KR100708330B1 - Apparatus for preventing fume from going outer - Google Patents

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최태균
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Abstract

본 발명은 산, 유기 및 알칼리 약액을 사용하는 장비에서 약액을 사용함에 따라 발생되는 퓸이 처리조 내부에서 외부로 전이되는 것을 방지하는 약액 사용 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid using apparatus which prevents the fume generated by using the chemical liquid in equipment using acid, organic and alkaline chemical liquids from being transferred inside the treatment tank to the outside.

이를 위해, 본 발명은, 약액이 사용되는 처리조와, 적어도 하나의 상기 처리조의 개방부를 개폐하는 커버와, 상기 커버와 접하는 상기 처리조의 측벽 연결부를 상기 커버와 밀봉하는 오-링을 포함하고; 상기 오-링은 상기 측벽 연결부에 지지되는 약액 사용 장치를 제공한다.To this end, the present invention includes a treatment tank in which a chemical liquid is used, a cover for opening and closing at least one opening of the treatment tank, and an o-ring sealing the side wall connection portion of the treatment tank in contact with the cover; The o-ring provides a chemical liquid application device supported by the sidewall connection.

퓸, 약액, 처리조, 오-링 Fume, Chemical, Treatment Tank, O-Ring

Description

약액 퓸 외부 전이 방지를 위한 약액 사용 장치{Apparatus for preventing fume from going outer}Apparatus for preventing fume from going outer}

도 1은 종래의 약액 사용 장비의 퓸 방지 구조를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a fume prevention structure of a conventional chemical liquid use equipment.

도 2a는 본 발명에 따른 약액 사용 장비의 퓸 방지 구조를 나타낸 도면이고, 도 2b는 본 발명에 따른 약액 사용 장비에서 사용되는 오-링의 형태를 나타낸 도면이다.Figure 2a is a view showing a fume-proof structure of the chemical liquid using equipment according to the present invention, Figure 2b is a view showing the shape of the O-ring used in the chemical liquid using equipment according to the present invention.

<도면의 주요 부호에 대한 설명><Description of Major Symbols in Drawing>

100: 약액 사용 장비100: chemical solution equipment

110, 210: 측벽 연결부110, 210: side wall connection

120, 220: 인커버(IN COVER)120, 220: IN COVER

130, 230: 아웃커버(OUT COVER)130, 230: OUT COVER

140, 240: 오-링(O-ring)140, 240: O-ring

150, 250: 처리조(bath)150, 250: bath

본 발명은 약액 사용 장치에 관한 것으로, 산, 유기 및 알칼리 약액을 사용 하는 장비에서 약액을 사용함에 따라 발생되는 퓸이 처리조 내부에서 외부로 전이되는 것을 방지하는 약액 사용 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid using apparatus, and relates to a chemical liquid using apparatus for preventing the fume generated by using the chemical liquid in equipment using acid, organic and alkaline chemical liquids from being transferred inside the treatment tank to the outside.

일반적으로, 반도체 및 LCD(Liquid Crystal Display) 등의 FPD(Flat Panel Display)의 제조 공정에서, 산, 유기 및 알칼리 약액을 사용하는 에칭 및 식각 방법이 널리 채용되고 있다.In general, in the manufacturing process of a flat panel display (FPD) such as a semiconductor and a liquid crystal display (LCD), etching and etching methods using an acid, an organic and an alkaline chemical liquid are widely adopted.

도 1은 종래의 약액 사용 장비(100)의 퓸 방지 구조를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a fume-proof structure of a conventional chemical liquid use equipment 100.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 약액 사용 장비(100)는 약액이 사용되는 구간인 처리조(bath)(150)를 구비하는데, 상기 처리조(150)는 바닥 및 측벽(미도시)들을 구비하며 이들에 의해 둘러싸여진 공간을 제공한다.As shown in FIG. 1, the conventional chemical liquid using equipment 100 includes a bath 150, which is a section in which a chemical liquid is used, and the treatment tank 150 includes a bottom and sidewalls (not shown). To provide a space enclosed by them.

또한, 상기 처리조(150)는 상기 처리조의 바닥으로부터 연장된 배출 포트(미도시)를 갖는다.In addition, the treatment tank 150 has a discharge port (not shown) extending from the bottom of the treatment tank.

또한, 상기 처리조(150)의 상부는 개방된 형태를 가지며, 상기 처리조(150)는 인커버(120)에 의해 개폐될 수 있어 작업자가 처리조 내에 출입하여 상기 처리조의 청소, 정비 등을 행할 수 있다.In addition, the upper portion of the treatment tank 150 has an open shape, the treatment tank 150 can be opened and closed by the incover 120, so that the worker enters into the treatment tank to clean, maintain, etc. the treatment tank. I can do it.

또한, 상기 인커버(120)의 상부에는 상기 인커버(120)를 둘러싸고, 외부 공기의 유입을 차단하는 아웃 커버(130)가 설치된다.In addition, an outer cover 130 surrounding the incover 120 and blocking the inflow of external air is installed at an upper portion of the incover 120.

또한, 상기 인커버(120) 및 아웃커버(130)와, 상기 처리조(150)의 측벽이 연결되는 부분에, 측벽 연결부(110)가 설치된다.In addition, the sidewall connecting portion 110 is installed at a portion where the incover 120 and the outcover 130 and the sidewall of the treatment tank 150 are connected to each other.

따라서, 약액이 사용되는 처리조(150)는, 바닥 및 측벽(미도시)과, 상부에 설치된 인커버(120)와, 이를 연결하는 측벽 연결부(110)에 의해 둘러싸여지는 밀폐 된 공간을 갖는다.Therefore, the treatment tank 150 in which the chemical liquid is used has a bottom and sidewalls (not shown), an incover 120 installed on the upper side, and a closed space surrounded by the sidewall connecting portion 110 connecting them.

또한, 인커버(120)의 상부에 아웃 커버(130)를 설치하여 한번 더 감싸는 구조로 되어 있다.In addition, the outer cover 130 is installed on the upper part of the incover 120 to have a structure of wrapping again.

또한, 인커버(120)의 개폐에 따라 상기 인커버(120)와 측벽 연결부(110) 간에는 미세한 틈새 공간을 가지게 되므로 상기 측벽 연결부(110)와 인커버(120)간의 밀봉을 위한 오-링(140)이 설치된다.In addition, as the in-cover 120 opens and closes, the in-cover 120 and the side wall connecting portion 110 have a fine gap space, so that the O-ring for sealing between the side wall connecting portion 110 and the in-cover 120 ( 140 is installed.

또한, 인커버(120) 뿐만 아니라 이를 감싸는 아웃 커버(130)도 개폐 가능하도록 구성되어 있어, 도어인 인커버(120) 및 아웃 커버(130)와, 측벽 연결부(110) 간의 밀봉을 위한 오-링(140)이 설치된다.In addition, the incover 120 as well as the outer cover 130 surrounding it is configured to open and close, so that the door between the in-cover 120 and the out cover 130 and the side wall connecting portion 110 for sealing- Ring 140 is installed.

그러나, 밀봉을 위해 사용되는 오-링(140) 자체의 신축성이 부족하여, 커버류와 오-링이 밀착되어지는 정도가 약한 부분에서는 약액 퓸(fume)의 전이를 완전히 차단하지 못하여, 퓸의 일부가 외부로 전이되는 문제점이 있었다.However, due to the lack of elasticity of the O-ring 140 itself used for sealing, the portion of the fume can not be completely blocked in the part where the cover and the O-ring is in close contact with each other, and thus does not completely block the transition of the chemical fume. There was a problem that is transferred to the outside.

또한, 상기 커버의 SUS 판 조립 틈새 및 볼트 구멍 사이로 퓸이 누출되거나, 중앙 유리 설치 틈새로도 퓸이 유출되는 문제점이 있었다.In addition, there is a problem in that fume leaks between the SUS plate assembly gap and the bolt hole of the cover, or the fume leaks even in the center glass installation gap.

또한, 상기 커버에 오-링(140)을 삽입하여 실링(sealing)을 하는데, 상기 커버의 변형이 많아 오-링과의 접촉면이 균일하지 못하여 퓸이 외부로 유출되는 문제점이 있었다.In addition, the sealing is performed by inserting the O-ring 140 into the cover, and there is a problem in that the fume is leaked to the outside because the contact surface with the O-ring is not uniform due to the deformation of the cover.

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 커버의 재질로 강화유리를 사용하고 밀봉을 위한 오-링을 측벽 연결부에 지지하여 상 기 오-링과 커버를 완전히 밀착시킴으로써, 산, 유기 및 알칼리 약액 사용 장비에서 약액을 사용함에 따라 발생되는 퓸이 처리조 내부에서 외부로 전이되는 것을 완전히 차단할 수 있는 약액 사용 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in order to solve the problems described above, by using a tempered glass as the material of the cover and supporting the O-ring for sealing to the side wall connection portion, the O-ring and the cover is completely in contact with each other, It is an object of the present invention to provide a chemical liquid use device which can completely prevent the transfer of fumes generated by using the chemical liquid in the organic and alkaline chemical liquid use equipment from the inside of the treatment tank to the outside.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일측면에 따르면, 약액이 사용되는 처리조와, 적어도 하나의 상기 처리조의 개방부를 개폐하는 커버와, 상기 커버와 접하는 상기 처리조의 측벽 연결부를 상기 커버와 밀봉하는 오-링을 포함하고; 상기 오-링의 일측에 형성된 고정홈과 상기 측벽 연결부의 일측에 형성된 결합돌기의 상호 결합에 의해 상기 오-링이 상기 측벽 연결부에 지지되는 약액 사용 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, according to an aspect of the present invention, a treatment tank in which chemical liquid is used, a cover for opening and closing at least one opening of the treatment tank, and sealing the side wall connecting portion of the treatment tank in contact with the cover and the cover An o-ring; It provides a chemical solution using the O-ring is supported on the side wall connecting portion by the mutual coupling of the fixing groove formed on one side of the O-ring and the coupling protrusion formed on one side of the side wall connecting portion.

또한, 상기 커버 전체 또는 상기 오-링과 접촉되는 커버의 접촉부의 재질이 유리인 것을 특징으로 한다.In addition, the material of the contact portion of the cover which is in contact with the entire cover or the o-ring is characterized in that the glass.

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또한, 상기 커버를 복수로 구성할 경우, 상기 커버들 간의 사이 공간에 누출되는 퓸을 제거하는 배기부를 상기 측벽 연결부의 일측에 형성하는 것을 특징으로 한다.In addition, when the cover is configured in plurality, it is characterized in that the exhaust portion for removing the fume leaking in the space between the covers formed on one side of the side wall connecting portion.

또한, 상기 오-링은 일측에 상기 커버의 하중 부과시 탄성을 부여받을 수 있는 구조를 갖는 접촉 오-링부와, 타측에 상기 접촉 오링부를 지지하는 지지 오-링부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the o-ring is characterized in that it comprises a contact o-ring portion having a structure that can be given elasticity when the load of the cover on one side, and a support o-ring portion for supporting the contact o-ring on the other side.

또한, 상기 탄성을 부여받을 수 있는 구조는 그 끝이 뾰족하거나 폭이 좁고 긴 단면 중 어느 하나를 갖는 돌출부를 형성하는 것을 특징으로 한다.In addition, the structure that can be given elasticity is characterized in that for forming a protrusion having any one of a pointed end or a narrow cross-section long.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성요소는 동일한 참조번호를 부여하고, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the following description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals, regardless of the reference numerals. Duplicate explanations will be omitted.

도 2a는 본 발명에 따른 약액 사용 장비의 퓸 방지 구조를 나타낸 도면이고, 도 2b는 상기 구조에서 사용되는 오-링(240)의 형태를 나타낸 도면이다.Figure 2a is a view showing a fume-proof structure of the chemical liquid use equipment according to the present invention, Figure 2b is a view showing the shape of the O-ring 240 used in the structure.

도 2a에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 약액 사용 장비는, 통상적으로 약액이 사용되는 구간인 처리조(250)를 구비하는데, 상기 처리조(250)는 바닥 및 측벽(미도시)들을 구비하며 이들에 의해 둘러 싸여진 공간을 갖는다.As shown in Figure 2a, the chemical liquid using equipment according to the present invention, typically has a treatment tank 250 which is a section in which the chemical liquid is used, the treatment tank 250 has a bottom and side walls (not shown) It has a space surrounded by them.

또한, 상기 처리조(250)의 상부는 개방된 형태를 가지며, 상기 처리조(250)는 인커버(220)에 의해 개폐될 수 있어 상기 처리조 내에서 작업 등을 행할 수 있다.In addition, the upper portion of the treatment tank 250 has an open form, the treatment tank 250 can be opened and closed by the cover 220 can be performed in the treatment tank and the like.

또한, 상기 인커버(220)의 상부에는 상기 인커버(220)를 둘러싸고, 외부 공기의 유입을 차단하는 아웃 커버(230)가 설치된다.In addition, an outer cover 230 surrounding the incover 220 and blocking the inflow of external air is installed on the upper part of the incover 220.

또한, 상기 인커버(220) 및 아웃 커버(230)와, 상기 처리조(250)의 측벽이 연결되는 부분에, 측벽 연결부(210)가 설치된다.In addition, a side wall connection portion 210 is installed at a portion where the incover 220 and the out cover 230 and the side wall of the treatment tank 250 are connected to each other.

따라서, 약액이 사용되는 처리조(250)는, 바닥 및 측벽(미도시)과, 상부에 설치된 인커버(220)와, 이를 연결하는 측벽 연결부(210)에 의해 둘러싸여지는 밀폐된 공간을 갖는다.Therefore, the treatment tank 250 in which the chemical liquid is used has a bottom and side walls (not shown), an incover 220 provided at the top, and a sealed space surrounded by the side wall connecting portion 210 connecting the same.

또한, 인커버(220)의 상부에 아웃 커버(230)를 설치하여 한번 더 감싸는 구조로 되어 있다.In addition, the outer cover 230 is installed on the upper part of the incover 220 to have a structure of wrapping again.

또한, 인커버(220)의 개폐에 따라, 상기 인커버(220)와 측벽 연결부(210) 간에는 미세한 틈새 공간을 가지게 되므로, 측벽 연결부(210)와 인커버(220)간의 밀봉을 위한 오-링(240)이 설치된다.In addition, according to the opening and closing of the incover 220, since the incover 220 and the side wall connecting portion 210 have a fine gap space, an o-ring for sealing between the side wall connecting portion 210 and the incover 220 is provided. 240 is installed.

또한, 인커버(220) 뿐만 아니라 이를 감싸는 아웃 커버(230)도 개폐 가능하도록 구성되어 있어, 아웃 커버(230)와 측벽 연결부(210) 간의 밀봉을 위한 오-링(240)이 설치된다.In addition, the in-cover 220 as well as the outer cover 230 surrounding it is configured to be openable, the O-ring 240 for sealing between the out cover 230 and the side wall connecting portion 210 is installed.

여기서, 상기 오-링(240)은 기존의 인커버(220) 및 아웃 커버(230)에 설치되는 것이 아니라 측벽 연결부(210) 상에 설치된다. 즉, 상기 측벽 연결부(210) 상에 상기 오-링(240)이 지지되는 제1 오-링 지지부(211) 및 제2 오-링 지지부(212)가 형성된다.Here, the o-ring 240 is not installed on the existing in cover 220 and the out cover 230, but is installed on the side wall connection portion 210. That is, the first o-ring support 211 and the second o-ring support 212 on which the o-ring 240 is supported are formed on the sidewall connection portion 210.

또한, 상기 제1 및 제2 오-링 지지부(211)(212)의 일측에는 결합돌기(215)(216)가 형성되어 상기 결합돌기(215)(216)를 통해 오-링(240)이 제1 및 제2 오-링 지지부(211)(212)에 결합된다. 이때, 상기 결합은 오-링의 고정홈(247)과 제1 및 제2 오-링 지지부의 결합돌기(215)(216)의 암수 결합 방식에 의할 수 있다.In addition, coupling protrusions 215 and 216 are formed at one side of the first and second o-ring supports 211 and 212 so that the O-ring 240 is coupled to the coupling protrusions 215 and 216. Are coupled to the first and second o-ring supports 211, 212. In this case, the coupling may be based on a male and female coupling method of the fixing groove 247 of the O-ring and the coupling protrusions 215 and 216 of the first and second o-ring supports.

따라서, 오-링(240)을 측벽 연결부(210) 상에 결합하여 상기 오-링(240)을 보다 안정적으로 고정시킬 수 있어, 측벽 연결부(210)와 커버(220)(230) 간의 완전한 밀착이 이루어져 외부로의 퓸 누출을 방지할 수 있다.Accordingly, the O-ring 240 may be coupled on the sidewall connection 210 to more stably fix the O-ring 240, so that the close contact between the sidewall connection 210 and the cover 220 and 230 may be achieved. This prevents the leakage of fume to the outside.

또한, 인커버(220)와 아웃 커버(230)의 형성에 따라 양 커버의 사이 공간 (260)에서 소량의 누출 퓸이 발생할 수 있으므로, 상기 누출 퓸을 제거하는 배기부(270)를 측벽 연결부(210)의 일측에 형성한다. 이때, 상기 배기부(270)를 통해 인커버(220)와 아웃 커버(230) 사이의 누출 퓸을 제거하고 내부 감압으로 실링 효과를 향상시킬 수 있다. In addition, since a small amount of leakage fumes may be generated in the space 260 between both covers according to the formation of the incover 220 and the out cover 230, an exhaust part 270 for removing the leakage fume may be connected to a sidewall connection part ( 210 is formed on one side. In this case, the leakage between the incover 220 and the out cover 230 may be removed through the exhaust part 270, and the sealing effect may be improved by internal pressure reduction.

또한, 인커버(220) 및 아웃 커버(230)의 재질을 강화유리로 하여, 커버와 오-링 간에 완전한 밀착이 이루어질 수 있게 한다.In addition, the material of the incover 220 and the out cover 230 is made of tempered glass, so that a close contact between the cover and the o-ring can be achieved.

즉, 인 커버(220) 및 아웃 커버(230)의 재질은 강화유리로 하고, 오-링(240)의 재질은 고무류로 하여, 유리와 고무의 접촉성이 좋은 특성을 이용할 수 있어 커버와 오-링 간의 완전한 밀착이 이루어지게 한다.That is, the material of the in-cover 220 and the out-cover 230 is made of tempered glass, and the material of the O-ring 240 is made of rubber, so that a good contact between glass and rubber can be used. Ensure complete contact between the rings.

또한, 인커버(220) 및 아웃 커버(230) 전체를 유리로 제작하거나, 오-링 접촉부분만 유리로 제작하여 상기 유리와 고무의 접촉성이 좋은 특성을 밀봉(sealing)을 위한 용도로 활용할 수 있게 한다.In addition, the entire in-cover 220 and the out-cover 230 are made of glass, or only the o-ring contact portion is made of glass to utilize the good contact property of the glass and rubber for sealing. To be able.

일반적으로 산 약액 사용시에는 커버의 재질은 PVC(Poly Vinyl chloride)의 플라스틱 커버 등의 내산성 재질을 사용하고, 유기 및 알칼리 약액 사용시에는 염기성에 잘 견딜수 있는 SUS 등의 내염기성 재질을 사용한다. 그러나, 본 발명과 같이 커버의 재질로 유리를 사용할 경우에는 산 약액, 유기 및 알칼리 약액 등 약액 성질에 구분됨 없이 모든 약액의 커버로 사용할 수 있다.In general, when the acid chemical is used, the material of the cover is made of an acid resistant material such as a plastic cover of PVC (Poly Vinyl chloride), and when using organic and alkaline chemicals, a base material such as SUS, which can withstand basicity, is used. However, when the glass is used as the material of the cover as in the present invention, it can be used as the cover of all chemical liquids, regardless of the chemical properties such as acid chemicals, organic and alkaline chemicals.

또한, 유리 재질의 특성상 SUS 가공물의 커버보다 가벼워 도어 개폐시 사용자의 편의를 도모할 수 있고, 사용방법에 따라 여러 종류의 강화유리를 만들어 사용할 수 있으므로 환경에 따른 커버 형태를 쉽고 적절하게 변화시킬 수 있다.In addition, it is lighter than the cover of the SUS workpiece due to the nature of the glass material, so that the user's convenience can be promoted when opening and closing the door, and various types of tempered glass can be made and used according to the usage method, so that the cover shape can be easily and appropriately changed according to the environment. have.

가령, 사용자의 사용목적에 따라 강화유리의 두께나 유리를 여러장 겹쳐서 강화시킬 경우 원하는 만큼 강도를 갖는 커버를 형성할 수 있으며, 파손 모양도 크게 몇 조각이나 자동차의 유리와 같이 작은 여러 파편의 모양으로 파손되도록 조정할 수 있다.For example, if the thickness of the tempered glass or the glass is strengthened by stacking several sheets depending on the user's purpose of use, the cover can be formed with the strength as desired. It can be adjusted to break.

한편, 본 발명에 따른 약액 사용 장비(200)에서는, 오-링(240)의 구조를 탄성을 부여할 수 있는 구조로 변경하여, 외부로의 퓸 전이를 차단할 수 있게 한다.On the other hand, in the chemical liquid use equipment 200 according to the present invention, by changing the structure of the O-ring 240 to a structure that can give elasticity, it is possible to block the fume transition to the outside.

도 2b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 약액 사용 장비(200)에서 사용되는 오-링(240)은, 돌출부를 형성하여 커버와의 접촉시 탄성을 부여하는 접촉 오-링부(246)와, 상기 접촉 오-링부(246)를 지지하고 일측에 고정홈(247)을 형성하는 지지 오-링부(245)를 포함한다.As shown in FIG. 2B, the o-ring 240 used in the chemical liquid using apparatus 200 according to the present invention includes a contact o-ring portion 246 that forms a protrusion to impart elasticity in contact with the cover. The support o-ring part 246 supports the contact o-ring part 246 and forms a fixing groove 247 on one side.

여기서, 상기 제1 및 제2 오-링 지지부(211)(212)의 일측에 결합돌기(215)(216)가 형성되어 상기 결합돌기(215)(216)를 통해 지지 오-링부(245)의 고정홈(247)이 제1 및 제2 오-링 지지부(211)(212)에 결합된다. 이때, 상기 결합은 지지 오-링부(245)의 고정홈(247)와 제1 및 제2 오-링 지지부의 결합돌기(215)(216)의 암수 결합 방식에 의할 수 있다.Here, coupling protrusions 215 and 216 are formed at one side of the first and second o-ring support portions 211 and 212 to support the O-ring portion 245 through the coupling protrusions 215 and 216. Fixing grooves 247 are coupled to the first and second o-ring supports 211 and 212. In this case, the coupling may be based on a male and female coupling method of the fixing groove 247 of the support o-ring part 245 and the coupling protrusions 215 and 216 of the first and second o-ring supports.

여기서, 접촉 오-링부(246)가 인커버 및 아웃커버의 하중에 의해 눌려질 때, 상기 접촉 오-링부(246)의 접하는 부분(돌출부)이 압력을 받아 눌려지면서 틈새 공간을 봉쇄할 수 있는 형태로 구성된다. 따라서, 신축성을 가지기 쉽게, 접촉 오-링부(246)의 돌출부 형태는 초승달, 긴 막대, 및 삼각 형태 등 다양한 형태로 형성될 수 있다. 즉, 돌출부의 끝을 뾰족하게 하거나, 폭이 좁고 긴 단면의 형태로 형 성하여 탄성이 좋게 할 수 있다.Here, when the contact o-ring portion 246 is pressed by the load of the incover and the outcover, the contacting portion (protrusion) of the contact o-ring portion 246 may be pressed under pressure to seal the gap space. In the form of Therefore, the shape of the protrusion of the contact o-ring portion 246 may be formed in various shapes such as a crescent moon, a long rod, and a triangular shape, so as to have elasticity. That is, the end of the protrusion may be pointed or formed in the form of a narrow and long cross section to improve elasticity.

또한, 상기 접촉 오-링부(246)의 돌출부 대신에 중공을 형성하여 커버와의 접촉시 탄성을 부여할 수 있다.In addition, a hollow may be formed in place of the protrusion of the contact o-ring part 246 to impart elasticity in contact with the cover.

또한, 지지 오-링부(245)는 원, 사각 형태 또는 사다리꼴 형태 등 다양한 형태의 받침대로 형성될 수 있다.In addition, the support o-ring part 245 may be formed of various types of pedestals such as a circle, a square shape, or a trapezoidal shape.

또한, 본 발명에 따른 오-링은 약액 사용에 따라 외부로의 퓸 전이가 발생하는 모든 처리조에 적용될 수 있다.In addition, the O-ring according to the present invention can be applied to any treatment tank in which a fume transition to the outside occurs with the use of the chemical liquid.

따라서, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 따른 약액 사용 장치를 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.Accordingly, although the apparatus for using the chemical liquid according to the preferred embodiment of the present invention is illustrated according to the above description and the drawings, this is merely described, for example, and various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Of course.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 약액 사용 장치는, 커버의 재질로 강화유리를 사용하고 밀봉을 위한 오-링을 측벽 연결부에 지지하여 상기 오-링과 커버를 완전히 밀착시킴으로써, 산, 유기 및 알칼리 약액 사용 장비에서 약액을 사용함에 따라 발생되는 퓸이 처리조 내부에서 외부로 전이되는 것을 완전히 차단할 수 있다.As described above, the apparatus using the chemical liquid according to the present invention, by using the tempered glass as a material of the cover and supporting the O-ring for sealing to the side wall connection portion to completely adhere the O-ring and the cover, acid, organic And the fume generated by using the chemical liquid in the alkaline chemical liquid using equipment can be completely blocked from being transferred from the inside of the treatment tank to the outside.

또한, 배기부를 통해 내부 도어와 외부 도어 사이의 누출 퓸을 제거하고 내부 감압으로 실링 효과를 향상시킬 수 있다. In addition, it is possible to remove the leakage fume between the inner door and the outer door through the exhaust and to improve the sealing effect by the internal pressure reduction.

또한, 오-링의 뾰족하게 형성된 부분이 눌리면서 밀봉하는 형태이므로, 신축 성 좋아 오-링의 실링 효과를 향상시킬 수 있게 한다.In addition, since the pointed portion of the O-ring is pressed and sealed to form, it is possible to improve the sealing effect of the O-ring good elasticity.

이를 통해, 약액의 퓸이 외부로 전이되는 것을 완전히 차단하여 클린 룸내의 청정 환경 조성에 도움을 줄 수 있고, 전이된 약액 퓸에 의한 장치 구성품의 부식을 방지할 수 있다.Through this, it is possible to completely block the transition of the chemical liquid fume to the outside to help in the composition of a clean environment in the clean room, it is possible to prevent the corrosion of the device components by the transferred chemical liquid fume.

Claims (6)

약액이 사용되는 처리조와, 적어도 하나의 상기 처리조의 개방부를 개폐하는 커버와, 상기 커버와 접하는 상기 처리조의 측벽 연결부를 상기 커버와 밀봉하는 오-링을 포함하고;A treatment tank in which chemical liquid is used, a cover for opening and closing at least one opening of the treatment tank, and an o-ring sealing the side wall connecting portion of the treatment tank in contact with the cover with the cover; 상기 오-링의 일측에 형성된 고정홈과 상기 측벽 연결부의 일측에 형성된 결합돌기의 상호 결합에 의해 상기 오-링이 상기 측벽 연결부에 지지되는 것을 특징으로 하는 약액 사용 장치.Apparatus using a chemical liquid, characterized in that the o-ring is supported by the side wall connecting portion by the mutual coupling of the fixing groove formed on one side of the o-ring and the coupling protrusion formed on one side of the side wall connecting portion. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 커버 전체 또는 상기 오-링과 접촉되는 커버의 접촉부의 재질이 유리인 것을 특징으로 하는 약액 사용 장치.Apparatus using a chemical liquid, characterized in that the material of the contact portion of the cover in contact with the entire cover or the o-ring. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 커버를 복수로 구성할 경우, 상기 커버들 간의 사이 공간에 누출되는 퓸을 제거하는 배기부를 상기 측벽 연결부의 일측에 형성하는 것을 특징으로 하는 약액 사용 장치.When the cover is configured in plural, the chemical liquid using apparatus, characterized in that the exhaust portion for removing the fumes leaking in the space between the covers on one side of the side wall connecting portion. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 오-링은 일측에 상기 커버의 하중 부과시 탄성을 부여받을 수 있는 구조를 갖는 접촉 오-링부와, 타측에 상기 접촉 오링부를 지지하는 지지 오-링부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 사용 장치.The o-ring device includes a contact o-ring part having a structure that can be elastically applied when the load of the cover is applied to one side, and a support o-ring part supporting the contact o-ring part on the other side. . 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 탄성을 부여받을 수 있는 구조는 그 끝이 뾰족하거나 폭이 좁고 긴 단면 중 어느 하나를 갖는 돌출부를 형성하는 것을 특징으로 하는 약액 사용 장치.The structure capable of being given elasticity is a chemical liquid using device, characterized in that for forming a protrusion having any one of a pointed end or a narrow cross section long. 삭제delete
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KR19990033658A (en) * 1997-10-25 1999-05-15 윤종용 Chemical Bath for Semiconductor Device Manufacturing
KR20190000990A (en) * 2017-06-26 2019-01-04 정재하 Driver's seat

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