KR100850063B1 - Elevating drive apparatus for a elevator of the load-lock chamber - Google Patents

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KR100850063B1 KR1020060104856A KR20060104856A KR100850063B1 KR 100850063 B1 KR100850063 B1 KR 100850063B1 KR 1020060104856 A KR1020060104856 A KR 1020060104856A KR 20060104856 A KR20060104856 A KR 20060104856A KR 100850063 B1 KR100850063 B1 KR 100850063B1
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Abstract

본 발명은 반도체 소자 제조용 로드락 챔버(load-lock chamber)의 엘리베이터(elevator) 승강구동장치에 관한 것으로, 스텝모터의 회전 구동에 따라 엘리베이터가 실제로 정확하게 승강되었는지를 검출하여 엘리베이터가 비정상적으로 승강 작동된 경우 바로 이상조치를 취할 수 있게 됨으로써 이후의 엘리베이터상에 놓인 웨이퍼 카세트에 대한 트랜스퍼용 로봇암의 충돌 및 그에 따른 웨이퍼 파손을 미연에 방지할 수 있게 된다. The present invention to relates to a lift (elevator) hatch same device of a semiconductor device for manufacturing a load lock chamber (load-lock chamber), detecting whether the elevator is in fact precisely the lifting according to the rotational driving of the stepper motor of the elevator is operating abnormally elevated by If it is possible to prevent collisions and hence the damage to the wafer transfer robot arm for wafer cassette placed on the elevator in advance after being able to take action immediately above.
로드락, 챔버, 엘리베이터, 승강, 스텝모터, 엔코더, 리드스크류, 웨이퍼, 반도체 The load lock chamber, elevator, lift, a step motor, an encoder, a lead screw, a wafer, a semiconductor

Description

로드락 챔버의 엘리베이터 승강구동장치{ELEVATING DRIVE APPARATUS FOR A ELEVATOR OF THE LOAD-LOCK CHAMBER} Elevator entrance of the load lock chamber such devices {ELEVATING DRIVE APPARATUS FOR A ELEVATOR OF THE LOAD-LOCK CHAMBER}

도 1은 종래의 로드락 챔버를 보여주는 개략 구성도, Figure 1 is a schematic configuration diagram showing a conventional load lock chamber,

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드락 챔버의 엘리베이터 승강구동장치를 보여주는 개략 구성도이다. Figure 2 is a schematic view showing the elevator apparatus of the East entrance load lock chamber according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> <Description of the Related Art>

10 : 웨이퍼 카세트 20 : 트랜스퍼용 로봇암 10: 20 wafer cassettes: a transfer robot arm

100 : 로드락 챔버 102 : 본체 100: load lock chamber 102: main body

102a : 도어 104 : 엘리베이터 102a: door 104 Elevators

104a : 스테이지 104b : 승강구동축 104a: 104b stage: hatch coaxial

104c : 드라이브암 104c-1 : 너트부 104c: drive arm 104c-1: nut

106 : 승강구동장치부 106a : 리드스크류 106: hatch copper teeth 106a: leadscrew

106a-1 : 리드스크류측 풀리 106b : 전동벨트 106a-1: side lead screw pulley 106b: transmission belt

106c : 스텝모터 106c-1 : 회전축 106c: step motor 106c-1: rotational axis

106c-2 : 모터측 풀리 106d : 엔코더 106c-2: motor-side pulley 106d: Encoder

106e : 선형이동검출수단 106e-1 : 가동부 106e: linear travel detecting means 106e-1: movable portion

106e-2 : 실린더부 106e-2-1 : 유체 106e-2: a cylinder portion 106e-2-1: Fluid

106e-2-2 : 변형판 106e-2-3 : 변형검출수단 106e-2-2: byeonhyeongpan 106e-2-3: deformation detecting means

106e-3 : 고정부 106e-4 : 피스톤부 106e-3: fixing part 106e-4: piston

108 : 제어부 w : 웨이퍼 108: control unit w: wafer

본 발명은 반도체 소자 제조용 로드락 챔버(load-lock chamber)의 엘리베이터(elevator) 승강구동장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 스텝모터의 회전 구동에 따라 엘리베이터가 실제로 정확하게 승강되었는지를 검출하여 엘리베이터가 비정상적으로 승강 작동된 경우 바로 이상조치를 취할 수 있게 됨으로써 이후의 엘리베이터상에 놓인 웨이퍼 카세트에 대한 트랜스퍼용 로봇암의 충돌 및 그에 따른 웨이퍼 파손을 미연에 방지할 수 있게 되는 로드락 챔버의 엘리베이터 승강구동장치에 관한 것이다. The present invention is an elevator to detect whether relates to a lift (elevator) hatch same device of a semiconductor device for manufacturing a load lock chamber (load-lock chamber), and more particularly, this elevator is actually precisely the lifting according to the rotational driving of the stepper motor abnormally when a lifting operation allows to take just over action being elevator entrance of the load lock chamber that is able to avoid conflicts and wafer breakage, consequently, its robot arm for the transfer of the wafer cassette placed on the subsequent elevator in advance such devices relate to.

일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위한 여러 단위 공정장치들은 대부분 밀폐된 가공공간을 형성하기 위하여 공정챔버(chamber)를 구비하게 되며, 해당 공정챔버의 내부는 통상 고진공, 고압, 고온과 같은 특수환경 조건으로 조성되게 된다. In general, the number of the unit process equipment for the production of semiconductor devices are most in order to form a closed processing space and to with a processing chamber (chamber), the inside is special environmental conditions such as a normal high vacuum, high pressure, high temperature of the process chamber It is presented in the composition.

그리고, 특수환경 조건의 공정챔버내로 공정대상물인 웨이퍼(wafer)를 바로 직접적으로 투입하게 되면, 해당 웨이퍼가 급격한 스트레스(stress)를 받아 손상되게 되고, 또한 외부 영향으로 공정챔버내의 환경 조건이 불량해질 수 있게 된다. Then, when the input to the wafer (wafer) processing the object into the process chamber of special environmental conditions to immediately direct, and a corresponding wafer is damaged receive a rapid stress (stress), also be the environmental conditions within the process chamber as Bad external influences It can be so.

따라서, 이러한 문제점들을 방지하고자 웨이퍼가 공정챔버내로 투입되기에 앞서 해당 공정챔버와 내부 환경조건이 근접하는 로드락 챔버(load-lock chamber)내에 우선적으로 웨이퍼를 투입한 다음, 해당 웨이퍼를 다시 공정챔버내로 옮겨 로딩(loading)하게 되며, 즉 로드락 챔버는 일종의 완충 챔버의 역할을 하게 된다. Therefore, such a problem to prevent a wafer is introduced preferentially to the wafer in the input to the load lock chamber (load-lock chamber) that the process chamber and internal environmental conditions close-up prior to the into the process chamber, and then, the wafer back processing chamber is moved into the loading (loading), that is the load lock chamber is to act as a sort of a buffer chamber.

도 1은 종래의 반도체 소자 제조용 로드락 챔버에 대한 개략 구성도이다. Figure 1 is a schematic configuration diagram of a conventional semiconductor device for making load-lock chamber.

로드락 챔버(100)는, 다수매의 웨이퍼(w)가 상하로 적재되어 있는 웨이퍼 카세트(cassette)(10)의 출입을 위한 도어(door)(102a)가 일측에 형성되고 그 밀폐되는 내부에는 공정챔버와 근접하는 환경조건이 형성되게 되는 본체(102)와, 본체(102)내에 구비되어 로딩되는 웨이퍼 카세트(10)를 상면상에 안착한 상태에서 승강되게 되는 엘리베이터(elevator)(104)와, 엘리베이터(104)를 승강 구동시키기 위해 외부에 구비되게 되는 승강구동장치부(106)와, 승강구동장치부(106)에 대한 작동 제어를 실시하게 되는 제어부(108)를 포함하게 된다. The load lock chamber 100, the door (door) (102a) for the entry of a number of sheets of wafer wafer cassette (cassette) (10) where (w) are stacked up and down is formed at one side therein that is sealed, the and a process chamber and a close-up environmental conditions, the body 102 is to be formed to the main body lift is to be provided is elevated in anchakhan the wafer cassette 10 to be loaded on the surface state in a 102 (elevator) (104), in order to drive the elevating lift 104 will contain copper and hatch tooth 106 that is to be provided to the outside, entrance copper teeth 106, the controller 108 is to carry out operation control for.

전술한 엘리베이터(104)는, 본체(102)내에 구비되어 그 상면상에 웨이퍼 카세트(10)가 안착되게 되는 스테이지(stage)(104a)와, 이 스테이지(104a)의 하부측에 그 상단부가 결합되어 본체(102) 외부로 연장되도록 수직되게 구비되게 되는 승강구동축(104b)과, 일단은 승강구동축(104b)에 고정 결합을 이루고 타단은 후술하는 리드스크류(106a)측과 나사 결합을 이루는 너트부(104c-1)로 형성되어 수평방향으로 구비되게 되는 드라이브암(drive arm)(104c)으로 구성되게 된다. The above-described elevator 104, stage is provided in the main body 102 so that the wafer cassette 10 mounted on the upper face (stage) (104a) and, at its upper end coupled to the lower side of the stage (104a) the body 102, the hatch is to be provided to be vertical so as to extend to the outside shaft (104b), and one end forms a fixed to the hatch shaft (104b), the other end forming a screw connection with later lead screw (106a) side of the nut part is formed of a (104c-1) is to be configured as a drive arm (drive arm) (104c) that is to be provided in the horizontal direction.

승강구동장치부(106)는, 엘리베이터(104)의 승강구동축(104b)과 평행하도록 일측에 수직되게 구비되게 되는 리드스크류(lead screw)(106a)와, 제어부(108)의 제어에 따라 작동되어 리드스크류(106a)를 소정량 회전시키게 되는 스텝모터(step motor)(106c)와, 스텝모터(106c)의 회전축(106c-1)상의 모터측 풀리(pully)(106c-2)와 리드스크류(106a)측 풀리(106a-1)간을 전동 연결하도록 구비되게 되는 전동벨트(belt)(106b)와, 스텝모터(106c)의 실제 회전된 양을 측정하여 제어부(108)로 송출함으로써 제어부(108)로 하여금 스텝모터(106c)가 정확하게 작동되었는지를 확인할 수 있도록 하기 위해 스텝모터(106c)의 회전축(106c-1)에 대해 구비되게 되는 엔코더(encoder)(106d)로 이루어지게 된다. Hatch copper-plated teeth 106, is actuated according to the control of the entrance shaft (104b), the lead screw is to be provided to be perpendicular to the one side is parallel to the (lead screw), (106a) of the elevator 104, the control section 108 lead and a step that thereby the screws (106a) predetermined amount of rotation motor (step motor) (106c), the motor-side pulley (pully) (106c-2) and lead screw (106a on the rotary shaft (106c-1) of the step motor (106c) ), the transmission belt (belt) (106b) and a controller (108 by sending to the controller 108 in real life by the rotation amount determination of the stepper motor (106c) is side pulley (106a-1) to be adapted to the electric connection between) cause the axis of rotation will be written in step (106c-1) encoder (encoder) (106d) which is to be provided for the motor (106c) to be able to check whether the stepping motor (106c) is operating correctly.

따라서, 외부로부터 웨이퍼 카세트(10)가 이송되어 본체(102)내의 엘리베이터(104)의 스테이지(104a)상에 안착된 상태에서, 제어부(108)의 작동 제어에 따라 스텝모터(106c)가 회전 작동되게 되면, 스텝모터(106c)의 회전 구동력이 전동벨트(106b)를 통해 리드스크류(106a)측으로 전달되어 리드스크류(106a)가 회전되게 되고, 리드스크류(106a)의 회전에 따라 해당 리드스크류(106a)에 대해 일단의 너트부(104c-1)를 통해 나사 결합을 이루고 있는 드라이브암(104c)이 승강되게 되며, 해당 드라이브암(104c)의 승강에 따라 고정 결합을 이루고 있는 엘리베이터(104)의 승강구동축(104b) 및 스테이지(104a)가 함께 승강되게 된다. Accordingly, the wafer cassette 10 is conveyed from the outside in a state mounted on a stage (104a) of the elevator 104 in the body 102, operating the step motor (106c) rotates in accordance with operation control of the control section 108 so when, and so the rotation driving force transmission belt (106b) a lead screw (106a) passing the lead screw (106a) side with the step motor (106c) rotation, the lead screw with the rotation of the lead screw (106a) ( 106a), one end of the nut portion (104c-1) screwed to the drive arm (104c) is is to be elevated, which forms a through for, the elevator 104, which forms a fixed combination in accordance with the lift of the drive arm (104c) hatch shaft (104b) and the stage (104a) is to be elevated with.

그리고, 이와 같이 엘리베이터(104)가 승강되게 되면, 해당 스테이지(104a)상의 웨이퍼 카세트(10)가 승강되게 되고, 웨이퍼 카세트(10)가 승강됨에 따라 해당 웨이퍼 카세트(10)내에 상하로 적재되어 있는 웨이퍼들(w)의 높이 위치가 변화하게 되므로, 별도로 로드락 챔버(100)와 공정챔버간에 구비되어 있는 트랜스퍼(transfer)용 로봇암(robot arm)(20)이 그와 동일한 높이 위치로 맞추어지게 되 는 웨이퍼 카세트(10)내의 웨이퍼(w)를 한매씩 꺼내어 공정챔버측으로 순차적으로 이송하게 된다. And, this way when the elevator 104 to be elevated, the wafer cassette 10 on the stage (104a) is to be elevated, the wafer cassette 10 is elevated As in accordance with the load up and down in the wafer cassette 10 the height position of the wafer (w), so changes, a robot arm separate from the load lock chamber 100 and process the transfer (transfer) which is provided between the chamber (robot arm) (20) are to be made according to the same height position as that is being sequentially transferred to the side of the processing chamber of the wafer (w) in the wafer cassette 10 is taken out one by one.

이때, 엘리베이터(104)가 승강되는 정도는 제어부(108)가 스텝모터(106c)를 작동 제어하는 것에 의해 조정되게 되며, 즉 제어부(108)가 작동신호를 스텝모터(106c)측으로 발신하여 스텝모터(106c)가 적당량 작동되도록 하고, 그에 대해 스텝모터(106c)가 정확하게 작동되었는지를 엔코더(106d)를 이용하여 확인하게 된다. At this time, the elevator 104, the degree of lifting the controller 108 will be adjusted by operation control of the step motor (106c), i.e. the control unit 108 to the calling operation signal toward the step motor (106c) step motor (106c) and to work the appropriate amount, is confirmed by using a step motor encoder if (106c) is operating correctly (106d) for him.

덧붙여, 주지된 바와 같이, 엔코더(106d)는 스텝모터(106c)의 회전축(106c-1)에 대해 구비되어 스텝모터(106c)와 동기화되어 작용되게 되는 것으로, 스텝모터(106c)의 회전축(106c-1)에 대해 결합되어 있는 패턴원판상에 등간격으로 형성되어 있는 패턴들이 회전시 통과하는 개수를 광검출수단 등으로 검출하여 그 검출 결과를 제어부(108)측으로 송출하여 제어부(108)가 그 결과신호를 통해 스텝모터(106c)의 회전된 정도를 확인할 수 있도록 하게 된다. In addition, as is known, the encoder (106d) is provided for the rotary shaft (106c-1) of the step motor (106c) to be presented action is synchronized with the step motor (106c), the rotation axis (106c of the step motor (106c) -1) in the pattern source patterns are formed at equal intervals on the plate that are coupled to detect the number of rotation passing through the light detection means, such as sent to the control unit (108 of the detection result side control section 108 for) that result through the signal is to determine the degree of rotation of the step motor (106c).

그러나, 이상과 같은 종래에 있어서는 제어부(108)의 작동 제어에 의해 스텝모터(106c)가 정확하게 회전 작동되어 엔코더(106d)를 통해서는 스텝모터(106c)가 정확하게 작동된 것으로 확인되더라도, 실제로는 엘리베이터(104)의 승강구동축(104b)이 그에 상응하도록 승강되지 못하는 경우가 발생되고 있다. However, even in the prior art as described above through the encoder (106d) is a step motor (106c) operate correctly rotated by the operation control of the control unit 108 determined that exactly the step motor (106c) working in practice Elevator there hatch shaft (104b) of 104 and does not occur if the lift so as to correspond thereto.

이는, 스텝모터(106c)측으로부터 리드스크류(106a)측으로의 구동력 전달에 있어서의 이상에 의해 주로 발생되는 것으로 확인되고 있으며, 즉 장시간 사용에 따라 풀리(106a-1, 106c-2) 및 전동벨트(106b)에 마모가 발생되고, 또한 전동벨트(106b)의 장력이 느슨해지게 됨으로써, 회전시 전동벨트(106b)가 겉돌게 되는 이 상이 발생되게 되어, 그에 따라 결국 리드스크류(106a)가 비정상적인 양만큼만 회전되어 엘리베이터(104)의 승강구동축(104b)이 충분히 승강되지 못하게 된다. This is because the step motor (106c) side from which was confirmed to be mainly caused by abnormalities in the driving force transmission side to the lead screw (106a), namely a pulley (106a-1, 106c-2), and power transmission belt according to the long-term use and occurs wear in (106b), also is presented thereby become loose tension of the transmission belt (106b), the transmission belt (106b) of rotation is the phase generated is pumping surface, an abnormal amount eventually lead screw (106a) accordingly as much as the rotating shaft entrance (104b) of the elevator 104 it is able not sufficiently elevated.

이와 같이, 엘리베이터(104)가 정확하게 승강되지 못하게 되면, 이후 트랜스퍼용 로봇암(20)이 잘못된 높이 위치에 있게 되는 웨이퍼 카세트(10)나 엘리베이터(104)에 대해 충돌하게 됨으로써, 웨이퍼(w) 파손과 같은 심각한 사고를 유발하게 되어, 생산수율을 저하시키고 또한 원활한 공정수행을 방해하게 된다. Thus, the elevator 104 is precisely when let be elevated, whereby the robot arm 20 for the transfer is to hit against the wafer cassette 10 and the elevator (104) to be in the wrong height Thereafter, the wafer (w) damage It is causing a serious accident such as, thereby lowering the production yield and also interfere with the performance seamless process.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 엘리베이터의 승강구동축이 실제로 승강된 정도를 검출하여 제어부로 송출할 수 있는 선형이동검출수단을 추가로 구비함으로써 엔코더를 통해서는 정상적인 작동이 확인되더라도 선형이동검출수단을 통해 비정상적인 작동이 확인되는 경우 공정진행 중지와 같은 이상조치를 즉시 발생시켜 이후의 트랜스퍼용 로봇암의 충돌 및 그에 따른 웨이퍼 파손을 방지할 수 있게 되는 로드락 챔버의 엘리베이터 승강구동장치를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention is the normal operation through as been made to solve the various problems as described above, the encoder by further comprising a linear movement detecting means that detects the level of the elevator doorway shaft is actually elevated to be sent to the control unit when the through linear movement detection means determine the abnormal operation even if the checking step elevator entrance of the load lock chamber in which the wafer breakage along a transfer robot arm for subsequent collisions and thus can be prevented by immediately generate the above action, such as stopping progress there is provided a dynamic device.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 로드락 챔버의 엘리베이터 승강구동장치는, 로드락 챔버의 엘리베이터를 승강시키기 위해 상기 엘리베이터의 승강구동축측이 나사 결합을 이루어 그 회전에 따라 상기 엘리베이터가 승강되도록 하게 되는 리드스크류와, 상기 리드스크류를 회전시키기 위한 스텝모터와, 상기 스텝모터의 회전 정도를 측정하게 되는 엔코더와, 상기 스텝모터에 대한 작동 제어를 실시하고 상기 엔코더를 통해 상기 스텝모터가 정확히 작동되었는지를 확인하게 되는 제어부를 구비하는 로드락 챔버의 엘리베이터 승강구동장치에 있어서, 상기 엘리베이터의 실제 승강된 정도를 측정하여 상기 제어부로 송출함으로써 상기 제어부가 상기 엔코더로부터 전송되는 상기 스텝모터의 회전된 정도값과 대비하여 상기 엘리베이터가 목표 Elevator entrance of the load lock chamber of the present invention for achieving the above object such apparatus, in order to lift the elevator of the load lock chamber made the hatch shaft side is screwed on the elevator as such that the elevator lifting in accordance with the rotation and a step motor for rotating the lead screw, and the lead screw is, the encoder to measure the rotation amount of the step motor, that performs operation control for the step motor and the step motor is operating correctly, via the encoder in the verification the load elevator hatch same device lock chamber of a control that is, the rotational accuracy values ​​of by dispensing and measuring the actual lift amount of the elevator to the control unit the step motor to the control transmitted from the encoder in contrast with the elevator target 만큼 정확하게 승강되었는지를 확인하도록 하게 되는 선형이동검출수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. In that it comprises as many linear motion detection means by which to accurately determine whether the elevated features.

본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다. The foregoing and various advantages of the invention will become more apparent from the preferred embodiments of the invention are described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. It will be explained below, the preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings in detail.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드락 챔버의 엘리베이터 승강구동장치를 보여주는 개략 구성도이다. Figure 2 is a schematic view showing the elevator apparatus of the East entrance load lock chamber according to an embodiment of the present invention.

설명에 앞서, 종래와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호를 부기하고, 그에 대한 상세한 설명을 일부 생략함을 밝힌다. Prior to the description of the same components in the prior art and swelling by the same reference numerals, and says that some omit the detailed description thereof.

본 발명에 따르면, 리드스크류(106a)에 대해 나사 결합을 이루어 리드스크류(106a)의 회전에 따라 승강되게 되는 엘리베이터(104)의 승강구동축(104b)의 실제적인 승강 정도를 검출할 수 있는 선형이동검출수단(106e)이 추가적으로 구비되게 되며, 이 선형이동검출수단(106e)은 엘리베이터(104)의 승강구동축(104b)의 실제 승강된 정도를 측정하여 제어부(108)로 송출하게 된다. According to the invention, the linear movement that is capable of detecting an actual lift amount of the hatch shaft (104b) of the elevator (104) to be elevated with the rotation of the lead screw (106a) made of a screwed on the lead screw (106a) is presented detecting means (106e) is provided additionally, the linear movement detecting means (106e) is sent to the controller 108 to measure the actual lift amount of the hatch shaft (104b) of the elevator (104).

즉, 제어부(108)의 작동 제어에 의해 스텝모터(106c)가 적당량 회전 구동되어 엘리베이터(104)가 승강됨에 있어서, 스텝모터(106c)에 대해 구비되어 있는 엔코더(106d)로부터 스텝모터(106c)가 회전 작동된 정도가 측정되어 제어부(108)로 송출되게 됨과 아울러, 선형이동검출수단(106e)으로부터 엘리베이터(104)가 실제 승강 이동된 정도가 측정되어 또한 제어부(108)로 송출되게 되며, 따라서 제어부(108)는 스텝모터(106c)가 실제 회전 작동된 정도와 엘리베이터(104)가 실제 승강 이동된 정도를 대비하여 확인함으로써, 스텝모터(106c)의 회전된 정도에 비례하여 엘리베이터(104)가 승강 이동되지 못한 것으로 확인되는 경우에는 즉시 이상조치를 발생시키게 된다. That is, As the step motor (106c) by the operation control of the controller 108 is driven amount rotating elevator 104 is elevated, the step motor (106c) from the encoder (106d) which is provided for a step motor (106c) is soon as rotation of the working degree is determined to be sent to the controller 108 as well, the degree of lift 104 from linear travel detecting means (106e) that the actual lifting movement is measured and also is to be sent to the controller 108, and thus the controller 108 is a step motor (106c) is by checking the actual rotational operation degree and the elevator 104 is in case the degree of the actual lifting movement, elevator 104 is in proportion to the rotation amount of step motor (106c) is If it determined that the mobile has not been elevated to thereby generate the above action immediately.

이때, 제어부(108)가 이상조치로서 발생시킬 수 있는 것으로는 이후의 공정진행을 전반적으로 정지시켜 즉, 트랜스퍼용 로봇암(20)의 작동을 정지시켜 해당 트랜스퍼용 로봇암(20)이 잘못된 높이에 위치되어 있는 웨이퍼 카세트(10)에 대해 충돌하는 것이 방지되도록 하면서, 외부로 이상 상황을 알리는 알람(alarm)을 발생시켜 작업자 등이 인식할 수 있도록 하는 방식 등으로 실시될 수 있다. At this time, the controller 108 is to be capable of generating as the above action by the overall stopping the progress since the process that is, to stop the operation of the transfer robot arm 20 for the transfer robot arm height 20 is invalid for and so is prevented from collision against the wafer cassette 10 which is located in, by generating an alarm (alarm) notifying the above situation to the outside it can be carried out in such a manner such that the operator can recognize the like.

바람직하게, 전술한 선형이동검출수단(106e)은, 승강되는 엘리베이터(104)의 승강구동축(104b)이나 그 승강구동축(104b)에 대해 고정 결합을 이루고 있는 드라이브암(104c)에 대해 고정되도록 결합을 이루어 승강구동축(104b)의 승강에 따라 함께 선형 이동되게 되는 가동부(106e-1)와, 이 가동부(106e-1)에 대해 이격되어 대향되도록 고정되게 구비되게 되는 고정부(106e-3)와, 전술한 가동부(106e-1) 또는 고정부(106e-3)의 어느 하나에 대해 결합되도록 구비되게 되는 피스톤부(106e- 4)와, 이 피스톤부(106e-4)가 일부 삽입되도록 가동부(106e-1) 또는 고정부(106e-3)의 다른 하나에 대해 결합되도록 구비되며 그 내부에는 오일과 같은 유체가 충진되게 되고 삽입된 피스톤부(106e-4)에 의해 가해지는 압력에 의해 내부 유체(106e-2-1)가 변형됨에 따라 변형되게 되는 변형판(106e-2-2)과 이 Preferably, the binding to linear travel detecting means (106e) described above is fixed with respect to the entrance shaft (104b) and the entrance shaft drives that make up the fixed combination for (104b) arm (104c) of the vertical lift 104 a and made hatch shaft (104b) the lifting linear movement causes the movable part (106e-1) that together in accordance with, and a movable part that is to be provided to be fixed to be spaced apart opposed to the (106e-1) state (106e-3) , and the piston part (106e- 4) that is to be provided to be coupled to the any one of the above-mentioned moving part (106e-1) or the fixing portion (106e-3), the moving part so that the piston portion (106e-4) inserting a portion ( 106e-1) or the fixed (and having to be coupled to the other one 106e-3) therein, the inner fluid by the pressure exerted by the piston unit (106e-4) the fluid is filled to be inserted, such as oil (106e-2-1) is deformed byeonhyeongpan (106e-2-2) is deformed as with the 변형판(106e-2-2)의 변형을 감지하기 위한 스트레인 게이지(strain gauge)와 같은 변형검출수단(106e-2-3)을 구비하게 되는 실린더부(106e-2)로 이루어질 수 있다. It may be made of a byeonhyeongpan (106e-2-2) strain gauge (strain gauge) and the cylinder portion (106e-2) which is provided with the same strain detecting means (106e-2-3) for detecting a variation of.

여기서, 실린더부(106e-2)내에 내장되는 변형판(106e-2-2)은 두께가 매우 얇은 탄성체 판으로 형성될 수 있고, 해당 변형판(106e-2-2)의 가장자리부는 실린더부(106e-2)의 내측벽측에 대해 고정될 수 있으며, 변형판(106e-2-2)의 일측, 즉 피스톤부(106e-4)가 위치한 측의 실린더부(106e-2)내에는 전술한 유체(106e-2-1)가 채워지게 되고, 변형판(106e-2-2)의 타측면상에는 변형검출수단(106e-2-3)이 부착되어 구비될 수 있다. Here, the edge of the cylindrical section (106e-2) byeonhyeongpan (106e-2-2) can be formed in a very thin thickness of the elastic body sheet, the byeonhyeongpan (106e-2-2) which is incorporated in the unit cylinder (106e- 2) the inner wall can be fixed relative to the side, and byeonhyeongpan (one side of 106e-2-2), i.e., in the piston portion (106e-4) are located in the side of the cylinder portion (106e-2) of the above-mentioned fluid (106e -2-1) may be being filled, having byeonhyeongpan (strain detecting means (106e-2-3) formed on the other surface of 106e-2-2) is attached.

따라서, 스텝모터(106c)가 회전 작동되어 리드스크류(106a)가 회전함에 따라 승강되게 되는 엘리베이터(104)의 승강구동축(104b) 및 드라이브암(104c)측에 대해 고정되도록 결합되어 있는 가동부(106e-1)가 대향되는 고정부(106e-3)에 대해 상대적으로 선형 이동하게 되면, 피스톤부(106e-4)가 실린더부(106e-2)내로 삽입되는 정도가 변화하게 되고, 이에 따라 피스톤부(106e-4)에 의해 실린더부(106e-2)내의 유체(106e-2-1)가 가압되는 정도가 변경되게 되어 해당 유체(106e-2-1)를 매개로 민감하게 변형판(106e-2-2)이 형상 변화를 하게 되며, 이 형상 변화를 변형검출수단(106e-2-3)이 검출하여 제어부(108)측으로 송출하게 됨으로써, 제어부(108)가 엘 리베이터(104)의 실제 승강된 정도를 확인할 수 있게 된다. Thus, the movable portion (106e, which is coupled to the stepper motor (106c) to operate the lead screw (106a) is fixed against rotation as the hatch shaft (104b) and a drive arm (104c) of the elevator (104) to be elevated side along the rotation 1) When the relative linear movement with respect to the fixed part (106e-3) which face each other about the piston portion (106e-4) which is inserted into the cylinder portion (106e-2) is changed, so that the piston (106e-4) the cylinder portion (106e-2) fluid (106e-2-1) is presented about the changes that are pressed the fluid (106e-2-1) sensitive to the medium byeonhyeongpan (106e-2 in the by -2) are the changes in the shape, whereby the transmitting side control section 108 to change the shape and deformation detection means (106e-2-3) is detected, the controller 108 is the actual lifting of the elevator (104) the level can be checked.

이로써, 제어부(108)는 엔코더(106d)로부터는 스텝모터(106c)가 실제 회전 작동된 정도값을 송출받게 되고, 또한 변형검출수단(106e-2-3)으로부터는 엘리베이터(104)가 실제로 승강된 정도값을 송출받게 되므로, 전송되는 두 값의 비례성 여부를 확인하는 것에 의해 엘리베이터(104)가 정확하게 승강되었는지를 확인할 수 있게 된다. Thus, the control section 108 is received from the encoder (106d) is sent the value degree of the step motor (106c) to operate the actual rotation, and strain detecting means (106e-2-3) from the elevator 104 is in fact the lifting since the received transmission level value, the elevator 104 by confirming whether the proportionality of the two values ​​to be transmitted can be checked whether the correct elevation.

이상에서, 선형이동검출수단(106e)의 가동부(106e-1)가 바람직하게 엘리베이터(104)의 승강구동축(104b)이나 드라이브암(104c)측에 대해 고정 결합되도록 구비되는 것으로 나타내었으나, 해당 가동부(106e-1)는 직접 리드스크류(106a)에 대해 나사 결합되는 너트부를 갖어 리드스크류(106a)의 회전시 또한 독립적으로 승강되도록 구비될 수도 있을 것이다. In the above, eoteuna shown as being provided with a movable portion (106e-1) of the linear movement detecting means (106e) and preferably to be fixed combination for hatch shaft (104b) or the drive arm (104c) side of the elevator 104, the movable part (106e-1) is directly during rotation of the threaded lead screw (106a) gateo parts nut on a lead screw (106a) would also be provided to also lift independently.

또한, 이상에서 선형이동검출수단(106e)이 실린더 형태인 것에 대하여 예시적으로 설명하였으나, 그 외의 다른 구성으로는 가동부(106e-1) 또는 고정부(106e-3)의 어느 하나측에는 일직선상에 등간격씩 다수개의 패턴이 형성되고 다른 하나측에는 가동부(106e-1)의 선형 이동에 따라 통과되는 해당 패턴의 개수를 인식할 수 있는 센서 등이 구비되는 것으로 이루어질 수도 있는 등, 기타 여러 다양한 수단이 채택될 수 있음은 물론이다. Further, a straight line side of any one of, but linear movement detecting means (106e) is described by way of example with respect to the cylindrical shape from above, and a different configuration other than the movable portion (106e-1) or the fixing portion (106e-3) such as may be made to be able to recognize the number of the pattern sensor is provided which is passed in accordance with the linear movement, many other different means, such as in the interval by a plurality of patterns is formed on the other side of the moving part (106e-1) It can be adopted as a matter of course.

이로써, 본 발명에 의하면, 스텝모터(106c)가 정상적으로 작동되었더라도 실제로는 엘리베이터(104)가 적절히 승강되지 못한 경우를 바로 검출하여 이상조치를 취할 수 있게 되므로, 이후의 웨이퍼 카세트(10)에 대한 트랜스퍼용 로봇암(20)의 충돌을 차단하여 웨이퍼(w)가 파손되는 것을 방지할 수 있게 됨으로써, 생산수율 향상 및 안정적인 공정수행이 가능하도록 할 수 있게 된다. Thus, according to the present invention, the step motor (106c) that, even if operating normally actually lift 104 because the case could not be properly elevated able to take the above measure by directly detecting the transfer of the wafer cassette 10 after the this being able to prevent a collision with the wafer (w) for the blocking of the robot arm 20 is broken, the production yield and perform a stable process it is possible to enable.

이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정과 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다. Or more, the details, those skilled in the art that only illustrates the preferred embodiment of the invention is to be understood that this can apply to modifications and variations to the invention without having to change the subject matter of the present invention.

본 발명에 따르면, 엘리베이터가 정확한 높이 위치로 승강 작동되지 않은 경우를 검출하여 바로 이상조치를 취할 수 있게 되므로, 엘리베이터상에 놓인 웨이퍼 카세트에 대한 트랜스퍼용 로봇암의 충돌 및 그에 따른 웨이퍼 파손을 미연에 방지할 수 있게 되어, 생산수율 향상 및 안정적인 공정수행이 가능하도록 할 수 있는 효과가 달성될 수 있다. According to the present invention, since it allows the elevator to take just over action by detecting if it is not working elevator to the correct height position, the collision and wafer breakage hence of the transfer robot arm for wafer cassette placed on the elevator in advance is able to be prevented, there is an effect that it is possible to enable the production yield and perform a stable process can be achieved.

Claims (3)

  1. 로드락 챔버(100)의 엘리베이터(104)를 승강시키기 위해 상기 엘리베이터(104)의 승강구동축(104b)측이 나사 결합을 이루어 그 회전에 따라 상기 엘리베이터(104)가 승강되도록 하게 되는 리드스크류(106a)와, 상기 리드스크류(106a)를 회전시키기 위한 스텝모터(106c)와, 상기 스텝모터(106c)의 회전 정도를 측정하게 되는 엔코더(106d)와, 상기 스텝모터(106c)에 대한 작동 제어를 실시하고 상기 엔코더(106d)를 통해 상기 스텝모터(106c)가 정확히 작동되었는지를 확인하게 되는 제어부(108)를 구비하는 로드락 챔버의 엘리베이터 승강구동장치에 있어서, The load lock chamber 100, the elevator 104 hatch shaft (104b) side to the lead screw (106a which is made of a screw connection such that the elevator 104 is elevated according to its rotation in order to lift the elevator 104 of the ), and the operation control of the step motor (106c), and an encoder (106d) is to measure the rotational amount of the step motor (106c), the step motor (106c) for rotating the lead screw (106a) embodiment, and in the elevator apparatus of the East entrance load lock chamber comprising the step motor control unit 108, which is to ensure that the (106c) to operate correctly over the encoder (106d),
    상기 엘리베이터(104)의 실제 승강된 정도를 측정하여 상기 제어부(108)로 송출함으로써 상기 제어부(108)가 상기 엔코더(106d)로부터 전송되는 상기 스텝모터(106c)의 회전된 정도값과 대비하여 상기 엘리베이터(104)가 목표량 만큼 정확하게 승강되었는지를 확인하도록 하게 되는 선형이동검출수단(106e)을 포함하되, By measuring the actual lift amount of said elevator (104) sent to the control unit 108, in contrast with a degree value rotation of the step motor (106c), the controller 108 is transmitted from the encoder (106d) the but elevator 104 comprises a linear movement detecting means by which to verify that the correct elevated by the target amount (106e),
    상기 선형이동검출수단(106e)은, The linear movement detecting means (106e) is,
    상기 엘리베이터(104)의 승강구동축(104b)측에 대해 고정 결합되거나 상기 리드스크류(106a)에 대해 나사 결합을 이루어 상기 리드스크류(106a)의 회전에 따라 승강되도록 구비되게 되는 가동부(106e-1)와, Fixedly connected to the entrance shaft (104b) side of the elevator 104, or done in screwed on the lead screw (106a), the movable part (106e-1) that is to be provided to lift according to the rotation of the lead screw (106a) Wow,
    상기 가동부(106e-1)에 대해 이격되어 대향되도록 고정되게 구비되게 되는 고정부(106e-3)와, And that is to be provided to be fixed to face and spaced apart with respect to said movable portion (106e-1) state (106e-3),
    상기 가동부(106e-1) 또는 상기 고정부(106e-3)의 어느 하나에 대해 결합되도록 구비되게 되는 피스톤부(106e-4)와, And the movable portion (106e-1) or the fixing piston which is to be provided to be coupled to the any one of (106e-3) (106e-4),
    상기 피스톤부(106e-4)가 일부 삽입되도록 상기 가동부(106e-1) 또는 상기 고정부(106e-3)의 다른 하나에 대해 결합되도록 구비되며 상기 피스톤부(106e-4)에 의해 가압됨에 따라 내부에 충진되어 있는 유체(106e-2-1)의 변형에 따라 변형되게 되는 변형판(106e-2-2)과 상기 변형판(106e-2-2)의 변형을 검출하여 상기 제어부(108)측으로 송출하게 되는 변형검출수단(106e-2-3)을 구비하게 되는 실린더부(106e-2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버의 엘리베이터 승강구동장치. The piston unit (106e-4) is is provided to be coupled to the other of the movable portion (106e-1) or the fixing portion (106e-3) to be partially inserted as pressed by the piston part (106e-4) transmission by detecting the variation of byeonhyeongpan (106e-2-2) and the byeonhyeongpan (106e-2-2) is deformed according to the deformation of the fluid (106e-2-1) which is filled inside toward the control section 108 modified load detecting means of the elevator doorway same device lock chamber characterized in that a cylinder portion (106e-2) which is provided to the (106e-2-3) is.
  2. 삭제 delete
  3. 제 1 항에 있어서, According to claim 1,
    상기 제어부(108)는, The controller 108,
    상기 엔코더(106d)로부터 전송되는 값과 상기 선형이동검출수단(106e)으로부터 전송되는 값의 비례성을 확인하는 것에 의해 상기 엘리베이터(104)가 정확한 거리 이동되었는지를 확인하고 비정상적으로 이동된 경우 이상조치를 취하게 되는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버의 엘리베이터 승강구동장치. If by check the proportion of the value transmitted from the encoder value and the linear travel detecting means (106e) which is transmitted from (106d) confirm that the elevator 104, the distance moved right and abnormally move over action a load lock chamber of the elevator doorway such device characterized in that the alcohol.
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