KR100648499B1 - Apparatus for cutting a glass-plate - Google Patents

Apparatus for cutting a glass-plate

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KR100648499B1
KR100648499B1 KR20050091722A KR20050091722A KR100648499B1 KR 100648499 B1 KR100648499 B1 KR 100648499B1 KR 20050091722 A KR20050091722 A KR 20050091722A KR 20050091722 A KR20050091722 A KR 20050091722A KR 100648499 B1 KR100648499 B1 KR 100648499B1
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KR
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cutting
glass
wheel
refrigerant
board
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KR20050091722A
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Korean (ko)
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김종수
위해성
이창환
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나노전광 주식회사
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Abstract

A glass board cutting device is provided to obtain a good cut face by cutting a glass board by one effort or by little shock and pressure at least in performing the following breaking by quickly moving a vertical crack forward. The glass board cutting device is composed of one cut driving unit(11) for improving the efficiency of a cutting process; a cutting wheel holder(12) equipped with a heating unit(13) to heat a cutting wheel part; a refrigerant injector(16) for spraying refrigerant(17) with following a cutting wheel(15); a refrigerant inhalator(18) for sucking in the refrigerant with following the refrigerant injector; and a heating control unit(14) for controlling the temperature of the heating unit. The cutting wheel is rotated and moved while directly coming into contact with a glass board(10), to form a scribe line having a vertical crack with the temperature partially increased higher than that of a peripheral part by heat conducted from the cutting wheel.

Description

유리판 절단장치{Apparatus for cutting a glass-plate} A glass plate cutting device {Apparatus for cutting a glass-plate}

도 1은 본 발명의 실시장치의 구조도 1 is a structure of an exemplary device of the present invention

도 2는 본 발명의 실시장치에 의해 형성된 유리판의 크랙 부분을 커팅휠의 날부 방향에서 본 상태 단면도 Figure 2 is a cross-sectional view the status of a crack part of the glass sheet formed by the exemplary device of the invention in the direction of the blade cutting wheel

도 3은 본 발명의 실시장치에 의해 급냉으로 형성된 유리판의 크랙 부분을 커팅휠의 날부 방향에서 본 상태 단면도 Figure 3 is a cross-sectional view of the present status of a crack part formed in a glass sheet quench unit by the practice of the present invention in a cutting direction of the blade wheel

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> <Description of the Related Art>

10 : 유리판 11 : 절단 구동부 10: glass sheet 11: cut drive

12 : 커팅휠 홀더 13 : 발열부 12: a cutting wheel holder 13: heating unit

14 : 발열 제어부 15 : 커팅휠 14: heating control section 15: a cutting wheel

16 : 냉매 분사기 17 : 냉매 16: a refrigerant injector 17: a refrigerant

18 : 냉매 흡입기 21, 31 : 크랙 부분 18: refrigerant inhaler 21, 31: a crack part

22 : 스크라이브 라인 23, 33 : 수직 크랙 22: scribe line 23, 33: vertical crack

24 : 압축응력 34 : 인장응력 24: compressive stress 34: Tensile Stress

본 발명은 유리판 절단장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 커팅휠 홀더에 발열부를 내장하여 발열과 전도에 의하여 커팅휠이 가열되어 스크라이브 라인 형성시 스크라이브 라인이 국부적으로 온도가 올라가게 되고, 냉매 분사기로부터 냉매가 분사되어 급냉에 의한 열응력으로 절단이 이루어지는 유리판 절단장치에 관한 것이다. The present invention is, more particularly, to the cutting wheel by heat and conduction heat to internal parts of the heating in the cutting wheel holder scribe lines formed when scribing lines are local to a temperature related to a glass plate cutting machine to go up, from the refrigerant injector the refrigerant is injected relates to a glass plate cutting machine is cutting as a thermal stress due to the rapid cooling takes place.

유리판 절단장치는 반도체 관련 유리 기판에 스크라이브 공정을 행하는 장비이다. A glass plate cutting device is a device for performing the scribing step in semiconductor-related glass substrate. 일반적으로 제조공정 상에서 소자형성 공정 이후에 LCD 유리를 각 소자 별로 절단하게 되는데 먼저 유리 기판 표면에 수직 크랙을 형성시키는 스크라이빙(Scribing) 공정이 이루어지고 기판 이면에서 크랙에 대응하는 부분을 눌러주거나 약한 충격을 가하는 등의 방법으로 크랙을 성장시켜 절단이 이루어지는 브레이킹(Breaking) 공정이 뒤따르게 된다. Generally the LCD glass after the element formation process on the manufacturing process as there is cut for each device first glass is a scribing (Scribing) a step of forming a vertical crack is made to the substrate surface jugeona pressing the corresponding portion of the crack in the substrate is grow a crack, for example by applying a weak shock to be followed by a breaking (breaking) step cut is made.

그러나 최근에는 스크라이빙과 브레이킹을 한 공정에서 해결하려는 추세로 초음파 진동이나 기계적 진동에 의한 방법, 커팅휠 장착내경을 아치형으로 하여 인접측면 사이의 단차부로 인하여 회전이동시 진동을 일으키는 방법, 레이저빔으로 스크라이브 라인을 뒤따르면서 조사하여 가열시키고 냉매 분사로 급냉에 의한 열응력을 일으키는 방법 등의 수단으로 크랙을 효과적으로 크게 형성시켜 단번에 커팅이 이루어지거나 적어도 추가 브레이킹 작업시 손쉽게 양질의 품질로 절단 단면이 형성되게 하는 방법이 고안되고 있다. Recently, however, methods that cause the rotational movement vibration due portion step between the scribing method by the ice cream breaking the ultrasonic vibration, mechanical vibration in a trend to settle in one step, a cutting wheel and adjacent the side of mounting inner arcuately, scribing with a laser beam heating by irradiation while following behind the line and to form large cracks by means of a method that causes a thermal stress caused by rapid cooling with coolant, such as effectively to be once cut is made or the cut end face easily formed when at least additional braking operation by the quality quality It has devised ways and.

이러한 여러 방법중에서 열응력에 의한 향상된 스크라이빙 방법을 보면 대부분 레이저빔 조사와 냉매 분사에 의한 스크라이빙 및 브레이킹 공정이 주류를 이루고 있다. Of these various methods In an improved scribing method by the thermal stress it is the most scribing and breaking process by laser beam irradiation and the coolant emission mainstream. 그러나 레이저빔을 사용하는 경우 고가의 레이저를 사용한다는 것뿐만 아니라 레이저 발진기를 비롯하여 빔을 적절한 양과 방향으로 조사하기 위한 렌즈와 미러 등의 광학기구가 절단 구동부에 마운트 되어야 한다는 단점이 있다. However, the optical system such as lenses and mirrors as well as the use of expensive laser, including a laser oscillator for irradiating the beam to the appropriate amount and direction if using a laser beam has the disadvantage that it must be mounted on a cutting drive.

또한 절단이 시작되는 부분에서의 초기 마이크로 크래킹 형성시 레이저빔이 아닌 별도의 기계적 크래커가 필요하고 레이저빔의 조사 조건이 절단중일 때와 틀려져 절단 구동부 이송속도를 저속에서부터 시작하고 레이저빔의 출력 강도를 그 이송속도에 동조시켜야 하는 등 그 구동 기작이 매우 복잡해지게 된다. In addition, the need for a separate mechanical cracker than the initial micro-cracking the laser beam during formation of the part to be cut is started and starts the cutting drive feed rate becomes twisted, and when cutting the irradiation condition of the laser beam from the low-speed and the laser beam output intensity a it becomes the driving mechanism is very complex, etc. that must be tuned to the feed rate.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은 유리판 절단에서 열응력에 의한 스크라이브 라인 형성 기술에 있어서, 종래의 레이저빔에 의한 가열 및 절단보다 훨씬 저렴하면서도 효율적으로 유리판 절단이 가능한 장치를 제공하는 데 있다. The purpose of the conceived the present invention to solve the above problems is provided a thermal stress scribing line forming technology by in glass cutting, the available devices efficiently glass sheet cutting, while far less expensive than the heating and cutting by the conventional laser beam to provide.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유리판 절단장치는 절단 공정의 효율성을 위한 하나의 절단 구동부와, 발열부를 내장하여 커팅휠 부분을 가열시키는 커팅휠 홀더와, 상기 커팅휠을 추종하면서 냉매를 분사하는 냉매 분사기, 및 상기 냉매 분사기를 추종하면서 냉매를 흡입하는 냉매 흡입기로 구성됨을 특징 으로 한다. In order to achieve the above object, the glass sheet cutting apparatus of the present invention while tracking the cutting wheel holder and said cutting wheel to heat the cutting wheel portion built with a cutting drive for the efficiency of the cutting process, the heat generating parts of the coolant while the injector following the refrigerant, and the refrigerant injector for injecting and characterized by consisting of a refrigerant suction for sucking the refrigerant.

여기서, 상기 발열부의 온도를 제어하는 발열 제어부를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. Here, it is characterized by configured by further comprising a heating control unit for controlling the temperature of the heat generating portion.

상기 커팅휠은 유리판과 직접 접촉하여 회전 이동하면서 커팅휠로부터의 열전도로 주변부에 비해 국부적으로 온도가 상승된 수직 크랙으로 이루어진 스크라이브 라인을 형성하면서 지나가고 난 뒤에 냉매를 분사하여 유리판을 절단하는 것을 특징으로 한다. The cutting wheel is characterized in that the direct contact with the glass plate emit the coolant after I passes, forming a scribe line consisting of thermal conductivity in a local temperature than the peripheral portion from the cutting wheel by moving the rotation rising vertical crack cutting the glass sheet do.

상기 냉매 분사기는 스크라이브 라인에 He, N 2 , 또는 He과 순수한 물의 혼합물로 이루어진 냉매를 분사하여 온도가 상승된 부위에 급냉을 일으키고, 냉매 흡입기는 유리판 위의 스크라이브 라인상에 잔존하는 냉매를 흡입하여 유리판 오염을 방지하는 것을 특징으로 한다. The coolant sprayer cause rapid cooling by spraying a coolant consisting of He, N 2, or He and the pure water mixture in the scribe line in the temperature rise portion, the refrigerant suction is sucking the coolant remaining on the scribe line of the upper glass plate characterized in that for preventing the glass plate contamination.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다. More specifically the present invention with reference to the accompanying drawings, as follows.

도 1은 본 발명의 유리판 절단장치 구조도를 나타낸 것이다. Figure 1 shows a glass sheet cutting apparatus configuration diagram of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 유리판 절단장치는 유리판(10) 절단 공정의 효율성을 위하여 하나의 절단 구동부(11)에 발열부(13)를 내장하여 유리판(10) 절단 작업시 커팅휠(15) 부분이 가열되도록 하여 커팅휠(15)이 유리판(10)과 직접 접촉하여 회전이동하면서 형성하는 스크라이브 라인이 수직 크랙으로 이루어짐과 동시에 그 수직 크랙 주변이 국부적으로 온도가 올라가도록 하는 커팅휠 홀더(12), 커팅휠(15)을 추종하면서 냉매(17)를 분사하는 냉매 분사기(16), 및 분사된 냉매(17)를 흡입처리 하는 냉매 흡입기(18)로 구성되어 있다. The glass plate cutting device is a glass plate 10, glass sheet 10 cut a cutting wheel 15 during operation by a built-in heating element 13 to a cutting drive (11) to the efficiency of the cutting process as shown in Figure 1 a cutting wheel holder for the portion of the scribe line around the same time that a vertical crack and constituted by any vertical crack to be heated cutting wheel 15 by the direct contact with the glass sheet 10 to form moving rotated to the local temperature is raised to (12 ), while tracking the cutting wheel 15 is comprised of a refrigerant injector 16, and the injected refrigerant (17) for injecting the coolant (17) to the refrigerant inhaler 18 for inhalation treatment.

여기서, 발열부(13)는 발열제어부(14)를 통해 온도가 제어되고, 커팅휠(15)의 회전이동에 의한 크랙 형성시 크랙 부분은 내장된 발열부(13)의 작동에 의해 온도가 상승된 커팅휠(15)로부터의 열전도로 크랙 주변부에 비해 온도가 상승하게 된다. Here, the heating portion 13 is temperature controlled by a heating control unit 14, when a crack formed by the rotational movement crack part of the cutting wheel 15, the temperature is raised by the operation of the heating unit 13 is embedded the thermal conductivity than the cracking temperature in the peripheral portion from the cutting wheel 15 is increased.

한편 커팅휠 홀더(12)에 내장되는 발열부(13)는 통상의 니크롬선 또는 이와 유사한 열선을 내열물질 틀에 고정시켜 커팅휠 홀더(12) 내부에 삽입하는 방식이 될 수 있다. The heating portion 13 which is embedded in the cutting wheel holder 12 may be in the way usual nichrome wire or the like to secure the hot wire to the heat-resistant material inserted in the mold a cutting wheel holder (12). 그 외에도 커팅휠(15)에 발열 제어부(14)에 의해 제어되는 온도 상승을 일으킬 수 있는 것이라면 어떤 방식이라도 무방하다. In addition, so long as it can cause an increase in temperature, which is controlled by the heating control unit 14 to the cutting wheel 15 but may any way.

커팅휠(15)의 온도 상승도 중요하지만 커팅휠(15)이 유리판(10)과 접촉하여 회전이동을 하면서 유리판(10)에 열을 전달해주므로 발열부(13)로부터 커팅휠(15)로의 신속한 열전달이 필요하다. Important, the temperature rise of the cutting wheel 15, but the cutting wheel 15 fast to the glass plate cutting wheel 15 from 10 because contact to deliver heat to the glass plate 10 while the rotational movement and the heat generating parts 13 the heat transfer is required. 따라서 발열부(13)에서 발열체에 해당하는 부분이 커팅휠(15)과 아주 근접한 곳까지 뻗어 있는 것이 바람직하다. Therefore, the portion corresponding to the heat generating element in the heat generating portion 13 is preferably laid out in close proximity to where the cutting wheel 15. 또한 본래의 강도를 잃지 않으면서도 발열부(13)와 커팅휠(15) 사이의 열전도율이 좋은 재료를 쓰는 것이 바람직하다. It is also preferred to write a good thermal conductivity between materials without losing the original strength of the heat generating portion 13 and the cutting wheel 15.

그리고, 냉매 분사기(16)에서 분사되는 냉매는 He, N 2 , 또는 He과 순수한 물의 혼합물로 이루어질 수 있고, 비열이 큰 물과의 혼합물로 구성됨이 바람직하다. Then, the refrigerant is injected from a refrigerant injector 16 may be of He, N 2, or He and the mixture of pure water, is preferable comprised of a mixture of water and a large specific heat. 또한 분사된 냉매(17)가 유리판(10) 위에 잔존해 있으면 소자가 형성된 반도체용 유리 기판과 같은 경우에 유리판(10) 자체의 품질에 영향을 미치므로 급냉의 목적 을 달성한 이후에 바로 흡입 처리할 수 있는 냉매 흡입기(18)가 냉매 분사기(16)의 후방에 위치하는 것이 바람직하다. Also affects the quality, if it is the injected refrigerant (17) remaining on the glass plate 10, the glass plate 10 in the case such as a semiconductor glass substrate for the element is formed itself directly inhaled treatment after achieving the object of the quench the refrigerant inhaler (18) which can preferably located rearward of the refrigerant injector 16.

상기 발열부(13)가 내장된 커팅휠 홀더(12), 냉매 분사기(16), 냉매 흡입기(18), 발열 제어부(14)는 모두 유리판 절단 공정의 효율성을 위하여 하나의 절단 구동부(11)를 이루는 구성물로 이루어짐이 바람직하다. The heating unit is a cutting wheel holder (12) built-in (13), a refrigerant injector 16, the refrigerant suction (18), the heating control unit 14 both a cutting drive (11) to the efficiency of the glass plate cutting step the forming is preferably made of an edifice.

도 2는 본 발명의 실시장치에 의해 형성된 유리판의 크랙 부분을 커팅휠의 날부 방향에서 본 상태 단면도를 나타낸 것이다. Figure 2 shows a cross-sectional view the status of a crack part of the glass sheet formed by the exemplary device of the present invention in a cutting direction of the blade wheel.

도 2에 도시된 바와 같이, 스크라이브 라인(22)을 경계로 하여 좌우 두 부분으로 되어 있고, 그 스크라이브 라인(22)의 바로 밑에는 유리판(10) 표면에서 두께 방향으로 수직 크랙(23)이 발생하고 있다. 2, the scribe line 22 a to the boundary and in two parts left and right, just below the glass sheet 10 from the surface in the thickness direction, a vertical crack 23 in the scribe line 22 are generated and. 이와 같이 형성된 유리판(10)의 크랙 부분(21)은 그 크랙이 형성되는 순간의 커팅휠(15)과의 접촉에 의한 열전도로 그 크랙이 형성된 부분(21)이 주변 부분에 비해 온도가 상승하게 된다. Crack part 21 part 21 that the crack is formed of a heat conduction by the contact with the cutting wheel 15 in the moment in which the crack is formed in the glass plate 10 formed in this way to the temperature rises than in the peripheral portion do. 이렇게 유리가 용융점 이하의 온도로 가열되면 가열된 영역은 팽창하려고 하는데, 유리가 용융되지 않으므로 그 반력으로서 스크라이브 라인(22) 바로 밑의 수직 크랙(23)을 닫으려고 하는 압축응력(24)이 생긴다. So when the glass is heated to a temperature not higher than the melting point of the heated region is trying to expansion, the glass is not melted caused a compressive stress 24 which try to close the scribe line 22 just below the vertical crack of 23 as the reaction force . 그리고 커팅휠(15)이 지나간 뒤에 유리가 상온으로 돌아가는 과정에서 수직 크랙(23)을 진전시키려고 하는 응력이 생긴다. And the stress caused to attempt to advance the vertical crack 23 is in the process of returning to normal temperature, the glass is passed behind the cutting wheel 15.

그러나 유리판(10) 절단면의 품질을 높이고 절단이 확실하게 이루어지기 위해서는 이러한 수직 크랙(23)의 진전을 더 빠르고 더 큰 추진력으로 강제할 필요가 있다. However, the glass plate (10) to improve the quality of the cut needs to be forced to progress faster and greater momentum in this vertical crack (23) being made in order to make the cut for sure.

도 3은 본 발명의 실시장치에 의해 급냉으로 형성된 유리판의 크랙 부분을 커팅휠의 날부 방향에서 본 상태 단면도를 나타낸 것이다. 3 illustrates a state in a cross-sectional view of a crack formed in a portion of the glass sheet quenched by the exemplary device of the present invention in a cutting direction of the blade wheel.

도 3에 도시된 바와 같이, 유리판(10)에 커팅휠이 수직 크랙을 형성하면서 지나가고 난 뒤, 커팅휠의 이동을 추종하는 냉매 분사기(16)가 수직 크랙의 바로 위에 오게 되면서 냉매(17)를 크랙 부분(31)에 분사하게 된다. As shown in Figure 3, the glass plate 10, the coolant jet 16 for the cutting wheel to follow the rear, cutting wheel movement of the I passes, forming a vertical crack is brought right above the vertical crack as a coolant (17) It is injected into the crack part (31). 이렇게 수직 크랙 부분에서 냉매에 의한 급냉이 발생하면, 그 반력으로서 스크라이브 라인 바로 밑의 수직 크랙을 진전시키려고 하는 인장응력(34)이 생긴다. In this state, the vertical crack generated part is rapidly cooled by the refrigerant, a tensile stress occurs 34 to try to advance the vertical cracks immediately below the scribing lines as its reaction force. 유리가 상온으로 돌아가는 과정에 비해 급냉에 의한 진전된 수직 크랙(33)은 그 진전 추진력이 크고, 진전 속도가 더 빠르므로 절단면의 품질을 월등히 향상시킬 수 있다. Vertical crack 33, the glass is advanced compared to the process of returning to the room temperature by the rapid cooling is large in the development driving force, since the growth rate is faster, it is possible to significantly improve the quality of the cut.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 통상의 커팅휠 유리 절단기에서 커팅휠 홀더에 발열 제어부에 의해 커팅휠의 온도를 제어할수 있는 발열부를 내장함으로써 유리판 절단시 커팅휠과 유리판의 직접 접촉과 커팅휠의 회전이동에 의해 형성되어지는 수직 크랙 부위가 온도가 상승되고, 이렇게 형성되어진 스크라이브 라인에 커팅휠을 추종하는 냉매 분사기에 의한 냉매 분사가 이루어져 급냉에 의한 열응력으로 수직 크랙에 진전을 일으켜 유리판을 단번에 절단하거나 적어도 후속 브레이킹시 작은 압력과 작은 충격으로 쉽게 절단이 가능하도록 하면서도 양질의 절단면을 얻는 효과가 있다. As described above, the present invention is the rotation of conventional cutting wheels glass cutting by the heating control unit for the cutting wheel holder on the cutter wheel glass sheet cutting during cutting wheel and in direct contact with the cutting wheel in a glass plate by internal heat generation unit that can control the temperature of the and a vertical crack region which is formed by moving the temperature rises, so the coolant by the refrigerant injectors to follow the cutter wheel to the scribe line been formed consisting of causing the progress in the vertical crack by the thermal stress caused by rapid cooling once cutting the glass sheet or when at least the subsequent braking has the effect of obtaining a good quality of cut, while it easy to be cut into smaller and smaller the impact pressure.

Claims (7)

  1. 유리판 절단 장치에 있어서, In the glass plate cutting device,
    절단 공정의 효율성을 위한 하나의 절단 구동부와, And a drive for the cutting efficiency of the cutting process,
    발열부를 내장하여 커팅휠 부분을 가열시키는 커팅휠 홀더와, And a cutting wheel holder for heating the cutting wheel portion by internal heat generation portion,
    상기 커팅휠을 추종하면서 냉매를 분사하는 냉매 분사기, 및 Coolant sprayer while tracking the cutting wheel emit the coolant, and
    상기 냉매 분사기를 추종하면서 냉매를 흡입하는 냉매 흡입기로 구성된 것을 특징으로 하는 유리판 절단장치. A glass plate cutting device, characterized in that while tracking the refrigerant injector consisting of refrigerant suction for sucking the refrigerant.
  2. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 발열부의 온도를 제어하는 발열 제어부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 유리판 절단장치. A glass plate cutting device, characterized in that configured by further comprising a heating control unit for controlling the temperature of the heat generating portion.
  3. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 커팅휠은 유리판과 직접 접촉하여 회전 이동하면서 커팅휠로부터의 열전도로 주변부에 비해 국부적으로 온도가 상승된 수직 크랙으로 이루어진 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 유리판 절단장치. The cutting wheel is a glass plate cutting device, characterized in that for forming a scribe line consisting of a vertical crack locally the temperature rises by heat conduction as compared to the peripheral portion of the cutting wheel from direct contact with the glass plate while rotating movement.
  4. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 커팅휠이 스크라이브 라인을 형성하면서 지나가고 난 뒤에 냉매를 분사 하여 유리판을 절단하는 것을 특징으로 하는 유리판 절단장치. A glass plate cutting device characterized in that to emit the coolant behind said cutting wheel I passes, forming a scribe line cut the glass plate.
  5. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 냉매 분사기는 스크라이브 라인에 냉매를 분사하여 온도가 상승된 부위에 급냉을 일으키는 것을 특징으로 하는 유리판 절단장치 The refrigerant injectors glass plate cutting device, characterized in that to emit the coolant to the scribe line causes a rapid cooling to the temperature is raised portions
  6. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 냉매 흡입기는 유리판 위의 스크라이브 라인상에 잔존하는 냉매를 흡입하여 유리판 오염을 방지하는 것을 특징으로 하는 유리판 절단장치. The refrigerant inhaler glass plate cutting device, characterized in that for preventing the glass plate by sucking the refrigerant contamination remaining on the scribe line of the upper glass plate.
  7. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 냉매는 He, N 2 , 또는 He과 순수한 물의 혼합물로 이루어진 것을 특징으로 하는 유리판 절단장치. The refrigerant is a glass plate cutting device, characterized in that consisting of He, N 2, or He and the pure water mixture.
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