지한다.In addition, the
본 실시예에 따른 제2픽킹소자(820)에서 제2픽커(821) 및 제2진공파이프(822)가 일체로 모듈화 되어 있는 상태에서 진공유로(B)가 단일한 경로를 가지도록 형성하되, 입구(Bi)와 출구(Bo)가 동일 수선 상에 위치하지 않게 함으로써, 제1픽커(811)와 제2픽커(821) 간의 간격을 조정할 수 있도록 하면서도, 제2픽커(821) 및 제2진공파이프(822) 사이에서 진공압이 누설되는 것을 방지할 수 있게 된다. In the
이상의 실시예에서 설명된 바와 같이 본 발명에 따른 픽킹장치는 픽커들 간의 간격을 조절함으로써 픽킹소자들의 파지간격을 조절하도록 되어 있지만, 본 발명은 기본적으로 픽킹소자들의 파지간격을 조절하기 위한 것으로 고정블록의 폭이 변화될 수 있도록 하는 구성도 얼마든지 가능함을 알 수 있을 것이다.As described in the above embodiments, the picking apparatus according to the present invention is configured to adjust the holding distance of the picking elements by adjusting the distance between the pickers, but the present invention is basically for adjusting the holding interval of the picking elements. It will be appreciated that a configuration can be made that allows the width of the device to be changed.
즉, 위에서 설명된 픽킹장치는 픽킹소자들의 파지간격을 가변시킨다는 기본적인 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 응용될 수 있을 것이다. 따라서 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.That is, the picking apparatus described above may be applied in various ways without departing from the basic technical idea of varying the holding interval of the picking elements. Therefore, although the detailed description of the present invention has been made by the embodiments with reference to the accompanying drawings, it is understood that the present invention is limited only to the above embodiments, since the above embodiments have only been described with reference to preferred examples of the present invention. It should not be understood that the scope of the invention should be understood by the claims and equivalent concepts described below.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.As described in detail above, the present invention has the following effects.
픽킹소자에 구비되는 픽커의 상대적 위치를 변환시킬 수 있도록 하여, 하나의 픽킹장치에 구성되는 복수의 픽킹소자들의 파지간격을 조절할 수 있기 때문에 다양한 규격의 테스트트레이에 적용될 수 있으며, 그로 인하여, 자원의 절감 및 A/S비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.Since it is possible to change the relative position of the picker provided in the picking element, it is possible to adjust the holding interval of a plurality of picking elements configured in one picking device, so that it can be applied to test trays of various standards, thereby, It has the effect of reducing the cost and A / S cost.
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