KR100788485B1 - Filter bracket - Google Patents
Filter bracket Download PDFInfo
- Publication number
- KR100788485B1 KR100788485B1 KR1020070081794A KR20070081794A KR100788485B1 KR 100788485 B1 KR100788485 B1 KR 100788485B1 KR 1020070081794 A KR1020070081794 A KR 1020070081794A KR 20070081794 A KR20070081794 A KR 20070081794A KR 100788485 B1 KR100788485 B1 KR 100788485B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- filter
- groove
- grooves
- arms
- bracket
- Prior art date
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 23
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 238000007373 indentation Methods 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
- B01D35/30—Filter housing constructions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D25/00—Filters formed by clamping together several filtering elements or parts of such elements
- B01D25/12—Filter presses, i.e. of the plate or plate and frame type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
- B01D2201/40—Special measures for connecting different parts of the filter
- B01D2201/4023—Means for connecting filter housings to supports
Abstract
Description
본 발명은 필터 브라켓에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 공정에서 사용되는 유체 정화용 필터의 교체구조를 개선한 필터 브라켓에 관한 것이다.The present invention relates to a filter bracket, and more particularly, to a filter bracket in which the replacement structure of the fluid purification filter used in the semiconductor process is improved.
일반적으로 종래 반도체 제조공정의 유체 정화용 필터는 유체를 공급 및 분배하는 펌프 유닛의 아답터에 체결됨에 있어, 상기 아답터의 커넥터에 상기 필터의 유체입출구가 회동식으로 결합된다.In general, the fluid purification filter of the conventional semiconductor manufacturing process is coupled to the adapter of the pump unit for supplying and distributing fluid, the fluid inlet and outlet of the filter is coupled to the connector of the adapter in a rotational manner.
이에 의하면, 상기 필터와 아답터 사이의 O-링 일측에 무리한 힘이 가해짐으로써 상기 O-링이 흔히 파손되며, 또한 실링 상태가 저하되는 문제가 있다.According to this, an excessive force is applied to one side of the O-ring between the filter and the adapter, so that the O-ring is often broken and the sealing state is lowered.
본 발명은 상기한 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 필터의 탈부착이 용이하게 하며, 필터와 아답터 사이에 개제되는 O-링의 파손을 방지하도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to facilitate attachment and detachment of a filter and to prevent breakage of an O-ring interposed between the filter and the adapter.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 적어도 두 개의 유체입출구가 전방으로 돌출 형성된 필터와; 상기 필터가 안착되고 외주면 양측에 돌출핀이 각각 형성되는 반구 형상의 필터하우징과; 상기 돌출핀이 관통 배치되는 직선형상의 슬라이드홈이 길이방향으로 각각 형성되며 외측으로 회동축이 각각 구비되는 한 쌍의 암과, 상기 한 쌍의 암이 고정되며 상기 필터의 유체입출구와 각각 접하는 관통홈이 형성된 플레이트로 이루어지는 가이드와; 상기 회동축이 관통되어 회동 지지되는 회동축공이 각각 형성되며, 상기 돌출핀이 관통 지지되어 상기 필터하우징이 상기 슬라이드홈의 길이방향으로 좌우 슬라이딩 가능하도록 상기 회동축공을 기준으로 반경이 비대칭한 곡선안내홈이 각각 형성되는 ㄷ자 형상의 핸들을; 포함하는 필터 브라켓을 제공한다.The present invention to achieve the above object, at least two fluid inlet and outlet protruding forward filter; A hemispherical filter housing in which the filter is seated and protrusion pins are formed at both sides of an outer circumferential surface thereof; A pair of arms each having a linear slide groove in which the protruding pins are disposed penetrate in the longitudinal direction and a rotation shaft are provided to the outside, and a pair of arms fixed through the grooves and the through grooves respectively contacting the fluid inlet and outlet of the filter A guide comprising a plate formed thereon; Rotating shaft holes through which the pivot shaft penetrates and are pivotally supported are formed, respectively, and the protruding pins are penetrated to support the filter housing so that the filter housing can slide left and right in the longitudinal direction of the slide groove. A U-shaped handle each having a guide groove formed therein; It provides a filter bracket including.
전술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 필터의 탈부착이 핸들의 회동에 의한 직선 슬라이딩 식으로 체결되어 필터 탈부착 작업이 용이하고, 종래 회동식 결합에 따른 아답터 사이의 O-링 파손문제 및 실링 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the detachable filter is fastened by a linear sliding type by the rotation of the handle to facilitate the detachable filter operation, and prevents the O-ring breakage problem and sealing degradation between the adapters according to the conventional pivotal coupling. It can work.
이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 브라켓에 대해 상세하게 살펴본다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings looks at in detail with respect to the filter bracket according to an embodiment of the present invention.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 필터 브라켓의 사시도로서 필터가 우측으로 슬라이딩되어 착탈가능한 상태를 보인 도면이고, 도 2는 도 1의 필터가 핸들의 회동에 의해 좌측으로 슬라이딩되어 고정된 상태를 보인 사시도이며, 도 3은 도 1의 필터하우징을 보인 사시도이며, 도 4는 도 3의 필터하우징에 필터가 안착된 상태를 보인 사시도이며, 도 5는 도 3의 필터하우징 정면을 보인 정면도이며, 도 6은 도 1의 가이드를 보인 사시도, 및 도 7은 도 1의 핸들을 보인 사시도이다.1 is a perspective view of a filter bracket according to an embodiment of the present invention showing a state in which the filter is removable by sliding to the right, Figure 2 is a state in which the filter of Figure 1 is slid to the left by the rotation of the handle is fixed 3 is a perspective view illustrating the filter housing of FIG. 1, FIG. 4 is a perspective view illustrating a state in which the filter is seated in the filter housing of FIG. 3, and FIG. 5 is a front view illustrating the filter housing of FIG. 3. 6 is a perspective view of the guide of FIG. 1, and FIG. 7 is a perspective view of the handle of FIG. 1.
도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 필터 브라켓(100)은, O-링이 내삽된 유체입출구(115)를 제공하는 IN(111), OUT(112), VENT(113)가 전방으로 돌출 형성되며 상측에 손잡이(116)가 부착된 필터(110)와, 상기 필터(110)가 안착되고 외주면 양측에 돌출핀(121)이 각각 형성되는 반구 형상의 필터하우징(120)과, 상기 돌출핀(121)이 관통 배치되는 직선형상의 슬라이드홈(131)이 길이방향으로 각각 형성되며 외측으로 회동축(132)이 각각 구비되는 한 쌍의 암(135)과 상기 한 쌍의 암(135)이 고정되며 상기 필터의 유체입출구(111)(112)(113)와 각각 접하는 관통홈(136)이 형성된 플레이트(138)로 이루어지는 가이드(130)와, 상기 회동축(132)이 관통되어 회동 지지되는 회동축공(141)이 각각 형성되며 상기 돌출핀(121)이 관통 지지되어 상기 필터하우징(120)이 상기 슬라이드홈(131)의 길이방향으로 직선 슬라이딩 가능하도록 상기 회동축공(141)을 기준으로 반경이 비대칭한 곡선안내홈(142) 이 각각 형성되는 ㄷ자 형상의 핸들(140)을 포함하여 이루어진다.As shown in the figure, the
여기서 상기 필터(110)는 도 4와 같이 상기 유체입출구(115)가 수직 배열식으로 배치되며, 환상으로 형성됨을 예시하고 있으나, 이에 한정되지 않으며 공지된 다양한 형상으로 대체될 수 있음은 물론이다. 또한, 상기 유체입출구(115)의 반대편에는 상기 필터하우징(120) 일측의 홈(122)에 압입 고정되도록 돌기(117)가 구비된다.Here, the
상기 필터하우징(120)은 상기 필터(110)가 내측에 압입식으로 안착되도록 내면에 적어도 하나의 압입돌출부(123)가 구비된다.The
상기 가이드(130)의 암(135)은 상기 슬라이드홈(131) 상, 하부에 반구(半球) 형상의 돌출된 혹(135a)을 구비하여 상기 필터하우징(120)의 슬라이딩 상태를 선택적으로 고정할 수 있다.The
이를 위해 상기 필터하우징(120)은 그 외주면 양측으로 돌출형성되는 걸림핀(124)을 구비하고, 상기 걸림핀(124)에 상기 혹(135a)에 대응되는 형상으로 음형지게 형성되는 요홈(124a)을 구비하여 상기 요홈(124a)이 상기 혹(135a)에 선택적으로 안착 가능함으로써 실현된다.To this end, the
상기 핸들(140)의 곡선안내홈(142)은 도 1을 기준으로 좌측단이 상기 회동축공(141)으로부터 최소 반경을 가지며, 우측단이 상기 회동축공(141)으로부터 최대 반경을 가지도록 형성하여 반경이 좌측단에서 우측단으로 갈수록 점점 커지도록 형성됨이 바람직하다. The
한편, 전술한 바와 같이 구성되는 상기 필터 브라켓(100)은 아답터(200)(도 8 참조)와 상기 가이드(130)의 플레이트(138)가 핀(도시 생략) 결합으로 일체화됨으로써 공지된 펌프유닛(미도시)과 결합된다.On the other hand, the
이러한 상기 아답터(200)의 그 일면(200a)에는 상기 필터(110)의 유체입출구(115)와 대응되는 위치에 체결홈(210)이 수직배열되고, 그 반대면(200b)(도 9 참조)에는 후술할 유로(230)가 내삽되고 상기 펌프유닛의 각 포트(미도시)와 결합되는 결합홈(220)이 수평배열된다.The
이때, 상기 체결홈(210)에는 내부가 천공(211a)되며 일측 외주면에 링(212)이 결합된 커넥터(211)의 일측(우측)이 삽입 고정되고, 타측(좌측)이 상기 플레이트(138)의 관통홈(136)을 관통 및 상기 필터(110)의 유체출입구(115) 측에 배치됨으로써 상기 필터(110)의 좌측 슬라이딩에 의한 결합(커넥터의 타측이 필터의 유체출입구에 각각 삽입)시 상기 필터(110)와 아답터(200)가 연통 가능하게 된다.At this time, one side (right side) of the
또한, 상기 필터(110)의 IN(111)에 대응되는 상기 체결홈(210)은 결합홈(220)의 IN 포트 결합홈(221)과 곧바로 연통되나, 상기 필터(110)의 OUT(112) 및 VENT(113)에 대응되는 상기 체결홈(210)과 결합홈(220)의 OUT 포트 결합홈(222) 및 VENT 포트 결합홈(223)은 도 10에 도시된 바와 같이 유로(230)에 의해서 서로 연통되는 구조이다.In addition, the
상기 유로(230)는 도 11에 도시된 바와 같이 약 5.31° 경사지게 형성하고 선, 후단의 절곡부를 라운드(R)지게 형성하여 상기 유로(230)의 선, 후단 측에 유체가 정체되지 않게 함이 바람직하다.The
미설명된 도면부호인 205는 핀 홀이다.
이하, 전술한 바와 같이 구성되는 본 발명의 필터 브라켓(100)은 다음과 같이 작동한다.Hereinafter, the
도 1에 도시된 바와 같이 핸들(140)이 반 시계방향으로 회동된 상태에서 사용자에 의해 필터(110)가 필터하우징(120)에 압입식으로 안착되면, 필터(110)는 필터하우징(120)과 일체로 좌측으로 슬라이딩 가능한 상태가 된다. As illustrated in FIG. 1, when the
이때, 상기 필터하우징(120)의 돌출핀(121)은 암(135)의 슬라이드홈(131)을 관통함과 동시에 핸들(140)의 곡선안내홈(142) 최대 반경측에 관통 지지된 상태이이므로 가이드(130)의 플레이트(138) 측과 일정거리 이격되어 있다.At this time, since the protruding
이와 같이 필터(110)가 안착된 상태에서 사용자가 핸들(140)의 상측을 잡고 도 2에 도시된 바와 같이 시계방향으로 회동을 시키게 되면 필터하우징(120)의 돌출핀(121)이 핸들(140)의 곡선안내홈(142) 최소 반경 측인 좌측으로 슬라이딩 됨과 아울러 필터(110)의 유체입출구(115)에 커넥터(211)의 타측이 각각 삽입됨으로써 필터(110)와 아답터(200) 간의 결합으로 인한 유로가 형성된다.As such, when the user grasps the upper side of the
이때, 상기 필터(110)와 아답터(200)의 결합은 필터하우징(120)의 걸림핀(124) 요홈(124a)에 암(135)의 혹(135a)이 걸림됨으로써 그 상태가 견고히 유지된다.At this time, the combination of the
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 필터 브라켓의 사시도로서 필터가 우측으로 슬라이딩되어 착탈가능한 상태를 보인 도면이다.1 is a perspective view of a filter bracket according to an embodiment of the present invention showing a state in which the filter is detachable by sliding to the right.
도 2는 도 1의 필터가 핸들의 회동에 의해 좌측으로 슬라이딩되어 고정된 상태를 보인 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing a state in which the filter of Figure 1 is fixed by sliding to the left by the rotation of the handle.
도 3은 도 1의 필터하우징을 보인 사시도이다.3 is a perspective view illustrating the filter housing of FIG. 1.
도 4는 도 3의 필터하우징에 필터가 안착된 상태를 보인 사시도이다.4 is a perspective view illustrating a state in which a filter is seated in the filter housing of FIG. 3.
도 5는 도 3의 필터하우징 정면을 보인 정면도이다.FIG. 5 is a front view of the filter housing of FIG. 3.
도 6은 도 1의 가이드를 보인 사시도이다.6 is a perspective view illustrating the guide of FIG. 1.
도 7은 도 1의 핸들을 보인 사시도이다.FIG. 7 is a perspective view illustrating the handle of FIG. 1. FIG.
도 8은 본 발명의 필터 브라켓을 공지된 펌프유닛에 결합시키기 위한 구성인 아답터의 일면을 보인 사시도이다.Figure 8 is a perspective view showing one side of the adapter which is a configuration for coupling the filter bracket of the present invention to a known pump unit.
도 9는 도 8의 아답터 반대면을 보인 사시도이다.FIG. 9 is a perspective view illustrating an opposite surface of the adapter of FIG. 8. FIG.
도 10은 도 9의 아답터의 정면도이다.10 is a front view of the adapter of FIG.
도 11은 도 8의 아답터의 측면도이다.FIG. 11 is a side view of the adapter of FIG. 8. FIG.
Claims (8)
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070081794A KR100788485B1 (en) | 2007-08-14 | 2007-08-14 | Filter bracket |
PCT/KR2007/006591 WO2009022768A1 (en) | 2007-08-14 | 2007-12-17 | Filter bracket |
TW097130910A TW200915385A (en) | 2007-08-14 | 2008-08-14 | Filter bracket |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070081794A KR100788485B1 (en) | 2007-08-14 | 2007-08-14 | Filter bracket |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100788485B1 true KR100788485B1 (en) | 2007-12-24 |
Family
ID=39147942
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070081794A KR100788485B1 (en) | 2007-08-14 | 2007-08-14 | Filter bracket |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100788485B1 (en) |
TW (1) | TW200915385A (en) |
WO (1) | WO2009022768A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101533888B1 (en) * | 2013-11-14 | 2015-07-03 | 도레이케미칼 주식회사 | Carriage with supporting device for assemblying filter sump and filter assembly using thereof |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI612999B (en) | 2011-10-03 | 2018-02-01 | 恩特葛瑞斯公司 | Modular filter cassette |
JP2016508200A (en) | 2012-10-01 | 2016-03-17 | インテグリス・インコーポレーテッド | Concatenation system and concatenation method |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0957014A (en) * | 1995-08-30 | 1997-03-04 | Kurita Mach Mfg Co Ltd | Movable plate for filter press |
KR200211515Y1 (en) | 2000-08-23 | 2001-01-15 | 코아텍주식회사 | Improvements in filter for use in fluid pipe |
JP2004230305A (en) | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Mitsuboshi Belting Ltd | Cylindrical screen for strainer |
KR20070026212A (en) * | 2005-08-31 | 2007-03-08 | 이턴 코포레이션 | Fulid filter |
-
2007
- 2007-08-14 KR KR1020070081794A patent/KR100788485B1/en not_active IP Right Cessation
- 2007-12-17 WO PCT/KR2007/006591 patent/WO2009022768A1/en active Application Filing
-
2008
- 2008-08-14 TW TW097130910A patent/TW200915385A/en unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0957014A (en) * | 1995-08-30 | 1997-03-04 | Kurita Mach Mfg Co Ltd | Movable plate for filter press |
KR200211515Y1 (en) | 2000-08-23 | 2001-01-15 | 코아텍주식회사 | Improvements in filter for use in fluid pipe |
JP2004230305A (en) | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Mitsuboshi Belting Ltd | Cylindrical screen for strainer |
KR20070026212A (en) * | 2005-08-31 | 2007-03-08 | 이턴 코포레이션 | Fulid filter |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101533888B1 (en) * | 2013-11-14 | 2015-07-03 | 도레이케미칼 주식회사 | Carriage with supporting device for assemblying filter sump and filter assembly using thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200915385A (en) | 2009-04-01 |
WO2009022768A1 (en) | 2009-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100788485B1 (en) | Filter bracket | |
JP4392347B2 (en) | Surgical handpiece with dual drive heads rotating at different speeds | |
US20070205239A1 (en) | Object carrier with flexible exchangeable support arm | |
EP3542691B1 (en) | Motor assembly | |
US8858570B2 (en) | Skin treatment apparatus | |
JP5525667B1 (en) | Rotating body, brush cutter and mowing method | |
CN111685664A (en) | Cleaning robot | |
JP5909949B2 (en) | Inscribed gear pump | |
JPS597480B2 (en) | Pump mounting device for automatic washing machine | |
JP5910548B2 (en) | Flow path switching valve | |
JP2014178002A (en) | Flow channel diversion valve | |
JP5019048B2 (en) | Fuel pump mounting structure | |
JP6574363B2 (en) | Cartridge vane pump | |
EP2823745B1 (en) | Cleaner and nozzle for the same | |
WO2017047484A1 (en) | Cartridge vane pump | |
CN109595104A (en) | Element kit and filter | |
CN216419854U (en) | Multifunctional nozzle | |
JP4527352B2 (en) | Pump device and vehicle washer pump device | |
JP6620071B2 (en) | Wiper blade | |
JP2012035387A (en) | Water injection attachment for electric power tool, and electric power tool | |
JP2001314467A (en) | Hand shower with massage function | |
CN216200822U (en) | Rotary valve | |
JP5903034B2 (en) | Substrate holding device and polishing apparatus provided with the substrate holding device | |
JP2017044218A (en) | Hydraulic pump device | |
CN217390664U (en) | Cleaning device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20111220 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121218 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |