KR100757036B1 - Cleaning system for dust blocking upon drilling of clean room and method for dust blocking thereof - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템을 도시한 일부 절개 사시도1 is a partial cutaway perspective view showing a dust blocking system for cleaning in a clean room according to an embodiment of the present invention
도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공잔유물 및 분진 차단장치가 클린룸의 천장에 설치된 상태를 도시한 단면도2 is a cross-sectional view showing a state in which the perforated residues and the dust blocking device of the clean system for dust blocking during the clean room drilling according to an embodiment of the present invention are installed on the ceiling of the clean room;
도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공잔유물 및 분진 차단장치가 설치된 상태에서 천장이 천공기로 천공되는 상태를 도시한 단면도3 is a cross-sectional view showing a state in which the ceiling is punctured by a puncturer in a state in which a puncture residue and a dust blocking device are installed in a clean system for dust blocking during clean room drilling according to an embodiment of the present invention;
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공홀 밀봉부재가 천장의 천공홀에 삽입되는 상태를 도시한 단면도Figure 4 is a cross-sectional view showing a state in which the hole sealing member of the drilling hole of the cleaning system for dust blocking during clean room drilling according to an embodiment of the present invention is inserted into the drilling hole of the ceiling
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공홀 밀봉부재가 천장의 천공홀에서 팽창 밀봉된 상태를 도시한 단면도5A and 5B are cross-sectional views illustrating a state in which a hole sealing member of an airtight cleaning system for dust blocking in a clean room is expanded and sealed in a hole in a ceiling according to an embodiment of the present invention;
도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공잔유물 및 분진 차단장치가 하방으로 이동되어 천공홀 밀봉부재 하부의 수 탈리부재가 분리된 상태를 도시한 단면도Figure 6 is a cross-sectional view showing a state in which the punching residue and the dust blocking device of the dust cleaning system for cleaning dust in the clean room according to an embodiment of the present invention is moved downward to separate the water stripping member in the lower portion of the drilling hole sealing member
도 7은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템을 이용하여 분진을 차단하는 방법을 나타낸 흐름도7 is a flowchart illustrating a method of blocking dust using a clean system for dust blocking during clean room drilling according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10. 천장 13. 천공홀10.
15. 천공잔유물 17. 분진15.
20. 천공기 100. 분진 차단용 청정시스템20. Perforator 100. Clean system for dust prevention
200. 천공홀 밀봉부재 202. 비닐 겉지200. Perforated
210. 암 밀봉부재 213. 밀봉부210.
214. 끼움홈 215. 외부 팽창캡부214. Fitting
220. 수 탈리부재 223. 탈리부220. Tally
225. 내부 팽창캡부 300. 천공잔유물 및 분진 차단장치 225.
310. 본체 311. 배출호스 배출공 310.
320. 승강부재 325. 구동모터320.
327. 감김롤 328. 승강와이어327. Rolling
330. 분진 차단부 332. 분진 유입공330.
335. 고무밀착패드 337. 분진 유출공335.
340. 제1 필터 344. 천공잔유물 차단공340.
350. 제2 필터 360. 물 배출호스 350.
400. 보조캡400. Auxiliary Cap
본 발명은 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 설명하면, 반도체와 같은 고집적회로제조실과 같은 클린룸의 천장 및 벽면을 천공하기 위한 작업시에 유출되는 분진이 클린룸에 투입되지 않고 완전히 외부로 유출 제거되도록 하는 구조로 이루어진 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법에 관한 것이다.The present invention relates to a dust cleaning system and a dust blocking method using the same when cleaning the room, more specifically, in the operation for drilling the ceiling and walls of a clean room, such as a high density circuit manufacturing room, such as a semiconductor The present invention relates to a dust blocking clean system and a dust blocking method using the same, in which a dust is discharged and is discharged to the outside without being injected into a clean room.
일반적으로, 반도체와 같은 고집적회로제조실, 유전자공학연구실, 공조위생설비업 등 생산 및 연구를 위한 클린룸에는 각종의 정밀한 특수장비가 설치되기 때문에 외부의 미세한 분진 및 미립자 등을 원천적으로 차단 제거해야 한다.In general, various clean and special equipments are installed in the production room for high-integrated circuit manufacturing rooms such as semiconductors, genetic engineering laboratories, air-conditioning and sanitary facilities, etc. do.
한편, 클린룸의 특수장비를 교체 및 재배치하면서 배선을 위한 배관 작업 등을 위해 불가피하게 천장 및 벽면을 천공하는 작업을 진행하는 경우가 발생한다.On the other hand, while replacing and relocating the special equipment of the clean room inevitably the work to drill the ceiling and wall surface for the piping work for the wiring occurs.
이러한 경우에, 종래의 클린룸 천공 작업시의 작업(도시 안함)은 천장 적소의 천공(타공)점을 중심으로 천장부터 바닥까지 2미터 내지 5미터 높이의 주변을 둘러싸도록 비닐 보양 차단막을 무진 접착 테이프를 이용해 접착하여 씌우고 바닥에 가능한 분진의 날림을 방지하기 위해 일반 산업용 진공청소기를 준비한 후 드릴 등의 천공기로 천장의 외부 위에서 원하는 직경으로 천공 작업을 하는 구조이다.In this case, a conventional clean room drilling operation (not shown) is a dust-free adhesive to the vinyl retaining barrier so as to enclose a perimeter of 2 to 5 meters height from ceiling to floor centered on the perforation (perforation) point of the ceiling. It is a structure that prepares general industrial vacuum cleaner in order to attach with tape and prevent dust dust from falling on the floor, and then drills to the desired diameter on the outside of the ceiling with a drill or drill.
이때, 천공에 따라 바닥으로 그대로 떨어지는 천공잔여물(천장벽 부스러기)은 천장 천공점 아래에서 작업자가 양동이 등을 받쳐 받아 수거하며 바닥에 있는 별도의 작업자는 진공청소기로 바닥에 낙하된 분진을 흡수하나, 미세한 먼지 등의 분진은 무방비로 클린룸의 비닐 보양 차단막내 공기 중에 유출되기 때문에, 반드시 천공 작업이 끝난 후에 작업자가 천공홀을 무진 테이프 등으로 막아 외부의 먼지의 유입을 막고, 비닐 보양 차단막내 주변을 모두 고가의 클린페이퍼를 이용하여 알코올 등으로 닦아내야만 한다.At this time, the perforated residue (ceiling wall debris) falling to the floor according to the perforation is collected by the worker under the ceiling perforation point with a bucket, and the separate worker on the floor absorbs the dust dropped on the floor with a vacuum cleaner. Since dust, such as fine dust, is leaked into the air inside the vinyl maintenance barrier in the clean room without defense, the worker must block the drilling hole with dust-free tape after the completion of drilling to prevent the inflow of dust. You should wipe all the surroundings with alcohol using expensive clean paper.
그러나, 이러한 종래의 클린룸 천공 작업시의 분진 차단용 청정시스템 및 천공방법은 클린룸의 청정도가 중요함에도 불구하고, 그 구조적 및 방법적인 면에서 일반 비클린룸 천공 작업의 수준을 벗어나지 못해, 분진의 유출을 완전히 차단할 수 없는 문제점이 있었다.However, even though the cleanliness system and the method of perforating dust in the conventional clean room drilling work are important, the cleanness of the clean room does not escape the level of general non-clean room drilling work in terms of structure and method. There was a problem that can not completely block the leakage of.
또한, 반드시 넓은 공간의 비닐 보양 차단막내부에 이미 유출된 분진을 제거하기 위해 비닐 보양 차단막 내부의 모든 부분을 알코올을 이용하여 많은 작업자가 추가로 세척을 실시하여야 하기 때문에 많은 인적, 물적 자원이 소요되어 시간적, 금전적 작업 손실이 발생되면서도, 클린페이퍼, 진공청소기 등으로 철저한 세척을 하더라도 비닐 보양 차단막내의 떠다니는 분진을 제거하기는 어려워 천공 작업 후 클린룸의 청정도를 저하시키는 요인으로 작용하여 0.1 마이크로 이하의 분진을 단위 면적당 몇 개 이하로 관리하여야만 하는 반도체와 같은 고집적회로제조 공정상에서 심각한 불량 발생의 요인이 되는 문제점이 있었다.In addition, in order to remove dust already leaked inside the vinyl maintenance barrier in a large space, many human and physical resources are required because many workers have to additionally wash all parts of the vinyl maintenance barrier using alcohol. Even though time and financial work loss occurs, even if it is thoroughly cleaned with clean paper or vacuum cleaner, it is difficult to remove floating dust in the vinyl maintenance barrier, which acts as a factor that reduces the cleanliness of the clean room after drilling. There is a problem that causes serious defects in the integrated circuit manufacturing process, such as semiconductor, which has to manage less than a few dusts per unit area.
따라서, 클린룸 천공시에 적은 인력 및 비용으로도 분진 유출의 완전 차단 및 제거가 가능한 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법이 요구되었다. Therefore, there is a need for a dust blocking clean system and a dust blocking method using the same, which are capable of completely blocking and removing dust spills with little manpower and cost during clean room drilling.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 클린룸 천공시 천공 작업의 간소화는 물론, 작업 비용을 대폭 절감시키면서도 분진의 유출을 완전 차단하여 제거하는 구조로 된 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법을 제공하는 데 있다.The present invention is to overcome the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention is to clean the punctured work in the clean room, as well as to significantly reduce the cost of work while reducing the outflow of dust clean room structure The present invention provides a clean system for blocking dust during drilling and a dust blocking method using the same.
본 발명의 또 다른 목적은 클린룸 천공시에 타 특수장비의 가동을 중단하지 않아도 되도록 천공점 부분만을 분진을 차단하여 제거하기 위한 최소의 작업 공간으로 하는 구조로 된 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 제거방법을 제공하는 데 있다.Still another object of the present invention is to block dust in a clean room with a structure having a minimum working space for blocking and removing dust only at a puncturing point so that other special equipment does not have to be stopped during clean room drilling. The present invention provides a clean system and a method for removing dust using the same.
본 발명의 이러한 목적은 클린룸의 천장(10) 및 벽면의 적소를 천공기(20)로 천공홀(13) 천공시 발생되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)을 차단하는 분진 차단용 청정시스템(100)으로, 상기 천공된 천공홀(13)에 삽입 밀봉되어 외부로부터 분진(17)의 투입을 차단하는 천공홀 밀봉부재(200)와; 일측면에 통공이 형성된 본체(310)와, 상기 본체 일측의 통공에 결합되며 일단부에는 분진 유출공(337)이 통공되고 클린룸 천장(10)의 천공홀(13) 주변 내측면을 감싸 밀착되는 타단부에는 분진유입공(332)이 통공된 분진 차단부(330)로 이루어진 천공잔유물 및 분진 차단장치(300);를 포함하여 구성되어, 상기 천장 천공시 및 천공된 천공홀에 천공홀 밀봉부재(200)의 삽입시 발생되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)이 클린룸으로 투입되지 않고 상기 분진 차단부(330)의 분진 유입공(332)을 통해 유입되어 분진 유출공(337)을 통해 본체(310)의 외부로 배출되는 구조를 가진 본 발명에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법에 의하여 달성된다.This object of the present invention is a clean system for dust blocking to block the puncture residues (15) and dust (17) generated when drilling the hole (13) in the
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법의 일례로서, 다음의 구성과 효과에서 자세히 설명한다.In order to achieve the object of the present invention described above, as an example of a dust blocking method and a dust blocking method using the same, a clean room for puncturing the clean room according to the present invention will be described in detail in the following configurations and effects.
이하, 본 발명의 바람직한 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a dust blocking method and a dust blocking method for cleaning the dust in a clean room according to an embodiment of the present invention will be described in detail.
도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법이 도시되어 있다.1 to 7, there is shown a dust blocking method and a dust blocking method using the same when the clean room punching according to an embodiment of the present invention.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템을 도시한 일부 절개 사시도이다.1 is a partial cutaway perspective view showing a dust blocking system for cleaning in a clean room according to an embodiment of the present invention.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템(100)은 클린룸의 천장(10) 및 벽면의 적소를 천공기(20)로 천공홀(13) 천공시 발생되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)을 차단하는 분진 차단용 청정시스템(100)에 있어서, 상기 천공된 천공홀(13)에 삽입 밀봉되어 외부로부터 분진(17)의 투입을 차단하는 천공홀 밀봉부재(200)와, 중공의 본체(310)에 결합된 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)로 구성된다.As shown in FIG. 1, in the clean
도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공잔유물 및 분진 차단장치가 클린룸의 천장에 설치된 상태를 도시한 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공잔유물 및 분진 차단장치가 설치된 상태에서 천장이 천공기로 천공되는 상태를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a state in which the perforated residues and the dust blocking device of the clean system for dust blocking during clean room drilling are installed on the ceiling of the clean room, and FIG. 3 is an embodiment of the present invention. A cross-sectional view showing a state in which the ceiling is punctured by a perforator in a state in which a perforated residue and a dust blocking device are installed in a dust blocking clean system during a clean room puncture.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템(100)의 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)는 일측면에 통공이 형성된 본체(310)와, 상기 본체 일측의 통공에 결합되며 일단부에는 분진 유출공(337)이 통공되고 클린룸 천장(10)의 천공홀(13) 주변 내측면을 감싸 밀착되는 타단부에는 분진유입공(332)이 통공된 분진 차단부(330)를 포함한다.As shown in Figures 2 and 3, the perforated residue and
그리고, 일단은 상기 본체(310)의 상부에 결합되고 타단은 상기 분진 차단부(330)의 하부에 결합되어 승강가능하게 구동되는 승강부재(320)와, 일단은 상기 분진 차단부(330)의 분진 유출공(337)에 결합되고, 타단은 상기 승강부재(320)의 내부를 따라 본체(310) 내부에 소정의 승강 높이에 대응되는 길이로 감겨 본체 일 측에 형성된 배출호스 배출공(311)을 통해 외부로 연장 노출된 물 배출호스(360)를 더 포함하여 구성된다.And, one end is coupled to the upper portion of the
따라서, 승강부재(320)의 승강에 따라 분진 차단부(330) 및 물 배출호스(360)가 승강된다.Therefore, the
한편, 이하에서는 상기 물 배출호스(360)를 통해서 물 이외에 미세 분말 상의 분진이 통과하여 본체 외부로 유출 제거될 수 있는 실시 예로 설명하지만, 바람직하게는 물 배출호스(360)가 미세 분말 상의 분진에 의해 막히는 것을 방지하기 위해 후술하는 제2 필터(350)를 미세 분말 상의 분진이 완전 차단되도록 형성하여 물 배출호스(360)를 통해서는 물만이 외부로 배출되도록 할 수 있다.On the other hand, the following description will be described an embodiment in which dust through the
따라서, 종래에는 벽돌 구조의 천장 타공 천공시에 사용되는 물(및 물에 의해 발생된 미생물)에 의한 오염을 차단하기가 어려운 문제가 발생되어 반도체 공정 등에서 불량의 큰 원인이 되어 왔으나, 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템(100)은 이러한 물에 의한 오염을 완전하게 차단할 수 있어 보다 청정하게 천공 작업을 할 수 있는 구조이다.Therefore, in the related art, it is difficult to block contamination by water (and microorganisms generated by water) used when drilling a ceiling of a brick structure, which has been a major cause of defects in semiconductor processes and the like. Clean room for dust blocking during clean room drilling according to an
그리고, 상기 천장의 내측면에 분진 차단부(330)의 유리 흡착용 고무재 등으로 된 고무밀착패드(335)가 밀착되도록 안테나식으로 체결된 승강부재(320)의 승강시에는 구동모터(325)를 작동시켜 감김롤(327)에 감겨지고 일단은 승강부재의 일측에 고정된 승강와이어(328)를 상방으로 밀어 올리는 방식으로 승강부재가 상승된다.In addition, the driving
이때, 상기 승강와이어(328)의 일측에는 구동모터(325)에 연결되어 회전되는 회전기어(326)에 결합되어 승강되도록 기어치(기어산)가 형성된다.At this time, one side of the
한편, 상기 승강부재의 승강에 의한 높이 조절 구조는 승강부재의 일측에 높이 조절공(도시 안함)을 형성하여 수동으로 소정 높이로 승강시킨 후 수동 높이조절핀(도시 안함)을 높이 조절공에 꽂아 고정하는 방식으로 구비될 수 있다.On the other hand, the height adjustment structure by the elevating member of the elevating member to form a height adjusting hole (not shown) on one side of the elevating member to manually raise and lower the predetermined height and then plug the manual height adjusting pin (not shown) into the height adjusting hole. It may be provided in a fixed manner.
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공홀 밀봉부재가 천장의 천공홀에 삽입되는 상태를 도시한 단면도이다.Figure 4 is a cross-sectional view showing a state in which the hole sealing member of the punching hole of the clean system for dust blocking during clean room drilling according to an embodiment of the present invention is inserted into the hole of the ceiling.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 천공홀 밀봉부재(200)는 상기 천공홀(13)에 삽입되어 팽창됨으로써 천공홀을 밀봉하는 암 밀봉부재(210)와, 상기 암 밀봉부재(210) 하부의 끼움홈(214)에 상부가 삽입 끼움결합되는 수 탈리부재(220)로 구성되어 상기 천공된 천공홀(13)에 삽입된 후 팽창되면서 밀봉 고정되도록 작동되어 결국 외부로부터 분진(17)의 투입을 차단한다.As shown in FIG. 4, the punching
바람직하게는, 상기 천공홀 밀봉부재(200)는 고압축 후 압축이 해제되면 팽창되는 스펀지, 고탄성 PVC 등 고신축의 합성수지재로 형성된다.Preferably, the drilling
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공홀 밀봉부재가 천장의 천공홀에서 팽창 밀봉된 상태를 도시한 단면도이다.5A and 5B are cross-sectional views illustrating a state in which a hole sealing member of an airtight cleaning system for dust blocking in a clean room is expanded and sealed in a hole in a ceiling according to an embodiment of the present invention.
도 5a는 천공홀 밀봉부재(200)를 천공홀에 삽입한 후 천공홀 밀봉부재(200) 의 팽창을 압착하고 있는 비닐 겉지(202)를 제거하여 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215) 및 내부 팽창캡부(225)가 팽창되어 펼쳐져 고정되는 상태를 설명하기 위한 것이고, 도 5b는 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215)가 팽창되어 펼쳐져 천장 외측면에 면접되는 면접 접착면(216)의 내측면에 미리 접착되어진 양면테이프(217)의 테이프 겉지(218)를 벗겨 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215)의 면접 접착면(216)이 천장 외측면에 견고하게 접착 고정되는 상태를 설명하기 위한 것이다.5a illustrates that the
미설명부호 203은 비닐 겉지(202)에 의해 압착되어 수축된 상태의 천공홀 밀봉부재(200)를 이점쇄선으로 나타낸 것이다.(비닐 겉지(202)를 벗기면 팽창된다.)
도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 천공홀 밀봉부재(200)의 암 밀봉부재(210)는 상부는 고팽창 탄성재로 된 외부 팽창캡부(215)가 하부는 고밀도 탄성재로 된 밀봉부(213)가 형성되고, 수 탈리부재(220)는 상부는 상기 밀봉부(213)의 하부 끼움홈(214)에 끼워져 결합되는 탈리부(223)가 하부는 고팽창 탄성재로 된 내부 팽창캡부(225)가 형성되어 상기 천공홀(13) 및 상기 분진 차단부(330)의 분진 유입공(332)을 통과하여 분진 차단부(330) 내부에 노출 고정된다.As shown in FIGS. 5A and 5B, the
상기 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215)는 상기 천공홀(13) 외부에서 팽창되어 펼쳐져 고정되고, 상기 수 탈리부재(220)의 내부 팽창캡부(225)는 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 분진 차단부(330)의 내부에서 팽창되어 펼쳐져 면접 밀착면(226)이 상기 분진 차단부(330)의 고무밀착패드(335)의 분진 유출공(337) 주 변 내측면에 면접 고정된다.The
한편, 천공홀 밀봉부재(200)는 천장과 고무밀착패드(335)의 높이에 대응되는 두께로 구비된다. 즉, 천공홀 밀봉부재(200)는 무진재 및 고탄성재로 된 청정소재로 이루어지며, 천공 작업을 하기 이전에 각 천공홀의 크기별, 모양별로 맞춤 제조될 수 있다.On the other hand, the
도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공잔유물 및 분진 차단장치가 하방으로 이동되어 천공홀 밀봉부재 하부의 수 탈리부재가 분리된 상태를 도시한 단면도이다.Figure 6 is a cross-sectional view showing a state in which the punching residue and the dust blocking device of the dust cleaning system for cleaning dust in the clean room according to an embodiment of the present invention is moved downward to separate the water stripping member in the lower portion of the drilling hole sealing member to be.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 천공홀 밀봉부재(200)의 수 탈리부재(220)는 상기 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 분진 차단부(330)가 하강시에 암 밀봉부재(210)로부터 빠져 탈리된다.As illustrated in FIG. 6, the
도 3 내지 도 6을 참조하여 상기 분진 차단부(330)를 상세하게 설명하면, 분진 차단부(330)는 상광하협의 깔대기 형상으로 형성되어, 상단에 상기 천장 적소의 천공홀에 대응되는 내측면 주변에 밀착 면접되는 고무밀착패드(335)가 결합되고, 중앙에는 원환판상의 제1 필터(340)가 고정되고, 하부 분진 유출공(337)의 상측에는 제2 필터(350)가 고정된다.3 to 6, the
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 천장 천공시에 고무밀착패드(335)의 중앙에 분진 유입공(332)이 통공되고, 천장 천공시 및 천공홀에 천공홀 밀봉부재(200)의 삽입시 고무밀착패드(335)의 분진 유입공(332)을 통해 분진 차단부(330) 내부로 유입되는 천공잔유물 및 분진 가운데 천공잔유물(15)은 제1 필터(340)에 통공된 천공잔유물 차단공(344)에 걸려 차단되고, 제1 필터의 천공잔유물 차단공(344)을 통과한 분진(17) 가운데 큰 직경의 분진은 제2 필터(350)에 걸려 차단되며 미세 분말상의 분진은 분진 유출공(337)을 통과해 물 배출호스(360)를 따라 본체 외부로 유출 제거된다.As shown in FIG. 3, the
즉, 상기 천장 천공시 및 천공된 천공홀에 천공홀 밀봉부재(200)의 삽입시 발생되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)이 클린룸으로 투입되지 않고 상기 분진 차단부(330)의 분진 유입공(332)을 통해 유입되어 분진 유출공(337)을 통해 본체(310)의 외부로 배출된다.In other words, the dust of the dust cut-off
한편, 상기 본체 외부에 배출된 물 배출호스(360)의 일측에는 배출호스 개폐밸브(368)가 설치되어 사용 종료시에 잠글 수 있다.On the other hand, one side of the
그리고, 상기 천장 천공시 일례로 콘크리트 타공 등의 경우에는 열을 식히도록 하기 위해 물이 투입되어 분진과 함께 물이 물 배출호스(360)를 따라 본체(310)의 외부로 배출되거나, 본체의 하부에 물 및 분진 저장통을 구비할 수 있음은 물론이다.In the case of drilling the ceiling, for example, in the case of concrete perforation, water is added to cool the heat, and water is discharged to the outside of the
도 7은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템을 이용하여 분진을 차단하는 방법을 나타낸 흐름도이다.FIG. 7 is a flowchart illustrating a method of blocking dust by using a dust blocking clean system when drilling a clean room according to an embodiment of the present disclosure.
도 7을 참조하여 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템을 이용한 분진 차 단방법을 설명하면, 우선, 클린룸 천장에서 천공할 천공홀의 적소를 정하여 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 위치를 선정한 후 천장의 천공홀 자리의 내측면 주변에 분진 차단부(330)의 고무밀착패드(335)가 밀착되도록 승강부재(320)를 상승시킨다.(S510)Referring to FIG. 7, a dust blocking method using a dust blocking clean system during clean room drilling will be described. First, the position of the drilling residue and the
이때, 본체의 하부에 이동바퀴(312)가 구비되어 있어 클린룸 천장에서 천공할 천공홀의 적소로 본 발명에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템(100)의 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)를 손쉽게 이동할 수 있다.At this time, the moving
그 후, 상기 천장의 내측면 적소에 분진 차단부(330)의 고무밀착패드(335)가 밀착되도록 구동모터(325)를 작동시켜 승강와이어(328)를 상방으로 밀어 올려 승강부재(320)가 상승되어 고무밀착패드(335)를 클린룸 천장(10)에 밀착시킨 상태에서 천공기(20)로 천장 외부로부터 천장(10) 및 내측의 고무밀착패드(335) 중앙부를 천공하며, 이때 유출되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)이 분진 차단부(330)내에 유입된다.(S520)After that, the driving
한편, 상기 천공기(20)로 천장 외부에서 천장 및 내측의 고무밀착패드(335) 중앙부를 천공시 물 배출호스(360) 내부의 공기 흐름을 본체(310) 외부로 송풍시키는 송풍팬(도시 안함)을 더 구비하여 구동모터(325)의 일측에 연결한 상태에서 구동모터(325) 작동시켜 분진 차단부(330) 및 물 배출호스(360) 내부를 통과하는 분진 및 물이 본체 외부로 배출되는 것을 촉진하고, 물 배출호스(360)가 분진에 의해 막히는 것을 방지할 수 있다.Meanwhile, a blower fan (not shown) that blows the air flow inside the
그 후, 상기 천공에 따른 천공홀(13) 및 고무밀착패드(335)의 분진 유출공(337)에 천공홀 밀봉부재(200)를 삽입하며, 이때에도 유출되는 분진이 분진 차단부(330)내에 유입된다.(S530)Thereafter, the punching
그 후, 상기 천공홀에 삽입된 천공홀 밀봉부재(200)의 비닐 겉지(202)를 제거하면 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215) 및 내부 팽창캡부(225)가 팽창되어 펼쳐져 고정된다.(S540)Subsequently, when the plastic
그 후, 상기 천공홀 밀봉부재(200)의 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215)가 천장에 고정된 상태에서 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 승강부재(320)를 하강시켜 천공홀 밀봉부재(200) 수 탈리부재(220)의 탈리부(223)를 탈리 분리시키며, 특히 이때 분진이 클린룸으로 전혀 유출되지 않고 분진은 물 배출호스(360)를 통해 외부로 배출되면서 분리된다.(S550)Thereafter, while the
따라서, 천공홀 밀봉부재(200)의 암 밀봉부재(210)와 수 탈리부재(220)가 상하부에서 분진을 완전 차단하도록 구성되므로, 약간의 틈이 발생할 여지가 없어 미세 분진까지도 완벽차단할 수 있는 구조이다.Therefore, since the
그리고, 상기 천공홀 밀봉부재(200)의 암 밀봉부재(210) 밀봉부(213) 하부면에 형성된 끼움홈(214)에 보조캡(400)을 끼워 접착시킨다.(S560)In addition, the
이때, 상기 천장 내측면에 면접되는 보조캡(400)의 둘레면에는 양면테이프(401)가 형성되어 견고하게 접착 고정된다.At this time, the double-
한편, 본 발명에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템은 클린룸의 수직벽면 천공시에도 동일한 구조 및 작동 원리가 적용되어 사용될 수 있음은 물론이다.On the other hand, the clean system for dust blocking during the clean room drilling according to the present invention can be used to apply the same structure and principle of operation even when drilling the vertical wall of the clean room.
한편, 본 발명에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템은 그 작업 비용이 적게 소요되기 때문에 준 클린룸에도 확대하여 활용할 수 있다.On the other hand, the clean system for dust blocking at the time of puncturing the clean room according to the present invention can be extended to the semi-clean room because the operation cost is low.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시 예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시 예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical spirit of the present invention has been described in detail according to the above preferred embodiment, it should be noted that the above embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, those skilled in the art will understand that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템은 천공홀 주변 최소의 공간에 밀착 설치되어 클린룸에서의 천공 작업시 천장과 함께 내측면에 면접된 분진 차단부의 고무밀착패드도 천공된 후 천공홀이 밀봉되는 과정에서 미세 먼지 등 분진의 투입이 완벽하게 차단되는 구조로 이루어져 종래 클린룸 천공공사와 같이 고비용의 전문업체에게 맡기지 않고도 높은 먼지 제어 신뢰성을 가지고 적은 비용 및 손쉽게 분진의 유출을 차단하는 천공 작업을 할 수 있는 효과가 있다.As described above, the clean system for dust blocking during clean room drilling according to the present invention is installed in close contact with the minimum space around the drilling hole, so that the rubber contacting part of the dust blocking unit interviewed on the inner side with the ceiling during the drilling work in the clean room The pad is also punched out, and the structure of the drill hole is sealed to prevent the input of fine dust, etc., so that the dust is completely blocked. There is an effect that can be drilled to block the outflow of dust.
또한, 종래에는 벽돌 구조의 천장 타공 천공시에 사용되는 물에 의한 오염 및 물에 의한 심각한 미생물 문제가 발생되는 바 반도체 공정 등에서 불량의 큰 원인이 되어 왔으나, 이러한 오염을 완전하게 차단할 수 있는 안전한 천공 작업을 할 수 있는 효과가 있다.In addition, in the past, a serious microbial problem caused by water and pollution caused by water used when drilling a ceiling of a brick structure has been a large cause of defects in the semiconductor process, but it is a safe perforation that can completely block such contamination. It can work.
또한, 클린룸 천공시에 타 특수장비의 가동을 중단하지 않아도 되도록 천공홀 부분만을 분진 차단를 위한 최소의 작업 공간으로 하는 구조이기 때문에 클린룸의 특수장비의 가동 효율을 높일 수 있는 효과가 있다.In addition, since the construction of the drilling hole portion as a minimum work space for blocking dust so as not to interrupt the operation of other special equipment during the clean room drilling, there is an effect that can increase the operation efficiency of the special equipment of the clean room.
Claims (8)
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