KR100828259B1 - Light irradiation apparatus - Google Patents

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KR100828259B1
KR100828259B1 KR1020040111993A KR20040111993A KR100828259B1 KR 100828259 B1 KR100828259 B1 KR 100828259B1 KR 1020040111993 A KR1020040111993 A KR 1020040111993A KR 20040111993 A KR20040111993 A KR 20040111993A KR 100828259 B1 KR100828259 B1 KR 100828259B1
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

조사 영역이 좁은 인테그레이터 렌즈를 이용해도, 광원 이미지가 이웃의 렌즈로 벗어 나가지 않고 광 조사면에서의 노광 정밀도를 악화시키지 않도록 하는 것이다.Even if an integrator lens having a narrow irradiation area is used, the light source image does not escape to the neighboring lens and does not deteriorate the exposure accuracy on the light irradiation surface.

광원(1)으로부터 출사된 광을, 인테그레이터 렌즈(4)를 통해서 광 조사면(8)에 조사한다. 광원(1)의 근방에는, 광원(1)으로부터의 광을 차광하여 인테그레이터 렌즈(4)에 입사하는 광의 집광각을 좁게 하는 차광 수단(2)이 설치된다. 광 입사측의 렌즈군(4a)을, 렌즈 이동 기구(4c)에 의해 광축 방향으로 이동시켜, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b) 사이의 거리를 길게 하고, 상기 조사 영역을 좁게 할 때에는, 상기 차광 수단(2)을 광로 내에 삽입한다. 또, 상기 거리를 짧게 하고, 상기 조사 영역을 넓게 할 때에는, 상기 차광 수단(2)을 광로 내로부터 퇴피시킨다. 또한, 차광 수단을 인테그레이터 렌즈(4)의 광 출사측 렌즈군의 경계면을 따른 사이에 설치해도 된다. Light emitted from the light source 1 is irradiated to the light irradiation surface 8 via the integrator lens 4. In the vicinity of the light source 1, light shielding means 2 is provided which shields the light from the light source 1 and narrows the condensing angle of the light incident on the integrator lens 4. The lens group 4a on the light incident side is moved in the optical axis direction by the lens shift mechanism 4c, so that the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b of the integrator lens 4 are moved. When the distance between them is made long and the irradiation area is narrowed, the light shielding means 2 is inserted into the optical path. Moreover, when the said distance is shortened and the said irradiation area is enlarged, the said light shielding means 2 is evacuated from inside an optical path. In addition, you may provide a light shielding means along the boundary surface of the light output side lens group of the integrator lens 4.

Description

광 조사 장치{LIGHT IRRADIATION APPARATUS}Light irradiation apparatus {LIGHT IRRADIATION APPARATUS}

도 1은 본 발명의 제1 실시예의 광 조사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면,1 is a diagram showing a schematic configuration of a light irradiation apparatus of a first embodiment of the present invention;

도 2는 광원의 근방에 설치되는 차광판을 설명하는 도면, 2 is a view for explaining a light shielding plate installed in the vicinity of a light source;

도 3은 본 발명의 제1 실시예의 동작을 설명하는 도면,3 is a view for explaining the operation of the first embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 제1 실시예의 변형예를 도시하는 도면, 4 is a diagram showing a modification of the first embodiment of the present invention;

도 5는 인테그레이터 렌즈의 광 출사측 렌즈군에 설치된 차광판을 설명하는 도면,FIG. 5 is a view for explaining a light shielding plate provided in the light exiting side lens group of the integrator lens; FIG.

도 6은 본 발명의 제1 실시예의 변형예의 동작을 설명하는 도면, 6 is a view for explaining the operation of a modification of the first embodiment of the present invention;

도 7은 본 발명의 제2 실시예의 광 조사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면,7 is a diagram showing a schematic configuration of a light irradiation apparatus of a second embodiment of the present invention;

도 8은 본 발명의 제2 실시예의 동작을 설명하는 도면, 8 is a view for explaining the operation of the second embodiment of the present invention;

도 9는 본 발명의 제3 실시예의 광 조사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면,9 is a diagram showing a schematic configuration of a light irradiation apparatus of a third embodiment of the present invention;

도 10은 본 발명의 제3 실시예의 동작을 설명하는 도면, 10 is a view for explaining the operation of the third embodiment of the present invention;

도 11은 도 1의 실시예에서 차광판을 광 출사측의 렌즈에 설치한 경우의 구성예를 도시하는 도면,11 is a view showing a configuration example in the case where a light shielding plate is provided in a lens on the light exit side in the embodiment of FIG. 1;

도 12는 도 11의 동작을 설명하는 도면,12 is a view for explaining the operation of FIG. 11,

도 13은 인테그레이터 렌즈의 작용을 설명하는 도면,13 is a view for explaining the operation of the integrator lens,

도 14는 인테그레이터 렌즈의 광 입사측 렌즈와 광 출사측 렌즈의 거리와 입 사각(θ1), 출사각(θ2)의 관계를 설명하는 도면이다.FIG. 14 is a diagram for explaining the relationship between the distance between the light incident side lens and the light exit side lens of the integrator lens, the square θ1, and the exit angle θ2.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 광원 1a, 1b : 램프1: light source 1a, 1b: lamp

1c, 1d : 집광경 2 : 차광판1c, 1d: Condensing mirror 2: Light shielding plate

2a : 차광판 구동 기구 3 : 제1 평면경2a: Shading plate driving mechanism 3: First plane mirror

4 : 인테그레이터 렌즈 4a : 광 입사측 렌즈군4: integrator lens 4a: light incident side lens group

4b : 광 출사측 렌즈군 4c : 가이드4b: light exiting lens group 4c: guide

4d : 렌즈 이동 기구 4e : 인테그레이터 렌즈 교환 기구4d: lens shift mechanism 4e: integrator lens replacement mechanism

5 : 셔터 6 : 제2 평면경5: shutter 6: second flat mirror

7 : 콜리메이터 렌즈 8 : 광 조사면7: collimator lens 8: light irradiation surface

9 : 차광판 10 : 제어부9 shading plate 10 control unit

본 발명은, 액정 등의 디스플레이 패널이나, 디스플레이 패널용의 컬러 필터, 또한 프린트 기판의 제조에 이용되는 노광 장치의 광 조사 장치에 관한 것이다. This invention relates to the display panel, such as a liquid crystal, the color filter for display panels, and the light irradiation apparatus of the exposure apparatus used for manufacture of a printed board.

액정 등의 디스플레이 패널이나 프린트 기판의 회로 패턴의 형성, 또, 디스플레이 패널용의 컬러 필터의 RGB 화소 패턴의 형성을 행하는 공정에서 노광 공정이 있다. 상기의 디스플레이 패널, 프린트 기판, 컬러 필터를 제조하는 데에 사용 되는 기판 재료는 해마다 대형화하고 있다. There exists an exposure process in the process of forming the circuit pattern of a display panel, such as a liquid crystal, and a printed circuit board, and forming the RGB pixel pattern of the color filter for display panels. Substrate materials used to manufacture the display panels, printed circuit boards, and color filters are being enlarged year by year.

기판의 대형화에 따라서, 노광 공정에서 사용되는 노광 장치의 광 조사 영역(조사 영역)은, 예를 들면 컬러 필터의 제조에서는 1100㎜×750㎜의 크기가 요구되고 있다. 현재 상태로 일반적으로는, 패턴을 형성한 마스크를 통해서, 상기와 같은 광 조사 영역을 1회로 노광하는 장치가 많이 이용되고 있다.As the size of the substrate increases, the size of the light irradiation area (irradiation area) of the exposure apparatus used in the exposure step is required to be 1100 mm x 750 mm, for example, in the manufacture of a color filter. In the present state, generally, the apparatus which exposes the above-mentioned light irradiation area | seat 1 time through the mask in which the pattern was formed is used widely.

이들 노광 장치는, 노광광을 조사하는 광 조사 장치를 구비한다. 상기와 같은 넓은 광 조사 영역을, 보다 높은 조도로 조사하기 위해서, 광 조사 장치에서, 종래 1개의 램프에 의해 구성되어 있었던 광원을, 2개의 램프로 구성하는 것이 제안되어 있다. 이와 같은 예로서, 특허문헌 1, 특허문헌 2에 기재된 것이 있다. These exposure apparatuses are provided with the light irradiation apparatus which irradiates exposure light. In order to irradiate such a wide light irradiation area | region with higher illuminance, in a light irradiation apparatus, it is proposed to comprise the light source comprised by one lamp conventionally with two lamps. As such an example, there exist some described in patent document 1 and patent document 2.

한편, 노광 패턴의 다양화에도 대응할 수 있도록, 1대의 노광 장치로 크기가 상이한 광 조사 영역을 효율적으로 노광할 수 있는 장치도 요망되고 있다. On the other hand, in order to cope with the diversification of the exposure pattern, an apparatus capable of efficiently exposing light irradiation regions having different sizes with one exposure apparatus is also desired.

이 때문에, 1대의 노광 장치의 광 조사 장치에서, 출사각(θ2)이 상이한 다수의 인테그레이터 렌즈를 준비하고, 이것을 교환함으로써, 영역을 전환한다는 기술이 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 3, 특허문헌 4, 특허문헌 5, 특허문헌 6, 특허문헌 7 참조). For this reason, in the light irradiation apparatus of one exposure apparatus, the technique of switching the area | region by preparing many integrator lenses from which the emission angle (theta) 2 differs, and replacing them is proposed (for example, patent document 3, patent document 4, patent document 5, patent document 6, and patent document 7).

여기에서, 상기 인테그레이터 렌즈의 작용에 대해서 설명한다. Here, the operation of the integrator lens will be described.

광 조사 영역, 즉 광 조사면에서의 조도 분포를 균일하게 하기 위해서, 광 조사 장치에는, 인테그레이터 렌즈(플라이 아이 렌즈라고도 말한다)가 이용된다. An integrator lens (also referred to as a fly's eye lens) is used for the light irradiation apparatus in order to make the illuminance distribution uniform in the light irradiation area, that is, the light irradiation surface.

인테그레이터 렌즈는, 다수의 렌즈를 종횡 방향으로 다수개 병렬 배치한 것이다. 인테그레이터 렌즈를 구성하는 각각의 렌즈는, 각각 입사측의 렌즈군과 출 사측의 렌즈군으로 이루어진다. An integrator lens arranges many lenses in parallel in the longitudinal direction. Each lens constituting the integrator lens comprises a lens group on the incident side and a lens group on the exit side, respectively.

도 13을 이용하여, 인테그레이터 렌즈의 작용을 간단히 설명한다. 13, the operation of the integrator lens will be briefly described.

(a) 광원(1)으로부터의 광이, 인테그레이터 렌즈(4)를 통해서 광 조사면(8)에 투영된다. (a) Light from the light source 1 is projected onto the light irradiation surface 8 via the integrator lens 4.

(b) 인테그레이터 렌즈(4)를 구성하는 렌즈군의 광 입사측의 렌즈군을 4a, 광 출사측의 렌즈군을 4b로 한다. 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)은, 광축 방향으로 이간되어 설치되어 있다. (b) The lens group on the light incident side of the lens group constituting the integrator lens 4 is 4a and the lens group on the light exit side is 4b. The light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b are spaced apart from each other in the optical axis direction.

(c) 광 입사측 렌즈군(4a) 상에는, 광원(1)으로부터 방사한 광이 집광경의 작용에 의해 집광된다. 그리고, 광 출사측 렌즈군(4b) 상에는, 광 입사측 렌즈군(4a)의 작용에 의해, 광원 이미지(1')가 투영된다. (c) On the light incident side lens group 4a, the light radiated from the light source 1 is condensed by the action of a condenser. Then, on the light exit side lens group 4b, the light source image 1 'is projected by the action of the light incident side lens group 4a.

(d) 광 입사측 렌즈(4a) 상에 집광된 광의 조도 분포는, 광 출사측 렌즈군(4b)의 작용에 의해, 광 조사면(8) 상에 투영된다. (d) The illuminance distribution of the light focused on the light incident side lens 4a is projected onto the light irradiation surface 8 by the action of the light exit side lens group 4b.

(e) 인테그레이터 렌즈(4)에는, 이와 같은 렌즈가 다수 2차원적으로 배치되어 있기 때문에, 다수의 렌즈의 상기의 조도 분포가 광 조사면(8)에 서로 겹쳐져서 투영되고, 광 조사면(8)에서의 조도 분포를 균일하게 한다. (e) Since many such lenses are arranged two-dimensionally in the integrator lens 4, the said illuminance distribution of a plurality of lenses overlaps each other on the light irradiation surface 8, and projects the light. The illuminance distribution on the surface 8 is made uniform.

따라서, 인테그레이터 렌즈(4)로부터 광 조사면(8) 사이에서의 거리를 일정하게 한 경우, 출사각(θ2)이 크면 광 조사면에서의 광 조사 영역이 넓어지고, 작으면 좁아진다. 출사각(θ2)이 큰 인테그레이터 렌즈(4)를 사용하고, 좁은 광 조사 영역밖에 필요없는 경우, 사용하지 않는 영역까지 조사되어 광이 쓸모없게 되지만, 출사각(θ2)이 작은 인테그레이터 렌즈로 교환함으로써, 필요한 영역에 대해서 효율적으로 조사할 수 있다. Therefore, when the distance between the integrator lens 4 and the light irradiation surface 8 is made constant, when the exit angle (theta) 2 is large, the light irradiation area in a light irradiation surface will become large, and if it is small, it will become narrow. If an integrator lens 4 having a large exit angle θ2 is used and only a narrow light irradiation area is needed, the integrator is irradiated to an unused area to make the light useless, but the integrator having a small exit angle θ2 is small. By replacing with a lens, the required area can be irradiated efficiently.

다음에, 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 거리(d), 인테그레이터 렌즈(4)의 집광각(θ1)(입사각(θ1)이라고도 한다), 출사각(θ2)의 관계에 대해서 설명한다. Next, the distance d between the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b, the condensing angle θ1 (also called incident angle θ1) of the integrator lens 4, and the emission angle The relationship of (θ2) will be described.

(a) 상기한 바와 같이, 인테그레이터 렌즈(4)는, 예를 들면 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)으로 구성되고, 광 출사측의 렌즈(4b)에 광원(1)의 이미지(광원 이미지), 즉 집광경의 개구부가 투영되지만, 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 거리(d)에 따라서, 광 출사측 렌즈군(4b)에 투영되는 광원 이미지의 크기가 변화해 간다.(a) As described above, the integrator lens 4 is constituted of, for example, the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b, and the lens 4b on the light exit side is provided. The image (light source image) of the light source 1, that is, the opening of the condenser, is projected, but according to the distance d between the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b, the light exit side lens group ( The size of the light source image projected to 4b) changes.

(b) 도 14(a)에 도시하는 바와 같이, 상기 d가 짧으면, 광 입사측 렌즈군(4a)에 입사각(집광각)(θ1)으로 입사한 광은, 그 각도를 유지하여 출사하기 때문에, 광 출사측 렌즈군(4b)에 투영되는 광원 이미지의 크기는 작아지고, 한편, 인테그레이터 렌즈(4)로부터의 출사각(θ2)이 커진다. 따라서, 입사각(θ1)≤출사각(θ2)의 관계가 된다. (b) As shown in Fig. 14A, when d is short, the light incident on the light incident side lens group 4a at the incident angle (condensing angle) θ1 is emitted while maintaining the angle. The size of the light source image projected onto the light output side lens group 4b is small, while the emission angle θ2 from the integrator lens 4 is large. Therefore, it becomes a relationship of incidence angle (theta) 1 <= outlet angle (theta) 2.

(c) 또, 도 14(b)에 도시하는 바와 같이, 상기 d가 길어지면, 광 출사측 렌즈군(4b)에 투영되는 광원 이미지의 크기는 커지고, 인테그레이터 렌즈(4)로부터의 출사각(θ2)이 작아진다. 따라서, 입사각(θ1)>출사각(θ2)의 관계가 된다. 여기에서, 입사각(θ1)은 집광경의 반사면의 크기와, 광 입사측 렌즈군(4a)까지의 거리로 결정되고, 출사각(θ2)은 광 입사측 렌즈군(4a)의 렌즈 소자 1장의 크기와, 광 입사측 렌즈군(4a)으로부터 광 출사측 렌즈군(4b)까지의 거리(d)로 결정된다. (c) In addition, as shown in Fig. 14 (b), when d is longer, the size of the light source image projected on the light emitting side lens group 4b becomes larger, and is emitted from the integrator lens 4. Angle (theta) 2 becomes small. Therefore, it becomes a relationship of incident angle (theta) 1> exit angle (theta) 2. Here, the incident angle θ1 is determined by the size of the reflecting surface of the condenser and the distance to the light incident side lens group 4a, and the exit angle θ2 is determined by one lens element of the light incident side lens group 4a. The size and the distance d from the light incident side lens group 4a to the light exit side lens group 4b are determined.                         

즉, 도 13(a)에 도시하는 바와 같이, 광 입사측 렌즈(4a)와 광 출사측 렌즈(4b)의 거리(d)가 어느 길이일 때, θ1=θ2가 되어, 광 출사측 렌즈에 투영되는 광원 이미지가, 광 출사측 렌즈(4b)와 거의 동일 크기가 되고, 광 입사측 렌즈(4a)와 광 출사측 렌즈(4b)의 거리(d)가 그보다 짧은 경우, 도 13(b)에 도시하는 바와 같이, 광 출사측 렌즈(4b)에 투영되는 광원 이미지는 작아지고, 또한, 광 입사측 렌즈(4a)와 광 출사측 렌즈(4b)의 거리(d)가 그보다도 긴 경우, 도 13(c)에 도시하는 바와 같이 광 출사측 렌즈(4b)에 투영되는 광원 이미지는 광 출사측 렌즈(4b)보다 커진다. That is, as shown in Fig. 13A, when the distance d between the light incident side lens 4a and the light exit side lens 4b is any length, θ1 = θ2, so that the light exit side lens When the projected light source image is substantially the same size as the light emitting side lens 4b, and the distance d between the light incident side lens 4a and the light emitting side lens 4b is shorter than that, Fig. 13 (b) As shown in Fig. 2, when the light source image projected onto the light exit side lens 4b becomes small and the distance d between the light incident side lens 4a and the light exit side lens 4b is longer than that, As shown in Fig. 13C, the light source image projected on the light exit side lens 4b is larger than the light exit side lens 4b.

거리(d)가 일정한 경우, 또, 광 입사측 렌즈군(4a)의 렌즈 소자 1장의 크기를 크게 하면, 출사각(θ2)의 크기가 커진다. In the case where the distance d is constant, when the size of one lens element of the light-incident side lens group 4a is increased, the size of the emission angle θ2 is increased.

이상과 같이, 상기 특허문헌 3, 특허문헌 4, 특허문헌 5, 특허문헌 6, 특허문헌 7에 기재되는 바와 같이 1대의 노광 장치의 광 조사 장치에 있어서, 출사각(θ2)이 상이한 다수의 인테그레이터 렌즈를 준비하고, 이것을 교환하여 광 조사 영역을 전환하는 경우에는, 각 인테그레이터 렌즈로서, 광 입사측 렌즈군(4a)의 렌즈 소자 1장의 크기나 광입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 거리(d)를 변화시킨 것을 사용하면 된다. As described above, as described in Patent Document 3, Patent Document 4, Patent Document 5, Patent Document 6, and Patent Document 7, in the light irradiation apparatus of one exposure apparatus, many phosphors having different emission angles? When the integrator lens is prepared and the light irradiation area is switched by switching them, as the integrator lenses, the size of one lens element of the light incidence side lens group 4a and the light incidence side lens group 4a are used. What changed may be used what changed the distance d of the light emission side lens group 4b.

(특허문헌 1) 일본국 특개평 7-135149호 공보(Patent Document 1) Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-135149

(특허문헌 2) 일본국 특개평 11-260705호 공보(Patent Document 2) Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-260705

(특허문헌 3) 일본국 특개평 3-165023호 공보(Patent Document 3) Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-165023

(특허문헌 4) 일본국 특개평 11-338162호 공보 (Patent Document 4) Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-338162                         

(특허문헌 5) 일본국 특개 2000-19742호 공보(Patent Document 5) Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2000-19742

(특허문헌 6) 일본국 특개 2003-76030호 공보(Patent Document 6) Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-76030

(특허문헌 7) 일본국 특개 2003-188091호 공보(Patent Document 7) Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-188091

상기한 바와 같이, 1대의 노광 장치의 광 조사 장치에 있어서, 출사각(θ2)이 상이한 다수의 인테그레이터 렌즈를 준비하고, 이것을 교환함으로써, 광 조사 영역을 전환한다는 기술이 제안되어 있다. As mentioned above, in the light irradiation apparatus of one exposure apparatus, the technique of switching the light irradiation area | region by preparing many integrator lenses from which the emission angle (theta) 2 differs, and replacing them is proposed.

넓은 광 조사 영역을 보다 높은 조도로 조사하기 위해서, 상기한 다수개의 램프로 광원을 구성하는 노광 장치(광 조사 장치)에 있어서도, 노광 패턴의 다양화에도 대응할 수 있도록, 인테그레이터 렌즈를 교환하여, 좁은 광 조사 영역도 조사하고 싶다는 요망이 있다. In order to irradiate a wide light irradiation area with higher illuminance, even in the exposure apparatus (light irradiation apparatus) which comprises a light source with the above-mentioned many lamps, an integrator lens is replaced so that the exposure pattern may be diversified. There is also a desire to investigate a narrow light irradiation area.

그 요망을 만족하기 위해서는, 종래와 동일하게, 출사각(θ2)이 작은 인테그레이터 렌즈(4)를 준비하면 되지만, 이것을 적용하면 이하와 같은 문제가 발생하였다. In order to satisfy the request, an integrator lens 4 having a small exit angle θ2 may be prepared in the same manner as in the prior art.

(a) 상기한 바와 같이, 좁은 광 조사 영역을 조사하는 경우에는, 인테그레이터 렌즈(4)의 출사각(θ2)을 작게 하게 되지만, 이것을 위해서는 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 거리(d)가 길어지거나, 광 입사측 렌즈군(4a)의 렌즈 소자의 크기가 작아진다. (a) As mentioned above, when irradiating a narrow light irradiation area | region, the exit angle (theta) 2 of the integrator lens 4 is made small, but for this purpose, the light incident side lens of the integrator lens 4 is made. The distance d between the group 4a and the light emitting side lens group 4b becomes long, or the size of the lens element of the light incident side lens group 4a becomes small.

(b) 거리(d)가 길어지면, 도 13의 (c)나 도 14(b)에 도시하는 바와 같이, 광 입사측 렌즈군(4a)으로부터 투영되는 광원 이미지가, 대응하는 광 출사측 렌즈군 (4b)에서 벗어나, 이웃의 렌즈에 광이 입사한다. 또, 광 입사측 렌즈군(4a)의 렌즈 소자의 크기를 작게 하면, 이것에 따라서 광 출사측 렌즈군(4b)의 렌즈 소자의 크기가 작아져서, 마찬가지로 광원 이미지가 벗어 난다. (b) When the distance d becomes longer, as shown in FIG. 13C and FIG. 14B, the light source image projected from the light incident side lens group 4a corresponds to the light exit side lens. Out of the group 4b, light enters a neighboring lens. In addition, if the size of the lens element of the light incident side lens group 4a is reduced, the size of the lens element of the light exit side lens group 4b is reduced accordingly, and the light source image is deviated similarly.

(c) 이웃의 렌즈에 입사한 광은 노광에는 사용할 수 없고, 이 때문에 광의 이용 효율이 나빠진다. 또, 이 광은 미광(迷光)이 되어 광 조사면 내의 일부만을 스폿적으로 조사하는 경우가 있기 때문에, 조도 균일성이 나빠져서, 노광 정밀도를 악화시키는 원인이 된다. (c) Light incident on a neighboring lens cannot be used for exposure, and therefore, light utilization efficiency is deteriorated. Moreover, since this light becomes stray light and may irradiate only a part in the light irradiation surface spot-by-light, illuminance uniformity worsens and it becomes a cause which worsens exposure accuracy.

따라서, 실제로 광 조사 장치의 광학 설계를 행하는 경우, θ1≤θ2가 되도록 설계를 행한다. Therefore, when the optical design of the light irradiation apparatus is actually performed, the design is performed such that θ1 ≦ θ2.

그러나, 상기 특허문헌 1, 특허문헌 2와 같이, 2개의 램프로 광원을 구성한 경우, 1개의 램프의 경우에 비해서, 집광경의 반사면의 면적이 넓어져서, 인테그레이터 렌즈(4)로의 입사각(θ1)이 크다. 이 때문에, θ1=θ2라는 거의 한계점의 값으로 인테그레이터 등이 설계되는 경우가 많다. However, when the light source is composed of two lamps as in Patent Document 1 and Patent Document 2, the area of the reflecting surface of the condenser is wider than the case of one lamp, and the incident angle to the integrator lens 4 ( θ1) is large. For this reason, integrator etc. are often designed by the value of the almost limit point of (theta) 1 = (theta) 2.

이 경우에는, 광 출사측 렌즈군(4b)에 광원 이미지(광 입사측 렌즈군(4a)으로부터의 광)를 정확하게 받아들이게 된다.In this case, the light source image (light from the light incident side lens group 4a) is correctly received by the light exit side lens group 4b.

이와 같은 광학 설계에 있어서, 좁은 광 조사 영역에 대응하기 위해서, 출사각(θ2)이 작은 θ1>θ2가 되는 것과 같은 인테그레이터 렌즈로 교환하면, 광 출사측 렌즈군(4b)으로부터 광원 이미지가 벗어나, 이웃의 렌즈에 광이 입사한다. 이 때문에, 상술한 바와 같이 광의 이용 효율이 나빠지는 동시에, 미광이 발생하여 광 조사면에서의 노광 정밀도를 악화시킨다. In such an optical design, in order to correspond to a narrow light irradiation area, when the light source image is changed from the light emitting side lens group 4b when it is replaced with an integrator lens such that the emission angle θ2 is small θ1> θ2. The light enters the neighboring lens. For this reason, as mentioned above, while the utilization efficiency of light worsens, stray light generate | occur | produces and the exposure precision on a light irradiation surface deteriorates.                         

이상과 같이, 다수개의 램프로 광원을 구성하는 노광 장치에서는, 인테그레이터 렌즈로의 입사각(θ1)이 커져, θ1>θ2가 되는 것과 같은 인테그레이터 렌즈를 이용하면, 광의 이용 효율이 나빠지고, 또 미광에 의해 광 조사면에서의 노광 정밀도를 악화시킨다는 문제가 있었다. As mentioned above, in the exposure apparatus which comprises a light source with many lamp | ramp, the incidence angle (theta) 1 to an integrator lens becomes large, and when using an integrator lens such that (theta) 1> (theta) 2, the utilization efficiency of light will worsen. Moreover, there existed a problem that deterioration of the exposure precision in the light irradiation surface by stray light.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 입사각(θ1)>출사각(θ2)이 되는 것과 같은 조사 영역이 좁은 인테그레이터 렌즈를 이용한 경우에도, 광원 이미지가 이웃의 렌즈로 벗어 나가지 않고, 광 조사면에서의 노광 정밀도를 악화시키지 않는 광 조사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and even when an integrator lens having a narrow irradiation area such as an incident angle θ1> emission angle θ2 is used, the light source image does not escape to the neighboring lens. It is an object of the present invention to provide a light irradiation apparatus that does not deteriorate the exposure accuracy on the light irradiation surface.

본 발명에서는, 상기 과제를 다음과 같이 해결한다. In this invention, the said subject is solved as follows.

(1) 광원으로부터 출사된 광을, 광 입사측의 렌즈군과 광 출사측의 렌즈군을 광축 이간하여 배치한 인테그레이터 렌즈를 통해서 피조사물에 조사하는 광 조사 장치에 있어서, 광원과 인테그레이터 렌즈 사이의 광로 내에 삽입되어, 광원으로부터의 광을 차광하여, 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈군에 입사하는 광의 집광각을 좁게 하는 차광 수단을 설치한다. (1) A light irradiation apparatus for irradiating light emitted from a light source to an irradiated object through an integrator lens in which the lens group on the light incident side and the lens group on the light exit side are spaced apart from each other by an optical axis. Light blocking means is inserted in the optical path between the laser lenses and shields the light from the light source to narrow the condensing angle of the light incident on the lens group on the light incident side of the integrator lens.

그리고, 광 입사측의 렌즈군을 광축 방향으로 이동시켜, 인테그레이터 렌즈의 광 입사측 렌즈군과 광 출사측 렌즈군 사이의 거리를 길게 하여, 상기 조사 영역을 좁게 할 때에는, 상기 차광 수단을 상기 광원과 인테그레이터 렌즈 사이의 광로 내에 삽입한다. 또, 상기 인테그레이터 렌즈의 광 입사측 렌즈군과 광 출사측 렌즈군 사이의 거리를 짧게 하여, 상기 조사 영역을 넓게 할 때에는, 상기 차광 수 단을 상기 광원과 인테그레이터 렌즈 사이의 광로 내로부터 퇴피시킨다. When the lens group on the light incidence side is moved in the optical axis direction to increase the distance between the light incidence side lens group and the light exit side lens group of the integrator lens to narrow the irradiation area, It is inserted in the optical path between the light source and the integrator lens. Further, when the distance between the light incident side lens group and the light exit side lens group of the integrator lens is shortened to widen the irradiation area, the light blocking means is provided in the optical path between the light source and the integrator lens. Evacuate from.

(2) 상기 광 조사 장치에 있어서, 조사 영역의 크기가 상이한 다수의 인테그레이터 렌즈를 준비하여, 상기 광 조사 장치의 광로 중에 선택적으로 삽입한다. 또, 상기와 동일하게, 광원과 인테그레이터 렌즈 사이의 광로 내에 삽입되어, 광원으로부터의 광을 차광하고, 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈군에 입사하는 광의 집광각을 좁게 하는 차광 수단을 설치한다. (2) In the light irradiation apparatus, a plurality of integrator lenses having different sizes of irradiation regions are prepared and selectively inserted into the optical path of the light irradiation apparatus. In the same manner as described above, the light shielding means is inserted into the optical path between the light source and the integrator lens to shield the light from the light source and narrow the condensing angle of the light incident on the lens group on the light incident side of the integrator lens. Install it.

그리고, 조사 영역이 좁은 인테그레이터 렌즈를 상기 광로 중에 삽입할 때에는, 상기 차광 수단을 상기 광원과 인테그레이터 렌즈 사이의 광로 내에 삽입하고, 조사 영역이 넓은 인테그레이터 렌즈를 상기 광로 중에 삽입할 때에는, 상기 차광 수단을 상기 광원과 인테그레이터 렌즈 사이의 광로 내로부터 퇴피시킨다. When the integrator lens having a narrow irradiation area is inserted into the optical path, the light blocking means is inserted into the optical path between the light source and the integrator lens, and the integrator lens having a large irradiation area is inserted into the optical path. At that time, the light shielding means is evacuated from within the optical path between the light source and the integrator lens.

(3) 상기 광 조사 장치에 있어서, 조사 영역의 크기가 상이한 2개의 인테그레이터 렌즈를 준비하여, 상기 광 조사 장치의 광로 중에 선택적으로 삽입한다. 또, 상기 2개의 인테그레이터 렌즈 중, 조사 영역이 좁은 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈군과 광 출사측의 렌즈군의 사이에, 광 출사측의 렌즈의 경계면을 따른 차광 부재를 설치한다. (3) In the light irradiation apparatus, two integrator lenses having different sizes of irradiation regions are prepared and selectively inserted into the optical path of the light irradiation apparatus. Further, a light shielding member along the boundary surface of the lens on the light exit side is provided between the lens group on the light incident side and the lens group on the light exit side of the integrator lens having a narrow irradiation area among the two integrator lenses. do.

이하, 본 발명의 실시예에 대해서 설명한다. Hereinafter, the Example of this invention is described.

(1) 제1 실시예(1) First embodiment

도 1은, 제1 실시예의 광 조사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면으로, 본 실시예는, 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈를 이동시키는 렌즈 이동 기구를 설치하여, 넓은 광 조사 영역에도 좁은 광 조사 영역에도 대응할 수 있도록 한 실 시예를 나타내고 있다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a light irradiation apparatus of a first embodiment. In this embodiment, a lens shift mechanism for moving a lens on the light incident side of an integrator lens is provided, The embodiment which can respond also to a narrow light irradiation area is shown.

동일 도면에서, 1은 광원이고, 본 실시예에서는 광원(1)으로서 2개의 램프(1a, 1b) 및 집광경(1c, 1d)을 사용하고 있다. 2개의 집광경(1c, 1d)은, 각각의 제2 초점이 일치하도록 배치된다. In the same drawing, 1 is a light source, and in this embodiment, two lamps 1a, 1b and condensing mirrors 1c, 1d are used as the light source 1. Two condensing mirrors 1c and 1d are arranged such that their respective second foci coincide.

이 광원(1)의 집광경(1c, 1d)의 근방에는, 차광판(2)이 설치되어 있다. 차광판(2)은, 도 2에 도시하는 바와 같이 차광판 구동 기구(2a)에 의해, 집광경(1c, 1d)의 개구 주변부에 삽입되어, 광원(1)의 주변부로부터 출사하는 광을 차광한다. 또한, 도 2에서는, 광원(1)의 형상이 일 방향으로 길기 때문에, 차광판(2)을 길이방향의 광을 차광하도록, 대향하는 2방향에만 설치하였지만, 4방향으로 설치해도 된다.The light shielding plate 2 is provided in the vicinity of the light collecting mirrors 1c and 1d of the light source 1. As shown in FIG. 2, the light shielding plate 2 is inserted into the periphery of the openings of the light collecting mirrors 1c and 1d by the light shielding plate driving mechanism 2a to shield light emitted from the periphery of the light source 1. In addition, in FIG. 2, since the shape of the light source 1 is long in one direction, the light shielding plate 2 is provided only in two opposite directions so as to shield light in the longitudinal direction, but may be provided in four directions.

또, 도 1에 도시하는 바와 같이, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측 렌즈군(4a)에는, 렌즈 이동 기구(4d)가 설치되고, 광 입사측 렌즈군(4a)은, 가이드(4c)에 의해 가이드되어 광축 방향으로 이동한다. 렌즈 이동 기구(4d)에 의해 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 간격을 넓히면, 출사각(θ2)이 작아져서, 좁은 조사 영역에 대응하여 조사할 수 있다. In addition, as shown in FIG. 1, a lens shift mechanism 4d is provided in the light incident side lens group 4a of the integrator lens 4, and the light incident side lens group 4a is a guide ( Guided by 4c) and moved in the optical axis direction. When the distance between the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b is widened by the lens shift mechanism 4d, the exit angle θ2 becomes small, so that irradiation can be performed corresponding to a narrow irradiation area.

상기 렌즈 이동 기구(4d)와 상기 차광판 구동 기구(2a)는, 제어부(10)에 의해 동작을 제어받고, 렌즈 이동 기구(4d)가 광 입사측 렌즈군(4a)을 구동하여, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 거리를 크게 하면, 이것에 연동하여, 차광판 구동 기구(2a)가 차광판(2)을 집광경(1c, 1d)의 개구부에 삽입하도록 이동시킨다. 또, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측 렌즈군 (4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 거리가 작아지면, 차광판(2)은 집광경(1c, 1d)의 개구부로부터 퇴피한다. The lens shift mechanism 4d and the light shield plate drive mechanism 2a are controlled by the control unit 10, and the lens shift mechanism 4d drives the light incident side lens group 4a, thereby integrating the lens. When the distance between the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b of the lens 4 is increased, in conjunction with this, the light shield plate driving mechanism 2a moves the light shield plate 2 to the light collecting mirrors 1c and 1d. To be inserted into the opening of the Further, when the distance between the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b of the integrator lens 4 becomes small, the light shielding plate 2 retracts from the openings of the condensing mirrors 1c and 1d.

또한, 상기 렌즈 이동 기구(4d)가 이동시키는 렌즈는 광 입사측의 렌즈(4a)이고, 광 출사측 렌즈군(4b)은 이동시키지 않는다. 그 이유는, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 출사측 렌즈군(4b)으로부터 광을 평행하게 하는 광학 부재인 콜리메이터 렌즈(7)까지의 거리가 기준이 되어, 광 조사면(8)에서의 광의 평행도 등의 광학 설계가 이루어지기 때문이다. 또한, 콜리메이터 렌즈(7) 대신에 콜리메이터 미러를 이용해도 된다. 광 입사측의 렌즈(4a)를 이동시킴으로써, 광 입사측 렌즈군(4a)의 위치가 광원의 초점 위치로부터 다소 어긋나게 되지만, 실제로는 그 이동량이 수㎜∼20㎜ 정도이고, 광 입사측 렌즈군(4a)으로부터 집광경까지의 거리는, 이 이동량의 100배 이상의 길이이기 때문에, 실질상 거의 문제는 없다. The lens to which the lens shift mechanism 4d moves is the lens 4a on the light incident side, and the lens group 4b on the light exit side does not move. The reason for this is that the distance from the light output side lens group 4b of the integrator lens 4 to the collimator lens 7 which is an optical member for parallelizing light is a reference, This is because optical design such as parallelism of light is made. In addition, a collimator mirror may be used instead of the collimator lens 7. By moving the lens 4a on the light incidence side, the position of the light incidence side lens group 4a is slightly shifted from the focal position of the light source, but in reality, the amount of movement is about several mm to 20 mm, and the light incidence side lens group Since the distance from (4a) to the condensing mirror is 100 times or more of this moving amount, there is practically no problem.

도 1에서, 광원(1)으로부터의 광은, 제1 평면경(3)에서 꺾여 반사되어, 제2 초점 위치에 놓여진 인테그레이터 렌즈(4)에 입사한다. In FIG. 1, the light from the light source 1 is reflected by bending at the first plane mirror 3 and is incident on the integrator lens 4 placed at the second focal position.

인테그레이터 렌즈(4)에 의해 광 조사면(8)에서의 조도 분포가 균일하게 되 도록 조정된 광은, 셔터(5)를 통해서, 제2 평면경(6)에서 꺾여 반사되어, 콜리메이터 렌즈(7)에 입사한다. 그리고, 콜리메이터 렌즈(7)에서 중심 광선(즉 광 출사측의 렌즈군(4b)의 중심으로부터 나온 광선)이 평행하게 되어 광 조사면(8)에 조사된다. Light adjusted by the integrator lens 4 so that the illuminance distribution on the light irradiation surface 8 is uniform is reflected by bending the second plane mirror 6 through the shutter 5 to form a collimator lens ( Enter 7). In the collimator lens 7, the central light beam (that is, the light beam emitted from the center of the lens group 4b on the light exit side) becomes parallel to the light irradiation surface 8.

또한, 도 1에서는 콜리메이터 렌즈(7)를 도시하였지만, 콜리메이터 미러여도 된다. In addition, although the collimator lens 7 is shown in FIG. 1, a collimator mirror may be sufficient.                     

다음에, 도 3(a)와 (b)에 의해 본 실시예의 동작을 설명한다. 또한, 도 3에서는, 상기한 제1 평면경(3), 제2 평면경(6), 콜리메이터 렌즈(7) 등은 생략되어 있다. 또, 도 3(b)에서는, (a)에 대해서 렌즈의 위치 관계가 광 입사측 렌즈군(4a)이 이동하지 않고, 광 출사측의 렌즈(4b)가 이동하고 있는 것과 같은 도면으로 되어 있지만, 실제로는, 광 출사측 렌즈군(4b)을 이동시키고 있는 것이 아니라, 광 입사측 렌즈군(4a)이 이동한다. Next, the operation of this embodiment will be described with reference to Figs. 3A and 3B. In addition, in FIG. 3, the said 1st planar mirror 3, the 2nd planar mirror 6, the collimator lens 7, etc. are abbreviate | omitted. In addition, in FIG.3 (b), although the positional relationship of a lens with respect to (a) does not move the light-incidence side lens group 4a, it is the same figure as the lens 4b of the light exit side is moving. In practice, the light exit side lens group 4b is not moved, but the light incident side lens group 4a is moved.

도 3(a)는, 넓은 조사 영역을 조사하는 경우이고, 이 경우, 동일 도면에 도시하는 바와 같이, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측의 렌즈(4a)와 광 출사측의 렌즈(4b)의 거리(d)를 작게 한다. Fig. 3A is a case of irradiating a wide irradiation area, and in this case, as shown in the same drawing, the lens 4a on the light incident side of the integrator lens 4 and the lens on the light exit side ( The distance d of 4b) is made small.

광원으로부터의 광은 집광각(θ1)으로 인테그레이터 렌즈(4)에 입사하고, 출사각(θ2)으로 출사한다. 이 경우, 집광경(1c, 1d)의 근방에 설치한 차광판(2)은, 도 3(a)에 도시하는 바와 같이 퇴피하고 있다. The light from the light source enters the integrator lens 4 at the condensing angle θ1 and exits at the emission angle θ2. In this case, the light shielding plate 2 provided in the vicinity of the light collecting mirrors 1c and 1d is retracted as shown in Fig. 3A.

도 3(b)는, 좁은 조사 영역을 조사하는 경우이고, 이 경우, 동일 도면에 도시하는 바와 같이, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측의 렌즈(4a)와 광 출사측의 렌즈(4b)의 간격(d)을 넓게 한다. 3B is a case of irradiating a narrow irradiation area, and in this case, as shown in the same drawing, the lens 4a on the light incident side of the integrator lens 4 and the lens on the light exit side ( Increase the distance d of 4b).

이 경우, 집광경(1c, 1d)의 근방에 설치한 차광판(2)이 차광판 구동 기구(2a)에 의해, 집광경(1c, 1d)의 개구 주변부에 삽입된다. 차광판(2)의 삽입에 의해, 광원(1)의 주변부로부터 출사하는 광이 차광되기 때문에, 인테그레이터 렌즈(4)에 입사하는 광의 집광각(입사각)(θ1')은, 도 3(a)일 때의 집광각(θ1)보다도 작아진다. In this case, the light shielding plate 2 provided in the vicinity of the light collecting mirrors 1c and 1d is inserted into the opening periphery of the light collecting mirrors 1c and 1d by the light shielding plate driving mechanism 2a. Since light emitted from the periphery of the light source 1 is shielded by the insertion of the light shielding plate 2, the light collecting angle (incidence angle) θ1 ′ of the light incident on the integrator lens 4 is shown in FIG. 3 (a). Is smaller than the condensing angle θ1.                     

따라서, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측 렌즈군(4a)으로부터 출사된 광이, 광 출사측 렌즈군(4b)에서 이웃의 렌즈에 입사하는 일이 없다. 이것에 의해 미광의 발생을 방지할 수 있다. Therefore, the light emitted from the light incident side lens group 4a of the integrator lens 4 does not enter the neighboring lens in the light exit side lens group 4b. Thereby, generation | occurrence | production of stray light can be prevented.

도 3(c)는, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 출사측 렌즈군(4b)에 투영되는 광원 이미지를 광축 방향에서 본 도면이다. 동일 도면에 도시하는 바와 같이, 차광판(2)은, 출사측의 렌즈(4b)에 투영되는 광원 이미지에서, 이웃의 렌즈로 벗어나 투영되는 부분을 차광한다. FIG. 3C is a view of the light source image projected on the light output side lens group 4b of the integrator lens 4 as viewed from the optical axis direction. As shown to the same figure, the light shielding plate 2 shields the part projected away from the lens of the neighbor from the light source image projected on the lens 4b of an emission side.

또한, 차광판(2)을 광원부(1), 즉 집광경(1c, 1d)의 개구에 어디까지 삽입할지는, 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 각 렌즈 소자의 크기와 간격(d)에 의해서 적당히 설계한다. 차광판(2)의 재질은 예를 들면 알루미늄판이다. The size of each lens element of the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b determines how far the light shielding plate 2 is inserted into the opening of the light source unit 1, that is, the light collecting mirrors 1c and 1d. Design appropriately with the interval d. The material of the light shielding plate 2 is an aluminum plate, for example.

(2) 제1 실시예의 변형예 (2) Modified Example of First Embodiment

도 4는 상기 제1 실시예의 변형예를 도시하는 도면이다. 본 실시예는, 상기 도 1에 도시한 제1 실시예에서, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 출사측 렌즈군(4b)에도, 차광판(9)을 설치한 것으로, 그 밖의 구성은 도 1에서 설명한 제1 실시예와 동일하다. 4 is a diagram illustrating a modification of the first embodiment. In the first embodiment shown in FIG. 1, the light shielding plate 9 is also provided in the light output side lens group 4b of the integrator lens 4, and the other configuration is shown in FIG. Same as the first embodiment described in the above.

차광판(9)은, 도 5에 도시하는 바와 같이, 렌즈의 경계면에 맞추어 설치되어, 광 출사측 렌즈군(4b)에서 이웃의 렌즈에 입사하는 광을 차광한다. 여기에서, 본 실시예에서는, 광 조사 영역이 직사각형 형상이기 때문에, 인테그레이터 렌즈(4)의 각 렌즈는 직사각형 형상의 것을 이용하고 있다. As shown in FIG. 5, the light shielding plate 9 is provided in accordance with the boundary surface of the lens, and shields light incident on the neighboring lens from the light output side lens group 4b. Here, in this embodiment, since the light irradiation area is rectangular, each lens of the integrator lens 4 uses a rectangular one.

또한, 도 5에서는, 각 렌즈의 양쪽 방향(4변)에 차광판을 설치하고 있지만, 광이 벗어 나가는 방향이 일 방향만인 경우에는, 어느 일 방향(대향하는 2변)에만 설치해도 된다. 또, 차광판(9)에 조사된 광이 정반사하면 미광이 되기 때문에, 알루미늄판에 흑도금한 것을 사용하였다. In addition, although the light shielding plate is provided in the both directions (four sides) of each lens in FIG. 5, you may provide only in one direction (two sides which opposes), when the direction in which light escapes is only one direction. Moreover, since the light irradiated to the light shielding plate 9 specularly becomes stray light, what was black-plated on the aluminum plate was used.

그 밖의 구성은 도 1에서 설명한 제1 실시예와 동일하고, 상기한 바와 같이, 광원(1)의 집광경(1c, 1d)의 근방에는 차광판(2)이 설치되어 있다. 차광판(2)은, 도 2에 도시하는 바와 같이 차광판 구동 기구(2a)에 의해, 집광경(1c, 1d)의 개구 주변부에 삽입되어, 광원(1)의 주변부로부터 출사하는 광을 차광한다. 또, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측 렌즈군(4a)에는, 렌즈 이동 기구(4d)가 설치되고, 광 입사측 렌즈군(4a)은, 가이드(4c)에 의해 가이드되어 광축 방향으로 이동한다. Other configurations are the same as those in the first embodiment described with reference to FIG. 1, and as described above, the light shielding plate 2 is provided in the vicinity of the light collecting mirrors 1c and 1d of the light source 1. As shown in FIG. 2, the light shielding plate 2 is inserted into the periphery of the openings of the light collecting mirrors 1c and 1d by the light shielding plate driving mechanism 2a to shield light emitted from the periphery of the light source 1. In addition, a lens shift mechanism 4d is provided in the light incident side lens group 4a of the integrator lens 4, and the light incident side lens group 4a is guided by the guide 4c and is in the optical axis direction. Go to.

다음에, 도 6(a), 도 6(b)에 의해 본 실시예의 동작을 설명한다. Next, the operation of this embodiment will be described with reference to Figs. 6 (a) and 6 (b).

도 6(a)는, 넓은 조사 영역을 조사하는 경우이고, 이 경우, 동일 도면에 도시하는 바와 같이, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측의 렌즈(4a)와 광 출사측의 렌즈(4b)의 거리를 작게 한다. Fig. 6A is a case of irradiating a wide irradiation area, and in this case, as shown in the same drawing, the lens 4a on the light incident side of the integrator lens 4 and the lens on the light exit side ( Reduce the distance of 4b).

광원으로부터의 광은 집광각(θ1)으로 제1 인테그레이터 렌즈(41)에 입사하여, 출사각(θ2)으로 출사한다. The light from the light source enters the first integrator lens 41 at the condensing angle θ1 and exits at the emission angle θ2.

이 경우, 집광경(1c, 1d)의 근방에 설치한 차광판(2)은, 도 6(a)에 도시하는 바와 같이 퇴피하고 있고, 또, 광 출사측 렌즈군(4b)의 광 입사측에 설치한 차광판(9)은 작용하고 있지 않다. 그러나, 차광판(9)을 설치함으로써, 광 출사측 렌즈군(4b)의 각 렌즈의 주변부에 입사하는 광의 일부가 반사 등에 의해 인접하는 렌즈에 입사하는 것을 차단할 수 있다. In this case, the light shielding plate 2 provided in the vicinity of the light collecting mirrors 1c and 1d is retracted as shown in Fig. 6A, and is provided on the light incidence side of the light output side lens group 4b. One light shielding plate 9 is not working. However, by providing the light shielding plate 9, it is possible to block a part of the light incident on the peripheral portion of each lens of the light output side lens group 4b from entering the adjacent lens by reflection or the like.                     

도 6(b)는, 좁은 조사 영역을 조사하는 경우이고, 이 경우, 동일 도면에 도시하는 바와 같이, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측의 렌즈(4a)와 광 출사측의 렌즈(4b)의 간격(d)을 넓게 한다. 6B is a case of irradiating a narrow irradiation area, and in this case, as shown in the same drawing, the lens 4a on the light incident side of the integrator lens 4 and the lens on the light exit side ( Increase the distance d of 4b).

또, 집광경(2a, 2b)의 근방에 설치한 차광판(2)이 차광판 구동 기구(2a)에 의해, 집광경(1c, 1d)의 개구 주변부에 삽입된다. 차광판(2)의 삽입에 의해, 광원(1)의 주변부로부터 출사하는 광이 차광되기 때문에, 인테그레이터 렌즈(4)에 입사하는 광의 집광각(입사각)(θ1')은, 도 6(a)일 때의 집광각(θ1)보다도 작아진다. In addition, the light shielding plate 2 provided in the vicinity of the light collecting mirrors 2a and 2b is inserted into the opening periphery of the light collecting mirrors 1c and 1d by the light shielding plate driving mechanism 2a. Since light emitted from the periphery of the light source 1 is shielded by the insertion of the light shielding plate 2, the light collecting angle (incidence angle) θ1 ′ of the light incident on the integrator lens 4 is shown in FIG. 6 (a). Is smaller than the condensing angle θ1.

따라서, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측 렌즈군(4a)으로부터 출사한 광이, 광 출사측 렌즈군(4b)에서 이웃의 렌즈에 입사하는 일이 없다. 이것에 의해 미광의 발생을 방지할 수 있다. 또, 상기한 바와 같이 차광판(9)에 의해, 광 출사측 렌즈군(4b)의 각 렌즈의 주변부에 입사하는 광의 일부가 반사 등에 의해 인접하는 렌즈에 입사하는 것을 차단할 수 있다. Therefore, the light emitted from the light incident side lens group 4a of the integrator lens 4 does not enter the neighboring lens in the light exit side lens group 4b. Thereby, generation | occurrence | production of stray light can be prevented. In addition, as described above, the light shielding plate 9 can block a part of the light incident on the peripheral portion of each lens of the light output side lens group 4b from entering the adjacent lens by reflection or the like.

(3) 제2 실시예 (3) Second Embodiment

도 7은, 제2 실시예의 광 조사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면으로, 본 실시예는, 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈와, 광 출사측의 렌즈의 간격이 상이한 2조의 인테그레이터 렌즈를 준비하여, 조사 영역의 크기에 따라서, 인테그레이터 렌즈를 교환함으로써, 넓은 광 조사 영역에도 좁은 광 조사 영역에도 대응할 수 있도록 한 실시예를 나타내고 있으며, 그 밖의 구성은, 상기 제1 실시예와 동일하다. FIG. 7 is a view showing a schematic configuration of the light irradiation apparatus of the second embodiment. In this embodiment, two sets of integrates having different intervals between a lens on the light incident side of the integrator lens and a lens on the light exiting side are shown in FIG. An embodiment in which the integrator lens is prepared and the integrator lens is replaced in accordance with the size of the irradiation area is provided so as to cope with a wide light irradiation area or a narrow light irradiation area, and other configurations are described in the first embodiment. Same as the example.

동일 도면에서, 41은 광 입사측 렌즈군과 광 출사측 렌즈군의 간격을 좁게 하여, 출사각(θ2)을 크게 한 제1 인테그레이터 렌즈, 42는 광 입사측 렌즈군과 광 출사측 렌즈군의 간격을 넓게 하여 출사각(θ2)을 작게 한 제2 인테그레이터 렌즈이다. In the same drawing, 41 denotes a first integrator lens having a narrow gap between the light incident side lens group and the light exit side lens group, and the emission angle θ2 is increased, and 42 is the light incident side lens group and the light exit side lens group. It is a 2nd integrator lens which made the space | interval of group wide, and made the emission angle (theta) 2 small.

제1, 제2 인테그레이터 렌즈(41, 42)는, 인테그레이터 렌즈 교환 기구(4e)에 의해 교환 가능하고, 이 렌즈 교환 기구(4e)에 의해, 제1 인테그레이터 렌즈(41)를 제1 평면경(3)과 셔터(5) 사이의 광로 중에 삽입하면, 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 간격은 좁아져서, 인테그레이터 렌즈(41)의 출사각(θ2)이 커져서 넓은 조사 영역에 대응하여 조사할 수 있다. 한편, 제2 인테그레이터 렌즈(42)를 제1 평면경(3)과 셔터(5)의 사이에 삽입하면, 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 간격은 넓어져서, 인테그레이터 렌즈(42)의 출사각(θ2)이 작아져서, 좁은 조사 영역에 대응하여 조사할 수 있다. The first and second integrator lenses 41 and 42 are replaceable by the integrator lens replacement mechanism 4e, and the first integrator lens 41 is replaced by the lens replacement mechanism 4e. Is inserted into the optical path between the first planar mirror 3 and the shutter 5, the interval between the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b is narrowed, so that the integrator lens 41 The exit angle [theta] 2 becomes large and it can irradiate corresponding to a wide irradiation area | region. On the other hand, when the second integrator lens 42 is inserted between the first planar mirror 3 and the shutter 5, the distance between the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b becomes wider. As a result, the emission angle θ2 of the integrator lens 42 becomes small, so that irradiation can be performed corresponding to a narrow irradiation area.

또, 제1 실시예와 동일하게, 집광경(1c, 1d)의 개구부에는 차광판(2)이 설치되고, 상기 렌즈 교환 기구(4e)와 상기 차광판 구동 기구(2a)는, 제어부(10)에 의해 동작을 제어받고, 렌즈 교환 기구(4e)가, 제2 인테그레이터 렌즈(42)를 상기 광로 중에 삽입하면, 이것에 연동하여, 차광판 구동 기구(2a)는 차광판(2)을 집광경(1c, 1d)의 개구부에 삽입하도록 이동시킨다. 또, 제1 인테그레이터 렌즈(41)를 상기 광로 중에 삽입하면, 차광판(2)은 집광경(1c, 1d)의 개구부로부터 퇴피한다. In addition, as in the first embodiment, the light shielding plate 2 is provided in the openings of the light collecting mirrors 1c and 1d, and the lens replacement mechanism 4e and the light shielding plate driving mechanism 2a are controlled by the control unit 10. When the operation is controlled and the lens replacement mechanism 4e inserts the second integrator lens 42 into the optical path, in conjunction with this, the light shield plate driving mechanism 2a moves the light shield plate 2 to the light collecting mirror 1c,. Move to insert into opening of 1d). In addition, when the first integrator lens 41 is inserted into the optical path, the light shield plate 2 retracts from the openings of the light condensing mirrors 1c and 1d.

다음에, 도 8(a) (b)에 의해 본 실시예의 동작을 설명한다. Next, the operation of this embodiment will be described with reference to Figs. 8 (a) and 8 (b).

도 8(a)는, 제1 인테그레이터 렌즈(41)를 이용하여 넓은 조사 영역을 조사하는 경우이다. 광원으로부터의 광은 집광각(θ1)으로 제1 인테그레이터 렌즈(41)에 입사하여, 출사각(θ2)으로 출사한다. 8A illustrates a case where a large irradiation area is irradiated using the first integrator lens 41. The light from the light source enters the first integrator lens 41 at the condensing angle θ1 and exits at the emission angle θ2.

도 8(b)는, 제2 인테그레이터 렌즈(42)로 교환하여, 좁은 조사 영역을 조사하는 경우이다. 제2 인테그레이터 렌즈(42)의 입사측 렌즈(4a)와 출사측 렌즈(4b)의 간격(d)은, 제1 인테그레이터 렌즈(41)의 간격보다도 넓다. 8B is a case where the narrow irradiation area is irradiated by replacing with the second integrator lens 42. The distance d between the incident lens 4a and the exit lens 4b of the second integrator lens 42 is wider than that of the first integrator lens 41.

이 경우, 집광경(1c, 1d)의 근방에 설치한 차광판(2)이 차광판 구동 기구(2a)에 의해, 집광경(1c, 1d)의 개구 주변부에 삽입된다. 차광판(2)의 삽입에 의해, 광원(1)의 주변부로부터 출사하는 광이 차광되기 때문에, 제2 인테그레이터 렌즈(42)에 입사하는 광의 집광각(θ1')은, θ1보다도 작아진다. 따라서, 인테그레이터 렌즈(42)의 광 입사측 렌즈군(4a)으로부터 출사한 광이, 광 출사측 렌즈군(4b)에서 이웃의 렌즈에 입사하는 일이 없다. 이것에 의해 미광의 발생을 방지할 수 있다. In this case, the light shielding plate 2 provided in the vicinity of the light collecting mirrors 1c and 1d is inserted into the opening periphery of the light collecting mirrors 1c and 1d by the light shielding plate driving mechanism 2a. Since light emitted from the periphery of the light source 1 is shielded by the insertion of the light shielding plate 2, the light collecting angle θ1 ′ of the light incident on the second integrator lens 42 is smaller than θ1. Therefore, the light emitted from the light incident side lens group 4a of the integrator lens 42 does not enter the neighboring lens in the light exit side lens group 4b. Thereby, generation | occurrence | production of stray light can be prevented.

도 8(b)의 경우에서도, 상기 도 3(c)에 도시한 바와 같이, 차광판(2)에 의해, 인테그레이터 렌즈(42)의 광 출사측 렌즈군(4b)에 투영되는 광원 이미지에 있어서, 이웃의 렌즈로 벗어 나가 투영되는 부분이 차광된다. Also in the case of FIG. 8 (b), as shown in FIG. 3 (c), the light shielding plate 2 is used to project the light source image projected onto the light exit side lens group 4b of the integrator lens 42. Therefore, the part projected out of the neighboring lens and projected is shielded.

또한, 본 실시예에서는, 상이한 크기의 영역을 조사하기 위한 출사각(θ2)이 상이한 인테그레이터 렌즈로서, 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 거리(d)를 변화시킨 것을 나타내었지만, 상기한 바와 같이, 인테그레이터 렌즈를 구성하는 각 렌즈의 크기를 변화시킴으로써, 출사각(θ2)의 각도를 상이하게 한 것을 사용해도 된다.Further, in the present embodiment, as an integrator lens having different emission angles θ2 for irradiating regions of different sizes, the distance d between the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b. As shown in FIG. 2, the above-described changes may be made by varying the angle of the exit angle θ2 by changing the size of each lens constituting the integrator lens.

이 경우, 렌즈의 크기가 작아지면 출사각(θ2)의 각도가 작아지기 때문에, 렌즈가 작은 인테그레이터 렌즈를 사용할 때, 차광판이 광로 중에 삽입된다. In this case, since the angle of the exit angle [theta] 2 becomes smaller when the size of the lens becomes smaller, the light shielding plate is inserted in the optical path when an integrator lens with a smaller lens is used.

(4) 제3 실시예 (4) Third Embodiment

도 9는, 제3 실시예의 광 조사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면이다. 상기 제2 실시예에서는, 집광경(1c, 1d)의 개구부에 차광판(2)을 설치하고 있었지만, 본 실시예에서는, 차광판(2) 대신에, 인테그레이터 렌즈(42)의 광 출사측의 렌즈(4b)에 상기 도 5에 도시한 차광판(9)을 설치하고 있다. 또한, 상기한 바와 같이, 광이 벗어 나가는 방향이 일 방향만인 경우에는, 차광판(9)을 어느 일 방향에만 설치해도 된다. 9 is a diagram illustrating a schematic configuration of a light irradiation apparatus of a third embodiment. In the second embodiment, the light shielding plate 2 is provided in the openings of the light collecting mirrors 1c and 1d. However, in the present embodiment, instead of the light shielding plate 2, the lens on the light output side of the integrator lens 42 is provided. The light shielding plate 9 shown in FIG. 5 is provided at 4b. As described above, in the case where the light escapes in only one direction, the light shielding plate 9 may be provided only in one direction.

그 밖의 구성은, 상기 도 7에 도시한 제2 실시예와 동일하고, 제1, 제2 인테그레이터 렌즈(41, 42)가 설치되고, 인테그레이터 렌즈 교환 기구(4e)에 의해 교환 가능하다. The rest of the configuration is the same as in the second embodiment shown in FIG. 7, wherein the first and second integrator lenses 41 and 42 are provided and can be replaced by the integrator lens replacement mechanism 4e. Do.

인테그레이터 렌즈 교환 기구(4e)에 의해, 제1 인테그레이터 렌즈(41)를 제1 평면경(3)과 셔터(5) 사이의 광로 중에 삽입하면, 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 간격은 좁아져서, 인테그레이터 렌즈(41)의 출사각(θ2)이 커져서 넓은 조사 영역에 대응하여 조사할 수 있다. 한편, 제2 인테그레이터 렌즈(42)를 제1 평면경(3)과 셔터(5)의 사이에 삽입하면, 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 간격은 넓어져서, 인테그레이터 렌즈(42)의 출사각(θ2)은 작아진다. When the first integrator lens 41 is inserted into the optical path between the first plane mirror 3 and the shutter 5 by the integrator lens exchange mechanism 4e, the light incident side lens group 4a and the light are inserted. The space | interval of the emission side lens group 4b becomes narrow, the emission angle (theta) 2 of the integrator lens 41 becomes large, and can irradiate corresponding to a wide irradiation area. On the other hand, when the second integrator lens 42 is inserted between the first planar mirror 3 and the shutter 5, the distance between the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group 4b becomes wider. As a result, the exit angle θ2 of the integrator lens 42 becomes small.

다음에, 도 10(a) (b)에 의해 본 실시예의 동작을 설명한다. Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIGS. 10A and 10B.

도 10(a)는, 제2 실시예와 동일하게, 제1 인테그레이터 렌즈(41)를 이용하여 넓은 조사 영역을 조사하는 경우이다. 광원으로부터의 광은 집광각(θ1)으로 제1 인테그레이터 렌즈(41)에 입사하여, 출사각(θ2)으로 출사한다. FIG. 10A illustrates a case where a large irradiation area is irradiated using the first integrator lens 41 as in the second embodiment. The light from the light source enters the first integrator lens 41 at the condensing angle θ1 and exits at the emission angle θ2.

도 10(b)는, 제2 인테그레이터 렌즈(42)로 교환한 경우이다. 제2 인테그레이터 렌즈(42)에는, 제1 인테그레이터 렌즈(41)의 경우와 동일하게, 광 입사측 렌즈군(4a)에 집광각(θ1)으로 광이 입사한다. 그러나, 광 출사측 렌즈군(4b)에서, 이웃의 렌즈에 입사하는 광의 성분은, 렌즈의 경계면에 맞추어 설치된 차광판(9)에 의해서 차단되어, 이웃의 렌즈에 입사하는 일이 없다. 이것에 의해 미광의 발생을 방지할 수 있다.FIG. 10B shows a case where the second integrator lens 42 is replaced. As in the case of the first integrator lens 41, light enters the second integrator lens 42 at the light incidence side lens group 4a at a condensing angle θ1. However, in the light output side lens group 4b, the component of the light incident on the neighboring lens is blocked by the light shielding plate 9 provided in accordance with the lens boundary surface, and does not enter the neighboring lens. Thereby, generation | occurrence | production of stray light can be prevented.

또한, 본 실시예에서도, 제2 실시예와 동일하게, 상이한 크기의 영역을 조사하기 위한 출사각(θ2)이 상이한 인테그레이터 렌즈로서, 광 입사측 렌즈군(4a)과 광 출사측 렌즈군(4b)의 거리(d)를 변화시킨 것을 나타내었지만, 인테그레이터 렌즈를 구성하는 각 렌즈의 크기를 변화시킴으로써 출사각(θ2)의 각도를 상이하게 한 것을 사용해도 된다. Also in this embodiment, as in the second embodiment, an integrator lens having different emission angles θ2 for irradiating regions of different sizes, the light incident side lens group 4a and the light exit side lens group Although the distance d of (4b) was shown to be changed, you may use what changed the angle of the emission angle (theta) 2 by changing the magnitude | size of each lens which comprises an integrator lens.

이 경우, 렌즈를 작게 함으로써, 출사각(θ2)을 작게 한 인테그레이터 렌즈의 광 출사측 렌즈군(4b)에 차광판(9)을 설치하게 된다. In this case, by making the lens small, the light shielding plate 9 is provided in the light output side lens group 4b of the integrator lens having the small emission angle θ2.

또한, 상기 제2 실시예에서, 상기 제1 실시예의 변형예와 같이, 제3 실시예에 나타내는 차광판(9)을 광 출사측 렌즈군(4b)에 설치해도 된다. 이것에 의해, 상기 제1 실시예의 변형예에서 설명한 바와 같이, 광 출사측 렌즈군(4b)의 각 렌즈의 주변부에 입사하는 광의 일부가 반사 등에 의해 인접하는 렌즈에 입사하는 것을 차단할 수 있다. In addition, in the second embodiment, as in the modification of the first embodiment, the light shielding plate 9 shown in the third embodiment may be provided in the light output side lens group 4b. As a result, as described in the modification of the first embodiment, a part of the light incident on the peripheral portion of each lens of the light output side lens group 4b can be prevented from entering the adjacent lens by reflection or the like.

또, 상기 제1 실시예에서, 집광경(1c, 1d)의 근방에 차광판(2)을 설치하는 대신에, 도 11에 도시하는 바와 같이 차광판(9)을 광 출사측 렌즈군(4b)에 설치해도 된다. In the first embodiment, instead of providing the light shielding plate 2 in the vicinity of the light collecting mirrors 1c and 1d, the light shielding plate 9 is provided in the light output side lens group 4b as shown in FIG. You may also

도 12에, 상기한 바와 같이 구성한 경우의 동작을 도시한다. Fig. 12 shows the operation in the case configured as described above.

도 12(a)는, 넓은 조사 영역을 조사하는 경우이고, 이 경우, 동일 도면에 도시하는 바와 같이, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측의 렌즈(4a)와 광 출사측의 렌즈(4b)의 거리를 작게 한다. 광원으로부터의 광은 집광각(θ1)으로 제1 인테그레이터 렌즈(41)에 입사하여, 출사각(θ2)으로 출사한다. Fig. 12A is a case of irradiating a wide irradiation area, and in this case, as shown in the same drawing, the lens 4a on the light incident side of the integrator lens 4 and the lens on the light exit side ( Reduce the distance of 4b). The light from the light source enters the first integrator lens 41 at the condensing angle θ1 and exits at the emission angle θ2.

도 12(b)는, 좁은 조사 영역을 조사하는 경우이고, 이 경우, 동일 도면에 도시하는 바와 같이, 인테그레이터 렌즈(4)의 광 입사측의 렌즈(4a)와 광 출사측의 렌즈(4b)의 간격(d)을 넓게 한다. 12B is a case of irradiating a narrow irradiation area, and in this case, as shown in the same figure, the lens 4a on the light incident side of the integrator lens 4 and the lens on the light exit side ( Increase the distance d of 4b).

이 경우, 광 입사측 렌즈군(4a)에 집광각(θ1)으로 광이 입사하지만, 광 출사측 렌즈군(4b)에서, 이웃의 렌즈에 입사하는 광의 성분은, 차광판(9)에 의해서 차단되어, 이웃의 렌즈에 입사하는 일이 없다. 이것에 의해 미광의 발생을 방지할 수 있다.In this case, light is incident on the light incident side lens group 4a at the condensing angle θ1, but in the light exit side lens group 4b, the component of light incident on the neighboring lens is blocked by the light shielding plate 9. This prevents incident on the neighboring lens. Thereby, generation | occurrence | production of stray light can be prevented.

본 발명에서는, 이하의 효과를 얻을 수 있다. In the present invention, the following effects can be obtained.

(1) 광원과 인테그레이터 렌즈 사이의 광로 내에 광원으로부터의 광을 차광하고, 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈군에 입사하는 광의 집광각을 좁게 하는 차광 수단을 설치하였기 때문에, 조사 영역을 좁게 하기 위해서, 인테그레이터 렌즈로의 광의 입사각이, 인테그레이터 렌즈로부터의 광의 출사각보다도 커지는 인 테그레이터 렌즈를 이용한 경우에도, 차광 수단에 의해 입사각이 작아지고, 출사각보다도 커지지 않기 때문에, 출사측의 렌즈에 있어서, 광원 이미지가 이웃의 렌즈로 벗어 나가는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 미광의 발생을 막을 수 있고, 광 조사면에서의 노광 정밀도의 악화를 방지할 수 있다. (1) Since the light shielding means shields light from the light source in the optical path between the light source and the integrator lens and narrows the condensing angle of the light incident on the lens group on the light incident side of the integrator lens, the irradiation area is provided. Since the incident angle of the light into the integrator lens is larger than the emission angle of the light from the integrator lens, the incident angle is reduced by the light shielding means and is not larger than the emission angle. In the lens on the exit side, the light source image can be prevented from escaping to the neighboring lens. For this reason, generation | occurrence | production of stray light can be prevented and deterioration of the exposure precision in a light irradiation surface can be prevented.

(2) 조사 영역이 좁은 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈군과 광 출사측의 렌즈군의 사이에, 광 출사측의 렌즈의 경계면을 따른 차광 부재를 설치함으로써, 광 출사측의 렌즈에 있어서, 이웃의 렌즈로 벗어 나가서 투영되는 부분을 차광할 수 있다. 이 때문에, 상기와 동일하게 광 조사면에서의 미광를 막을 수 있고, 광 조사면에서의 노광 정밀도의 악화를 방지할 수 있다. (2) Between the lens group on the light incidence side and the lens group on the light exit side of the integrator lens having a narrow irradiation area, a light shielding member along the interface of the lens on the light exit side is provided to the lens on the light exit side. Therefore, the part projected out of the neighboring lens can be shielded. For this reason, stray light in the light irradiation surface can be prevented similarly to the above, and deterioration of the exposure precision in the light irradiation surface can be prevented.

Claims (3)

광원으로부터 출사된 광을, 광 입사측의 렌즈군과 광 출사측의 렌즈군을 광축 방향으로 이간하여 배치한 인테그레이터 렌즈를 통해서, 피조사물에 조사하는 광 조사 장치에 있어서, In the light irradiation apparatus which irradiates light irradiated from a light source to an irradiated object through the integrator lens which separated and arranged the lens group of the light incident side, and the lens group of the light emission side in the optical axis direction, 상기 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈군을 광축 방향으로 이동시켜, 광이 조사되는 조사 영역의 크기를 변경시키는 렌즈 이동 수단과, Lens shift means for shifting the lens group on the light incident side of the integrator lens in the optical axis direction to change the size of the irradiation area to which light is irradiated; 상기 광원과 인테그레이터 렌즈 사이의 광로 내에 삽입되어, 상기 광원으로부터의 광을 차광하여, 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈군에 입사하는 광의 집광각을 좁게 하는 차광 수단과,A light shielding means inserted in an optical path between the light source and the integrator lens to shield the light from the light source to narrow the condensing angle of light incident on the lens group on the light incident side of the integrator lens; 상기 렌즈 이동 수단을 구동하여 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈군과 광 출사측의 렌즈군 사이의 거리를 길게 하여, 상기 조사 영역을 좁게 할 때에는, 상기 차광 수단을 상기 광원과 인테그레이터 렌즈 사이의 광로 내에 삽입하고, When the lens shifting means is driven to increase the distance between the lens group on the light incidence side and the lens group on the light exit side of the integrator lens to narrow the irradiation area, the light shielding means is adapted to the light source and the integrator. Insert into the light path between the lenses, 상기 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈군과 광 출사측의 렌즈군 사이의 거리를 짧게 하여, 상기 조사 영역을 넓게 할 때에는, 상기 차광 수단을 상기 광원과 인테그레이터 렌즈 사이의 광로 내로부터 퇴피시키는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 광 조사 장치. When the distance between the lens group on the light incidence side of the integrator lens and the lens group on the light outgoing side is shortened to widen the irradiation area, the light shielding means is provided from within the optical path between the light source and the integrator lens. The light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned. 청구항 1에 있어서, 상기 인테그레이터 렌즈의 광 입사측의 렌즈군과 광 출사측의 렌즈군의 사이에, 광 출사측의 렌즈의 경계면을 따른 차광 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 광 조사 장치.The light irradiation member according to the boundary surface of the lens on the light exit side is provided between the lens group on the light incident side and the lens group on the light exit side of the integrator lens. Device. 삭제delete
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