KR100718555B1 - Large-size oled manufacturing apparatus using ink-jet printing techniques and low molecule thermal deposition techniques - Google Patents

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Abstract

본 발명은 OLED 제조에 사용되는 각 챔버 들이 선형으로 연결되어 기판이 선형으로 이동되면서 OLED를 제조하는 인라인(in-line) OLED 제조장치에 관한 것이다. The present invention relates to in-line (in-line) OLED manufacturing apparatus for manufacturing the OLED while the substrate is moved to the linear is the chambers are connected linearly to be used in OLED production.
본 발명에 따른 OLED 제조장치는 인 라인 장비로서, 다수개의 반송 챔버와 버퍼 챔버가 교대로 배치되어 라인을 형성하고, 양단에 배치되는 반송 챔버에는 각각 로딩 챔버 또는 언로딩 챔버가 배치되며, 각 반송 챔버에는 OLED 기판 제조를 위한 각 공정을 수행할 수 있는 공정 챔버들이 배치되는 구조를 가진다. OLED manufacturing apparatus according to the present invention in-line as a device, a plurality of transfer chambers and the buffer chamber are alternately arranged to form a line, and is arranged, each loading chamber or unloading chamber, transportation chamber which is arranged at each end, the transport chamber has a structure in which a process chamber capable of performing the respective steps for the manufacture OLED substrates are disposed.
유기EL, OLED, 인라인, 제조장치, 레이아웃 The organic EL, OLED, in-line manufacturing apparatus, the layout

Description

잉크젯 프린팅과 저분자 유기증착 방법을 겸용하는 대면적 유기 박막 증착장치{LARGE-SIZE OLED MANUFACTURING APPARATUS USING INK-JET PRINTING TECHNIQUES AND LOW MOLECULE THERMAL DEPOSITION TECHNIQUES} Large area organic film deposition apparatus to combine the ink-jet printing and the low-molecular organic vapor deposition method {LARGE-SIZE OLED MANUFACTURING APPARATUS USING INK-JET PRINTING TECHNIQUES AND LOW MOLECULE THERMAL DEPOSITION TECHNIQUES}

도 1은 OLED의 구조를 나타내는 모식도이다. 1 is a view showing the structure of the OLED.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 OLED 제조장치의 레이아웃을 나타내는 도면이다. 2 is a view showing a layout of an OLED manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 OLED 제조장치의 레이아웃을 나타내는 도면이다. 3 is a view showing a layout of an OLED manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 > <Description of the Related Art>

1 : 본 발명의 일 실시예에 따른 OLED 제조장치 1: OLED manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention

100 : 본 발명의 다른 실시예에 따른 OLED 제조장치 100: OLED manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention

11, 12, 13, 14, 15, 16, 111, 112, 113, 114, 115, 116 : 반송 챔버 11, 12, 13, 14, 15, 16, 111, 112, 113, 114, 115, 116: transfer chamber

21, 22, 23, 24, 25, 121, 122, 123, 124, 125 : 버퍼 챔버 21, 22, 23, 24, 25, 121, 122, 123, 124, 125: buffer chamber

30, 130 : 로딩 챔버 40, 140 : 언로딩 챔버 30, 130: loading chamber 40, 140: unloading chamber

51, 151 : 전처리 챔버 52, 152 : 양극용 인쇄 챔버 51, 151: pre-treatment chamber 52, 152: positive electrode chamber for the print

53, 153 : 제1 히팅 챔버 54, 154 : 화소용 인쇄 챔버 53, 153: the first heating chamber 54, 154: pixel printing chamber

55, 155 : 제2 히팅 챔버 56, 156 : 화소 패터닝 예비 챔버 55, 155: the second heating chamber 56, 156: pixel patterning preliminary chamber

58, 159 : 유기물 인쇄 챔버 59, 158 : 무기물 증착 챔버 58, 159: organic material printing chamber 59, 158: mineral deposition chamber

60, 160 : 경화 챔버 G : 게이트 밸브 60, 160: cure chamber G: gate valve

본 발명은 OLED 제조에 사용되는 각 챔버 들이 선형으로 연결되어 기판이 선형으로 이동되면서 OLED를 제조하는 인라인(in-line) OLED 제조장치에 관한 것이다. The present invention relates to in-line (in-line) OLED manufacturing apparatus for manufacturing the OLED while the substrate is moved to the linear is the chambers are connected linearly to be used in OLED production.

최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광받고 있다. Recent information has flat panel display devices (Flat Panel Display) as a display device in accordance with the expansion of the rapid development of communications technology and the market has been in the spotlight. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다. Such flat panel display device is typically a liquid crystal display device (Liquid Crystal Display), a plasma display device (Plasma Display Panel), an organic light emitting device (Organic Light Emitting Diodes).

그 중에서 유기발광소자는 빠른 응답속도, 기존의 액정표시소자 보다 낮은 소비 전력, 경량성, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요없어서 초 박형으로 만들수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 소자로서 각광받고 있다. Among the organic light emitting device according to have a very good advantage in point, high luminance and so on in a quick response time, because the low power consumption than the conventional liquid crystal display device, light weight, and a separate back light (back light) equipment is required make the second thin It has been in the spotlight as a next generation display device.

이러한 유기발광소자는 기판 위에 양극 막, 유기 박막, 음극 막을 순서대로 입히고, 양극과 음극사이에 전압을 걸어줌으로서 적당한 에너지의 차이가 유기 박막에 형성되어 스스로 발광하는 원리이다. Such an organic light emitting element is an anode layer on a substrate, the organic thin film overlaid in order, a negative electrode film, and a zoom voltage is applied between the anode and the cathode is a difference of an appropriate energy is formed on the organic thin film is the principle of light emission by itself. 즉, 주입되는 전자와 정공(hole)이 재결합하며 남는 여기 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. That is, where the injected electrons and holes (hole) recombination and the remaining energy will be generated in the light. 이때 유기 물질의 도판트의 양에 따라 발생하는 빛의 파장을 조절할 수 있으므로 풀 칼라(full color)의 구현 이 가능하다. At this time, it may adjust the wavelength of light generated by the amount of dopant in the organic substance it is possible to implement a full-color (full color).

유기발광소자의 자세한 구조는 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 상에 양극(anode), 정공 주입층(hole injection layer), 정공 운송층(hole transfer layer), 발광층(emitting layer), 전자 운송층(eletron transfer layer), 전자 주입층(eletron injection layer), 음극(cathode)이 순서대로 적층되어 형성된다. As the detailed structure is shown in Figure 1 of the organic light-emitting device, the anode on the substrate (anode), a hole injection layer (hole injection layer), a hole transport layer (hole transfer layer), a light emitting layer (emitting layer), an electron transport layer (eletron transfer layer), is formed to be stacked in the electron injection layer (eletron injection layer), a negative electrode (cathode) in this order. 여기에서 양극으로는 면저항이 작고 투과성이 좋은 ITO(Indium Tin Oxide)이 주로 사용된다. Here, the positive electrode is often used a good ITO (Indium Tin Oxide) transparent sheet resistance is small. 그리고 유기 박막은 발광 효율을 높이기 위하여 정공 주입층, 정공 운송층, 발광층, 전자 운송층, 전자 주입층의 다층으로 구성되며, 발광층으로 사용되는 유기물질은 Alq 3 , TPD, PBD, m-MTDATA, TCTA 등이 있다. And an organic thin film is composed of a hole injection layer, a hole transport layer, light emitting layer, an electron transport layer, the electron injection layer, the multi-layer to increase the light emitting efficiency, an organic material used for the light emitting layer is Alq 3, TPD, PBD, m-MTDATA, there is such TCTA. 또한 음극으로는 LiF-Al 금속막이 사용된다. In addition, the negative electrode is used a film LiF-Al metal. 그리고 유기 박막이 공기 중의 수분과 산소에 매우 약하므로 소자의 수명(life time)을 증가시키기 위해 봉합하는 봉지막이 최상부에 형성된다. And, because the organic thin film is very weak to moisture and oxygen in the air bag to seal in order to increase the service life (life time) of the element film is formed on the top.

따라서 이러한 유기 발광소자를 제조하기 위해서는 전술한 여러가지 층을 모두 형성할 수 있도록 다수개의 챔버가 마련되어야 한다. Therefore, in order to manufacture such an organic light emitting device it must be provided with a plurality of chambers so as to form all of the foregoing various layers. 그리고 이 다수개의 챔버를 적절하게 배치하여 기판의 이동 경로 및 시간을 최소화하면서 짧은 공정 시간내에 유기 발광소자의 제조가 가능한 OLED 제조장치가 요구된다. And an OLED manufacturing apparatus of manufacturing an organic light emitting element which can in a short processing time is required while minimizing the movement route and time of the substrate by placing a plurality of the chamber as appropriate.

그런데 이러한 유기 발광소자는 전술한 여러가지 장점에도 불구하고, 아직 대면적 유기 발광소자에 대한 양산 장비가 확고하게 표준화되어 있지 않아 차세대 디스플레이 소자로서 확고한 자리를 확보하지 못하고 있는 실정이다. However, the situation in such an organic light emitting device, in spite of the above-described various advantages, still do not have a large area mass production equipment is not firmly standardization of the organic light emitting device does not ensure a firm position as a next generation display device. 즉, 액정표시소자나 플라즈마 디스플레이 소자가 급속히 대면적화되면서 그에 따라 대면적 패널 을 생산할 수 있는 양산 장비가 개발되어 표준화되고 있는 상황이므로, 유기 발광소자가 차세대 디스플레이 소자로서의 입지를 확고히 하기 위해서는, 대면적 유기 발광소자 양산 장비의 개발 필요성이 강하게 요구되고 있는 것이다. That is, the liquid crystal display device or plasma display device is so situation that as rapidly large area, standardized been developed mass production equipment that can produce a large-area panel, thus, in order for the organic light-emitting device to secure a position as a next generation display device, a large area the need for development of organic light-emitting device production equipment is being strongly demanded.

본 발명의 목적은 대면적 유기발광소자의 제조에 적합하며, 기판의 이동거리를 최소화하여 전체 공정시간을 단축시키는 OLED 제조장치를 제공함에 있다. An object of the present invention to provide an OLED manufacturing apparatus to shorten the total process time and is suitable for manufacturing a large-area organic light-emitting devices, to minimize the travel of the substrate.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 로딩 챔버, 제1, 제2, 제3, 제4, 제5 반송 챔버, 언로딩 챔버가 일렬로 배치되며, 상기 각 반송 챔버 내에는 기판을 반송할 수 있는 반송 로봇이 마련되며, 상기 로딩 챔버 및 언로딩 챔버에는 기판을 적재할 수 있는 카세트가 마련되고, 상기 각 반송 챔버 사이에는 제1, 제2, 제3, 제4 버퍼 챔버가 순서대로 한 챔버 씩 개재되어 배치되며, 상기 제1 반송 챔버의 일 측면에는 플라즈마를 이용하여 기판에 전처리를 실시하는 전처리 챔버가 배치되며, 상기 제2 반송 챔버의 측면에는 기판 상에 양극(anode) 패턴을 인쇄하는 양극용 인쇄 챔버 및 기판을 가열하여 건조하는 제1 히팅(heating) 챔버가 배치되며, 상기 제3 반송 챔버의 일 측면에는 기판 상에 화소 패턴을 인쇄하는 화소용 인쇄 챔버 및 기판을 가열하여 건조하는 The present invention to achieve the above object, the loading chamber, the first, second, third, fourth, fifth, transportation chamber, and a unloading chamber arranged in series, in each of the transport chamber to transport the substrate the transport robot is provided that the loading chamber and the unloading chamber is provided with a cassette that can be loaded into the substrate, between the respective bounce chambers are a first, second, third, and fourth buffer chamber is in the order disposed sandwiched by the chamber, wherein the first transfer to one side of the chamber using a plasma is arranged a pre-chamber for performing pre-treatment on the substrate, wherein the second printing to the side positive electrode (anode) on the substrate a pattern of the transfer chamber first heating (heating) chamber is disposed, wherein, the one side of the third transport chamber drying by heating the pixel printing chamber and the substrate to print a pixel pattern on the substrate which is heated and dried to a positive electrode printing chamber and a substrate for doing 2 히팅(heating) 챔버가 배치되며, 상기 제4 반송 챔버의 일 측면에는 기판에 음극(cathode) 층을 증착하는 음극용 증착 챔버가 배치되며, 상기 제5 반송 챔버의 측면에는 기판에 유기 봉지막을 인쇄하는 유기물 인쇄 챔버, 기판에 무기 봉지막을 증착하는 무기물 증착 챔버 및 상기 기판 상에 형성되는 상기 유기 봉지막을 경화시키는 경화 챔버가 배치되며, 상기 모든 챔버 사이에는 각 챔버에 형성되는 개구부를 열고 닫을 수 있는 게이트 밸브가 마련되는 OLED 제조장치를 제공한다. 2, the heating (heating) chamber is disposed, the fourth aspect of the transfer chamber is disposed a negative electrode deposition chamber for depositing a layer negative electrode (cathode) to the substrate, the fifth side of the transport chamber, the organic sealing film on the substrate and a curing chamber for curing the organic sealing film arranged to be formed on the printing organic printing mineral deposition chamber and the substrate to the chamber, depositing the inorganic sealing film on the substrate, between the all chamber can open and close an opening formed in each of the chambers which provides an OLED manufacturing apparatus gate valve to be provided.

그리고 본 발명의 상기 전처리 챔버에서는, O 2 /Ar 또는 CF 4 가스를 공급하여 기판에 전처리를 실시하며, 플라즈마 처리시 상부 전극과 하부 전극 사이의 거리를 조정하여 대면적 기판을 균일하게 처리할 수 있도록 하는 것이 대면적 기판의 전처리에 적합하여 바람직하다. And in the pre-chamber of the present invention, O 2 / Ar or CF 4 gas for supply to, and not to be carried to a pre-treatment to the substrate, a plasma treatment during can uniformly process a large area substrate to adjust the distance between the upper electrode and the lower electrode so that it is preferable to fit the pre-treatment of the large area substrate.

그리고 본 발명의 상기 양극용 인쇄 챔버에서는, 잉크 젯 프린터(ink-jet printer)를 사용하여 상기 양극 패턴을 인쇄함으로써 양극용 인쇄 챔버에서의 택트 타임(TACT time)을 최소화하는 것이 바람직하다. And in the printing chamber for the positive electrode of the present invention, it is desirable to minimize the cycle time (TACT time) in the printing chamber for positive electrode by printing the positive electrode pattern using an ink jet printer (ink-jet printer).

그리고 본 발명에서는 상기 제1 히팅 챔버 또는 제2 히팅 챔버에서 기판을 가열하여 건조하되, 그 공정 조건을 상압 또는 진공 조건 중에서 택일하여 진행할 수 있도록 함으로써, 최적의 조건에서 인쇄된 양극 패턴을 건조시키도록 한다. And, but in the present invention, drying by heating the substrate in the first heating chamber or the second heating chamber, by making it possible to proceed to the process conditions and alternatively from atmospheric or vacuum conditions, so as to dry the anode patterns printed in optimal conditions do.

또한 본 발명의 상기 화소용 인쇄 챔버에서는, 잉크 젯 프린터를 사용하여 알지비 화소 패턴을 인쇄하도록 함으로써, 화소용 인쇄 챔버에서의 택트 타임을 최소화하는 것이 바람직하다. Also, in the pixel printed chamber of the present invention, it is preferable to use the ink jet printer for printing by a known non-pixel pattern that minimizes the cycle time of a pixel in the printing chamber.

그리고 본 발명에서는 상기 제1 히팅 챔버 및 제2 히팅 챔버에서는 열을 가하여 기판을 건조하기 때문에, 상기 제2 버퍼 챔버 또는 제3 버퍼 챔버에는 상기 기판을 냉각시키는 냉각수단이 더 마련되는 것이 전체 공정시간을 단축할 수 있어서 바람직하다. And, because drying the substrate by heating in the first heating chamber and the second heating chamber in the present invention, the second buffer chamber or the third buffer chamber to the total process time, that is cooling means for cooling the substrate is further provided it is possible to shorten the preferred.

또한 본 발명의 제3 버퍼 챔버 또는 제4 버퍼 챔버에는, 상기 기판을 반전시키는 기판 반전 수단이 더 마련되는 것이 바람직하며, 상기 제3 버퍼 챔버 및 제4 버퍼 챔버에 모두 기판 반전 수단이 마련될 수도 있다. In addition, the third buffer chamber or the fourth buffer chamber of the present invention, preferably a substrate inversion means for inverting the substrate is further provided, and the third buffer chamber and the fourth buffer in both chambers substrate inversion means may be provided have.

또한 본 발명에서는 봉지공정을 수행하기 위하여 유기막을 형성할 수 있는 유기물 인쇄 챔버와 무기막을 형성할 수 있는 무기물 증착 챔버, 유리 봉지막을 형성할 수 있는 경화 챔버를 동시에 마련함으로써, 대면적 유기 발광소자의 제조에 적합하도록 하는 것이 바람직하다. In addition, the by providing the curing chamber that can be formed may be a film organics printing chamber and the inorganic mineral deposition chamber, the glass encapsulation film on which to form an organic film at the same time, large-area organic light-emitting device in order to perform the sealing process in the present invention to be suitable for the production is preferred.

이때 상기 유기물 인쇄 챔버에서는, 스크린 프린터(screen printer)를 사용하여 유기 봉지막을 인쇄하는 것이 택트 타임을 단축할 수 있어서 바람직하다. Note that, in the said organic chamber printing, using a screen printer (screen printer) is preferable to be able to be shortened cycle time for printing the organic film bag.

그리고 상기 무기물 증착 챔버에서는, 스퍼터를 사용하여 무기 봉지막을 상기 기판 상에 증착하는 것이 바람직하며, 상기 경화 챔버에서는, 상기 유기 봉지막에 자외선을 조사하여 상기 유기 봉지막을 경화시키는 것이 바람직하다. And it is preferred to cure in the inorganic deposition chamber, using the sputtering is preferable to deposit on the substrate, the inorganic sealing film, in the cure chamber, irradiated with ultraviolet rays to the organic seal film sealing the organic film.

또한 본 발명의 경화 챔버에서는 유기물의 경화 뿐만아니라 봉지용 유리기판을 사용하여 유리 봉지막을 형성하는 공정도 진행되며, 상기 언로딩 챔버에는, 완성된 OLED 기판을 배출하기 위한 카세트 뿐만아니라, 봉지용 유리기판을 적재하는 봉지용 유리기판 카세트가 더 마련되는 것이 장치 전체의 풋 프린트(foot print)를 감소시킬 수 있어서 바람직하다. In addition, the curing chamber of the present invention as well as the curing of the organic material by using a glass substrate for sealing takes place also process of forming glass sealing film, in the unloading chamber, as well as the cassette for discharging the finished OLED substrate, a glass for encapsulation it is a glass substrate for bags intended to carry the substrate cassette is further provided it is preferable to reduce the footprint (foot print) of the entire device.

따라서 본 발명에서는, 상기 언로딩 챔버가 완성된 OLED기판을 외부로 배출하는 기능 뿐만아니라, 봉지용 유리기판을 상기 제5 반송 챔버 내로 반입하는 기능도 수행하여 봉지용 유리기판 반입을 위한 별도의 챔버없이도 공정이 진행될 수 잇도록 하는 것이 바람직하다. Therefore, separate chambers According to the present invention, as well as the ability to discharge the OLED substrate on which the unloading chamber finished to the outside, performs a function of conveyed into the fifth transportation chamber of the glass substrate for sealing for the glass substrate carry for bag so that the process can proceed without gums are preferred.

그리고 본 발명에서는, 제3 반송 챔버와 제3 버퍼 챔버 사이에, 제5 버퍼 챔버 및, 기판을 반송할 수 있는 반송 수단이 내부에 구비되는 제6 반송 챔버가 순서대로 개재되어 마련되며, 상기 제6 반송 챔버의 일 측면에는 상기 기판 상에 저분자 유기물을 증착하는 화소 패터닝 보조 챔버가 배치되도록 함으로써, 고분자 유기물 뿐만이나라 저분자 유기물도 증착할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. In the present invention, the third between the transfer chamber and the third buffer chamber, the fifth buffer chamber and conveying means for conveying a substrate is provided is disposed as a sixth transport chamber is the order in which they are provided in the said first in one aspect of the transfer chamber 6 it is preferably arranged such that by the pixel patterning the auxiliary chamber to deposit a low-molecular-weight organic material on the substrate, only the high molecular organic material to be deposited are countries the low molecular organic material.

이때 상기 화소 패터닝 보조 챔버에서는, 쉐도우 마스크(shadow mask)를 사용하여 저분자 유기물 패턴을 기판 상에 증착하도록 한다. Note that, in the pixel patterning the secondary chamber, by using a shadow mask (shadow mask) and to deposit a low-molecular organic material pattern on the substrate.

본 발명은 또한, 로딩 챔버, 제1, 제2, 제3, 제4, 제5 반송 챔버, 언로딩 챔버가 일렬로 배치되며, 상기 각 반송 챔버 내에는 기판을 반송할 수 있는 반송 로봇이 마련되며, 상기 로딩 챔버 및 언로딩 챔버에는 기판을 적재할 수 있는 카세트가 마련되고, 상기 각 반송 챔버 사이에는 제1, 제2, 제3, 제4 버퍼 챔버가 순서대로 한 챔버 씩 개재되어 배치되며, 상기 제1 반송 챔버의 일 측면에는 플라즈마를 이용하여 기판에 전처리를 실시하는 전처리 챔버가 배치되며, 상기 제2 반송 챔버의 측면에는 기판 상에 양극(anode) 패턴을 인쇄하는 양극용 인쇄 챔버 및 기판을 가열하여 건조하는 제1 히팅(heating) 챔버가 배치되며, 상기 제3 반송 챔버의 일 측면에는 기판 상에 화소 패턴을 인쇄하는 화소용 인쇄 챔버 및 기판을 가열하여 건조하는 제2 히팅(heating) 챔버가 배치 The present invention also provides the loading chamber, the first, second, third, fourth, fifth transfer chamber, arranged in the unloading chamber in line, in each of the transport chamber is provided with a carrying robot capable of carrying a substrate and, in the loading chamber and an unloading chamber, a cassette that can be loaded into the substrate is provided, between each of the transfer chambers, the first, second, third, and fourth buffer chamber, in order, are disposed being interposed by a chamber , wherein the using the plasma, the one side of the first conveyance chamber and the pre-treatment chamber for performing pre-arranged on the substrate, and the second conveying side of the chamber, the printing for the positive electrode to print a positive electrode (anode) pattern on the substrate chamber is disposed a first heating (heating) chamber for drying and heating the substrate, wherein the third second heating (heating one side of the conveyance chamber, which is heated and dried to the pixel printing chamber and the substrate to print a pixel pattern on the substrate ) chamber is disposed 며, 상기 제4 반송 챔버의 일 측면에는 기판에 음극(cathode) 층을 증착하는 음극용 증착 챔버 및 기판에 무기 봉지막을 증착하는 무기물 증착 챔버가 배치되며, 상기 제5 반송 챔버의 측면에는 기판에 유기 봉지막을 인쇄하는 유기물 인쇄 챔버 및 상기 기판 상에 형성되는 상기 유기 봉지막을 경화시키는 경화 챔버가 배치되며, 상기 모든 챔버 사이에는 각 챔버에 형성되는 개구부를 열고 닫을 수 있는 게이트 밸브가 마련되는 OLED 제조장치를 제공한다. Said, the fourth and the inorganic vapor deposition chamber to deposit an inorganic sealing film disposed on the cathode the deposition chamber and the substrate for depositing the one side, the layer negative electrode (cathode) to the substrate of the transfer chamber, the substrate has a side surface of the fifth transport chamber is provided OLED manufacturing the organic sealing the organic printing chamber and the curing chamber for curing the organic sealing film formed on said substrate and arranged for printing a film, a gate valve that can open and close an opening formed in each chamber between the all chambers It provides an apparatus.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예들을 상세하게 설명한다. Hereinafter will be described in detail, specific embodiments of the invention with reference to the accompanying drawings.

< 실시예 1 > <Example 1>

본 실시예에 따른 OLED 제조장치(1)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 인 라인 장비로서 다수개의 반송 챔버와 버퍼 챔버가 교대로 배치되어 라인을 형성하고, 양단에 배치되는 반송 챔버에는 각각 로딩 챔버 또는 언로딩 챔버가 배치되며, 각 반송 챔버에는 OLED 기판 제조를 위한 각 공정을 수행할 수 있는 공정 챔버들이 배치되는 구조를 가진다. OLED manufacturing apparatus according to the embodiment 1 has, in each conveying chamber, which is, are a plurality of transfer chambers, the buffer chambers alternately arranged as in-line device to form a line, arranged at each end as shown in Figure 2 is disposed a loading chamber or unloading chamber, the process chamber has a structure that is capable of performing the respective steps for the manufacture OLED substrates are disposed the transport chamber.

먼저 본 발명에 따른 반송 챔버는 다수개의 반송 챔버가 일렬로 배치된다. First conveyance chamber in accordance with the present invention a plurality of transfer chambers are arranged in series. 본 실시예에서 반송 챔버는, 이웃하여 배치된 일 챔버에서 기판을 전달받아서 이웃하여 배치된 타 챔버로 기판을 전달하는 중간 경로 역할을 한다. In this embodiment the conveying chamber, and the middle path serves to neighbor by passing the substrate with the transfer takes place to a substrate in one chamber disposed adjacent the other chamber. 이때 각 반송 챔버 내에는 기판을 반송할 수 있는 반송 로봇(도면에 미도시)이 마련된다. At this point in the transport chamber it is provided with a (not shown in the figure) carrying robot capable of transferring a substrate. 이 반송 로봇은 기판을 적재할 수 있는 로봇 팔과 이 로봇 팔을 전후 방향 또는 회전 구동 시킬 수 있는 구동 축으로 구성된다. The transfer robot consists of a robotic arm and a robot arm capable of loading a substrate into which the drive shaft can be driven forward and backward directions or rotation. 따라서 이 반송 로봇은 특정한 챔버에 적재되어 있는 기판을 들고 나와서 다른 챔버로 옮겨서 적재할 수 있는 것이다. Therefore, the carrying robot is capable of carrying out the substrate that is loaded in the particular chamber loading transferred to the other chamber. 본 실시예에서는 제1, 제2, 제3, 제4, 제5 반송 챔버의 다섯 반송 챔버(11, 12, 13, 15, 16)가 일렬로 배치된다. In this embodiment, the first, second, third, fourth, fifth, five transfer chambers, the transfer chambers (11, 12, 13, 15, 16) are arranged in a line.

그리고 각 반송 챔버의 사이에는 하나의 버퍼 챔버가 개재되어 마련된다. And between the transport chamber is provided with a buffer chamber is interposed. 따 라서 본 실시예에서는 제1, 제2, 제3, 제4 버퍼 챔버의 네 버퍼 챔버(21, 22, 24, 25)가 순서대로 각 반송 챔버 사이에 배치된다. Therefore, the present embodiment first, second, third and fourth four buffer chamber, the buffer chamber (21, 22, 24, 25) are sequentially arranged between the transport chamber. 본 실시예에서 이 버퍼 챔버는 이웃하는 반송 챔버 사이에 개재되어서 어느 하나의 반송 챔버 또는 그 반송 챔버에 인접하여 배치된 공정 챔버에 고장이 발생하는 경우 다른 챔버의 고진공상태를 깨뜨리지 않고, 고장이 발생한 챔버를 유지 보수할 수 있는 완충지대의 역할을 한다. In this embodiment the buffer chamber when the failure occurs in the not be interposed between the bounce chamber neighboring disposed adjacent to any one of the transfer chamber or a transfer chamber, the processing chamber without breaking the vacuum condition of other chamber, a failure occurs It plays a role in one buffer zone to maintain the chamber. 이 버퍼 챔버 내에는 기판을 임시로 적재할 수 있는 기판 적재대가 마련된다. In the buffer chamber it is provided which can be loaded into the master substrate mounting the substrate on a temporary basis.

그리고 버퍼 챔버 중 제3 버퍼 챔버(24)에는 기판의 위치를 반전시키는 기판 반전수단(도면에 미도시)이 더 마련되는 것이 바람직하다. And preferably of the buffer chambers third buffer chamber 24 is provided which (not shown in the drawing) a substrate inversion means for inverting the position of the substrate it is further provided. 그리고 기판의 이동 경로를 최소화하여 전체 공정시간을 단축하기 위해서 상기 제4 버퍼 챔버(25)에도 기판 반전수단을 마련하는 것이 바람직하다. And it is preferable to provide a substrate inversion means in said fourth buffer chamber 25 in order to shorten the total process time to minimize the path of movement of the substrate.

다음으로 상기 로딩 챔버(30)는 OLED 제조장치내로 기판을 반입시키는 역할을 한다. Next, the loading chamber (30) serves to carry the substrate into the OLED manufacturing apparatus. 본 실시예에 따른 로딩 챔버(30) 내부에는 다수장의 기판을 적재할 수 있는 카세트(도면에 미도시)가 마련된다. Inside the loading chamber 30 according to this embodiment it is provided with a (not shown in the figure) in the cassette can be loaded into a number of substrates. 따라서 여러장의 기판을 동시에 반입함으로써, 기판을 한장씩 반입하는 것에 비하여 공정시간을 대폭 단축할 수 있다. Therefore, it is possible to significantly shorten the process time as compared to, bring the substrate one by one by a carry multiple sheets of substrates at the same time. 그리고 이 로딩 챔버(30)는 외부와 연통되어 있으므로 챔버 내부를 진공 상태와 대기압 상태로 신속하고 용이하게 변경할 수 있어야만 전체 공정시간을 단축할 수 있어서 바람직하다. And a loading chamber 30 because the communication with the outside is preferable to shorten the total process time must be able to be changed quickly and easily to the chamber in a vacuum state and an atmospheric pressure state. 따라서 본 실시예에 따른 로딩 챔버(30)에는 챔버 내부의 기체를 배출시켜 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 펌핑 수단과 진공 상태의 챔버 내부에 질소 가스 등을 주입하여 대기압 상태로 만드는 벤팅(venting) 수단이 동시에 마련되는 것 이 바람직하다. Thus, the loading chamber 30 is provided with venting (venting) means to the chamber interior by discharging the gas in the chamber by the pumping means to create a vacuum and injection of nitrogen gas and the like inside the chamber of the vacuum state to the atmospheric pressure according to this embodiment this will be provided at the same time is preferred.

다음으로 언로딩 챔버(40)는 공정이 완료된 기판을 외부로 배출하는 역할을 한다. Next, an unloading chamber 40, is responsible for the discharge process is complete the substrate to the outside. 따라서 본 실시예에 따른 언로딩 챔버(40) 내부에도 다수장의 기판을 적재할 수 있는 카세트가 마련되며, 펌핑 수단과 벤팅 수단이 마련된다. Thus from the inside of the unloading chamber 40 according to this embodiment is a cassette that can be loaded a number of substrates provided, is provided with a pumping means and a venting means. 그리고 본 실시예에서는 상기 언로딩 챔버(40)가 봉지용 유리기판을 반입하는 역할도 수행하여야 한다. And in this embodiment, should the unloading chamber 40 is also serve to bring the glass substrate for sealing. 따라서 상기 언로딩 챔버(40) 내부에는 다수장의 봉지용 유리기판을 적재하는 봉지용 유리기판 카세트가 더 마련되는 것이 바람직하다. Therefore, the unloading chamber 40, inside, it is preferable that a glass substrate for bags intended to carry multiple sheets of glass substrates for sealing the cassette is further provided.

다음으로 상기 제1 반송 챔버(11)의 일 측면에는 전처리 챔버(51)가 마련된다. Next, the one side, the pre-treatment chamber 51 of the first transfer chamber 11 is provided. 이 전처리 챔버(51)는 본 실시예에 따른 OLED 제조장치(1)내로 반입된 기판에 대하여 플라즈마를 이용하여 처리함으로써, 기판 상의 불순물을 제거하고 기판 상태를 공정 처리에 적합한 상태로 만드는 역할을 한다. The pre-treatment chamber 51 serves to create a suitable condition on by processing using plasma with respect to a conveyed substrate into the OLED manufacturing apparatus (1), to remove impurities on the substrate and process processes the substrate state according to the embodiment . 그리고 본 실시예에서는 상기 전처리 챔버(51) 내의 하부 전극을 상하 방향으로 구동할 수 있게 함으로써, 대면적 기판의 모든 영역이 균일하게 처리될 수 있는 조건에서 기판이 전처리 되도록 한다. And in this embodiment, so that the substrate is pretreated under the condition that all of the sectors are uniformly processing a large area substrate, and by allowing to drive the lower electrode in the pretreatment chamber 51 in the vertical direction. 따라서 본 실시예에 따른 OLED 제조장치(1)는 대면적 기판의 처리에 적합한 장점이 있다. Therefore, OLED manufacturing apparatus 1 according to this embodiment has an advantage suitable for processing a large area substrate. 본 실시예에서는 이 전처리 챔버(51) 내에 O 2 /Ar 또는 CF 4 가스를 공급하여 기판에 전처리를 실시한다. In this embodiment, by supplying O 2 / Ar or CF 4 gas into the pre-treatment chamber 51 and subjected to pre-treatment to the substrate.

다음으로 상기 제2 반송 챔버(12)의 양 측면에는 양극용 인쇄 챔버(52)와 제1 히팅 챔버(53)가 각각 마련된다. Next, the second opposite sides, the printing chamber 52 in the first heating chamber 53 for the positive electrode of the transfer chamber 12 is provided, respectively. 여기에서 양극용 인쇄 챔버(52)는 양극 패턴을 인쇄하는 역할을 하며, 본 실시예에서는 상기 양극용 인쇄 챔버(52)에서 잉크 젯 프린터(ink-jet printer)를 사용하여 상기 양극 패턴을 인쇄하도록 한다. Here printing chamber 52 for positive electrode is to print the positive pattern using the functions to print the positive pattern, in the present embodiment, the ink jet printer (ink-jet printer) in the positive electrode printing chamber 52 for do. 따라서 본 실시예에서는 대면적 기판에 대해서도 매우 신속하게 양극 패턴을 인쇄할 수 있으며, 대면적 기판의 모든 영역에 대하여 균일한 두께로 양극 패턴을 형성시킬 수 있다. Therefore, this embodiment can print a very rapid positive electrode patterns even for a large area substrate, it is possible to form a cathode pattern with a uniform thickness on all the area of ​​the large area substrate. 따라서 양극용 인쇄 챔버(52)에서의 택트 타임을 최소화할 수 있어서, 본 실시예에 따른 OLED 제조장치(1)는 대면적 기판의 제조에 적합한 장점이 있다. Therefore, it is possible to minimize the tact time of the anode printing chamber 52 for, OLED manufacturing apparatus 1 according to this embodiment has the advantage for the production of large-area substrates.

그리고 제1 히팅 챔버(53)는 상기 양극용 인쇄 챔버(52)에 의하여 인쇄된 양극 패턴을 건조하는 역할을 하는 챔버이다. And a first heating chamber 53 is a chamber which serves to dry the anode patterns printed by a printing chamber 52 for the positive electrode. 본 실시예에서는 이 제1 히팅 챔버(53)에서 기판에 열을 가하여 인쇄된 패턴을 건조시키도록 한다. In this embodiment, so that the drying of the printed pattern by heating the substrate in the first heating chamber (53). 따라서 상기 제1 히팅 챔버(53) 내에는 가열수단이 마련되며, 그 결과 신속하게 양극 패턴을 건조시킬 수 있는 장점이 있다. Therefore, in the first heating chamber (53) is provided with a heating means, there is an advantage in that the results can be quickly dried on the positive pattern. 그리고 건조 공정 진행 중에 상기 제1 히팅 챔버(53)는 상압으로 유지될 수도 있고, 진공 상태로 유지될 수도 있다. And the first heating chamber 53 during the drying process proceeds may be maintained at atmospheric pressure, it may be maintained in a vacuum state.

다음으로 상기 제3 반송 챔버(13)의 양 측면에는 화소용 인쇄 챔버(54) 및 제2 히팅 챔버(55)가 각각 배치된다. Next, the third positive side pixel printing chamber 54 and the second heating chamber 55 of the transfer chamber 13 is disposed, respectively. 여기에서 화소용 인쇄 챔버(54)는 기판 상에 알지비(RGB) 패턴을 인쇄하는 역할을 하며, 본 실시예에서는 상기 화소용 인쇄 챔버(54)에서 잉크 젯 프린터(ink-jet printer)를 사용하여 상기 알지비 화소 패턴을 인쇄하도록 한다. Here, a pixel printing chamber 54 is used to know the non-(RGB) serves to print a pattern and, in this embodiment, an ink jet printer (ink-jet printer) at the pixel printing chamber 54 on the substrate It will be known to the printing to the non-pixel pattern. 따라서 본 실시예에서는 고분자 유기물을 사용하여 대면적 기판에 대해서도 매우 신속하게 화소 패턴을 인쇄할 수 있으며, 대면적 기판의 모든 영역에 대하여 균일한 두께로 화소 패턴을 형성시킬 수 있다. Therefore, in this embodiment, it is possible to form a pixel pattern with a uniform thickness on all the area of ​​the large area substrate, and can print a pixel pattern very quickly even for a large area substrate using a high molecular organic material. 그러므로 화소용 인쇄 챔버(54)에서의 택트 타임을 최소화할 수 있어서, 본 실시예에 따른 OLED 제조 장치(1)는 대면적 기판의 제조에 적합하다. Therefore, it is possible to minimize the tact time of a pixel in the printing chamber (54), OLED manufacturing apparatus 1 according to this embodiment is suitable for manufacturing a large-area substrate.

그리고 제2 히팅 챔버(55)는 상기 화소용 인쇄 챔버(54)에 의하여 인쇄된 화소 패턴을 건조하는 역할을 하는 챔버이다. And the second heating chamber 55 is a chamber which serves to dry the pixel pattern printed by the print pixel chamber 54. 본 실시예에서는 상기 제1 히팅 챔버(53)와 마찬가지로, 이 제2 히팅 챔버(55)에서 열을 가하여 기판에 인쇄된 패턴을 건조시킨다. In this embodiment, similarly to the first heating chamber 53, the first to dry the pattern printed on the substrate by applying heat from the heating chamber 2 (55). 따라서 상기 제2 히팅 챔버(55) 내에는 가열수단이 마련되며, 신속하게 화소 패턴을 건조시킬 수 있는 장점이 있다. Therefore, in the second heating chamber 55 has the advantage that can be provided with a heating means, and quickly drying the pixel pattern. 그리고 건조 공정 진행 중에 상기 제2 히팅 챔버(55) 내부는 상압으로 유지될 수도 있고, 진공 상태로 유지될 수도 있다. And the second internal heating chamber 55 in process a drying step may be maintained at atmospheric pressure, may be maintained in a vacuum state.

그리고 상기 제2 버퍼 챔버(22)와 제3 버퍼 챔버(23)에는 상기 기판을 냉각시키는 냉각수단이 더 마련되는 것이 바람직하다. And, it is preferred that the cooling means for cooling the substrate is further provided and the second buffer chamber 22 and the third buffer chamber (23). 상기 제2 버퍼 챔버(22) 및 제3 버퍼 챔버(23)는 상기 제1 히팅 챔버(53) 및 제2 히팅 챔버(55)에서 건조 처리된 기판이 통과하는 챔버이다. The second buffer chamber 22 and the third buffer chamber 23 is a chamber for the dried substrate from the first heating chamber 53 and the second heating chamber 55 is passed. 따라서 고온으로 가열된 기판이 반입된다. Therefore, the heated substrate to a high temperature is brought. 그런데 다음 공정을 진행하기 위해서는 기판이 정상온도로 냉각되어야 하므로 상기 제2, 제3 버퍼 챔버 내에 기판을 냉각 시킬 수 있는 냉각수단을 마련하여 기판이 자연 냉각되는 것보다 신속하게 공정을 진행시킬 수 있도록 하는 것이다. However, in order to proceed to the next step, because the substrate must be cooled to normal temperature, the second, the third buffer to a substrate in a chamber provided with cooling means capable of cooling to the substrate may be conducted to quickly process than is natural cooling to.

다음으로 상기 제4 반송 챔버(15)의 일 측면에는 음극용 증착 챔버(57)가 배치된다. Next, the fourth days, the deposition chamber 57 for the negative electrode side of the transfer chamber 15 is arranged. 이 음극용 증착 챔버(57)는 기판 상에 금속 음극막을 증착하는 역할을 한다. A deposition chamber 57 for the negative electrode serves for depositing a metal film on the cathode substrate. 본 실시예에서는 이 음극용 증착 챔버(57)에서 LiF-Al막을 기판 상에 증착시킨다. In this embodiment, it is deposited in the deposition chamber 57 for the negative film LiF-Al on a substrate.

다음으로 상기 제5 반송 챔버(16)의 측면에는 유기물 인쇄 챔버(58), 무기물 증착 챔버(59) 및 경화 챔버(60)가 배치된다. Next, the above-mentioned fifth aspect, the organic substance carrying printing chamber 58, the inorganic vapor deposition chamber 59 and the curing chamber 60 of the chamber 16 is arranged. 여기에서 유기물 인쇄 챔버(58)는 금속 음극막까지 증착되어 모든 소자의 형성이 완료된 기판 상에 유기물 봉지막을 형성시키는 공정을 진행한다. Here, organic matter printing chamber 58 proceeds to the step of forming a film sealing the organic phase is complete, the substrate is formed of any element is deposited by a metal cathode layer. 본 실시예에서는 이 유기물 인쇄 챔버(58)에 스크린 프린터(screen printer)를 설치하여 대면적 기판에 대하여 신속하면서도 정밀하게 유기물 봉지막을 형성시킬 수 있도록 한다. In this embodiment, by installing a screen printer (screen printer) for printing the organic material chamber 58 so as to be formed quickly and accurately with respect to the large area substrate organic material film bag.

그리고 무기물 증착 챔버(59)는 유기물 봉지막이 형성되어 있는 기판 상에 무기물 봉지막을 더 형성시키는 역할을 한다. And inorganic deposition chamber (59) serves to further form a film on the substrate with inorganic sealing film is formed on organic bag. 본 실시예에서는 상기 무기물 증착 챔버(59) 내에 스퍼터(sputter)를 마련하여 스퍼터링 방법을 이용하여 무기물 봉지막을 형성시킨다. In this embodiment, by providing a sputtering (sputter) in the inorganic deposition chamber 59 is formed by using a sputtering film inorganic bag.

그리고 경화 챔버(60)는 상기 유기물 인쇄 챔버(58)에 의하여 형성된 유기물 봉지막을 경화시키는 역할을 한다. And curing chamber (60) serves to organic bag cured film formed by printing the organic chamber 58. 본 실시예에서는 이 경화 챔버(60) 내에 자외선 조사 수단을 마련하고, 상기 유기물 봉지막에 자외선을 조사하여 경화시킨다. In this embodiment, thereby providing an ultraviolet light irradiation means in the curing chamber 60, and cured by irradiation of ultraviolet rays to the organic film bag. 또한 본 실시예에서는 이 경화 챔버(60)가 외부로 부터 봉지용 유리기판을 공급받아서 유리 봉지막을 형성시키는 역할도 병행하여 수행한다. Also receives the embodiment, the curing chamber 60 is supplied to the glass substrate for sealing from the outside is performed in parallel also serves to form a glass film bag. 따라서 별도의 챔버를 마련하지 않고 유리 봉지막을 형성시킬 수 있어서, 장치 전체의 풋 프린트가 증가하지 않는 장점이 있다. Therefore, it is possible to form a glass film bag without providing a separate chamber, and the advantage of not increasing the overall footprint of the device.

본 실시예에서는 전술한 바와 같이, 봉지막을 유기물 봉지막, 무기물 봉지막, 유리 봉지막을 적층하여 형성시킨다. In this embodiment, as described above, the sealing film is sealed organic film, inorganic film bag, the bag film is formed by laminating glass. 종래에는 유리 봉지막만을 사용하였는데, 이 경우 기판이 대면적화 되면서 유리 봉지막의 중간 부분이 자중에 의하여 처지면서 금속 음극막과 접촉되는 문제점이 발생한다. Conventionally, only the glass seal film used were, in this case, as the substrate is optimized facing a problem arises that the middle of the glass sealing film while sagging by its own weight into contact with a metallic cathode layer. 따라서 본 실시예에서는 금속 음극 막 상에 유기물 봉지막, 무기물 봉지막, 유기물 봉지막의 3층의 봉지막을 먼저 형성시킨 후에, 유리 봉지막을 형성시킴으로써 대면적 기판에 있어서, 유리 봉지막과 금속 음극막이 접촉되는 것을 방지할 수 있는 것이다. Therefore, after this embodiment, the formed organic bag on the metal anode layer film, a film bag of a mineral seal film, the organic sealing film 3 layer, first, in a large-area substrate by forming a bag film is a glass, glass seal film and a metallic cathode film is in contact which it is capable of preventing. 따라서 본 실시예에 따른 OLED 제조장치는 차세대 디스플레이 소자인 대면적 유기 발광 소자를 제조하는데 적합한 장점이 있는 것이다. Therefore, OLED manufacturing apparatus according to the present embodiment is that the appropriate advantages in preparing a large-area organic light emitting device, a next-generation display devices.

한편 본 실시예에 따른 OLED 제조장치(1)에는, 저분자 유기물을 증착하여 화소 패턴을 형성시키는 화소 패터닝 보조 챔버(56)가 더 마련되는 것이 바람직하다. On the other hand, the OLED manufacturing apparatus 1 according to this embodiment, it is preferable that the pixel patterning the auxiliary chamber 56 to form a pixel pattern by depositing a low-molecular organic material is further provided. 상기 화소용 인쇄 챔버(54)는 고분자 유기물을 사용하여 화소 패턴을 형성시키는 경우에 사용된다. The pixel printing chamber 54 is used in the case of forming a pixel pattern by using a high molecular organic material. 반면에 상기 화소 패터닝 보조 챔버(56)는 저분자 유기물을 사용하여 화소 패턴을 형성시킨다. On the other hand, the pixel patterning the auxiliary chamber 56 to form a pixel pattern by using a low molecular organic material. 따라서 본 실시예에 따른 OLED 제조장치(1)는 고분자 유기물과 저분자 유기물을 모두 사용할 수 있는 장점이 있다. Therefore, OLED manufacturing apparatus 1 according to this embodiment has the advantage that can be used both organic polymer and low-molecular organic material.

본 실시예에서는 상기 화소 패터닝 보조 챔버(56)를 배치하기 위하여 상기 제3 반송 챔버(13)와 제3 버퍼 챔버(24) 사이에 제5 버퍼 챔버(23) 및 제6 반송 챔버(14)를 순서대로 개재시킨다. In this embodiment, the third transfer chamber 13 and the third buffer chamber fifth buffer chamber 23 and the sixth conveying chamber 14 between 24 to place the pixel patterning the auxiliary chamber 56 thereby interposing in sequence. 그리고 상기 제6 반송 챔버(14)의 일 측면에 화소 패터닝 보조 챔버(56)를 배치하는 것이다. And to place the pixel patterning the auxiliary chamber 56 at one side of the sixth conveying chamber 14. 여기에서 상기 제5 버퍼 챔버(23)와 제6 반송 챔버(14)는 다른 버퍼 챔버 및 반송 챔버와 동일한 구조 및 기능을 가진다. The fifth buffer chamber 23 and the sixth conveying chamber 14 here has the same structure and function as the other buffer chamber and the transfer chamber. 한편 상기 화소 패터닝 보조 챔버(56)에서는 쉐도우 마스크를 사용하여 화소 패턴을 형성시킨다. Meanwhile, the pixel patterning the auxiliary chamber 56 to form a pixel pattern by using a shadow mask.

그리고 본 실시예에 따른 모든 챔버 사이에는 게이트 밸브(G)가 개재되어 마 련된다. And e is relevant is interposed a gate valve (G) between all the chambers according to the present embodiment. 즉, 각 챔버의 측면 중 다른 챔버와 마주보는 면에는 소정 크기의 개구부가 형성되고, 상기 게이트 밸브(G)가 상기 개구부보다 큰 면적을 가지도록 형성되어 상기 개구부를 열고 닫는 역할을 하는 것이다. That is, the surface facing the other of the side chambers of each of the chambers is formed with an opening having a predetermined size, is formed in the gate valve (G) is to have an area greater than the opening to act to open and close the opening. 여기서 상기 개구부는 각 챔버 사이에서 기판이 이동되는 통로 역할을 하며, 상기 게이트 밸브(G)는 각 공정 처리 중에 각 챔버를 격리시키는 역할을 한다. Wherein said opening serves as an entrance which the substrate is moved between the chambers, and said gate valve (G) serves to isolate each chamber during each processing step.

이하에서는 본 실시예에 따른 OLED 제조장치(1)를 사용하여 유기발광 소자를 형성시키는 과정을 설명한다. Hereinafter will be described a process of forming the organic light-emitting device using the OLED manufacturing apparatus 1 according to this embodiment.

우선 로딩 챔버(30)를 사용하여 기판을 로딩시킨다. By first using the loading chamber 30, thereby loading the substrate. 이때 본 실시예에서는 다수장의 기판을 동시에 적재할 수 있는 카세트를 사용하므로 한번에 다수장의 기판을 OLED 제조장치 내로 반입할 수 있으므로 공정시간을 단축할 수 있는 장점이 있다. At this time, in this embodiment, it uses a cassette which can be loaded into a number of substrates at the same time has the advantage of shortening the process time because the number of substrates can be brought into the OLED manufacturing apparatus at one time.

그리고 로딩 챔버(30) 내의 기체를 배출하여 로딩 챔버 내를 진공으로 만든다. And discharging the gas in the loading chamber 30 to create a vacuum within the loading chamber with. 그 후 제1 반송 챔버(11)와 로딩 챔버(30) 간의 게이트 밸브가 열리고, 제1 반송 챔버(11) 내에 마련되어 있는 제1 반송 로봇이 로딩 챔버(30) 내에 배치되어 있는 카세트에 적재되어 있는 기판 한 장을 들고 나와서 전처리 챔버(51)로 반입시킨다. After the first transfer chamber 11 and opens the gate valve between the loading chamber 30, the first with a first transfer robot provided in a transport chamber (11) is loaded in the cassette which is disposed in the loading chamber (30) carrying out a single sheet of substrate is brought into the pre-chamber 51.

그러면 전처리 챔버(51)에서 공정 가스를 주입하고, RF 전력을 인가하여 플라즈마를 발생시켜 기판에 대하여 전처리를 실시한다. Then inject the process gas in the pre-treatment chamber 51, and generates a plasma by applying RF power to a pre-treatment is performed with respect to the substrate. 전처리 공정이 마무리되면, 상기 전처리 챔버(51)와 제1 반송 챔버(11) 사이의 게이트 밸브가 열리고, 상기 제1 반송 로봇이 기판을 들고 나와서 제1 버퍼 챔버(21)로 반입시킨다. When the pre-processing step is finished, the gate valve between the pre-chamber 51 and the first transfer chamber 11 is opened, the second one carrying out a robot holding a substrate is brought into the first buffer chamber 21.

상기 제1 버퍼 챔버(21) 내에서 기판이 회전 된 후 상기 제2 반송 챔버(12) 내에 마련된 제2 반송 로봇에 의하여 기판이 양극용 인쇄 챔버(52)로 반입된다. After the substrate is rotated in said first buffer chamber 21 wherein the second substrate by the second transport robot provided in the second transfer chamber 12 is brought into the anode printing chamber 52 for. 이 양극용 인쇄 챔버(52)에서는 기판 상에 양극 패턴을 잉크 젯 프린터를 사용하여 인쇄한다. In the printing chamber 52 for the positive electrode to the positive electrode pattern on the substrate it is printed using an ink jet printer. 그리고 나서 상기 제2 반송 로봇이 기판을 제1 히팅 챔버(53)로 이동시킨다. And then moves the second substrate transport robot to the first heating chamber (53). 그러면 제1 히팅 챔버(53)에서 기판에 열을 가하여 인쇄된 양극 패턴을 건조시킨다. Then dry the positive electrode pattern printing by applying heat to the substrate in the first heating chamber (53).

그리고 나서 상기 제2 반송 보롯이 상기 기판을 제2 버퍼 챔버(22)로 이동시킨다. Thereafter, the second transfer borot This moves the substrate to a second buffer chamber (22). 이때 상기 제2 버퍼 챔버(22)에서는 냉각 수단을 구동하여 상기 기판을 냉각시킨다. Note that, in the said second buffer chamber 22 to drive the cooling means to cool the substrate.

그리고 상기 제3 반송 챔버(13) 내에 마련되어 있는 제3 반송 로봇이 기판을 화소용 인쇄 챔버(54)로 이동시킨다. And moves the first substrate transport robot 3 which is provided in the third transportation chamber 13 to the pixel printing chamber 54. 그러면 이 화소용 인쇄 챔버(54)에서는 잉크 젯 프린터를 사용하여 기판 상에 알지비 화소 패턴을 인쇄한다. This will be the pixel printing chamber 54 prints the non-pixel pattern known to the substrate using an ink jet printer. 그 후 상기 제3 반송 로봇이 기판을 제2 히팅 챔버(55)로 이동시킨다. Then move the third substrate carrying robot to the second heating chamber (55). 이 제2 히팅 챔버(55)에서는 기판에 열을 가하여 인쇄된 화소용 인쇄 패턴을 건조시킨다. In the second heating chamber 55 to dry the pixel print pattern printed by applying heat to the substrate.

그리고 나서 상기 제3 반송 로봇이 기판을 제3 버퍼 챔버(23)로 이동시킨다. And then moves the third substrate carrying robot in the third buffer chamber (23). 이 제3 버퍼 챔버(23)에서는 냉각 수단을 가동시켜 기판을 냉각시킨다. In the third buffer chamber 23 to activate the cooling means to cool the substrate. 그 후 기판을 반전시킨 후, 상기 제4 반송 챔버(15) 내에 마련되어 있는 제4 반송 로봇이 기판을 음극용 증착 챔버(57)로 이동시킨다. After that inverts the substrate, the fourth transport robot which is provided in said fourth transport chamber 15 to move the substrate to a deposition chamber, a cathode (57) for. 이 음극용 증착 챔버(57)에서는 기판 상 에 금소 음극막을 증착시킨다. In the negative electrode deposition chamber 57, for thereby depositing on the substrate the negative film geumso.

그리고 나서 상기 제4 반송 로봇(15)이 기판을 제4 버퍼 챔버(25)로 이동시킨다. And then moves the fourth transporting robot 15 is a substrate in a fourth buffer chamber (25). 이 제4 버퍼 챔버(25)에서는 기판을 반전시킨 후, 상기 제5 반송 챔버(16) 내에 마련되어 있는 제5 반송 로봇(16)이 기판을 유기물 인쇄 챔버(58)로 이동시킨다. This causes the four buffer chambers 25, the movement to the fifth transfer chamber fifth transport robot 16 is organics printing chamber 58 which is provided within the substrate (16) inverts the substrate. 이 유기물 인쇄 챔버(58)에서 유기물 봉지막을 스크린 프린터를 사용하여 기판 상에 형성시킨다. In the organic printing chamber 58 using the organic sealing film screen printer to form on the substrate. 그 후 상기 제5 반송 로봇이 기판을 경화 챔버(60) 내로 이동시킨다. Thereafter moved into the fifth transportation robot, the curing chamber 60 is a substrate. 이 경화 챔버(60)에서는 자외선을 조사하여 유기물 봉지막을 경화시킨다. In the curing chamber 60 is irradiated with ultraviolet rays to cure organic film bag.

그 후 상기 제5 반송 로봇이 기판을 무기물 증착 챔버(59) 내로 이동시킨다. Then move the said fifth transfer robot inorganic substrate into a deposition chamber (59). 이 무기물 증착 챔버(59)에서는 상기 유기물 봉지막 상에 무기물 봉지막을 스퍼터를 사용하여 증착한다. This mineral deposition chamber (59) is deposited using an inorganic sealing film sputtered on the organic film bag. 그리고 나서 상기 제5 반송 로봇이 기판을 다시 유기물 인쇄 챔버(58)로 이동시켜서 유기물 봉지막을 한층 더 형성시킨다. Then, by moving the substrate back into the fifth transportation robot organic printing chamber 58, thereby further forming organic film bag. 그리고 기판을 경화 챔버(60)로 이동시키고, 자외선을 조사하여 유기물 봉지막을 경화시킨다. And to move the substrate to a curing chamber (60), and organic bag cured film was irradiated with ultraviolet rays.

그리고 나서 상기 제5 반송 로봇이 상기 언로딩 챔버(40) 내에 적재되어 있는 봉지용 유리기판을 경화 챔버(60) 상의 기판 상측으로 이동시킨다. And then to move the glass substrate for sealing, which is loaded into the fifth transportation robot is the unloading chamber 40 to the upper substrate on the curing chamber (60). 그리고 나서 이 봉지용 유리기판을 사용하여 유리 봉지막을 형성시킨다. Then using a glass substrate for sealing to form a glass film bag.

이렇게 하여 봉지막 형성이 완료되면 제5 반송 로봇이 기판을 언로딩 챔버(40) 내의 기판 적재용 카세트에 적재시켜 공정이 완료된다. In this way when the seal film formation is complete by the fifth transport robot to load the substrate into the cassette for the substrates loaded in the unloading chamber 40, the process is completed.

< 실시예 2 > <Example 2>

본 실시예에 따른 OLED 제조장치(100)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 인 라인 장비로서 다수개의 반송 챔버와 버퍼 챔버가 교대로 배치되어 라인을 형성하고, 양단에 배치되는 반송 챔버에는 각각 로딩 챔버 또는 언로딩 챔버가 배치되며, 각 반송 챔버에는 OLED 기판 제조를 위한 각 공정을 수행할 수 있는 공정 챔버들이 배치되는 구조를 가진다. OLED manufacturing apparatus 100 according to this embodiment has, in each transfer chamber are, are a plurality of transfer chambers, the buffer chambers alternately arranged as in-line devices disposed on, and both ends form a line as shown in Figure 3 is disposed a loading chamber or unloading chamber, the process chamber has a structure that is capable of performing the respective steps for the manufacture OLED substrates are disposed the transport chamber.

이때 본 실시예에 따른 OLED 제조장치(100)의 각 반송 챔버 및 버퍼 챔버, 공정 챔버들은 실시예 1에 따른 OLED 제조장치의 그것과 동일한 구조 및 기능을 가지므로 여기에서 반복하여 설명하지 않는다. At this time, the transport chamber and the buffer chamber of the OLED manufacturing apparatus 100 according to this embodiment, since the process chambers may have the same structure and function as that of the OLED manufactured according to the first embodiment will not be described repeatedly here.

다만, 본 실시예에 따른 OLED 제조장치(100)에서는 실시예 1과 달리, 무기물 증착 챔버(158)가 제4 반송 챔버(115)의 측면에 배치된다. However, in the OLED manufacturing apparatus 100 according to this embodiment, unlike the first embodiment, the mineral deposition chamber 158 is disposed on the side surface of the fourth transport chamber 115. 그리고 제5 반송 챔버(115)의 측면에는 유기물 인쇄 챔버(159), 경화 챔버(160) 및 언로딩 챔버(140)가 배치된다. And a fifth aspect of the transfer chamber 115, the organic material printing chamber 159, curing chamber 160 and unloading chamber 140 are arranged.

따라서 본 실시예에 따른 OLED 제조장치(100)를 사용하여 대면적 유기발광 소자를 제조하는 경우 봉지막을 형성시키기 위해서는, 유기물 인쇄 챔버(159)에 의해 유기물 봉지막을 인쇄하고, 경화 챔버(160)에 의해 경화시킨 후에, 기판을, 제4 버퍼 챔버(125)를 경유하여 상기 무기물 증착 챔버(158)로 반입시키서 무기물 봉지막을 형성시킨다. Therefore, the OLED manufacturing apparatus when manufacturing a large-area organic light-emitting device using a 100 in order to form a film bag, with the organic matter printed chamber 159 and print organic bag film, curing chamber 160 according to this embodiment after curing by, the substrate, the fourth buffer via the chamber 125 is formed to carry the inorganic film bag standing in the inorganic deposition chamber 158. 그리고 나서 다시 제4 버퍼 챔버(125)를 경유하여 기판을 상기 유기물 인쇄 챔버(159)로 반입시켜 유기물 봉지막을 형성시키는 과정을 거친다. And then to bring back to the fourth buffer chamber 125 organisms printing chamber 159 above a substrate via an organic material subjected to a process of forming a film bag. 따라서 전술한 봉지막 형성 과정만 제외하면 실시예 1에 따른 OLED 제조장치(1)의 사용방법과 동일하다. Therefore, except for the aforementioned seal film forming process it is the same as the use of OLED manufacturing apparatus 1 according to an embodiment 1.

본 발명에 따른 OLED 제조장치에 의하면 대면적 기판에 대해서도 각 층의 형성 공정이 신속하면서도 대면적 기판의 모든 영역에 대하여 균일하게 이루어지므로, 본 발명에 따른 OLED 제조장치는 차세대 디스플레이소자로서의 대면적 유기 발광소자를 제조하는데 적합한 장점이 있다. According to the OLED manufacturing apparatus according to the invention so uniformly accomplished for all the area of ​​the large area substrate, while the formation process of each layer even for large area substrates quickly, OLED manufacturing apparatus according to the present invention is the large area organic as a next generation display device there are advantages suitable for producing a light-emitting device.

또한 본 발명에 따른 OLED 제조장치는 봉지막 형성 과정을 유기물 봉지막, 무기물 봉지막, 유리 봉지막의 다층으로 형성되도록 함으로써, 대면적 유기발광소자에 있어서도 유리 봉지막이 금속 음극막과 접촉되지 않는 장점이 있다. Also does OLED manufacturing apparatus is not in contact with the bag organics seal film formation film, and the inorganic sealing film, by allowing formation of a glass sealing film multilayer, large-area organic light-emitting element a glass sealing film is a metal cathode layer also in the advantages according to the invention have. 따라서 본 발명에 따른 OLED 제조장치는 대면적 유기발광소자의 제조에 적합하다. Therefore, OLED manufacturing apparatus according to the invention is suitable for large-scale production of organic light-emitting device.

Claims (30)

  1. 로딩 챔버, 제1, 제2, 제3, 제4, 제5 반송 챔버, 언로딩 챔버가 일렬로 배치되되, 상기 모든 챔버 사이에는 각 챔버에 형성되는 개구부를 열고 닫을 수 있는 게이트 밸브가 마련되는 OLED 제조장치에 있어서, Loading chamber, the first, second, third, fourth, fifth transfer chamber, doedoe arranged in the unloading chamber in line, in which a gate valve that can open and close an opening formed in each of the chambers arranged between the all chambers in the OLED device manufacturing,
    상기 로딩 챔버 및 언로딩 챔버에는 기판을 적재할 수 있는 카세트가 마련되고, The loading chamber and the unloading chamber is provided with a cassette that can be loaded into the substrate,
    상기 각 반송 챔버 사이에는 제1, 제2, 제3, 제4 버퍼 챔버가 순서대로 한 챔버 씩 개재되어 배치되며, There are disposed, one chamber is disposed in the first, second, third, and fourth buffer chamber, the order between the respective bounce chambers,
    상기 제2 반송 챔버의 측면에는 기판 상에 양극(anode) 패턴을 인쇄하는 양극용 인쇄 챔버 및 상기 기판을 가열하여 건조하는 제1 히팅(heating) 챔버가 배치되며, The second side of the transfer chamber is disposed the first heating (heating) chamber for thermal drying to the printing chamber and the substrate for an anode for printing an anode (anode) pattern on the substrate,
    상기 제3 반송 챔버의 일 측면에는 기판 상에 화소 패턴을 인쇄하는 화소용 인쇄 챔버 및 상기 기판을 가열하여 건조하는 제2 히팅(heating) 챔버가 배치되며, And the second heating (heating) chamber is disposed to drying by heating the pixel printing chamber and the substrate to print a pixel pattern onto a substrate one side of the third conveying chamber,
    상기 제5 반송 챔버의 측면에는 기판에 유기 봉지막을 인쇄하는 유기물 인쇄 챔버, 기판에 무기 봉지막을 증착하는 무기물 증착 챔버 및 상기 기판 상에 형성되는 상기 유기 봉지막을 경화시키는 경화 챔버가 배치되며, And a curing chamber for curing the organic film bag arranged to be formed on the inorganic material deposition chamber and the substrate for depositing organic material printing chamber, an inorganic film on the sealing substrate printed side sealing film on the organic substrate of the fifth transfer chamber,
    상기 제3 반송 챔버와 제3 버퍼 챔버 사이에는, 제5 버퍼 챔버 및, 기판을 반송할 수 있는 반송 수단이 내부에 구비되는 제6 반송 챔버가 순서대로 마련되며, Is provided in the third transportation chamber and the third buffer chamber between the fifth buffer sixth conveying chamber, which is provided with a chamber and a conveying means therein capable of transferring a substrate, the order,
    상기 제6 반송 챔버의 일 측면에는 상기 기판상에 저분자 유기물을 증착하는 화소 패터닝 보조 챔버가 배치되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. In one aspect of the sixth transfer chamber OLED manufacturing apparatus, it characterized in that the pixel pattern secondary chamber for depositing a low molecular weight organic material on the substrate is disposed.
  2. 삭제 delete
  3. 제1항에 있어서, 상기 양극용 인쇄 챔버에서는, The method of claim 1, wherein, in the printing chamber for said anode,
    잉크 젯 프린터(ink-jet printer)를 사용하여 상기 양극 패턴을 인쇄하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. Using an ink jet printer (ink-jet printer) OLED manufacturing apparatus, characterized in that to print the anode pattern.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 히팅 챔버 또는 제2 히팅 챔버에서는, The method of claim 1, wherein in the first heating chamber or the second heating chamber,
    상압 또는 진공 조건하에서 기판을 가열하여 건조하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED manufacturing apparatus characterized in that the drying by heating the substrate under normal pressure or a vacuum.
  5. 제1항에 있어서, 상기 화소용 인쇄 챔버에서는, The method of claim 1, wherein in the pixel printed chamber,
    잉크 젯 프린터를 사용하여 알지비(RGB) 화소 패턴을 인쇄하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. Know by using the ink jet printer ratio (RGB) OLED manufacturing apparatus, characterized by printing a pixel pattern.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제2 버퍼 챔버 또는 제3 버퍼 챔버에는, The method of claim 1, wherein in the said second buffer chamber or the third buffer chamber,
    상기 기판을 냉각시키는 냉각수단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED manufacturing apparatus characterized in that the cooling means for cooling the substrate is further provided.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제3 버퍼 챔버에는, The method of claim 1, wherein, in the third buffer chamber,
    상기 기판을 반전시키는 기판 반전 수단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED manufacturing apparatus characterized in that a substrate inversion means for inverting the substrate is further provided.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제4 버퍼 챔버에는, The method of claim 7, in the fourth buffer chamber,
    상기 기판을 반전시키는 기판 반전 수단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED manufacturing apparatus characterized in that a substrate inversion means for inverting the substrate is further provided.
  9. 제1항에 있어서, 상기 유기물 인쇄 챔버에서는, The method of claim 1, wherein in said organic printing chamber,
    스크린 프린터(screen printer)를 사용하여 유기물 봉지막을 인쇄하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED devices manufactured using a screen printer (screen printer), characterized in that the organic sealing film printing.
  10. 삭제 delete
  11. 삭제 delete
  12. 제1항에 있어서, 상기 언로딩 챔버에는, The method of claim 1, wherein, in said unloading chamber,
    봉지용 유리기판을 적재하는 봉지용 유리기판 카세트가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED manufacturing apparatus characterized in that the glass substrate, the cassette is further provided for bags intended to carry the glass substrate for sealing.
  13. 제12항에 있어서, 상기 언로딩 챔버는, 13. The method of claim 12, the unloading chamber,
    봉지용 유리기판을 상기 제5 반송 챔버 내로 반입하는 경로로 사용되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED manufacturing apparatus characterized in that the use of a glass substrate for sealing to the path to import into the fifth transportation chamber.
  14. 삭제 delete
  15. 제1항에 있어서, 상기 화소 패터닝 보조 챔버에서는, The method of claim 1, wherein in the pixel patterning the auxiliary chamber,
    쉐도우 마스크(shadow mask)를 사용하여 저분자 유기물 패턴을 기판 상에 증착하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED devices prepared by using the shadow mask (shadow mask), characterized in that to deposit a low-molecular organic material pattern on the substrate.
  16. 로딩 챔버, 제1, 제2, 제3, 제4, 제5 반송 챔버, 언로딩 챔버가 일렬로 배치되되, 상기 모든 챔버 사이에는 각 챔버에 형성되는 개구부를 열고 닫을 수 있는 게이트 밸브가 마련되는 OLED 제조장치에 있어서, Loading chamber, the first, second, third, fourth, fifth transfer chamber, doedoe arranged in the unloading chamber in line, in which a gate valve that can open and close an opening formed in each of the chambers arranged between the all chambers in the OLED device manufacturing,
    상기 로딩 챔버 및 언로딩 챔버에는 기판을 적재할 수 있는 카세트가 마련되고, The loading chamber and the unloading chamber is provided with a cassette that can be loaded into the substrate,
    상기 각 반송 챔버 사이에는 제1, 제2, 제3, 제4 버퍼 챔버가 순서대로 한 챔버 씩 개재되어 배치되며, There are disposed, one chamber is disposed in the first, second, third, and fourth buffer chamber, the order between the respective bounce chambers,
    상기 제2 반송 챔버의 측면에는 기판 상에 양극(anode) 패턴을 인쇄하는 양극용 인쇄 챔버 및 상기 기판을 가열하여 건조하는 제1 히팅(heating) 챔버가 배치되며, The second side of the transfer chamber is disposed the first heating (heating) chamber for thermal drying to the printing chamber and the substrate for an anode for printing an anode (anode) pattern on the substrate,
    상기 제3 반송 챔버의 일 측면에는 기판 상에 화소 패턴을 인쇄하는 화소용 인쇄 챔버 및 상기 기판을 가열하여 건조하는 제2 히팅(heating) 챔버가 배치되며, And the second heating (heating) chamber is disposed to drying by heating the pixel printing chamber and the substrate to print a pixel pattern onto a substrate one side of the third conveying chamber,
    상기 제4 반송 챔버의 일 측면에는 기판에 음극(cathode) 층을 증착하는 음극용 증착 챔버 및 기판에 무기 봉지막을 증착하는 무기물 증착 챔버가 배치되며, Wherein, the one side of the conveying chamber 4, and an inorganic vapor deposition chamber to deposit an inorganic sealing film arranged on the negative electrode and the substrate deposition chamber for depositing a cathode layer (cathode) to the substrate,
    상기 제5 반송 챔버의 측면에는 기판에 유기 봉지막을 인쇄하는 유기물 인쇄 챔버 및 상기 기판 상에 형성되는 상기 유기 봉지막을 경화시키는 경화 챔버가 배치되며, And a curing chamber for curing the organic film bag arranged to be formed on the organic material printing chamber and the substrate to print the organic sealing film on the substrate side surface of the fifth transport chamber,
    상기 제3 반송 챔버와 제3 버퍼 챔버 사이에는, 제5 버퍼 챔버 및, 기판을 반송할 수 있는 반송 수단이 내부에 구비되는 제6 반송 챔버가 순서대로 개재되어 마련되며, It is provided is disposed in the third transportation chamber and the third buffer chamber between the fifth buffer sixth conveying chamber, which is provided with a chamber and a conveying means therein capable of transferring a substrate, the order,
    상기 제6 반송 챔버의 일 측면에는 상기 기판상에 저분자 유기물을 증착하는 화소 패터닝 보조 챔버가 배치되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. In one aspect of the sixth transfer chamber OLED manufacturing apparatus, it characterized in that the pixel pattern secondary chamber for depositing a low molecular weight organic material on the substrate is disposed.
  17. 삭제 delete
  18. 제16항에 있어서, 상기 양극용 인쇄 챔버에서는, 17. The method of claim 16 wherein the printing chamber for said anode,
    잉크 젯 프린터(ink-jet printer)를 사용하여 상기 양극 패턴을 인쇄하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. Using an ink jet printer (ink-jet printer) OLED manufacturing apparatus, characterized in that to print the anode pattern.
  19. 제16항에 있어서, 상기 제1 히팅 챔버 또는 제2 히팅 챔버에서는, 17. The method of claim 16, wherein in the first heating chamber or the second heating chamber,
    상압 또는 진공 조건하에서 기판을 가열하여 건조하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED manufacturing apparatus characterized in that the drying by heating the substrate under normal pressure or a vacuum.
  20. 제16항에 있어서, 상기 화소용 인쇄 챔버에서는, 17. The method of claim 16, wherein in the pixel printed chamber,
    잉크 젯 프린터를 사용하여 알지비(RGB) 화소 패턴을 인쇄하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. Know by using the ink jet printer ratio (RGB) OLED manufacturing apparatus, characterized by printing a pixel pattern.
  21. 제16항에 있어서, 상기 제2 버퍼 챔버 또는 제3 버퍼 챔버에는, 17. The method of claim 16, wherein in the said second buffer chamber or the third buffer chamber,
    상기 기판을 냉각시키는 냉각수단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED manufacturing apparatus characterized in that the cooling means for cooling the substrate is further provided.
  22. 제16항에 있어서, 상기 제3 버퍼 챔버에는, 17. The method of claim 16, in the third buffer chamber,
    상기 기판을 반전시키는 기판 반전 수단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED manufacturing apparatus characterized in that a substrate inversion means for inverting the substrate is further provided.
  23. 제22항에 있어서, 상기 제4 버퍼 챔버에는, 23. The method of claim 22, in the fourth buffer chamber,
    상기 기판을 반전시키는 기판 반전 수단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED manufacturing apparatus characterized in that a substrate inversion means for inverting the substrate is further provided.
  24. 제16항에 있어서, 상기 유기물 인쇄 챔버에서는, 17. The method of claim 16 wherein the said organic printing chamber,
    스크린 프린터(screen printer)를 사용하여 유기물 봉지막을 인쇄하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED devices manufactured using a screen printer (screen printer), characterized in that the organic sealing film printing.
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  27. 제16항에 있어서, 상기 언로딩 챔버에는, 17. The method of claim 16, in the unloading chamber,
    봉지용 유리기판을 적재하는 봉지용 유리기판 카세트가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED manufacturing apparatus characterized in that the glass substrate, the cassette is further provided for bags intended to carry the glass substrate for sealing.
  28. 제27항에 있어서, 상기 언로딩 챔버는, 28. The method of claim 27, the unloading chamber,
    봉지용 유리기판을 상기 제5 반송 챔버 내로 반입하는 경로로 사용되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED manufacturing apparatus characterized in that the use of a glass substrate for sealing to the path to import into the fifth transportation chamber.
  29. 삭제 delete
  30. 제16항에 있어서, 상기 화소 패터닝 보조 챔버에서는, 17. The method of claim 16, wherein in the pixel patterning the auxiliary chamber,
    쉐도우 마스크(shadow mask)를 사용하여 저분자 유기물 패턴을 기판 상에 증착하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조장치. OLED devices prepared by using the shadow mask (shadow mask), characterized in that to deposit a low-molecular organic material pattern on the substrate.
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