KR100639003B1 - Device for aligning of substrate tray holder - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판트레이가 체결되는 기판트레이홀더에 관한 것으로, 이 기판트레이홀더에 포함된 홀더 플레이트의 반듯한 입상인 상태가 지속적으로 유지되도록 된 기판트레이홀더용 정렬장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate tray holder to which a substrate tray is fastened, and more particularly, to an alignment apparatus for a substrate tray holder such that a smooth granular state of a holder plate included in the substrate tray holder is maintained.

본 발명은 기판트레이와 체결되는 기판트레이홀더에 장착된 이동축이 동작되도록 설치된 구동부와, 상기 기판트레이에 삽입되어 체결되는 체결아암이 형성된 기판트레이홀더의 홀더플레이트가 이동축에 의해 이동되도록 이루어진 체결부와, 상기 홀더플레이트의 휨을 방지하기 위해 홀더에 척력이 제공되도록 배치된 하나 이상의 가이드축이 포함되어 이루어진 가이드부가 포함된 기판트레이홀더의 정렬장치를 제공한다. According to the present invention, a driving unit installed to operate a moving shaft mounted to a substrate tray holder fastened to a substrate tray and a holder plate of a substrate tray holder having a fastening arm inserted into the substrate tray to be fastened are moved by a moving shaft. And a guide part including a guide part including one or more guide shafts disposed to provide repulsive force to the holder to prevent bending of the holder plate.

본 발명에 따르면, 홀더플레이트의 후면에 다수의 가이드축의 일단이 견고히 접촉되어 홀더플레이트의 휨이 방지되고, 이로 인해 홀더플레이트가 입상인 상태에서 항상 유지될 수 있으며, 정위치의 입상인 상태인 홀더플레이트가 기판트레이와 정확한 체결이 이루어지도록 된 것이다. According to the present invention, one end of the plurality of guide shafts are firmly in contact with the rear of the holder plate to prevent the bending of the holder plate, thereby the holder plate can always be maintained in the granular state, the holder in the granular state of the right position The plate is to be precisely fastened with the substrate tray.

발광소자, 기판트레이, 기판트레이홀더, 홀더플레이트 Light emitting element, substrate tray, substrate tray holder, holder plate

Description

기판트레이홀더용 정렬장치{Device for aligning of substrate tray holder} Device for aligning of substrate tray holder             

도 1은 본 발명에 따른 진공증착 시스템의 버퍼영역에 증착원이 위치하고 있는 상태를 나타내는 개략도;1 is a schematic view showing a state where the deposition source is located in the buffer region of the vacuum deposition system according to the present invention;

도 2는 본 발명에 따른 진공증착 시스템의 성막영역에 증착원이 위치하고 있는 상태를 나타내는 개략도;2 is a schematic view showing a state where the deposition source is located in the deposition region of the vacuum deposition system according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 기판트레이홀더용 정렬장치가 개략적으로 도시된 사시도;3 is a perspective view schematically showing an alignment device for a substrate tray holder according to the present invention;

도 4는 도 3에 도시된 정렬장치가 개략적으로 도시된 측단면도;4 is a side cross-sectional view schematically showing the alignment device shown in FIG. 3;

도 5는 도 3에 도시된 정렬장치의 가이드축과 홀더플레이트의 접촉위치에 대한 일 예가 표시된 상태도.5 is a state diagram showing an example of the contact position of the guide shaft and the holder plate of the alignment device shown in FIG.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

100...정렬장치 102...가이드축,100 ... aligner 102 ... guide shaft,

104...연결플레이트 210...홀더플레이트,104 ... Connection plate 210 ... Holder plate,

212...이동축, 214...구동원,212 ... moving axis, 214 ...

216...스테이지 230...기판트레이.216 ... Stage 230 ... Board tray.

본 발명은 기판트레이의 홀더에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판트레이홀더의 휨을 방지하기 위한 기판트레이홀더용 정렬장치에 관한 것이다.The present invention relates to a holder of a substrate tray, and more particularly to an alignment device for a substrate tray holder for preventing the bending of the substrate tray holder.

일반적으로, 평판 디스플레이 중의 하나인 전계발광 디스플레이 장치는 발광층으로 사용하는 물질에 따라서 무기전계발광 디스플레이 장치와, 유기전계발광 디스플레이 장치로 구분되고, 유기전계발광 디스플레이 장치는 저전압으로 구동이 가능하고, 경량의 박형이면서 시야각이 넓을 뿐만 아니라 응답속도 또한 빠르다는 장점을 구비하고 있기 때문에 각광을 받고 있다.In general, an electroluminescent display device, which is one of flat panel displays, is classified into an inorganic electroluminescent display device and an organic electroluminescent display device according to a material used as a light emitting layer, and the organic electroluminescent display device can be driven at low voltage and is light in weight. It is attracting attention because of its thinness and wide viewing angle as well as fast response speed.

이러한 유기전계발광 디스플레이 장치의 유기전계 발광소자는 기판 상에 적층식으로 형성되는 양극, 유기물층 및 음극으로 구성된다. 상기 유기물층은 정공과 전자가 재결합하여 여기자를 형성하고 빛을 방출하는 유기 발광층의 유기물층을 포함하고, 또한 정공과 전자를 유기 발광층으로 원활하게 수송하여 발광효율을 향상시키기 위하여 상기 음극과 유기 발광층 사이에 전자 주입층과 전자 수송층의 유기물층을 개재시키면서 양극과 유기 발광층 사이에 정공 주입층과 전자 수송층의 유기물층을 개재시킨다.The organic light emitting device of the organic light emitting display device includes an anode, an organic material layer, and a cathode that are stacked on a substrate. The organic material layer includes an organic material layer of an organic light emitting layer that recombines holes and electrons to form excitons and emits light, and also between the cathode and the organic light emitting layer to smoothly transport holes and electrons to the organic light emitting layer to improve luminous efficiency. The organic material layer of the hole injection layer and the electron transport layer is interposed between the anode and the organic light emitting layer while interposing the organic material layer of the electron injection layer and the electron transport layer.

상술된 구조로 이루어진 유기전계 발광소자는 일반적으로, 진공증착법, 이온 플레이팅법 및 스퍼터링법 등과 같은 물리기상 증착법 또는 가스 반응에 의한 화학기상 증착법으로 제작된다. 특히, 유기전계 발광소자의 유기물층을 형성하기 위해 서는 진공챔버 내에서 유기물질을 증발시켜 형성된 유기기상물질을 증착원에서 분사하여 기판에 증착시키는 진공증착법이 널리 사용된다. The organic light emitting device having the above-described structure is generally manufactured by a physical vapor deposition method such as a vacuum deposition method, an ion plating method and a sputtering method or a chemical vapor deposition method by a gas reaction. In particular, in order to form the organic material layer of the organic light emitting device, a vacuum deposition method in which an organic vapor material formed by evaporating an organic material in a vacuum chamber is sprayed from a deposition source and deposited on a substrate is widely used.

최근에 디스플레이의 대형화에 부응하여 기판의 크기가 대형화되고 있으며, 이러한 대형 기판에 유기물층을 증착하기 위하여 증착원이 진공챔버 내에서 수직 상하방향으로 이동하면서 유기기상물질을 분사하는 증착시스템이 개발되었다.Recently, in response to the increase in size of the display, the size of the substrate has been enlarged, and in order to deposit the organic material layer on such a large substrate, a deposition system has been developed in which an evaporation source is sprayed while vertically moving up and down in a vacuum chamber.

이러한 증착시스템에는 증착원을 상하방향으로 이동시키는 구동축이 제공되어 있고, 상기 구동축은 구동수단에 의해서 축회전하게 된다. 구동축의 축회전에 의해서 증착원은 수직 상하방향으로 이동하는 동안 유기물질을 증발시킴으로써 형성되는 유기기상물질을 분사하게 된다. Such a deposition system is provided with a drive shaft for moving the deposition source in the vertical direction, and the drive shaft is rotated by the drive means. Due to the axial rotation of the drive shaft, the deposition source injects the organic vapor material formed by evaporating the organic material while moving in the vertical vertical direction.

또한, 상기 증착기에서 분사된 물질이 도포되는 기판이 대면적화되면서 기판의 휨현상이 제거되도록 기판과 마스크가 입상의 상태에서 정렬되도록 이루어진 수직 정렬시스템이 연구되고 있다.In addition, a vertical alignment system has been studied in which the substrate and the mask are aligned in a granular state so that a warp phenomenon of the substrate is removed while the substrate coated with the material sprayed from the evaporator is large.

상기 기판이 입상인 상태에서 고정되도록 왕복이동되게 설치된 기판트레이홀더에는 상기 기판과 체결되는 체결부재가 돌출 형성되면서 기판트레이와 동일하게 입상으로 배치된 홀더플레이트가 요구된다. The substrate tray holder installed reciprocally to be fixed in the granular state requires a holder plate disposed in the same shape as the substrate tray while the fastening member is fastened to the substrate.

또한, 상기 홀더플레이트가 입상인 상태이므로 이 홀더플레이트에 휘어지는 현상이 예상된다. Further, since the holder plate is in a granular state, a phenomenon in which the holder plate is bent is expected.

따라서, 이러한 수직 정렬시스템에 적용되면서 휘어지는 현상이 저지된 홀더플레이트가 요구된다. Therefore, there is a need for a holder plate applied to such a vertical alignment system that prevents bending.

상기와 같은 요구가 충족되도록 안출된 본 발명은, 기판트레이홀더의 홀더플레이트가 입상에서 지지되도록 하나 이상의 가이드축이 배치되고, 이 가이드축들이 동시 동작되도록 연결플레이트가 설치되며, 연결플레이트와 이동축의 체결 가부에 따라 가이드축과 이동축의 동시 또는 별도 동작하도록 이루어짐으로 인해, 홀더플레이트의 휨현상이 방지됨은 물론, 홀더플레이트의 수직인 상태의 입상이 항상 유지될 수 있고, 기판트레이와의 체결에 대한 정확성이 지속될 수 있도록 된 기판트레이홀더용 정렬장치를 제공함에 그 목적이 있다.
According to the present invention devised to meet the above requirements, one or more guide shafts are arranged to support the holder plate of the substrate tray holder, and the connecting plate is installed to simultaneously operate the guide shafts, and the connecting plate and the moving shaft Since the guide shaft and the moving shaft are operated simultaneously or separately according to the fastening or not, the bending of the holder plate can be prevented and the granularity of the holder plate can be always maintained and the accuracy of the fastening with the substrate tray can be maintained. It is an object of the present invention to provide an alignment device for a substrate tray holder which can be continued.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판트레이홀더용 정렬장치는, 기판트레이와 근접되는 기판트레이홀더가 구동원에 의해 작동되는 이동축의 선단부에 체결되도록 이루어진 구동부;와, 상기 이동축에 의해 이동되는 기판트레이홀더에 입상으로 설치된 홀더플레이트의 체결아암과 입상의 기판트레이가 체결되도록 이루어진 체결부;와, 상기 홀더플레이트의 휨을 방지하기 위해 홀더에 척력이 제공되도록 배치된 하나 이상의 가이드축이 포함되어 이루어진 가이드부;가 구비되어 이루어진다. An apparatus for aligning a substrate tray holder according to the present invention for achieving the above object includes: a driving unit configured to engage a substrate tray holder proximate to the substrate tray to a distal end of a moving shaft operated by a driving source; and by the moving shaft A fastening portion configured to fasten the fastening arm of the holder plate and the granular substrate tray granularly installed on the substrate tray holder to be moved; and one or more guide shafts disposed to provide repulsion to the holder to prevent bending of the holder plate. Guide portion made of; is provided.

상기 구동원에 의해 이동축과 가이드축이 연동되도록 이동축과 가이드축이 체결되는 연결플레이트가 더 포함된다. The driving source further includes a connection plate to which the moving shaft and the guide shaft are coupled to the moving shaft and the guide shaft.

상기 가이드축들은 이동축과 동시 동작되도록 이동축의 위치조정을 위한 구 동원과 연동되게 배치된다. The guide shafts are arranged to be linked with a driving source for adjusting the position of the moving shaft so as to operate simultaneously with the moving shaft.

상기 가이드축들은 별도의 구동원에 의해 상호 동시 동작되면서 상기 이동축과 별도 동작되도록 설치된다. The guide shafts are installed to operate separately from the moving shaft while simultaneously operating by separate driving sources.

이하, 본 발명에 따른 기판트레이홀더용 정렬장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, an alignment apparatus for a substrate tray holder according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 진공증착 시스템의 버퍼영역에 증착원이 위치하고 있는 상태를 나타내는 개략도이고, 도 2는 본 발명에 따른 진공증착 시스템의 성막영역에 증착원이 위치하고 있는 상태를 나타내는 개략도이다. 1 is a schematic diagram showing a state where the deposition source is located in the buffer region of the vacuum deposition system according to the present invention, Figure 2 is a schematic diagram showing a state where the deposition source is located in the deposition region of the vacuum deposition system according to the present invention.

도 1을 참조하면, 진공증착 시스템의 진공챔버(10)에는 유기물층을 형성하고자 하는 기판(30)과, 기판(30)의 전방에 위치되는 마스크(40)와, 마스크(40)로부터 소정 간격으로 이격되어 있는 증착원(20)이 설치된다. 마스크(40)와 기판(30)은 얼라인먼트 시스템(미도시)에 의해서 정렬된 상태로 척(50)에 서로 밀착된 상태로 고정된다. Referring to FIG. 1, a vacuum chamber 10 of a vacuum deposition system includes a substrate 30 on which an organic layer is to be formed, a mask 40 positioned in front of the substrate 30, and a predetermined interval from the mask 40. The spaced apart deposition source 20 is installed. The mask 40 and the substrate 30 are fixed in close contact with the chuck 50 in an aligned state by an alignment system (not shown).

마스크(40)는 기판(30)에 형성하고자 하는 유기물층에 대응하는 패턴이 형성되어 있는 패턴형성부(가상선으로 표시됨)와, 마스크 프레임(미도시)에 용접을 통해서 고정되는 고정부로 구성된다. 이때, 진공챔버(10)는 마스크(40) 및 기판(30)의 설치위치에 대응하는 성막영역(B)과 상기 성막영역(B) 이외의 위치에 대응하는 버퍼영역(A)으로 구분된다.The mask 40 includes a pattern forming part (indicated by a virtual line) in which a pattern corresponding to an organic layer to be formed on the substrate 30 is formed, and a fixing part fixed by welding to a mask frame (not shown). . At this time, the vacuum chamber 10 is divided into a film forming area B corresponding to the installation position of the mask 40 and the substrate 30 and a buffer area A corresponding to a position other than the film forming area B.

증착원(20)은 이동수단(미도시)의 작동에 의해서 축회전하는 구동축에 이동 가능하게 장착되고, 상기 구동축의 회전방향에 따라서 진공챔버(10) 내에서 수직 상하방향으로 이동한다. The deposition source 20 is movably mounted to a drive shaft that is axially rotated by an operation of a moving means (not shown), and moves vertically in the vacuum chamber 10 along the rotational direction of the drive shaft.

한편, 도 3은 본 발명에 따른 기판트레이홀더용 정렬장치가 개략적으로 도시된 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 정렬장치가 개략적으로 도시된 측단면도이며, 도 5는 도 3에 도시된 정렬장치의 가이드축과 홀더플레이트의 접촉위치에 대한 일 예가 표시된 상태도이다.On the other hand, Figure 3 is a perspective view schematically showing the alignment device for the substrate tray holder according to the invention, Figure 4 is a side cross-sectional view schematically showing the alignment device shown in Figure 3, Figure 5 is shown in Figure 3 An example of the contact position of the guide shaft and the holder plate of the alignment device is a state diagram is displayed.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판트레이홀더용 정렬장치(100)는 진공챔버(220) 내에 위치된 홀더플레이트(210)가 외부의 구동원(214)에 의해 동작되도록 설치된 이동축(212)이 관통되게 설치되고, 가이드축(102)의 일단면이 홀더플레이트(10)의 후면과 선택적으로 접촉되도록 이루어진다. As shown in FIGS. 3 and 4, the substrate tray holder alignment device 100 includes a moving shaft installed so that the holder plate 210 located in the vacuum chamber 220 is operated by an external drive source 214. 212 is installed to penetrate through, and one end surface of the guide shaft 102 is made to selectively contact the rear surface of the holder plate (10).

상기 가이드축(102)은 상기 이동축(212)의 위치를 조정하기 위해 이동축(212)이 관통된 스테이지(216)를 관통하여 하나 이상 배치된다.One or more guide shafts 102 are disposed through the stage 216 through which the moving shaft 212 penetrates to adjust the position of the moving shaft 212.

상기 가이드축(102)은 기판트레이홀더(210)의 테두리부위에 접촉됨이 좋고, 하나 이상의 가이드축(102)이 설치될때, 홀더플레이트(210)의 하측부를 지지하여 빈번히 발생하는 홀더플레이트(10)의 하향 휨을 저지하도록 함이 바람직하다. The guide shaft 102 may be in contact with the edge portion of the substrate tray holder 210, and when one or more guide shafts 102 are installed, the holder plate 10 is frequently generated by supporting the lower portion of the holder plate 210. It is preferable to prevent the downward bending of).

또한, 둘 이상의 가이드축(102)이 배치될 경우, 상호 대칭되는 위치에 배치됨이 좋고, 이 대칭되는 위치는 홀더플레이트(210)에 발생되는 휨의 방향에 따라 정해 짐이 좋다.In addition, when two or more guide shafts 102 are disposed, it is preferable to be disposed at positions that are symmetrical with each other, and this symmetrical position may be determined according to the direction of bending occurring in the holder plate 210.

상기 기판트레이(230)에 표시된 가이드축(102)의 접촉부위(102a)가 도식된 도5에서와 같이, 홀더플레이트(210)의 네 귀퉁이에 배치되어 상부를 지지하는 두 개의 가이드축(102)은 홀더플레이트(210)의 상부가 후방으로 휘어지는 현상을 방지하고, 하부를 지지하는 두 개의 가이드축(102)은 홀더플레이트(210)의 하부가 후방으로 휘어지는 현상을 방지하여 상기 홀더플레이트(210)가 항상 수직 또는 작업에 원하는 각도에서 평평하게 유지될 수 있도록 한다. As illustrated in FIG. 5, in which the contact portion 102a of the guide shaft 102 displayed on the substrate tray 230 is illustrated, two guide shafts 102 disposed at four corners of the holder plate 210 to support the upper portion thereof. Silver prevents the upper part of the holder plate 210 is bent backwards, the two guide shafts 102 supporting the lower prevents the lower part of the holder plate 210 is bent backward to the holder plate 210 Should always be kept vertical or flat at the desired angle to the job.

상기 가이드축(102)의 일부가 홀더플레이트(210)를 지지하기 위해 진공챔버의 진공을 보전하기 위해 챔버의 외벽(220)에 밀착된 프레임(216)을 관통할 때, 가이드축(102)과 프레임(216)은 상기 이동축(212)의 밀폐방식과 동일한 방식인 페로실(ferro seal)이 이용되어도 좋다. When a portion of the guide shaft 102 passes through the frame 216 in close contact with the outer wall 220 of the chamber to maintain the vacuum of the vacuum chamber to support the holder plate 210, the guide shaft 102 and The frame 216 may use a ferro seal, which is the same as the sealing method of the moving shaft 212.

한편, 둘 이상의 가이드축(102)이 배치될 경우, 가이드축(102)들이 상호 동시 동작이 이루어질 수 있도록 둘 이상의 가이드축(102)의 후단부가 연결플레이트(104)에 의해 동시 체결된다. On the other hand, when two or more guide shafts 102 are disposed, the rear ends of the two or more guide shafts 102 are simultaneously fastened by the connecting plate 104 so that the guide shafts 102 may be simultaneously operated.

이때, 하나 이상의 가이드축(102)이 이동축(212)과 별도 동작이 이루어지도록 상기 이동축(212)을 동작시키는 구동원(214)과는 별도로 다른 구동원(미도시)이 가이드축(102)을 동작시키도록 배치될 수도 있고, 상기 하나 이상의 가이드축(102)이 이동축(212)과 동시 동작이 이루어지도록 상기 이동축(212)을 동작시키는 구동원(214)에 의해 가이드축(102)이 동작될 수 있도록 배치될 수도 있다.In this case, a drive source (not shown) different from the driving source 214 for operating the moving shaft 212 so that the one or more guide shafts 102 is made separate from the moving shaft 212 is provided by the guide shaft 102. The guide shaft 102 may be operated by a drive source 214 for operating the movable shaft 212 such that the one or more guide shafts 102 are simultaneously operated with the movable shaft 212. It may be arranged to be.

여기서, 상기 연결플레이트(104)는 가이드축(102)과 이동축(212)의 별도 동작이 이루어질 경우 가이드축(102)들만 연결되도록 배치되어 별도의 구동원(미도시)에 의해 가이드축(102)이 작동되고, 가이드축(102)과 이동축(212)의 동시 동작이 이루어질 경우 가이드축(102)과 이동축(212)이 동시에 연결되도록 배치되어 구 동원(214)에 의해 이동축(212)과 가이드축(102)이 동시 동작되게 함이 좋다. Here, the connection plate 104 is arranged so that only the guide shaft 102 when the separate operation of the guide shaft 102 and the moving shaft 212 is made, the guide shaft 102 by a separate drive source (not shown) When the guide shaft 102 and the moving shaft 212 is made at the same time when the operation is made, the guide shaft 102 and the moving shaft 212 is arranged to be connected at the same time, the moving shaft 212 by the drive source 214 And guide shaft 102 may be operated simultaneously.

한편, 상기 하나 이상의 가이드축(102)과 이동축(212)은 별도 동작 또는 동시 동작과는 무관하게 스테이지(216)에 관통되게 배치된다.Meanwhile, the one or more guide shafts 102 and the moving shafts 212 are disposed to penetrate the stage 216 irrespective of separate motion or simultaneous motion.

이하, 본 발명에 따른 기판트레이홀더용 정렬장치에 관한 작용을 간략히 설명한다. Hereinafter, the operation of the alignment device for the substrate tray holder according to the present invention will be briefly described.

구동원(214)에 의해 동작되는 이동축(212)에 의해 홀더플레이트(210)가 이동되면서 기판트레이(230)와 선택적으로 체결된다.The holder plate 210 is moved by the moving shaft 212 operated by the drive source 214 and is selectively fastened to the substrate tray 230.

이 때, 상기 홀더플레이트(210)의 후면과 접촉하도록 배치된 하나 이상의 가이드축(102)이 홀더플레이트(210)를 지지하게 된다. 둘 이상의 가이드축(102)의 후미가 연결플레이트(104)에 체결되어 상기 가이드축(102)들이 동시 동작되며, 상기 연결플레이트(104)와 이동축(212)의 체결 여부에 따라 가이드축(102)과 이동축(212)이 별도 또는 동시 동작된다.At this time, one or more guide shafts 102 disposed to contact the rear surface of the holder plate 210 support the holder plate 210. The trailing edges of two or more guide shafts 102 are fastened to the connecting plate 104 such that the guide shafts 102 are simultaneously operated, and the guide shafts 102 are connected depending on whether the connecting plate 104 and the moving shaft 212 are fastened. ) And the moving shaft 212 are operated separately or simultaneously.

또한, 상기 가이드축(102)과 이동축(212)의 별도 동작이 이루어질 경우 둘 이상의 가이드축(102)의 후미가 연결플레이트(104)로 체결되어 가이드축(102)들만 연결되도록 배치되어 별도의 구동원(미도시)에 의해 가이드축(102)이 작동되고, 가이드축(102)과 이동축(212)의 동시 동작이 이루어질 경우 가이드축(102)과 이동축(212)이 동시에 연결되도록 연결플레이트(104)로 배치되어 구동원(214)에 의해 이동축(212)과 가이드축(102)이 동시 동작되게 함이 좋다. In addition, when the separate operation of the guide shaft 102 and the moving shaft 212 is made, the rear end of two or more guide shafts 102 are fastened to the connecting plate 104 is arranged so that only the guide shafts 102 are connected When the guide shaft 102 is operated by a driving source (not shown), and the simultaneous operation of the guide shaft 102 and the moving shaft 212 is performed, the connecting plate 102 and the moving shaft 212 are connected at the same time. The moving shaft 212 and the guide shaft 102 may be simultaneously operated by the driving source 214.

상기 가이드축(102)의 일부가 홀더플레이트(210)를 지지하기 위해 프레임 (216)을 관통할 때, 가이드축(102)과 프레임(216)에는 이 프레임(216)을 관통하는 이동축(212)과 프레임(216)에 밀폐를 위해 장착된 페로실이 장착되어도 좋다. When a portion of the guide shaft 102 penetrates the frame 216 to support the holder plate 210, the guide shaft 102 and the frame 216 have a moving shaft 212 penetrating the frame 216. ) And the frame 216 may be equipped with a ferrosil mounted for sealing.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 기판트레이홀더의 후면에 다수의 가이드축의 일단이 견고히 접촉되어 기판트레이홀더의 휨이 방지되고, 이로 인해 기판트레이홀더가 입상인 상태에서 항상 유지될 수 있으며, 정위치의 입상인 상태인 기판트레이홀더가 기판트레이와 정확한 체결이 이루어질 수 있는 효과가 있다.
According to the present invention configured as described above, one end of the plurality of guide shafts are firmly in contact with the rear surface of the substrate tray holder to prevent the bending of the substrate tray holder, which can be always maintained in the granular state of the substrate tray holder, The substrate tray holder, which is in a granular state of position, has an effect that accurate fastening with the substrate tray can be achieved.

Claims (7)

기판트레이와 근접되는 기판트레이홀더가 구동원에 의해 작동되는 이동축의 선단부에 체결되도록 이루어진 구동부; A driving unit configured to be coupled to the front end of the moving shaft operated by the driving source, the substrate tray holder in proximity to the substrate tray; 상기 이동축에 의해 이동되는 기판트레이홀더에 입상으로 설치된 홀더플레이트의 체결아암과 입상의 기판트레이가 체결되도록 이루어진 체결부;A fastening portion configured to fasten the fastening arm of the holder plate installed in a granular form on the substrate tray holder moved by the moving shaft and the granular substrate tray; 상기 홀더플레이트의 휨을 방지하기 위해 홀더에 척력이 제공되도록 배치된 하나 이상의 가이드축이 포함되어 이루어진 가이드부;A guide part including one or more guide shafts disposed to provide repulsion to the holder to prevent bending of the holder plate; 가 구비되어 이루어진 기판트레이홀더용 정렬장치.Substrate tray holder alignment device is provided. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가이드축은 기판트레이홀더의 상ㆍ하단부에 각각 하나 이상 배치된 것을 특징으로 하는 기판트레이홀더용 정렬장치.And at least one guide shaft is disposed at the upper and lower ends of the substrate tray holder, respectively. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 구동원에 의해 이동축과 가이드축이 연동되도록 이동축과 가이드축이 체결되는 연결플레이트가 더 포함되어 이루어진 것을 특징으로 하는 기판트레이홀더용 정렬장치.And a connection plate to which the moving shaft and the guide shaft are coupled such that the moving shaft and the guide shaft are interlocked by the driving source. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 이동축과 가이드축은 동시 동작 및 동일 거리로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판트레이홀더용 정렬장치.And the movement shaft and the guide shaft move simultaneously and at the same distance. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 가이드축은 이동축의 위치조정을 위한 스테이지와 연동되게 배치된 것을 특징으로 하는 기판트레이홀더용 정렬장치.And the guide shaft is arranged to be linked with a stage for adjusting the position of the moving shaft. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 가이드축들은 별도의 구동원에 의해 상호 동시 동작되면서 상기 이동축과 별도 동작되도록 설치된 것을 특징으로 하는 기판트레이홀더용 정렬장치.And the guide shafts are installed to operate separately from the moving shafts while being simultaneously operated by separate driving sources. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 가이드축이 진공챔버의 진공을 보전하기 위한 부재를 통과하면서 진공챔버의 진공이 유지되도록 페로실이 장착된 것을 특징으로 하는 기판트레이홀더용 정렬장치.And a ferrosil mounted to maintain the vacuum of the vacuum chamber while the guide shaft passes through the member for preserving the vacuum of the vacuum chamber.
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