KR100851934B1 - 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들 - Google Patents

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KR100851934B1
KR100851934B1 KR1020070062232A KR20070062232A KR100851934B1 KR 100851934 B1 KR100851934 B1 KR 100851934B1 KR 1020070062232 A KR1020070062232 A KR 1020070062232A KR 20070062232 A KR20070062232 A KR 20070062232A KR 100851934 B1 KR100851934 B1 KR 100851934B1
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이종열
이종범
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(주) 테크노라이즈
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Abstract

본 발명은 에어 베어링 스핀들에 관한 것으로서, 특히 내부에 에어를 공급하기 위한 후단공급로가 형성된 후단하우징과; 상기 후단하우징 전단 내측부에 결합되어 내부에 상기 후단공급로와 연통되어 에어를 공급하기 위한 선단공급로가 형성된 선단하우징과; 상기 선단하우징 내부에 결합되며, 상기 선단공급로와 연통되는 에어부상공급구 및 에어터빈공급구와, 에어배출구가 형성된 에어베어링과; 상기 에어베어링 및 후단하우징 내부에 이격되어 위치되어 상기 후단공급로 및 에어부상공급구에 의해 공급된 에어에 의해 상기 에어베어링 및 후단하우징 내측면으로부터 부상되며, 측면을 따라 상기 에어터빈공급구의 위치에 대응되게 터빈버켓이 형성되어 회전되는 샤프트 및; 상기 후단하우징 전단 내부에 결합되어 상기 후단하우징 내측면으로부터 부상된 샤프트를 축방향으로 자기적 구속시키는 마그넷;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들을 기술적 요지로 한다. 이에 따라 에어베어링 및 후단하우징으로부터 샤프트가 에어부상되면서 에어 터빈에 의해 회전되도록 형성되고, 샤프트가 축방향으로 스러스트 부상력과 자기적 구속력의 평형을 이루어 샤프트가 완전 비접촉 조건을 만족하도록 함으로써 샤프트의 고속 회전시에도 축방향으로의 밸런스가 유지되도록 하며, 이에 의해 회전 마찰력을 최소화하여, 에너지의 낭비가 없을 뿐만 아니라, 초고속, 고정밀, 저진동의 에어 베어링 스핀들을 제공할 수 있으며, 마찰력 및 이에 의한 열발생이 거의 없으므로 스핀들의 내구성을 향상시키는 이점이 있다.
에어 베어링 스핀들 부상 마그넷 밸런스

Description

마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들{air bearing spindle using magnetic interaction force}
도 1 - 본 발명에 따른 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들에 대한 종단면도.
도 2 - 도 1의 A-A'에 대한 단면도.
도 3 - 도 1의 B-B'에 대한 단면도.
도 4 - 도 1의 C-C'에 대한 단면도.
도 5 - 본 발명에 따른 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들의 샤프트에 대한 사시도.
도 6 - 도 5의 A-A'에 대한 단면도.
<도면에 사용된 주요 부호에 대한 설명>
100 : 후단하우징 110 : 후단공급로
111 : 베어링부상공급로 112 : 하우징부상공급로
113 : 샤프트회전공급로 200 : 선단하우징
210 : 선단공급로 300 : 에어베어링
310 : 에어부상공급구 320 : 에어터빈공급구
330 : 에어배출구 400 : 샤프트
410 : 터빈버켓 500 : 마그넷
본 발명은 에어 베어링 스핀들에 관한 것으로서, 샤프트가 에어부상되면서 에어 터빈에 의해 회전되도록 형성됨과 동시에 샤프트가 축방향으로 자기적 구속력을 가지도록 하며, 공급된 에어가 신속하게 배출되도록 하여 회전 마찰력이 전혀 없으면서, 초고속, 고정밀, 저진동의 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
일반적으로 에어 베어링 스핀들은 초고속 회전 및 초정밀 가공 분야에 사용되는 장치로써, 특히 반도체 소자, PCB기판, 소형전자부품의 가공을 위한 전자산업분야나 광학렌즈 등의 연삭 및 가공을 위한 광학기기산업분야, 치아 치료를 위한 치과용 드릴에 널리 사용되고 있다.
이러한 에어 베어링 스핀들은 각종 산업분야에서 가공시간 단축과 생산성 향상을 위해 고속의 스핀들이 요구되고 있으며, 높은 속도와 더불어 부품의 소형화에 따른 정밀성이 더욱 필요함에 따라 진동이 적으면서 정밀한 에어 베어링 스핀들이 필요한 실정이다.
종래의 이러한 에어 베어링 스핀들은 전기 모터와 연결된 회전자와, 상기 회전자를 감싸면서 회전자 외측에 형성되어 회전자에 에어를 공급하는 하우징으로 형성되어 있다.
그러나 이러한 구조의 에어 베어링 스핀들은 회전력의 공급을 위해 전기적인 모터를 사용하게 되는데, 이러한 방식은 스핀들의 속도를 어느 값 이상으로는 증가시킬 수 없어 초고속 산업분야에 대한 요구를 충족시키지 못하는 한계가 있다. 또한 이는 작업장에서의 소음을 발생시키며, 소형, 정밀한 부품에서의 속도 및 회전횟수, 위치 제어가 용이하지 않은 문제점이 있다.
또한, 회전자와 회전자를 감싸는 하우징은 회전자와 하우징 간의 마찰을 최소화하기 미세하게 이격되어 그 사이로 고속의 에어가 공급되도록 형성되어 있다. 그러나, 상기 회전자를 고속으로 회전시킬수록 모터 자체의 진동 및 외부의 충격, 에어와의 마찰에 의해 회전하고 있는 회전자는 중심축에 대해 밸런스가 맞지 않게 되는 문제점이 발생하게 된다.
이러한 상태에서 고속으로 장시간 사용될 경우, 모터 및 회전자와의 결합부위, 그리고 회전자와 하우징과의 결합부위에 심한 마찰열을 발생시킬 수가 있으며, 소음 증가와 더불어 진동이 발생하여 고정밀 부품의 가공이 어려운 문제점이 있다. 또한 이에 의해 스핀들의 파손되어 장치의 수명을 단축시키는 경우도 발생하게 된다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 에어베어링 및 후단하우징으로부터 샤프트가 에어부상되면서 에어 터빈에 의해 회전되도록 형성되고, 샤프트가 축방향으로 스러스트 부상력과 자기적 구속력의 평형을 이루어 샤프트가 완전 비접촉 조건을 만족하여 축방향으로의 밸런스가 유지되도록 함으로써, 초고속, 고정밀, 저진동의 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 공급된 에어가 샤프트 주변에서 요동하지 않고 에어배출구를 통해 신속하게 배출되도록 하여 회전 마찰력이 전혀 없으면서, 저진동의 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 내부에 에어를 공급하기 위한 후단공급로가 형성된 후단하우징과; 상기 후단하우징 전단 내측부에 결합되어 내부에 상기 후단공급로와 연통되어 에어를 공급하기 위한 선단공급로가 형성된 선단하우징과; 상기 선단하우징 내부에 결합되며, 상기 선단공급로와 연통되는 에어부상공급구 및 에어터빈공급구와, 에어배출구가 형성된 에어베어링과; 상기 에어베어링 및 후단하우징 내부에 이격되어 위치되어 상기 후단공급로 및 에어부상공급구에 의해 공급된 에어에 의해 상기 에어베어링 및 후단하우징 내측면으로부터 부상되며, 측면을 따라 상기 에어터빈공급구의 위치에 대응되게 터빈버켓이 형성되어 회전되는 샤프트 및; 상기 후단하우징 전단 내부에 결합되어 상기 후단하우징 내측면으로부터 부상된 샤프트를 축방향으로 자기적 구속시키는 마그넷;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들을 기술적 요지로 한다.
또한, 상기 후단하우징의 후단공급로는 길이방향으로 형성되며, 상기 샤프트를 에어베어링 내측면으로부터 부상시키기 위한 에어를 공급하는 베어링부상공급로 와; 상기 샤프트를 후단하우징 내측면으로부터 부상시키기 위한 에어를 공급하는 하우징부상공급로와; 상기 샤프트의 터빈버켓에 에어를 공급하여 샤프트를 회전시키기 위한 샤프트회전공급로;로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 에어베어링의 에어부상공급구는 상기 에어베어링 측면 둘레를 따라 원주 방향으로 관통되게 형성되는 것이 바람직하고, 또한 상기 에어베어링의 에어터빈공급구는 상기 에어베어링 측면 둘레를 따라 상기 샤프트의 터빈버켓에 접하는 방향으로 관통되게 형성되는 것이 바람직하며, 또한 상기 에어베어링의 에어배출구는 상기 에어베어링 측면 둘레를 따라 원주 방향으로 관통되게 형성되는 것이 바람직하다.
이에 따라 에어베어링 및 후단하우징으로부터 샤프트가 에어부상되면서 에어 터빈에 의해 회전되도록 형성되고, 샤프트가 축방향으로 스러스트 부상력과 자기적 구속력의 평형을 이루어 샤프트가 완전 비접촉 조건을 만족하도록 함으로써 샤프트의 고속 회전시에도 축방향으로의 밸런스가 유지되도록 하며, 이에 의해 회전 마찰력을 최소화하여, 에너지의 낭비가 없을 뿐만 아니라, 초고속, 고정밀, 저진동의 에어 베어링 스핀들을 제공할 수 있으며, 마찰력 및 이에 의한 열발생이 거의 없으므로 스핀들의 내구성을 향상시키는 이점이 있다.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하고자 한다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어 링 스핀들은 후단하우징(100), 선단하우징(200), 에어베어링(300), 샤프트(400) 및 마그넷(500)으로 크게 구성된다.
먼저, 상기 후단하우징(100)에 대해 설명하고자 한다. 상기 후단하우징(100)은 원통형상으로 형성되고, 전단부에 후술할 선단하우징(200)과의 결합을 위한 나사산이 형성되어 있으며 내부에는 에어를 공급하기 위한 후단공급로(110)가 형성되어 있다.
상기 후단공급로(110)는 상기 후단하우징(100)의 길이 방향으로 형성되며, 외부의 고압 에어컴프레샤와 연결되어 후술할 선단하우징(200)에 형성된 선단공급로(210) 및 에어베어링(300)의 에어부상공급구(310) 및 에어터빈공급구(320)와 연통되게 형성되어, 외부의 고압 에어컴프레샤에서 후단공급로(110)를 통해 선단공급로(210)를 거쳐 에어부상공급구(310) 및 에어터빈공급구(320)로 에어가 공급되면서 샤프를 회전시킴과 동시에 에어베어링(300) 내측면으로부터 샤프트(400)를 에어 부상되도록 한다.
그리고, 상기 후단하우징(100)에 형성된 후단공급로(110)는 외부의 에어컴프레샤와 연결되며, 베어링부상공급로(111), 하우징부상공급로(112) 및 샤프트회전공급로(113)로 구성되어 있으며, 이는 상호 간에 연통되거나 필요에 의해 독립적으로 형성될 수도 있다.
상기 베어링부상공급로(111)는 상기 샤프트(400)를 에어베어링(300) 내측면으로부터 부상시키기 위해 에어를 공급하기 위한 통로이며, 이는 에어베어링(300)의 에어부상공급구(310)와 연통되게 형성된다.
그리고 상기 하우징부상공급로(112)는 상기 샤프트(400)를 후단하우징(100) 내측면으로부터 부상시키기 위한 에어를 공급하기 위한 통로이며, 이는 샤프트(400)의 후단면, 즉 후단하우징(100)과 접하게 되는 면을 고압의 에어로 밀어냄(스러스트에어베어링(300), thrust air bearing)으로써 샤프트(400)가 후단하우징(100) 내측면으로부터 에어 부상되도록 한 것이다.
그리고 상기 샤프트회전공급로(113)는 상기 샤프트(400) 외주면에 형성된 터빈버켓(410)에 에어를 공급하여 샤프트(400)를 회전시키기 위해 에어를 공급하기 위한 통로이며, 이는 샤프트(400)의 에어터빈공급구(320)와 연통되게 형성된다.
또한, 상기 후단하우징(100)에는 필요에 의해 공급된 에어가 배출되는 에어배출로가 더 형성될 수도 있다.
다음으로, 상기 선단하우징(200)은 상기 후단하우징(100) 전단 내측부에 결합되어 내부에 상기 후단공급로(110)와 연통되어 에어를 공급하기 위한 선단공급로(210)가 형성되어 있으며, 내부에 에어베어링(300)이 결합될 수 있도록 내부가 빈 원통형상으로 형성되어 있다.
상기 선단하우징(200)에 형성된 선단공급로(210)는 상기 선단하우징(200)의 길이 방향으로 형성되어 상기 후단하우징(100)의 베어링부상공급로(111)와 하우징부상공급로(112)와 연통되게 형성되며, 다시 상기 선단공급로(210)는 선단하우징(200) 내부에 형성된 에어베어링(300)의 에어부상공급구(310) 및 에어터빈공급구(320)와 연통되게 형성된다.
다음으로, 상기 에어베어링(300)에 대해 설명하고자 한다. 상기 에어베어 링(300)은 상기 선단하우징(200) 내부에 동축결합되며, 상기 선단공급로(210)와 연통되는 에어부상공급구(310) 및 에어터빈공급구(320), 그리고 공급된 에어가 배출되는 에어배출구(330)가 형성되어 있다.
상기 에어부상공급구(310)는 상기 베어링부상공급로(111)와 선단공급로(210)를 거쳐 공급된 에어를 샤프트(400)와 에어베어링(300) 사이의 이격된 공간에 공급시키는 것으로, 보다 고압, 고속의 에어공급을 위해 전단부가 상대적으로 좁은 노즐 형태로 형성되어 있으며, 이에 의해 공급된 에어는 샤프트(400)의 측면을 따라 동일한 압력으로 가압시켜, 에어베어링(300) 내부에서 샤프트(400)가 부상되어 일정 간격을 유지하도록 한다.
또한 상기 에어부상공급구(310)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 에어베어링(300) 측면 둘레를 따라 원주 방향으로 관통되게 형성되도록 하여, 에어베어링(300) 내부에 위치된 샤프트(400) 측면에 골고루 동일한 힘의 에어가 공급되도록 하였다. 또한 상기 에어부상공급구(310)는 에어베어링(300) 및 샤프트(400)의 길이에 따라 길이 방향으로 다수개로 형성시킬 수도 있다.
그리고 상기 에어터빈공급구(320)는 상기 샤프트회전공급로(113)와 선단공급로(210)를 거쳐 공급된 에어를 샤프트(400)의 터빈버켓(410) 측으로 공급시키는 것으로, 샤프트(400)를 고속 회전시키게 된다. 이는 종래의 에어 베어링 스핀들에서 전기적으로 샤프트(400)를 회전시키는 것과는 달리 고압의 에어로 회전시키는 것으로, 진동이 거의 없는 스핀들을 제공하게 되는 것이다. 이와 더불어 상기 에어부상공급구(310)에 의해 샤프트(400)는 에어베어링(300) 내측면과 접하지 않은 상태에 서 에어에 의해 고속으로 회전되게 되므로, 마찰력이 없이 고속회전 및 고정밀 운전이 가능하게 되는 것이다.
또한 상기 에어터빈공급구(320)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 에어베어링(300) 측면 둘레를 따라 샤프트(400)의 터빈버켓(410)에 접하는 방향으로 관통되게 형성된다. 즉, 상기 에어터빈공급구(320)는 균일한 회전력을 공급하기 위해 샤프트(400)의 터빈버켓(410)에 접하는 방향으로 형성되면서, 180도(중심측과 관통되는 에어터빈공급구(320)의 갯수 : 2개), 120도(3개) 또는 90도(4개)로 대칭되게 형성시킬 수 있으며, 회전력의 세기에 따라 그 갯수를 증감시킬 수 있다.
그리고 상기 에어배출구(330)는 상기 후단공급로(110) 및 선단공급로(210)에서 공급되어 상기 에어부상공급구(310) 및 에어터빈공급구(320)를 거친 에어를 배출하기 위한 것으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 에어베어링(300)의 측면 둘레를 따라 원주 방향으로 관통되게 형성된다. 상기 에어배출구(330)는 샤프트(400)와 에어베어링(300) 사이, 또는 샤프트(400)와 후단하우징(100) 사이로 형성된 소정의 유로로 흐르는 에어가 일방향으로 신속하게 배출되도록 하여 외부에서 공급된 에어가 유로 내에서 유동되지 않도록 하여 에어와 회전되는 샤프트(400)와의 마찰력을 최소화하기 위한 것이다. 상기 에어배출구(330)는 필요에 의해 상기 에어베어링(300) 및 샤프트(400)의 길이에 따라 길이 방향으로 다수개로 형성시킬 수도 있다.
다음으로, 상기 샤프트(400)는 상기 에어베어링(300) 및 후단하우징(100) 내부에 이격되어 위치되어 상기 에어부상공급구(310)에 의해 공급된 에어에 의해 상 기 에어베어링(300) 및 후단하우징(100) 내측면으로부터 부상되며, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 측면을 따라 상기 에어터빈공급구(320)의 위치에 대응되게 터빈버켓(410)이 형성되어 있다. 상기 샤프트(400)의 전단부로는 고속 및 고정밀을 요하는 산업분야의 대상물에 결합되게 된다.
상기 샤프트(400)의 회전시에는 상기 에어베어링(300) 및 후단하우징(100) 내부와 접하지 않아야 하므로 상기 에어베어링(300) 및 후단하우징(100) 내측면으로부터 일정간격 이격되게 위치되어야 한다. 따라서 상기 샤프트(400)의 외경은 에어베어링(300)의 내부 공간부에 비해 상대적으로 미세하게 작도록 형성되어, 상기 샤프트(400)는 상기 에어베어링(300)에 형성된 에어부상공급구(310)에 의해 에어베어링(300) 내부에서 일정 간격으로 유로를 형성시키면서 부상되게 하고, 상기 후단하우징(100)에 형성된 하우징부상공급로(112)에 의해 후단하우징(100)으로부터 일정 간격으로 유로를 형성시키면서 부상되게 한 것이다.
그리고 샤프트(400)에 에어에 의한 회전력을 공급하기 위해 측면을 따라 상기 에어터빈공급구(320)의 위치에 대응되게 터빈버켓(410)이 형성되어 있다. 상기 터빈버켓(410)은 샤프트(400)의 외표면에서 들어간 날개형으로 형성된 것으로, 이러한 형태에 의해 샤프트의 소형화가 가능하고 샤프트의 밸런스 유지가 더욱 용이하게 된다.
상기 에어터빈공급구(320)에서 공급된 에어가 터빈버켓(410)에 부딪히면서 샤프트(400)가 고속으로 회전되도록 한 것으로, 에어터빈공급구(320)에서 공급된 에어의 압력을 조절함으로써 샤프트(400)의 회전속도를 용이하게 제어할 수 있게 된다. 상기 터빈버켓(410)에 부딪히는 에어의 공급을 균일하게 하고, 공급된 에어의 압력을 최대한 전달하기 하기 위해서 에어터빈공급구(320)는 상술한 바와 같이 터빈버켓(410)에 접하는 방향으로 대칭적으로 적어도 두 개 이상 형성되게 한다.
다음으로, 상기 마그넷(500)은 상기 후단하우징(100) 전단측 내부에 결합되어 상기 후단하우징(100) 내측면으로부터 부상된 샤프트(400)를 자기적 구속시키는 것이다.
즉, 상기 마그넷(500)은 상기 후단하우징(100)에 형성된 상기 후단공급로(110), 바람직하게는 하우징부상공급로(112)로 공급된 에어에 의해 샤프트(400)는 후단하우징(100) 내측면으로부터 스러스트 부상되게 되는데, 상기 스러스트 부상력에 대해 미소하게 적은 크기의 자기적 구속력으로 샤프트(400)를 끌어당김으로써, 이 두 힘간의 평형이 유지되는 위치에서 상기 후단하우징(100) 내측면으로부터 상기 샤프트(400)가 부상되게 된다. 이에 의해 샤프트(400) 외측면은 에어베어링(300) 뿐만 아니라 후단하우징(100)과는 고속 회전(200,0000rpm 이상)시에도 완전 비접촉 조건을 만족하게 되어, 샤프트의 축방향 밸런스가 유지되도록 하면서, 에어 베어링 스핀들의 무마찰, 초고속, 고정밀 작동이 가능하도록 한 것이다.
상기 구성에 의한 본 발명은 에어베어링 및 후단하우징으로부터 샤프트가 에어부상되면서 에어 터빈에 의해 회전되도록 형성되고, 샤프트가 축방향으로 스러스트 부상력과 자기적 구속력의 평형을 이루어 샤프트가 완전 비접촉 조건을 만족하도록 함으로써 샤프트의 고속 회전시에도 축방향으로의 밸런스가 유지되도록 하는 효과가 있다.
또한, 무마찰의 실현에 의해 에너지의 낭비가 없을 뿐만 아니라, 초고속, 고정밀, 저진동의 에어 베어링 스핀들을 제공할 수 있으며, 무발열에 의해 스핀들의 내구성을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 내부에 에어를 공급하기 위한 후단공급로(110)가 형성된 후단하우징(100)과;
    상기 후단하우징(100) 전단 내측부에 결합되어 내부에 상기 후단공급로(110)와 연통되어 에어를 공급하기 위한 선단공급로(210)가 형성된 선단하우징(200)과;
    상기 선단하우징(200) 내부에 결합되며, 상기 선단공급로(210)와 연통되는 에어부상공급구(310) 및 에어터빈공급구(320)와, 에어배출구(330)가 형성된 에어베어링(300)과;
    상기 에어베어링(300) 및 후단하우징(100) 내부에 이격되어 위치되어 상기 후단공급로(110) 및 에어부상공급구(310)에 의해 공급된 에어에 의해 상기 에어베어링(300) 및 후단하우징(100) 내측면으로부터 부상되며, 측면을 따라 상기 에어터빈공급구(320)의 위치에 대응되게 터빈버켓(410)이 형성되어 회전되는 샤프트(400) 및;
    상기 후단하우징(100) 전단 내부에 결합되어 상기 후단하우징(100) 내측면으로부터 부상된 샤프트(400)를 축방향으로 자기적 구속시키는 마그넷(500);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 후단하우징(100)의 후단공급로(110)는 길이방향으로 형성되며,
    상기 샤프트(400)를 에어베어링(300) 내측면으로부터 부상시키기 위한 에어 를 공급하는 베어링부상공급로(111)와;
    상기 샤프트(400)를 후단하우징(100) 내측면으로부터 부상시키기 위한 에어를 공급하는 하우징부상공급로(112)와;
    상기 샤프트(400)의 터빈버켓(410)에 에어를 공급하여 샤프트(400)를 회전시키기 위한 샤프트회전공급로(113);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 에어베어링(300)의 에어부상공급구(310)는 상기 에어베어링(300) 측면 둘레를 따라 원주 방향으로 관통되게 형성되는 것을 특징으로 하는 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 에어베어링(300)의 에어터빈공급구(320)는 상기 에어베어링(300) 측면 둘레를 따라 상기 샤프트(400)의 터빈버켓(410)에 접하는 방향으로 관통되게 형성되는 것을 특징으로 하는 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들.
  5. 제 2항에 있어서, 상기 에어베어링(300)의 에어배출구(330)는 상기 에어베어링(300) 측면 둘레를 따라 원주 방향으로 관통되게 형성되는 것을 특징으로 하는 마그넷 구속력을 이용한 에어 베어링 스핀들.
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