KR100646694B1 - Method for assembling liquid crystal substrate and apparatus for liquid crystal dropping - Google Patents

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Abstract

종래 액정적하 접합을 행하는 경우, 한 방울당의 액정량과 적하수의 곱으로 액정제의 공급량의 관리를 하고 있기 때문에, 한 방울이 원하는 양이 되도록 생산의 전단계에서 조정하기 때문에 조정에 시간이 걸려 생산을 정체시킬 뿐만 아니라, 한 방울의 양이 수 mg으로 미소량이기 때문에, 전자저울로 정밀도 좋게 계측하는 것조차 곤란하게 되어 있다. In the case of conventional liquid crystal drop bonding, since the liquid crystal amount per drop is controlled by the product of the dropping water, the supply amount of the liquid crystal agent is controlled. Therefore, it takes time to adjust the production so that one drop is adjusted to the desired amount. In addition to stagnation, the amount of a single drop is a few mg, so that it is difficult to measure accurately with an electronic balance.
액정제를 기판에 공급하기 전에 탱크로부터 기판상에 적하하는 액정제를 미리 계량하여 마이크로 실린지 내에 충전하고, 마이크로 실린지 내에 충전한 액정을 기판과 액정 토출구멍의 상대위치를 변화시키면서, 기판의 원하는 위치에 원하는 양만큼 적하함으로써 기판면상에 공급하도록 하였다. Before supplying the liquid crystal agent to the substrate, the liquid crystal agent dropping onto the substrate is pre-weighed from the tank and filled in the micro syringe, and the liquid crystal filled in the micro syringe is changed while changing the relative position of the substrate and the liquid crystal discharge hole. It was made to supply on a board | substrate surface by dripping as much as a desired amount in a desired position.

Description

액정기판의 조립방법과 액정적하장치{METHOD FOR ASSEMBLING LIQUID CRYSTAL SUBSTRATE AND APPARATUS FOR LIQUID CRYSTAL DROPPING}Assembly method of liquid crystal substrate and liquid crystal dropping device {METHOD FOR ASSEMBLING LIQUID CRYSTAL SUBSTRATE AND APPARATUS FOR LIQUID CRYSTAL DROPPING}
도 1은 액정적하, 기판접합장치의 전체 구성을 나타내는 도,1 is a view showing the entire configuration of a liquid crystal dropping and substrate bonding apparatus;
도 2는 진공상태로 기판을 수취하는 수취포올 및 하 기판을 수평방향으로 이동하지 않도록 유지하는 유지기구의 일례를 나타내는 도,2 is a view showing an example of a receiving cloth for receiving a substrate in a vacuum state and a holding mechanism for holding the lower substrate so as not to move in a horizontal direction;
도 3은 액정 적하장치의 액정 공급계의 개략 구성의 일례를 나타내는 도,3 is a diagram showing an example of a schematic configuration of a liquid crystal supply system of a liquid crystal dropping apparatus;
도 4는 액정 공급량의 계측의 일례를 나타내는 도,4 is a diagram showing an example of measurement of the liquid crystal supply amount;
도 5는 탱크 내의 액정량을 측정하는 일례를 나타내는 도,5 is a diagram illustrating an example of measuring the amount of liquid crystal in a tank;
도 6은 액정패널에 액정제를 적하하는 상황을 설명하는 도,6 is a view for explaining a situation in which a liquid crystal agent is dropped into a liquid crystal panel;
도 7은 마이크로 실린지 내에 액정제를 흡입하는 경우의 흡입량의 계측예이다.7 is a measurement example of a suction amount when a liquid crystal agent is sucked into a micro syringe.
본 발명은, 한쪽의 기판에 액정을 적하하여 두고, 접합시킬 기판끼리를 각각 대향하여 유지시켜 간격을 좁혀 접합하는 액정기판의 조립방법과 액정 적하장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method for assembling a liquid crystal substrate and a liquid crystal dropping apparatus in which liquid crystals are dropped on one substrate, the substrates to be bonded are held facing each other, and the gaps are narrowed and bonded.
액정표시패널의 제조에는 투명전극이나 박막 트랜지스터어레이를 부착한 2매의 유리기판을 수 ㎛ 정도의 매우 접근한 간격을 가지고 접착제(이하, 시일제라고도 함)로 접합하고, 그것에 의하여 형성되는 공간에 액정제를 밀봉하는 공정이 있다. In manufacturing a liquid crystal display panel, two glass substrates having a transparent electrode or a thin film transistor array are bonded to each other with an adhesive (hereinafter referred to as a sealant) at very close intervals of several micrometers, and formed into a space formed therefrom. There is a process of sealing a liquid crystal agent.
이 액정제의 밀봉에는, 한쪽의 기판상에 주입구를 설치하지 않도록 시일제를 폐쇄한 패턴에 묘획하고, 다시 그 패턴 내가 되도록 액정제를 적하하여 두고, 다른쪽 기판을 한쪽의 기판상에 배치하여, 진공 중에서 상하의 기판을 접근시켜 접합하는 일본국 특개소62-165622호 공보 등에서 제안된 방법이 있다.In the sealing of this liquid crystal, it draws in the pattern which closed the sealing compound so that an injection hole may not be provided on one board | substrate, and the liquid crystal agent is dripped so that it may become in the pattern again, and the other board | substrate is arrange | positioned on one board | substrate And Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 62-165622 for bonding upper and lower substrates in a vacuum.
또 액정제의 적하방법에서는 일본국 특개2003-164783호 공보 등에서 제안된 방법 등이 있다.As the dropping method of the liquid crystal, there is a method proposed in Japanese Patent Laid-Open No. 2003-164783 and the like.
액정제를 적하하고 나서 기판을 조립하는 방법에서는, 액정제의 공급량이 적으면 액정패널 내에 진공고임이 생겨 표시불량이 되거나, 공급량이 많을 때에는 패널로부터 액정제가 넘쳐 접착불량이 되거나, 액정제를 끼우는 2매의 유리의 간극이 커져 표시불량이 되기 때문에 액정의 공급량을 정밀도 좋게 관리하는 것이 중요하다.In the method of assembling the substrate after dropping the liquid crystal agent, if the supply amount of the liquid crystal agent is small, a vacuum pool may be generated in the liquid crystal panel to cause a poor display, or when the supply amount is large, the liquid crystal agent may overflow from the panel to cause poor adhesion, or the liquid crystal agent may be inserted. Since the gap between the two pieces of glass becomes large, resulting in poor display, it is important to accurately manage the supply amount of the liquid crystal.
상기 종래기술에서는 액정제의 적하수와 한 방울당의 액정량과의 곱으로 액정제 공급량의 관리를 하고 있었기 때문에, 액정 공급기로부터 공급하는 액정제의 한 방울이 원하는 양이 되도록 생산의 전단계에서 조정하거나, 생산 중에 공급중량의 계측을 행하여, 경시적으로 공급량이 변화하는 것에 대해서는 한 방울의 공급량의 조정을 행하고 있었다. In the above prior art, since the liquid crystal supply amount is managed by the product of the dripping liquid of the liquid crystal and the amount of liquid crystal per drop, it is adjusted at the previous stage of production so that one drop of the liquid crystal supplied from the liquid crystal supply becomes a desired amount, The supply weight was measured during production, and the supply amount of one drop was adjusted for the change in supply amount over time.
이 방법에서는 조정에 시간이 걸려 생산을 정체시킬 뿐만 아니라, 한 방울의 양이 수 mg으로 미소량이기 때문에, 전자저울로 정밀도 좋게 계측하는 것조차 곤란하게 되어 있다. In this method, the adjustment takes a long time and the production is not only stagnant, but because the amount of one drop is a few mg, it is difficult to measure accurately with an electronic scale.
또, 계측에는 정밀한 전자저울을 사용하기 때문에 안정계측을 위해 저울의 계측에 시간이 걸려 마찬가지로 생산성을 저하시키는 요인으로 되어 있다. In addition, since precision electronic balance is used for measurement, it takes time to measure a balance for stability measurement, and it is a factor which reduces productivity similarly.
따라서, 본 발명의 목적은 액정제를 정밀도 좋게 기판에 공급하고, 또한 액정공급기의 사전준비나 생산 중의 조정에, 생산성을 저하시키는 일 없이, 액정패널을 생산할 수 있는 액정기판의 조립방법을 제공하는 것에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for assembling a liquid crystal substrate capable of supplying a liquid crystal agent to a substrate with high precision and producing a liquid crystal panel without preliminary preparation of the liquid crystal supply or adjustment during production, without lowering the productivity. Is in.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 접합하는 한쪽의 기판을 유지판의 하면에 유지하고, 접합시킬 다른쪽의 기판을 테이블상에 유지하여 대향시키고, 테이블상에 유지한 기판상에 액정제를 공급한 후, 양 기판의 간격을 좁혀 어느 하나의 기판에 설치한 접착제에 의해 양 기판을 접합하는 경우에, 공급대상이 되는 기판 1매 또는 액정패널 1매분의 영역에 단일 또는 복수의 액정 공급기로부터 공급해야 할 액정량을 계량하는 수단을 구비하여 액정 공급기로부터 공급해야 할 액정량을 계량하고, 기판과 액정 공급기와의 기판의 주면에 평행한 방향의 상대위치를 변화시키면서 계량한 분만큼을 원하는 위치에 원하는 양만큼 공급하는 것에 있다. In order to achieve the above object, in the present invention, one substrate to be bonded is held on the lower surface of the holding plate, and the other substrate to be bonded is held on the table to face each other, and the liquid crystal agent is supplied onto the substrate held on the table. Then, when the two substrates are narrowed and the two substrates are bonded together by an adhesive provided on one of the substrates, they are supplied from a single or a plurality of liquid crystal supplies to a region of one substrate or one liquid crystal panel to be supplied. Means for measuring the amount of liquid crystal to be measured to measure the amount of liquid crystal to be supplied from the liquid crystal supply, and to measure the amount of liquid crystal to the desired position while changing the relative position in the direction parallel to the main surface of the substrate between the substrate and the liquid crystal supply. It's about supplying the desired amount.
이하 설명하는 바와 같이 본 발명에 의하면 액정제를 정밀도 좋고 안정되게 기판에 공급하고, 또한 액정 공급기의 사전준비나 생산 중의 공급량의 확인작업이 나 공급량의 조정작업에 의한 생산의 일시정지를 하는 일 없이 액정패널을 생산하는 것이 가능하다. As described below, according to the present invention, the liquid crystal agent is supplied to the substrate with high accuracy and stability, and the production of the liquid crystal supply is not carried out by preliminary preparation of the liquid crystal supply, confirmation of the supply amount during production or adjustment of the supply amount. It is possible to produce a liquid crystal panel.
이하, 본 발명의 일 실시예를 도면에 의거하여 설명한다. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1에 있어서, 본 발명의 방법을 구현화하는 기판조립장치는, 액정 적하부 (S1)와 기판 접합부(S2)로 구성되고, 이 양 부분은 가대(2)상에 인접하여 배치된다.In Fig. 1, the substrate assembly apparatus embodying the method of the present invention is composed of a liquid crystal dropping portion S1 and a substrate bonding portion S2, both of which are disposed adjacent to the mount 2.
가대(2)의 위쪽에는 기판접합부(S2)를 지지하는 프레임(3)이 있다. 또 가대 (2)의 상면에는 XYθ스테이지(T1)가 구비되어 있다. XYθ스테이지(T1)를 구성하는 X 스테이지(4a)는 구동모터(5)에 의하여 도면상에서 좌우의 X축방향으로, 즉 액정 적하부(S1)와 기판접합부(S2) 사이를 왕래할 수 있게 되어 있다. Y 스테이지(4b)는 X 스테이지(4a)상에 있고, 구동모터(6)에 의해 X 스테이지와 직교하는 Y축방향으로 왕래할 수 있게 되어 있다. θ 스테이지(4c)는 Y 스테이지(4b)상에 있고, 회전베어링(7)을 거쳐 구동모터(8)에 의해 Y 스테이지(4b)에 대하여 수평으로 회전 가능하게 되어 있고, θ 스테이지(4c)상에 하 기판(1a)을 탑재하는 테이블(9)이 고정된다. 또한 뒤에서 설명하는 상 기판과 마찬가지로 테이블(9)은 진공흡착이나 정전흡착 또는 점착부재로 하 기판(1a)을 탑재 유지한다. 또 Y 스테이지(4b)에 플레이트(13)로 하 챔버유닛(10)이 고정되어 있다. θ 스테이지(4c)는 하 챔버유닛의 바깥 둘레부(10)에 대하여 회전베어링(11)과 진공시일(12)을 거쳐 회전 자유롭게 설치되고, θ 스테이지 (4c)가 회전하여도 하 챔버유닛의 바깥 둘레부(10)는 따라서 회전하지 않는 구조로 되어 있다. 도면과 같이 θ스테이지(4c)는 하 챔버유 닛의 일부(바닥부)를 구성하고 있다. 즉 θ스테이지(4c)는 하 챔버유닛의 바깥 둘레부(10)와는 회전방향만 따로 동작하나, XY 방향은 함께(일체가 되어) 이동하는 구성으로 되어 있다. Above the mount 2 is a frame 3 that supports the substrate bonding portion S2. The upper surface of the mount 2 is provided with an XYθ stage T1. The X stage 4a constituting the XYθ stage T1 can travel between the liquid crystal dripping portion S1 and the substrate bonding portion S2 in the left and right X-axis directions on the drawing by the driving motor 5. have. The Y stage 4b is on the X stage 4a, and the drive motor 6 can travel in the Y axis direction orthogonal to the X stage. The θ stage 4c is on the Y stage 4b, and is rotatable horizontally with respect to the Y stage 4b by the drive motor 8 via the rotation bearing 7, and on the θ stage 4c. The table 9 on which the lower substrate 1a is mounted is fixed. In addition, like the upper substrate described later, the table 9 mounts and holds the lower substrate 1a as a vacuum suction, electrostatic suction or adhesive member. In addition, the lower chamber unit 10 is fixed to the Y stage 4b by the plate 13. The θ stage 4c is rotatably installed via the rotating bearing 11 and the vacuum seal 12 with respect to the outer circumferential portion 10 of the lower chamber unit, and the θ stage 4c rotates outside the lower chamber unit. The circumferential part 10 has a structure which does not rotate accordingly. As shown in the figure, the θ stage 4c constitutes a part (bottom portion) of the lower chamber unit. That is, the θ stage 4c operates only in the rotational direction separately from the outer circumferential portion 10 of the lower chamber unit, but has a configuration in which the XY directions move together.
액정 적하부(S1)는, 테이블(9)에 탑재 유지된 하 기판(1a)에 원하는 양의 액정제를 적하하기 위한 프레임(3)으로부터 돌출한 브래킷(14)으로 지지된 디스펜서 (17)와 이것을 상하 이동시키기 위한 Z축 스테이지(15)와 그것을 구동하는 모터(16)로 구성된다. 하 기판(1a)을 테이블(9)상에 유지 탑재한 XYθ스테이지(T1)는, 액정제를 적하하는 디스펜서(17)의 노즐(18)에 대하여, X 및 Y 방향으로 이동한다. 이에 의하여 하 기판(1a)상의 임의의 부분에 원하는 양의 액정제가 적하된다. The liquid crystal dropping part S1 includes a dispenser 17 supported by a bracket 14 protruding from the frame 3 for dropping a desired amount of liquid crystal agent onto the lower substrate 1a mounted on the table 9. It consists of the Z-axis stage 15 for moving this up and down, and the motor 16 which drives it. The XYθ stage T1 holding the lower substrate 1a on the table 9 moves in the X and Y directions with respect to the nozzle 18 of the dispenser 17 dropping the liquid crystal agent. As a result, a desired amount of the liquid crystal agent is added dropwise to any portion on the lower substrate 1a.
액정 적하후의 하 기판(1a)을 탑재 유지한 XYθ스테이지(T1)는, 기판 접합부 (S2)의 하부에 구동모터(5)에 의하여 이동한다. The XYθ stage T1 on which the lower substrate 1a after the liquid crystal dropping is mounted is moved by the drive motor 5 under the substrate bonding portion S2.
기판 접합부(S2)에서는, 상 챔버유닛(21)과 그 내부의 진공흡착기능과 정전흡착기능을 구비한 유지판(27)이 각각 독립하여 상하 이동할 수 있는 구조로 되어 있다. 즉, 상 챔버유닛(21)은 리니어부시와 진공시일을 내장한 하우징(30)을 가지고 있고, 샤프트(29)를 가이드로 하여 프레임(3)에 고정된 실린더(22)에 의해 상하의 Z축방향으로 이동한다. In the board | substrate junction part S2, the upper chamber unit 21 and the holding plate 27 provided with the vacuum suction function and the electrostatic adsorption function in it are each independently moved up and down. That is, the upper chamber unit 21 has a housing 30 in which a linear bush and a vacuum seal are incorporated, and the upper and lower Z-axis directions are provided by the cylinder 22 fixed to the frame 3 with the shaft 29 as a guide. Go to.
XYθ스테이지(T1)가 기판접합부(S2)로 이동하고 있어 상 챔버유닛(21)이 하강하면, 하 챔버유닛의 바깥 둘레부(10) 주위에 배치되어 있는 O링(44)에 상 챔버유닛 (21)의 플랜지(21a)가 접촉하여 일체가 되고, 이때 진공챔버로서 기능하는 상태가 된다. 여기서 하 챔버유닛 바깥 둘레부(10)의 주위에 설치된 볼베어링(87)은 진공에 의한 O링(44)의 찌그러짐량을 조정함으로써 상하방향의 임의의 위치에 설정 가능하게 되어 있다. 진공화에 의하여 발생하는 큰 힘은, 볼베어링(87)을 거쳐 하 챔버유닛 바깥 둘레부(10)에서 받고 있고, O링(44)의 탄성변형이 가능하여 뒤에서 설명하는 바와 같이 접합시에 XYθ스테이지(T1)를 O링(44)의 탄성범위 내에서 용이하게 미동시켜 정밀하게 위치결정할 수 있다. When the XYθ stage T1 is moved to the substrate bonding portion S2 and the upper chamber unit 21 descends, the upper chamber unit (3) is connected to the O-ring 44 disposed around the outer circumference 10 of the lower chamber unit. The flanges 21a of 21 are brought into contact with each other to form a unit, and at this time, the flange 21a is in a state of functioning as a vacuum chamber. Here, the ball bearing 87 provided around the lower chamber unit outer periphery 10 can be set at any position in the up and down direction by adjusting the amount of crushing of the O-ring 44 by vacuum. The large force generated by the vacuumization is received by the lower chamber unit outer circumferential portion 10 via the ball bearing 87, and the O-ring 44 can be elastically deformed, and the XYθ stage at the time of joining will be described later. T1 can be easily finely positioned within the elastic range of the O-ring 44 to accurately position it.
하우징(30)은 상 챔버유닛(21)이 하 챔버유닛과 진공챔버를 형성하여 변형되어도 샤프트(29)에 대하여 진공누출을 일으키지 않고 상하 이동 가능한 진공시일을 내장하고 있기 때문에, 진공챔버의 변형이 샤프트(29)에 미치는 힘을 흡수할 수 있어 샤프트(29)에 고정된 유지판(27)이 변형되는 것을 방지할 수 있고, 뒤에서 설명하는 바와 같이 유지판(27)에 유지된 상 기판(1b)과 테이블(9)에 유지된 하 기판(1a)의 평행을 유지하여 접합이 가능해진다. Since the housing 30 has a vacuum seal that can move up and down without causing a vacuum leak with respect to the shaft 29 even if the upper chamber unit 21 forms a vacuum chamber with the lower chamber unit, deformation of the vacuum chamber is prevented. The force applied to the shaft 29 can be absorbed to prevent the holding plate 27 fixed to the shaft 29 from being deformed, and the upper substrate 1b held by the holding plate 27 as described later. ) And the lower substrate 1a held by the table 9 are maintained in parallel to each other, and bonding is possible.
진공밸브(23)는, 배관호스(24)를 거쳐 도시 생략한 진공원에 접속되고, 이들은 진공챔버를 감압하여 진공으로 할 때에 사용된다. 또 가스퍼지밸브(25)는 가스 튜브(26)를 거쳐, 질소가스나 크린 드라이에어 등의 압력원에 접속되고, 이들은 진공챔버를 대기압으로 되돌릴 때에 사용된다. The vacuum valve 23 is connected to the vacuum source (not shown) via the piping hose 24, and these are used when decompressing a vacuum chamber to make a vacuum. In addition, the gas purge valve 25 is connected to a pressure source such as nitrogen gas or clean dry air via the gas tube 26, which is used to return the vacuum chamber to atmospheric pressure.
상 기판(1b)은 유지판(27)의 하면에 밀착 유지되나, 대기 하에 있어서는 진공흡착(또는 흡인흡착)으로 유지되도록 되어 있다. 즉, 유지판(27) 면에 복수의 흡인구멍이 설치되어 있고, 이것에 음압을 공급하기 위한 흡인튜브(42)가 흡인흡착용 이음새(41)를 거쳐 접속되어 있다. 또 흡인튜브(42)는 도시 생략한 진공원에 접속되어 있다. The upper substrate 1b is held in close contact with the lower surface of the holding plate 27, but is held by vacuum suction (or suction suction) in the air. That is, a plurality of suction holes are provided on the holding plate 27 surface, and a suction tube 42 for supplying a negative pressure thereto is connected via a suction suction joint 41. The suction tube 42 is connected to a vacuum source (not shown).
다음에, 정전흡착수단에 대하여 설명한다. Next, the electrostatic adsorption means will be described.
유지판(27)은 하면에 방형(方形)의 오목부를 2개 가지고 있고, 각 오목부에 내장된 평판전극을 유전체로 덮어 그 유전체의 주면이 유지판(27)의 하면과 동일평면으로 되어 있다. 매립된 각 평판전극은 각각 음양의 직류전원에 적절한 스위치를 거쳐 접속되어 있다. 따라서 각 평판전극에 양 또는 음의 전압이 인가되면 유지판(27)의 하면과 동일평면으로 되어 있는 유전체의 주면에 음 또는 양의 전하가 유기되고, 그들 전하에 의하여 상 기판(1b)의 투명 전극막과의 사이에 발생하는 쿨롱력으로 상 기판 (1b)이 정전 흡착된다. 각 평판전극에 인가하는 전압은 동극이어도 좋고, 각각 다른 쌍극이어도 좋다. 또한 주위가 대기인 경우, 진공흡착을 병용하여도 좋고, 정전흡착력이 큰 경우는 진공흡착수단을 필요로 하지 않아도 된다. The holding plate 27 has two rectangular recesses on its lower surface, and covers a flat plate electrode embedded in each recess with a dielectric so that the main surface of the dielectric is flush with the lower surface of the holding plate 27. . Each embedded plate electrode is connected to a negative DC power supply via an appropriate switch. Therefore, when a positive or negative voltage is applied to each of the plate electrodes, negative or positive charges are induced on the main surface of the dielectric which is coplanar with the lower surface of the holding plate 27, and these charges make the upper substrate 1b transparent. The upper substrate 1b is electrostatically adsorbed by the Coulomb force generated between the electrode films. The voltage applied to each of the flat plate electrodes may be the same electrode or may be different from each other. In the case where the atmosphere is the atmosphere, vacuum adsorption may be used in combination, and when the electrostatic adsorption force is large, the vacuum adsorption means may not be required.
그런데 샤프트(29)는 하우징(31, 32)에 고정되어 있다. 하우징(31)은 프레임 (3)에 대하여 리니어가이드(34)로 설치되고, 유지판(27)은 상하 이동 가능한 구조로 되어 있다. 그 상하 구동은 프레임(3)과 연결되는 프레임(35)상의 브래킷(38)에 고정된 모터(40)에 의해 행한다. 구동의 전달은 볼나사(36)와 너트하우징(37)에 의해 실행된다. 너트 하우징(37)은 하중계(33)를 거쳐 하우징(32)과 연결되고, 그 하부의 유지판(27)과 일체로 동작한다.However, the shaft 29 is fixed to the housings 31 and 32. The housing 31 is provided with the linear guide 34 with respect to the frame 3, and the holding plate 27 is a structure which can move up and down. The vertical drive is performed by the motor 40 fixed to the bracket 38 on the frame 35 connected to the frame 3. Transmission of the drive is performed by the ball screw 36 and the nut housing 37. The nut housing 37 is connected to the housing 32 via a load gauge 33 and operates integrally with the retaining plate 27 thereunder.
따라서, 모터(40)에 의해 샤프트(29)가 하강하고, 상 기판(1b)을 유지한 유지판(27)이 하강하여 상 기판(1b)이 테이블(9)상의 하 기판(1a)과 밀착하여 접합에 필요한 가압력을 줄 수 있는 구조로 되어 있다. 이 경우, 하중계(33)는 가압력센서로서 작용하고, 차차 피드백된 신호를 기초로 모터(40)를 제어함으로써 상하 기 판(1a, 1b)에 원하는 가압력을 주는 것이 가능하게 되어 있다. Therefore, the shaft 29 is lowered by the motor 40, the holding plate 27 holding the upper substrate 1b is lowered, and the upper substrate 1b is in close contact with the lower substrate 1a on the table 9. It is designed to give the pressing force necessary for joining. In this case, the load gauge 33 acts as a pressing force sensor, and it is possible to give a desired pressing force to the upper and lower substrates 1a and 1b by controlling the motor 40 based on the gradually fed back signal.
하 기판(1a)은 중력방향의 탑재이기 때문에, 도 2에 나타내는 바와 같이 테이블(9)에 설치한 위치결정부재(81)에 가압롤러(82)에 의한 수평방향에서의 가압에 의한 위치결정의 고정으로 충분하다. Since the lower substrate 1a is mounted in the gravity direction, as shown in FIG. 2, the positioning by 81 in the horizontal direction by the pressure roller 82 is applied to the positioning member 81 provided on the table 9. Fixing is enough
그러나 접합하기 직전의 미소 위치결정시에 상 기판(1b)이 하 기판(1a)상의 시일제나 액정제와 접촉한 영향으로 하 기판(1a)이 어긋나거나, 솟아오를 가능성이 있다. 또 진공챔버 내가 감압되어 진공이 되는 과정에서 하 기판(1a)과 테이블(9) 사이에 들어가 있는 공기가 배출되어 하 기판(1a)이 흔들거려 어긋날 가능성이 있다. 이 때문에 테이블(9)에 대해서도 정전흡착의 기능을 가지게 하고 있다. 그리고 테이블(9)에 상하(Z축)방향으로 이동할 수 있는 핀을 설치하여 접지해 두면, 접합후의 기판의 대전방지와 테이블(9)로부터의 떼어냄을 용이하게 행할 수 있다.However, there is a possibility that the lower substrate 1a may shift or rise due to the effect that the upper substrate 1b is in contact with the sealing agent or the liquid crystal agent on the lower substrate 1a at the time of the minute positioning just before bonding. In addition, in the process of decompressing the inside of the vacuum chamber to become a vacuum, air entering between the lower substrate 1a and the table 9 may be discharged and the lower substrate 1a may shake and shift. For this reason, the table 9 also has a function of electrostatic adsorption. When the pin 9 which is movable in the vertical (Z-axis) direction is provided on the table 9 and grounded, the antistatic of the substrate after the bonding and the detachment from the table 9 can be easily performed.
도 2에 나타내는 60은, 유지판(27)이 진공흡착을 하고 있어 진공챔버가 감압되어 진공흡착력이 사라져 상 기판(1b)이 낙하할 때에 유지판(27)의 약간 아래의 위치에서 받아 내는 받아냄 포올이고, 상 기판(1b)의 2개의 대각의 위치에 있어서 아래쪽으로 뻗은 샤프트(59)로 낚아 내린형으로 지지되어 있다. 구체적으로는 도시 생략하였으나, 샤프트(59)는 상 챔버유닛(21)을 거쳐 진공시일되어 회전과 상하 이동을 할 수 있게 되어 있다. 또 샤프트(59)는 유지판(27)의 상하 이동과 독립하여 상하로 이동할 수 있을 뿐만 아니라, 회전엑츄에이터에 의하여 회전시켜 받아냄 포올(60)이 액정을 양 기판(1a, 1b)의 주면의 넓이방향으로 확장시키거나, 그 후에 기판의 접합을 행하는 경우의 방해가 되지 않도록 퇴피시킬 수 있게 되어 있다. 60, the holding plate 27 is vacuum-absorbed, the vacuum chamber is depressurized, and the vacuum suction force disappears, so that the upper substrate 1b falls off and is received at a position slightly below the holding plate 27. It is an anti-pool and is supported by the shape caught up by the shaft 59 extended downward in the two diagonal positions of the upper board | substrate 1b. Although not shown in detail, the shaft 59 is vacuum-sealed through the upper chamber unit 21 to allow rotation and vertical movement. In addition, the shaft 59 can be moved up and down independently of the up and down movement of the holding plate 27, and is also rotated by a rotary actuator. The fool 60 receives liquid crystals from the main surfaces of both substrates 1a and 1b. It can be expanded so as to extend in the width direction or retracted so as not to be hindered when joining the substrate thereafter.
다음에 본 기판조립장치로 기판을 접합하는 공정에 대하여 설명한다. Next, the process of joining a board | substrate with this board assembly apparatus is demonstrated.
먼저, 테이블(9)에 상 기판(1b)을 유지한 지그를 탑재하고, 구동모터(5)로 XYθ스테이지(T1)를 기판 접합부(S2)로 이동시킨다. 그곳에서 모터(40)에 의하여 샤프트(29)를 거쳐 유지판(27)을 하강시키고, 테이블(9)상의 상 기판(1b)을 진공흡착시키고 나서 모터(40)로 상승시켜 상 기판(1b)을 대기상태로 한다. First, the jig | tool which hold | maintained the upper board | substrate 1b is mounted on the table 9, and the XY (theta) stage T1 is moved to the board | substrate junction part S2 by the drive motor 5. As shown in FIG. There, the holding plate 27 is lowered via the shaft 29 by the motor 40, the upper substrate 1b on the table 9 is vacuum-adsorbed, and then raised to the motor 40 to raise the upper substrate 1b. To stand by.
XYθ스테이지(T1)는 액정 적하부(S1)로 되돌아가, 비게 된 지그가 벗겨지고 테이블(9)상에 하 기판(1a)이 탑재되어 원하는 위치에 고정 유지된다. The XYθ stage T1 is returned to the liquid crystal dropping portion S1, the jig which is emptied is peeled off, and the lower substrate 1a is mounted on the table 9 and is fixedly held at a desired position.
도 1에는 도시 생략하였으나, 액정제를 공급하는 디스펜서(17) 가까이의 프레임(3)에 시일제를 토출하는 디스펜서가 있고, XYθ스테이지(T1)의 각 모터(5, 6)로 하 기판(1a)을 XY축방향으로 이동시키면서 시일제를 토출시켜 하 기판(1a)상에 클로즈(폐쇄)한 패턴으로 시일제를 묘획한다. Although not shown in FIG. 1, there is a dispenser for discharging the sealing agent in the frame 3 near the dispenser 17 for supplying the liquid crystal agent, and the lower substrate 1a is formed by each motor 5, 6 of the XYθ stage T1. The sealing compound is drawn in a pattern in which the sealing agent is discharged while moving in the XY axis direction and closed (closed) on the lower substrate 1a.
그후, 디스펜서(17)로부터 액정제를 하 기판(1a)상에 공급한다. Thereafter, the liquid crystal agent is supplied from the dispenser 17 onto the lower substrate 1a.
도 3에 본 발명의 액정공급장치의 구조를 나타낸다. 액정공급장치는 마이크로 펌프부(M1), 유로전환부(M2), 흡입부(M3), 토출부(M4), 구동부(M5), 제어부(100)로 구성되어 있다. 3 shows the structure of the liquid crystal supply device of the present invention. The liquid crystal supply device is composed of a micro pump section M1, a flow path switching section M2, a suction section M3, a discharge section M4, a drive section M5, and a control section 100.
마이크로펌프부(M1)는, 원하는 양의 액정을 노즐(109)에 공급하기 위한 공급탱크인 유리제의 마이크로실린지(101)와 구동부에 의해 본 도면에서는 상하방향으로 이동하는 피스톤(102)으로 구성하고 있다. The micropump section M1 is composed of a glass microcylinder 101, which is a supply tank for supplying a desired amount of liquid crystal to the nozzle 109, and a piston 102, which is moved up and down in this drawing by the driving section. Doing.
유로전환부(M2)는 유로 A, 유로 B, 유로 C를 도시 생략한 모터에 의해 유로전환포트(104)를 회전시켜 유로전환을 행하는 전환밸브(103)와 이음새(105)로 구성 하고 있다. 전환밸브의 전환타이밍은, 도시 생략한 모터를 피스톤(102)의 이동과 중복하지 않도록 제어부(100)로부터 제어하고 있다.The flow path switching unit M2 is composed of a switching valve 103 and a joint 105 for switching flow paths by rotating the flow path switching port 104 by a motor (not shown). The switching timing of the selector valve is controlled by the controller 100 so that the motor (not shown) does not overlap with the movement of the piston 102.
본 도면에서는 유로 A-B를 연결하도록 유로전환포트(104)의 방향을 설정하고 있고, 이 위치를 흡입포트위치라 한다. 또 유로전환포트(104)의 방향을 회전시켜 B-C를 연결하도록 한 위치를 토출포트위치라 한다. In this figure, the direction of the flow path switching port 104 is set to connect the flow path A-B, and this position is called a suction port position. The position where the flow path switching port 104 is rotated to connect the B-C is referred to as the discharge port position.
흡입부(M3)는 액정제를 공급하는 배관의 일부를 구성하는 튜브(106)와 이미 탈포 처리된 액정제(120)가 충전된 탱크(107)로 구성되어 있다. The suction part M3 is comprised from the tube 106 which comprises a part of piping which supplies a liquid crystal agent, and the tank 107 filled with the liquid crystal agent 120 which was already defoamed.
여기서, 이음새(105)에는 다공질 유리나 다공질 실리콘 등의 이온교환수지가 액정제(120)의 유로에 필터로서 내장되어 있다. 이 필터는 액정제의 이온성 불순물을 흡착하여 액정제의 오염을 제거하거나, 유로전환밸브(103)의 열화에 의해 발생한 먼지를 액정 패널측에 공급하지 않도록 하고 있다.In the seam 105, ion exchange resins such as porous glass and porous silicon are incorporated in the flow path of the liquid crystal agent 120 as a filter. This filter adsorbs the ionic impurities of the liquid crystal to remove the contamination of the liquid crystal or prevents the dust generated by the deterioration of the flow path switching valve 103 from being supplied to the liquid crystal panel side.
토출부(M4)는 액정제를 공급하는 배관을 구성하는 튜브(108)와 튜브(108)의 선단에 설치한 노즐(109)로 구성되어 있다.The discharge part M4 is comprised from the tube 108 which comprises the piping which supplies a liquid crystal agent, and the nozzle 109 provided in the front-end | tip of the tube 108. As shown in FIG.
구동부(M5)는 피스톤(102)을 정밀하게 위치결정 구동하기 위한 것이다. 즉 모터(110)의 회전량을 나사(111)를 거쳐 너트(112)에 전달하고, 너트(112)가 안내기구(114)를 따라 본 도면에서는 상하방향으로 이동시킨다. 이에 의하여 연결부(113)를 거쳐 피스톤(102)을 구동하고 있다. 또 피스톤(102)의 이동량은 너트(112) 근방에 설치한 리니어스케일 검출헤드(116)에 의하여 리니어 스케일부(115)의 위치변화를 제어부(100)에서 관찰하고 있다.The drive unit M5 is for precisely positioning and driving the piston 102. That is, the rotational amount of the motor 110 is transmitted to the nut 112 via the screw 111, and the nut 112 moves up and down in this drawing along the guide mechanism 114. As a result, the piston 102 is driven via the connecting portion 113. In addition, as for the movement amount of the piston 102, the control part 100 observes the position change of the linear scale part 115 by the linear scale detection head 116 provided in the nut 112 vicinity.
다음에 적하동작을 행하기 위한 디스펜서의 동작예를 나타낸다. 또한 어느 한쪽의 기판면상에는 시일제가 액정패널의 표시영역을 둘러싸도록 이음매 없이 도포되어 있다.Next, an operation example of the dispenser for performing the dropping operation will be described. Moreover, the sealing compound is apply | coated seamlessly on either board | substrate surface so that the display area of a liquid crystal panel may be enclosed.
도 3의 모터(110)를 회전시켜 마이크로실린지(110) 내의 피스톤(102)을 이동시킨다. 이동시키는 양은 적하량을 기초로 제어부(100)에서 모터(110)의 회전량을 산출하고 있다. 피스톤(102)이 이동함으로써, 튜브(106)에는 음압이 걸린다. 이에 의하여 탱크(107)로부터 액정제(120)가 마이크로실린지(101) 내에 피스톤(102)이 이동한 체적분만큼 흡입할 수 있다.The motor 110 of FIG. 3 is rotated to move the piston 102 in the microcylinder 110. The amount to move is the rotation amount of the motor 110 in the control part 100 based on the dripping amount. As the piston 102 moves, the tube 106 receives a negative pressure. As a result, the liquid crystal agent 120 can be sucked from the tank 107 by the volume of the piston 102 in the microcylinder 101.
여기서 흡입하는 양은, 뒤에서 설명하는 상기 디스펜서가 1 기판당에 공급하는 양이며, 피스톤(102)의 이동량은 피스톤(102)의 직경으로부터 결정된다. 그러나 피스톤(102)에는 마찰부하 등이 걸린다. 이 때문에 모터의 지령회전량뿐만 아니라, 피스톤(102)이 실제로 이동한 양을 도시 생략한 인코더나 리니어스케일(115)의 카운트치로부터 판독한다. 그리고 그것들에 의하여 얻어진 피스톤(102)의 이동량이, 원하는 흡입량과 그 피스톤(102)의 직경의 몫이 되도록 모터의 회전량을 제어부(100)에서 제어한다. 이에 의하여 원하는 액정공급량만큼 마이크로실린지(101) 내에 액정제 (120)를 흡입하는 것이 가능해진다.The amount sucked here is an amount supplied by the said dispenser per board | substrate demonstrated later, and the movement amount of the piston 102 is determined from the diameter of the piston 102. FIG. However, the piston 102 is subjected to frictional loads and the like. For this reason, not only the amount of command rotation of the motor but also the amount actually moved by the piston 102 is read out from the count value of the encoder or linear scale 115 (not shown). And the control part 100 controls the rotation amount of a motor so that the movement amount of the piston 102 obtained by them may become a share of a desired suction amount and the diameter of the piston 102. FIG. As a result, the liquid crystal agent 120 can be sucked into the micro syringe 101 by the desired liquid crystal supply amount.
또 흡입량을 조절하는 다른 방법으로서, 도 4에 나타내는 바와 같이 흡입부 (M3)와 튜브(106)의 도중에 유량계(131)를 설치하고, 흡입동작 중에 튜브(106)를 흐르는 액정제(120)의 양을 계측하는 것도 가능하다. 즉, 피스톤(102)의 이동과 함께 유량의 계측을 개시하여 피스톤(102)의 이동 중에 미리 설정한 상기 실린지의 액정제 (120)가 공급하는 양이 되는 곳에서 피스톤(102)의 이동을 정지시킨다. 그 리고 그 때의 모터회전량을 리니어스케일(115)의 카운트값으로부터 좌표 환산하여 피스톤(102)의 위치를 기억한다. 또한 하나의 기판 중에 계속해서 액정제를 공급하는 경우에는 여기서 기억한 위치로부터 다시 유량계측을 개시하여 마찬가지로 공급량과 유량계 (131)로 관찰되는 유량이 같아진 피스톤(102)의 좌표를 따로 기억한다. 이것을 반복함으로써 원하는 액정공급량만큼 마이크로실린지(101) 내에 액정제(120)를 흡입하는 것이 가능해진다.As another method of adjusting the suction amount, as shown in FIG. 4, a flowmeter 131 is provided between the suction part M3 and the tube 106 and the liquid crystal agent 120 flowing through the tube 106 during the suction operation. It is also possible to measure the quantity. That is, the measurement of the flow rate is started with the movement of the piston 102, and the movement of the piston 102 is stopped at the place where the amount of the liquid crystal agent 120 of the above-mentioned syringe is supplied during the movement of the piston 102. Let's do it. And the motor rotation amount at that time is coordinate-converted from the count value of the linear scale 115, and the position of the piston 102 is memorize | stored. In the case where the liquid crystal is continuously supplied to one substrate, the flow rate measurement is started again from the position stored here, and the coordinates of the piston 102 in which the supply amount and the flow rate observed by the flow meter 131 are similarly stored are stored separately. By repeating this, the liquid crystal agent 120 can be sucked into the micro syringe 101 by the desired liquid crystal supply amount.
또, 흡입하는 양을 조절하는 다른 방법으로서, 앞서 설명한 유량계(131)를 탱크 내 액정잔량계로서 사용하는 방법이 있다. 이것은 흡입부(M3)와 튜브(106)의 도중에 탱크 내 액정 잔량계(131)를 설치하여 흡입동작 중에 마이크로실린지 내로 공급되는(흡입되는) 액정제(120)의 양을 계측한다. 피스톤(102)의 이동과 함께 탱크 내 잔량의 계측을 개시한다. 그리고 흡입동작 개시전의 탱크 내 잔량과, 흡입동작 중에 계측되는 탱크 내 잔량과의 차가 피스톤(102)의 이동 중에 미리 설정한 상기 실린지의 액정제(120)의 공급하는 양이 되는 곳에서 피스톤(102)의 이동을 정지시킨다. 그때의 모터회전량을 리니어스케일(115)의 카운트값으로부터 좌표 환산하여 피스톤(102)의 위치를 기억한다. 여기서는 칭량계를 탱크 내 액정 잔량계(131)로서 사용한 예를 나타내었으나, 도 5에 나타내는 바와 같이 초음파센서를 사용한 액면센서(132)를 탱크(107) 바닥의 바깥쪽에 설치하여 액면의 변화를 계측하여도 동일한 계측이 가능하다. 또 중량계를 탱크 하부에 설치하여 중량의 변화로부터 액정의 잔량을 계측할 수도 있다. 또한 액면계를 탱크(107) 내에 설치하여 계측하는 것도 가능하다. As another method of adjusting the amount of suction, there is a method of using the above-described flow meter 131 as a liquid crystal residual meter in a tank. This installs an in-tank liquid crystal residual meter 131 in the middle of the suction section M3 and the tube 106 to measure the amount of the liquid crystal agent 120 supplied (inhaled) into the microcylinder during the suction operation. Measurement of the remaining amount in the tank starts with the movement of the piston 102. The piston 102 is positioned where the difference between the remaining amount in the tank before the start of the suction operation and the remaining amount in the tank measured during the suction operation becomes the amount to be supplied to the liquid crystal agent 120 of the syringe set in advance during the movement of the piston 102. Stop the movement of). The motor rotation amount at that time is coordinate-converted from the count value of the linear scale 115, and the position of the piston 102 is stored. Here, an example in which a weighing meter is used as the liquid crystal residual meter 131 in the tank is shown. However, as shown in FIG. 5, a liquid level sensor 132 using an ultrasonic sensor is provided outside the bottom of the tank 107 to measure a change in the liquid level. The same measurement is also possible. In addition, a weight scale may be provided at the bottom of the tank to measure the remaining amount of liquid crystal from the change in weight. It is also possible to install the liquid level gauge in the tank 107 and measure it.
또한 하나의 기판 중에 계속하여 액정제를 공급하는 경우에는, 여기서 기억한 위치로부터 다시 탱크 내 액정 잔량계측을 개시하고, 마찬가지로 공급량과 탱크 내 액정 잔량계(131 또는 132)로 관찰되는 흡입량(흡입동작 개시전의 탱크 내 잔량과, 흡입동작 중에 계측되는 탱크 내 잔량과의 차)이 같아진 피스톤(102)의 좌표를 따로 기억하고, 이것을 반복함으로써 원하는 액정 공급량만큼 마이크로실린지(101) 내에 액정제(120)를 흡입하는 것이 가능하게 된다.In the case where the liquid crystal agent is continuously supplied to one substrate, the liquid crystal residual amount measurement in the tank is started again from the position stored here, and the amount of suction observed by the supply amount and the liquid crystal residual amount meter 131 or 132 in the tank (suction operation) By storing the coordinates of the piston 102 in which the remaining amount in the tank before the start and the remaining amount in the tank measured during the suction operation are equal to each other, and repeating this, the liquid crystal agent (in the micro syringe 101 by the desired liquid crystal supply amount) is repeated. It is possible to inhale 120).
마이크로실린지(101) 내에 소정량의 액정을 다 흡입하면, 유로전환포트(104)를 토출포트위치로 회전 이동시킨다. 다음에 모터(110)를 회전시켜 피스톤(102)을 이동시키고, 노즐(109)로부터 액정제(120)를 기판면상에 공급(적하)한다. When a predetermined amount of liquid crystal is sucked into the microcylinder 101, the flow path switching port 104 is rotated to the discharge port position. Next, the piston 102 is moved by rotating the motor 110, and the liquid crystal agent 120 is supplied (dropped) onto the substrate surface from the nozzle 109.
피스톤(102)을 이동시키는 양은 미리 설정한 한 방울당의 양에 상당하는 분만 큼이다. 본 도면에서는 다음에 적하하는 위치에 노즐 또는 기판을 이동시키고, 다시 피스톤을 구동하여 적하를 행하고, 이것을 설정분 행하여 마이크로실린지(101) 내에 흡입한 액정 총량을 1매의 기판에 공급한다. The amount to move the piston 102 is only equivalent to the amount per drop previously set. In this figure, a nozzle or a board | substrate is moved to the next dropping position, a piston is dripped again, and it carries out a predetermined division, and it supplies this to the board | substrate with the total amount of the liquid crystal sucked in the micro syringe 101 by this.
이상의 액정공급동작에 대하여 마이크로실린지에의 흡입량을 결정하는 예를 구체적인 기판을 예로 들어 설명한다.An example of determining the suction amount into the microcylinder with respect to the above liquid crystal supply operation will be described taking a specific substrate as an example.
도 6의 (a)는 6매의 액정패널을 1매의 기판으로부터 취하는 예이다. 이 예에서는 디스펜서(17)는 도시 생략하나 디스펜서(17A), 디스펜서(17B), 디스펜서(17C)의 3세트가 장치에 탑재되어 있어, 모두 사용할 수 있는 것으로 한다. 6A illustrates an example in which six liquid crystal panels are taken from one substrate. In this example, although the dispenser 17 is not shown in figure, three sets of the dispenser 17A, the dispenser 17B, and the dispenser 17C are mounted in the apparatus, and all can be used.
유리기판(200)에는 미리 분할하여 액정패널이 되는 영역(201)이 결정되어 있다. 액정패널영역(201) 내에 적하동작 경로(203)를 따라 노즐 또는 기판을 이동하 여 액정(202)을 적하한다. 204의 점선은 액정패널 사이의 이동경로를 나타내고 있고, 액정 패널영역(201A)과 액정패널영역(201B)을 도시 생략한 디스펜서(17A), 액정패널영역(201C과 201D)을 디스펜서(17B), 액정패널영역(201E과 201F)을 도시 생략한 디스펜서(17C)를 사용하여 원하는 액정제를 공급한다. 여기서 하나의 액정패널영역에는 미리 대상의 화면크기와 셀갭의 설계치로부터 최적한 액정의 공급량이 각각 패널의 사양에 의하여 설정되어 있다. 예를 들면 대각 20 인치의 액정패널에서는 700mg 정도의 액정제를 공급하도록 설정되어 있다. The glass substrate 200 has a region 201 that is divided in advance and becomes a liquid crystal panel. The liquid crystal 202 is dropped by moving a nozzle or a substrate along the dropping operation path 203 in the liquid crystal panel region 201. The dotted line 204 indicates the movement path between the liquid crystal panels, the dispenser 17A (not shown) of the liquid crystal panel region 201A and the liquid crystal panel region 201B, the dispenser 17B, and the liquid crystal panel regions 201C and 201D. The desired liquid crystal agent is supplied using the dispenser 17C (not shown) of the liquid crystal panel regions 201E and 201F. Here, in one liquid crystal panel region, an optimum supply amount of liquid crystal is set in advance according to the panel specifications from the target screen size and the cell gap design value. For example, a liquid crystal panel having a diagonal 20 inches is set to supply a liquid crystal of about 700 mg.
따라서, 이 예에서는 디스펜서(17A, 17B, 17C) 각각에 액정제를 우선 1 패널분, 즉 700 mg의 양을 앞서 나타낸 피스톤 위치계측이나 유량계측이나, 탱크잔량 계측 등의 방법에 의해 계량하면서 마이크로실린지(101)에 흡입하고, 흡입완료시의 피스톤위치를 모터좌표로서 기억한다.Therefore, in this example, the liquid crystal agent is first applied to each of the dispensers 17A, 17B, and 17C, that is, the amount of 700 mg is measured by a method such as the piston position measurement, the flow measurement, or the remaining tank measurement. It suctions in the syringe 101, and memorize | stores the piston position at the completion of suction as a motor coordinate.
예를 들면 디스펜서(17a)에서는 마이크로실린지에 700 mg을 흡입하였을 때의 모터좌표가 700 카운트의 위치이었다고 한다. 여기서는 700 카운트를 기억한다. 이 경우는 1 카운트가 1 mg에 상당하고 있다. 다음에 700 카운트의 위치로부터 다시 계측을 개시하여 마이크로실린지에 700 mg을 흡입하였을 때의 모터좌표가 1405 카운트의 위치이었다고 한다. 전번의 계측에서는 1 mg 이 1 카운트에 상당하고 있기 때문에 2회째의 계측도 마찬가지로 1400 카운트를 나타내는 것을 예측할 수 있다. 그러나 실제로는 구동부의 나사부의 이송 정밀도가 불균일하기 때문에 이것이 틀리는 경우가 있다. 이 예에서는 이송량이 적어지고 있기 때문에 결과적으로 모터의 이동량이 5 카운트 많아져 있으나, 그대로 1405를 기억한다. For example, in the dispenser 17a, the motor coordinates at the time of inhaling 700 mg into the microcylinder were 700 count positions. In this example, 700 counts are stored. In this case, one count is equivalent to 1 mg. Next, measurement was started again from the position of 700 counts, and it was assumed that the motor coordinates when the 700 mg was inhaled in the microcylinder were 1405 counts. Since 1 mg corresponds to 1 count in the previous measurement, it can be predicted that the second measurement also shows 1400 counts in the same manner. However, in practice, this may be wrong because the feeding accuracy of the screw portion of the drive portion is uneven. In this example, since the feed amount decreases, the motor movement amount increases by 5 counts, but 1405 is stored as it is.
또, 디스펜서(17b)에서는 마이크로실린지에 700 mg을 흡입하였을 때의 모터좌표가 680 카운트의 위치이었다고 한다. 여기서는 680 카운트를 기억한다. 이것은 디스펜서(17a)와 마찬가지로 이송 정밀도의 불균일 외에 피스톤의 지름, 또는 마이크로실린지의 내경이 설계값 디스펜서(17a)보다도 크기 때문에, 모터의 이동량이 작았던 것으로 생각된다. 2회째도 마찬가지로 하여 모터좌표가 1360 카운트의 위치에 있기 때문에 1360을 기억한다. In the dispenser 17b, the motor coordinates at the time of inhaling 700 mg into the microcylinder were assumed to be 680 count positions. In this example, 680 counts are stored. This is considered to be smaller than the design value dispenser 17a because the diameter of the piston or the inner diameter of the microcylinder is larger than the design value dispenser 17a in addition to the nonuniformity in conveying accuracy as in the dispenser 17a. Similarly, in the second time, 1360 is stored because the motor coordinate is in the position of 1360 count.
또 디스펜서(17c)에서는, 마이크로실린지에 700 mg을 흡입하였을 때의 모터좌표가 705 카운트의 위치이었다고 한다. 여기서는 705 카운트를 기억한다. 이것은 디스펜서(17a)와 마찬가지로 이송 정밀도의 불균일 외에 피스톤의 지름, 또는 마이크로실린지의 내경이, 디스펜서(17a)의 설계치보다도 작기 때문에 모터의 이동량이 컸던 것으로 생각된다. 2회째도 마찬가지로 하여 모터좌표가 1410 카운트의 위치에 있었기 때문에 1410을 기억한다. In the dispenser 17c, it is assumed that the motor coordinates at the time of inhaling 700 mg into the microcylinder were 705 count positions. In this example, 705 counts are stored. As with the dispenser 17a, it is considered that the amount of movement of the motor is large because the diameter of the piston or the inner diameter of the micro syringe is smaller than the design value of the dispenser 17a in addition to the nonuniformity of the feeding accuracy. Similarly, in the second time, since the motor coordinate was at the position of 1410 count, 1410 is stored.
이와 같이 계측결과에 불균일이 있는 것은 마이크로실린지의 기기차에 기인하는 것이나, 원하는 액정을 공급하기 위한 모터 이동량은 기억되어 있기 때문에, 1회째의 공급동작, 즉 디스펜서(17a)에서는 액정패널영역(201a), 디스펜서(17b)에서는 액정패널영역(201c), 디스펜서(17c)에서는 액정패널영역(201e)에 원하는 액정량(700 mg)을 공급하기 위한 모터 이동량은, 디스펜서(17a)에서는 1405에서 700을 뺀 705 카운트를 원하는 적하수로 나눈 카운트마다, 디스펜서(17b)에서는 1360에서 680을 뺀 680카운트를 원하는 적하수로 나눈 카운트마다, 디스펜서(17c)에서는 1410에서 705를 뺀 705 카운트를 원하는 적하수로 나눈 카운트마다만큼 이동경로 (202)를 따라 공급하여 가면 좋다.This non-uniformity in the measurement result is due to the device of the microcylinder, but since the motor movement amount for supplying the desired liquid crystal is stored, the liquid crystal panel region 201a is used in the first supply operation, that is, the dispenser 17a. ), The motor displacement for supplying the desired liquid crystal amount (700 mg) to the liquid crystal panel region 201c in the dispenser 17b and the liquid crystal panel region 201e in the dispenser 17c is 1405 to 700 in the dispenser 17a. For every count that divides 705 counts by the desired drip, every dispenser (17b) minus 680 counts from 1360 to 680 counts, and each dispenser (17c) counts 705 counts minus 705 for 1410 to the desired drip. It is good to supply along the movement route 202 for every divided count.
2회째의 공급동작, 즉 디스펜서(17a)에서는 액정패널영역(201b), 디스펜서 (17b)에서는 액정패널영역(201d), 디스펜서(17c)에서는 액정패널영역(201f)에 원하는 액정량(700 mg)을 공급하기 위한 모터 이동량은, 디스펜서(17a)에서는 기억된 700 카운트를 원하는 적하수로 나눈 카운트마다, 디스펜서(17b)에서는 기억된 680 카운트를 원하는 적하수로 나눈 카운트마다, 디스펜서(17c)에서는 기억된 705 카운트를 원하는 적하수로 나눈 카운트마다만큼 이동경로(202)를 따라 공급하여 가면 좋다. The second supply operation, that is, the desired amount of liquid crystal (700 mg) in the liquid crystal panel region 201b in the dispenser 17a, the liquid crystal panel region 201d in the dispenser 17b, and the liquid crystal panel region 201f in the dispenser 17c. The amount of motor movement for supplying is stored in the dispenser 17a for each count obtained by dividing the stored 700 counts by the desired dripping water, and in the dispenser 17b for each count obtained by dividing the stored 680 counts by the desired dripping water. The supplied 705 counts may be supplied along the movement route 202 for each count divided by the desired drip.
또, 도 6의 (b)는 2매의 액정패널을 1매의 기판으로부터 취하는 예이다. 이 예에서는 디스펜서(17)는 도시 생략하나, 디스펜서(17A), 디스펜서(17B), 디스펜서 (17C), 디스펜서(17D)의 4세트가 장치에 탑재되어 있고, 사용할 수 있는 것으로 한다. 6B is an example which takes two liquid crystal panels from one board | substrate. Although the dispenser 17 is not shown in this example, it is assumed that four sets of the dispenser 17A, the dispenser 17B, the dispenser 17C, and the dispenser 17D are mounted in the apparatus and can be used.
200은 유리, 201은 분할하여 액정패널이 되는 영역, 202는 적하하는 액정, 203은 적하동작경로, 204의 점선은 액정패널 사이의 이동경로를 나타내고 있다. 액정패널영역(210A)을 2개의 디스펜서를 사용하도록 영역(211A)과 영역(211B)으로 나누어 도시 생략한 디스펜서(17A)와 디스펜서(17B)를 사용하여 액정패널영역(210) 중 영역(211A)을 디스펜서(17A)에서, 영역(211B)을 디스펜서(17B)에서 공급한다. 마찬가지로 액정패널영역(210B) 내를 2개의 영역(211C), 영역(211D)으로 분할하여 영역 (211C)을 디스펜서(17C)에서, 영역(211D)을 디스펜서(17D)에서 공급한다. 이 예에서는 대각 30 인치의 액정패널로서 1400 mg의 액정제 공급량이 설정되어 있고, 마이크로실린지의 액정흡입량은 하나의 패널을 2개의 마이크로실린지를 사용하여 공급하기 때문에 700 mg으로 설정된다. 200 denotes glass, 201 divides into a liquid crystal panel, 202 denotes a liquid crystal dropping, 203 denotes a dropping operation path, and 204 dotted lines indicate a movement route between the liquid crystal panels. The liquid crystal panel region 210A is divided into a region 211A and a region 211B so that two dispensers are used, and a region 211A of the liquid crystal panel region 210 using the dispenser 17A and the dispenser 17B (not shown). Is supplied from the dispenser 17A, and the region 211B is supplied from the dispenser 17B. Similarly, the liquid crystal panel region 210B is divided into two regions 211C and 211D to supply the region 211C from the dispenser 17C and the region 211D from the dispenser 17D. In this example, a liquid crystal panel supplying amount of 1400 mg is set as a diagonal 30-inch liquid crystal panel, and the liquid crystal suction amount of the micro syringe is set to 700 mg because one panel is supplied using two micro syringes.
또, 도 6의 (c)는 1매의 액정패널을 1매의 기판으로부터 취하는 예이다. 이 예에서는 디스펜서(17)는 도시 생략하였으나 디스펜서(17A), 디스펜서(17B), 디스펜서 (17C), 디스펜서(17D)의 4세트가 장치에 탑재되어 있고, 사용할 수 있는 것으로 한다. 6C is an example which takes one liquid crystal panel from one board | substrate. In this example, although the dispenser 17 is not shown in figure, four sets of the dispenser 17A, the dispenser 17B, the dispenser 17C, and the dispenser 17D are mounted in the apparatus, and it can be used.
액정패널영역(220)을 4개의 디스펜서를 사용하도록 영역(221A, 221B, 221C, 221D)으로 나누어 각각의 영역마다 각각의 디스펜서를 사용하여 원하는 양의 액정제를 공급한다. 이 예에서는 대각 50 인치의 액정패널로서 3600 mg의 액정제공급량이 설정되어 있다. 그 때문에 마이크로실린지의 액정흡입량은 하나의 패널을 4개의 마이크로실린지를 사용하여 공급하기 때문에 900 mg으로 설정되게 된다. The liquid crystal panel region 220 is divided into regions 221A, 221B, 221C, and 221D so as to use four dispensers, and a desired amount of liquid crystal agent is supplied to each region by using each dispenser. In this example, the liquid crystal panel supply amount of 3600 mg is set as a 50-inch diagonal liquid crystal panel. Therefore, the liquid crystal intake amount of the micro syringe is set to 900 mg because one panel is supplied using four micro syringes.
원하는 양의 액정제를 기판면의 패널영역 내에 다 적하하면 액정제가 시일제의 패턴의 안쪽으로 충분히 널리 퍼지게 한 후, 기판의 접합을 행한다. When the desired amount of the liquid crystal agent is added dropwise into the panel region of the substrate surface, the liquid crystal agent is spread widely inside the pattern of the sealing agent, and then the substrate is bonded.
즉, 실린더(22)로 상 챔버유닛(21)을 하강시키고, 그 플랜지부(21a)를 O링(44)에 맞닿게 하여 하 챔버유닛(10)과 진공챔버를 형성시킨다. 그리고 진공 챔버(23)를 개방하여 진공챔버 내를 감압하여 간다. 이때 상 기판(1b)은 유지판(127)에 진공 흡착된 상태로 되어 있기 때문에, 감압이 진행되어 진공화되어 가면 상 기판 (1b)에 작용하고 있던 진공흡착력은 사라져 가고, 상 기판(1b)이 자중으로 낙하한다. 이것을 도 2에 나타내는 바와 같이 받아냄 포올(60)로 받아내어 유지판(27)의 약간 아래 위치에 유지하여 둔다.That is, the upper chamber unit 21 is lowered to the cylinder 22, and the flange portion 21a is brought into contact with the O-ring 44 to form the lower chamber unit 10 and the vacuum chamber. The vacuum chamber 23 is opened to depressurize the inside of the vacuum chamber. At this time, since the upper substrate 1b is in the state of being vacuum-adsorbed by the holding plate 127, if the decompression proceeds and is vacuumed, the vacuum adsorption force acting on the upper substrate 1b disappears, and the upper substrate 1b is removed. This falls to its own weight. As shown in FIG. 2, this is picked up by the pick-up container 60, and it hold | maintains in the slightly lower position of the holding plate 27. As shown in FIG.
진공챔버 내가 충분히 진공이 된 시점에서 유지판(27)의 정전흡착수단에 전압을 인가하여 받아냄 포올(60)상의 상 기판(1b)을 유지판(27)에 쿨롱력으로 유지한다. 이 경우, 이미 진공으로 되어 있기 때문에, 유지판(27)과 상 기판(1b) 사이에 공기가 남는 일은 없어 그 공기가 배출될 때에 상 기판(1b)이 흔들리는 일도 없다. When the vacuum chamber is sufficiently vacuumed, a voltage is applied to the electrostatic adsorption means of the holding plate 27 to hold the upper substrate 1b on the pick-up column 60 with the coulomb force on the holding plate 27. In this case, since it is already in vacuum, air does not remain between the holding plate 27 and the upper substrate 1b, and the upper substrate 1b does not shake when the air is discharged.
그후 도시를 생략한 승강엑츄에이터로 샤프트(59)를 하강시키고, 다음에 회전엑츄에이터로 샤프트(59)를 회전시켜 받아냄 포올(60)이 상하 양 기판의 접합이 방해되지 않도록 하고 나서 모터(40)로 유지판(27)을 더욱 하강시켜 상 기판(1b)의 하면을 하 기판(1a)상의 시일제에 접촉시키고, 하중계(33)로 시일제에 부가하는 가압력을 계측하면서 모터(40)를 제어하여 상하 양 기판(1a, 1b)을 원하는 간격으로 접합한다. 또한 상기한 설명에서는 진공상태로 기판을 수취 포올로 수취하고 나서 정전흡착력을 작용시키도록 하고 있으나, 기판에 진공흡착력이 작용하지 않게 되기 전에 정전흡착력을 작용시키도록 하여도 좋다. Thereafter, the shaft 59 is lowered by a lifting actuator (not shown), and then the shaft 59 is rotated by a rotary actuator, and the motor 60 is prevented from interfering with the joining of the upper and lower substrates. The furnace 40 is further lowered so that the lower surface of the upper substrate 1b is brought into contact with the sealing agent on the lower substrate 1a, and the motor 40 is controlled while measuring the pressing force applied to the sealing agent by the load gauge 33. The upper and lower substrates 1a and 1b are joined at desired intervals. In addition, in the above description, the electrostatic adsorption force is applied after the substrate is received in the receiving foam in a vacuum state, but the electrostatic adsorption force may be applied before the vacuum adsorption force is not applied to the substrate.
이 경우 상 기판(1b)은 유지판(27)에 밀착하여 가서 중앙부가 아래로 늘어뜨려져 있는 것은 아니기 때문에 액정제 중의 스페이서에 악영향을 미치거나, 기판끼리의 위치맞춤이 불량이 되는 일은 없다. 이와 관련하여 위치맞춤은 도시를 생략한 상 챔버유닛(21)에 설치한 관찰창으로부터 화상인식 카메라로 상하 각 기판(1a, 1b)에 설치되는 위치맞춤 마크를 판독하여 화상처리에 의해 위치를 계측하고, XYθ스테이지 (T1)의 각 스테이지(4a 내지 4c)를 미동시켜 고정밀도의 위치맞춤을 행한다. 이 미동에 있어서 O링(44)이 극단적으로 변형하지 않고 진공이 유지되도록 볼베어링(87)이 상하 챔버유닛(10, 21)의 간격을 유지하고 있다.In this case, since the upper substrate 1b is in close contact with the holding plate 27 and the center portion thereof is not arranged downward, the upper substrate 1b does not adversely affect the spacers in the liquid crystal and the alignment of the substrates is not poor. In this regard, the alignment is measured by image processing by reading the alignment marks provided on the upper and lower substrates 1a and 1b with an image recognition camera from the observation window provided in the upper chamber unit 21 (not shown). Then, the stages 4a to 4c of the XYθ stage T1 are finely moved to perform high precision alignment. In this fine movement, the ball bearing 87 maintains the space between the upper and lower chamber units 10 and 21 so that the O-ring 44 is not deformed to the extreme and the vacuum is maintained.
접합이 종료되면, 진공밸브(23)를 조여서 가스퍼지밸브(25)를 개방하여 진공챔버 내에 N2나 크린드라이에어를 공급하여 대기압으로 되돌리고 나서 가스퍼지밸브 (25)를 폐쇄하고, 실린더(22)로 상 챔버유닛(21)을 상승시키고, XYθ스테이지(T1)를 액정적하부(S1)로 되돌려 테이블(9)로부터 접합한 기판을 떼어 내고, 다음의 접합에 대비한다. 테이블(9)로부터 떼어 낸후, 기판은 하류의 UV 광조사장치나 가열장치 등으로 시일제가 경화된다. When the bonding is completed, tighten the vacuum valve 23 to open the gas purge valve 25, supply N2 or clean dry air to the vacuum chamber, return to atmospheric pressure, close the gas purge valve 25, and close the cylinder 22. The furnace chamber unit 21 is raised, the XYθ stage T1 is returned to the liquid crystal dropping section S1, and the bonded substrate is removed from the table 9 to prepare for the next bonding. After removing from the table 9, the board | substrate hardens a sealing compound with a downstream UV light irradiation apparatus, a heating apparatus, etc.
이상의 실시형태에서는 시일제를 토출하여 액정을 적하한 후 즉시 접합으로 이행할 수 있기 때문에 기판이 먼지를 받기 어려워 생산수율을 향상할 수 있다. 또 XYθ스테이지(T1)를 상 기판(1b)의 진공챔버 내로의 반송에 이용할 수 있어 장치의 소형화가 도모되고 있다. 특히, XYθ스테이지(T1)의 이동으로 기판을 유지한 채로 액정제를 퍼지게 하기 때문에 1 기판에의 공급점수를 줄일 수 있어 공급량의 불균일은 작아지고, 또한 액정제의 확장을 접합할 기판끼리에서 행하기 때문에, 단시간으로 공급으로부터 접합으로 진행할 수 있어 생산성은 향상된다. In the above embodiment, since a sealing agent is discharged and a liquid crystal is dripped, it can transfer to bonding immediately, and a board | substrate is less likely to receive dust, and a production yield can be improved. In addition, the XYθ stage T1 can be used for conveyance into the vacuum chamber of the upper substrate 1b, thereby miniaturizing the apparatus. In particular, since the liquid crystal agent is spread while the substrate is held by the movement of the XYθ stage T1, the number of supply points to one substrate can be reduced, and the variation in supply amount becomes small, and the substrates to which the expansion of the liquid crystal agent is bonded are performed. Therefore, it can progress from supply to joining in a short time, and productivity will improve.
또, 액정제는 정확한 양을 공급할 수 있으므로, 액정제가 시일제 패턴의 바깥쪽으로 넘쳐 기판을 오염할 염려가 없고, 또한 세정공정은 불필요하게 되어 액정제의 쓸데 없는 소비를 없앨 수 있다. In addition, since the liquid crystal agent can supply the correct amount, there is no fear that the liquid crystal agent overflows to the outside of the sealant pattern and contaminates the substrate, and the cleaning process becomes unnecessary, thereby eliminating the wasteful consumption of the liquid crystal agent.
또, 이번의 실시예에서 나타낸 구성은, 기판접합장치의 하 테이블이 페이스트도포부 및 액정 적하부로 이동하여 페이스트도포를 행한 후 액정을 적하하고, 그 후 접합부로 이동하여 하 테이블을 내장한 하 챔버와 상 챔버가 합체하여 진공챔버 를 형성하고, 챔버 내를 감압한 후에 접합을 행하는 것이었다. 이것 대신에 페이스트도포와 액정적하와, 접합을 행하는 장치를 각각 다른 장치로 하여도 좋고, 페이스트도포와 액정적하를 행하는 장치를 하나의 장치로서 접합을 행하는 장치를 다른 장치로 하는 구성으로 하여도 좋다. 상기한 바와 같이 각 장치를 독립시키면, 장치 사이의 기판의 반송에 로봇핸드를 사용하게 되고, 각 장치에는 로봇핸드로부터 기판을 주고 받기 위한 기구가 설치되어 있다. 또 기판접합장치도 챔버를 2개로 분할하는 구성으로 할 필요가 없고, 일체형 챔버로서 기판을 챔버 내에 출입하기 위한 게이트밸브를 설치한 구성으로 한 것을 사용할 수 있다.In addition, in the structure shown in the present embodiment, the lower table of the substrate bonding apparatus moves to the paste coating portion and the liquid crystal dropping portion to perform paste coating, and then the liquid crystal is dropped, and then the lower chamber is moved to the bonding portion to incorporate the lower table. The vapor phase chambers merged together to form a vacuum chamber, and the pressure was reduced in the chamber before joining. Instead, the paste coating and the liquid crystal dropping and the device for laminating may be different devices, or the apparatus for performing the paste coating and liquid crystal dropping as one device may be configured as another device. . As described above, if each device is independent, the robot hand is used to transfer the boards between the devices, and each device is provided with a mechanism for transferring the boards from the robot hand. Moreover, the board | substrate bonding apparatus does not need to be divided into two chambers, and the board | substrate bonding apparatus can be used as the structure which provided the gate valve for entering and leaving a board | substrate in a chamber as an integrated chamber.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 액정제를 정밀도 좋게 기판에 공급할 수 있고, 또한 액정공급기의 사전준비나 생산 중의 조정에, 생산성을 저하시키는 일 없이 액정패널을 생산할 수 있어, 생산성이 향산된다.As described above, according to the present invention, the liquid crystal agent can be supplied to the substrate with high accuracy, and the liquid crystal panel can be produced without lowering the productivity in advance preparation of the liquid crystal supply and adjustment during production, thereby increasing productivity.

Claims (13)

  1. 접합할 한쪽의 기판을 유지판의 하면에 유지하고, 접합시킬 다른쪽의 기판을 테이블상에 유지하여 대향시키고, 테이블상에 유지한 기판상에 액정제를 공급한 후, 양 기판의 간격을 좁혀 어느 하나의 기판에 설치한 접착제에 의해 양 기판을 접합하는 액정기판의 조립방법에 있어서, One substrate to be bonded is held on the lower surface of the holding plate, and the other substrate to be bonded is held on the table to face each other. After supplying the liquid crystal agent on the substrate held on the table, the distance between both substrates is narrowed. In the method of assembling a liquid crystal substrate in which both substrates are joined by an adhesive provided on any one substrate,
    액정제를 기판에 공급하기 전에, 액정제를 탱크로부터 계량하면서 마이크로실린지 내에 충전함과 동시에, 마이크로실린지 내의 피스톤 구동모터에 설치한 인코더의 펄스 수를 카운트하는 공정과, Before supplying the liquid crystal agent to the substrate, filling the microcylinder while measuring the liquid crystal agent from the tank, and counting the number of pulses of the encoder installed in the piston drive motor in the microcylinder;
    계량하여 마이크로실린지 내의 액정제가 원하는 액정량이 되도록 공급동작을 제어하는 공정과, Measuring and controlling the supply operation so that the liquid crystal agent in the microcylinder is a desired amount of liquid crystal;
    기판과 액정 토출구멍과의 기판의 주면에 평행한 방향의 상대위치를 변화시키면서 상기 마이크로실린지 내에 계량 충전한 액정제를, 원하는 위치에 상기 인코더의 카운트 수에 따라 상기 피스톤을 구동함으로써 적하하면서 계량 충전한 총량을 기판면상에 공급하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정기판의 조립방법.The liquid crystal agent metered and filled in the microcylinder is dropped while driving the piston according to the number of counts of the encoder at a desired position while changing the relative position in the direction parallel to the main surface of the substrate between the substrate and the liquid crystal discharge hole. A method of assembling a liquid crystal substrate, comprising the step of supplying the total amount charged on the substrate surface.
  2. 삭제delete
  3. 제 1항에 있어서,The method of claim 1,
    액정제의 계량은. 상기 마이크로실린지 내의 피스톤의 위치를 모터에 근방 부여한 인코더의 펄스 수로 계측하여 변화한 펄스 수와 기존의 피스톤 직경과의 곱으로부터 구하는 것을 특징으로 하는 액정기판의 조립방법.The measurement made of liquid crystal. A method of assembling a liquid crystal substrate, characterized in that the position of the piston in the microcylinder is measured by the number of pulses of the encoder provided near the motor and obtained from the product of the changed number of pulses and the existing piston diameter.
  4. 제 1항에 있어서,The method of claim 1,
    공급할 액정제가 들어간 탱크와, 그 탱크로부터 마이크로실린지 내에 액정제를 공급하는 유량을 계측하는 유량계와, 계측한 유량으로부터 마이크로실린지 내에의 공급량을 연산하는 제어부를 구비하고,A tank containing a liquid crystal agent to be supplied, a flow meter for measuring the flow rate for supplying the liquid crystal agent from the tank, and a control unit for calculating the supply amount into the microcylinder from the measured flow rate;
    액정흡입공정에서는 마이크로실린지 내에 흡입한 액정제량을, 액정제의 유량에 의하여 계량하고, 마이크로실린지 내에 공급하는 원하는 양분만큼 흡입하였을 때의 피스톤의 위치를 기억하고,In the liquid crystal suction step, the amount of liquid crystal drawn into the microcylinder is measured by the flow rate of the liquid crystal, and the position of the piston when the desired amount of the liquid supplied into the microcylinder is sucked is stored.
    액정토출공정에서는, 그 원하는 양분만큼 흡입하였을 때의 피스톤의 위치를 기억한 양만큼 피스톤을 이동시켜 액정제를 기판에 공급하는 것을 특징으로 하는 액정기판의 조립방법.In the liquid crystal discharging step, a liquid crystal substrate is assembled by supplying a liquid crystal agent to a substrate by moving the piston by an amount in which the position of the piston when the desired amount is sucked is stored.
  5. 제 1항에 있어서,The method of claim 1,
    공급할 액정제가 들어간 탱크와, 그 탱크 내의 액정잔량을 계측하는 잔량 계측기와, 계측한 탱크의 액정잔량으로부터 마이크로실린지 내로의 공급량을 연산하는 제어부를 구비하고,A tank containing a liquid crystal agent to be supplied, a remaining amount measuring instrument for measuring the remaining amount of liquid crystal in the tank, and a control unit for calculating a supply amount into the microcylinder from the remaining liquid crystal amount of the measured tank;
    액정 흡입공정은, 상기 마이크로실린지 내에 피스톤을 모터구동하여 흡입한 액정제량을, 상기 탱크 내 액정잔량에 의하여 계측하고, 상기 마이크로실린지 내에 공급하는 원하는 양분만큼 흡입하였을 때의 피스톤의 위치를 기억하고,In the liquid crystal suction step, the liquid crystal amount sucked by driving the piston in the microcylinder is measured by the liquid crystal remaining amount in the tank, and the position of the piston when the desired amount supplied to the microcylinder is sucked is stored. and,
    액정토출공정에서는 그 원하는 양분만큼 흡입하였을 때의 피스톤의 위치를 기억한 양만큼 피스톤을 이동시켜 액정제를 기판에 공급하는 것을 특징으로 하는 액정기판의 조립방법.In the liquid crystal discharging step, the liquid crystal substrate is assembled to the substrate by moving the piston by an amount in which the position of the piston when the desired amount is sucked is stored.
  6. 제 5항에 있어서,The method of claim 5,
    잔량 계측은 액정탱크 중량을 계측하는 방식인 것을 특징으로 하는 액정기판의 조립방법.The remaining amount measurement is a method for assembling a liquid crystal substrate, characterized in that the method of measuring the weight of the liquid crystal tank.
  7. 제 6항에 있어서,The method of claim 6,
    잔량 계측은 액정병 내 액정제의 액면 높이를 계측하는 방식인 것을 특징으로 한 액정기판의 조립방법.The remaining amount measurement is a method for measuring the liquid level of the liquid crystal made in the liquid crystal bottle.
  8. 제 1항에 있어서,The method of claim 1,
    액정병과 공급탱크 사이에 이온교환수지에 의한 필터를 설치하여, 상기 액정제를 충전하는 공정 전에 액정의 이온성 불순물을 제거하는 공정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정기판의 조립방법.A method of assembling a liquid crystal substrate, further comprising the step of providing a filter by an ion exchange resin between the liquid crystal bottle and the supply tank to remove ionic impurities in the liquid crystal before the liquid crystal agent is filled.
  9. 제 1항에 있어서,The method of claim 1,
    공급탱크와 액정 토출구멍 사이에 이온교환수지에 의한 필터를 설치하여, 상기 액정제를 충전하는 공정 중에 액정의 이온성 불순물을 제거하는 것을 특징으로 하는 액정기판의 조립방법.A method of assembling a liquid crystal substrate, wherein a filter by an ion exchange resin is provided between the supply tank and the liquid crystal discharge hole to remove ionic impurities of the liquid crystal during the step of filling the liquid crystal.
  10. 액정제를 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 공급하는 액정제를 축적한 탱크와, 상기 탱크와 상기 노즐 사이를 접속하는 공급배관으로 이루어지는 액정적하장치에 있어서,In the liquid crystal dropping device which consists of a nozzle which discharges a liquid crystal agent, the tank which accumulated the liquid crystal agent supplied to the said nozzle, and the supply piping which connects between the said tank and the said nozzle,
    상기 공급배관의 도중에 유로전환포트와, 상기 유로전환포트에 접속하는 마이크로펌프를 설치하고, 상기 잉크탱크로부터 상기 마이크로펌프에 소정량의 잉크를 상기 마이크로펌프를 구동하는 모터에 설치되어 있는 인코더의 펄스 수를 카운트하면서 흡입하고, 상기 전환포트를 전환하여 상기 마이크로펌프에 흡입한 액정제를 카운트한 상기 펄스 수에 따라 상기 노즐에 공급하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 액정적하장치.In the middle of the supply piping, a flow path switching port and a micropump connected to the flow path switching port are provided, and a pulse of an encoder provided in a motor for driving the micropump a predetermined amount of ink from the ink tank to the micropump. The liquid crystal dropping device is configured to suck while counting the number of water, and to switch the switching port to supply the liquid crystals sucked into the micropump according to the counted pulse number.
  11. 제 10항에 있어서,The method of claim 10,
    상기 마이크로펌프의 실린지 내의 피스톤의 이동량을 측정하는 리니어스케일을 실린지의 바깥쪽에 설치하고 피스톤구동부에 설치한 리니어검출헤드에 의하여 피스톤의 이동량을 측정하고, 상기 측정치로부터 상기 액정의 흡입량을 구하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 액정적하장치.A linear scale for measuring the amount of movement of the piston in the syringe of the micropump is installed outside the syringe, and the amount of movement of the piston is measured by a linear detection head provided in the piston drive, and the suction amount of the liquid crystal is obtained from the measured value. Liquid crystal dropping device characterized in that.
  12. 제 11항에 있어서,The method of claim 11,
    상기 탱크와 전환포트 사이에 유량계를 설치하고, 상기 마이크로펌프의 액정의 흡입량을 측정하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 액정적하장치.A liquid crystal dropping device, wherein a flowmeter is provided between the tank and the switching port, and the suction amount of the liquid crystal of the micropump is measured.
  13. 제 11항에 있어서,The method of claim 11,
    상기 탱크의 바닥부에 중량계를 배치하여 중량의 변화로부터 상기 마이크로펌프의 액정의 흡입량을 측정하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 액정적하장치.A liquid crystal dropping device, characterized in that a weighing device is arranged at the bottom of the tank to measure the suction amount of the liquid crystal of the micropump from the change in weight.
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KR100811647B1 (en) * 2006-12-26 2008-03-11 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Coating liquid supplying apparatus
KR101002076B1 (en) * 2008-07-25 2010-12-17 주식회사 탑 엔지니어링 Method for discharging liquid crytal using liquid crystal dispenser
KR100953082B1 (en) * 2008-07-25 2010-04-19 주식회사 탑 엔지니어링 Method for controlling a droplet amount of liquid crystal to be discharged at a time
KR101024341B1 (en) * 2008-10-31 2011-03-23 주식회사 탑 엔지니어링 Device for fixing liquid container for liquid crystal dispenser
KR101066602B1 (en) * 2009-06-29 2011-09-22 에이피시스템 주식회사 Syringe for injecting liquid crystal and Liquid crystal injector using thereof and Method of injecting liquid crystal
WO2018051397A1 (en) * 2016-09-13 2018-03-22 堺ディスプレイプロダクト株式会社 Liquid crystal dropping device and liquid crystal dropping method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100904059B1 (en) 2009-03-10 2009-06-23 주식회사 탑 엔지니어링 Method for setting a weight of a droplet of liquid crystal to a reference weight and method for dropping the droplet of liquid crystal with the reference weight from a nozzle on each of panel areas defined on a mother substrate

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