KR100836256B1 - Lithium ion conducting solid oxide electrolyte composed of Li-B-W-O LBWO system - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 비정질 상에서 높은 리튬 이온 전도도를 갖고, 낮은 자기방전율을 나타내며, 진공 증착에 의해 비정질 박막의 형태를 가지며, 일반적인 리튬전지의 사용 범위 이내인 0.5~4.5 V(vs. Li/Li+) 구간에서 전기화학적으로 비교적 안정하며, Li-B-W-O 4성분계 (LBWO) 산화물로 이루어지는 산화물 전해질을 제공하여, 양극 및 음극 박막과 조합하여 박막전지를 제작할 수 있고, 양극 및 음극과의 안정한 계면을 얻을 수 있을 뿐 만 아니라 단순한 스퍼터링 또는 열증착법으로 기존에 개발된 고체전해질 박막에 비해 성막 시간을 단축할 수 있다.The present invention has a high lithium ion conductivity in the amorphous phase, exhibits a low self-discharge rate, has the form of an amorphous thin film by vacuum deposition, and is within a range of 0.5 to 4.5 V (vs. Li / Li + ) of a typical lithium battery. It is relatively stable electrochemically in the section and provides an oxide electrolyte composed of Li-BWO 4-component oxide (LBWO) oxide, so that a thin film battery can be manufactured in combination with a positive electrode and a negative electrode thin film, and a stable interface with the positive electrode and the negative electrode can be obtained. In addition, simple sputtering or thermal evaporation can reduce the film formation time compared to the conventional solid electrolyte thin film.

고체전해질, 스퍼터링, 열증착법, 리튬전지, 열증착법, LBWO Solid electrolyte, sputtering, thermal evaporation method, lithium battery, thermal evaporation method, LBWO

Description

엘비더블유오계 리튬 이온 전도성 산화물 고체전해질{Lithium ion conducting solid oxide electrolyte composed of Li-B-W-O (LBWO) system}Lithium ion conducting solid oxide electrolyte composed of Li-B-W-O (LBWO) system

도 1a는 LBWO 박막의 제작을 위한 전류 집전체 구조, 도 1b는 LBWO계 산화물 전해질 박막의 구조의 일 실시예를 나타낸 것이다.FIG. 1A illustrates a current collector structure for fabricating an LBWO thin film, and FIG. 1B illustrates an embodiment of a structure of an LBWO-based oxide electrolyte thin film.

도 2는 기판 위에 형성된 LBWO 박막의 일 실시예를 나타낸 평면도이다.2 is a plan view illustrating an embodiment of an LBWO thin film formed on a substrate.

도 3은 기판 위에 형성된 LBWO 박막의 일 실시예를 나타낸 측면도이다.3 is a side view showing an embodiment of an LBWO thin film formed on a substrate.

도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증착 원재료로서 제작된 LBWO 펠렛 및 스퍼터링 타겟의 외관 사진이다.4 and 5 are external photographs of LBWO pellets and sputtering targets prepared as vacuum deposition raw materials according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 진공 증착에 의해 제작된 LBWO 박막의 단면 구조를 보여주는 SEM사진이다.Figure 6 is a SEM photograph showing the cross-sectional structure of the LBWO thin film produced by vacuum deposition according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 Pt/LBWO /Li 구조의 블로킹(Blocking) 전극에서의 CV(Cyclic voltammetry) 곡선을 나타낸 그래프이다.FIG. 7 is a graph illustrating a cyclic voltammetry (CV) curve at a blocking electrode having a Pt / LBWO / Li structure according to an embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 V2O5 양극, Li 음극 및 LBWO계 산화물 고체 전해질로 구성된 박막전지의 충방전 특성을 나타내는 그래프이다. 8 is a graph showing charge and discharge characteristics of a thin film battery composed of a V 2 O 5 anode, a Li cathode, and an LBWO-based oxide solid electrolyte according to an embodiment of the present invention.

도 9는 LBWO계 산화물 고체 전해질의 가능한 여러 조성비를 나타낸 도표이다. 9 is a chart showing the various possible composition ratios of the LBWO-based oxide solid electrolyte.

<도면의 주요 부분에 관한 부호 설명><Description of symbols on the main parts of the drawings>

100: 전류 집전체 박막 패턴 101: 전극 영역100: current collector thin film pattern 101: electrode region

102: 활성 영역 103: 연결 영역102: active area 103: connection area

110: 하부 전류 집전체 박막 120: 상부 전류 집전체 박막110: lower current collector thin film 120: upper current collector thin film

200: LBWO계 산화물 고체 전해질 박막 300: 기판200: LBWO-based oxide solid electrolyte thin film 300: substrate

본 발명은 전고체상 리튬전지를 구성함에 있어 가장 필수적인 요소인 고체전해질에 관한 것이다. 리튬전지의 성공적인 개발과 많은 장점에도 불구하고, 그 효율과 안정성 및 충방전 싸이클링에 따른 용량 감소 등은 아직 해결 과제로 남아 있다. 고체상의 무기 전해질은 차세대 리튬전지의 설계를 가능하게 할 것으로 전망되는데, 안전성, 사용 온도 범위 등에 있어서 장점을 갖기 때문이다. 또한 이러한 고체전해질을 사용하면 덴드라이트에 의한 전지의 쇼트를 방지할 수 있으므로 리튬 금속을 음극으로 사용하여 더 높은 에너지를 저장할 수 있고, 마이크로 단위의 두께를 갖는 박막전지를 제조하는 핵심 기술로 활용될 수 있다. 최근 세계적으로 많은 고체전해질에 관한 연구가 진행됨과 동시에 이를 리튬전지에 응용하려는 시도가 이루어지고 있다. 본 발명의 목적은 상기의 장점을 가지면서 높은 이온전도도, 낮은 전기전도도, 전극과의 화학적 안정성, 구동 전압 법위 내에서의 전기화학적 안정성 및 박막 제작의 용이성 등 기본적인 전해질 요건을 만족하는 무기계 고체전해 질의 조성과 제작 방법을 제시하는 것이다.The present invention relates to a solid electrolyte which is the most essential element in constructing an all-solid-state lithium battery. Despite the successful development of lithium batteries and many advantages, the efficiency, stability, and capacity reduction due to charge and discharge cycling still remain challenges. The solid inorganic electrolyte is expected to enable the design of the next-generation lithium battery because it has advantages in safety, operating temperature range and the like. In addition, the use of such a solid electrolyte can prevent short-circuit of the battery due to the dendrite, so that lithium metal can be used as a negative electrode to store higher energy, and can be used as a core technology for manufacturing a thin film battery having a micro unit thickness. Can be. Recently, many studies on solid electrolytes have been conducted worldwide and attempts have been made to apply them to lithium batteries. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an inorganic solid electrolyte material having the above advantages and satisfying basic electrolyte requirements such as high ionic conductivity, low electrical conductivity, chemical stability with an electrode, electrochemical stability within a driving voltage law, and ease of fabrication of a thin film. It is to suggest composition and production method.

본 발명은 아주 낮은 자기 방전율을 갖는 박막형 초소형 전지의 제작 시 전해질 박막으로써 Li-B-W-O(LBWO)계 고체 전해질 박막의 제작에 관한 것이다. 박막형 초소형 전지란 양극(cathode), 음극(anode)과 전해질 등 전지의 구성 요소들이 고상의 박막으로 제조되는 이차전지로 최근 전자기기들이 소형화, 경량화 되고 마이크로 기술을 응용한 초미세 소자들이 개발되면서 에너지원으로 주목받고 있다. 박막 전지의 양극으로는 LiCoO2, LiNiO2, LiMn2O4, V2O5 및 Li(Co, Mn, Ni)O2 등의 물질이 박막화되어 응용되고 있으며 음극으로는 높은 에너지지 밀도를 가지고 있는 Li 금속과 아주 고용량을 목적으로 나노 구조의 Si 박막이 사용되고 있다. 박막 전지에 응용될 수 있는 고체 전해질은 크게 무기질계와 폴리머계 전해질로 구분될 수 있는데 전해질 박막으로 사용되기 위해서는 높은 Li+ 이온 전도성을 가져야 할 뿐만 아니라 0 ~ 5 V의 작동 구간에서 Li 금속과 반응하지 않는 전기 화학적 안정성을 가져야 한다. 최근 벌크형 이차 전지용 고체 전해질로는 유기용매 전해질과 유사한 이온 전도도를 가지는 폴리머계 전해질이 개발되고 있으나 Li 금속과의 반응 때문에 박막 전지에의 응용에는 많은 제한을 받고 있다. 따라서 무기물계 물질 중 특히 비정질인 유리질계 전해질이 박막 전지용 전해질로 주목받고 있으며 이에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다.The present invention relates to the fabrication of a Li-BWO (LBWO) -based solid electrolyte thin film as an electrolyte thin film in the manufacture of a thin-film ultra-small battery having a very low self discharge rate. Thin-film ultra-small battery is a secondary battery in which components of the battery such as cathode, anode, and electrolyte are made of solid thin film. As electronic devices are recently miniaturized and lightened, and ultra-fine devices using micro technology are developed, It is attracting attention as a circle. LiCoO 2 , LiNiO 2 , LiMn 2 O 4 , V 2 O 5, and Li (Co, Mn, Ni) O 2 are used as the anode of the thin film battery, and the cathode has a high energy density. Nano-structured Si thin films are used for Li metal and very high capacity. Solid electrolytes applicable to thin film batteries can be classified into inorganic and polymer electrolytes. To be used as an electrolyte thin film, not only have high Li + ion conductivity, but also react with Li metal at 0 to 5 V operating range. It must have electrochemical stability that does not. Recently, a polymer electrolyte having a ionic conductivity similar to that of an organic solvent electrolyte has been developed as a solid electrolyte for a bulk type secondary battery, but its application to a thin film battery has been limited due to the reaction with Li metal. Therefore, the amorphous glass-based electrolyte, among the inorganic materials, has attracted attention as an electrolyte for thin film batteries, and research on this has been actively conducted.

현재까지 보고된 결과에 의하면 LiPON 전해질이 실제 박막 전지에 응용 가능한 것으로 평가되고 있다. 이 물질은 미국 Oak Ridge National Lab (ORNL)의 Dr. J. Bates 그룹에 의하여 특허가 출원되어 있다. 예를 들어 RF 반응성 스퍼터링에 의하여 Li3PO4 타겟을 질소 분위기에서 스퍼터링함으로써 Li2 .9PO3 .3N0 .46의 조성으로 제작되는데 상온에서 3.3 × 10-6 S/cm의 비교적 높은 이온 전도도를 가지며 0 ~ 5 V의 넓은 전기화학적 안정 구간을 가질 뿐만 아니라 음극 및 양극과 매우 안정한 기계적·화학적 계면을 형성한다고 보고되고 있다. 그럼에도 불구하고, 아직 LiPON을 이용한 완전한 박막형 초소형 전지에 대한 성공적인 상용화의 보고가 없는 실정이다. 이는 비록 위에서 언급한 바처럼 LiPON의 여러 가지의 구조 및 전기화학적 안정성에도 불구하고 공정 속도 및 그 재현 정도가 아직까지는 상용화 수준에 미치지 못하기 때문이다.The results reported so far indicate that LiPON electrolyte can be applied to actual thin film batteries. This material is available from Dr. Oak Ridge National Lab (ORNL). The patent is filed by J. Bates Group. For example, by sputtering a Li 3 PO 4 target by RF reactive sputtering in a nitrogen atmosphere Li 2 .9 PO 3 .3 N 0 there is produced in the proportion of 3.3 × 10 -6 relatively high ion .46 of the S / cm at room temperature It has been reported to have conductivity and a wide electrochemical stability range of 0 to 5 V, as well as to form a very stable mechanical and chemical interface with the cathode and anode. Nevertheless, there are no reports of successful commercialization of the complete thin film ultra-compact battery using LiPON. This is because, despite the various structural and electrochemical stability of LiPON as mentioned above, the process speed and its reproducibility have not yet reached the level of commercialization.

Inaguma, Ogumi 및 Kawai 등에 의해서 보고된 La2 /3- xLi3xTiO3(LLT) 산화물의 경우 그 이온 전도도가 LiPON의 그것에 비해 약 10-100배 정도의 높은 값을 가지며 이 때문에 이 물질에 대한 전해질로써의 응용 가능성 탐색의 연구가 벌크 재료를 중심으로 보고되고 있는 실정이다. 그러나 LLT의 경우 높은 이온전도도와 더불어 높은 전자전도도 및 Li과의 접촉에 의해 생성되는 계면의 불안정성으로 인해 그 응용이 제한될 수 있으며 최근의 보고에 의하면 박막 상태로의 응용은 불가능한 것으로 보고되고 있다. 이는 LLT가 Li와 접촉할 경우 LLT내의 Ti3 + 이온이 Ti4 + 이온으로 산화하기 때문이다. 높은 전자 전도도는 LLT를 결정화함으로써 낮출 수 있으나 박막형 초소형 전지를 구성하는 요소들이 결정화에 요구되는 온도에서 (500oC 이상) 화학적으로 불안정하기 때문에 이 공정을 적용할 수 없게 된다. 또한 결정질계 박막전해질의 문제 중 하나는 전지의 충,방전 시 수반되는 전극 활물질의 부피 변화에 따른 응력에 대응하지 못하고 전해질이 파괴되어 전지 내부 쇼트를 일으키는 것이다.La 2 / 3- x Li 3x TiO 3 (LLT) oxides reported by Inaguma, Ogumi and Kawai et al. Have an ionic conductivity of about 10-100 times higher than that of LiPON. Investigations into application of electrolytes have been reported focusing on bulk materials. However, in the case of LLT, the application may be limited due to the high ion conductivity and the instability of the interface generated by the contact with Li, and the recent report reports that the application to the thin film state is impossible. This is because if the LLT is in contact with the Ti in the LLT Li 3 + ions are oxidized to Ti 4 + ions. Higher electronic conductivity can be lowered by crystallization of LLT, but this process is not applicable because the elements that make up the thin-film microcell are chemically unstable (above 500 ° C) at the temperatures required for crystallization. In addition, one of the problems of the crystalline thin film electrolyte is that the electrolyte does not correspond to the stress caused by the volume change of the electrode active material involved in charging and discharging the battery, and the electrolyte is destroyed to cause a short inside the battery.

이에 본 발명은, LLT와 LiPON이 갖는 장단점을 동시에 갖는 즉, 비정질 상에서 높은 이온 전도도를 갖는 새로운 Li-B-W-O(LBWO)계 산화물 전해질을 제조하는 것을 목적으로 한다. 아울러 본 발명에 의해 LBWO는 비정질 상태에서 이온 전도 특성을 가지므로 LLT와는 다르게 상온 합성 공정을 적용하기가 유리하며 LiPON 박막이 질소 플라즈마 분위기하의 반응성 스퍼터링 방식에 의해 제작되기 때문에 그 공정 시간이 긴데 반하여 LBWO의 경우는 단순한 아르곤(Ar) 이온에 의한 스퍼터링 또는 진공열증발법을 사용하므로 제작 시간이 단축되는 장점을 가지게 되어 박막형 초소형 전지에 적합한 전해질로의 활용이 가능해지도록 할 수 있게 된다.Accordingly, an object of the present invention is to prepare a novel Li-B-W-O (LBWO) -based oxide electrolyte having both advantages and disadvantages of LLT and LiPON, that is, having high ionic conductivity in an amorphous phase. In addition, according to the present invention, LBWO has an ion conducting property in an amorphous state, and thus, it is advantageous to apply a room temperature synthesis process differently from LLT. In the case of using a simple argon (Ar) ion sputtering or vacuum thermal evaporation method has the advantage of shortening the manufacturing time can be utilized as an electrolyte suitable for thin film ultra-compact battery.

본 발명은, 비정질 상에서 높은 이온 전도도를 갖는 Li-B-W-O(LBWO)계 산화물 고체 전해질, 이를 이용한 LBWO 박막 및 LBWO 박막 제조 방법을 제공한다.The present invention provides a Li-B-W-O (LBWO) -based oxide solid electrolyte having a high ionic conductivity in an amorphous phase, an LBWO thin film and an LBWO thin film manufacturing method using the same.

본 발명은 전고체상 리튬 전지에 사용되는 고체 전해질에 있어서, 그 조성이 Li2O-Li2WO4-B2O3의 LBWO 4 성분계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LBWO계 산화물 고체 전해질을 제공한다.The present invention provides an LBWO-based oxide solid electrolyte in which a solid electrolyte used in an all-solid-state lithium battery is composed of an LBWO 4 component system of Li 2 O—Li 2 WO 4 —B 2 O 3 .

바람직하게는 LBWO 4 성분계의 조성비는 임의로 선택될 수 있다.Preferably, the composition ratio of the LBWO 4 component system may be arbitrarily selected.

또한 바람직하게는 LBWO의 4 성분계 중 유리 형성자(glass former)인 B(Boron) 성분은, P(Phospher)로 대체될 수 있다.Also preferably, the B (Boron) component, which is a glass former of the four-component system of LBWO, may be replaced with P (Phospher).

또한 LBWO계 산화물 고체전해질은, 물리기상증착 및 화학기상증착 방법 중 어느 한 방법에 의해 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the LBWO-based oxide solid electrolyte is preferably formed by any one of physical vapor deposition and chemical vapor deposition.

또한 본 발명은, 집전체 박막/LBWO계 산화물 고체 전해질/집전체 박막을 포함하며, LBWO계 산화물 고체 전해질은 상기한 LBWO계 산화물 고체 전해질 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 LBWO 박막을 제공한다. 바람직하게는 각 집전체 박막은, LBWO계 산화물 고체 전해질과 반응하는 활성 영역과, 전류 집전체 역할을 하는 전극 영역과, 활성 영역과 전극 영역을 연결해주는 연결 영역으로 이루어진다. 또한, 각 집전체 박막은, 활성 영역(active area)의 크기가 LBWO계 산화물 고체 전해질의 크기보다 작게 형성된 것이 바람직하다. 또한, 각 집전체 박막은, 전류 집전체인 전극 영역(electrode area)이 서로 다른 방향으로 형성되어 접촉하지 않는 것이 바람직하다. 또한 바람직하게는, LBWO 박막은, 건식 박막 제작법 및 습식 박막 제작법 중 선택된 어느 한 방법에 의해 형성된다. 또한 바람직하게는, LBWO 박막은, 그 크기, 형상 및 두께가 임의로 결정될 수 있다. 또한, 각 집전체 박막은, 백금(Pt) 및 스테인레스 철(sus) 중 어느 하나로 형성되는 것이 바람직하다.The present invention also provides an LBWO thin film comprising a current collector thin film / LBWO-based oxide solid electrolyte / current collector thin film, wherein the LBWO-based oxide solid electrolyte is any one selected from the above-described LBWO-based oxide solid electrolyte. Preferably, each current collector thin film includes an active region that reacts with the LBWO-based oxide solid electrolyte, an electrode region that serves as a current collector, and a connection region that connects the active region and the electrode region. In addition, each current collector thin film is preferably formed such that the size of the active area is smaller than that of the LBWO-based oxide solid electrolyte. In addition, it is preferable that each current collector thin film is formed in an electrode area, which is a current collector, in a different direction and does not contact each other. Also preferably, the LBWO thin film is formed by any method selected from a dry thin film production method and a wet thin film production method. Also preferably, the LBWO thin film may be arbitrarily determined in size, shape and thickness. In addition, each current collector thin film is preferably formed of any one of platinum (Pt) and stainless iron (sus).

또한, 본 발명은 LBWO 박막의 제조 방법에 있어서, 특정 패턴으로 전류 집전 체 박막을 제작하는 제 1 단계; 제 1 단계에 의해 형성된 전류 집전체 박막 상에 LBWO 계 산화물 고체 전해질을 형성하는 제 2 단계; 제 2 단계에 의해 형성된 LBWO 계 산화물 고체 전해질 상에 특정 패턴의 전류 집전체 박막을 제작하는 제 3 단계;로 이루어진 것을 특징으로 하는 LBWO 박막 제조 방법을 제공한다. 바람직하게는 제 2 단계의 LBWO 계 산화물 고체 전해질은, LBWO 4 성분계의 산화물 펠렛 및 스퍼터링 타켓 중 어느 하나로부터 진공 증착된다. 또한 바람직하게는, 제 2 단계의 LBWO 계 산화물 고체 전해질은, 아르곤 이온에 의해 진공 증착되는 것이 바람직하다.In addition, the present invention provides a method for producing an LBWO thin film, the first step of manufacturing a current collector thin film in a specific pattern; Forming a LBWO-based oxide solid electrolyte on the current collector thin film formed by the first step; It provides a method for producing an LBWO thin film comprising a; a third step of manufacturing a current collector thin film of a specific pattern on the LBWO-based oxide solid electrolyte formed by the second step. Preferably, the LBWO-based oxide solid electrolyte of the second step is vacuum deposited from any one of the LBWO 4-component oxide pellets and the sputtering target. Also preferably, the LBWO-based oxide solid electrolyte of the second step is preferably vacuum deposited by argon ions.

이하에서, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 기초하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명의 범위가 이하의 설명에 의해 제한되는 것은 아니며, 본 발명의 범위는 오로지 후술하는 청구범위의 기재에 의해서만 제한될 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on a preferred embodiment of the present invention with reference to the drawings. However, the scope of the present invention is not limited by the following description, and the scope of the present invention will be limited only by the description of the following claims.

먼저 도 1a의 일 실시예를 참조하여, 전류 집전체 박막의 패턴(100)은 LBWO 계 산화물 전해질 박막과 접촉하는 활성 영역(102)과 LBWO계 산화물 전해질 박막과 접촉하지 않는 전극 영역(101), 활성 영역(102)와 전극 영역(101)을 연결하는 연결 영역(103)으로 구성된다. 도 1b의 일 실시예를 참조하면, LBWO 계 산화물 전해질 박막(200)은 전류 집전체 박막의 활성 영역(102)을 완전히 덮을 수 있는 크기여야 한다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 각 전류 집전체 박막(110, 120) 사이에 LBWO계 산화물 전해질 박막(200)이 샌드위치 형태로 형성되어 있다. LBWO계 산화물 전해질 박막(200)이 전류 집전체 박막(110, 120)의 크기보다 작은 경우, 각 전류 집전체 박막(110, 120)이 서로 전기적으로 접촉하여 쇼트가 나기 때문이다. First, referring to an embodiment of FIG. 1A, the pattern 100 of the current collector thin film may include an active region 102 in contact with the LBWO-based oxide electrolyte thin film and an electrode region 101 in contact with the LBWO-based oxide electrolyte thin film, The connection region 103 connects the active region 102 and the electrode region 101. Referring to one embodiment of FIG. 1B, the LBWO-based oxide electrolyte thin film 200 should be sized to completely cover the active region 102 of the current collector thin film. 2 and 3, the LBWO-based oxide electrolyte thin film 200 is formed in a sandwich form between the current collector thin films 110 and 120. This is because when the LBWO-based oxide electrolyte thin film 200 is smaller than the size of the current collector thin films 110 and 120, the current collector thin films 110 and 120 are in electrical contact with each other and short.

도 4 및 도 5는 LBWO계 산화물 전해질 박막을 형성하기 위한 일 실시예 중, 열 증착을 위한 LBWO계 산화물 펠렛과 스퍼터링 증착을 위한 스퍼터링 타겟을 각각 나타낸 것이다.4 and 5 illustrate LBWO-based oxide pellets for thermal deposition and sputtering targets for sputter deposition, respectively, in an embodiment for forming an LBWO-based oxide electrolyte thin film.

특히, 이하의 설명은 본 발명의 LBWO계 산화물 전해질 박막을 진공 증착 방법 중 열 증착 또는 스퍼터링 증착과 같은 물리기상증착방법을 이용하여 제작하는 예를 들었다. 그러나, 당업자라면 상술한 Li-B-W-O의 4 성분계와 유사한 어떤 조성의 재료를 본 발명의 사상을 그대로 구현하면서 사용할 수 있다.In particular, the following description was given an example of fabricating the LBWO-based oxide electrolyte thin film of the present invention using a physical vapor deposition method such as thermal deposition or sputter deposition in the vacuum deposition method. However, those skilled in the art can use a material having a composition similar to the four-component system of Li-B-W-O described above while embodying the spirit of the present invention.

상기 4가지의 서로 다른 조성의 LBWO계 산화물 고체 전해질 박막을 진공증착에 의하여 제작하고 그 전기화학적 특성을 분석함으로써 그 실시예를 제시하고자 한다.The embodiments of the four different compositions of LBWO-based oxide solid electrolyte thin films were prepared by vacuum deposition and their electrochemical characteristics were analyzed.

1. 상·하부 전류 집전체의 제작1. Fabrication of upper and lower current collectors

집전체 박막의 제작을 위하여 Pt, sus 또는 V2O5을 이용해 직류 스퍼터링법에 의해, 도 1A의 일 실시예와 같이 전극 영역(101), 활성 영역(102) 및 연결 영역(103)으로 이루어진 특정 패턴(100)으로 하부 집전체 박막(110)을 기판(300) 위에 증착하였다. 본 실시예에서는 하부 집전체 박막(110)의 활성 영역(102)의 크기는 1.0cm×1.0cm이며, 하부 집전체 박막(110)이 증착된 두께는 약 300 nm수준이었다. 도 2 및 도 3의 일 실시예를 참조하면, 특정 패턴으로 제작된 집전체 박막(110) 위에 LBWO계 산화물 고체 전해질 박막(200)을 형성한 후 하부 집전체 박 막(110) 제작과 동일한 조건으로 Pt 또는 sus을 이용해 상부 집전체 박막(120)을 형성한다. 이때, 상부 집전체 박막(120)으로써 Pt 또는 sus 대신, Li을 증착하여 Li과 LBWO 간의 반응성을 관찰한 결과를 도 7 및 도 8에 나타내었다. In order to fabricate the current collector thin film, the electrode region 101, the active region 102, and the connection region 103 are formed by DC sputtering using Pt, sus, or V 2 O 5 , as in the embodiment of FIG. 1A. The lower current collector thin film 110 was deposited on the substrate 300 in a specific pattern 100. In this embodiment, the active region 102 of the lower current collector thin film 110 has a size of 1.0 cm × 1.0 cm, and the thickness of the lower current collector thin film 110 is about 300 nm. 2 and 3, after forming the LBWO-based oxide solid electrolyte thin film 200 on the current collector thin film 110 fabricated in a specific pattern, the same conditions as the fabrication of the lower current collector thin film 110 are performed. The upper current collector thin film 120 is formed using Pt or sus. At this time, instead of Pt or sus as the upper current collector thin film 120, the result of observing the reactivity between Li and LBWO by depositing Li is shown in FIGS. 7 and 8.

2. LBWO 전해질 박막의 제작2. Fabrication of LBWO Electrolyte Thin Film

하부 집전체 박막(110)의 제작 후 도 1B와 같이 1.5cm× 1.5cm 의 면적으로 하부 집전체 박막(110) 위에 열 증발법을 이용하여 Li2O, Li2WO4, B2O3의 조성비가 각각 60:15:25, 65:10:25, 60:20:20, 65:15:20 등 임의의 조성비로 LBWO계 산화물 고체 전해질 박막(200)을 증착하였다. 열 증발법을 위해 제작된 LBWO 펠렛과 스퍼터링 타켓의 일 실시예를 각각 도 4와 도 5에 나타내었다. 이때, 증착 압력은 열 증착인 경우와 스퍼터링의 경우 각각 5 × 10-5torr과 5 × 10-3torr로 하였다.After fabrication of the lower current collector thin film 110, as shown in FIG. 1B, Li 2 O, Li 2 WO 4 , and B 2 O 3 may be formed on the lower current collector film 110 by thermal evaporation with an area of 1.5 cm × 1.5 cm. The LBWO-based oxide solid electrolyte thin film 200 was deposited at an arbitrary composition ratio of 60:15:25, 65:10:25, 60:20:20, and 65:15:20. Examples of LBWO pellets and sputtering targets prepared for thermal evaporation are shown in FIGS. 4 and 5, respectively. At this time, the deposition pressure was 5 × 10 -5 torr and 5 × 10 -3 torr in the case of thermal vapor deposition and sputtering, respectively.

3. 특성 분석3. Characterization

제작된 sus-LBWO계 산화물 고체 전해질 박막 구조의 단면은 고분해능의 주사 전자 현미경(SEM)으로 관찰하였으며, 그 사진은 도 6에 나타내었다. 상온 증착에 의해 증착된 박막은 조성에 무관하게 하부 집전체 박막 및 LBWO계 산화물 고체 전해질 박막 간의 어떠한 화학적 반응 또는 어떠한 확산(diffusion) 현상도 발견되지 않았으며, 이는 계면 안정성에 매우 중요한 역할을 하고 있다. The cross section of the fabricated sus-LBWO-based oxide solid electrolyte thin film structure was observed with a high resolution scanning electron microscope (SEM), and the photograph is shown in FIG. 6. Regardless of the composition, no chemical reaction or any diffusion phenomenon was observed between the lower current collector thin film and the LBWO-based oxide solid electrolyte thin film regardless of the composition, which plays a very important role in interfacial stability. .

전기화학적 특성 분석을 위해 제작한 Pt-LBWO계 산화물 전해질 박막-Li 구조의 블로킹(blocking) 전극에 대해 약 0.5 V부터 4.5 V 구간에서 0.5 mV/sec의 주사속도로 CV(Cyclic voltammetry)를 실시하였으며, V2O5-LBWO계 산화물 전해질 박막- 리튬(Li)계 박막전지를 제작하여 충방전 특성을 관찰하였다. 이 모든 측정 과정은 상온에서 실시되었고, 측정된 전해질의 Li2O, Li2WO4, B2O3의 조성비는 60:20:20이며, 그 결과를 각각 도 7 및 도 8에 나타내었다. 도 7의 CV 곡선을 보면 측정 전위 구간에서 특별히 관찰되는 산화 또는 환원 피크가 없고, 거의 전류가 흐르지 않으므로, 일반적인 리튬전지의 사용 전위 구간에서 안정한 산화물임을 알 수 있다. 한편, 도 8의 충·방전 곡선을 보면 전형적인 V2O5 양극의 특성을 나타내며, LBWO계 산화물 전해질 박막을 이용하여 전 고상의 박막전지를 구성하였을 때 가역적인 충·방전이 가능함을 확인할 수 있다. Cyclic voltammetry (CV) was performed at a scanning rate of 0.5 mV / sec from about 0.5 V to 4.5 V on a blocking electrode of Pt-LBWO-based oxide electrolyte thin film-Li structure fabricated for electrochemical characterization. , V 2 O 5 -LBWO-based oxide electrolyte thin film-lithium (Li) -based thin film battery was prepared and the charge and discharge characteristics were observed. All of these measurements were performed at room temperature, and the composition ratios of Li 2 O, Li 2 WO 4 , and B 2 O 3 of the measured electrolyte were 60:20:20, and the results are shown in FIGS. 7 and 8, respectively. In the CV curve of FIG. 7, since there is no oxidation or reduction peak especially observed in the measurement potential section and almost no current flows, it can be seen that the oxide is stable in the use potential section of a general lithium battery. On the other hand, the charge and discharge curve of Figure 8 shows the characteristics of a typical V 2 O 5 anode, it can be seen that the reversible charging and discharging is possible when the all-solid-state thin film battery using the LBWO-based oxide electrolyte thin film. .

리튬계 고체 전해질의 중요한 요건 중 하나는 리튬과의 반응성이 없어야하는데, 상기와 같이 전기화학 셀을 구성하기 위해 LBWO 박막 상부 전극으로 리튬 박막을 증착한 경우 리튬과 LBWO 간의 반응에 의한 리튬의 산화는 관찰되지 않았다. 한편, 전해질 LBWO 박막은 열 증착의 경우 동일한 10분간의 증착 시간을 유지하더라도 그 조성에 따라 박막의 두께가 9,000, 7,100, 4,000 및 5,000Å이 증착되어 조성에 따라 박막의 증착 속도가 다름을 알 수 있다. 증착 시간을 조절하여 모든 박막의 두께를 1.0 μm로 일정하게 하여 a.c.임피던스(Complex plane impedance spectra)를 측정하여 이온 전도도를 측정하였다. 전기화학적 임피던스 값은 상기 4가지의 Li2O, Li2WO4, B2O3의 조성비에서 약 30~50Ω 값을 나타내었으며, 이를 통해서 이온 전도도 값은 다음의 식을 통해서 계산되었다. One of the important requirements of the lithium-based solid electrolyte is that it should not be reactive with lithium. When the lithium thin film is deposited with the LBWO thin film upper electrode to constitute the electrochemical cell as described above, the oxidation of lithium by the reaction between the lithium and the LBWO is Not observed. On the other hand, although the electrolyte LBWO thin film maintains the same deposition time for 10 minutes, the thickness of the thin film is 9,000, 7,100, 4,000, and 5,000Å according to its composition, and thus the deposition rate of the thin film varies depending on the composition. have. Ion conductivity was measured by measuring the ac impedance (Complex plane impedance spectra) by adjusting the deposition time to make the thickness of all thin films constant at 1.0 μm . The electrochemical impedance value was about 30 ~ 50Ω at the composition ratio of the four Li 2 O, Li 2 WO 4 , B 2 O 3 , through which the ion conductivity value was calculated by the following equation.

σ = d / (R × A)σ = d / (R × A)

σ는 이온 전도도 값 (S/cm)을 의미하고 d는 전해질 두께, R은 LBWO 박막의 임피던스 측정시 각각의 저항값을 의미하고 마지막으로 A는 전극 면적을 의미한다. 전극 면적은 전극 패턴(100)에서 1.0cm × 1.0cm의 마스크를 통해서 증착된 활성 영역(102)의 면적이기 때문에 1.00cm2이다. 이렇게 하여 계산된 이온 전도도의 값은 2~3 × 10-6 S/cm 정도로 LiPON 과 대등한 수준의 값을 가진다. 이상의 결과와 같이 박막형 초소형 전지를 위한 전해질로써 기존의 LLT 및 LiPON 박막이 갖는 단점의 극복 및 장점을 동시에 갖는 LBWO계 전해질 박막이 반응성 스퍼터링 보다 단순한 공정인 아르곤(Ar) 스퍼터링 또는 열증발법에 의하여 제작이 가능해진다. σ denotes an ion conductivity value (S / cm), d denotes an electrolyte thickness, R denotes each resistance value when measuring impedance of the LBWO thin film, and finally, A denotes an electrode area. The electrode area is 1.00 cm 2 because it is the area of the active region 102 deposited through the 1.0 cm × 1.0 cm mask in the electrode pattern 100. The calculated value of ionic conductivity is on the order of 2 ~ 3 × 10 -6 S / cm, which is comparable to that of LiPON. As described above, the LBWO-based electrolyte thin film having both the advantages and disadvantages of the conventional LLT and LiPON thin films as an electrolyte for thin-film ultra-compact batteries is manufactured by argon (Ar) sputtering or thermal evaporation, which is a simpler process than reactive sputtering. This becomes possible.

도 9는 LBWO계 산화물 고체 전해질의 가능한 여러 조성비를 나타낸 것이다. Li2O, Li2WO4, B2O3의 조성비가 각각 60:15:25, 65:10:25, 60:20:20, 65:15:20인 네 가지 조성비가 도시되어 있다. 상기 조성비는 여러 가능한 일 실시예 중 알려진 일부이며, 다른 조성비로도 제조 가능하다. 9 shows various possible composition ratios of LBWO-based oxide solid electrolytes. Four composition ratios are shown in which the composition ratios of Li 2 O, Li 2 WO 4 , B 2 O 3 are 60:15:25, 65:10:25, 60:20:20, and 65:15:20, respectively. The composition ratio is a known part of several possible embodiments, it can be produced in other composition ratios.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형의 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.As described above, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various modifications can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes are within the scope of the claims.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 LBWO 박막은 박막전지의 고체전해질로 활용될 수 있으며, 특별히 박막증착 공정 시간을 단축하는데 기여할 수 있다. As described above, the LBWO thin film according to the present invention may be used as a solid electrolyte in a thin film battery, and may contribute to shortening the thin film deposition process time.

또한, 박막전지 제조 시 리튬을 음극으로 사용하는 경우, 리튬과의 계면 반응이 없으며, 양극과의 계면도 안정하다는 장점이 있다.In addition, in the case of using lithium as a negative electrode when manufacturing a thin film battery, there is no interface reaction with lithium, there is an advantage that the interface with the positive electrode is also stable.

또한, LBWO 박막은 비정질 구조를 가지므로 박막전지의 충·방전 시 수반되는 전극 활물질의 부피 변화에 대한 내구성의 확보가 가능하다는 장점이 있다.In addition, since the LBWO thin film has an amorphous structure, the LBWO thin film has an advantage of ensuring durability against a volume change of the electrode active material accompanying charging and discharging of a thin film battery.

Claims (4)

전고체상 리튬 전지에 사용되는 고체 전해질에 있어서, 그 조성이 Li2O-Li2WO4-B2O3의 LBWO 4 성분계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LBWO계 산화물 고체 전해질.A solid electrolyte used in an all-solid-state lithium battery, the composition of which is composed of an LBWO 4-component system of Li 2 O—Li 2 WO 4 —B 2 O 3 . 제1항에 있어서,The method of claim 1, LBWO 4 성분계를 이루는 Li2O-Li2WO4-B2O3 3 성분의 조성비는 각각 60:15:25, 65:10:25, 60:20:20, 65:15:20 중에서 선택될 수 있는 것을 특징으로 하는 LBWO계 산화물 고체전해질.Li 2 O-Li 2 WO 4 -B 2 O 3 3 forming a LBWO 4 component system The composition ratio of the components may be selected from 60:15:25, 65:10:25, 60:20:20, and 65:15:20, respectively. 제1항에 있어서,The method of claim 1, LBWO의 4 성분계 중 유리 형성자(glass former)인 B(Boron) 성분은, P(Phospher)로 대체되는 것을 특징으로 하는 LBWO계 산화물 고체 전해질.An LBWO-based oxide solid electrolyte, wherein a B (Boron) component, which is a glass former, is replaced by P (Phospher) among the four-component systems of LBWO. 제1항에 있어서,The method of claim 1, LBWO계 산화물 고체 전해질은, 물리기상증착 및 화학기상증착 방법 중 어느 한 방법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 LBWO계 산화물 고체전해질.An LBWO-based oxide solid electrolyte is formed by any one of physical vapor deposition and chemical vapor deposition.
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