KR100664609B1 - 오엘이디 용 유리기판의 연마방법 및 이를 이용하여 생산된 오엘이디용 유리기판 - Google Patents

오엘이디 용 유리기판의 연마방법 및 이를 이용하여 생산된 오엘이디용 유리기판 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 오엘이디 용 유리기판의 연마방법 및 이를 이용하여 생산된 오엘이디용 유리기판에 관한 것으로서, 상면에 연마패드가 부착되고 소정방향으로 회전하는 하정반, 상기 하정반과 밀착되어 하향으로 가압된 상태에서 상기 하정반 상에 소정각도로 좌우방향 반복 선회작동되는 상정반, 상기 하정반상에 연마액을 공급하는 연마액 공급부를 갖는 유리연마장치를 이용하는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법이며, 상기 연마방법은, 세리아계 연마제를 포함하는 연마액으로 유리기판을 연마하는 1차연마단계와, 상기 1차연마된 유리기판을 실리카계 연마제를 포함하는 연마액으로 연마하는 2차연마단계를 포함합니다. 상기 1차연마단계는, 상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 일정하게 유지하는 제1구간, 상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 높여서 일정 시간 유지하는 제2구간, 상기 상정반의 선회속도와 상기 하정반의 회전속도를 유지한 상태에서 상기 상정반의 가압력을 낮춰서 일정하게 유지하는 제3구간, 상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 낮춰서 일정하게 유지하는 제4구간, 상기 상정반의 선회속도를 유지한 상태에서 상기 상정반의 가압력과 상기 하정반의 회전속도를 낮춰서 일정하게 유지하는 제5구간을 포함하고, 상기 2차연마단계는, 상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 일정하게 유지하는 제1구간, 상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 높여서 일정 시간 유지하는 제2구간, 상기 상정반의 선회속도와 상기 하정반의 회전속도를 유지한 상태에서 상기 상정반의 가압력을 낮춰서 일정하게 유지하는 제3구간, 상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 낮춰서 일정하게 유지하는 제4구간, 상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 낮춰서 일정하게 유지하는 제5구간을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 유리기판의 평탄도 및 조도를 향상 시킬 수 있는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법 및 이를 이용하여 생산된 오엘이디용 유리기판이 제공된다.
오엘이디 용 유리기판, 연마방법

Description

오엘이디 용 유리기판의 연마방법 및 이를 이용하여 생산된 오엘이디용 유리기판{Method of Polishing Glass for OLED and Glass for OLED manufactured using the same}
도 1은 본 발명에 따른 오엘이디 용 유리기판의 연마방법에 사용되는 연마장치를 도시한 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 오엘이디 용 유리기판의 연마방법을 나타낸 흐름도,
도 3은 본 발명에 따른 오엘이디 용 유리기판의 연마방법 중 1차연마시의 연마조건을 나타낸 그래프,
도 4은 본 발명에 따른 연마방법의 2차연마단계에 의하여 연마된 유리기판의 표면을 광학현미경으로 촬영한 유리기판의 표면사진,
도 5는 본 발명에 따른 오엘이디 용 유리기판의 연마방법 중 2차연마시의 연마조건을 나타낸 그래프,
도 6은 본 발명에 따른 연마방법의 2차연마단계에 의하여 연마된 유리기판의 표면을 광학현미경으로 촬영한 유리기판의 표면사진이다.
♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명♣
1: 본체 2: 하정반
3: 상정반 4: 실린더
5: 선회구동부 6: 연마액 공급부
11: 펜스 21: 연마패드
51: 지지아암 52: 선회축
61: 상부공급도관 62: 하부공급도관
본 발명은 오엘이디 용 유리기판의 연마방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 오엘이디 용 유리기판을 연마하여 낮은 조도를 구현할 수 있는 연마방법에 관한 것이다.
일반적으로, 오엘이디 (OLED)을 이용한 디스플레이 장치는 15볼트 이하로 구동이 가능하고 발광효율이 높아 전력소모가 적으며 TFT-LCD의 박막트랜지스터 공정이 필요 없기 때문에 생산원가를 LCD의 절반 이하로 줄일 수 있으며, 자체발광 타입이라 다른 디스플레이보다 시야각이 넓을 뿐 아니라 얇고 가벼우며 응답속도가 빨라 차세대 디스플레이 장치로 각광을 받고 있다. 이러한 오엘이디 을 이용한 디스플레이장치는 유리기판위에 ITO박막이 코팅되어 있으며, ITO박막위에 유기발광층이 형성되어 있는 구조를 가진다.
따라서, 오엘이디 에 사용되는 유리기판의 조도 및 평탄도가 오엘이디 을 이용한 디스플레이장치의 성능에 막대한 영향을 미친다. 이러한 유리기판은 오엘이디 의 제조에 사용되기 위하여 먼저 연마과정을 거친다.
종래의 유리기판의 연마방법은 연마장치를 이용하여 동일한 연마제와 연마패드에 의해 유리기판이 연마된 후, ITO 박막코팅 등의 오엘이디 의 제조공정에 투입된다.
하지만, 상술한 종래기술에 따른 경우 1회의 연마에 의하여 유리기판의 조도 및 평탄도를 구현할 수 있도록 연마하기 때문에, 조도 및 평탄도를 동시에 낮은 값으로 구현 할 수 없는 문제점이 있다.
따라서, 이후 공정인 ITO 박막을 유리기판에 코팅할 때 스파이크가 발생되어 오엘이디 의 구동에 있어서 휘도 및 전력효율이 낮아지며, 소자의 불량을 초래할 수 있다.
따라서 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 오엘이디 용 유리기판을 낮은 조도로 연마할 수 있는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법을 제공함에 있다.
또한, 유리기판을 낮은 조도로 연마함으로써 유리기판이 사용되는 오엘이디 의 제조에 있어서 불량을 줄일 수 있는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법을 제공함에 있다.
또한, 낮은 조도의 유리기판을 연마함으로써 유리기판이 사용되는 오엘이디 의 전력효율을 높이고 휘도를 높일 수 있는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법을 제공함에 있다.
상기 목적은 본 발명에 따라, 상면에 연마패드가 부착되고 소정방향으로 회전하는 하정반과, 상기 하정반과 밀착되어 상기 하정반 상에 소정각도로 좌우방향 반복 선회작동되는 상정반과, 상기 하정반상에 연마액을 공급하는 연마액 공급부를 갖는 유리연마장치를 이용한 오엘이디 용 유리기판의 연마방법에 있어서, 세리아계 연마제를 포함하는 연마액으로 유리기판을 1차연마하는 단계와; 상기 1차연마된 유리기판을 실리카계 연마제를 포함하는 연마액으로 유리기판을 2차연마하는 단계로 이루어진 오엘이디 용 유리기판의 연마방법에 의해 달성된다.
한편, 상기 1차연마단계 및 2차연마단계에서 연마가 진행될 때 상기 상정반은 하향으로의 압력이 변압되고, 상기 하정반의 회전속도와 상정반의 선회속도는 변속되어 연마가 진행되는 것이 오엘이디 용 유리기판의 평탄도 및 표면조도를 향상시킬 수 있어 바람직하다.
상기 세리아계 연마제는 산화세륨이고, 상기 실리카계 연마제는 콜로이달 실리카인 것이 오엘이디 용 유리기판을 낮은 조도로 연마할 수 있어 바람직하다.
또한, 상기 1차연마단계에서 상기 연마패드는 발포제와 산화세륨을 포함하고, 상기 2차연마단계에서 상기 연마패드는 발포우레탄인 것이 오엘이디 용 유리기판을 낮은 조도로 연마할 수 있어 바람직하다.
상기 방법에 의하여 생산되는 유리기판은 표면조도가 30Å 내지 70Å이고 평탄도가 300Å 내지 500Å인 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 오엘이디 용 유리기판의 연마방법에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 오엘이디 용 유리기판의 연마방법에 대하여 설명하기 전에, 오엘이디 용 유리기판의 연마방법에 사용되는 연마장치에 대하여 먼저 설명한다.
도 1는 본 발명에 따른 오엘이디 용 유리기판의 연마방법에 사용되는 연마장치를 도시한 사시도이다. 연마장치는 본체(1)와, 본체(1)의 상면에 설치되는 하정반(2)과, 하정반(2)을 회전구동시키는 회전구동부(미도시)와, 하정반(2)의 상부에 설치되는 상정반(3)과, 상정반(3)과 결합하여 상정반(3)을 상하로 이동시키는 실린더(4)와, 실린더(4)와 결합하여 상정반(3)을 선회구동시키는 선회구동부(5)와, 하정반(2)으로 연마액을 공급하는 연마액 공급부(6)를 포함한다.
본체(1)에는 하정반(2)이 설치되고, 하정반(2)의 외측둘레를 따라 연마액공급부(6)로부터 공급되는 연마액의 비산되는 것을 방지하기 위한 비산방지펜스(11)가 설치되며, 비산방지펜스(11)의 일측에는 연마액을 수거하는 연마액배출공(미도시)이 형성되어 있다. 한편, 하정반(2)의 상면에는 연마패드(21)가 설치된다.
상정반(3)은 저면상에 연마 대상이 되는 오엘이디 용 유리기판가 부착되는 연마홀더(미도시)가 설치된다. 연마홀더는 오엘이디 용 유리기판의 외곽형상에 대응하도록 장착공이 다수개 형성되어 있다.
실린더(4)는 상정반(3)의 상면과 결합하여, 상정반(3)을 상하로 이동시키고, 상정반(3)이 연마패드(21)와 맞닿은 상태에서 하향으로 가압시킨다.
선회구동부(5)는 상정반(3)을 하정반(2)에 대하여 수평방향으로 지지하는 지지아암(51)과, 지지아암(51)을 좌우로 선회이동시키도록 지지아암(51)의 일단과 결합하는 선회축(52)과, 선회축(52)을 좌우로 작동시키는 선회구동모터(미도시)를 포 함한다. 여기서, 하정반(2)의 회전속도와, 상정반(3)의 가압 및 선회속도는 연마가 진행될 때 진행시간에 따라 각각 다르게 제어될 수 있다.
연마액공급부(6)는 연마액을 하정반(2)의 중앙 및 외곽으로 공급할 수 있도록 배치된다. 즉, 연마액공급부(6)는 소정위치에서 상부공급도관(61) 및 하부공급도관(62)으로 분기되어 있다. 상부공급도관(61)은 지지아암(51)의 소정부위에 부착되어 하정반(2)의 외곽부분으로 연마액을 공급하고, 하부공급도관(62)은 하정반(2)의 중앙부분과 연통되어 하정반(2)의 중앙부분으로 연마액을 공급한다.
이러한 연마장치에 의해, 연마되는 오엘이디 용 유리기판은 상정반(3)의 하면에 설치된 연마홀더에 의해 상정반(3)에 부착되고, 상정반(3)은 하정반(2) 상에서 좌우방향으로 반복 선회작동하면서, 하정반(2)의 회전에 따라 연동하여 회전하게 된다. 이에 의해 상정반(3)의 하면에 부착된 오엘이디 용 유리기판은 하정반(2)의 상면에 부착된 연마패드(21)와 연마액공급부(6)에 의해 공급되는 연마액에 의하여 연마된다.
이어, 상술한 연마장치를 이용한 오엘이디 용 유리기판의 연마방법에 대하여 설명한다. 도 2는 본 발명에 따른 오엘이디 용 유리기판의 연마방법을 나타낸 흐름도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 오엘이디 용 유리기판의 연마방법은 먼저, 세리아계 연마제를 포함하는 연마액을 구비한 연마장치를 이용하여 유리기판을 1차연마하는 단계(S1)와, 1차연마된 유리기판을 실리카계 연마제를 포함하는 연마액을 구비한 연마장치로 2차연마하는 단계(S2)로 이루어진다.
1차 연마단계(S1)에서 하정반(2)에 부착되는 연마패드(21)는 폴리올, 이소시 아네이트, 실리콘 정포제, 촉매 등이 발포제와 산화세륨과 혼합된 폴리우레탄 연마패드가 사용된다. 연마액에 포함되는 연마제는 산화세륨(Cerium Oxide)계 연마제로서 산화란탄(Lanthanum Oxide), 산화프라세오디뮴(Praseodymium Oxide), 산화네오디뮴(Neodymium Oxide)을 포함하며, DI워터의 혼합으로 이루어진다. 여기서, 산화세륨, 산화란탄, 산화프라세오디뮴, 산화네오디뮴의 중량비는 아래의 표1와 같이 구성된다. 또한 이들의 입도는 100nm 에서 150nm 내로 조정되어 사용된다.
표 1
구성 산화세륨 산화란탄 산화프라세오디뮴 산화네오디뮴
중량비(%) 50-65 30-40 3-8 1-15
상술한 조건을 가진 연마패드(21)와 연마액을 이용하여 오엘이디 용 유리기판의 1차연마단계(S1)가 이루어진다. 1차연마단계(S1)에서의 연마조건에 대하여 설명한다. 도 3은 본 발명에 따른 오엘이디 용 유리기판의 연마방법 중 1차연마단계(S1)에서의 의 연마조건을 나타낸 그래프이다. 도면에 도시된 바와 같이, 1차연마단계(S1)에서는 상술한 연마장치를 이용하여 연마시간이 경과함에 따라 상정반(3)의 가압 및 선회속도, 하정반(2)의 회전속도를 각 구간별로 변화를 주면서 연마를 진행한다.
먼저 제1구간(0~A구간)은 상정반(3)의 가압력이 작고, 하정반(2)의 회전속도 및 상정반의 선회속도가 느린 상태에서 소정시간동안 연마가 진행된다. 이어, 제2구간(A~B구간)에서는 상정반(3)의 가압력, 하정반(2)의 회전속도, 상정반(3)의 선 회속도가 최고로 높인 상태에서 연마를 소정시간 동안 진행한다.
제3구간(B~C구간)에서는 하정반(2)의 회전속도와 상정반(3)의 선회속도를 그대로 유지한 상태에서, 상정반(3)의 가압력만을 제1구간(0~A구간)의 가압력보다 낮은 압력으로 줄인 상태에서 소정시간 동안 연마를 진행한다.
제4구간(C~D구간)에서는 상정반(3)의 가압력을 더 줄이고, 하정반(2)의 회전속도를 최초구간(0~A구간)의 회전속도와 동일한 속도로 줄인다. 또한, 상정반(3)의 선회속도를 최초구간(0~A구간)의 선회속도보다 낮은 속도로 줄여 소정시간 동안 연마를 진행한다.
제5구간(D~E구간)에서는 상정반(3)의 선회속도는 그대로 유지한 상태에서, 상정반(3)의 가압력 및 하정반(2)의 회전속도를 더 줄인 후 연마를 소정시간 동안 진행한 다음 연마를 종료한다.
한편, 연마가 진행되는 동안 연마액의 공급은 연마액 공급부(6)의 상부공급도관(61)과 하부공급도관(62)을 통하여 공급된다. 이때, 연마액의 공급량은 상부공급도관(61)을 통하여 공급되는 양이 하부공급도관(62)을 통하여 공급되는 양보다 많도록 유지한다.
이러한 방법으로 1차 연마(S1)를 진행하여 연마제와 연마패드(21)의 작용에 의하여 오엘이디 용 유리기판의 평탄도가 낮아지게 된다. 즉, 1차연마단계(S1)에 있어서는 유리기판의 조도개선 보다 평탄도를 개선하는 것에 연마의 목적이 있다.
이어 오엘이디 용 유리기판의 2차연마단계(S2)가 진행된다. 2차연마단계(S2)는 1차연마(S1)와 달리 연마패드(21)는 섬유타입의 발포우레탄을 사용한다. 2차연마단계(S2)는 1차연마단계(S1)에 의해 개선된 평탄도를 가진 유리기판의 표면조도를 향상시키기 위한 연마이므로 섬유타입의 발포우레탄을 사용한다. 또한 연마액으로서는 액상의 콜로이달 실리카와 DI워터를 혼합한 것을 이용한다. 상술한 1차연마단계(S2)에서는 유리기판의 평탄도를 낮추기 위하여 고상의 세리아계 연마제를 DI워터와 혼합하여 사용하였지만, 2차연마단계(S2)에서는 유리기판의 조도를 낮추기 위하여 액상의 연마제를 사용한다. 연마액의 분포를 살펴보면, 실리카(SiO2)가 35% ~ 50%의 중량비를 갖도록 DI워터와 기타 첨가제를 혼합한다. 이때, 실리카의 입도크기는 70nm ~ 100nm 이하를 유지하도록 한다.
도 4는 본 발명에 따른 연마방법의 1차연마단계에 의하여 연마된 유리기판의 표면을 광학현미경으로 촬영한 유리기판의 표면사진이다. 도면에 나타난 바와 같이, 상술한 1차연마단계(S1)에 의하여 연마된 유리기판의 표면 평탄도는 300Å ~ 500Å을 유지할 수 있다.
상술한 조건을 가진 연마패드(21)와 연마액을 이용하여 오엘이디 용 유리기판의 2차연마단계(S2)가 이루어진다. 2차연마단계(S2)에서의 연마조건에 대하여 설명한다. 도 5는 본 발명에 따른 오엘이디 용 유리기판의 연마방법 중 2차연마단계(S2)에서의 연마조건을 나타낸 그래프이다. 도면에 도시된 바와 같이, 2차연마단계(S2)에서는 1차연마단계(S1)와 마찬가지로, 상술한 연마장치를 이용하여 상정반(3)의 가압 및 선회속도, 하정반(2)의 회전속도를 연마시간이 경과함에 따라 각 구간별로 변화를 주면서 연마를 진행한다.
제1구간(0~A구간)에서는 상정반(3)의 가압력이 작고 하정반(2)의 회전속도 및 상정반(3)의 선회속도가 느린 상태에서 일정시간동안 연마가 진행된다. 이어 제2구간(A~B구간)에서는 상정반(3)의 가압력, 하정반(2)의 회전속도, 상정반(3)의 선회속도를 최고로 높힌 상태에서 소정시간 동안 연마를 진행한다.
제3구간(B~C구간)에서는 하정반(2)의 회전속도와 상정반(3)의 선회속도를 그대로 유지하고 상정반(3)의 가압력을 최초의 가압력과 동일한 압력으로 다시 낮춘 상태에서 소정시간 연마를 진행한다.
제4구간(C~D구간)에서는 상정반(3)의 가압력을 더 줄이고, 하정반(2)의 회전속도를 최초구간(0~A구간)의 회전속도와 동일한 속도로 줄인다. 또한, 상정반(3)의 선회속도는 최초구간(0~A구간)의 선회속도보다는 빠른 속도를 유지할 수 있도록 줄인다. 즉, 상정반(3)의 선회속도는 두 번째 구간(A~B구간)과 첫 번째 구간(0~A구간)의 중간속도를 유지한다. 상술한 조건에서 소정시간 연마를 진행한다.
제5구간(D~E구간)에서는 상정반(3)의 가압력, 하정반(2)의 회전속도, 상정반(3)의 선회속도를 줄여 연마를 진행하여 종료한다. 이때, 상정반(3)의 선회속도는 첫 번째 구간(0~A구간)의 선회속도 보다 낮은 속도를 유지하도록 줄인다.
한편, 2차연마단계(S2)에서는 상정반(3)의 가압력은 1차연마단계(S1)의 가압력 보다 작은 값으로 유지한다. 2차연마단계(S2)에서의 연마량은 1차연마단계(S1)에서의 연마량보다 작기 때문에 상정반(3)의 가압력을 높게 유지한다면 원하는 조도값을 구현할 수 없기 때문이다. 다만, 하정반(2)의 회전속도나 상정반(3)의 선회속도는 1차연마단계(S1)에서의 속도와 비슷하게 유지한다.
또한, 연마가 진행되는 동안 연마액의 공급은 1차연마단계(S1)에 있어서의 연마액의 공급량보다 작은 양을 공급한다. 2차연마단계(S2)는 유리기판의 표면조도를 향상시키는 것이므로 유리기판 표면의 연마량이 1차연마단계(S1)에 비하여 현격이 작기 때문에 연마액을 1차연마보다 적게 공급한다 다만, 상부공급도관(61)과 하부공급도관(62)의 연마액의 공급량은 상부공급도관(61)을 통하여 공급되는 양이 하부공급도관(62)을 통하여 공급되는 양보다 많도록 유지한다.
도 6은 본 발명에 따른 연마방법의 2차연마단계에 의하여 연마된 유리기판의 표면을 광학현미경으로 촬영한 유리기판의 표면사진이다. 도면에 나타난 바와 같이, 2차연마단계(S2)에 의하여 연마되는 유리기판의 표면조도는 Rp-v값이 30Å 내지 70Å로 구현될 수 있다.
상술한 단계에 의한 연마방법에 의하여 오엘이디 용 유리기판은 평탄도 및 표면조도를 낮은 값으로 연마할 수 있게 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 오엘이디 용 유리기판을 낮은 조도로 연마할 수 있는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법이 제공된다.
또한, 유리기판을 낮은 조도로 연마함으로써 유리기판이 사용되는 오엘이디 의 제조에 있어서 불량을 줄일 수 있는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법이 제공된다.
또한, 낮은 조도의 유리기판을 연마함으로써 유리기판이 사용되는 오엘이디 의 전력효율을 높이고 휘도를 높일 수 있는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법이 제공된다.

Claims (7)

  1. 상면에 연마패드가 부착되고 소정방향으로 회전하는 하정반, 상기 하정반과 밀착되어 하향으로 가압된 상태에서 상기 하정반 상에 소정각도로 좌우방향 반복 선회작동되는 상정반, 상기 하정반상에 연마액을 공급하는 연마액 공급부를 갖는 유리연마장치를 이용하는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법이며,
    상기 연마방법은,
    세리아계 연마제를 포함하는 연마액으로 유리기판을 연마하는 1차연마단계와,
    상기 1차연마된 유리기판을 실리카계 연마제를 포함하는 연마액으로 연마하는 2차연마단계를 포함하고,
    상기 1차연마단계는,
    상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 일정하게 유지하는 제1구간, 상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 높여서 일정 시간 유지하는 제2구간, 상기 상정반의 선회속도와 상기 하정반의 회전속도를 유지한 상태에서 상기 상정반의 가압력을 낮춰서 일정하게 유지하는 제3구간, 상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 낮춰서 일정하게 유지하는 제4구간, 상기 상정반의 선회속도를 유지한 상태에서 상기 상정반의 가압력과 상기 하정반의 회전속도를 낮춰서 일정하게 유지하는 제5구간을 포함하고,
    상기 2차연마단계는,
    상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 일정하게 유지하는 제1구간, 상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 높여서 일정 시간 유지하는 제2구간, 상기 상정반의 선회속도와 상기 하정반의 회전속도를 유지한 상태에서 상기 상정반의 가압력을 낮춰서 일정하게 유지하는 제3구간, 상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 낮춰서 일정하게 유지하는 제4구간, 상기 상정반의 가압력 및 선회속도, 상기 하정반의 회전속도를 낮춰서 일정하게 유지하는 제5구간을 포함하는 것을 특징으로 하는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 세리아계 연마제는 산화세륨이고, 상기 실리카계 연마제는 콜로이달 실리카인 것을 특징으로 하는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 1차연마단계에서 상기 연마패드는 발포제와 산화세륨을 포함하는 것을 특징으로 하는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 2차연마단계에서 상기 연마패드는 발포우레탄인 것을 특징으로 하는 오엘이디 용 유리기판의 연마방법.
  6. 제1항에 의한 연마방법을 이용하여 생산된 오엘이디용 유리기판.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 유리기판은 표면조도가 30Å 내지 70Å이고 평탄도가 300Å 내지 500Å인 것을 특징으로 하는 오엘이디용 유리기판.
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