KR100813208B1 - Tray transfer apparatus for handler - Google Patents

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Abstract

A tray transfer apparatus for a handler is provided to prevent slack of a belt by allowing the belt to be tight by a belt slack prevention unit, and to make a tray transfer member to be moved to an exact position on a frame. A tray transfer apparatus for a handler comprises a frame(110), a tray transfer member(120) and a belt slack prevention unit(130). The frame includes a pulley device(111), a belt(113) connecting pulleys(112) equipped in the pulley device and a motor(114) for driving the belt. The tray transfer member is fixed to the belt and moves in a first axis direction along a movement path of the belt. The belt slack prevention unit is coupled to the tray transfer member, supports the belt elastically and prevents slack of the belt.

Description

핸들러용 트레이 이송장치{Tray transfer apparatus for handler}Tray transfer apparatus for handler

도 1은, 본 발명의 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치가 장착된 핸들러의 일예를 개략적으로 도시한 평면도이다.1 is a plan view schematically showing an example of a handler equipped with a tray feeder for a handler according to an embodiment of the present invention.

도 2는, 본 발명의 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치의 사시도이다.Figure 2 is a perspective view of a tray feeder for a handler according to an embodiment of the present invention.

도 3은, 도 2에 도시한 핸들러용 트레이 이송장치의 A 영역을 확대한 사시도이다.FIG. 3 is an enlarged perspective view of region A of the tray feeder for the handler shown in FIG. 2.

도 4는, 도 3의 핸들러용 트레이 이송장치의 트레이 이송 부재와 벨트 처짐 방지수단을 발췌하여 하측에서 바라본 사시도이다.FIG. 4 is a perspective view of the tray feed member and the belt sag preventing means of the tray feed apparatus for the handler of FIG. 3, viewed from below. FIG.

도 5는, 도 4에 도시된 트레이 이송 부재와 벨트 처짐 방지수단을 분해한 분해사시도이다.FIG. 5 is an exploded perspective view in which the tray conveying member and the belt sag preventing means shown in FIG. 4 are disassembled.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the code | symbol about the principal part of drawing>

10..핸들러 110..프레임10.Handler 110.Frame

111..풀리장치 112..풀리111. Pulley device 112. Pulley

113..벨트 114..모터113..belt 114..motor

115..가이드봉 120..트레이 이송 부재115..guide rod 120..tray feed member

121..이송핀 130..벨트 처짐 방지수단121. Feed pin 130. Preventing belt sag

131..슬라이딩부 132..벨트 지지용 롤러131. Sliding part 132. Belt support roller

133..탄성부재 134..결합용 홀133. Elastic members 134. Joining holes

135..가이드 부재 136..이탈방지 가이드135. Guide member 136. Release guide

본 발명은 핸들러용 트레이 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 칩들을 테스트하는 핸들러에서 테스트 트레이를 한쪽 룸에서 다른 쪽 룸으로 이송하여주는 핸들러용 트레이 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a tray transfer apparatus for a handler, and more particularly, to a tray transfer apparatus for a handler for transferring a test tray from one room to another in a handler for testing semiconductor chips.

일반적으로, 메모리 또는 비메모리 반도체 소자(이하 "반도체 칩"이라 함) 등은 생산 후 여러 가지 테스트 과정을 거치게 된다. 핸들러는 반도체 칩의 품질이 어느 정도이고, 불량품인지 여부를 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치를 일컫는다.In general, a memory or a non-memory semiconductor device (hereinafter referred to as a "semiconductor chip") is subjected to various test processes after production. A handler is a device used to automatically test the quality of semiconductor chips and whether they are defective.

핸들러는 여러 가지 테스트 중 고온 또는 저온의 환경을 조성하여, 반도체 칩이 이러한 온도 조건에서도 정상적인 동작을 할 수 있는가를 테스트한다.The handler creates a hot or cold environment, among other tests, to test whether the semiconductor chip can operate normally under these temperature conditions.

이를 위한 핸들러는, 반도체 칩들을 테스트하는 테스트부와, 상기 반도체 칩들을 상기 테스트부에 공급하는 로딩부와, 테스트 완료된 반도체 칩들이 테스트결과에 따라 분류는 언로딩부가 형성된다.The handler for this purpose includes a test unit for testing semiconductor chips, a loading unit for supplying the semiconductor chips to the test unit, and an unloading unit for classifying the tested semiconductor chips according to a test result.

테스트부는 여러 개로 분할된 밀폐 룸들 내에 고온 또는 저온의 환경을 조성한 뒤, 반도체 칩이 장착된 테스트 트레이들을 순차적으로 이송하여 반도체 칩을 소정의 온도 조건하에서 테스트하는 것이다.The test unit creates a high-temperature or low-temperature environment in several sealed rooms, and then sequentially transfers the test trays on which the semiconductor chip is mounted to test the semiconductor chip under a predetermined temperature condition.

테스트부는 예열룸(preheating chamber), 테스트룸(test chamber) 및 냉각룸(defrosting chamber)을 구비한다. 이러한 테스트부내에는 테스트 트레이들을 순차적으로 이송하는 트레이 이송장치가 형성된다. 테스트 트레이의 하측에는 고정홀이 형성되어 있다. 테스트 트레이 이송장치는 전,후 방향으로 왕복이동 할 수 있도록 결합된 이송핀을 구비하고, 상기 이송핀을 테스트 트레이의 고정홀에 삽입하여 테스트 트레이를 예열룸으로부터 테스트룸으로 이동시킨다.The test section includes a preheating chamber, a test chamber and a defrosting chamber. In such a test unit, a tray conveying apparatus for sequentially conveying test trays is formed. A fixing hole is formed below the test tray. The test tray transfer device has a transfer pin coupled to move back and forth in the forward and backward directions, and inserts the transfer pin into a fixing hole of the test tray to move the test tray from the preheating room to the test room.

이를 위한, 종래의 테스트 트레이 이송장치는 프레임과, 상기 프레임에 좌우 방향으로 연장 형성된 볼스크류와, 상기 볼스크류에 볼스크류 결합되어 좌우로 이동가능하게 결합된 이동부재를 구비한다.To this end, the conventional test tray transfer apparatus has a frame, a ball screw extending in the left and right directions on the frame, and a moving member coupled to the ball screw to be movable to the left and right.

한편, 반도체 칩들이 저온에서 견뎌내는지 여부를 테스트하는 하나의 일예서, 액화질소와 같이 주변의 온도를 짧은 시간에 낮추는 화학물질에 반도체 칩들을 노출시켜 반도체 칩들이 저온으로 되게 한 후, 반도체 칩들의 이상 유무를 테스트한다. 이 경우 볼스크류와 이동부재는 테스트 트레이에 화학물질을 방출하는 과정에서 테스트 트레이와 함께 액화질소에 노출되고, 볼스크류와 이동부재에는 급격한 온도하강에 의해 성에가 발생한다. 이러한 성에는 이동부재가 볼스크류에 대해 이동하는 것을 방해한다.On the other hand, one example of testing whether the semiconductor chips endure at low temperatures is to expose the semiconductor chips to a chemical that lowers the surrounding temperature in a short time, such as liquid nitrogen, so that the semiconductor chips become cold, Test for abnormalities. In this case, the ball screw and the moving member are exposed to liquid nitrogen together with the test tray in the process of releasing chemicals to the test tray, and the ball screw and the moving member are frosted by a sudden temperature drop. This property prevents the moving member from moving with respect to the ball screw.

이를 해결하기 위하여, 프레임에 형성된 다수의 풀리들로 구성된 풀리장치와, 어느 하나의 풀리에 결합된 모터와, 복수의 풀리들을 연결하는 벨트로 구성되고, 이송핀이 결합된 이송부재는 벨트에 고정되게 한다. 여기서, 벨트는 고무 등 의 연성재질로 형성되어 있어서 장시간 사용하게 되면, 처짐이 발생하는 문제점이 있다. 이에 따라, 벨트의 처짐에 의해 이송부재도 쳐져서 이송핀이 테스트 트레이의 고정홀에 정확히 맞지 않게 되고, 풀리와 벨트가 정확하게 구동되지 않기 때문에 이송부재를 상기 프레임 내의 정확한 위치에 이동하기가 어렵다.In order to solve this problem, a pulley device composed of a plurality of pulleys formed on the frame, a motor coupled to any one pulley, and a belt connecting a plurality of pulleys, the transfer member coupled to the transfer pin is fixed to the belt To be. Here, the belt is formed of a soft material such as rubber, there is a problem that sag occurs when used for a long time. Accordingly, the conveying member is also struck by the deflection of the belt, so that the conveying pin does not exactly fit into the fixing hole of the test tray, and it is difficult to move the conveying member to the correct position in the frame because the pulley and the belt are not driven correctly.

본 발명은 벨트에 처짐이 발생하지 않는 핸들러용 트레이 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a tray feeder for a handler which does not cause sagging on the belt.

따라서, 본 발명에 따른 핸들러용 트레이 이송장치는: 풀리장치와, 상기 풀리장치에 구비된 풀리들을 연결하는 벨트와, 상기 벨트를 구동하는 모터를 구비하는 프레임과; 상기 벨트에 고정 결합되어 상기 벨트의 이동경로를 따라 제 1 축 방향으로 이동하는 트레이 이송 부재; 및 상기 트레이 이송 부재에 결합된 것으로, 상기 벨트를 탄성 지지하여 상기 벨트의 처짐을 방지하는 벨트 처짐 방지수단을 구비한다.Accordingly, a tray feeder for a handler according to the present invention comprises: a frame having a pulley device, a belt connecting pulleys provided in the pulley device, and a motor for driving the belt; A tray conveying member fixedly coupled to the belt and moving in a first axial direction along a movement path of the belt; And a belt sag preventing means coupled to the tray conveying member to elastically support the belt to prevent sagging of the belt.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치(100)가 장착된 핸들러(10)는 여러 가지 테스트 중 고온 또는 저온의 환경을 조성하여, 반도체 칩이 이러한 온도 조건에서도 정상적인 동작을 할 수 있는가를 테스트한다. 이를 위한 핸들러(10)는 테스트부(20)와, 로딩부(30)와, 언로딩부(40) 를 구비한다. Referring to FIG. 1, the handler 10 equipped with the tray feeder 100 for a handler according to an embodiment of the present invention creates a high or low temperature environment among various tests, so that the semiconductor chip may be subjected to such temperature conditions. Test for proper operation. The handler 10 for this purpose includes a test unit 20, a loading unit 30, and an unloading unit 40.

테스트부(20)는 테스트 트레이(T)의 온도를 고온이나 저온으로 변화시키고, 상기 테스트 트레이(T)를 테스트한 뒤, 원래의 온도로 변화시킨다. 이러한 테스트부(20)는 복수의 룸을 나란히 구비한다. 여기서 테스트 트레이(T)에는 일측에 고정홀(TH, 도 2 참조)이 형성된다.The test unit 20 changes the temperature of the test tray T to a high temperature or a low temperature, tests the test tray T, and then changes the temperature to the original temperature. The test unit 20 includes a plurality of rooms side by side. In this case, the test tray T has a fixing hole TH (see FIG. 2) formed at one side thereof.

로딩부(30)는 테스트하기 위한 반도체 칩들을 테스트 트레이(T) 상에 장착하여 테스트부(20)로 공급한다.The loading unit 30 mounts the semiconductor chips for testing on the test tray T and supplies them to the test unit 20.

언로딩부(40)는 테스트부(20)에서 테스트 완료된 반도체 칩들을 테스트 트레이(T)로부터 언로딩하여 테스트된 결과에 따라 분류한다.The unloading unit 40 unloads the semiconductor chips tested in the test unit 20 from the test tray T and classifies the semiconductor chips according to the tested results.

한편, 로딩부(30)는 제 1 버퍼부(31)를 더 구비할 수 있다. 제 1 버퍼부(31)는 고객용 트레이에 장착된 반도체 칩들을 이송하여 일정시간 보관한다.The loading unit 30 may further include a first buffer unit 31. The first buffer unit 31 transfers and stores the semiconductor chips mounted in the customer tray for a predetermined time.

한편, 언로딩부(40)는 제 2 버퍼부(41)를 포함할 수 있다. 제 2 버퍼부(41)는 테스트를 마친 반도체 칩들을 각각의 분류용 트레이에 분류시킨다.Meanwhile, the unloading unit 40 may include a second buffer unit 41. The second buffer unit 41 classifies the tested semiconductor chips into respective sorting trays.

한편, 로딩부(30)와 언로딩부(40) 사이에는 교환부(32)를 더 형성할 수 있다. 교환부(32)는 제 1 버퍼부(32)로부터 반도체 칩을 이송받아 테스트부(20)로 이송함과 동시에, 테스트부(20)에서 테스트 완료된 반도체 칩들을 제 2 버퍼부(41)에 공급하는 역할을 한다.Meanwhile, an exchange part 32 may be further formed between the loading part 30 and the unloading part 40. The exchange unit 32 receives the semiconductor chip from the first buffer unit 32, transfers the semiconductor chip to the test unit 20, and simultaneously supplies the semiconductor chips tested in the test unit 20 to the second buffer unit 41. It plays a role.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치(100)는 프레임(110)과, 트레이 이송 부재(120)와, 벨트 처짐 방지수단(130)을 구비한다.2 to 5, the tray feeder 100 for a handler according to an embodiment of the present invention includes a frame 110, a tray feed member 120, and a belt sagging prevention device 130. .

프레임(110)은 풀리장치(111)와, 상기 풀리장치(111)에 구비된 풀리(112)들을 연결하는 벨트(113)와, 상기 벨트(113)를 구동하는 모터(114)를 구비한다. The frame 110 includes a pulley device 111, a belt 113 connecting the pulleys 112 provided in the pulley device 111, and a motor 114 driving the belt 113.

트레이 이송 부재(120)는 벨트(113)에 고정 결합되어 상기 벨트(113)의 이동경로를 따라 제 1 축 방향으로 이동된다. 이러한 트레이 이송 부재(120)는 일 측에 이송핀(121)을 구비하고, 상기 이송핀(121)은 상기 테스트 트레이(T) 측으로 이동되어 테스트 트레이(T)의 고정홀(TH)에 결합 또는 이탈된다. 여기서 도 4와 도 5를 참조하면, 이송핀(121)을 테스트 트레이(T) 측으로 이동하는 이송핀 구동장치(140)에 대한 일예로, 회전모듈(141)이 수용부(142)에 삽입되어 회전모듈(141)의 회전 왕복 운동에 의해 상기 수용부(142)가 직선 왕복 이동하게 하는 기계장치를 도시 하였다. 그러나, 이송핀 구동장치(140)를 회전모듈(141)과 수용부(142)로 한정하지는 않으며, 이송핀(121)을 테스트 트레이(T) 측으로 직선 왕복 이동할 수 있게 하는 기계장치이면 어느 것을 사용하여도 무방하다.The tray conveying member 120 is fixedly coupled to the belt 113 and moved in the first axial direction along the movement path of the belt 113. The tray transfer member 120 has a transfer pin 121 on one side, the transfer pin 121 is moved to the test tray (T) side is coupled to the fixing hole (TH) of the test tray (T) or Departure. 4 and 5, as an example of the transfer pin driving device 140 to move the transfer pin 121 to the test tray (T) side, the rotary module 141 is inserted into the receiving portion 142 The mechanism for allowing the receiving portion 142 to linearly reciprocate by the rotary reciprocating motion of the rotary module 141 is illustrated. However, the feed pin driving device 140 is not limited to the rotary module 141 and the receiving portion 142, and any device may be used as long as the feed pin 121 can linearly reciprocate to the test tray T side. You may.

벨트 처짐 방지수단(130)은 트레이 이송 부재(120)에 결합된 것으로, 상기 벨트(113)를 탄성 지지하여 상기 벨트(113)의 처짐을 방지하는 역할을 한다.Belt deflection preventing means 130 is coupled to the tray transfer member 120, and serves to prevent the belt 113 from sagging by elastically supporting the belt 113.

벨트(113)의 처짐을 방지하기 위한 벨트 처짐 방지수단(130)은 슬라이딩부(131)와, 탄성부재(133)를 구비한다.The belt sagging prevention means 130 for preventing sagging of the belt 113 includes a sliding portion 131 and an elastic member 133.

슬라이딩부(131)는, 한쪽 측면이 트레이 이송 부재(120)에 상하로 이동가능하게 결합된다. 슬라이딩부(131)는 벨트(113)와 접촉되는 벨트 지지용 롤러(132)를 구비한다. 이러한 벨트 지지용 롤러(132)는 상기 벨트(113)와 접하게 형성되어 벨트 지지용 롤러(132)가 상기 벨트(113)를 팽팽하게 누르는 상태를 유지할 수 있 게 하는 것이 바람직하다.One side of the sliding part 131 is coupled to the tray transfer member 120 to be movable up and down. The sliding part 131 has a belt support roller 132 in contact with the belt 113. The belt support roller 132 is preferably formed in contact with the belt 113 so that the belt support roller 132 can maintain the state in which the belt 113 is pressed tightly.

탄성부재(133)는 슬라이딩부(131)와 트레이 이송 부재(120) 사이에 개재된 것이 바람직하다. 일반적으로 벨트(113)가 오랜 시간 사용되면 늘어나게 된다. 이러한 벨트(113)는 중력의 방향으로 처지게 되는데, 탄성부재(133)가 슬라이딩부(131)와 트레이 이송 부재(120) 사이에 개재되어 상기 슬라이딩부(131)를 상측으로 탄성 바이어스 되도록 지지하고, 슬라이딩부(131)에 결합된 벨트 지지용 롤러(132)가 벨트(113)의 하측을 탄성 지지하는 상태가 된다.The elastic member 133 is preferably interposed between the sliding portion 131 and the tray transport member 120. In general, the belt 113 is stretched when used for a long time. The belt 113 sags in the direction of gravity, and the elastic member 133 is interposed between the sliding part 131 and the tray transfer member 120 to support the sliding part 131 to be elastically biased upward. , The belt support roller 132 coupled to the sliding part 131 is in a state of elastically supporting the lower side of the belt 113.

이를 위해 트레이 이송 부재(120)에는 안착면(122a)이 형성된다. 상기 안착면(122a)은 가이드 부재(135)가 형성된 트레이 이송 부재(120)의 결합면(122b)에 대해 절곡 되어 형성될 수 있다.To this end, a seating surface 122a is formed in the tray transport member 120. The seating surface 122a may be bent to the coupling surface 122b of the tray transfer member 120 on which the guide member 135 is formed.

한편, 탄성부재(133)는 하나 이상의 압축 코일 스프링을 구비할 수 있다. 이러한 압축 코일 스프링은 슬라이딩부(131)와 탄성부재(133) 중 적어도 어느 하나에 고정될 수 있으며, 상기 슬라이딩부(131)를 상측으로 탄성 바이어스 되도록 지지하기가 용이하다.On the other hand, the elastic member 133 may be provided with one or more compression coil springs. The compression coil spring may be fixed to at least one of the sliding part 131 and the elastic member 133, and it is easy to support the sliding part 131 to be elastically biased upward.

한편, 슬라이딩부(131)에는 결합용 홀(134)이 형성된 것이 바람직하다. 상기 결합용 홀(134)은 슬라이딩부(131)의 적어도 한 면을 관통하게 형성된다. 이러한 결합용 홀(134)은 슬라이딩부(131)가 이동돼야 하는 방향으로 길게 형성된 것이 바람직하다. 또한, 트레이 이송 부재(120)는 가이드 부재(135)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 가이드 부재(135)는 결합용 홀(134)을 관통하고 슬라이딩부(131)에 고정결합되어, 상기 슬라이딩부(131)가 트레이 이송 부재(120)에 대해 이탈되지 않고 슬라이딩 이동하게 한다.On the other hand, the sliding portion 131 is preferably a coupling hole 134 is formed. The coupling hole 134 is formed to penetrate at least one surface of the sliding part 131. The coupling hole 134 is preferably formed long in the direction in which the sliding portion 131 is to be moved. In addition, the tray transfer member 120 preferably includes a guide member 135. The guide member 135 penetrates through the coupling hole 134 and is fixedly coupled to the sliding part 131 to allow the sliding part 131 to slide without moving away from the tray transfer member 120.

한편, 상기 슬라이딩부(131)의 결합용 홀(134)은 이탈방지 가이드(136)를 더 구비할 수 있다. 상기 이탈방지 가이드(136)는 상기 가이드 부재(135)가 상기 결합용 홀(134)을 관통한 상태에서 상기 가이드 부재(135)로부터 이탈되지 않도록, 상기 결합용 홀(134)의 내면을 따라 돌출되게 형성된다.Meanwhile, the coupling hole 134 of the sliding part 131 may further include a departure prevention guide 136. The release preventing guide 136 protrudes along the inner surface of the coupling hole 134 so that the guide member 135 does not leave the guide member 135 in a state where the guide member 135 penetrates the coupling hole 134. Is formed.

또한, 가이드 부재(135)에는 인입부(137)가 형성될 수 있다. 상기 인입부(137)는 이탈방지 가이드(136)를 감싸서 슬라이딩부(131)가 트레이 이송 부재(120)로부터 이탈되지 않도록, 이탈방지 가이드(136)와 대향 되는 부위에 인입되도록 형성된다. 이러한 구조는 가이드 부재(135)의 인입부(137)에 슬라이딩부(131)의 이탈방지 가이드(136)가 수용됨으로써, 슬라이딩부(131)가 트레이 이송 부재(120)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.In addition, an introduction part 137 may be formed in the guide member 135. The retraction unit 137 is formed to surround the departure prevention guide 136 so that the sliding part 131 is pulled into a portion facing the departure prevention guide 136 so as not to be separated from the tray transfer member 120. Such a structure may prevent the sliding part 131 from being separated from the tray transfer member 120 by receiving the guide 136 of the sliding part 131 into the inlet part 137 of the guide member 135. have.

그러나, 슬라이딩부(131)가 트레이 이송 부재(120)부터 이탈되지 않게 하는 구조를 이탈방지 가이드(136)와, 인입부(137)가 형성된 구조로 한정하지는 않으며, 슬라이딩부(131)가 트레이 이송 부재(120)부터 이탈되지 않게 함과 동시에, 슬라이딩부(131)가 트레이 이송 부재(120)로부터 상,하로 이동가능하게 하는 것을 만족하는 것이면 어떠한 기계장치를 사용하여도 무방하다.However, the structure that prevents the sliding portion 131 from being separated from the tray transfer member 120 is not limited to the structure in which the release preventing guide 136 and the inlet portion 137 are formed, and the sliding portion 131 transfers the tray. Any mechanism may be used as long as it does not separate from the member 120 and satisfies the sliding portion 131 to be moved up and down from the tray transfer member 120.

한편, 도 1을 참조하면, 상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 핸들러용 트레이 이송장치(100)는 테스트룸(22) 내에 배치된 것이 바람직하다. 핸들러용 트레이 이송장치(100)가 테스트룸(22) 내에 배치되면, 테스트 트레이(T)를 예열룸(21)으로부터 테스트룸(22)으로 이송할 수도 있고, 테스트 트레 이(T)를 테스트룸(22)으로부터 냉각룸(23)까지 이송할 수도 있다.Meanwhile, referring to FIG. 1, the tray feeder 100 for the handler according to the preferred embodiment of the present invention configured as described above is preferably disposed in the test room 22. When the tray feeder 100 for the handler is disposed in the test room 22, the test tray T may be transferred from the preheating room 21 to the test room 22, and the test tray T may be transferred to the test room 22. It is also possible to transfer from 22 to the cooling room 23.

한편, 프레임(110)은 벨트(113)에 평행하게 형성된 가이드봉(115)을 더 구비할 수 있다. 트레이 이송 부재(120)는 벨트(113)에 고정결합된 상태이므로 벨트(113)의 이동에 의해 제 1 축 방향으로 이동할 수 있으나, 프레임(110)에 가이드봉(115)이 형성되고 트레이 이송 부재(120)는 가이드봉(115)에 제 1 축 방향으로 이동가능하게 결합됨으로써, 트레이 이송 부재(120)는 가이드봉(115)에 의해 제 1 축 방향으로 더욱 원활하게 이동할 수 있게 된다.On the other hand, the frame 110 may further include a guide rod 115 formed in parallel to the belt 113. Since the tray conveying member 120 is fixedly coupled to the belt 113, the tray conveying member 120 may move in the first axial direction by the movement of the belt 113, but the guide rod 115 is formed in the frame 110, and the tray conveying member is formed. 120 is movably coupled to the guide rod 115 in the first axial direction, so that the tray conveying member 120 can be moved more smoothly in the first axial direction by the guide rod 115.

이 경우, 트레이 이송 부재(120)에는 가이드봉(115)이 끼워질 수 있도록, 가이드구(124)를 구비할 수 있으며, 상기 가이드구(124)가 상기 제 1 이동 부재(120)로부터 이탈되지 않도록 이탈방지 부재(125)를 장착할 수 있다. 또한, 제 1 이동 부재(120)에는 상기 가이드구(124)가 수용될 수 있도록, 하우징 수용부(121)가 형성될 수 있다.In this case, the tray transfer member 120 may be provided with a guide tool 124 so that the guide rod 115 may be fitted, and the guide tool 124 may not be separated from the first moving member 120. To prevent the separation member 125 may be mounted. In addition, a housing accommodating part 121 may be formed in the first moving member 120 to accommodate the guide mechanism 124.

한편, 트레이 이송 부재(120)는 벨트고정부(123)를 더 구비할 수 있다. 상기 벨트고정부(123)는 제 1 이동 부재(120)의 일 측에 형성되어 벨트(113)에 고정결합되어, 벨트(113)의 이동과 함께 상기 트레이 이송 부재(120)도 이동하게 한다. 이러한 벨트고정부(123)는, 복수의 부재들이 벨트의 상,하면을 접촉하면서 결합되도록 이루어질 수 있다.Meanwhile, the tray transfer member 120 may further include a belt fixing part 123. The belt fixing part 123 is formed on one side of the first moving member 120 to be fixedly coupled to the belt 113, so that the tray transfer member 120 also moves along with the movement of the belt 113. The belt fixing part 123 may be configured such that a plurality of members are coupled while contacting the upper and lower surfaces of the belt.

이상과 같이, 본 발명에 따른 핸들러용 트레이 이송장치는, 벨트 처짐 방지수단이 벨트를 팽팽하게 유지시켜 주기 때문에, 벨트의 처짐을 방지하는 효과가 있 다.As described above, the tray feeder for the handler according to the present invention has an effect of preventing the belt from sagging because the belt sagging prevention means keeps the belt taut.

또한, 풀리와 벨트가 정확하게 구동되게 하여 트레이 이송 부재가 프레임 상에서 정확한 위치에 이동되게 하는 효과가 있다.In addition, there is an effect that the pulley and the belt is driven accurately so that the tray conveying member is moved to the correct position on the frame.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and any person skilled in the art to which the present invention pertains may have various modifications and equivalent other embodiments. Will understand. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

Claims (6)

핸들러에 구비된 것으로, 테스트 트레이를 제 1 축 방향으로 이송하는 핸들러용 트레이 이송장치에 있어서,In the handler, the tray feeder for transferring the test tray in the first axis direction, 본 발명에 따른 핸들러용 트레이 이송장치는: 풀리장치와, 상기 풀리장치에 구비된 풀리들을 연결하는 벨트와, 상기 벨트를 구동하는 모터를 구비하는 프레임;A tray feeder for a handler according to the present invention comprises: a frame having a pulley device, a belt connecting pulleys provided in the pulley device, and a motor for driving the belt; 상기 벨트에 고정 결합되어 상기 벨트의 이동경로를 따라 제 1 축 방향으로 이동하는 트레이 이송 부재; 및A tray conveying member fixedly coupled to the belt and moving in a first axial direction along a movement path of the belt; And 상기 트레이 이송 부재에 결합된 것으로, 상기 벨트를 탄성 지지하여 상기 벨트의 처짐을 방지하는 벨트 처짐 방지수단;을 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.And a belt sag preventing means coupled to the tray conveying member to elastically support the belt to prevent sagging of the belt. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 벨트 처짐 방지수단은;The belt sagging prevention means; 상기 트레이 이송 부재에 상하로 이동가능하게 결합된 것으로, 상기 벨트에 접촉되는 벨트 지지용 롤러를 구비하는 슬라이딩부; 및A sliding part coupled to the tray transfer member so as to be movable up and down, the sliding part having a belt support roller in contact with the belt; And 상기 슬라이딩부와 상기 트레이 이송 부재 사이에 개재되어, 상기 슬라이딩부를 탄성 지지하는 탄성부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.And an elastic member interposed between the sliding portion and the tray conveying member to elastically support the sliding portion. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 슬라이딩부에는, 상기 슬라이딩부의 적어도 한 면을 관통하게 형성된 결합용 홀이 형성되고,The sliding portion is formed with a coupling hole formed to penetrate at least one surface of the sliding portion, 상기 트레이 이송부재에는, 상기 결합용 홀을 관통하고, 상기 슬라이딩부와 상기 트레이 이송부재에 고정결합되어, 상기 슬라이딩부가 상기 트레이 이송 부재에 대해 이탈되지 않고 슬라이딩 이동하게 하는 가이드 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.The tray conveying member includes a guide member penetrating the coupling hole and fixedly coupled to the sliding part and the tray conveying member to allow the sliding part to slide without being separated from the tray conveying member. Tray feeder for handlers. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 트레이 이송 부재에는, 상기 가이드 부재가 형성된 결합면에 대해 절곡되게 형성된 안착면이 형성되고,The tray conveying member is provided with a seating surface formed to be bent with respect to the engaging surface on which the guide member is formed, 상기 탄성부재는 상기 슬라이딩부의 하측과 상기 트레이 이송 부재의 안착면의 상측 사이에 개재된 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.And the elastic member is interposed between the lower side of the sliding portion and the upper side of the seating surface of the tray transfer member. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 핸들러는 상기 테스트 트레이에 결합된 반도체 칩들을 테스트하는 테스트부를 구비하며,The handler includes a test unit for testing the semiconductor chips coupled to the test tray, 상기 테스트부는 상기 테스트 트레이에 대해 수평으로 나란하게 예열룸와, 테스트룸과, 냉각룸을 구비하고,The test unit includes a preheating room, a test room, and a cooling room parallel to the test tray horizontally, 상기 핸들러용 트레이 이송장치는 테스트룸 내에 배치된 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.The tray feeder for the handler, characterized in that disposed in the test room. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프레임은, 상기 벨트에 대해 평행하게 형성된 가이드봉을 더 구비하고,The frame further includes a guide rod formed parallel to the belt, 상기 트레이 이송 부재는 상기 가이드봉에 제 1 축 방향으로 이동가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 핸들러용 트레이 이송장치.And the tray conveying member is movably coupled to the guide rod in a first axial direction.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980074386A (en) * 1997-03-25 1998-11-05 윤종용 Belt Conveyor in Handler System for Semiconductor Test
KR100384622B1 (en) 2000-12-05 2003-05-22 미래산업 주식회사 Handler for testing device
KR20030041208A (en) * 2001-11-19 2003-05-27 미래산업 주식회사 Picker for picking device in handler
KR100560729B1 (en) 2005-03-22 2006-03-14 미래산업 주식회사 Handler for testing semiconductor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980074386A (en) * 1997-03-25 1998-11-05 윤종용 Belt Conveyor in Handler System for Semiconductor Test
KR100384622B1 (en) 2000-12-05 2003-05-22 미래산업 주식회사 Handler for testing device
KR20030041208A (en) * 2001-11-19 2003-05-27 미래산업 주식회사 Picker for picking device in handler
KR100560729B1 (en) 2005-03-22 2006-03-14 미래산업 주식회사 Handler for testing semiconductor

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