KR100757036B1 - Cleaning system for dust blocking upon drilling of clean room and method for dust blocking thereof - Google Patents

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KR100757036B1
KR100757036B1 KR1020070027011A KR20070027011A KR100757036B1 KR 100757036 B1 KR100757036 B1 KR 100757036B1 KR 1020070027011 A KR1020070027011 A KR 1020070027011A KR 20070027011 A KR20070027011 A KR 20070027011A KR 100757036 B1 KR100757036 B1 KR 100757036B1
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South Korea
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dust
hole
drilling
ceiling
clean room
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KR1020070027011A
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Korean (ko)
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조두남
송영진
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주식회사 일우아이엔지
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Abstract

A cleaning system for dust blocking upon drilling of a clean room and a dust blocking method using the same are provided to perfectly block dust during sealing of drilled holes after drilling of a rubber pad of a dust blocking unit. A cleaning system includes a drilled hole sealing member and a remnant and dust blocking unit. The drilled hole sealing member is inserted into a hole drilled into a ceiling(10) of a clean room so as to prevent introduction of dust from outside. The remnant and dust blocking unit includes a main body having one side with a through hole; and a dust blocking part(330) coupled to the through hole of the main body. The dust blocking part has one end with a dust discharge hole(337) and the other end with a dust inlet hole(332). The other end of the dust blocking part covers an inner surface of the hole drilled into the ceiling of the clean room. The remnant and dust generated during drilling of the ceiling and insertion of the drilled hole sealing member are prevented from being introduced into the clean room. The remnant and dust are introduced through the dust inlet hole of the dust blocking part and discharged to the outside of the main body through the dust discharge hole.

Description

클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법{CLEANING SYSTEM FOR DUST BLOCKING UPON DRILLING OF CLEAN ROOM AND METHOD FOR DUST BLOCKING THEREOF}CLEANING SYSTEM FOR DUST BLOCKING UPON DRILLING OF CLEAN ROOM AND METHOD FOR DUST BLOCKING THEREOF}

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템을 도시한 일부 절개 사시도1 is a partial cutaway perspective view showing a dust blocking system for cleaning in a clean room according to an embodiment of the present invention

도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공잔유물 및 분진 차단장치가 클린룸의 천장에 설치된 상태를 도시한 단면도2 is a cross-sectional view showing a state in which the perforated residues and the dust blocking device of the clean system for dust blocking during the clean room drilling according to an embodiment of the present invention are installed on the ceiling of the clean room;

도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공잔유물 및 분진 차단장치가 설치된 상태에서 천장이 천공기로 천공되는 상태를 도시한 단면도3 is a cross-sectional view showing a state in which the ceiling is punctured by a puncturer in a state in which a puncture residue and a dust blocking device are installed in a clean system for dust blocking during clean room drilling according to an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공홀 밀봉부재가 천장의 천공홀에 삽입되는 상태를 도시한 단면도Figure 4 is a cross-sectional view showing a state in which the hole sealing member of the drilling hole of the cleaning system for dust blocking during clean room drilling according to an embodiment of the present invention is inserted into the drilling hole of the ceiling

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공홀 밀봉부재가 천장의 천공홀에서 팽창 밀봉된 상태를 도시한 단면도5A and 5B are cross-sectional views illustrating a state in which a hole sealing member of an airtight cleaning system for dust blocking in a clean room is expanded and sealed in a hole in a ceiling according to an embodiment of the present invention;

도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공잔유물 및 분진 차단장치가 하방으로 이동되어 천공홀 밀봉부재 하부의 수 탈리부재가 분리된 상태를 도시한 단면도Figure 6 is a cross-sectional view showing a state in which the punching residue and the dust blocking device of the dust cleaning system for cleaning dust in the clean room according to an embodiment of the present invention is moved downward to separate the water stripping member in the lower portion of the drilling hole sealing member

도 7은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템을 이용하여 분진을 차단하는 방법을 나타낸 흐름도7 is a flowchart illustrating a method of blocking dust using a clean system for dust blocking during clean room drilling according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10. 천장 13. 천공홀10. Ceiling 13. Hole

15. 천공잔유물 17. 분진15. Perforated residue 17. Dust

20. 천공기 100. 분진 차단용 청정시스템20. Perforator 100. Clean system for dust prevention

200. 천공홀 밀봉부재 202. 비닐 겉지200. Perforated hole sealing member 202. Vinyl outer cover

210. 암 밀봉부재 213. 밀봉부210. Female sealing member 213. Sealing member

214. 끼움홈 215. 외부 팽창캡부214. Fitting groove 215. External expansion cap

220. 수 탈리부재 223. 탈리부220. Tally member 223. Tally portion

225. 내부 팽창캡부 300. 천공잔유물 및 분진 차단장치 225. Internal expansion cap 300. Perforated residue and dust shield

310. 본체 311. 배출호스 배출공 310. Main body 311. Outlet hose outlet hole

320. 승강부재 325. 구동모터320. Lifting member 325. Drive motor

327. 감김롤 328. 승강와이어327. Rolling roll 328. Lifting wire

330. 분진 차단부 332. 분진 유입공330. Dust barrier 332. Dust inlet hole

335. 고무밀착패드 337. 분진 유출공335. Rubber pad 337. Dust outflow hole

340. 제1 필터 344. 천공잔유물 차단공340. First filter 344. Perforated residue blocking hole

350. 제2 필터 360. 물 배출호스 350. Second filter 360. Water discharge hose

400. 보조캡400. Auxiliary Cap

본 발명은 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 설명하면, 반도체와 같은 고집적회로제조실과 같은 클린룸의 천장 및 벽면을 천공하기 위한 작업시에 유출되는 분진이 클린룸에 투입되지 않고 완전히 외부로 유출 제거되도록 하는 구조로 이루어진 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법에 관한 것이다.The present invention relates to a dust cleaning system and a dust blocking method using the same when cleaning the room, more specifically, in the operation for drilling the ceiling and walls of a clean room, such as a high density circuit manufacturing room, such as a semiconductor The present invention relates to a dust blocking clean system and a dust blocking method using the same, in which a dust is discharged and is discharged to the outside without being injected into a clean room.

일반적으로, 반도체와 같은 고집적회로제조실, 유전자공학연구실, 공조위생설비업 등 생산 및 연구를 위한 클린룸에는 각종의 정밀한 특수장비가 설치되기 때문에 외부의 미세한 분진 및 미립자 등을 원천적으로 차단 제거해야 한다.In general, various clean and special equipments are installed in the production room for high-integrated circuit manufacturing rooms such as semiconductors, genetic engineering laboratories, air-conditioning and sanitary facilities, etc. do.

한편, 클린룸의 특수장비를 교체 및 재배치하면서 배선을 위한 배관 작업 등을 위해 불가피하게 천장 및 벽면을 천공하는 작업을 진행하는 경우가 발생한다.On the other hand, while replacing and relocating the special equipment of the clean room inevitably the work to drill the ceiling and wall surface for the piping work for the wiring occurs.

이러한 경우에, 종래의 클린룸 천공 작업시의 작업(도시 안함)은 천장 적소의 천공(타공)점을 중심으로 천장부터 바닥까지 2미터 내지 5미터 높이의 주변을 둘러싸도록 비닐 보양 차단막을 무진 접착 테이프를 이용해 접착하여 씌우고 바닥에 가능한 분진의 날림을 방지하기 위해 일반 산업용 진공청소기를 준비한 후 드릴 등의 천공기로 천장의 외부 위에서 원하는 직경으로 천공 작업을 하는 구조이다.In this case, a conventional clean room drilling operation (not shown) is a dust-free adhesive to the vinyl retaining barrier so as to enclose a perimeter of 2 to 5 meters height from ceiling to floor centered on the perforation (perforation) point of the ceiling. It is a structure that prepares general industrial vacuum cleaner in order to attach with tape and prevent dust dust from falling on the floor, and then drills to the desired diameter on the outside of the ceiling with a drill or drill.

이때, 천공에 따라 바닥으로 그대로 떨어지는 천공잔여물(천장벽 부스러기)은 천장 천공점 아래에서 작업자가 양동이 등을 받쳐 받아 수거하며 바닥에 있는 별도의 작업자는 진공청소기로 바닥에 낙하된 분진을 흡수하나, 미세한 먼지 등의 분진은 무방비로 클린룸의 비닐 보양 차단막내 공기 중에 유출되기 때문에, 반드시 천공 작업이 끝난 후에 작업자가 천공홀을 무진 테이프 등으로 막아 외부의 먼지의 유입을 막고, 비닐 보양 차단막내 주변을 모두 고가의 클린페이퍼를 이용하여 알코올 등으로 닦아내야만 한다.At this time, the perforated residue (ceiling wall debris) falling to the floor according to the perforation is collected by the worker under the ceiling perforation point with a bucket, and the separate worker on the floor absorbs the dust dropped on the floor with a vacuum cleaner. Since dust, such as fine dust, is leaked into the air inside the vinyl maintenance barrier in the clean room without defense, the worker must block the drilling hole with dust-free tape after the completion of drilling to prevent the inflow of dust. You should wipe all the surroundings with alcohol using expensive clean paper.

그러나, 이러한 종래의 클린룸 천공 작업시의 분진 차단용 청정시스템 및 천공방법은 클린룸의 청정도가 중요함에도 불구하고, 그 구조적 및 방법적인 면에서 일반 비클린룸 천공 작업의 수준을 벗어나지 못해, 분진의 유출을 완전히 차단할 수 없는 문제점이 있었다.However, even though the cleanliness system and the method of perforating dust in the conventional clean room drilling work are important, the cleanness of the clean room does not escape the level of general non-clean room drilling work in terms of structure and method. There was a problem that can not completely block the leakage of.

또한, 반드시 넓은 공간의 비닐 보양 차단막내부에 이미 유출된 분진을 제거하기 위해 비닐 보양 차단막 내부의 모든 부분을 알코올을 이용하여 많은 작업자가 추가로 세척을 실시하여야 하기 때문에 많은 인적, 물적 자원이 소요되어 시간적, 금전적 작업 손실이 발생되면서도, 클린페이퍼, 진공청소기 등으로 철저한 세척을 하더라도 비닐 보양 차단막내의 떠다니는 분진을 제거하기는 어려워 천공 작업 후 클린룸의 청정도를 저하시키는 요인으로 작용하여 0.1 마이크로 이하의 분진을 단위 면적당 몇 개 이하로 관리하여야만 하는 반도체와 같은 고집적회로제조 공정상에서 심각한 불량 발생의 요인이 되는 문제점이 있었다.In addition, in order to remove dust already leaked inside the vinyl maintenance barrier in a large space, many human and physical resources are required because many workers have to additionally wash all parts of the vinyl maintenance barrier using alcohol. Even though time and financial work loss occurs, even if it is thoroughly cleaned with clean paper or vacuum cleaner, it is difficult to remove floating dust in the vinyl maintenance barrier, which acts as a factor that reduces the cleanliness of the clean room after drilling. There is a problem that causes serious defects in the integrated circuit manufacturing process, such as semiconductor, which has to manage less than a few dusts per unit area.

따라서, 클린룸 천공시에 적은 인력 및 비용으로도 분진 유출의 완전 차단 및 제거가 가능한 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법이 요구되었다. Therefore, there is a need for a dust blocking clean system and a dust blocking method using the same, which are capable of completely blocking and removing dust spills with little manpower and cost during clean room drilling.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 클린룸 천공시 천공 작업의 간소화는 물론, 작업 비용을 대폭 절감시키면서도 분진의 유출을 완전 차단하여 제거하는 구조로 된 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법을 제공하는 데 있다.The present invention is to overcome the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention is to clean the punctured work in the clean room, as well as to significantly reduce the cost of work while reducing the outflow of dust clean room structure The present invention provides a clean system for blocking dust during drilling and a dust blocking method using the same.

본 발명의 또 다른 목적은 클린룸 천공시에 타 특수장비의 가동을 중단하지 않아도 되도록 천공점 부분만을 분진을 차단하여 제거하기 위한 최소의 작업 공간으로 하는 구조로 된 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 제거방법을 제공하는 데 있다.Still another object of the present invention is to block dust in a clean room with a structure having a minimum working space for blocking and removing dust only at a puncturing point so that other special equipment does not have to be stopped during clean room drilling. The present invention provides a clean system and a method for removing dust using the same.

본 발명의 이러한 목적은 클린룸의 천장(10) 및 벽면의 적소를 천공기(20)로 천공홀(13) 천공시 발생되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)을 차단하는 분진 차단용 청정시스템(100)으로, 상기 천공된 천공홀(13)에 삽입 밀봉되어 외부로부터 분진(17)의 투입을 차단하는 천공홀 밀봉부재(200)와; 일측면에 통공이 형성된 본체(310)와, 상기 본체 일측의 통공에 결합되며 일단부에는 분진 유출공(337)이 통공되고 클린룸 천장(10)의 천공홀(13) 주변 내측면을 감싸 밀착되는 타단부에는 분진유입공(332)이 통공된 분진 차단부(330)로 이루어진 천공잔유물 및 분진 차단장치(300);를 포함하여 구성되어, 상기 천장 천공시 및 천공된 천공홀에 천공홀 밀봉부재(200)의 삽입시 발생되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)이 클린룸으로 투입되지 않고 상기 분진 차단부(330)의 분진 유입공(332)을 통해 유입되어 분진 유출공(337)을 통해 본체(310)의 외부로 배출되는 구조를 가진 본 발명에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법에 의하여 달성된다.This object of the present invention is a clean system for dust blocking to block the puncture residues (15) and dust (17) generated when drilling the hole (13) in the ceiling 10 and the wall surface of the clean room in the hole (20). (100), the sealing hole is inserted into the punched hole 13, the hole sealing member 200 for blocking the input of dust (17) from the outside; The main body 310 has a through hole formed on one side thereof, and is coupled to the through hole of one side of the main body, and at one end thereof, a dust outflow hole 337 is formed through the inner surface around the perforated hole 13 of the clean room ceiling 10. The other end is a dust inlet hole 332 is made of a dust cut-off device consisting of a dust blocking part 330 through the hole and dust blocking device (300); including, when the ceiling and at the perforated hole sealing The perforated residue 15 and the dust 17 generated when the member 200 is inserted are not introduced into the clean room, but are introduced through the dust inflow hole 332 of the dust blocking part 330 and thus the dust outflow hole 337. It is achieved by a dust blocking method and a dust blocking method using the same at the time of cleaning the clean room according to the present invention having a structure discharged to the outside of the main body 310 through.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법의 일례로서, 다음의 구성과 효과에서 자세히 설명한다.In order to achieve the object of the present invention described above, as an example of a dust blocking method and a dust blocking method using the same, a clean room for puncturing the clean room according to the present invention will be described in detail in the following configurations and effects.

이하, 본 발명의 바람직한 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a dust blocking method and a dust blocking method for cleaning the dust in a clean room according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템 및 이를 이용한 분진 차단방법이 도시되어 있다.1 to 7, there is shown a dust blocking method and a dust blocking method using the same when the clean room punching according to an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템을 도시한 일부 절개 사시도이다.1 is a partial cutaway perspective view showing a dust blocking system for cleaning in a clean room according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템(100)은 클린룸의 천장(10) 및 벽면의 적소를 천공기(20)로 천공홀(13) 천공시 발생되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)을 차단하는 분진 차단용 청정시스템(100)에 있어서, 상기 천공된 천공홀(13)에 삽입 밀봉되어 외부로부터 분진(17)의 투입을 차단하는 천공홀 밀봉부재(200)와, 중공의 본체(310)에 결합된 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)로 구성된다.As shown in FIG. 1, in the clean room drilling system 100 for dust blocking according to an embodiment of the present invention, a hole in the ceiling 10 and the wall of the clean room is drilled with a perforator 20. 13) In the dust-blocking clean system 100 for blocking the perforated residue 15 and the dust 17 generated during the drilling, the dust is inserted into the perforated punched hole 13 and sealed from the outside. Perforated hole sealing member 200 to block the puncture residue and dust blocking device 300 is coupled to the hollow body 310.

도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공잔유물 및 분진 차단장치가 클린룸의 천장에 설치된 상태를 도시한 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공잔유물 및 분진 차단장치가 설치된 상태에서 천장이 천공기로 천공되는 상태를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a state in which the perforated residues and the dust blocking device of the clean system for dust blocking during clean room drilling are installed on the ceiling of the clean room, and FIG. 3 is an embodiment of the present invention. A cross-sectional view showing a state in which the ceiling is punctured by a perforator in a state in which a perforated residue and a dust blocking device are installed in a dust blocking clean system during a clean room puncture.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템(100)의 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)는 일측면에 통공이 형성된 본체(310)와, 상기 본체 일측의 통공에 결합되며 일단부에는 분진 유출공(337)이 통공되고 클린룸 천장(10)의 천공홀(13) 주변 내측면을 감싸 밀착되는 타단부에는 분진유입공(332)이 통공된 분진 차단부(330)를 포함한다.As shown in Figures 2 and 3, the perforated residue and dust blocking device 300 of the clean system 100 for dust blocking during clean room drilling according to an embodiment of the present invention is the main body formed with a hole on one side 310 and the dust inflow hole is coupled to the through hole of one side of the main body and one end of the dust outflow hole 337 is through the hole and the other end is wrapped close to the inner surface around the perforation hole 13 of the clean room ceiling (10) 332 includes the dust block 330 through the through.

그리고, 일단은 상기 본체(310)의 상부에 결합되고 타단은 상기 분진 차단부(330)의 하부에 결합되어 승강가능하게 구동되는 승강부재(320)와, 일단은 상기 분진 차단부(330)의 분진 유출공(337)에 결합되고, 타단은 상기 승강부재(320)의 내부를 따라 본체(310) 내부에 소정의 승강 높이에 대응되는 길이로 감겨 본체 일 측에 형성된 배출호스 배출공(311)을 통해 외부로 연장 노출된 물 배출호스(360)를 더 포함하여 구성된다.And, one end is coupled to the upper portion of the main body 310, the other end is coupled to the lower portion of the dust blocking unit 330, the elevating member 320 is driven to move up and down, one end of the dust blocking unit 330 It is coupled to the dust outlet hole 337, the other end of the discharge hose discharge hole 311 formed on one side of the main body is wound to the length corresponding to the predetermined lifting height inside the main body 310 along the interior of the elevating member 320 It further comprises a water discharge hose 360 extended through the outside exposed.

따라서, 승강부재(320)의 승강에 따라 분진 차단부(330) 및 물 배출호스(360)가 승강된다.Therefore, the dust blocking unit 330 and the water discharge hose 360 are lifted in accordance with the lifting of the lifting member 320.

한편, 이하에서는 상기 물 배출호스(360)를 통해서 물 이외에 미세 분말 상의 분진이 통과하여 본체 외부로 유출 제거될 수 있는 실시 예로 설명하지만, 바람직하게는 물 배출호스(360)가 미세 분말 상의 분진에 의해 막히는 것을 방지하기 위해 후술하는 제2 필터(350)를 미세 분말 상의 분진이 완전 차단되도록 형성하여 물 배출호스(360)를 통해서는 물만이 외부로 배출되도록 할 수 있다.On the other hand, the following description will be described an embodiment in which dust through the water discharge hose 360, in addition to the water and fine powder passing through the water discharge hose 360 can be removed to the outside of the main body, preferably, the water discharge hose 360 to the dust on the fine powder In order to prevent clogging by forming the second filter 350 to be described later to completely block the dust on the fine powder can be discharged to the outside only through the water discharge hose 360.

따라서, 종래에는 벽돌 구조의 천장 타공 천공시에 사용되는 물(및 물에 의해 발생된 미생물)에 의한 오염을 차단하기가 어려운 문제가 발생되어 반도체 공정 등에서 불량의 큰 원인이 되어 왔으나, 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템(100)은 이러한 물에 의한 오염을 완전하게 차단할 수 있어 보다 청정하게 천공 작업을 할 수 있는 구조이다.Therefore, in the related art, it is difficult to block contamination by water (and microorganisms generated by water) used when drilling a ceiling of a brick structure, which has been a major cause of defects in semiconductor processes and the like. Clean room for dust blocking during clean room drilling according to an embodiment 100 is able to completely block the contamination by such water is a structure that can be drilled more clean.

그리고, 상기 천장의 내측면에 분진 차단부(330)의 유리 흡착용 고무재 등으로 된 고무밀착패드(335)가 밀착되도록 안테나식으로 체결된 승강부재(320)의 승강시에는 구동모터(325)를 작동시켜 감김롤(327)에 감겨지고 일단은 승강부재의 일측에 고정된 승강와이어(328)를 상방으로 밀어 올리는 방식으로 승강부재가 상승된다.In addition, the driving motor 325 at the time of the lifting and lowering of the elevating member 320 which is fastened by the antenna type so that the rubber contact pad 335 made of the rubber material for glass adsorption of the dust blocking part 330 adheres to the inner surface of the ceiling. The elevating member is lifted up by winding the lifting wire 328 fixed to one side of the elevating member upwardly by winding the roll 327 by operating the elevating member.

이때, 상기 승강와이어(328)의 일측에는 구동모터(325)에 연결되어 회전되는 회전기어(326)에 결합되어 승강되도록 기어치(기어산)가 형성된다.At this time, one side of the lifting wire 328 is coupled to the rotary gear 326 is connected to the drive motor 325 is rotated to form a gear tooth (gear mountain).

한편, 상기 승강부재의 승강에 의한 높이 조절 구조는 승강부재의 일측에 높이 조절공(도시 안함)을 형성하여 수동으로 소정 높이로 승강시킨 후 수동 높이조절핀(도시 안함)을 높이 조절공에 꽂아 고정하는 방식으로 구비될 수 있다.On the other hand, the height adjustment structure by the elevating member of the elevating member to form a height adjusting hole (not shown) on one side of the elevating member to manually raise and lower the predetermined height and then plug the manual height adjusting pin (not shown) into the height adjusting hole. It may be provided in a fixed manner.

도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공홀 밀봉부재가 천장의 천공홀에 삽입되는 상태를 도시한 단면도이다.Figure 4 is a cross-sectional view showing a state in which the hole sealing member of the punching hole of the clean system for dust blocking during clean room drilling according to an embodiment of the present invention is inserted into the hole of the ceiling.

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 천공홀 밀봉부재(200)는 상기 천공홀(13)에 삽입되어 팽창됨으로써 천공홀을 밀봉하는 암 밀봉부재(210)와, 상기 암 밀봉부재(210) 하부의 끼움홈(214)에 상부가 삽입 끼움결합되는 수 탈리부재(220)로 구성되어 상기 천공된 천공홀(13)에 삽입된 후 팽창되면서 밀봉 고정되도록 작동되어 결국 외부로부터 분진(17)의 투입을 차단한다.As shown in FIG. 4, the punching hole sealing member 200 is inserted into the punching hole 13 and expanded to seal the sealing hole 210 with the arm sealing member 210 and the lower portion of the arm sealing member 210. It is composed of a male detachment member 220 is inserted into the fitting groove 214, the upper part is inserted into the drilled hole (13) and then operated to expand and seal fixedly to finally input the dust (17) from the outside Block it.

바람직하게는, 상기 천공홀 밀봉부재(200)는 고압축 후 압축이 해제되면 팽창되는 스펀지, 고탄성 PVC 등 고신축의 합성수지재로 형성된다.Preferably, the drilling hole sealing member 200 is formed of a high-stretch synthetic resin, such as a sponge, high elastic PVC is expanded when compression is released after high compression.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공홀 밀봉부재가 천장의 천공홀에서 팽창 밀봉된 상태를 도시한 단면도이다.5A and 5B are cross-sectional views illustrating a state in which a hole sealing member of an airtight cleaning system for dust blocking in a clean room is expanded and sealed in a hole in a ceiling according to an embodiment of the present invention.

도 5a는 천공홀 밀봉부재(200)를 천공홀에 삽입한 후 천공홀 밀봉부재(200) 의 팽창을 압착하고 있는 비닐 겉지(202)를 제거하여 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215) 및 내부 팽창캡부(225)가 팽창되어 펼쳐져 고정되는 상태를 설명하기 위한 것이고, 도 5b는 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215)가 팽창되어 펼쳐져 천장 외측면에 면접되는 면접 접착면(216)의 내측면에 미리 접착되어진 양면테이프(217)의 테이프 겉지(218)를 벗겨 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215)의 면접 접착면(216)이 천장 외측면에 견고하게 접착 고정되는 상태를 설명하기 위한 것이다.5a illustrates that the outer expansion cap 215 of the female sealing member 210 is removed by inserting the punching hole sealing member 200 into the punching hole and then removing the plastic outer surface 202 compressing the expansion of the punching hole sealing member 200. ) And the internal expansion cap 225 is expanded to expand and secured, and FIG. 5B illustrates an interview adhesive surface in which the external expansion cap 215 of the female sealing member 210 is expanded and expanded to be interviewed with the ceiling outer surface. Peel off the tape outer surface 218 of the double-sided tape 217 previously bonded to the inner surface of the 216, so that the contact bonding surface 216 of the outer expansion cap 215 of the female sealing member 210 is firmly attached to the outer surface of the ceiling. It is for explaining the state in which the adhesive is fixed.

미설명부호 203은 비닐 겉지(202)에 의해 압착되어 수축된 상태의 천공홀 밀봉부재(200)를 이점쇄선으로 나타낸 것이다.(비닐 겉지(202)를 벗기면 팽창된다.)Reference numeral 203 denotes a double-dotted line for the punched hole sealing member 200 in the compressed and contracted state by the vinyl outer surface 202. (The vinyl outer surface 202 is expanded when it is peeled off.)

도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 천공홀 밀봉부재(200)의 암 밀봉부재(210)는 상부는 고팽창 탄성재로 된 외부 팽창캡부(215)가 하부는 고밀도 탄성재로 된 밀봉부(213)가 형성되고, 수 탈리부재(220)는 상부는 상기 밀봉부(213)의 하부 끼움홈(214)에 끼워져 결합되는 탈리부(223)가 하부는 고팽창 탄성재로 된 내부 팽창캡부(225)가 형성되어 상기 천공홀(13) 및 상기 분진 차단부(330)의 분진 유입공(332)을 통과하여 분진 차단부(330) 내부에 노출 고정된다.As shown in FIGS. 5A and 5B, the female sealing member 210 of the punched hole sealing member 200 has an outer expansion cap 215 made of a high-expansion elastic material and a lower part of a high density elastic material. A portion 213 is formed, and the male detachment member 220 has an upper portion of the detachable portion 223 which is fitted into the lower fitting groove 214 of the sealing portion 213 and is coupled to the lower portion thereof. The cap 225 is formed to pass through the dust inlet 332 of the punching hole 13 and the dust blocking part 330 to be exposed and fixed inside the dust blocking part 330.

상기 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215)는 상기 천공홀(13) 외부에서 팽창되어 펼쳐져 고정되고, 상기 수 탈리부재(220)의 내부 팽창캡부(225)는 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 분진 차단부(330)의 내부에서 팽창되어 펼쳐져 면접 밀착면(226)이 상기 분진 차단부(330)의 고무밀착패드(335)의 분진 유출공(337) 주 변 내측면에 면접 고정된다.The outer expansion cap 215 of the female sealing member 210 is expanded and fixed outside the perforation hole 13, the inner expansion cap 225 of the water detachment member 220 is punched residue and dust blocking device Expanded and expanded inside the dust blocking unit 330 of the 300, the contact contact surface 226 is interviewed on the inner surface of the dust outlet hole 337 surrounding the rubber contact pad 335 of the dust blocking unit 330 It is fixed.

한편, 천공홀 밀봉부재(200)는 천장과 고무밀착패드(335)의 높이에 대응되는 두께로 구비된다. 즉, 천공홀 밀봉부재(200)는 무진재 및 고탄성재로 된 청정소재로 이루어지며, 천공 작업을 하기 이전에 각 천공홀의 크기별, 모양별로 맞춤 제조될 수 있다.On the other hand, the hole sealing member 200 is provided with a thickness corresponding to the height of the ceiling and the rubber adhesive pad 335. That is, the punching hole sealing member 200 is made of a clean material made of a dust-free material and a high elastic material, and can be manufactured by size and shape of each punching hole before the punching operation.

도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템의 천공잔유물 및 분진 차단장치가 하방으로 이동되어 천공홀 밀봉부재 하부의 수 탈리부재가 분리된 상태를 도시한 단면도이다.Figure 6 is a cross-sectional view showing a state in which the punching residue and the dust blocking device of the dust cleaning system for cleaning dust in the clean room according to an embodiment of the present invention is moved downward to separate the water stripping member in the lower portion of the drilling hole sealing member to be.

도 6에 도시된 바와 같이, 상기 천공홀 밀봉부재(200)의 수 탈리부재(220)는 상기 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 분진 차단부(330)가 하강시에 암 밀봉부재(210)로부터 빠져 탈리된다.As illustrated in FIG. 6, the water detachment member 220 of the punching hole sealing member 200 may have the female sealing member 210 when the dust blocking part 330 of the punching residue and the dust blocking device 300 descends. And escape from).

도 3 내지 도 6을 참조하여 상기 분진 차단부(330)를 상세하게 설명하면, 분진 차단부(330)는 상광하협의 깔대기 형상으로 형성되어, 상단에 상기 천장 적소의 천공홀에 대응되는 내측면 주변에 밀착 면접되는 고무밀착패드(335)가 결합되고, 중앙에는 원환판상의 제1 필터(340)가 고정되고, 하부 분진 유출공(337)의 상측에는 제2 필터(350)가 고정된다.3 to 6, the dust blocker 330 will be described in detail, and the dust blocker 330 is formed in a funnel shape of a light beam lower side, and has an inner side surface corresponding to the perforation hole of the ceiling at the top. A rubber contact pad 335 which is in close contact with the surroundings is coupled, and a first filter 340 having an annular plate is fixed at the center thereof, and a second filter 350 is fixed at an upper side of the lower dust outlet hole 337.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 천장 천공시에 고무밀착패드(335)의 중앙에 분진 유입공(332)이 통공되고, 천장 천공시 및 천공홀에 천공홀 밀봉부재(200)의 삽입시 고무밀착패드(335)의 분진 유입공(332)을 통해 분진 차단부(330) 내부로 유입되는 천공잔유물 및 분진 가운데 천공잔유물(15)은 제1 필터(340)에 통공된 천공잔유물 차단공(344)에 걸려 차단되고, 제1 필터의 천공잔유물 차단공(344)을 통과한 분진(17) 가운데 큰 직경의 분진은 제2 필터(350)에 걸려 차단되며 미세 분말상의 분진은 분진 유출공(337)을 통과해 물 배출호스(360)를 따라 본체 외부로 유출 제거된다.As shown in FIG. 3, the dust inlet hole 332 is formed in the center of the rubber adhesion pad 335 during the ceiling drilling, and the rubber during the ceiling drilling and the insertion of the hole sealing member 200 into the drilling hole. The punched residues 15 among the punched residues and dusts introduced into the dust blocker 330 through the dust inlet hole 332 of the adhesion pad 335 are punched residue blocking holes 344 that are perforated in the first filter 340. ), The large diameter of the dust 17 is passed through the second filter 350 of the dust (17) passing through the hole residue blocking hole (344) of the first filter and the fine powder dust is a dust outlet hole (337) After passing through the water discharge hose 360 to the outside of the main body is removed.

즉, 상기 천장 천공시 및 천공된 천공홀에 천공홀 밀봉부재(200)의 삽입시 발생되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)이 클린룸으로 투입되지 않고 상기 분진 차단부(330)의 분진 유입공(332)을 통해 유입되어 분진 유출공(337)을 통해 본체(310)의 외부로 배출된다.In other words, the dust of the dust cut-off unit 330 is not injected into the clean room when the puncture residue 15 and the dust 17 generated during the ceiling and the insertion of the punched hole sealing member 200 into the punched hole. Is introduced through the inlet hole 332 is discharged to the outside of the main body 310 through the dust outlet hole (337).

한편, 상기 본체 외부에 배출된 물 배출호스(360)의 일측에는 배출호스 개폐밸브(368)가 설치되어 사용 종료시에 잠글 수 있다.On the other hand, one side of the water discharge hose 360 discharged to the outside of the main body is provided with a discharge hose open and close valve 368 can be locked at the end of use.

그리고, 상기 천장 천공시 일례로 콘크리트 타공 등의 경우에는 열을 식히도록 하기 위해 물이 투입되어 분진과 함께 물이 물 배출호스(360)를 따라 본체(310)의 외부로 배출되거나, 본체의 하부에 물 및 분진 저장통을 구비할 수 있음은 물론이다.In the case of drilling the ceiling, for example, in the case of concrete perforation, water is added to cool the heat, and water is discharged to the outside of the main body 310 along the water discharge hose 360 along with the dust, or the lower part of the main body. Of course, the water and dust reservoir can be provided.

도 7은 본 발명의 일실시 예에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템을 이용하여 분진을 차단하는 방법을 나타낸 흐름도이다.FIG. 7 is a flowchart illustrating a method of blocking dust by using a dust blocking clean system when drilling a clean room according to an embodiment of the present disclosure.

도 7을 참조하여 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템을 이용한 분진 차 단방법을 설명하면, 우선, 클린룸 천장에서 천공할 천공홀의 적소를 정하여 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 위치를 선정한 후 천장의 천공홀 자리의 내측면 주변에 분진 차단부(330)의 고무밀착패드(335)가 밀착되도록 승강부재(320)를 상승시킨다.(S510)Referring to FIG. 7, a dust blocking method using a dust blocking clean system during clean room drilling will be described. First, the position of the drilling residue and the dust blocking device 300 is determined by determining the appropriate location of the drilling hole to be drilled from the ceiling of the clean room. After the selection, the lifting member 320 is raised so that the rubber adhesion pad 335 of the dust blocker 330 is close to the inner surface of the perforated hole seat of the ceiling.

이때, 본체의 하부에 이동바퀴(312)가 구비되어 있어 클린룸 천장에서 천공할 천공홀의 적소로 본 발명에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템(100)의 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)를 손쉽게 이동할 수 있다.At this time, the moving wheel 312 is provided in the lower part of the main body to the puncture hole to be drilled from the ceiling of the clean room, the dust residue and dust blocking device of the clean system 100 for dust blocking during clean room drilling according to the present invention ( 300 can be easily moved.

그 후, 상기 천장의 내측면 적소에 분진 차단부(330)의 고무밀착패드(335)가 밀착되도록 구동모터(325)를 작동시켜 승강와이어(328)를 상방으로 밀어 올려 승강부재(320)가 상승되어 고무밀착패드(335)를 클린룸 천장(10)에 밀착시킨 상태에서 천공기(20)로 천장 외부로부터 천장(10) 및 내측의 고무밀착패드(335) 중앙부를 천공하며, 이때 유출되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)이 분진 차단부(330)내에 유입된다.(S520)After that, the driving motor 325 is operated so that the rubber contact pad 335 of the dust blocker 330 is in close contact with the inner surface of the ceiling, and the lifting member 320 is pushed upward. In the state in which the rubber adhesive pad 335 is raised and adhered to the clean room ceiling 10, the center of the rubber adhesive pad 335 of the ceiling 10 and the inside of the ceiling is punctured from the outside of the ceiling by the perforator 20, and the perforation flows out at this time Residue 15 and dust 17 is introduced into the dust blocking unit 330. (S520)

한편, 상기 천공기(20)로 천장 외부에서 천장 및 내측의 고무밀착패드(335) 중앙부를 천공시 물 배출호스(360) 내부의 공기 흐름을 본체(310) 외부로 송풍시키는 송풍팬(도시 안함)을 더 구비하여 구동모터(325)의 일측에 연결한 상태에서 구동모터(325) 작동시켜 분진 차단부(330) 및 물 배출호스(360) 내부를 통과하는 분진 및 물이 본체 외부로 배출되는 것을 촉진하고, 물 배출호스(360)가 분진에 의해 막히는 것을 방지할 수 있다.Meanwhile, a blower fan (not shown) that blows the air flow inside the water discharge hose 360 to the outside of the main body 310 when the center portion of the rubber contact pad 335 inside and outside the ceiling is punched by the puncher 20. It is further provided that the dust and water passing through the dust blocking unit 330 and the water discharge hose 360 by operating the drive motor 325 in a state connected to one side of the drive motor 325 is discharged to the outside of the main body It can promote and prevent the water discharge hose 360 from being blocked by dust.

그 후, 상기 천공에 따른 천공홀(13) 및 고무밀착패드(335)의 분진 유출공(337)에 천공홀 밀봉부재(200)를 삽입하며, 이때에도 유출되는 분진이 분진 차단부(330)내에 유입된다.(S530)Thereafter, the punching hole sealing member 200 is inserted into the dust outlet hole 337 of the punching hole 13 and the rubber adhesive pad 335 according to the punching, and the dust is also leaked dust blocking part 330 It flows in. (S530)

그 후, 상기 천공홀에 삽입된 천공홀 밀봉부재(200)의 비닐 겉지(202)를 제거하면 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215) 및 내부 팽창캡부(225)가 팽창되어 펼쳐져 고정된다.(S540)Subsequently, when the plastic outer surface 202 of the hole sealing member 200 inserted into the hole is removed, the outer expansion cap 215 and the inner expansion cap 225 of the female sealing member 210 are inflated to be unfolded and fixed. (S540)

그 후, 상기 천공홀 밀봉부재(200)의 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215)가 천장에 고정된 상태에서 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 승강부재(320)를 하강시켜 천공홀 밀봉부재(200) 수 탈리부재(220)의 탈리부(223)를 탈리 분리시키며, 특히 이때 분진이 클린룸으로 전혀 유출되지 않고 분진은 물 배출호스(360)를 통해 외부로 배출되면서 분리된다.(S550)Thereafter, while the external expansion cap 215 of the female sealing member 210 of the punching hole sealing member 200 is fixed to the ceiling, the lifting member 320 of the punching residue and the dust blocking device 300 is lowered. Detach and separate the desorption part 223 of the water removal member 220 of the punching hole sealing member 200, in particular, the dust is not discharged to the clean room at all, and the dust is discharged to the outside through the water discharge hose 360 (S550)

따라서, 천공홀 밀봉부재(200)의 암 밀봉부재(210)와 수 탈리부재(220)가 상하부에서 분진을 완전 차단하도록 구성되므로, 약간의 틈이 발생할 여지가 없어 미세 분진까지도 완벽차단할 수 있는 구조이다.Therefore, since the female sealing member 210 and the water detachment member 220 of the punching hole sealing member 200 are configured to completely block the dust at the upper and lower portions, there is no room for a slight gap, and thus the structure can be completely blocked even fine dust. to be.

그리고, 상기 천공홀 밀봉부재(200)의 암 밀봉부재(210) 밀봉부(213) 하부면에 형성된 끼움홈(214)에 보조캡(400)을 끼워 접착시킨다.(S560)In addition, the auxiliary cap 400 is attached to the fitting groove 214 formed on the lower surface of the female sealing member 210 and the sealing part 213 of the punching hole sealing member 200. (S560)

이때, 상기 천장 내측면에 면접되는 보조캡(400)의 둘레면에는 양면테이프(401)가 형성되어 견고하게 접착 고정된다.At this time, the double-sided tape 401 is formed on the circumferential surface of the auxiliary cap 400 to be interviewed on the inner surface of the ceiling is firmly fixed.

한편, 본 발명에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템은 클린룸의 수직벽면 천공시에도 동일한 구조 및 작동 원리가 적용되어 사용될 수 있음은 물론이다.On the other hand, the clean system for dust blocking during the clean room drilling according to the present invention can be used to apply the same structure and principle of operation even when drilling the vertical wall of the clean room.

한편, 본 발명에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템은 그 작업 비용이 적게 소요되기 때문에 준 클린룸에도 확대하여 활용할 수 있다.On the other hand, the clean system for dust blocking at the time of puncturing the clean room according to the present invention can be extended to the semi-clean room because the operation cost is low.

본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시 예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시 예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical spirit of the present invention has been described in detail according to the above preferred embodiment, it should be noted that the above embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, those skilled in the art will understand that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템은 천공홀 주변 최소의 공간에 밀착 설치되어 클린룸에서의 천공 작업시 천장과 함께 내측면에 면접된 분진 차단부의 고무밀착패드도 천공된 후 천공홀이 밀봉되는 과정에서 미세 먼지 등 분진의 투입이 완벽하게 차단되는 구조로 이루어져 종래 클린룸 천공공사와 같이 고비용의 전문업체에게 맡기지 않고도 높은 먼지 제어 신뢰성을 가지고 적은 비용 및 손쉽게 분진의 유출을 차단하는 천공 작업을 할 수 있는 효과가 있다.As described above, the clean system for dust blocking during clean room drilling according to the present invention is installed in close contact with the minimum space around the drilling hole, so that the rubber contacting part of the dust blocking unit interviewed on the inner side with the ceiling during the drilling work in the clean room The pad is also punched out, and the structure of the drill hole is sealed to prevent the input of fine dust, etc., so that the dust is completely blocked. There is an effect that can be drilled to block the outflow of dust.

또한, 종래에는 벽돌 구조의 천장 타공 천공시에 사용되는 물에 의한 오염 및 물에 의한 심각한 미생물 문제가 발생되는 바 반도체 공정 등에서 불량의 큰 원인이 되어 왔으나, 이러한 오염을 완전하게 차단할 수 있는 안전한 천공 작업을 할 수 있는 효과가 있다.In addition, in the past, a serious microbial problem caused by water and pollution caused by water used when drilling a ceiling of a brick structure has been a large cause of defects in the semiconductor process, but it is a safe perforation that can completely block such contamination. It can work.

또한, 클린룸 천공시에 타 특수장비의 가동을 중단하지 않아도 되도록 천공홀 부분만을 분진 차단를 위한 최소의 작업 공간으로 하는 구조이기 때문에 클린룸의 특수장비의 가동 효율을 높일 수 있는 효과가 있다.In addition, since the construction of the drilling hole portion as a minimum work space for blocking dust so as not to interrupt the operation of other special equipment during the clean room drilling, there is an effect that can increase the operation efficiency of the special equipment of the clean room.

Claims (8)

클린룸의 천장(10) 및 벽면의 적소를 천공기(20)로 천공홀(13) 천공시 발생되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)을 차단하는 분진 차단용 청정시스템(100)에 있어서,In the dust-cleaning system (100) for blocking the puncture residue (15) and dust (17) generated when drilling the ceiling hole (10) and wall surface of the clean room with the punching hole (20), 상기 천공된 천공홀(13)에 삽입 밀봉되어 외부로부터 분진(17)의 투입을 차단하는 천공홀 밀봉부재(200)와; A perforated hole sealing member 200 inserted into the perforated perforated hole 13 to block the input of dust 17 from the outside; 일측면에 통공이 형성된 본체(310)와, 상기 본체 일측의 통공에 결합되며 일단부에는 분진 유출공(337)이 통공되고 클린룸 천장(10)의 천공홀(13) 주변 내측면을 감싸 밀착되는 타단부에는 분진유입공(332)이 통공된 분진 차단부(330)로 이루어진 천공잔유물 및 분진 차단장치(300);를 포함하여 구성되어,The main body 310 has a through hole formed on one side thereof, and is coupled to the through hole of one side of the main body, and at one end thereof, a dust outflow hole 337 is formed through the inner surface around the perforated hole 13 of the clean room ceiling 10. It is configured to include; the other end to the punched residue and dust blocking device consisting of a dust inlet 330, the dust inlet hole 332 is through; 상기 천장 천공시 및 천공된 천공홀에 천공홀 밀봉부재(200)의 삽입시 발생되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)이 클린룸으로 투입되지 않고 상기 분진 차단부(330)의 분진 유입공(332)을 통해 유입되어 분진 유출공(337)을 통해 본체(310)의 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템.The dust inlet hole of the dust blocking unit 330 is not introduced into the clean room, while the drilling residue 15 and the dust 17 generated during the ceiling drilling and the insertion of the drilling hole sealing member 200 into the drilled hole. Clean system for dust blocking during clean room drilling, characterized in that through the 332 is discharged to the outside of the main body 310 through the dust outflow hole (337). 제1항에 있어서, 상기 천공홀 밀봉부재(200)는 상기 천공홀(13)에 삽입되어 팽창됨으로써 천공홀을 밀봉하는 암 밀봉부재(210)와, 상기 암 밀봉부재(210) 하부의 끼움홈(214)에 상부가 삽입 끼움결합되는 수 탈리부재(220)로 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템.The method of claim 1, wherein the drilling hole sealing member 200 is inserted into the drilling hole 13 to expand the arm sealing member 210 to seal the drilling hole and the fitting groove in the lower portion of the arm sealing member 210 Clean system for dust blocking at the time of the clean room, characterized in that the upper portion is inserted into the fitting 214, the desorbing member 220. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 천공홀 밀봉부재(200)의 수 탈리부재(220)는 상기 천공홀(13) 및 상기 분진 차단부(330)의 분진 유입공(332)을 통과하여 분진 차단부(330) 내부에 노출 고정되며, 상기 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 분진 차단부(330)가 하강시에 암 밀봉부재(210)로부터 빠져 탈리되는 것을 특징으로 하는 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템.The method of claim 1 or 2, wherein the water removal member 220 of the drilling hole sealing member 200 passes through the dust inlet hole 332 of the drilling hole 13 and the dust blocking unit 330 Exposed and fixed inside the dust blocking unit 330, clean room drilling, characterized in that the dust residue 330 of the punched residue and the dust blocking device 300 is detached from the female sealing member 210 when falling. Clean system for dust prevention in city. 제2항에 있어서, 상기 천공홀 밀봉부재(200)의 암 밀봉부재(210)는 상부는 고팽창 탄성재로 된 외부 팽창캡부(215)가 하부는 고밀도 탄성재로 된 밀봉부(213)가 형성되고, 수 탈리부재(220)는 상부는 상기 밀봉부(213)의 하부 끼움홈(214)에 끼워져 결합되는 탈리부(223)가, 하부는 고팽창 탄성재로 된 내부 팽창캡부(225)가 형성되어, The female sealing member 210 of the punching hole sealing member 200 has an outer expansion cap 215 made of a high-expansion elastic material and a sealing portion 213 made of a high-density elastic material. It is formed, the water detachment member 220, the upper portion of the detachment portion 223 is fitted into the lower fitting groove 214 of the sealing portion 213 is coupled, the lower portion of the inner expansion cap portion 225 made of a high-expansion elastic material Is formed, 상기 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215)는 상기 천공홀(13) 외부에서 팽창되어 펼쳐져 고정되고, 상기 수 탈리부재(220)의 내부 팽창캡부(225)는 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 분진 차단부(330)의 내부에서 팽창되어 펼쳐져 고정되는 것을 특징으로 하는 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템.The outer expansion cap 215 of the female sealing member 210 is expanded and fixed outside the perforation hole 13, the inner expansion cap 225 of the water detachment member 220 is punched residue and dust blocking device Clean system for dust blocking during clean room drilling, characterized in that the expansion and expansion is fixed inside the dust blocking unit 330 of (300). 제1항에 있어서, 상기 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)는 일단은 상기 본체(310)의 상부에 결합되고 타단은 상기 분진 차단부(330)의 하부에 결합되어 승강가능하게 구동되는 승강부재(320)와,According to claim 1, The drilling residue and dust blocking device 300 is one end is coupled to the upper portion of the main body 310 and the other end is coupled to the lower portion of the dust blocker 330 is a lifting member driven 320, 일단은 상기 분진 차단부(330)의 분진 유출공(337)에 결합되고, 타단은 상기 승강부재(320)의 내부를 따라 본체(310) 내부에 소정의 승강 높이에 대응되는 길이로 감겨 본체 일측에 형성된 배출호스 배출공(311)을 통해 외부로 연장 노출된 물 배출호스(360)가 더 포함되어,One end is coupled to the dust outlet hole 337 of the dust blocking unit 330, the other end is wound to a length corresponding to a predetermined lifting height inside the main body 310 along the inside of the elevating member 320, one side of the main body Further included is a water discharge hose 360 extended to the outside through the discharge hose discharge hole formed in the 311, 상기 승강부재(320)의 승강에 따라 분진 차단부(330) 및 물 배출호스(360)가 승강되는 것을 특징으로 하는 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템.The dust blocking unit 330 and the water discharge hose 360 is lifted in accordance with the lifting of the elevating member 320, the dust cleaning system for cleaning the dust during the clean room. 제1항에 있어서, 상기 분진 차단부(330)는 상광하협의 깔대기 형상으로 형성되어, 상단에 상기 천장 적소의 천공홀에 대응되는 내측면 주변에 밀착 면접되는 고무밀착패드(335)가 결합되고, 중앙에는 원환판상의 제1 필터(340)가 고정되고, 하부 분진 유출공(337)의 상측에는 제2 필터(350)가 고정되어, According to claim 1, The dust block 330 is formed in a funnel shape of the upper and lower narrow, rubber contact pad 335 that is in close contact with the inner periphery corresponding to the perforated hole of the ceiling place is coupled to the top The first filter 340 on the annular plate is fixed at the center, and the second filter 350 is fixed at the upper side of the lower dust outlet hole 337. 상기 천장 천공시에 고무밀착패드(335)의 중앙에 분진 유입공(332)이 통공되고, 천장 천공시 및 천공홀에 천공홀 밀봉부재(200)의 삽입시 고무밀착패드(335)의 분진 유입공(332)을 통해 분진 차단부(330) 내부로 유입되는 천공잔유물 및 분진 가운데 천공잔유물(15)은 제1 필터(340)에 통공된 천공잔유물 차단공(344)에 걸려 차단되고, 제1 필터의 천공잔유물 차단공(344)을 통과한 분진(17) 가운데 큰 직경 의 분진은 제2 필터(350)에 걸려 차단되며 미세 분말상의 분진은 분진 유출공(337)을 통과해 물 배출호스(360)를 따라 본체 외부로 유출 제거되는 것을 특징으로 하는 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템.The dust inflow hole 332 is perforated in the center of the rubber adhesion pad 335 during the ceiling drilling, and the dust inflow of the rubber adhesion pad 335 during the ceiling drilling and the insertion of the drilling hole sealing member 200 into the drilling hole. The punched residue 15 among the punched residue and the dust introduced into the dust blocker 330 through the ball 332 is caught and blocked by the punched residue blocking hole 344 through the first filter 340. Among the dusts 17 that have passed through the puncture residue blocking hole 344 of the filter, the large diameter dust is caught by the second filter 350 and the fine powdery dust passes through the dust outlet hole 337 to discharge the water hose ( Clean system for dust blocking during the puncture of the clean room, characterized in that the outflow of the main body along the 360. 클린룸 천장에서 천공할 천공홀의 적소를 정하여 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 위치를 선정한 후 천장의 천공홀 자리의 내측면 주변에 분진 차단부(330)의 고무밀착패드(335)가 밀착되도록 승강부재(320)를 상승시키는 단계(S510)와;After determining the location of the drilling hole and the dust blocking device 300 by determining the location of the drilling hole to be drilled on the ceiling of the clean room, the rubber adhesion pad 335 of the dust blocking unit 330 is closely adhered to the inner surface of the ceiling hole hole. Elevating and elevating the lifting member (320) (S510); 상기 천장 내측면 적소에 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 고무밀착패드(335)를 밀착시킨 상태에서 천공기(20)로 천장 외부로부터 천장(10) 및 내측의 고무밀착패드(335) 중앙부를 천공하며, 이때 유출되는 천공잔유물(15) 및 분진(17)이 분진 차단부(330)내에 유입되는 단계(S520)와;In the state where the rubber adhesive pad 335 of the punched residue and the dust blocking device 300 is in close contact with the inner surface of the ceiling, the central portion of the ceiling 10 and the rubber adhesive pad 335 inside the ceiling from the outside of the ceiling are punched. Perforations, and the step of pouring the residue (15) and the dust 17 is discharged into the dust blocking unit 330 (S520); 상기 천공에 따른 천공홀(13) 및 고무밀착패드(335)의 분진 유출공(337)에 천공홀 밀봉부재(200)를 삽입하며, 이때 유출되는 분진이 분진 차단부(330)내에 유입되는 단계(S530)와;The drilling hole sealing member 200 is inserted into the dust outflow hole 337 of the drilling hole 13 and the rubber adhesion pad 335 according to the drilling, and the dust flowing out is introduced into the dust blocking unit 330. (S530); 상기 천공홀에 삽입된 천공홀 밀봉부재(200)의 비닐 겉지(202)를 제거하여 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215) 및 내부 팽창캡부(225)가 팽창되어 펼쳐져 고정되는 단계(S540)와;The outer expansion cap 215 and the inner expansion cap 225 of the female sealing member 210 is expanded and expanded and fixed by removing the vinyl outer surface 202 of the sealing hole 200 inserted into the drilling hole ( S540); 상기 천공홀 밀봉부재(200)의 암 밀봉부재(210)의 외부 팽창캡부(215)가 천 장에 고정된 상태에서 천공잔유물 및 분진 차단장치(300)의 승강부재(320)를 하강시켜 천공홀 밀봉부재(200) 수 탈리부재(220)의 탈리부(223)를 탈리 분리시키며, 이때 분진이 클린룸으로 전혀 유출되지 않고 분진은 물 배출호스(360)를 통해 외부로 배출되면서 분리되는 단계(S550);를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템을 이용한 분진 차단방법.In the state where the outer expansion cap 215 of the female sealing member 210 of the punching hole sealing member 200 is fixed to the ceiling, the lifting member 320 of the punching residue and the dust blocking device 300 is lowered to drill the punching hole. Detach and separate the desorption unit 223 of the sealing member 200 can be detached member 220, wherein the dust is not discharged to the clean room at all, the dust is separated while being discharged to the outside through the water discharge hose (360) ( S550); dust blocking method using a clean system for dust blocking during clean room drilling, characterized in that comprises a. 제7항에 있어서, 상기 천공기(20)로 천장 외부에서 천장 및 내측의 고무밀착패드(335) 중앙부를 천공하는 단계(S520)에서 구동모터(325)의 일측을 물 배출호스(360) 내부의 공기 흐름을 본체(310) 외부로 송풍시키는 송풍팬에 연결한 상태에서 구동모터(325)를 작동시켜 물 배출호스(360) 내부의 분진이 외부로 배출되는 것을 촉진하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 천공시의 분진 차단용 청정시스템을 이용한 분진 차단방법.The method of claim 7, wherein in the step (S520) to puncture the central portion of the rubber adhesive pad 335 of the ceiling and the inside from the outside of the ceiling with the perforator 20, one side of the driving motor 325 in the water discharge hose 360 And operating the driving motor 325 in a state in which the air flow is connected to a blowing fan for blowing the air to the outside of the main body 310 to promote the discharge of dust in the water discharge hose 360 to the outside. Dust blocking method using a dust-cleaning system for clean room drilling.
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