KR100634059B1 - Device for Testing Display Panel - Google Patents

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KR100634059B1
KR100634059B1 KR1020040047704A KR20040047704A KR100634059B1 KR 100634059 B1 KR100634059 B1 KR 100634059B1 KR 1020040047704 A KR1020040047704 A KR 1020040047704A KR 20040047704 A KR20040047704 A KR 20040047704A KR 100634059 B1 KR100634059 B1 KR 100634059B1
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다께시 사이또
신지 후지와라
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

본 발명에 따른 표시용 패널의 검사장치는 대형 패널을 손상하지 않고, 안정하게 반송할 수 있게 하기 위한 것이다. 상기 검사장치는 사각형의 표시용 패널을 받는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지에 대한 패널의 반송을 하는 반송장치를 포함하고, 상기 반송장치는 패널을 X방향에 있어서의 양 가장자리 및 Y방향에 있어서의 양 가장자리에서 해제 가능하게 지지하여 반송하는 최소한 하나의 캐리어를 포함한다.The inspection apparatus for a display panel according to the present invention is intended to enable stable transport without damaging a large panel. The inspection apparatus includes an inspection stage for receiving a rectangular display panel, and a conveying apparatus for conveying the panel to the inspection stage, wherein the conveying apparatus includes the panel at both edges in the X direction and in the Y direction. At least one carrier releasably supported at both edges for carrying.
표시용 패널, 검사장치, 반송장치, 캐리어Display panel, inspection device, conveying device, carrier

Description

표시용 패널의 검사장치{Device for Testing Display Panel} Inspection device for display panel {Device for Testing Display Panel}             
도1은 본 발명에 따른 전기적 접속장치를 이용한 검사장치의 한 실시예를 나타내는 정면도이다.1 is a front view showing an embodiment of an inspection apparatus using the electrical connection device according to the present invention.
도2는 도1에 나타낸 검사장치의 정면도로서 반송장치를 제거하고 나타낸 도면이다.FIG. 2 is a front view of the inspection apparatus shown in FIG. 1, with the conveying apparatus removed.
도3은 도1에 있어서의 3-3선 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the line 3-3 in FIG.
도4는 도1에 나타낸 검사장치에서 이용하는 반송장치의 한 실시예를 나타내는 평면도이다.4 is a plan view showing one embodiment of a conveying apparatus used in the inspection apparatus shown in FIG.
도5는 도4에 나타낸 반송장치를 5-5선 방향으로 본 도면이다.FIG. 5 is a view of the conveying apparatus shown in FIG. 4 in a 5-5 line direction. FIG.
도6은 도4에 나타낸 반송장치에서 이용하는 캐리어의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.FIG. 6 is a perspective view showing one embodiment of a carrier used in the conveying apparatus shown in FIG.
도7은 도6에 나타낸 캐리어의 정면도이다.7 is a front view of the carrier shown in FIG.
도8은 도7에 있어서의 8-8선 단면도이다.8 is a cross-sectional view taken along line 8-8 in FIG.
도9는 도6에서 도8에 나타낸 캐리어의 동작을 설명하기 위한 도면으로, (A)는 패널을 잡은 상태를 나타내고, (B)는 패널을 해방한 상태를 나타낸다.Fig. 9 is a view for explaining the operation of the carrier shown in Fig. 6 to Fig. 8, (A) shows a state of holding the panel, and (B) shows a state of releasing the panel.
도10은 반송장치에서 이용하는 홀더의 실시예를 나타내는 도면이다.10 is a view showing an embodiment of a holder used in the conveying apparatus.
* 도면의 주요부호에 대한 설명 *Explanation of the main symbols in the drawings
10: 검사장치 12: 표시용 패널10: inspection device 12: display panel
18: 본체 베이스 24: 수도 스테이지18: main body base 24: water supply stage
28: 검사 스테이지 30: 프로브 카드28: inspection stage 30: probe card
36: 반송장치 38: 척 톱(chuck top)36: conveying apparatus 38: chuck top
60: 프레임 62, 64: 캐리어60: frames 62, 64: carrier
66, 68: 캐리어 이동기구 72, 74, 84: 가이드 레일66, 68: carrier moving mechanism 72, 74, 84: guide rail
76, 78, 86: 가이드 80: 캐리어 베이스76, 78, 86: guide 80: carrier base
82: 지지 암 88: X암82: support arm 88: X arm
90: Y암 98: 결합수단90: Y arm 98: coupling means
94: X홀더 96: Y홀더94: X holder 96: Y holder
100: 볼나사 104: 캐리어용 모터100: ball screw 104: carrier motor
106: X이동기구 108: Y이동기구106: X moving mechanism 108: Y moving mechanism
110: X구동원 112, 114: 풀리110: X drive source 112, 114: pulley
116: 무단 벨트 120: Y구동원116: stepless belt 120: Y drive source
122: 볼나사 124: 너트122: ball screw 124: nut
130, 140, 150: 홀더130, 140, 150: holder
발명의 분야Field of invention
본 발명은 액정표시 패널과 같은 표시용 패널을 검사하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting a display panel such as a liquid crystal display panel.
용어의 정의: 본 발명에 있어서는 검사장치에 받아진 표시용 패널과 평행한 면내에서 한 방향 및 다른 방향을 각각 X방향 및 Y방향이라 하고, X방향 및 Y방향에 직교하는 방향(표시용 패널에 수직인 방향)을 Z방향이라 한다.Definition of terms: In the present invention, one direction and the other direction in the plane parallel to the display panel received by the inspection apparatus are called the X direction and the Y direction, respectively, and the direction orthogonal to the X direction and the Y direction (in the display panel). Vertical direction) is referred to as Z direction.
발명의 배경Background of the Invention
표시용 패널을 검사하는 장치는 일반적으로 통전용 프로브의 파손을 방지할 목적으로, 검사장치에 대한 패널을 수도하는 수도위치(패널 세트부)와, 검사 스테이지를 이용하여 패널의 점등검사를 하는 검사위치를 각각 설치하고, 미검사 패널을 수도위치에서 검사위치로 또는 검사완료 패널을 검사위치에서 수도위치로 반송하고 있다.In general, a device for inspecting a display panel is used to prevent damage to a probe for electricity supply. Positions are provided respectively, and the uninspected panel is returned from the water supply position to the inspection position or the completed inspection panel is returned from the inspection position to the water supply position.
이러한 종류의 검사장치의 하나로서, 두 개의 반송기구(캐리어)를 이용하여, 패널을 수도위치에서 검사위치로 및 그 반대로 이동시키는 것이 있다(일본특허공개 평11-14957호).As one type of inspection apparatus, two conveying mechanisms (carriers) are used to move a panel from a water supply position to an inspection position and vice versa (Japanese Patent Laid-Open No. 11-14957).
상기 검사장치에 있어서, 각 반송기구는 Y방향으로 이동되는 한 쌍의 슬라이더를 Y방향으로 간격을 둔 상태로 연결하고, 두 개의 홀더를 각 슬라이더에 X방향으로 간격을 두고 및 상대쪽 슬라이더를 향해 돌출하는 상태로 배치하고 있다.In the inspection apparatus, each conveying mechanism connects a pair of sliders moved in the Y direction with a gap in the Y direction, and two holders are spaced in the X direction with respect to the sliders and toward the opposite slider. It is arranged in a protruding state.
그와 같은 캐리어에 있어서, 패널의 파지(把持)는 양 슬라이더를 서로 가까워지는 방향으로 이동시켜, 양 슬라이더의 홀더에 의해 함께 행해진다. 이에 대하여, 파지의 해제는 양 슬라이더를 서로 멀어지는 방향으로 이동시켜, 양 슬라이더의 홀더가 패널로부터 멀어짐으로써 행해진다.In such a carrier, the gripping of the panel is carried out together by the holders of both sliders by moving both sliders in a direction approaching each other. In contrast, the release of the grip is performed by moving both sliders in a direction away from each other, and the holders of both sliders move away from the panel.
그러나, 종래의 검사장치에서는 패널의 마주보는 한 쌍의 가장자리를 파지하는데 지나지 않기 때문에, 대형 패널을 검사하는 경우에 패널이 슬라이더의 이간방향의 중앙영역에서 구부러지고, 그 결과 패널의 반송이 불가능해지든가, 패널을 손상하는 일이 있다.However, in the conventional inspection apparatus, since only a pair of opposite edges of the panel is gripped, the panel is bent in the center area of the slider in the separation direction when inspecting a large panel, and as a result, the panel cannot be conveyed. We may damage panel.
본 발명의 목적은 대형 패널을 손상하지 않고, 안정하게 반송 가능하게 하는데 있다.An object of the present invention is to enable transporting stably without damaging the large-sized panel.
본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.
The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below. Hereinafter, the content of the present invention will be described in detail.
본 발명에 따른 검사장치는 사각형의 표시용 패널을 받는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지에 대한 상기 패널을 반송하는 반송장치를 포함하고, 상기 반송장치는 상기 패널을 X방향에 있어서의 양 가장자리 및 Y방향에 있어서의 양 가장자리에서 해제 가능하게 지지하여 반송하는 최소한 하나의 캐리어를 포함한다.An inspection apparatus according to the present invention includes an inspection stage for receiving a rectangular display panel, and a conveying apparatus for conveying the panel with respect to the inspection stage, wherein the conveying apparatus moves the panel at both edges in the X direction and Y. And at least one carrier which is releasably supported at both edges in the direction and conveyed.
패널을 사각형의 4변에 각각 대응하는 4개의 가장자리에 있어서 지지하면, 대형 패널이라도 X방향 중앙영역에서의 패널의 구부러짐 및 Y방향 중앙영역에서의 패널의 구부러짐이 Y방향 가장자리의 지지 및 X방향 가장자리의 지지에 의해 서로 방지된다. 그 결과, 대형 패널을 손상하지 않고, 안정하게 반송할 수 있게 된다.If the panel is supported at four edges corresponding to four sides of the rectangle, the panel bends in the center area in the X direction and the panel bends in the center area in the Y direction are supported by the edges in the Y direction and the edges in the X direction, even for large panels. It is prevented from each other by the support. As a result, it is possible to transport stably without damaging the large panel.
상기 캐리어는 상기 X방향의 각 가장자리의 Y방향으로 간격을 둔 복수 부분 및 상기 Y방향의 각 가장자리의 X방향으로 간격을 둔 복수 부분에 접하여 상기 패널을 해제 가능하게 지지하여 반송하는 구조를 가질 수 있다. 그와 같이 하면, 패널의 지지가 안정한다.The carrier may have a structure in which a plurality of portions spaced in the Y direction of each edge in the X direction and a plurality of portions spaced in the X direction of each edge in the Y direction are supported to be releasably supported and transported. have. By doing so, the support of the panel is stable.
상기 캐리어는 상기 패널의 상기 X방향에 있어서의 가장자리를 지지하는 X홀더와, 상기 패널의 상기 Y방향에 있어서의 가장자리를 지지하는 Y홀더와, 상기 X홀더를 X방향으로 이동시키는 X이동기구와, 상기 Y홀더를 Y방향으로 이동시키는 Y이동기구를 포함할 수 있다.The carrier includes an X holder for supporting an edge in the X direction of the panel, a Y holder for supporting an edge in the Y direction of the panel, an X moving mechanism for moving the X holder in the X direction; It may include a Y moving mechanism for moving the Y holder in the Y direction.
상기 캐리어는 상기 패널의 상기 X방향에 있어서의 양 가장자리의 Y방향으로 간격을 둔 복수 부분을 지지하도록 복수의 X홀더를 포함함과 동시에, 상기 패널의 상기 Y방향에 있어서의 양 가장자리의 X방향으로 간격을 둔 복수 부분을 지지하도록 복수의 Y홀더를 포함할 수 있다. 그와 같이 하면, 패널의 지지가 더 안정한다.The carrier includes a plurality of X holders to support a plurality of portions spaced in the Y direction of both edges in the X direction of the panel, and at the same time, the X direction of both edges of the panel in the Y direction. It may include a plurality of Y holder to support a plurality of spaced intervals. By doing so, the support of the panel is more stable.
상기 캐리어는 상기 X홀더가 설치된 X암으로 상기 X이동기구에 의해 X방향으로 이동되는 X암과, 상기 Y홀더가 설치된 Y암으로 상기 Y이동기구에 의해 Y방향으로 이동되는 Y암을 더 포함할 수 있다. 그와 같이 하면, X홀더 및 Y홀더의 이동이 원활해지고, 패널의 지지가 보다 안정한다.The carrier further includes an X arm moved in the X direction by the X moving mechanism to the X arm provided with the X holder, and a Y arm moved in the Y direction by the Y moving mechanism to the Y arm provided with the Y holder. can do. By doing so, the movement of the X holder and the Y holder is smooth, and the support of the panel is more stable.
상기 X이동기구 및 상기 Y이동기구의 한쪽은 다른 쪽에 지지되어 있어도 좋다.One of the X moving mechanism and the Y moving mechanism may be supported on the other side.
상기 X이동기구 및 상기 Y이동기구의 한쪽은 제1 구동원과, 상기 제1 구동원에 의해 회전되는 제1 풀리와, 상기 제1 풀리로부터 Y방향 및 X방향의 다른 쪽으로 간격을 둔 제2 풀리와, 상기 제1 및 제2 풀리에 걸린 벨트로서 상기 X암 및 상기 Y암의 한쪽이 연결된 벨트를 포함하고, 상기 X이동기구 및 상기 Y이동기구의 다른 쪽은, 제2 구동원과, 상기 제2 구동원에 의해 회전되는 볼나사로서 Y방향 및 X방향의 한쪽으로 연장하고, X방향 및 Y방향의 한쪽에 있어서의 두 개소에 역방향의 나사부를 갖는 볼나사와, 각 나사부에 결합하는 너트로서 상기 X암 및 상기 Y암의 다른 쪽에 연결된 너트를 포함할 수 있다.One of the X moving mechanism and the Y moving mechanism includes a first drive source, a first pulley rotated by the first drive source, a second pulley spaced apart from the first pulley in the Y direction and the X direction from the first pulley; And a belt connected to the first and second pulleys, the belt being connected to one of the X arm and the Y arm, and the other of the X moving mechanism and the Y moving mechanism includes a second drive source and the second As a ball screw rotated by a drive source, the ball screw extends in one of the Y direction and the X direction, has a ball screw in two positions in one of the X direction and the Y direction, and a nut engaged with each threaded portion. It may comprise a nut and a nut connected to the other side of the Y arm.
상기 검사장치는 상기 검사 스테이지에서 X방향으로 간격을 둔 패널 세트부를 더 포함하고, 상기 캐리어는 상기 검사 스테이지와 상기 패널 세트부에 대하여 상기 표시용 패널을 수도하도록 해도 좋다. 또한, 상기 반송장치는 두 개의 상기 캐리어를 포함할 수 있다.The inspection apparatus may further include a panel set portion spaced in the X direction from the inspection stage, and the carrier may allow the display panel to be relative to the inspection stage and the panel set portion. The conveying apparatus may also include two of the carriers.
상기 반송장치는 상기 양 캐리어를 각각 이동 가능하게 지지하는 지지대와, 양 캐리어를 각각 이동시키는 2개의 캐리어 구동기구를 더 포함할 수 있다.The conveying apparatus may further include a support for supporting both carriers so as to be movable, and two carrier driving mechanisms for moving both carriers, respectively.
도1 내지 도3을 참조하면, 검사장치(10)는 장방형을 한 표시용 패널(12)의 점등검사장치로 되어 있다. 도시한 예에서는 패널(12)은 사각형의 3개의 변(대응하는 두 개의 짧은 변과 하나의 긴 변)의 각각에 복수의 전극을 갖추고 있다. 각 변에 설치된 전극은 그 변의 방향(즉, 변의 길이방향)으로 간격을 두고 있고, 또한 그 변과 직교하는 방향으로 연장해 있다.1 to 3, the inspection apparatus 10 is a lighting inspection apparatus of the rectangular display panel 12. As shown in FIG. In the illustrated example, the panel 12 has a plurality of electrodes on each of three square sides (two corresponding short sides and one long side). The electrodes provided on each side are spaced in the direction of the side (that is, the longitudinal direction of the side) and extend in the direction orthogonal to the side.
상기 검사장치(10)는 복수의 긴 부재와 복수의 판부재에 의해 제작된 용기(14) 내에, 점등검사를 위한 각종 기기를 수용하고 있다. 검사장치(10)의 전면 상부는 상부만큼 뒤쪽으로 후퇴하는 경사면(16)으로 되어 있다. 이 경사면(16)을 형성하고 있는 판상 부재는 판상의 본체 베이스(18)로서 작용한다.The said inspection apparatus 10 accommodates the various apparatus for lighting inspection in the container 14 produced by the some elongate member and the some plate member. The upper front part of the inspection apparatus 10 is the inclined surface 16 which retracts back as much as the upper part. The plate member which forms this inclined surface 16 acts as a plate-shaped main base 18.
도시한 예에서는, 도1에 있어서, 좌우방향이 X방향이고, 비스듬한 상하방향이 Y방향이다. Z방향은 검사장치(10)에 비스듬하게 받아진 패널(12)에 수직인 방향이다.In the illustrated example, in Fig. 1, the left and right directions are in the X direction, and the oblique up and down direction is in the Y direction. The Z direction is a direction perpendicular to the panel 12 obliquely received by the inspection apparatus 10.
상기 검사장치(10)는 검사장치(10)에 대한 패널(12)을 수도하는 패널 세트부와, 표시용 패널(12)을 검사하는 검사부를 포함한다. 본체 베이스(18)에는 패널(12)보다 큰 사각형의 개구(20 및 22)가 각각 패널 세트부 및 검사부에 대응하는 부분에 형성되어 있다.The inspection apparatus 10 includes a panel set portion for passing the panel 12 to the inspection apparatus 10 and an inspection portion for inspecting the display panel 12. In the main body base 18, rectangular openings 20 and 22 larger than the panel 12 are formed in portions corresponding to the panel set portion and the inspection portion, respectively.
상기 패널 세트부에는 패널(12)을 비스듬하게 받는 수도 스테이지(24)와, 받은 패널(12)의 프리얼라인먼트를 하는 2조(組)의 푸셔(26)가 배치되어 있다. 이에 대하여, 검사부에는 패널(12)을 비스듬하게 받는 검사 스테이지(28)(도3을 참조)와, 전기적 접속장치로서 작용하는 프로브 장치(30)가 배치되어 있다.In the said panel set part, the water supply stage 24 which receives the panel 12 at an angle, and the two sets of pushers 26 which pre-align the received panel 12 are arrange | positioned. In contrast, an inspection stage 28 (see FIG. 3) receiving the panel 12 at an angle and a probe device 30 serving as an electrical connection device are disposed in the inspection portion.
상기 수도 스테이지(24)는 패널(12)을 비스듬하게 받도록 복수의 긴 부재에 의해 형성된 패널 받음(32)을 Z 스테이지(34)에 설치하고 있다. 패널 받음(32)은 패널(12)의 수도시에 Z 스테이지(34)에 의해 Z방향으로 이동된다.The water stage 24 is provided with a panel stand 32 formed by a plurality of elongate members on the Z stage 34 so as to receive the panel 12 at an angle. The panel receiver 32 is moved in the Z direction by the Z stage 34 at the time of delivery of the panel 12.
X방향으로 간격을 둔 푸셔(26)는 X방향으로 연장하는 긴 부재에 서로 가까워지고 서로 멀어지는 방향(X방향)으로 이동 가능하게 배치되고, 도시하지 않은 이동기구에 의해 X방향으로 이동된다. 이에 대하여, Y방향으로 간격을 둔 푸셔(26)는 Y방향으로 연장하는 긴 부재에 서로 가까워지고 서로 멀어지는 방향(Y방향)으로 이동 가능하게 배치되고, 도시하지 않은 이동기구에 의해 Y방향으로 이동된다.The pushers 26 spaced in the X direction are arranged to be movable in directions (X directions) that are close to each other and far from each other to the elongated members extending in the X direction, and are moved in the X direction by a moving mechanism (not shown). On the other hand, the pushers 26 spaced in the Y direction are arranged so as to be movable in directions (Y direction) that are close to each other and far from each other to the elongated members extending in the Y direction, and move in the Y direction by a moving mechanism (not shown). do.
패널(12)은 푸셔(26)가 서로 이간된 상태로, 그들 푸셔(26) 사이에 배치되고, 각 조(組)의 푸셔(26)가 서로 가까워지는 방향으로 이동됨으로써, 수도 스테이지(24)에 대하여 이동되어, 검사장치(10)에 대한 프리얼라인먼트가 된다.The panel 12 is disposed between the pushers 26 with the pushers 26 spaced apart from each other, and moves in the direction in which the pushers 26 of the respective tanks come closer to each other, thereby providing a water supply stage 24. Relative to the inspection apparatus 10.
미검사 패널(12)은 인력 또는 탈착 로봇에 의해 수도 스테이지(24)에 배치되고, 수도 스테이지(24)에 있어서의 푸셔(26)에 의해 프리얼라인먼트 되고, 그 후 반송장치(36)(도1을 참조)에 의해 검사 스테이지(28)로 반송되어, 검사부에서 점등 검사된다.The non-inspection panel 12 is arranged on the water supply stage 24 by a manpower or a detachable robot, is prealigned by the pusher 26 in the water supply stage 24, and then the conveying apparatus 36 (FIG. 1). It is conveyed to the test | inspection stage 28, and it lighting-tests in a test | inspection part.
점등검사는 도시한 예에서는 작업자의 육안에 의한 육안점등검사이지만, 도시하지 않은 비디오 카메라나 화상처리장치 등을 이용하는 자동점등검사여도 좋다.The lighting test is a visual lighting test by the naked eye of the worker in the illustrated example, but may be an automatic lighting test using a video camera, an image processing apparatus or the like not shown.
검사완료 패널(12)은 반송장치(36)에 의해 검사 스테이지(28)에서 수도 스테이지(24)로 반송되고, 그 후 인력 또는 탈착 로봇에 의해 수도 스테이지(24)에서 벗어나 수납용 카세트에 수납된다.The inspection completed panel 12 is conveyed from the inspection stage 28 to the water supply stage 24 by the conveying device 36, and is then moved away from the water supply stage 24 by a manpower or detachment robot and stored in a storage cassette. .
상기 검사 스테이지(28)는 패널(12)을 척 톱(38)의 패널 흡착면에 비스듬한 위쪽에 받도록 패널 흡착면을 개구(22)와 마주보게 하고 있다.The inspection stage 28 has the panel adsorption surface facing the opening 22 so as to receive the panel 12 obliquely above the panel adsorption surface of the chuck saw 38.
상기 척 톱(38)은 패널(12)을 진공적으로 흡착하는 복수의 흡착홈을 패널 흡착면에 갖고 있음과 동시에, 패널(12)을 그 배면으로부터 조명하는 백 라이트 유닛을 내부에 갖추고 있다.The chuck top 38 has a plurality of adsorption grooves on the panel adsorption surface for vacuum adsorption of the panel 12 and a backlight unit for illuminating the panel 12 from the rear thereof.
상기 검사 스테이지(28)는 비스듬한 위쪽에 받은 패널(12)을, 이것과 평행한 X 및 Y의 두 방향과, 받은 패널(12)에 수직인 Z방향으로 이동시키는 삼차원(X, Y 및 Z) 스테이지(40, 42 및 44)를 갖고 있음과 동시에, Z방향으로 연장하는 축선 주위에 각도적으로 회전시키는 θ 스테이지(46)를 갖추고 있다.The inspection stage 28 is a three-dimensional (X, Y and Z) for moving the panel 12 received at an oblique upper side in two directions, X and Y parallel to it, and in the Z direction perpendicular to the panel 12 received. In addition to having the stages 40, 42 and 44, the stage 46 is rotated at an angle around an axis extending in the Z direction.
상기 검사 스테이지(28)는 척 톱(38)을 하강시킨 상태로, 패널(12)을 반송장치(36)로부터 받고, 패널(12)의 검사시에 척 톱(38)을 상승시킨다. 또한, 검사 스테이지(28)는 패널(12)을 반송장치(36)에 건넨 후, 척 톱(38)을 하강시킨 상태로 대기한다.The inspection stage 28 receives the panel 12 from the conveying device 36 in a state where the chuck top 38 is lowered, and raises the chuck top 38 at the time of inspecting the panel 12. Moreover, the inspection stage 28 waits in the state which lowered the chuck saw 38, after passing the panel 12 to the conveying apparatus 36. As shown in FIG.
프로브 장치(30)는 가상적인 사각형의 변에 각각 대응된 4개의 베이스 부재(48)와, 3개의 베이스 부재(48)에 각각 배치된 3개의 프로브 유닛(50)과, 패널(12)의 전극에 대한 프로브 유닛(50)의 위치 조정을 위해 3개의 베이스 부재(48)를 이것에 대응하는 변을 따라(즉, 변의 길이방향으로) 각각 이동시키는 이동기구(도시하지 않음)를 포함한다.The probe device 30 includes four base members 48 corresponding to the sides of the virtual quadrangle, three probe units 50 respectively disposed on the three base members 48, and electrodes of the panel 12. And a moving mechanism (not shown) for moving the three base members 48 along their corresponding sides (ie, in the longitudinal direction of the sides) for the positioning of the probe unit 50 with respect to it.
각 베이스 부재(48)는 이것에 대응하는 변의 길이방향으로 긴 판의 형상을 갖고 있고, 또한 본체 베이스(18)의 뒷면에 지지되고, 일부가 개구(22)에 노출되어 있다. 서로 이웃하는 베이스 부재(48)는 접하지 않도록 간격을 두고 있다.Each base member 48 has the shape of a long plate in the longitudinal direction of the side corresponding to this, is supported by the back surface of the main body base 18, and part is exposed to the opening 22. Adjacent base members 48 are spaced apart from each other in contact with each other.
상기 프로브 유닛(50)은 서로 마주보는 한 쌍의 베이스 부재(48)와, 그들 베이스 부재(48)와 서로 이웃하는 하나의 베이스 부재(48)에 배치되어 있다. 이에 대하여, 이동기구는 마주보는 다른 한 쌍의 베이스 부재(48)와, 그들 베이스 부재(48)와 서로 이웃하는 하나의 베이스 부재(48)에 설치되어 있다.The probe unit 50 is disposed on a pair of base members 48 facing each other and one base member 48 adjacent to the base members 48. In contrast, the moving mechanism is provided on a pair of opposite base members 48 and one base member 48 adjacent to the base members 48.
이동기구에 연결되어 있지 않는 베이스 부재(48)는 스페이서(도시하지 않음)와, 볼트와 같은 복수의 고정기구(도시하지 않음)에 의해, 본체 베이스(18)에 이동 불가능하게 설치되어 지지되어 있다.The base member 48 that is not connected to the moving mechanism is supported by the spacer (not shown) and a plurality of fixing mechanisms (not shown) such as bolts so as to be immovably installed on the main body base 18. .
남은 각 베이스 부재(48)는, 리니어 가이드와 같은 가이드 기구(도시하지 않음)에 의해, 대응하는 변의 길이방향으로 이동 가능하게, 본체 베이스(18)에 설치되어 지지되어 있다.Each of the remaining base members 48 is provided on the main body base 18 so as to be movable in the longitudinal direction of the corresponding side by a guide mechanism (not shown) such as a linear guide.
각 프로브 유닛(50)은 대응하는 베이스 부재(48)에 이것의 길이방향으로 연장하는 상태로 설치된 긴 판상의 프로브 베이스(52)와, 프로브 베이스(52)에 배치된 복수의 프로브 블록(54)과, 프로브 블록(54)에 배치된 복수의 프로브(56)를 갖추고 있다.Each probe unit 50 has an elongated plate-shaped probe base 52 provided in a corresponding base member 48 in a state extending in the longitudinal direction thereof, and a plurality of probe blocks 54 disposed on the probe base 52. And the plurality of probes 56 arranged in the probe block 54.
상기 프로브 베이스(52)는 베이스 부재(48)의 폭방향에 있어서의 가장자리 중, 사각형의 중심쪽(즉, 선단쪽)이 되는 가장자리의 바깥쪽에 복수의 나사부재(도시하지 않음)에 의해 견고하게 설치되어 있다.The probe base 52 is firmly secured by a plurality of screw members (not shown) on the outer side of the edge which becomes the center side of the quadrangle (ie, the tip side) of the edges in the width direction of the base member 48. It is installed.
각 프로브 블록(54)은 프로브 베이스(52)의 폭방향에 있어서의 선단쪽 가장자리의 바깥쪽에 복수의 나사부재(도시하지 않음)에 의해 견고하게 설치되어 있다. 각 프로브(56)는 선단쪽을 앞쪽으로 돌출시킨 상태로 프로브 블록(54)의 선단부 아래면에 적절한 수단을 이용하여 설치되어 있다.Each probe block 54 is firmly provided by a plurality of screw members (not shown) on the outer side of the leading edge in the width direction of the probe base 52. Each probe 56 is attached to the lower surface of the tip end of the probe block 54 in a state where the front end side is protruded forward by using appropriate means.
베이스 부재(48)용 각 이동기구는 본체 베이스(18)에 설치된 모터와 상기 모터에 의해 회전되는 리드 스크루와, 리드 스크루에 결합된 리드 너트를 포함하는 일반적인 기구를 이용할 수 있다.Each moving mechanism for the base member 48 may use a general mechanism including a motor installed in the main body base 18, a lead screw rotated by the motor, and a lead nut coupled to the lead screw.
각 프로브(56)는 검사 스테이지(28)에 반송된 패널(12)의 검사시에, 척 톱(38)이 상승됨으로써 패널(12)의 전극에 눌린다. 그 상태에서, 패널(12)에 그 전극을 사이에 두고 통전된다.Each probe 56 is pressed against the electrode of the panel 12 by raising the chuck saw 38 at the time of the inspection of the panel 12 conveyed to the inspection stage 28. In this state, the panel 12 is energized with the electrodes interposed therebetween.
도4에서 도10에 나타낸 바와 같이, 반송장치(36)는 본체 베이스(18)의 뒷면에 설치된 프레임(60)과, X방향으로 이동 가능하게 및 X방향으로 간격을 둔 상태로 프레임(60)에 배치된 한 쌍의 캐리어(62, 64)와, 캐리어(62, 64)를 X방향으로 각각 이동시키는 한 쌍의 캐리어 이동기구(66, 68)를 갖추고 있다.As shown in Fig. 4 to Fig. 10, the conveying apparatus 36 is frame 60 provided on the rear surface of the main body base 18, and the frame 60 is movable in the X direction and spaced in the X direction. And a pair of carriers 62 and 64 arranged in the center, and a pair of carrier moving mechanisms 66 and 68 for moving the carriers 62 and 64 in the X direction, respectively.
상기 프레임(60)은 4개의 긴 부재(70)를 사각형으로 결합하고 있고, 또한 2개의 가이드 레일(72, 74)을 이들이 Y방향으로 간격을 두고 X방향으로 연장하는 상태로, Y방향과 마주보는 한 쌍의 긴 부재의 각각에 설치하고 있다.The frame 60 is coupled to the four long members 70 in a quadrangle, and the two guide rails 72, 74 extend in the X direction at intervals in the Y direction, facing the Y direction. We install in each of pair of long members to see.
상기 가이드 레일(72 및 74)에 이동 가능하게 끼워져 결합된 가이드(76 및 78)는, 각각 캐리어(62 및 64)의 양단부에 설치되어 있다. 이 때문에, 캐리어(62)는 가이드 레일(72) 및 가이드(76)를 통하여 프레임(60)에 이동 가능하게 지지되어 있고, 캐리어(64)는 가이드 레일(74) 및 가이드(78)를 통하여 프레임(60)에 이동 가능하게 지지되어 있다.The guides 76 and 78 movably fitted to and coupled to the guide rails 72 and 74 are provided at both ends of the carriers 62 and 64, respectively. For this reason, the carrier 62 is movably supported by the frame 60 via the guide rail 72 and the guide 76, and the carrier 64 is framed through the guide rail 74 and the guide 78. FIG. It is supported by 60 so that a movement is possible.
상기 캐리어(62, 64)는 그 한쪽(62(64))을 도6에서 도8에 나타낸 바와 같이, Z방향으로 간격을 두고 Y방향으로 연장하는 캐리어 베이스(80)를 가이드 레일(72(74)) 및 가이드(76(78))에 의해 프레임(60)에 X방향으로 이동 가능하게 지지시키고, Y방향으로 간격을 두고 X방향으로 연장하는 한 쌍의 지지 암(82)을 캐리어 베이스(80)에 Y방향으로 이동 가능하게 배치하고 있다.As shown in FIGS. 6 to 8, the carriers 62 and 64 have guide rails 72 (74) extending in the Y direction at intervals in the Z direction, as shown in FIGS. 6 to 8. )) And guides 76 (78) to support the frame 60 so as to be movable in the X direction, and a pair of support arms 82 extending in the X direction at intervals in the Y direction to the carrier base 80 ) Is arranged to be movable in the Y direction.
상기 가이드(76(78))는 캐리어 베이스(80)의 단부에 설치되어 있다. 캐리어 베이스(80)는 Y방향으로 평행하게 연장하는 가이드 레일(84)을 갖추고 있다. 가이드 레일(84)에 이동 가능하게 끼워져 결합된 가이드(86)는 지지 암(82)의 일단부에 설치되어 있다. 이 때문에, 각 지지 암(82)은 캐리어 베이스(80)에 한쪽 지지의 다리 형상으로 지지되어 있다.The guide 76 (78) is provided at the end of the carrier base 80. The carrier base 80 has a guide rail 84 extending in parallel in the Y direction. The guide 86 movably fitted to the guide rail 84 is provided at one end of the support arm 82. For this reason, each support arm 82 is supported by the carrier base 80 in the shape of a leg of one support.
각 지지 암(82)에는 한 쌍의 X암(88)이 X방향으로 간격을 두고 설치되어 있음과 동시에, Y암(90)이 설치되어 있다. 양 X암(88)과 Y암(90)은 지지 암(82)에서 Y방향의 중심을 향해 연장하고, 지지 암(82)에 한쪽 지지의 다리 형상으로 지지되어 있다.Each support arm 82 is provided with a pair of X arms 88 at intervals in the X direction, and a Y arm 90 is provided. Both X-arms 88 and Y-arms 90 extend from the support arm 82 toward the center of the Y-direction, and are supported by the support arm 82 in the shape of a leg of one support.
각 X암(88)은 리니어 가이드와 같은 적절한 결합수단(92)에 의해, 각 지지 암(82)에 X방향으로 간격을 두고 서로 가까워지고 서로 멀어지는 방향(X방향)으로 이동 가능하게 설치되어 있다.Each X arm 88 is provided on the support arms 82 so as to be moved closer to each other and away from each other (X direction) by an appropriate coupling means 92 such as a linear guide. .
각 X암(88)은 X홀더(94)를 선단부에 갖추고 있다. 이에 대하여, Y암(90)은 한 쌍의 Y홀더(96)를 선단부에 X방향으로 간격을 두고 갖추고 있다. 양 X홀더(94) 및 Y홀더(96)는 각각 X방향에 있어서의 패널(12)의 가장자리 및 Y방향에 있어서의 패널(12)의 가장자리에 접함으로써, 함께 그 패널(12)을 지지한다.Each X arm 88 has an X holder 94 at its distal end. In contrast, the Y arm 90 has a pair of Y holders 96 arranged at intervals in the X direction at the distal end thereof. Both the X holder 94 and the Y holder 96 respectively support the panel 12 by contacting the edge of the panel 12 in the X direction and the edge of the panel 12 in the Y direction. .
상기 X홀더(94) 및 Y홀더(96)는 모두 패널(12)을 마주보는 홀더로 끼움으로써 지지하는 것이어도 좋고, 패널(12)을 걸음 편(片)으로 걸어서 지지하는 것이어도 좋고, 게다가 패널(12)을 받음 변에 받음으로써 지지하는 것이어도 좋다.Both the X holder 94 and the Y holder 96 may be supported by fitting the panel 12 with the holder facing each other, or may be supported by walking the panel 12 by a walking piece. The panel 12 may be supported by receiving on the receiving side.
캐리어 이동기구(66, 68)의 각각은 X방향으로 연장하는 볼나사(100)를 프레임(60)에 회전 가능하게 지지시키고 볼나사(100)에 결합하는 너트(도시하지 않음)를 캐리어 베이스(80)에 설치하고 있다. 볼나사(100)는 캐리어용 모터(104)에 의해 회전된다.Each of the carrier moving mechanisms 66 and 68 rotatably supports the ball screw 100 extending in the X direction to the frame 60 and includes a nut (not shown) that couples to the ball screw 100. 80). The ball screw 100 is rotated by the carrier motor 104.
캐리어 이동기구(66 및 68)의 모터(104 및 104)는 서로 역방향으로 함께 회전된다. 이에 의해, 양 캐리어(62 및 64)는 수도 스테이지(24)에서 검사 스테이지(28)로 또는 그 반대로 각각 이동된다.The motors 104 and 104 of the carrier moving mechanisms 66 and 68 rotate together in opposite directions to each other. By this, both carriers 62 and 64 are respectively moved from the water supply stage 24 to the inspection stage 28 or vice versa.
각 암에 있어서, 먼저 Y암(90 및 90)이 Y이동기구(108 및 108)에 의해 함께 Y방향으로 이동된다. 이어서, X암(88 및 88)이 각각 X이동기구(106 및 106)에 의해 X방향으로 함께 이동된다.In each arm, the Y arms 90 and 90 are first moved together in the Y direction by the Y moving mechanisms 108 and 108. Subsequently, the X arms 88 and 88 are moved together in the X direction by the X moving mechanisms 106 and 106, respectively.
각 X이동기구(106)는 모터와 같이 역회전 가능한 X구동원(110)과, X구동원(110)에 의해 회전되는 제1 풀리(112)와, 제1 풀리(112)에서 X방향으로 간격을 둔 제2 풀리(114)와, 제1 및 제2 풀리(112 및 114)에 걸린 무단 벨트(116)를 포함한다.Each X moving mechanism 106 is spaced in the X direction at the X drive source 110 that can be reversely rotated like a motor, the first pulley 112 rotated by the X drive source 110, and the first pulley 112. And an endless belt 116 fastened to the second pulley 114 and the first and second pulleys 112 and 114.
위쪽의 X암(88)은 무단 벨트(116)의 위쪽 부분에 설치되어 있고, 아래쪽의 X암(88)은 무단 벨트(116)의 아래쪽 부분에 설치되어 있다. 이 때문에, 양 X암(88 및 88)은 X구동원(110)이 한 방향으로 회전되면, 서로 가까워지는 방향으로 이동되고, 다른 방향으로 회전되면 서로 멀어지는 방향으로 이동된다. 이에 의해, 양 X암(88 및 88)은 패널(12)의 파지와 그 해제를 행한다.The upper X arm 88 is provided at the upper portion of the endless belt 116, and the lower X arm 88 is provided at the lower portion of the endless belt 116. For this reason, when the X drive source 110 is rotated in one direction, both X-arms 88 and 88 are moved in the direction which mutually approaches, and when it rotates in another direction, it moves to the direction which mutually moves away. As a result, both X-arms 88 and 88 grip and release the panel 12.
Y이동기구(108)는 모터와 같이 역회전 가능한 Y구동원(120)과, Y구동원(120)에 의해 Y방향으로 연장하는 축선 주위에 회전되고 Y방향에 있어서의 두 곳에 역방향 나사부(122a, 122b)를 갖는 볼나사(122)와, 각 나사부(122a, 122b)에 결합하는 너트(124)를 포함한다.The Y moving mechanism 108 is rotated around an Y drive source 120 that can be reversely rotated like a motor, and an axis extending in the Y direction by the Y drive source 120, and reverse threads 122a and 122b in two places in the Y direction. Ball screw 122 having a) and a nut 124 for engaging the respective threaded portions (122a, 122b).
도시한 예에서는 볼나사(122)는, 나사부(122a 및 122b)로서 작용하는 나사봉을 연결구(122c)에 의해 연결하고 있고, 또한 캐리어 베이스(80)에 Y방향으로 연장하는 축선 주위에 회전 가능하게 지지되어 있다. 각 너트(124)는 지지 암(82)에 설치되어 있다.In the example shown, the ball screw 122 connects the screw rod which acts as the threaded part 122a and 122b with the connector 122c, and can rotate around the axis line extended to the carrier base 80 in the Y direction. Is supported. Each nut 124 is attached to the support arm 82.
가이드 레일(72, 74, 84) 및 가이드(76, 78 및 78, 86)로서, 리니어 가이드를 이용할 수 있다.As the guide rails 72, 74, 84 and the guides 76, 78, 78, 86, a linear guide can be used.
검사장치(10)에 있어서는 검사 스테이지(28)에서 패널을 검사하고 있는 동안에, 캐리어(62(또는 64))에 의한 수도 스테이지(24)로의 검사완료 패널의 배치와, 수도 스테이지(24)로부터의 검사완료 패널의 제거와, 수도 스테이지(24)로의 미검사 패널(12)의 배치와, 그 미검사 패널의 프리얼라인먼트와, 캐리어(62(또는 64))로의 그 미검사 패널의 수도가 행해진다.In the inspection apparatus 10, while the panel is inspected by the inspection stage 28, the arrangement of the inspection completed panel to the water supply stage 24 by the carrier 62 (or 64), and from the water supply stage 24. Removal of the inspected panel, placement of the uninspected panel 12 to the water supply stage 24, prealignment of the uninspected panel, and water supply of the uninspected panel to the carrier 62 (or 64) are performed. .
검사가 종료하면, 수도 스테이지(24)쪽의 미검사 패널이 한쪽 캐리어(62(또는 64))에 유지되고, 검사 스테이지(28)쪽의 검사완료 패널이 다른 쪽 캐리어(64( 또는 62))에 유지되고, 그들이 각각 검사 스테이지(28) 및 수도 스테이지(24)로 반송된다.When the inspection is finished, the uninspected panel on the water supply stage 24 side is held in one carrier 62 (or 64), and the inspected panel on the inspection stage 28 side is the other carrier 64 (or 62). And they are conveyed to the inspection stage 28 and the water supply stage 24, respectively.
캐리어(62 및 64)에 의한 미검사 및 검사완료 패널의 반송은 각각 캐리어 이동기구(66 및 68)를 서로 역방향으로 회전시킴으로써 행해진다.The uninspected and inspected panels by the carriers 62 and 64 are carried out by rotating the carrier moving mechanisms 66 and 68 in opposite directions, respectively.
캐리어(62, 64)에 의한 패널(12)의 파지는 X구동원(110, 110) 및 Y구동원(120)을 한 방향으로 회전시켜, 도9(A)에 나타낸 바와 같이 X홀더(94, 94) 및 Y홀더(96, 96)를 이들이 서로 가까워지는 방향으로 이동시키고, 그에 의해 홀더(94, 94, 96, 96)에 패널(12)의 가장자리를 지지시킴으로써 행해진다.The grip of the panel 12 by the carriers 62 and 64 rotates the X drive sources 110 and 110 and the Y drive source 120 in one direction, and as shown in Fig. 9A, the X holders 94 and 94. ) And the Y holders 96 and 96 in the direction in which they are close to each other, thereby supporting the edges of the panel 12 in the holders 94, 94, 96 and 96.
캐리어(62, 64)에 의한 패널(12)의 반송은, X홀더(94) 및 Y홀더(96)를 각각 X방향의 각 가장자리의 Y방향으로 간격을 둔 복수 부분 및 Y방향의 각 가장자리의 X방향으로 간격을 둔 복수 부분에 접하게 하여 패널(12)을 해제 가능하게 지지한 상태로 행해진다. 이 때문에, 패널(12)의 지지가 안정한다.The conveyance of the panel 12 by the carriers 62 and 64 is carried out by plural parts which spaced the X holder 94 and the Y holder 96 in the Y direction of each edge in the X direction, and each edge in the Y direction. The panel 12 is detachably supported in contact with a plurality of parts spaced apart in the X direction. For this reason, the support of the panel 12 is stable.
패널(12)의 해방은 X구동원(110, 110) 및 Y구동원(120)을 다른 방향으로 회전시켜, 도9(B)에 나타낸 바와 같이 X홀더(94, 94) 및 Y홀더(96, 96)를 이들이 멀어지는 방향으로 이동시킴으로써 행해진다.The release of the panel 12 rotates the X drive sources 110 and 110 and the Y drive source 120 in different directions, as shown in Fig. 9B, and the X holders 94 and 94 and the Y holders 96 and 96 as well. ) By moving them away.
검사장치(10)와 같이, 패널(12)을 사각형의 4개의 변에 각각 대응하는 4개의 가장자리에서 지지하면, 대형 패널이라도, X방향 중앙영역에서의 패널의 구부러짐 및 Y방향 중앙영역에서의 패널의 구부러짐이 Y방향 가장자리의 지지 및 X방향 가장자리의 지지에 의해 서로 방지된다. 그 결과, 대형 패널을 손상하지 않고, 안정하게 반송할 수 있게 된다.Like the inspection apparatus 10, when the panel 12 is supported at four edges corresponding to four sides of a rectangle, even if a large panel is bent, the panel bends in the center region in the X direction and the panel in the center region in the Y direction. The bending of is prevented from each other by the support of the Y-direction edge and the support of the X-direction edge. As a result, it is possible to transport stably without damaging the large panel.
도10을 참조하면, 도10(A)에 나타낸 홀더(130)는, L자상의 홀더편(片)(132)을 L자상의 요(凹)소가 패널 지지쪽이 되는 상태로 패널이 걸리는 쪽이 되는 상태로 X암(88) 또는 Y암(90)에 설치하고, 패널(12)의 낙하를 방지하는 낙하 방지편(134)을 홀더편(132)의 패널 걸림 쪽에 설치하고, 패널(12)에 접하는 탄성 블록(136)을 홀더편(132)의 L자상의 요소에 설치하고 있다.Referring to Fig. 10, the holder 130 shown in Fig. 10A has a L-shaped holder piece 132 in which the panel is caught with the L-shaped yaw as the panel support side. It is attached to the X arm 88 or the Y arm 90 in the state which becomes a side, and the fall prevention piece 134 which prevents the fall of the panel 12 is installed in the panel engaging side of the holder piece 132, and the panel ( An elastic block 136 in contact with 12) is attached to an L-shaped element of the holder piece 132.
도10(B)에 나타낸 홀더(140)는 コ자상의 홀더편(142)을 コ자상의 요소가 패널 지지쪽이 되는 상태로 X암(88) 또는 Y암(90)에 설치하고, 패널(12)의 낙하를 방지하는 한 쌍의 낙하 방지편(144)을 홀더편(142)의 패널 지지쪽에 Z방향으로 간격을 두고 설치하고, 패널(12)에 접하는 탄성 블록(146)을 홀더편(142)의 コ자상의 요소에 설치하고 있다.The holder 140 shown in Fig. 10B is provided with a U-shaped holder piece 142 on the X arm 88 or the Y arm 90, with the U-shaped element being the panel support side. A pair of anti-falling pieces 144 for preventing the fall of 12 is provided on the panel support side of the holder piece 142 at intervals in the Z direction, and the elastic block 146 in contact with the panel 12 is attached to the holder piece ( 142) is installed in the U-shaped element.
도10(C)에 나타낸 홀더(150)는, 입방체 형상의 홀더편(152)을 X암(88) 또는 Y암(90)에 설치하고, 패널(12)에 접하는 탄성 블록(156)을 홀더편(142)의 패널 지지쪽에 설치하고 있다.The holder 150 shown in FIG. 10 (C) is provided with a holder piece 152 having a cubic shape on an X arm 88 or a Y arm 90, and a holder of an elastic block 156 in contact with the panel 12. It is installed in the panel support side of the piece 142.
낙하 방지편(134 및 144)의 두께(지면에 수직인 방향의 치수)는 각각 홀더편(132 및 142)의 두께보다 작다. 탄성 블록(136, 146, 156)은 우레탄 고무와 같은 고무재로 제작되어 있다. 도1에서 도9에 나타낸 실시예에서 이용하는 홀더(94, 96)는 홀더(130)이다.The thicknesses (dimensions in the direction perpendicular to the surface) of the fall prevention pieces 134 and 144 are smaller than the thicknesses of the holder pieces 132 and 142, respectively. The elastic blocks 136, 146, 156 are made of a rubber material such as urethane rubber. The holders 94 and 96 used in the embodiment shown in Figs. 1 to 9 are holders 130.
상기 홀더(130, 140, 150)는 모두 패널(12)의 가장자리를 탄성 블록(136, 146, 156)에 접하게 하고, 패널(12)을 탄성 블록(136, 146, 156)에 마찰 결합시킴으로써 지지한다. 그러나, 홀더는 패널(12)을 받음 편(片)에 받음으로써 지지하는 것 등, 다른 타입의 것을 이용해도 좋다.The holders 130, 140, 150 all support the edges of the panel 12 by contacting the elastic blocks 136, 146, 156 and frictionally coupling the panel 12 to the elastic blocks 136, 146, 156. do. However, another type of holder may be used, such as supporting the panel 12 by receiving the panel 12 on a receiving piece.
반송장치(36)는 하나의 캐리어(62 또는 64)를 이용하는 것이어도 좋다. 또한, 검사 스테이지(28)에 대하여 X방향에 있어서의 양측에 수도 스테이지(24)를 배치한 검사장치의 경우, 패널을 한쪽 수도 스테이지와 검사 스테이지로 반송하는 캐리어와, 다른쪽 수도 스테이지와 검사 스테이지로 반송하는 캐리어를 갖춘 반송장치여도 좋다.The conveying apparatus 36 may use one carrier 62 or 64. Moreover, in the case of the inspection apparatus which arrange | positioned the water supply stage 24 to the both sides in the X direction with respect to the inspection stage 28, the carrier which conveys a panel to one water supply stage and an inspection stage, and the other water supply stage and an inspection stage The conveying apparatus with a carrier to convey by may be sufficient.
본 발명은 액정표시 패널뿐만 아니라, 그러한 용도의 유리기판, 유기 EL 등, 다른 표시용 패널의 전기적 접속장치에도 적용할 수 있다. 또한, 본 발명은 표시용 패널을 비스듬한 상태로 검사하는 장치뿐만 아니라, 표시용 패널을 위쪽을 향한 상태로 검사하는 장치 등, 다른 타입의 검사장치에도 적용할 수 있다.The present invention can be applied not only to liquid crystal display panels but also to electrical connection devices of other display panels such as glass substrates and organic ELs for such applications. Further, the present invention can be applied to other types of inspection apparatuses, such as an apparatus for inspecting the display panel in an oblique state, as well as an apparatus for inspecting the display panel in an upward direction.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the spirit thereof.
본 발명에 따른 표시용 패널의 검사장치는 대형 패널을 손상하지 않고, 안정하게 반송할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.
The inspection apparatus for a display panel according to the present invention has the effect of the invention that can be transported stably without damaging a large panel.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

Claims (10)

  1. 사각형의 표시용 패널을 받는 검사 스테이지; 및An inspection stage receiving a rectangular display panel; And
    상기 검사 스테이지에 대하여 상기 패널을 반송하는 반송장치;A conveying apparatus for conveying the panel with respect to the inspection stage;
    를 포함하고, 상기 반송장치는 상기 패널을 X방향에 있어서의 양 가장자리 및 Y방향에 있어서의 양 가장자리에서 해제 가능하게 지지하여 반송하는 최소한 하나의 캐리어를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 패널의 검사장치.And the conveying apparatus includes at least one carrier for releasably supporting the panel at both edges in the X direction and at both edges in the Y direction, and carrying the panel. Device.
  2. 제1항에 있어서, 상기 캐리어는 상기 X방향에 있어서의 각 가장자리의 Y방향으로 간격을 둔 복수 부분 및 상기 Y방향에 있어서의 각 가장자리의 X방향으로 간격을 둔 복수 부분에 접하여 상기 패널을 해제 가능하게 지지하여 반송하는 것을 특징으로 하는 검사장치.The panel according to claim 1, wherein the carrier releases the panel in contact with a plurality of portions spaced in the Y direction of each edge in the X direction and a plurality of portions spaced in the X direction of each edge in the Y direction. An inspection apparatus, characterized in that supported and conveyed as possible.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 캐리어는 The carrier of claim 1 or 2, wherein the carrier is
    상기 패널의 상기 X방향에 있어서의 가장자리를 지지하는 X홀더;An X holder for supporting an edge in the X direction of the panel;
    상기 패널의 상기 Y방향에 있어서의 가장자리를 지지하는 Y홀더;A Y holder for supporting an edge in the Y direction of the panel;
    상기 X홀더를 X방향으로 이동시키는 X이동기구; 및An X moving mechanism for moving the X holder in the X direction; And
    상기 Y홀더를 Y방향으로 이동시키는 Y이동기구;A Y moving mechanism for moving the Y holder in the Y direction;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.Inspection apparatus comprising a.
  4. 제3항에 있어서, 상기 캐리어는 상기 패널의 상기 X방향에 있어서의 양 가장자리의 Y방향으로 간격을 둔 복수 부분을 지지하도록 복수의 X홀더를 포함함과 동시에, 상기 패널의 상기 Y방향에 있어서의 양 가장자리의 X방향으로 간격을 둔 복수 부분을 지지하도록 복수의 Y홀더를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.4. The carrier according to claim 3, wherein the carrier includes a plurality of X holders to support a plurality of portions spaced in the Y direction of both edges in the X direction of the panel, and at the same time in the Y direction of the panel. And a plurality of Y holders to support the plurality of portions spaced in the X direction of both edges of the plurality of Y holders.
  5. 제3항에 있어서, 상기 캐리어는 The method of claim 3, wherein the carrier
    상기 X홀더가 설치된 X암으로 상기 X이동기구에 의해 X방향으로 이동되는 X암; 및An X arm which is moved in the X direction by the X moving mechanism with the X arm provided with the X holder; And
    상기 Y홀더가 설치된 Y암으로 상기 Y이동기구에 의해 Y방향으로 이동되는 Y암;A Y arm moved in the Y direction by the Y moving mechanism to a Y arm provided with the Y holder;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.Inspection apparatus characterized in that it further comprises.
  6. 제5항에 있어서, 상기 X이동기구 및 상기 Y이동기구의 한쪽은 다른 쪽에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 검사장치.The inspection apparatus according to claim 5, wherein one of the X moving mechanism and the Y moving mechanism is supported by the other side.
  7. 제5항에 있어서, 상기 X이동기구 및 상기 Y이동기구의 한쪽은6. The one side of the X moving mechanism and the Y moving mechanism is
    제1 구동원;A first drive source;
    상기 제1 구동원에 의해 회전되는 제1 풀리;A first pulley rotated by the first drive source;
    상기 제1 풀리로부터 X방향 및 Y방향의 다른 쪽으로 간격을 둔 제2 풀리;A second pulley spaced apart from the first pulley in the X direction and the Y direction;
    상기 제1 및 제2 풀리에 걸린 벨트로서 상기 X암 및 상기 Y암의 한쪽이 연결된 벨트;A belt secured to the first and second pulleys, the belt being connected to one of the X arm and the Y arm;
    를 포함하고, 상기 X이동기구 및 상기 Y이동기구의 다른 쪽은To include, the other side of the X moving mechanism and the Y moving mechanism
    제2 구동원;A second drive source;
    상기 제2 구동원에 의해 회전되는 볼나사로 Y방향 및 X방향의 한쪽으로 연장하고, Y방향 및 X방향의 한쪽에 있어서의 두 곳에 역방향의 나사부를 갖는 볼나사; 및A ball screw that is rotated by the second drive source and extends in one of the Y direction and the X direction, and has a screw portion opposite to the two locations in one of the Y and X directions; And
    각 나사부에 결합하는 너트로서 상기 X암 및 상기 Y암의 다른 쪽에 연결된 너트;A nut coupled to each threaded portion, the nut connected to the other of the X arm and the Y arm;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.Inspection apparatus comprising a.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 검사 스테이지에서 X방향으로 간격을 둔 패널 세트부를 더 포함하고, 상기 캐리어는 상기 검사 스테이지와 상기 패널 세트부에 대하여 상기 표시용 패널을 수도하는 것을 특징으로 하는 검사장치.The display apparatus according to claim 1 or 2, further comprising a panel set portion spaced in the X direction from the inspection stage, wherein the carrier may also use the display panel with respect to the inspection stage and the panel set portion. Inspection device.
  9. 제8항에 있어서, 상기 반송장치는 두 개의 상기 캐리어를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.9. An inspection apparatus according to claim 8, wherein said conveying device comprises two said carriers.
  10. 제8항에 있어서, 상기 반송장치는 The method of claim 8, wherein the conveying apparatus
    상기 양 캐리어를 각각 이동 가능하게 지지하는 지지대; 및A support for movably supporting both carriers; And
    양 캐리어를 각각 이동시키는 2개의 캐리어 구동기구;Two carrier drive mechanisms for moving both carriers, respectively;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.Inspection device characterized in that it further comprises.
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