KR100793918B1 - Gas measuring device - Google Patents

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KR100793918B1
KR100793918B1 KR1020060065714A KR20060065714A KR100793918B1 KR 100793918 B1 KR100793918 B1 KR 100793918B1 KR 1020060065714 A KR1020060065714 A KR 1020060065714A KR 20060065714 A KR20060065714 A KR 20060065714A KR 100793918 B1 KR100793918 B1 KR 100793918B1
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gas
magnet
measuring device
gas measuring
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정일권
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삼성전기주식회사
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Abstract

A gas measuring device is provided to reduce the overall size of the device by integrating a sensor sensing smell or gas in the air, a pump guiding the air flow actively, and a measuring chamber, and by placing an optical waveguide sensor within the chamber. A gas measuring device comprises a chamber(100), a moving plate(140), a magnet(145), a plurality of coils(130), and a sensor(160). The chamber includes a plurality of gas inlets(110) on the bottom. The moving plate is elastically supported by a spring(150) within the chamber. The vertically mounted magnet is protruded upward in the center of the moving plate. The coils, mounted on an outer periphery of the magnet, are protruded downward on a circuit board(120) defined in an area except for a moving path of the magnet. The sensor is disposed on the bottom of the chamber. The coils are cylindrical to surround the outer periphery of the magnet, or provided in plural at regular intervals along the outer periphery of the magnet. The upper surface of the chamber, corresponding to the position of the magnet, allows entrance of the magnet.

Description

가스 측정 장치{GAS MEASURING DEVICE} Gas measuring instrument {GAS MEASURING DEVICE}

도 1은 종래 기술에 따른 가스 측정 장치 구조를 나타낸 정면도. 1 is a front view showing a gas detection apparatus according to the prior art structure.

도 2는 종래 기술에 따른 또 다른 가스 측정 장치의 구성도. Figure 2 is a schematic view of another gas measuring instrument according to the prior art.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 구조를 나타낸 사시도. 3 is a perspective view showing the structure of a gas measuring device according to a first embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도. 4 is a cross-sectional view of taken along the Ⅳ-Ⅳ 'line of Fig.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 코일의 위치를 상세하게 나타낸 도면. Figure 5 is a view showing in detail the position of the coil according to the first embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 변형예를 나타낸 단면도. 6 is a cross-sectional view showing a modified example of a gas detection apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 동작을 설명하기 위해 나타낸 단면도. 7 is a cross-sectional view showing for explaining the operation of the gas measuring device according to a first embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치의 구조를 나타낸 사시도. 8 is a perspective view showing the structure of a gas measuring device according to a second embodiment of the present invention.

도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도. 9 is a cross-sectional view of taken along the Ⅸ-Ⅸ 'line of Fig.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 코일의 위치를 상세하게 나타낸 도면. Figure 10 is shown in detail the position of the coil according to the second embodiment of the present invention.

도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치의 동작을 설명하기 위해 나타낸 단면도. 11 is a cross-sectional view showing for explaining the operation of the gas measuring device according to a second embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> <Description of the Related Art>

100 : 챔버 105 : 걸림턱 100: chamber 105: locking step

110 : 가스 출입공 120 : 회로기판 110: gas entry hole 120: circuit board

130 : 코일 140 : 유동판 130: Coil 140: flow plate

145 : 마그네트 150 : 스프링 145: magnet 150: spring

160 : 센서 170 : 밀폐 공간 160: sensor 170: closed space

본 발명은 가스 측정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공기 중의 냄새나 가스 등을 측정하는 센서와 공기의 흐름을 유도하는 펌프 및 측정용 챔버를 일체화시키고, 상기 챔버 내에 광도파로를 이용한 센서를 위치시켜 크기를 감소시킴으로써, 측정 속도 및 정확도를 향상시킬 수 있는 가스 측정 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a gas measurement apparatus, and more particularly, and integrating a pump and a measuring chamber for leading to the sensor and the flow of air to measure the odor or gas or the like from the air, positioning a sensor using an optical waveguide in the chamber to thereby reduce the size, the present invention relates to a gas detection apparatus which can improve the measurement speed and accuracy.

일반적으로, 공기 중에는 여러 가지 냄새 등과 같은 화학적인 성분을 갖는 기체들이 포함되어 있다. In general, they contain gas having a chemical component such as a number of odor in the air. 이러한 공기 중의 냄새 또는 가스 성분들은 여러 가지 형태로 직접 또는 간접적으로 사람들에게 해를 가할 수 있고, 역으로 유익한 수많은 정보를 줄 수도 있다. These odors or gases in the air are the ingredients can be added to those who, directly or indirectly, in various forms, and may give a lot of useful information in reverse.

이에 따라, 종래에는 공기 중의 냄새 또는 가스 성분을 검출하여 식품의 변 질 여부, 인간의 질병 유무, 수입 농산물이나 축산물의 판별, 마약 탐지, 다이옥신과 같은 유해물질 검출, 생화학 테러 예방 및 군사 분야 등에 유용한 정보를 주기 위하여 공기 중에 화학적인 성분을 갖는 기체들을 검출할 수 있는 방법을 연구하고 있다. Accordingly, in the prior art, the air smell or detect a gas component useful on whether to change the quality of food and human disease status, determination of import of agricultural products and livestock, drug detection, hazardous materials detection, such as dioxins, bioterrorism prevention, and military sectors of the to give information and study the means to detect a gas having a chemical component in the air.

그러면, 이하 도 1 및 도 2를 참조하여 종래 기술에 따른 가스 측정 장치에 대해 상세히 설명한다. Then, with reference to Figures 1 and 2 will be described in detail a gas measuring device according to the prior art.

도 1은 선행기술 문헌 1(일본 공개특허 공개번호 제2005-127743호)의 도 2에 개시된 종래의 가스 측정 장치 구조를 나타낸 정면도이다. 1 is a front view showing a conventional gas measuring device structure disclosed in Figure 2 of the prior art document 1 (Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2005-127743 No.).

도 1을 참고하면, 종래의 가스 측정 장치는, 암모니아 가스 측정 장치로 통상의 센서 박스(40)와, 상기 센서 박스(40)의 바닥부를 겸하는 수지제의 베이스(도시하지 않음)와, 상기 베이스(30)를 관통하고 상기 센서 박스(40)의 내외에 돌출되어 있는 3개의 단자(10 1 , 10 2 , 10 3 ) 및 상기 단자(10 1 , 10 2 , 10 3 )에 백금 또는 백금 합금으로부터 형성되는 히터 겸용 및 심 선상의 전극(20 1 , 20 2 , 20 3 )을 접속하고 고정시키는 가스체(도시하지 않음)를 포함하여 이루어진 센싱부 A와, 상기 센서 박스(40)의 상면에 설치되는 가스 도입용의 스테인리스(stainless)제의 철망(41)으로 구성되어 있다. Referring to FIG 1, the gas detection apparatus, a conventional sensor box 40, a base (not shown) of the resin serving as the bottom portion of the sensor box 40 to the ammonia gas measuring device and the base 30 to the through and three terminals (10 1, 10 2, 10 3) and a platinum or platinum alloy in the terminal (10 1, 10 2, 10 3) which protrude in and out of the sensor box 40 installed on the upper surface of the electrode of the heater combination and the center line to be formed (20 1, 20 2, 20 3) for gas connecting the fixed body and the sensing unit a comprising an (not shown), the sensor box 40 stainless steel (stainless) for the gas supply which is composed of a wire mesh of 41.

그리고, 상기와 같은 가스 측정 장치는, 이하와 같이 동작한다. Then, the gas measuring device as described above, operates in the following manner.

상기 센싱부 A의 내부에 위치하는 전극(20 1 , 20 2 , 20 3 ) 간의 전기 저항치를 측정하며, 이때, 측정된 전기 저항치를 근거로 상기 가스 도입용 철망(41)으로 유 입된 가스 중 포함된 암모니아 가스 농도를 검출한다. And measuring the electrical resistance between the sensing portion A of the electrode (20 1, 20 2, 20 3) located in the interior of the, at this time, including during oil imported gas with wire mesh (41) for the gas supply on the basis of the measured electric resistance value a detects the concentration of ammonia gas.

그러나, 상기와 같은 종래 가스 측정 장치는, 상기 센싱부 A로 공기가 유입될 수 있는 입구인 철망(41)을 구비하여 상기 철망(41)을 통해 센싱부 A로 유입된 공기 중의 암모니아 가스만을 검출하고 있을 뿐, 상기 철망(41) 즉, 센싱부 A로 주변 공기의 흐름을 유도할 수 있는 기능이 없으며, 또한, 상기 센싱부 A로 유입된 공기들을 능동적으로 배출시키는 기능을 구비하고 있지 않다. However, the conventional gas measuring device as described above, the sensing unit A and having an inlet in wire mesh 41 through which air can flow through the wire mesh (41) detects only the ammonia gas contained in the inlet air to the sensing portion A in be doing well, the wire mesh 41, that is, there is no ability to induce a flow of ambient air into the sensing portion a, also, it does not include a function for actively discharged to the air flowing into the sensing unit a.

다시 말해, 종래 기술에 따른 가스 측정 장치는, 수동적이기 때문에 주변 공기 중에 분포되어 있는 가스를 측정할 수 있는 속도 및 정확도에서 우수한 성능을 낼 수 없고, 신속하고 완전하게 센싱부 A 내의 가스를 배출하기가 어려워 반복 측정시 오차 범위가 넓으며 측정 시간이 길어지는 단점이 있다. Again, to say, a gas measuring device according to the prior art, the manual is not able to superior performance in the speed and accuracy of measuring the gas is distributed in the surrounding air, rapidly and completely discharging the gas in the sensing portion A of had to repeat the measurement error range is wide difficult the disadvantage that the measuring time is lengthened.

이러한 문제를 해결하기 위해, 선행기술문헌 2의 도 1에 개시된 바와 같이, 능동적으로 가스를 유입 및 배출시킬 수 있는 펌프(pump)를 갖는 가스 측정 장치가 제안되었다. To solve this problem, a gas measuring device having a pump (pump) that may be active in the inlet and exhaust gases as disclosed in Figure 1 of the prior art document 2 has been proposed. 도 2는 선행기술문헌 2(미국 등록특허 제6212938호)의 도 1에 개시된 종래의 가스 측정 장치 구조를 나타낸 개략도이다. 2 is a schematic view showing a conventional gas measuring device structure disclosed in Figure 1 of the prior art document 2 (US Patent No. 6212938 No.).

도 2에 나타낸 종래의 가스 측정 장치는, 신속하고 정확하게 공기 중의 가스들을 분석하기 위해 공기의 흐름을 능동적으로 유도하는 펌프(pump)를 별도로 구비하고 있다. FIG conventional gas measuring device shown in Fig. 2, is rapidly and accurately with a pump (pump) to actively induce the flow of air in order to analyze the gas separately from the air.

그러나, 상기와 같이 별도의 펌프를 구비하게 되면, 가스 측정 장치의 크기가 커지게 되어 소형화가 어려운 문제가 있다. However, when it includes a separate pump as described above, the size of the gas measuring device is increasing in size reduction difficult problem.

또한, 펌프를 구비한 종래의 가스 측정 장치는 측정시, 공기의 흐름, 온도 등의 외부 환경에 영향을 받지 않고 안정적으로 가스 측정이 가능하도록 밀폐된 측정 공간을 구비하고 있지 않아 정확도가 낮은 문제가 있다. Furthermore, the conventional gas measuring device having a pump that does not include the measurement space closed so as to reliably possible gas measurement without being affected by the external environment such as, air flow, temperature measurement with low accuracy problem have.

따라서, 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 공기의 흐름을 능동적으로 유도할 수 있는 펌프와, 측정용 챔버 및 센서를 포함하여 소형화된 일체형 가스 측정 장치를 제공하는 데 있다. Accordingly, it is an object of the present invention is to to solve the above problems, providing a one-piece gas measuring device including miniaturized and which can be actively induced by the flow of the air pump, a chamber measuring sensor.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 하부에 복수의 가스 출입공을 갖는 챔버와, 상기 챔버의 내부에 스프링에 의해서 탄성 지지되는 유동판과, 상기 유동판의 중앙부에 상향 돌출되게 수직 설치된 마그네트와, 상기 마그네트의 외주면에 위치하며, 상기 챔버 내부 상면의 마그네트 이송 경로를 제외한 영역에 형성된 회로기판에서 하향 돌출된 코일 및 상기 챔버의 바닥면에 배치된 센서를 포함하는 가스 측정 장치를 제공한다. To achieve the above object, the present invention with a chamber having a plurality of gas out balls on the bottom, a magnetic flow plate to be elastically supported by a spring inside of the chamber and, to be upwardly protruding at the central portion of the flow plate is installed vertically and, located in the outer peripheral surface of the magnet, there is provided a gas measuring device comprising a sensor arranged on a bottom surface of the coil and the chamber, downwardly projecting from the circuit board formed in a region other than the magnetic transport path of the upper surface within the chamber.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 코일은 상기 마그네트의 외주면을 감싸는 원통형으로 형성되거나, 상기 마그네트의 외주면을 따라 등간격으로 복수개 형성될 수 있다. Further, in the gas detection apparatus of the present invention, the coil can be formed or formed in a cylindrical shape surrounding the outer peripheral surface of the magnet, a plurality at equal intervals along the outer circumferential surface of the magnet.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 마그네트의 위치와 대응되 는 상기 챔버의 상면은 상기 마그네트의 상부 유입이 가능하도록 상향 돌출되어 있는 것이 바람직하다. Further, in the gas detection apparatus of the present invention, the position and the corresponding back of the magnet is a top plan view of the chamber are preferably projected upward to enable the upper inlet of the magnet.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 챔버는 상기 가스 출입공보다 높은 위치의 내주면에 상기 유동판의 외주연부 일부분을 걸쳐지도록 형성된 걸림턱이 위치하는 것이 바람직하다. Further, in the gas detection apparatus of the present invention, the chamber is preferably formed so that the engaging shoulder positioned over the outer peripheral edge portion of the flow plate to the inner circumferential surface of the position higher than the gas entry hole. 보다 상세하게, 상기 걸림턱은 상기 챔버의 내주면을 따라 균일하게 돌출되거나, 균일한 높이의 돌기가 등간격으로 복수개 돌출 형성될 수 있다. More specifically, the locking step is either uniformly protruded along the inner circumferential surface of the chamber, there is a projection having a uniform height can be formed to project a plurality at equal intervals.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 코일은, 외부의 전원 인가에 의해서 그 내측에 위치한 마그네트와의 간극에 전자기력을 발생시켜 상기 마그네트가 콩일 내부에서 수직 이송되도록 한 것이 바람직하다. Further, in the gas detection apparatus of the present invention, the coil is preferably one by the external power source is applied to generate an electromagnetic force in the gap between the magnet and located in the inside of the magnet is such that the vertical transfer inside the kongil.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 챔버는 하부가 개방된 개구부가 형성되고, 그 개구부를 밀폐하는 하판과 결합된 것이 바람직하다. Further, in the gas detection apparatus of the present invention, the chamber is formed with a lower opening portion is opened, it is preferable that, combined with the lower plate to seal the opening.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 챔버는 원통형으로 형성된 것이 바람직하다. Further, in the gas detection apparatus of the present invention, the chamber is preferably formed in a cylindrical shape.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 센서는, 광도파로를 이용하여 제작된 것이 바람직하다. Further, in the gas detection apparatus of the present invention, the sensor is preferably made by using an optical waveguide.

상기한 목적을 달성하기 위한 다른 본 발명은, 하부에 복수의 가스 출입공을 갖는 챔버와, 상기 챔버의 내부에 스프링에 의해서 탄성 지지되며, 자성체로 이루어진 유동판과, 상기 챔버 내부 상면에 형성된 회로기판의 하면에 하향 돌출된 코일 및 상기 챔버 바닥면에 배치된 센서를 포함하는 가스 측정 장치를 제공한다. Other present invention for achieving the above object, the chamber having a plurality of gas out balls on the bottom, and the elastic support by means of a spring inside the chamber, formed in the flow plate and the upper surface within the chamber made of a magnetic material circuit the downward projection on the lower face of the coil substrate, and provides a gas detection apparatus comprising a sensor arranged on a bottom surface of the chamber.

또한, 상기 본 발명의 가스 측정 장치에서, 상기 코일은 상기 회로기판의 하면에서 상기 유동판을 향하여 적어도 하나 이상 돌출 형성된 것이 바람직하다. Further, in the gas detection apparatus of the present invention, the coil is preferably formed at least one or more protruding toward the flow plate from the lower surface of the circuit board.

이하 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. Accompanying will be described in detail so that one can make self having ordinary skill in the art readily carried out on the embodiment of the present invention with reference to the drawings.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. In order to clearly express various layers and regions in the drawings it is shown on an enlarged scale, a thickness. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 병기하였다. The same reference numerals were stage for like elements throughout the specification.

이제 본 발명의 실시예에 따른 가스 측정 장치에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다. It will be described in detail with reference to the drawings with respect to the gas measuring apparatus according to an embodiment of the invention.

실시예 1 Example 1

우선, 도 3 내지 도 6을 참고하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 구조에 대하여 상세히 설명한다. First, it will be described in detail the structure of the gas measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 구조를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다. Figure 3 is a perspective view showing the structure of a gas measuring device according to a first embodiment of the present invention, Figure 4 is a cross-sectional view taken along the Ⅳ-Ⅳ 'line of Fig.

도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치는, 크게 챔버(100), 유동판(140), 마그네트(magnet; 145), 코일(30) 및 센서(160)로 구성되어 있다. As shown in Figure 3 and 4, the gas measuring device according to the first embodiment of the present invention is significantly chamber 100, the flow plate 140, the magnet (magnet; 145), the coil 30 and the sensor It is composed of 160.

상기 챔버(100)는, 하부에 공기의 흡입 및 배출을 위한 복수의 가스 출입공(110)을 가지고 있다. The chamber 100 and has a plurality of gas entry hole 110 for the suction and discharge of air to the lower portion. 이때, 상기 가스 출입공(110)은, 상기 챔버의 하부 외주면을 따라 평행선 상에 등간격으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. In this case, the gas entry hole 110 is preferably formed at equal intervals on the parallel line along the lower peripheral surface of the chamber.

특히, 본 실시예에 따른 상기 챔버(100)는, 하부가 개방된 개구부를 가지고, 그 개구부를 밀폐하는 하판(100a)과의 결합으로 이루어져 있다. In particular, the chamber 100 according to this embodiment, has a lower opening portion is opened, consists of a combination of the lower plate (100a) for sealing the opening. 이는 상기 챔버(100)의 내부를 수리하거나 청소하기 용이하게 하기 위한 것으로, 본 발명의 기술적 과제를 이루기 위한 필수 구성요소는 아니다. This is not is designed to be easy to repair or clean the inside of the chamber 100, a prerequisite for achieving the object of the present invention.

또한, 본 실시예에서는 상기 챔버(100)가 원통형의 형상을 가지고 있는 것을 도시하고 있으나, 이는 이에 한정되지 않고 상기 챔버(100)의 사용 공간 및 사용 특성에 따라 변경 가능하다. In this embodiment, the chamber 100 is shown. However it may have the shape of a cylinder, which can be changed depending on the space, and the property of the chamber 100 is not limited to this.

그리고, 본 실시예에 따른 상기 챔버(100)는 후술하는 마그네트의 위치와 대응되는 상면이 마그네트의 상부 유입이 가능하도록 상향 돌출된 돌출부(103)로 이루어진 것이 바람직하다. In addition, the chamber 100 according to this embodiment preferably has a top surface corresponding to the location of which will be described later magnet composed of a projection 103 projecting upward to enable the upper inlet of the magnet.

상기 유동판(140)은, 상기 챔버(100)의 내부에 형성된 스프링(150)에 의해서 탄성 지지된다. The flow plate 140 is supported, by the elastic spring 150 formed in the chamber 100. 즉, 상기 유동판(140)의 상하 움직임에 의해 상기 챔버(100)의 하부에 형성된 가스 출입공(110)을 통해 가스를 흡입 또는 배출할 수 있다. That is, through the gas access hole 110 formed in a lower portion of the chamber 100 by the vertical movement of the floating plate 140 can be a gas intake or exhaust.

한편, 상기 유동판(140)이 가스의 유입을 위해 상하로 움직일 경우, 상기 유동판(140)이 상기 챔버(100)의 가스 출입공(110)을 차단하여 공기의 흡입 및 배출을 방해하는 것을 방지하여야 한다. On the other hand, when the flow plate 140 is moved up and down for the introduction of gas, in that the flow plate 140 to interfere with the suction and discharge of air to block the gas access hole 110 of the chamber 100 It should be avoided.

따라서, 본 실시예에 따른 챔버(100)는 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 가스 출입공(110)보다 높은 위치의 내주면에 상기 유동판(140)의 외주연부 일부분을 걸쳐지도록 형성된 걸림턱(105)을 가지는 것이 바람직하다. Therefore, as shown in chamber 100 6 in accordance with this embodiment, so that it rests with the outer periphery portion of the flow plate 140 in the inner circumference of a position higher than the gas entry hole 110 formed catching projection ( 105) preferably has a. 여기서, 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 변형예를 나타낸 단면도이다. 6 is a cross-sectional view showing a modified example of a gas detection apparatus according to the first embodiment of the present invention.

보다 상세하게, 상기 걸림턱(105)은 상기 챔버(100)의 내주면을 따라 평행하게 둘러진 폐곡선으로 형성되거나, 상기 챔버(100)의 내주면을 따라 평행선 상에 등간격으로 복수개 형성될 수 있다. More specifically, the pawls 105 may be formed in plurality at equal intervals on the parallel lines along the inner circumferential surface of or forming a closed curve binary parallel around along the inner circumferential surface of the chamber 100, the chamber 100.

상기 마그네트(140)는, 상기 유동판(140)의 중앙부에 상기 챔버(100)의 상면을 향하도록 상향 돌출되게 수직 설치되어 있다. The magnet 140 may be upwardly protruded toward the upper surface of the chamber 100 at the central portion of the flow plate 140 is vertically installed.

상기 코일(130)은, 상기 마그네트(140)의 외주면에 위치하며, 상기 챔버(100) 내부 상면의 마그네트(140) 이송 경로를 제외한 영역에 형성된 회로기판(120)에서 하향 돌출되어 있다. The coil 130 is located on the outer peripheral surface of the magnet 140, and are downwardly protruded from the circuit board 120 is formed in a region other than the magnet 140, the transfer path of the inner upper surface of the chamber 100.

보다 상세하게, 상기 코일(130)은 상기 마그네트(145)의 외주면을 감싸는 원통형으로 형성되는 것이 바람직하다(도 5 참조). More particularly, the coil 130 is preferably formed in a cylindrical shape surrounding the outer peripheral surface of the magnet 145 (see Fig. 5). 여기서, 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 코일의 위치를 상세하게 나타낸 도면이다. Here, Figure 5 is a view showing in detail the position of the coil according to the first embodiment of the present invention.

한편, 상기 코일(130)은, 상기 마그네트(145)의 외주면에 위치하여 상기 마그네트(145)와 자기장(magnetic field)을 형성하는 것을 목적으로 하고 있으므로, 이에 한정되지 않고, 도시하지 않았지만 상기 마그네트(145)의 외주면을 따라 등간격으로 복수개 형성될 수도 있다. On the other hand, the coil 130, since that located on the outer peripheral surface of the magnet 145 to form the magnet 145 and the magnetic field (magnetic field) for the purpose, not limited to this, although not shown in the magnet ( 145) may be formed in plurality at equal intervals along the outer circumferential surface of the.

즉, 상기 코일(130)과 마그네트(145)는 자기장에 의해 상기 유동판(140)을 상하로 움직여 펌프(pump) 기능을 하도록 형성되어 있다. That is, the coil 130 and the magnet 145 by the magnetic field is formed to the pump (pump) function by moving the flow plate 140 up and down.

상기 센서(160)는 상기 챔버(100)의 바닥면, 즉, 하판(100a)의 상면에 배치되어 있다. The sensor 160 includes a bottom surface of the chamber 100, that is, are arranged on the upper surface of the bottom plate (100a). 이에 따라, 상기 센서(160)는, 상기 유동판(140)의 하면과 상기 챔버(100)의 바닥면 사이에 형성된 밀폐 공간(170)으로 상기 가스 출입공(110)을 통해 능동적으로 유입된 공기 중의 가스 성분 및 농도 등을 정확하고 안정되게 측정할 수 있다. Accordingly, the sensor 160 is active the air is taken in from the through when the closed space 170 to the gas entry hole (110) formed between the bottom surface of the chamber 100 of the flow plate 140 It can be determined to be accurate and reliable and the like contained in the gas component and concentration.

바람직하게, 상기 센서(160)는 광도파로를 이용하여 제작된 센서로 구성되어 측정하고자 하는 가스에 대한 민감도를 향상시켜 더 정확한 가스 측정이 이루어질 수 있다. Preferably, the sensor 160 is for increasing the sensitivity of the gas to be measured is composed of a sensor manufactured by using the optical waveguide can be made more accurate gas measurement.

이하, 도 7을 참고하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 작용에 대하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a detailed description of the operation of the gas measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention also refer to Example 7.

도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 가스 측정 장치의 동작을 설명하기 위해 나타낸 단면도이다. Figure 7 is a cross-sectional view for explaining the operation of the gas measuring device according to a first embodiment of the present invention.

우선, 상기 마그네트(145)의 외주면에 위치한 상기 코일(130)에 회로기판(120)을 통해 일정 전류를 인가한다. First, the coil 130 is located on the outer peripheral surface of the magnet 145 is a constant current through the circuit board 120.

그러면, 상기 마그네트(145)와 코일(130) 사이에 자기장이 형성되고, 상기 마그네트(145)는 이러한 자기장의 영향으로 직선 운동을 하게 되어 위쪽으로 움직이게 되는 바, 이와 연결된 유동판(140) 또한 위쪽으로 움직이게 된다. Then, the magnet 145 and a magnetic field is formed between the coil 130, the magnet 145, the flow plate 140 is that the linear movement under the influence of this magnetic field associated with a bar which is moved upwards, In addition, the top to be moved. 이에 따라 상기 챔버(100) 내부의 공간 체적은 순간적으로 늘어나고, 압력은 낮아지게 되어 상기 가스 출입공(110)을 통해 밀폐 공간(170)으로 외부 공기가 흡입되게 된다. Accordingly, the volume of the space within the chamber 100 instantaneously increases, the pressure is lowered so that the outside air sucked into the closed space 170 via the gas entrance hole (110).

그 다음, 상기 밀폐 공간(170)에 흡입된 외부 공기를 상기 센서(160)를 통해 측정한다. Next, measure the outside air sucked into the closed space 170 via the sensor 160.

그런 다음, 상기 코일(130)에 전류의 인가를 중지하면 상기 코일(130)과 마그네트(145) 사이에 형성된 자기장이 사라지게 된다. Then, stop the application of current to the coil 130, a magnetic field is formed between the coil 130 and the magnet 145 is lost. 따라서, 상기 마그네트(145)는 아래쪽으로 움직여 원래의 위치로 되돌아가게 되고, 상기 걸림턱(105)에 의해 지지된다. Accordingly, the magnet 145 to go back to the initial position by moving downward, and is supported by the locking step (105). 이때, 상기 챔버(100) 내부의 공간 체적은 순간적으로 줄어들고, 압력은 높아지게 되어 상기 가스 출입공(110)을 통해 밀폐 공간(170)에 위치하던 내부 공기가 외부로 배출되게 된다. At this time, the void volume within the chamber 100 is instantaneously reduced, the pressure is to be the inner air was located in the closed space 170 via the gas entrance hole (110) is higher discharged to the outside.

본 발명은 상기와 같은 원리를 통하여 측정하고자 하는 가스가 포함된 공기의 흡입 및 배출을 능동적으로 행함으로써, 센서의 가스 검출 속도를 높일 수 있고, 다음 동작을 위한 빠른 회복(recovery) 동작이 가능하다. The present invention by carrying out suction and discharge of the air containing the gas to be measured through the same principle as the actively, it is possible to increase the gas detection speed of the sensor, a rapid recovery (recovery) operation for the following operation is possible .

또한, 상기 센서(160)가 위치하는 챔버(100)의 내부 공간은 밀폐된 공간이므로, 챔버(100)의 주변 환경에 영향을 받지 않고 안정되고 정확한 가스의 측정이 가능하다. Further, the inner space of the chamber 100 to the sensor 160, the position can be measured because of the enclosed space, it is stable without being affected by the ambient environment of the chamber 100 in the correct gas.

또한, 상기 가스 출입공(110)이 챔버(100)의 외주면에 형성되어 있으므로, 흡입 또는 배출되는 공기가 바닥면에 배치된 센서(160)에 직접적으로 영향을 미치지 않으므로, 공기의 흐름으로부터 이에 민감한 센서(160)를 보호할 수 있다. Further, since the gas entrance hole (110) is formed on the outer peripheral surface of the chamber 100, the air sucked or discharged is therefore not directly affect the sensor 160 disposed on the bottom side, whereby delicate from the flow of air It can protect the sensor 160.

실시예 2 Example 2

그러면, 이하 도 8 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 가 스 측정 장치에 대하여 설명한다. Then, there is described a scan measuring instrument according to the second embodiment of the present invention hereinafter with reference to FIG. 8 to FIG.

먼저, 도 8 및 도 9를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치의 구조에 대하여 상세히 설명한다. First, will be described in detail the structure of a gas measuring instrument according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치의 구조를 나타낸 사시도이고, 도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다. Figure 8 is a perspective view showing the structure of a gas measuring device according to a second embodiment of the present invention, Figure 9 is a cross-sectional view taken along the Ⅸ-Ⅸ 'line of Fig.

도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치는, 크게 챔버(100), 자성체로 이루어진 유동판(140), 코일(30) 및 센서(160)로 구성되어 있다. As shown in Fig. 8 and 9, the gas measuring device according to a second embodiment of the present invention, a larger chamber 100, the magnetic substance flow plate 140, a coil 30 and a sensor 160 consisting of Consists of.

상기 챔버(100)는, 제1 실시예와 마찬가지로 하부에 공기의 흡입 및 배출을 위한 복수의 가스 출입공(110)을 가지고 있다. The chamber 100, a has a plurality of gas entry hole 110 for the suction and discharge of air to the lower part as in the first embodiment. 이때, 상기 가스 출입공(110)은, 상기 챔버의 하부 외주면을 따라 평행선 상에 등간격으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. In this case, the gas entry hole 110 is preferably formed at equal intervals on the parallel line along the lower peripheral surface of the chamber.

특히, 본 실시예에 따른 상기 챔버(100)는, 하부가 개방된 개구부를 가지고, 그 개구부를 밀폐하는 하판(100a)과의 결합으로 이루어져 있다. In particular, the chamber 100 according to this embodiment, has a lower opening portion is opened, consists of a combination of the lower plate (100a) for sealing the opening. 이는 상기 챔버(100)의 내부를 수리하거나 청소하기 용이하게 하기 위한 것으로, 본 발명의 기술적 과제를 이루기 위한 필수 구성요소는 아니다. This is not is designed to be easy to repair or clean the inside of the chamber 100, a prerequisite for achieving the object of the present invention.

또한, 본 실시예에서는 상기 챔버(100)가 원통형의 형상을 가지고 있는 것을 도시하고 있으나, 이는 이에 한정되지 않고 상기 챔버(100)의 사용 공간 및 사용 특성에 따라 변경 가능하다. In this embodiment, the chamber 100 is shown. However it may have the shape of a cylinder, which can be changed depending on the space, and the property of the chamber 100 is not limited to this.

상기 유동판(140)은, 상기 챔버(100)의 내부에 형성된 스프링(150)에 의해서 탄성 지지된다. The flow plate 140 is supported, by the elastic spring 150 formed in the chamber 100. 즉, 상기 유동판(140)의 상하 움직임에 의해 상기 챔버(100)의 하부에 형성된 가스 출입공(110)을 통해 공기를 흡입 또는 배출할 수 있다. That is, by the vertical movement of the floating plate 140 through the gas access hole 110 formed in a lower portion of the chamber 100 may be a suction or discharge the air.

한편, 상기 유동판(140)이 가스의 유입을 위해 상하로 움직일 경우, 상기 유동판(140)이 상기 챔버(100)의 가스 출입공(110)을 차단하여 공기의 흡입 및 배출을 방해하는 것을 방지하기 위하여 본 실시예에 따른 챔버(100)는 상기 가스 출입공(110)보다 높은 위치의 내주면에 상기 유동판(140)의 외주연부 일부분을 걸쳐지도록 형성된 걸림턱(105)을 가지고 있다. On the other hand, when the flow plate 140 is moved up and down for the introduction of gas, in that the flow plate 140 to interfere with the suction and discharge of air to block the gas access hole 110 of the chamber 100 chamber according to the present embodiment in order to prevent (100) has a locking jaw 105 formed to span an outer periphery portion of the flow plate 140 in the inner circumference of a position higher than the gas entry hole (110).

보다 상세하게, 상기 걸림턱(105)은 상기 챔버(100)의 내주면을 따라 평행하게 둘러진 폐곡선으로 형성되거나, 상기 챔버(100)의 내주면을 따라 평행선 상에 등간격으로 복수개 형성될 수 있다. More specifically, the pawls 105 may be formed in plurality at equal intervals on the parallel lines along the inner circumferential surface of or forming a closed curve binary parallel around along the inner circumferential surface of the chamber 100, the chamber 100.

상기 코일(130)은, 상기 챔버(100) 내부 상면에 형성된 회로기판(120)의 하면에서 하향 돌출되어 있다. The coil 130 is, if there are downwardly projecting from the circuit board 120 formed in the upper surface of the chamber 100.

보다 상세하게, 상기 코일(130)은 상기 회로기판(120)의 하면에서 상기 유동판(140)을 향하여 적어도 하나 이상 돌출 형성되는 것이 바람직하다. More particularly, the coil 130 is preferably at least one or more projection formed toward the floating plate 140 from the lower surface of the circuit board 120. 도 10을 참조하면, 본 실시예에서는 상기 코일(130)을 상기 회로기판(120)의 하면에 균일하게 3개 형성한 것을 도시하고 있다. Referring to Figure 10, this embodiment illustrates that the coil 130 is formed uniformly on the bottom 3 of the circuit board 120. 여기서, 도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 코일의 위치를 상세하게 나타낸 도면이다. Here, Figure 10 is a view showing in detail the position of the coil according to the second embodiment of the present invention.

한편, 상기 코일(130)은, 자성체로 이루어진 상기 유동판(140)과 자기장(magnetic field)을 형성하는 것을 목적으로 하고 있으므로, 이에 한정되지 않고, 도시하지 않았지만 상기 마그네트(145)의 외주면을 따라 등간격으로 복수개 형 성될 수도 있다. On the other hand, the coil 130, since an object of the present invention to form the flow plate 140 and the magnetic field (magnetic field) formed by magnetic materials, not limited to this, although not shown along the outer circumferential surface of the magnet (145) at regular intervals a plurality of types may be generated.

즉, 상기 코일(130)과 자성체로 이루어진 상기 유동판(140)은 자기장에 의해 펌프(pump) 기능을 하도록 형성되어 있다. That is, the flow plate 140 is made of the coil 130 and the magnetic material is formed to the pump (pump) function by a magnetic field.

상기 센서(160)는 상기 챔버(100)의 바닥면, 즉, 하판(100a)의 상면에 배치되어 있다. The sensor 160 includes a bottom surface of the chamber 100, that is, are arranged on the upper surface of the bottom plate (100a). 이에 따라, 상기 센서(160)는, 상기 유동판(140)의 하면과 상기 챔버(100)의 바닥면 사이에 형성된 밀폐 공간(170)으로 상기 가스 출입공(110)을 통해 능동적으로 유입된 공기 중의 가스 성분 및 농도 등을 정확하고 안정되게 측정할 수 있다. Accordingly, the sensor 160 is active the air is taken in from the through when the closed space 170 to the gas entry hole (110) formed between the bottom surface of the chamber 100 of the flow plate 140 It can be determined to be accurate and reliable and the like contained in the gas component and concentration.

바람직하게, 상기 센서(160)는 광도파로를 이용하여 제작된 센서로 구성되어 측정하고자 하는 가스에 대한 민감도를 향상시켜 더 정확한 가스 측정이 이루어질 수 있다. Preferably, the sensor 160 is for increasing the sensitivity of the gas to be measured is composed of a sensor manufactured by using the optical waveguide can be made more accurate gas measurement.

이하, 도 11을 참고하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치의 작용에 대하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a detailed description of the operation of the gas measuring instrument according to the diagram of a second embodiment of the present invention with reference to the 11 Examples.

도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 가스 측정 장치의 동작을 설명하기 위해 나타낸 단면도이다. Figure 11 is a cross-sectional view for explaining the operation of the gas measuring device according to a second embodiment of the present invention.

우선, 상기 코일(130)에 회로기판(120)을 통해 일정 전류를 인가한다. First, applying a constant current through the circuit board 120 to the coil 130.

그러면, 상기 코일(130)과 자성체로 이루어진 유동판(140) 사이에 자기장이 형성되고, 상기 유동판(140)는 이러한 자기장의 영향으로 직선 운동을 하게 되어 위쪽으로 움직이게 되는 바, 상기 챔버(100) 내부의 공간 체적은 순간적으로 늘어 나고, 압력은 낮아지게 되어 상기 가스 출입공(110)을 통해 밀폐 공간(170)으로 외부 공기가 흡입되게 된다. Then, the magnetic field between the floating plate 140 is made of the coil 130 and the magnetic material is formed, the flow plate 140 includes a bar, the chamber (100 becomes the linear movement under the influence of this magnetic field is moved upwards ) void volume inside the sheds is instantaneously increased, the pressure is lowered so that the outside air sucked into the closed space 170 via the gas entrance hole (110).

그 다음, 상기 밀폐 공간(170)에 흡입된 외부 공기를 상기 센서(160)를 통해 측정한다. Next, measure the outside air sucked into the closed space 170 via the sensor 160.

그런 다음, 상기 코일(130)에 전류의 인가를 중지하면 상기 코일(130)과 자성체로 이루어진 유동판(140) 사이에 형성된 자기장이 사라지게 된다. Then, stop the application of current to the coil 130, a magnetic field formed between the floating plate 140 is made of the coil 130 and the magnetic material it disappears. 따라서, 상기 유동판(140)은 아래쪽으로 움직여 원래의 위치로 되돌아가게 되고, 상기 걸림턱(105)에 의해 지지된다. Thus, the flow plate 140 is moved downward to go back to the initial position, it is supported by the locking step (105). 이때, 상기 챔버(100) 내부의 공간 체적은 순간적으로 줄어들고, 압력은 높아지게 되어 상기 가스 출입공(110)을 통해 밀폐 공간(170)에 위치하던 내부 공기가 외부로 배출되게 된다. At this time, the void volume within the chamber 100 is instantaneously reduced, the pressure is to be the inner air was located in the closed space 170 via the gas entrance hole (110) is higher discharged to the outside.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. Although detailed description will be given of a preferred embodiment of the present invention above, it will be Those of ordinary skill in the art appreciate the various modifications and equivalent embodiments are possible that changes therefrom. 따라서, 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다. Accordingly, the scope of the present invention is not different of those of ordinary skill in the art deformation by the following basic idea of ​​the invention as defined in the claims and improved form is not limited thereto also belong to the scope of the present invention.

상기한 바와 같이, 본 발명은 공기의 흐름을 능동적으로 유도할 수 있는 펌 프와, 측정용 챔버 및 센서를 포함하여 소형화된 일체형 가스 측정 장치를 제공할 수 있다. As described above, the present invention can provide a one-piece gas measuring device miniaturization, including the pump and the chamber measuring sensor that can actively induce the flow of air.

또한, 본 발명은 측정하고자 하는 공기의 흡입 및 배출을 능동적으로 행함으로써, 센서의 가스 검출 속도를 높일 수 있고, 다음 동작을 위한 빠른 회복 동작이 가능하다. In addition, the present invention by carrying out suction and discharge of the active air to be measured, it is possible to increase the speed of the gas detection sensor, it is possible to fast recovery operation for the next operation.

또한, 본 발명은 상기 밀폐된 별도의 측정용 챔버를 구비함으로써, 챔버의 주변 환경에 영향을 받지 않고 안정되고 정확한 가스의 측정이 가능하다. In addition, the present invention by providing a separate measuring chambers for the said seal, it is possible to measure a stable and accurate gas without being affected by the ambient environment of the chamber.

또한, 본 발명은 상기 가스 출입공이 챔버의 외주면에 형성되어 있으므로, 흡입 또는 배출되는 가스가 바닥면에 배치된 센서에 직접적으로 영향을 미치지 않으므로, 가스의 흐름으로부터 이에 민감한 센서를 보호할 수 있는 효과가 있다. The present invention also effects that can be so formed on the outer peripheral surface of the gas entering the ball chamber, the gas to be sucked or discharged does not directly affect on a sensor arranged on a bottom surface, protect this sensitive sensor from the flow of gas a.

Claims (17)

  1. 하부에 복수의 가스 출입공을 갖는 챔버; The chamber having a plurality of gas out hole at a lower portion thereof;
    상기 챔버의 내부에 스프링에 의해서 탄성 지지되는 유동판; The flow plate is elastically supported by a spring in the interior of the chamber;
    상기 유동판의 중앙부에 상향 돌출되게 수직 설치된 마그네트; A magnet installed to be vertically upwardly protruding from the central portion of the flow plate;
    상기 마그네트의 외주면에 위치하며, 상기 챔버 내부 상면의 마그네트 이송 경로를 제외한 영역에 형성된 회로기판에서 하향 돌출된 코일; Located on the outer peripheral surface of the magnet, the coil protruding downward from the circuit board formed in a region other than the magnetic transport path of the upper surface of the chamber; And
    상기 챔버의 바닥면에 배치된 센서; A sensor arranged on the bottom surface of the chamber;
    를 포함하는 가스 측정 장치. Gas measuring device comprising a.
  2. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 코일은, 상기 마그네트의 외주면을 감싸는 원통형으로 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. The coils, the gas measuring device, characterized in that wrapping the outer circumferential surface of the magnet formed into a cylindrical shape.
  3. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 코일은, 상기 마그네트의 외주면을 따라 등간격으로 복수개 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. The coils, the gas measuring device, characterized in that a plurality of equidistantly formed along the outer circumferential surface of the magnet.
  4. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 마그네트의 위치와 대응되는 상기 챔버의 상면은 상기 마그네트의 상부 유입이 가능하도록 상향 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. An upper surface of the chamber corresponding to the position of the magnet is a gas measuring device, characterized in that it is upwardly projected to enable the upper inlet of the magnet.
  5. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 챔버는, 상기 가스 출입공보다 높은 위치의 내주면에 상기 유동판의 외주연부 일부분을 걸쳐지도록 형성된 걸림턱이 위치된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. The chamber, the gas measuring device of the inner peripheral surface of the position higher than the gas entry hole characterized in that the locking step is formed to span an outer periphery portion of the flow plate position.
  6. 제5항에 있어서, 6. The method of claim 5,
    상기 걸림턱은, 상기 챔버의 내주면을 따라 균일하게 돌출되거나, 균일한 높이의 돌기가 등간격으로 복수개 돌출 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. It said locking step, the gas detection apparatus or uniformly protruded along the inner circumferential surface of the chamber, characterized in that the projections of uniform height protruding from a plurality of intervals.
  7. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 코일은, 외부의 전원 인가에 의해서 그 내측에 위치한 마그네트와의 간극에 전자기력을 발생시켜 상기 마그네트가 상기 코일 내부에서 수직 이송되도록 한 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. The coils, by an external power source is applied to generate an electromagnetic force in the gap between the magnet and located in the inner gas measuring device, characterized in that the magnet so that the vertical transfer inside the coil.
  8. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 챔버는, 하부가 개방된 개구부가 형성되고, 그 개구부를 밀폐하는 하판과 결합된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. Gas measuring device for the chamber, the lower opening portion is opened is formed, characterized in that combined with the lower plate to seal the opening.
  9. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 챔버는, 원통형으로 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. Gas measuring device, characterized in that the chamber is formed in a cylindrical shape.
  10. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 센서는, 광도파로를 이용하여 제작된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. The sensor, a gas measuring device, characterized in that the fabricated using the optical waveguide.
  11. 하부에 복수의 가스 출입공을 갖는 챔버; The chamber having a plurality of gas out hole at a lower portion thereof;
    상기 챔버의 내부에 스프링에 의해서 탄성 지지되며, 자성체로 이루어진 유동판; And the elastic support by means of a spring inside the chamber, the flow plate made of a magnetic material;
    상기 챔버 내부 상면에 형성된 회로기판의 하면에 하향 돌출된 코일; The coil protrudes downward on the lower face of the circuit board formed on an upper surface of the chamber; And
    상기 챔버 바닥면에 배치된 센서;를 포함하는 가스 측정 장치. Gas measuring apparatus including; a sensor arranged on the bottom surface of the chamber.
  12. 제11항에 있어서, 12. The method of claim 11,
    상기 코일은, 상기 회로기판의 하면에서 상기 유동판을 향하여 적어도 하나 이상 돌출 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. The coils, the gas measuring apparatus in a lower surface of the circuit board characterized in that at least one or more protruding formed toward the flow plate.
  13. 제11항에 있어서, 12. The method of claim 11,
    상기 챔버는, 상기 가스 출입공보다 높은 위치의 내주면에 상기 유동판의 외주연부 일부분을 걸쳐지도록 형성된 걸림턱이 위치된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. The chamber, the gas measuring device of the inner peripheral surface of the position higher than the gas entry hole characterized in that the locking step is formed to span an outer periphery portion of the flow plate position.
  14. 제13항에 있어서, 14. The method of claim 13,
    상기 걸림턱은, 상기 챔버의 내주면을 따라 균일하게 돌출되거나, 균일한 높이의 돌기가 등간격으로 복수개 돌출 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. It said locking step, the gas detection apparatus or uniformly protruded along the inner circumferential surface of the chamber, characterized in that the projections of uniform height protruding from a plurality of intervals.
  15. 제11항에 있어서, 12. The method of claim 11,
    상기 챔버는, 하부가 개방된 개구부가 형성되고, 그 개구부를 밀폐하는 하판과 결합된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. Gas measuring device for the chamber, the lower opening portion is opened is formed, characterized in that combined with the lower plate to seal the opening.
  16. 제11항에 있어서, 12. The method of claim 11,
    상기 챔버는, 원통형으로 형성된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. Gas measuring device, characterized in that the chamber is formed in a cylindrical shape.
  17. 제11항에 있어서, 12. The method of claim 11,
    상기 센서는, 광도파로를 이용하여 제작된 것을 특징으로 하는 가스 측정 장치. The sensor, a gas measuring device, characterized in that the fabricated using the optical waveguide.
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