KR100807598B1 - An Indexer For POD - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 자재 저장용기용 인덱서에 관한 것으로서, 후면 일측에 개구가 형성된 본체, 상기 개구의 전면 일측에 설치되어 상기 반도체 자재가 수납된 저장용기가 안착되는 스테이지, 중앙에 상기 스테이지가 수용가능하도록 개구부가 형성된 포트 플레이트, 상기 포트 플레이트의 후단에 결합되어 상기 포트 플레이트의 승하강에 따라 상기 개구를 개폐하는 윈도우, 상기 포트 플레이트 상에 설치되고 상기 저장용기를 고정시키는 클램프 및 상기 포트 플레이트를 수직 이동시키는 수직 이송부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an indexer for a storage container for semiconductor materials, comprising: a body having an opening formed at one side of a rear surface thereof, a stage installed at one side of the front surface of the opening, and having a storage container in which the semiconductor material is accommodated; A port plate having an opening formed therein, a window coupled to a rear end of the port plate to open and close the opening as the port plate moves up and down, a clamp installed on the port plate and fixing the storage container, and vertical movement of the port plate It characterized in that it comprises a vertical transfer unit.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 장치의 소형화가 가능하고, 파드의 비정상적인 장착에 따른 클램프의 파손을 방지할 수 있으며, 장애물로 인한 상해 사고 및 장치의 파손을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, it is possible to miniaturize the device, to prevent the damage of the clamp due to the abnormal mounting of the pod, it is possible to prevent injuries due to obstacles and damage of the device in advance.

파드, 인덱서, 마스크, SMIF, SEMI, FIMS. Pod, Indexer, Mask, SMIF, SEMI, FIMS.

Description

반도체 자재 저장용기용 인덱서{An Indexer For POD}Indexer for semiconductor material storage container {An Indexer For POD}

도 1은 본 발명에 따른 반도체 자재 저장용기용 인덱서의 전면 사시도이다.1 is a front perspective view of an indexer for a semiconductor material storage container according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 인덱서의 내부 구조를 도시한 도면이다.2 is a diagram illustrating an internal structure of an indexer according to the present invention.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 반도체 자재 저장용기용 인덱서의 후면 사시도로서, 도 3은 윈도우가 하강한 상태이고 도 4는 윈도우가 상승한 상태를 나타낸 것이다.3 and 4 are rear perspective views of the indexer for a semiconductor material storage container according to the present invention, and FIG. 3 shows a state in which the window is lowered and FIG. 4 shows a state in which the window is raised.

도 5는 스테이지 및 스테이지 회전부의 구조를 도시한 도면이다.5 is a diagram illustrating the structure of the stage and the stage rotating unit.

도 6은 본 발명에 따른 클램프의 구조를 도시한 도면이다.6 is a view showing the structure of a clamp according to the present invention.

도 7은 클램프의 분해 사시도이다.7 is an exploded perspective view of the clamp.

도 8은 클램프의 동작을 설명하기 위한 단면도이다.8 is a cross-sectional view for explaining the operation of the clamp.

<주요도면부호에 관한 설명><Description of main drawing code>

10 : 본체 20 : 스테이지10: main body 20: stage

30 : 포트 플레이트 40 : 클램프30: port plate 40: clamp

50 : 제 1 모터 55 : 제 1 벨트50: first motor 55: first belt

60 : 결합 블록 70 : 가로연결 부재60: coupling block 70: horizontal connection member

80 : 고정 브라켓 90 : 지지 패널80: fixing bracket 90: support panel

100 : 윈도우 110 : 공기 유입구100: window 110: air inlet

120 : 스테이지 회전부 121 : 제 2 모터120: stage rotation part 121: second motor

123 : 제 2 벨트 125 : 위치 고정용 핀123: second belt 125: pin for position fixing

200 : 파드 300 : 마스크200: Pod 300: Mask

본 발명은 반도체 자재 저장용기용 인덱서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 파드 도어가 장착되는 스테이지가 고정되고 파드 커버가 장착된 포트 플레이트가 승하강하도록 하여 장치를 소형화할 수 있고 윈도우 하단에 공기 유입구를 설치하여 후단으로부터 유입되는 청정공기의 순환작용에 의해 본체 내부를 청정상태로 유지할 수 있도록 하는 인덱서에 관한 것이다.The present invention relates to an indexer for a semiconductor material storage container, and more particularly, a device in which a stage on which a pod door is mounted is fixed and a port plate equipped with a pod cover can be raised and lowered and an air inlet at the bottom of a window The present invention relates to an indexer for installing and maintaining the inside of the main body in a clean state by the circulation of clean air flowing from the rear end.

인덱서(Indexer)는 반도체 제조 공정에서 마스크(Mask) 또는 웨이퍼(Wafer) 등의 자재의 반송과 관련된 자동화 장비로서, 세계 반도체 협회의 하나인 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)에서 권고하는 표준안 중 FIMS(Front-opening Interface Mechanical Standard) 시스템을 구성하는 장비에 포함된다.Indexer is an automated equipment related to the transfer of materials such as masks or wafers in the semiconductor manufacturing process.It is one of the standards recommended by SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International), a member of the World Semiconductor Association. Front-opening Interface Mechanical Standard).

FIMS 시스템 중에서 본 발명의 인덱서는 마스크 등의 반도체 자재가 적재된 파드의 파드 도어를 파드 커버와 분리하여 파드에 수납된 반도체 자재를 작업자가 반출할 수 있도록 하는 장치에 관한 것이다.Among the FIMS systems, the indexer of the present invention relates to an apparatus for separating a pod door of a pod on which semiconductor materials such as a mask is loaded from a pod cover so that a worker can take out semiconductor materials stored in the pod.

출원인은 이와 관련하여 국내등록특허 10-0540973호에서 저면에 위치한 베이스, 상기 베이스 상에 위치하고 내부가 개방되고 일측에 상기 반도체 자재 반출을 위한 개구부가 형성된 메인 플레이트, 상기 메인 플레이트의 상부에 설치되어 상기 반도체 자재 저장용기가 안착되고 중앙측에 개구부가 형성된 포트 플레이트, 상기 포트 플레이트의 개구부에 위치하여 상기 반도체 자재 저장용기의 카세트가 안착되는 스테이지, 상기 메인 플레이트의 내부 일측에 설치되어 상기 스테이지를 수직 이동시키는 수직 이송부 및 상기 포트 플레이트의 하측에서 상기 메인 플레이트의 내측에 설치되어 상기 스테이지에 안착된 카세트를 연결장비측으로 로딩하는 카세트 로딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자재 저장용기 반송용 로더장치를 제안한 바 있다.Applicant is related to the base plate located at the bottom in the domestic registration No. 10-0540973 in this regard, the main plate is located on the base is opened and the opening is formed on one side for the export of the semiconductor material, the upper plate is installed on the A port plate in which a semiconductor material storage container is seated and an opening is formed in the center side, a stage located at an opening of the port plate, and a stage in which the cassette of the semiconductor material storage container is seated, is installed on one inner side of the main plate to vertically move the stage. And a cassette loading part installed in the main plate at the lower side of the port plate and loading the cassette seated on the stage to the connection equipment side. have .

그러나, 상기와 같은 로더장치에 의할 경우에는 스테이지가 상하 이동해야 하므로 스테이지의 이동 공간을 충분히 확보해야 하고, 따라서 로더장치의 부피가 증가하는 문제점이 있다.However, in the case of the loader device as described above, the stage must move up and down, so that a sufficient space for moving the stage must be secured, thus increasing the volume of the loader device.

또한, 상기 로더장치는 후단의 로봇 장치가 상대적으로 높은 위치에 있는 경우에는 적당하지 못하며 이러한 경우에는 장치가 높아져 차지하는 부피가 증가되는 문제점이 있다.In addition, the loader device is not suitable when the robot device of the rear end is in a relatively high position, and in this case, there is a problem in that the volume of the device is increased due to the increase of the device.

또한, 상기 등록특허에서 자재용기가 포트 플레이트 상에 정상적으로 장착되지 않은 경우 클램핑 동작 시에 클램프에 무리한 힘이 가해져서 클램프가 파손되는 문제점이 발생하였다.In addition, in the registered patent, when the material container is not normally mounted on the port plate, an excessive force is applied to the clamp during the clamping operation, thereby causing a problem that the clamp is broken.

따라서 상기의 문제점을 해결할 수 있는 장치에 대한 필요성이 심각하게 대두되고 있는 실정이다.Therefore, there is a serious need for a device that can solve the above problems.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 수직 이송부가 로드포트를 수직 이동시킴으로써 장치의 소형화가 가능한 반도체 자재 저장용기용 인덱서를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide an indexer for a semiconductor material storage container capable of miniaturizing the device by vertically moving the load port vertically.

본 발명의 다른 목적은 자재용기가 포트 플레이트 상에 정상적으로 장착되지 않아 클램핑 동작 시에 클램프에 일정 이상의 힘이 가해지는 경우 클램프가 더 이상 회전하지 않도록 하여 클램프의 파손을 방지할 수 있도록 하는 반도체 자재 저장용기용 인덱서를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to store the semiconductor material to prevent the breakage of the clamp by preventing the clamp from rotating any more when a certain amount of force is applied to the clamp during the clamping operation because the material container is not normally mounted on the port plate It is to provide a container indexer.

본 발명의 또 다른 목적은 포트 플레이트의 후단에 윈도우를 설치하고 윈도우 하단에 공기 유입구를 형성함으써 윈도우가 닫혀있는 동안 장치 내부로 청정 공기를 유입시켜 장치 내부를 청정상태로 유지할 수 있도록 하는 반도체 자재 저장용기용 인덱서를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to install a window at the rear end of the port plate and to form an air inlet at the bottom of the window to allow clean air to flow into the device while the window is closed, thereby maintaining the inside of the device in a clean state. To provide an indexer for storage containers.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 후면 일측에 개구가 형성된 본체, 상기 개구의 전면 일측에 설치되어 상기 반도체 자재가 수납 된 저장용기가 안착되는 스테이지, 중앙에 상기 스테이지가 수용가능하도록 개구부가 형성된 포트 플레이트, 상기 포트 플레이트의 후단에 결합되어 상기 포트 플레이트의 승하강에 따라 상기 개구를 개폐하는 윈도우, 상기 포트 플레이트 상에 설치되고 상기 저장용기를 고정시키는 클램프 및 상기 포트 플레이트를 수직 이동시키는 수직 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자재 저장용기용 인덱서가 제공된다.According to one aspect of the present invention for achieving the above object, the main body is formed with an opening on one side of the rear side, the stage is installed on one side of the front surface of the opening is a storage container for storing the semiconductor material, the stage is in the center A port plate having an opening formed to be receivable, a window coupled to a rear end of the port plate to open and close the opening as the port plate moves up and down, a clamp installed on the port plate and fixing the storage container, and the port plate An indexer for a semiconductor material storage container is provided, including a vertical transfer part configured to vertically move.

여기서, 상기 클램프는 상단에 수직방향으로 단턱이 형성된 돌기부를 갖는 모터, 내부가 개방되어 상기 돌기부가 수용되고 일측에 홀이 형성된 회전 몸체, 상기 홀에 삽입되고 삽입된 일단부에 볼이 탄성적으로 취부되어 상기 볼이 상기 돌기부의 단턱에 걸림결합되는 걸림부재 및 상기 회전 몸체의 상단부에 형성되고 상기 자재용기를 고정적으로 파지하는 파지부를 포함하는 것이 바람직하다.Here, the clamp is a motor having a projection having a stepped portion in the vertical direction at the upper end, a rotating body in which the protrusion is received and a hole is formed at one side, the ball is elastically inserted into one end inserted into the hole It is preferable to include a catching member which is installed and the ball is engaged to the stepped portion of the protrusion, and a gripping portion which is formed at the upper end of the rotating body and fixedly grips the material container.

또한, 상기 윈도우의 하단에는 공기 유입구가 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the lower end of the window is preferably formed with an air inlet.

또한, 상기 수직 이송부는 상기 포트 플레이트의 일측에 결합되어 상기 포트 플레이트를 지지하는 한 쌍의 지지 플레이트, 상기 각 지지 플레이트를 가로 방향으로 연결하는 가로연결 부재, 모터, 상기 모터에 결합되어 수직방향으로 회전하는 벨트 및 상기 벨트와 상기 가로연결 부재를 결합시키는 결합 블록을 포함하여 구성된다.In addition, the vertical transfer unit is coupled to one side of the port plate and a pair of support plates for supporting the port plate, a horizontal connecting member for connecting the respective support plates in the horizontal direction, a motor, coupled to the motor in the vertical direction It comprises a rotating belt and a coupling block for coupling the belt and the horizontal connecting member.

또한, 상기 스테이지의 하단에는 상기 스테이지를 회전시키는 스테이지 회전부가 위치하는 것이 보다 바람직하다.In addition, it is more preferable that the stage rotating unit for rotating the stage is located at the lower end of the stage.

또한, 상기 스테이지의 하면에는 위치 고정용 홀이 형성되고, 상기 스테이지 의 하부에는 위치 고정용 핀이 승강 가능하도록 설치되어 상기 위치 고정용 핀의 승강에 의해 상기 스테이지의 위치가 고정되도록 하는 것이 더욱 바람직하다.In addition, the lower surface of the stage is formed with a position fixing hole, the lower portion of the stage is installed so that the position fixing pins can be lifted more preferably to fix the position of the stage by the lifting of the position fixing pins. Do.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 자재 저장용기용 인덱서의 전면 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 인덱서의 내부 구조를 도시한 도면이다.1 is a front perspective view of an indexer for a semiconductor material storage container according to the present invention, Figure 2 is a view showing the internal structure of the indexer according to the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 자재 저장용기용 인덱서는 본체(10), 스테이지(20), 포트 플레이트(30), 클램프(40) 및 수직 이송부를 포함하여 구성된다.1 and 2, the indexer for a semiconductor material storage container according to the present invention includes a main body 10, a stage 20, a port plate 30, a clamp 40, and a vertical transfer unit.

본체(10)는 직육면체 형상으로 형성되고 상부면 후단에 후면 플레이트(15)가 설치되어 있다. 후면 플레이트(15)에는 개구(15a)가 형성되어 반도체 자재인 마스크가 후단의 로봇 장치에 의해 반출된다. The main body 10 is formed in a rectangular parallelepiped shape and a rear plate 15 is installed at the rear end of the upper surface. An opening 15a is formed in the back plate 15 so that a mask made of a semiconductor material is carried out by the robot apparatus of the rear end.

스테이지(20)는 본체(10)의 내부 일측에 설치되어 파드(200)의 저면부인 파드 도어(210)가 안착되는 부분으로서 도 5에서 상세하게 설명하기로 한다.The stage 20 is installed on one side of the main body 10 and is described in detail with reference to FIG. 5 as a part in which the pod door 210, which is a bottom portion of the pod 200, is seated.

포트 플레이트(30)는 파드 커버(220)가 안착되는 부분으로서 중앙에 스테이지(20)가 수용가능하도록 개구부가 형성되어 있다. 저장용기인 파드(200)를 개방 동작을 개시하기 위한 동작 버튼(33) 및 동작 상태를 표시하는 상태 표시램프(35)가 설치되어 있다. 또한, 포트 플레이트(30)의 상면에는 파드 커버(220)의 장착을 가이드하는 가이드 부재(31)가 각 코너에 설치되어 있고 좌우 양측에는 장착된 파드(200)를 고정적으로 파지하는 클램프(40)가 설치되어 있다. 본 발명에서 클램프(40)는 파드(200)가 포트 플레이트(30) 상에 정상적으로 장착되지 않아 클램핑 동작 시 클램프(40)에 일정 이상의 힘이 가해지는 경우 공회전하도록 하는 구조를 취하고 있으며, 이에 대해서는 추후 상세하게 설명하기로 한다.The port plate 30 is a portion in which the pod cover 220 is seated, and an opening is formed in the center to accommodate the stage 20. An operation button 33 for starting the opening operation of the pod 200, which is a storage container, and a state display lamp 35 for displaying the operation state are provided. In addition, the upper surface of the port plate 30 is provided with a guide member 31 for guiding the mounting of the pod cover 220 at each corner, and clamp 40 for holding the pod 200 mounted on both left and right sides. Is installed. In the present invention, the clamp 40 has a structure such that the pod 200 is not normally mounted on the port plate 30 so that the clamp 40 rotates when a predetermined force or more is applied to the clamp 40 during the clamping operation. It will be described in detail.

수직 이송부는 포트 플레이트(30)를 승강시키기 위한 것으로서, 포트 플레이트(30)의 일측에 결합되어 포트 플레이트(30)를 지지하는 한 쌍의 지지 플레이트(90), 각 지지 플레이트와 고정 브라켓(80)을 통해 결합되어 가로 방향으로 연결하는 가로연결 부재(70), 회전력을 제공하는 제 1 모터(50), 제 1 모터에 결합되어 수직방향으로 회전하는 제 1 벨트(55) 및 제 1 벨트(55)와 가로연결 부재(70)를 결합시키는 결합 블록(60)을 포함하여 구성된다.The vertical transfer unit is for lifting the port plate 30, a pair of support plates 90 coupled to one side of the port plate 30 to support the port plate 30, each support plate and the fixing bracket 80 Horizontal connecting member 70 is coupled through the connection in the horizontal direction, the first motor 50 provides a rotational force, the first belt 55 and the first belt 55 is coupled to the first motor to rotate in the vertical direction ) And a coupling block 60 for coupling the horizontal connecting member 70.

스테이지(20)가 포트 플레이트(30)의 개구부에 수용된 상태에서 파드(200)가 스테이지(20) 상에 장착된다. 이 상태에서 작업자가 동작 버튼(33)을 누르면 스테이지(20) 상부에 위치한 래치 키(미도시)가 동작하여 파드 커버(220)를 파드 도어(210)로부터 분리시키게 되면, 수직 이송부의 작동에 의해 포트 플레이트(30)가 상방으로 이동하여 분리된 파드 커버(220)를 상방 이동시키게 된다. 파드 커버(220)가 파드 도어(210)로부터 완전히 분리되면 후단의 로봇 장치가 파드 도어(210)에 수납된 마스크(300)를 후단 공정으로 반출시키게 된다.The pod 200 is mounted on the stage 20 with the stage 20 accommodated in the opening of the port plate 30. In this state, when the operator presses the operation button 33, the latch key (not shown) located above the stage 20 is operated to separate the pod cover 220 from the pod door 210. The port plate 30 moves upward to move the separated pod cover 220 upward. When the pod cover 220 is completely separated from the pod door 210, the robot apparatus of the rear stage may carry out the mask 300 stored in the pod door 210 in the rear stage process.

본 실시예에서는 포트 플레이트(30)를 승강시키기 위한 수단으로서 벨트 구조를 예시하고 있으나, 본 발명은 이에 국한되지 않고 실린더 등의 각종 승강 수단 이 사용될 수 있음은 물론이다. In this embodiment, the belt structure is illustrated as a means for elevating the port plate 30, but the present invention is not limited thereto, and various lifting means such as a cylinder can be used.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 반도체 자재 저장용기용 인덱서의 후면 사시도로서, 도 3은 윈도우가 하강한 상태이고 도 4는 윈도우가 상승한 상태를 나타낸 것이다.3 and 4 are rear perspective views of the indexer for a semiconductor material storage container according to the present invention, and FIG. 3 shows a state in which the window is lowered and FIG. 4 shows a state in which the window is raised.

도 3에 도시된 바와 같이, 포트 플레이트(30)의 후단에는 윈도우(100)가 수직방향으로 설치되어 포트 플레이트(30)의 승하강에 따라 개구(15a)를 개폐하도록 되어 있다. 윈도우(100)의 하단에는 공기 유입구(110)가 형성되어 있다. 공기 유입구(110)는 윈도우(100)와 일체로 형성하거나 별도의 부품으로 제작되어 결합되는 것이 가능하다.As shown in FIG. 3, the rear end of the port plate 30 is provided with a window 100 in the vertical direction to open and close the opening 15a as the port plate 30 moves up and down. An air inlet 110 is formed at the bottom of the window 100. The air inlet 110 may be integrally formed with the window 100 or may be manufactured and combined with a separate component.

초기 상태에서는 포트 플레이트(30)가 하강한 상태이므로 윈도우(100)가 개구(15a)를 막고 있는 상태가 되며, 윈도우(100) 하단의 공기 유입구(110)를 통해 후단의 청정공기가 본체(10)의 내부로 유입되게 된다. 장치 내부로 유입된 청정공기는 본체(10)의 하단에 설치된 팬(미도시)에 의해 외부로 배기되며, 이러한 청정공기의 순환작용에 의해 본체(10) 내부를 청정상태로 유지할 수 있게 된다. In the initial state, since the port plate 30 is in the lowered state, the window 100 is blocking the opening 15a, and the clean air at the rear end is disposed through the air inlet 110 at the bottom of the window 100. ) Will flow into the interior. The clean air introduced into the apparatus is exhausted to the outside by a fan (not shown) installed at the bottom of the main body 10, and the inside of the main body 10 can be kept clean by the circulation of the clean air.

도 4에 도시된 바와 같이, 포트 플레이트(30)가 상승하면 윈도우(100)가 동반 상승하여 개구(15a)를 개방하게 되어 후단의 청정공기가 스테이지(20) 단으로 유입되어 마스크(300)를 청정상태로 유지하게 된다.As shown in FIG. 4, when the port plate 30 rises, the window 100 rises together to open the opening 15a so that the clean air at the rear end flows into the stage 20 stage to open the mask 300. Keep it clean.

도 5는 스테이지(20) 및 스테이지 회전부(120)의 구조를 도시한 도면이다.5 is a diagram illustrating the structure of the stage 20 and the stage rotating unit 120.

도 5에 도시된 바와 같이, 스테이지(20) 상에는 파드(200)의 파드 도어(210)가 안착된다.As shown in FIG. 5, the pod door 210 of the pod 200 is seated on the stage 20.

스테이지(20)의 하단에는 스테이지(20)를 회전시키는 스테이지 회전부(120)가 위치하여 파드 도어(210)에 수납된 마스크(300)의 반출 방향을 조절할 수 있게 되어 있다. The stage rotating unit 120 for rotating the stage 20 is located at the lower end of the stage 20 to adjust the carrying out direction of the mask 300 accommodated in the pod door 210.

스테이지 회전부(120)는 회전력을 제공하는 제 2 모터(121)와 제 2 모터(121)에 의해 구동되는 제 2 벨트(123)로 구성된다.The stage rotating part 120 is composed of a second motor 121 that provides a rotational force and a second belt 123 driven by the second motor 121.

스테이지(20)의 하면에는 위치 고정용 홀(미도시)이 형성되어 있고, 스테이지(20)의 하부에는 위치 고정용 핀(125)이 승강 가능하도록 설치되어 위치 고정용 핀(125)의 승강에 의해 스테이지(20)의 위치가 고정되도록 되어 있다.Position fixing holes (not shown) are formed in the lower surface of the stage 20, and the position fixing pin 125 is installed at the lower portion of the stage 20 so that the position fixing pin 125 can be lifted and lowered by the position fixing pin 125. As a result, the position of the stage 20 is fixed.

도 6은 본 발명에 따른 클램프의 구조를 도시한 도면, 도 7은 클램프의 분해 사시도, 도 8은 클램프의 동작을 설명하기 위한 단면도이다.Figure 6 is a view showing the structure of the clamp according to the present invention, Figure 7 is an exploded perspective view of the clamp, Figure 8 is a cross-sectional view for explaining the operation of the clamp.

도 6 ~ 8을 참조하면, 본 발명에 따른 클램프(40)는 상단에 수직방향으로 단턱(47a)이 형성된 돌기부(47)를 갖는 모터(46), 내부가 개방된 원통 형상으로서 돌기부(47)가 수용되고 일측에 홀(미도시)이 형성된 회전 몸체(44), 홀에 삽입되고 삽입된 일단부에 볼(453)이 탄성적으로 취부되어 볼(453)이 돌기부(47)의 단턱(47a)에 걸림 결합되는 걸림부재(45) 및 회전 몸체의 상단부에 형성되고 파드(200)를 고정적으로 파지하는 파지부(43)를 포함하여 구성된다.6 to 8, the clamp 40 according to the present invention includes a motor 46 having a protrusion 47 having a stepped portion 47a formed in a vertical direction at an upper end thereof, and a protrusion 47 having a cylindrical shape inside. Is accommodated and the rotating body 44 has a hole (not shown) formed on one side, the ball 453 is elastically mounted at one end inserted into the hole and the ball 453 is the stepped portion 47a of the protrusion 47. It is configured to include a gripping member 43 is formed on the upper end of the engaging member 45 and the rotating body is engaged to the holding and holding the pod 200 fixedly.

따라서, 모터(46)의 회전에 의해 원통형의 회전 몸체(44)가 연동되어 회전하 고, 회전 몸체(44)의 상단부에 결합된 파지부(43)가 동반 회전하여 파드(200)를 고정적으로 파지하게 된다. Accordingly, the cylindrical rotating body 44 rotates by the rotation of the motor 46, and the grip part 43 coupled to the upper end of the rotating body 44 rotates together to fix the pod 200. Will be gripped.

본 발명에서는 파드(200)가 포트 플레이트(30) 상에 정상적으로 장착되지 않아 클램핑 동작 시에 클램프(40)에 무리한 힘이 가해져 클램프가 파손되는 것을 방지하기 위해 도 8과 같은 걸림부재(45)의 구조를 취한다.In the present invention, since the pod 200 is not normally mounted on the port plate 30, an excessive force is applied to the clamp 40 during the clamping operation to prevent the clamp from being broken. Take the structure

즉, 걸림부재(45)는 개방된 내부에 스프링 등의 탄성 부재(455)가 설치되고 선단부에 볼(453)의 일부가 외부로 돌출된 구조이며, 돌기부(47)가 모터(46)에 의해 회전하면 단턱(47a)이 볼(453)에 접하여 모터(46)의 회전력이 볼(453)에 전달되어 걸림부재(45)가 회전하고, 그에 따라 걸림부재(45)와 결합된 회전 몸체(44) 및 파지부(43)가 회전하게 된다. That is, the locking member 45 is a structure in which an elastic member 455, such as a spring, is installed in an open interior, and a part of the ball 453 protrudes outward from the front end thereof, and the protrusion 47 is driven by the motor 46. When rotated, the step 47a is in contact with the ball 453 so that the rotational force of the motor 46 is transmitted to the ball 453 so that the locking member 45 rotates, thereby rotating the body 44 coupled with the locking member 45. ) And the grip 43 is rotated.

이 상태에서 파드(200)가 포트 플레이트(30) 상에 정상적으로 장착되지 않은 경우에는 회전 시 파지부(43)가 파드(200)의 일측에 부딪혀 정지하게 되고, 계속 회전하는 돌기부(47)의 회전력에 의해 돌기부(47)의 단턱(47a)이 볼(453)을 눌러 볼(453)의 돌출된 부분이 걸림부재(45)의 내부로 삽입되면서 돌기부(47)가 공회전하게 되어 클램프(40)의 손상을 방지할 수 있게 된다.In this state, when the pod 200 is not normally mounted on the port plate 30, the grip 43 stops by hitting one side of the pod 200 during rotation, and the rotational force of the protrusion 47 continues to rotate. The stepped portion 47a of the protrusion 47 presses the ball 453 so that the protruding portion of the ball 453 is inserted into the locking member 45 so that the protrusion 47 is idling. Damage can be prevented.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 수직 이송부가 로드포트를 수직 이동시킴으로써 장치의 소형화가 가능한 반도체 자재 저장용기용 인덱서를 제공할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, the vertical transfer unit has an effect that can provide an indexer for a semiconductor material storage container capable of miniaturization of the device by vertically moving the load port.

또한, 자재용기가 포트 플레이트 상에 정상적으로 장착되지 않아 클램핑 동작 시에 클램프에 일정 이상의 힘이 가해지는 경우 클램프가 더 이상 회전하지 않도록 하여 클램프의 파손을 방지할 수 있는 효과도 있다.In addition, when a material container is not normally mounted on the port plate and a clamp force is applied to the clamp during the clamping operation, the clamp does not rotate any more, thereby preventing damage to the clamp.

또한, 포트 플레이트의 후단에 윈도우를 설치하고 윈도우 하단에 공기 유입구를 형성함으써 윈도우가 닫혀있는 동안 장치 내부로 청정 공기를 유입시켜 장치 내부를 청정상태로 유지할 수 있도록 하는 효과도 있다.In addition, by installing a window at the rear end of the port plate and forming an air inlet at the bottom of the window, clean air is introduced into the device while the window is closed, thereby maintaining the inside of the device in a clean state.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications or variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the appended claims will cover such modifications and variations as fall within the spirit of the invention.

Claims (6)

반도체 자재 저장용기용 인덱서에 있어서,In the indexer for a semiconductor material storage container, 후면 일측에 개구가 형성된 본체;A body having an opening formed at one side of the rear surface; 상기 개구의 전면 일측에 설치되어 상기 반도체 자재가 수납된 저장용기가 안착되는 스테이지;A stage installed at one side of the front surface of the opening to accommodate the storage container in which the semiconductor material is stored; 중앙에 상기 스테이지가 수용가능하도록 개구부가 형성된 포트 플레이트;A port plate having an opening formed at the center thereof to accommodate the stage; 상기 포트 플레이트의 후단에 결합되어 상기 포트 플레이트의 승하강에 따라 상기 개구를 개폐하는 윈도우;A window coupled to a rear end of the port plate to open and close the opening as the port plate moves up and down; 상기 포트 플레이트 상에 설치되고 상기 저장용기를 고정시키는 클램프; 및A clamp installed on the port plate to fix the reservoir; And 상기 포트 플레이트를 수직 이동시키는 수직 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자재 저장용기용 인덱서.And a vertical transfer part for vertically moving the port plate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 클램프는The clamp is 상단에 수직방향으로 단턱이 형성된 돌기부를 갖는 모터;A motor having a protrusion formed at a top in a vertical direction at the top; 내부가 개방되어 상기 돌기부가 수용되고 일측에 홀이 형성된 회전 몸체;A rotating body in which the protrusion is accommodated and the hole is formed at one side thereof; 상기 홀에 삽입되고 삽입된 일단부에 볼이 탄성적으로 취부되어 상기 볼이 상기 돌기부의 단턱에 걸림결합되는 걸림부재; 및A locking member inserted into the hole and elastically mounted at one end of the hole, the locking member engaging the step of the protrusion; And 상기 회전 몸체의 상단부에 형성되고 상기 저장용기를 고정적으로 파지하는 파지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자재 저장용기용 인덱서.An indexer for a semiconductor material storage container, characterized in that formed on the upper end of the rotating body and including a holding portion for holding the storage container fixedly. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 윈도우의 하단에는 공기 유입구가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 자재 저장용기용 인덱서.An indexer for a semiconductor material storage container, characterized in that the air inlet is formed at the bottom of the window. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수직 이송부는The vertical transfer unit 상기 포트 플레이트의 일측에 결합되어 상기 포트 플레이트를 지지하는 한 쌍의 지지 플레이트;A pair of support plates coupled to one side of the port plate to support the port plate; 상기 각 지지 플레이트를 가로 방향으로 연결하는 가로연결 부재;A horizontal connecting member connecting the supporting plates in a horizontal direction; 제 1 모터;A first motor; 상기 제 1 모터에 결합되어 수직방향으로 회전하는 제 1 벨트; 및A first belt coupled to the first motor and rotating in a vertical direction; And 상기 제 1 벨트와 상기 가로연결 부재를 결합시키는 결합 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 자재 저장용기용 인덱서.And a coupling block for coupling the first belt and the horizontal connecting member. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스테이지의 하단에는 상기 스테이지를 회전시키는 스테이지 회전부가 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체 자재 저장용기용 인덱서.An indexer for a semiconductor material storage container, characterized in that the stage rotating portion for rotating the stage is located at the bottom of the stage. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 스테이지의 하면에는 위치 고정용 홀이 형성되고,Position fixing holes are formed in the lower surface of the stage, 상기 스테이지의 하부에는 위치 고정용 핀이 승강 가능하도록 설치되어 상기 위치 고정용 핀의 승강에 의해 상기 스테이지의 위치가 고정되는 것을 특징으로 하는 반도체 자재 저장용기용 인덱서.An indexer for a semiconductor material storage container, characterized in that the position fixing pin is installed at the lower portion of the stage so that the position of the stage is fixed by raising and lowering the position fixing pin.
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