KR100633873B1 - 누설 검사 방법 및 장치 - Google Patents

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    • G01M3/26Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
    • G01M3/32Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors for containers, e.g. radiators

Abstract

하나 이상의 액체 성분을 함유하는 충전 제품이 담긴 밀폐된 용기(9)를 누설 검사하기 위하여, 최소한 상기 액체 성분의 증기압까지 진공흡입되는 검사 공동(1) 내로 그 용기가 넣어진다. 상기 용기(9)의 주위의 압력 따라서 검사 공동(1) 내부의 압력이 감시된다. 상기 감시는 진공 압력 센서(7)에 의해 수행되는 한편, 용기(9)를 둘러싸는 압력의 강하는 진공 펌프(5)에 의해 수행된다. 용기의 누설은 상기 용기 주위의 압력 변화를 감시하는 것에 의해 검출되는데, 그 압력 변화는 누설구로부터 나와서 저압력의 주위에서 증발되는 액체의 증발 때문이다.
누설 검사, 흡입, 용기, 감시, 센서

Description

누설 검사 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR LEAK TESTING}
본 발명은 일반적으로 적어도 하나의 액체 성분을 포함하는 충전 물질로 충전된 밀폐 용기의 누설을 검사하기 위한 기술에 관한 것이다.
밀폐된 용기를 검사 공동(test cavity) 내부에 넣고 검사 공동을 밀봉되게 밀폐한 후에 흡입 펌프(suctioning pump)에 의해 압력을 낮추는 누설 검사 기술들이 알려져 있다. 만약 용기가 새지 않는다면, 검사 공동 내부 즉 검사할 용기 주위가 사전에 결정된 압력에 일단 도달한 후에는, 이 압력이 거의 일정하게 유지될 것이다. 만약 용기의 공기가 갇힌 어떤 영역에서 누설이 있다면, 용기로부터의 공기 흐름이 주위 압력의 상승을 가져오게 될 것이다. 만약 용기의 충전물품이 갇힌 영역에서 누설이 존재한다면, 그러한 누설이 주위의 상당한 압력 상승을 가져올 것인지 여부는 충전물품의 점성, 충전물품 내에 고체 입자들의 존재 여부와 같은 충전물품의 종류에 크게 의존하며, 또한 당연히 누설구의 크기에 크게 의존하게 된다.
누설구가 공기가 갇힌 용기 영역에 존재하는가 또는 충전물품로 덮인 영역에 존재하는가에 무관하게 제품이 충전된 용기에서의 누설구를 정확하게 발견하기 위한 갖가지 접근법들이 알려져 있다. 그러한 접근법 중 하나가 함께 출원 중인 유럽 특허 출원 EP-A-0 791 814 와 미국 특허 출원 No. 08/862993의 주제인데, 그 접근법은 어떠한 전극 배치에 의해 용기 외벽에 바로 인접한 곳에서 임피던스 측정, 특히 저항 측정을 제공할 것을 제안한다. 즉, 액체가 누설구로부터 스며 나오면 각각의 임피던스 측정용 전극들의 쌍에 접촉하게 되어 그 전극들간에 측정되는 임피던스의 상당한 변화를 야기하게 되는 것이다.
그럼에도 불구하고, 그러한 접근법은 각 검사 공동, 특히 다중 공동 인라인 검사기(multi-cavity in-line inspection machine)의 검사 공동 내부에 임피던스 측정을 위한 장치를 제공하는 것과 관련되는 상당한 추가적인 비용이 들고, 1 미크론에 훨씬 못 미치는 매우 작은 크기를 가지고 용기의 형상 및 충전물품의 종류와는 거의 무관한 누설구에 대한 검출이 어렵다.
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본 발명의 주된 목적은 매우 넓은 범위의 여러 가지 용기들 및 적어도 하나의 액체 성분을 갖는 여러 가지 충전물품에 적용될 수 있는 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 전자적 장치 및 추가적인 장치와 관련하여 비용이 적게 들어서 매우 경제적인 검사를 가능케 하는 누설 검사 방법과 누설 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 측정 사이클이 짧지만 그럼에도 불구하고 매우 높은 측정 정확도를 갖는 누설 검사 장치 및 누설 검사 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위하여, 적어도 하나의 밀폐되고 충전된 용기를 누설 검사하기 위한 방법으로서, 상기 용기의 내용물이 적어도 하나의 액체 성분을 포함하며, 적어도 누설 검사될 용기 벽 부분을 가로질러 압력차가 인가되고, 상기 인가된 압력차는 용기 주위 쪽으로 향하며, 상기 용기 주위의 압력이 누설 표시 신호로서 감시되되, 상기 압력차는 용기 주위의 압력을 최소한 검사될 용기의 충전 제품의 상기 적어도 하나의 액체 성분의 증기압과 일치하는 값까지 낮춤으로써 생성되는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법이 제공된다.
본 발명은, 만약 용기가 새서 액체가 낮은 주위 압력에 의해 외부로 인출되면 이는 - 일정한 주위 체적에서- 주위 압력이 그 증기압에 도달하자마자 그 액체가 증발한다는 인식으로부터 출발한다. 이는 새지 않는 용기로 동일한 측정 조건에서 만들어지는 주위 압력과 비교할 때 주위 압력의 상당한 변화를 일으킨다.
일단 누설 액체의 증기압에 도달된 후 용기를 수용하는 검사 공동 내의 압력을 감시하는 것은 누설 검사를 위한 매우 정확한 기술임이 밝혀졌다. 그러한 기술에 의해 매우 넓은 범위의 충전 제품들에 대한 용기의 누설 검출이 정확하게 행해질 수 있고 현재 0.02㎛ 까지의 누설구가 정확하게 검출될 수 있다.
또한, 검사 공동의 체적은 중요하지 않아서 본 발명의 기술에 의해 용기들의 배치들(batches)을 동시에 검사하여 그 용기 배치 중 하나의 용기가 새는지 여부를 정확하게 검출하는 것이 가능하다.
누설되는 용기를 둘러싸는 압력이 그것의 내부 압력에 비해 낮아지자마자 액체 중 일부가 용기 밖으로 빨아 당겨지며, 주위 압력이 증기압에 도달하자마자 액체는 증발하기 시작한다. 용기를 둘러싸는 주위 영역의 체적이 일정한 상태에서 액체가 증발되면 압력의 증가를 초래하고 주위 압력을 낮추는 펌프가 그 액체의 증기까지 제거하여야 하므로, 특히 용기의 주위 압력이 상기 증기압 보다 낮아지게 된 후에 상당한 측정들이 수행될 수 있다. 그럼에도 불구하고, 검사될 용기의 주위를 상기 증기압 보다 상당히 낮은 값으로, 즉 적어도 10의 2승(102), 바람직하게는 적어도 10의 3승(103)배 만큼 낮은 값으로 뽑아내는 펌핑 성능을 제공하는 것이 바람직하다.
누설을 의미하는 압력 변화(leak-significant pressure change)는 - 용기의 내용물이 한 가지를 넘는 액체 성분을 함유하는 경우에 - 충전물품의 수개의 액체 성분들 중 하나가 증발하기 시작하자마자 검출될 수 있으므로, 수개의 액체 성분들의 증기압 중 더 높은 것을 선택하여 용기 주위의 압력을 최소한 그 증기압까지 낮추는 것이 추천된다.
잘 알려진 바와 같이 증기압은 온도의 함수이고 따라서 미리 결정된 액체와 관련되는 증기압을 만들기 위해 어떤 경우에는 예를 들어 용기 주위를 미리 결정된 온도까지 가열하는 것이 유리할 수 있기는 하나, 본 발명의 방법 및 장치는 검사가 상온에서 수행되는 경우에 훨씬 덜 복잡하게 되므로 최소한 도달하여야 하는 상기 증기압은 상온, 즉 20℃ 정도에서 고려된다.
나아가, 만약 용기 주위 압력이 시간의 두 개의 이어지는 점들에서 측정된다면 매우 정확한 누설 검출이 가능하게 되는데, 여기에서 "점"은 유효한 압력을 정확하게 측정하기 위해 요구되는 시간 간격이라고 이해된다. 진공 펌프의 펌핑 작용을 용기 주위에 인가하고 그 다음 미리 결정된 시간 간격 후에 결과적인 주위 절대압력을 측정하는 것에 의해서 누설 검출을 실현하는 것이 비록 절대적으로 가능하나, 시간의 두 특정한 점에서 주위 압력을 측정하면 제1 측정된 값을 기준값으로 사용하고 그 다음에 상기 기준값에 대한 제2 측정값의 차를 생성할 수 있다. 그에 의하면 절대압력 측정 대신에 압력차를 측정하는 것이 실현된다. 보다 상세히 말하면, 시간의 제1 점에서 측정된 제1 압력 신호가 전기 신호로서 저장되고, 그 후 제2 압력값을 측정한 후에, 상기 (저장된) 제1 값과 제2 값 사이의 차가 형성된다.
본 발명의 출원인과 동일한 출원인에게 양도된 미국 특허 제5,239,859호에 대응하는 국제 특허 출원 WO94/05991호는 매우 정확하게 상쇄·보상된(offset-compensated) 압력차 측정을 위한 방법 및 장치에 대하여 개시하고 있다. 본 발명의 장치를 실현하는 바람직한 실시예와 본 발명에 따른 방법을 실행하는 바람직한 실시예에서는, 상기 압력차 측정 기법과 장치가 사용된다. 그러므로, 상기 WO94/05991호 또는 개별 미국 특허 제5,239,859호는, 완전히 본 발명의 개시 내용에 참고로 포함되지만, 이하에서 알게 되는 바와 같이 가장 중요한 구성들에 대해서는 본 출원의 명세서에서 상세하게 설명한다.
검사될 용기의 체적에 관해, 용기를 위한 검사 공동의 주위 체적이 얼마나 큰가는 대체로 중요하지 않으므로, 따라서 본 발명의 방법 및 장치는 아래와 같은 추가적인 중요한 이점들을 지니고 있음이 밝혀진다.
만약 상기 검사될 적어도 하나의 용기의 벽이 용기 내부 압력(통상 대기압력 (ambient pressure))과 낮아진 주위 압력 사이의 압력차를 견딘다면, 그러한 용기는, 검사 공동에 대하여 얼마나 큰가와는 거의 무관하게, 주위를 형성하는 검사 공동 내로 간단하게 삽입할 수 있다. 그럼에도 불구하고, 본 발명에서는 매우 정확한 누설의 표시가 얻어질 수 있다. 그러므로, 동일한 하나의 검사 공동이 여러 가지 치수를 가진 여러 가지 다른 체적의 용기들에 대하여 사용될 수 있다. 이로 인하여 하나 이상, 여러 개의 용기들이 주위를 형성하는 하나의 검사 공동 내로 도입되고 비록 하나의 용기가 전체 공동 체적의 단지 일부만을 점할 지라도, 만약 용기 배치(batch) 중 단지 하나의 용기가 주위 대기로 누설되더라도 정확한 누설 표시가 검출될 수 있다는 추가적인 이점을 얻는다.
본 발명의 더 추가적인 중요한 이점은 다음과 같다.
때때로 충전된 용기는 완전히 충전되지 않고 밀폐된 용기 내부에 일정한 양의 공기가 갇히게 된다. 만약 그러한 용기의 갇힌 공기 또는 가스 주변의 영역에 누설구가 존재한다면, 주위 압력을 낮춤으로써 그러한 공기가 그 누설구를 통해 용기 밖으로 빨려나올 것이다. 용기내의 갇힌 공기의 압력이 점차적으로 낮아짐에 따라, 용기 내부 액체 성분의 증발이 또한 시작될 것이고 그러한 증기도 또한 상기 누설구를 통해 빠져 나올 것이다. 누설구를 통해 빠져 나오는 공기와 그 다음에 누설구를 통해 빠져 나오는 증기는 모두 주위 압력을 높이게 되어, 공기가 갇힌 영역에 있는 누설구는, 누설구가 액체 내용물로 덮인 용기 벽에 있는 것과 마찬가지로, 주위 압력의 변화, 즉 주위 압력을 상승시키게 된다. 그리하여, 최소한으로 여전히 허용되는 주위에서의 압력 변화에 따라서 누설구 검출을 위한 경계치(threshold value)를 적절하게 설정함에 의하여, 그러한 누설구가 공기로 덮인 용기 영역에 존재하는지 또는 내용물로 덮인 용기 영역에 존재하는지는 중요하지 않게 된다.
만약 하나의 동일한 누설구가 용기의 공기가 갇힌 영역에 존재할 때 발생하는 주위 압력 변화가 동일한 누설구가 액체로 덮인 영역에 위치하는 경우에 발생하는 압력 변화보다 작은 값이라면, 용기가 새는지 여부를 검출하기 위한 경계치의 설정을 좌우하는 것은 전자의 압력 변화이다. 만약, 역으로, 액체로 덮인 영역에 하나의 동일한 누설구가 존재하는 경우의 주위 압력 변화가 그러한 누설구가 공기와 접촉하는 벽 영역에 존재하는 경우의 주위 압력 변화보다 더 작다면, 용기의 누설여부를 검출하기 위한 경계치 설정을 좌우하는 것은 마찬가지로 더 작은 압력 변화이다.
만약 검사중인 용기가 크게 새는 경우에는, 용기의 내용물이 검사 공동 내부 또는 일반적으로 말해 용기의 주위 그리고 가능하게는 펌핑 설비조차 절대적으로 불가피한 정도 이상으로 오염시키는 것을 방지하기 위해서, 그러한 누설이 검출되는 즉시 주위 압력을 낮추는 것이 중지되어야만 한다. 이는 펌핑 작용이 미리 결정된 주위 압력의 하강을 가져오는지 여부를 감시하는 것에 의해 실현될 수 있고, 또는 임피던스에 의해, 바람직하게는 검사될 용기 벽 바로 근방의 용기 주위에서의 직류 저항 측정을 통해 용기 내용물이 주위로 퍼져 나가는 것을 검출할 수 있다. 이는 전극 설비(electrode arrangement)를 상기 근방의 주위에 그리고 용기의 적어도 검사될 부분 부근에 제공하는 것에 의해 실현된다. 용기의 충전 내용물이 그 외벽으로 빨아 당겨지면, 상기 전극 설비가 그러한 내용물에 의하여 연결되게 되고 곧 바로 급격한 임피던스 변화를 야기하게 되며, 이는 그것이 검출된 후에 용기 주위 압력이 더 낮춰지는 것을 중지시키기 위해 사용된다.
큰 누설구를 신속히 검출하는 이러한 후자의 기술은, 특히, 인가된 압력차를 벽이 견디지 못하여 검사 공동 내에서 안정되게 캡슐로 감쌀 필요가 있는 용기들에 적용된다. 그러한 경우에는 임피던스 측정을 위한 전극 설비가 검사 공동의 내벽을 따라 합체될 수 있고, 상기 내벽이 상기 적어도 하나의 용기와 안정되게 들어 맞는다. 만약 그러한 용기가 검사되고 그에 따라 상기 검사 공동이 그것의 형상에 안정되게 들어 맞더라도, 그럼에도 불구하고, 지지 격자(sustaining grid) 내지 망사 인레이(mesh inlay)를 제공하거나 바람직하게는 검사 공동의 내벽을 거칠게 하여 검사 공동 벽의 다수의 미세한 부조 (micro-embossment)들이 용기 벽을 지지하고 인가된 압력차 때문에 용기벽이 추가적으로 바깥으로 휘어지는 것을 방지함으로써, 용기 주위의 형성을 위한 용기의 외벽과 검사 공동의 벽 사이에 연속적인 공간이 유지될 수 있다. 그에 따라, 그러한 부조들간의 상호 교류하는 공간은 용기의 주위 공간을 형성하게 된다.
용기의 주위에 대해 경계를 정하는 검사 공동에 있어서 검사 공동 내부의 용기가 새는 것으로 검출되면, 그러한 검사 공동이 용기의 내용물 일부에 의해 오염될 가능성이 있다. 그러면, 그러한 공동은 새는 용기가 제거된 후에 세정되는데, 이러한 세정 작업은 진공흡입(evacuation) 및/또는 플러싱 가스(flushing gas)를 사용한, 바람직하게는 질소를 사용한 플러싱에 의하여, 가열에 의하여 또는 예를 들어 가열된 플러싱 가스를 사용하는 것과 같이 이러한 기술을 결합하여 수행한다.
만약 본 발명의 방법 또는 장치가 인라인(in-line) 검사 용기들에 적용되고 그리하여 두 개 이상의 본 발명의 방법들 및 각각의 장치가 용기 세트 상에 함께 작동되고 그러한 용기들 중 하나가 새는 것으로 검출된다면, 그것의 주위에 대해 경계를 정하는 각각의 검사 공동은 다음 측정 사이클에서는 더 이상 용기로 채워지지 않고 비어서 유지되며, 다른 공동들이 검사 상태에 있는 사이클을 사용하여 그 오염되었을 수 있는 공동을 세정하고 재정비(reconditioning)한다. 나아가, 어떤 경우에는 만약 누설구가 존재하는 경우 용기의 벽에 안쪽으로 기계적인 힘을 가해 그것의 내부 압력을 대기압 이상으로 올려 액체가 압착되어 배출되도록 가속시키는 것이 제안된다.
발명의 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 적어도 하나의 액체 성분을 포함하는 내용물을 갖는 밀폐되고 충전된 적어도 하나의 용기를 누설 검사하기 위한 누설 검사 장치로서, 적어도 하나의 밀폐가능한 검사 공동과, 상기 검사 공동에 사용할 수 있게 연결된(작동적으로 연결된) 적어도 하나의 진공흡입 펌프와, 또한 검사 공동에 사용할 수 있게 연결된 적어도 하나의 압력센서를 포함하고, 상기 진공흡입 펌프는 대략 상온에서 적어도 용기 내용물의 액체 성분의 증기압까지 상기 검사 공동을 펌핑할 수 있도록 선택되고, 상기 압력 센서는 바람직하게는 적어도 하나의 피라니 센서 스테이지(Pirani sensor stage)를 구비하는 진공 압력 센서인 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치를 제안한다.
본 발명의 방법 및 본 발명의 장치의 바람직한 실시예가 종속항들 2항 내지 19항과 45항 내지 65항에서 각각 청구된다. 본 발명의 방법과 장치는 바람직하게는 청구범위 64항과 65항에 정의된 대로 사용될 수 있다. 그에 따라, 더 작은 용기들을 누설 검사하는 것 외에도, 본 발명에 의하면 가솔린, 가스 등을 위한 예를 들면 열차 또는 도로 운송기구 상의 거대한 탱크 플랜트들의 견고성을 지속적으로 관찰하여, 그에 따라 누설이 검출되는 즉시 경고 신호가 발생되도록 할 수 있다.
이제 본 발명은 본 발명을 실현하는 구체적인 바람직한 실시예들을 도시하는 도면들을 이용하여 추가적으로 설명될 것이다.
도 1은 액체의 온도에 따른 증기압의 상태를 정성적으로 보이는 도면이다.
도 2는 본 발명의 방법에 따라 작동하는 본 발명의 검사 장치를 도식적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 방법 및 장치 작동을 설명하기 위하여 본 발명에 따라 검사될 용기 주위의 압력의 시간 경로를 정성적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명에 의해 작동되는 본 발명의 검사 장치의 바람직한 구현 형태를 기능적인 블록선도로 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 방법을 행하는 본 발명의 장치의 평가 전자장치의 바람직한 구현 형태를 기능적인 블록도로서 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 장치의 배치(batch) 작업을 도식적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 유연한 벽을 가진 용기를 검사하기 위한 검사 공동을 도식적으로 나타내는 도면이다.
도 8은 세 개의 용기들을 하나의 배치로서 본 발명에 따라 검사하기 위한 검사 공동의 반쪽을 도시하는 사시도이다.
도 9는 탱크 누설을 검사하기 위해 본 발명의 장치로 본 발명의 방법을 실행하기 위해 직접 사용되는 이중벽 탱크를 도식적으로 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 장치의 검사 공동에서의 바람직한 밀봉을 도식적으로 나타내는 도면이다.
도 11a 내지 도 11c는 검사 사이클들에서의 압력의 경로들을 나타내는 것으로서, 도 11a는 용기들 또는 의학 응용 블리스터들(medical application blisters)이 크게 또는 매우 크게 새는 것을 도시하고, 도 11b는 누설이 아주 작은 것을 도시하며, 도 11c는 누설되지 않는 것으로 판단되는 것을 도시하는 도면이며, 상기 검사들은 임피던스 측정이 없이, 그에 따라 전극(32, 34)들이 없이 도 8에 따른 검사 공동들로써 수행된다.
도 12는 본 발명의 장치에서 본 발명의 방법을 작동하기 위한 평가 장치의 단순화된 바람직한 실시예의 신호 흐름/기능 블록 선도를 도시하는 도면이다.
도 13은 누설 없는 용기들에서 또는 어떠한 용기들도 없는 검사 공동들에서 측정된 압력 경로들의 통계적인 편차를 나타내는 압력 대 시간의 그래프이다.
도 14는 본 발명의 방법의 바람직한 모드에 따라 작동하며, 그에 따라 후속적으로 갱신되는 평균에 의해 누출 검사를 위한 동적인 기준값을 생성하는 본 발명의 장치의 한 부분을 나타내는 단순화된 기능 블록/신호 흐름 선도이다.
도 15는 누설 검사를 위해 동적으로 갱신된 기준값들이 생성되는 본 발명의 바람직한 방법 및 그에 따른 본 발명의 바람직한 장치의 작동을 나타내는 단순화된 신호 대 시간의 그래프이다.
도 16은 동적으로 갱신된 평균 신호가 용기 검사 중에 평가된 압력차 신호와 비교될 기준값을 위한 기초로서 생성되는 본 발명 방법의 추가적인 바람직한 작동 모드와 본 발명의 장치를 도시하는 단순화된 신호 흐름/기능 블록 선도이다.
도 17은 평균 신호의 동적 갱신을 보이기 위하여 다중의 공동들을 갖는 본 발명의 장치의 순차적으로 작동되는 검사 공동들에서 압력 측정치들을 시간축에 대해 임의의 단위로 나타내는 도면이며, 비교를 위한 기준값들은 상기 평균 신호에 기초하여 누설여부를 확인하게 된다.
도 18은 검사 도중에 회전되는 본 발명에 따른 하나의 검사 공동을 단순화하여 도식적으로 나타내는 도면이다.
도 19는 도 18에 따른 검사 공동의 회전이 충전 제품에 관한 누설구의 상대적인 위치에 미치는 효과를 나타내는 도면이다.
도 20은 본 발명의 방법을 행할 때 본 발명의 장치를 교정하기 위한 교정 표준 누설구(calibration standard leak)의 제공을 도시하는 단순화된 기능 선도이다.
도 1에서는 압력 대 온도의 그래프에서 증기압(pV(T)) 의 추이가 정성적으로 도시된다. 미리 결정된 온도(TX)에서는 대응하는 증기압(pVX)에 도달될 때 액체가 증발하기 시작한다. 증기압선의 위로는 물질이 액체이고, 아래로는 물질이 기체이다.
도 2에 따르면 본 발명 장치는 밀폐시킬 수 있는 덮개(3)를 구비한 검사 공동(1)을 포함한다. 검사 공동(1)에 진공 펌프(5)가 연결되는데 이 진공 펌프(5)는 드래그 펌프(drag pump) 또는 회전 피스톤 밸브 펌프 또는 확산 펌프 또는 터보 분자 펌프 같은 터보 진공 펌프일 수 있다. 이는 공동(1) 내부에 형성될 진공도에 달려 있다. 또한, 검사 공동(1) 내부의 지배적인 압력을 측정하는, 예를 들어 피라니 센서(Pirani sensor)와 같은 진공 압력 센서(7)가 제공된다. 적어도 하나의 액체 성분을 함유하는 충전 제품으로 적어도 어느 정도까지 충전된 적어도 하나의 밀폐된 용기(9)가 개방된 덮개(3)를 통해 검사 공동(1) 내로 도입되고 검사 공동은 그 다음에 밀봉되게 닫힌다. 진공 펌프(5)가 작동을 개시하면 용기(9)의 주위 그리고 검사 공동과 용기(9)의 중간의 체적(V)의 압력이 낮아진다.
도 3에 따르면 주위 압력(ambient pressure)(po)에서 시작하여 체적(V) 내의 압력은 적어도 용기(9)의 충전물품 내부의 액체 성분의 증기압과 일치하는 값(pV)까지 낮아진다. 충전 제품의 액체 내용물의 증기압(pV)보다 적어도 10의 1승(101), 바람직하게는 10의 2승(102) 그리고 보다 바람직하게는 10의 3승(103)배 만큼 낮은 압력까지 검사 공동(1)을 펌프질할 수 있는 진공 펌프(5)를 선택하는 것이 좋다.
검사는 바람직하게는 상온(room temperature)에서 수행된다. 즉, 약 20℃의 온도(T)에서 검사가 수행된다. 만약 상기 액체 성분이 물이라면 물의 상온에서의 증기압(pV)은 약 20mbar 이고 그때는 검사 공동의 압력을 약 10-2mbar 까지 낮출 수 있는 진공흡입 펌프(5)를 제공하는 것이 바람직하다.
만약 검사 공동(1) 내에 제공된 비교적 단단한 벽(11)을 가진 용기가 새지 않는다면, 정성적으로 체적(V) 내의 압력은 도 3에서의 경로(a)를 따라서, 설치된 진공 펌프 종류에 의해 도달하는 다소간 일정한 압력값까지 낮아진다. 한편, 만약 상기 용기(9)가 도 2의 예를 들어 위치(13)에 도식적으로 보여진 바와 같이 샌다면, 충전물품의 액체 성분의 소량(14)이 누설구(13)를 통해 용기(9) 밖으로 끌어당겨지고 체적(V) 내의 지배적인 압력이 압력(pV)이 되자마자 체적(V) 내로 증발하기 시작한다. 도 3에서 정성적으로 보여진 바와 같이 이는 도 3의 경로(b)에 따른 압력 대 시간 경로를 따르는 바, 즉 액체의 증발이 체적(V) 내의 압력 상승을 일으키고 이는 진공 펌프(5)의 작용에 거슬러 작용하게 된다. 진공 펌프(5)는 경로(a)에 따른 진공 수준을 최종적으로 달성하기 위해서는 상기 증기를 추가적으로 제거해야만 할 것이다. 만약 누설구가 도 2의 지점(13')과 같이 공기가 갇힌 용기(9) 영역에 위치한다면, 체적(V)의 진공흡입은 먼저 공기를 용기 밖으로 뽑아내며 이는 역시 진공 펌프(5)의 작용을 거슬러 작용하고, 그 다음 용기(9) 내부의 액체 내용물이 용기 내부에서 증발하기 시작하고 증기가 누설구(13') 밖으로 흡입될 것이다. 이는 또한, 체적(V)의 압력 상승을 일으킬 것이고, 진공 펌프(5)에 의해 단지 공기가 제거되어야 했던 경우에 따랐을 압력 경로에 거슬러 작용하게 된다.
진공 센서(7)에 의해 체적(V) 내부의 압력 경로가 감시된다. 실험에 의하면, 검사 공동의 체적(V)의 크기와 상관 없이 수초(1 내지 3초)의 기간(time span)(τ)이 지난 후에는 도 3의 경로(a)에 따른 압력과 경로(b)에 따르는 압력간의 상당한 차이가 발생하고, 1미크론 보다 작은 누설구(0.02㎛)에서는 누설되는 용기와 누설되지 않는 용기 사이의 압력차는 약 10의 1승(101)배임이 밝혀졌다. 측정은 액체 성분으로서 물을 사용하여 수행되었다.
용기의 누설을 검사하기 위하여 예를 들어 기간(τ) 후에 체적(V) 내의 절대압력을 측정하는 것이 물론 가능하나, 도 4를 참조하여 처음으로 설명될 바와 같이 압력차 측정이 바람직하다.
다시 도 2로 돌아오면 상기 압력 센서(7)는 평가 장치(evaluating unit)(15)에 사용 가능하게 연결되는데, 상기 평가 장치에서는 도식적으로 보여진 바와 같이 사전설정 장치(presetting unit)(17)에 의하여, 특히 누설을 표시하는 경계치들이 미리 설정된다. 평가 장치(15)의 출력은 누설 또는 비누설을 표시하는 2-상태 신호(two-state signal)이다.
도 4에 따르면 진공 센서(7)의 출력은 저장 장치(19)로 입력되는데, 도식적으로 보여진 바와 같이 스위치(S)를 통하여 타이밍 제어 신호(s1)에 의해 제어되어 입력된다. 도 3에 따르면 이는 제1 시점(t1)에서 행해진다. 도 3의 제2 시점(t2)에서는 저장 장치(19)의 출력과 센서(7)의 출력이 차 생성 장치(difference forming unit)(21)의 개개의 입력들로 연결되고, 차 생성 장치는 도 3의 압력차 (△p)와 일치하는 출력신호를 생성한다.
나아가, 평가 전자장치(evaluation electronic)의 가장 바람직한 구현예가 도 5에 도시된다. 센서(7)의 출력 신호는 변환 장치(121)로 입력되는데, 변환 장치는 입력 단계로서 아날로그-디지털 변환기(analogue to digital converter)(121a)를 포함하며 뒤이어 디지털-아날로그 변환기(121b)를 포함한다. 변환기 단계(121)의 출력은 차 증폭기 장치(difference amplifier unit)(123)로 공급되는데, 차 증폭기 장치는 추가적으로 센서(7)로부터의 출력 신호를 직접 받는다. 차 증폭기 장치(123)의 출력은, 도 4의 차 장치(21)에 따라서, 추가적인 증폭기 장치(125)에 작용하고, 추가적인 증폭기 장치의 출력은 저장 장치(127)를 통하여 도면부호 128의 위치에서 추가적인 증폭기 장치의 입력과 중첩된다. 저장 장치(127)의 입력은 장치(125)의 출력으로부터 공급된다. 타이머 장치(129)가 설비를 시간 제어한다. 센서(7)로부터의 제1 압력값을 저장하기 위해서는, 도 3에서의 시각(t1)에 따라, 상기 타이머 장치(129)가 장치(121)에서의 변환 사이클을 가능하게 하여, 재변환된 아날로그 출력신호(elo)가 출력에서 나타나도록 한다. 동시에, 센서(7)로부터의 실질적으로 동일한 신호가 장치(123)의 제2 입력에 신호(el)로서 인가된다. 그리하여, 장치(125)의 출력에서는, 영 신호가 나타나야만 한다. 그럼에도 불구하고, 일반적으로 영 오프셋 신호(zero-offset signal)가 장치(125)의 출력에서 나타나서, 그 신호는 저장 장치(127)에 저장되는데, 이는 타이밍 장치(129)에 의해 가능하게 된다. 시각(t2)에서는 장치(121)에서 어떠한 변환도 일어나지 않아, 시각(t2)에서의 지배적인 압력이 센서(7)로부터 직접 증폭기(123)의 입력에 나타나고, 시각(t1)에서 지배적이었던 저장된 압력값이 단계(121)로부터 증폭기의 입력에서 나타난다. 또한, 장치(127)에 저장되었던 영 오프셋 신호가 오프셋 보상 신호(offset-compensating signal)로서 중첩되어 증폭기 장치(125)의 출력에서의 결과적인 신호가 영 오프셋으로 보상된다.
이로 인하여 도 3에 따른 압력차(△p)를 아주 정확하게 측정할 수 있게 된다.
만약 검사 중인 용기가 큰 누설구를 갖는다면, 그 때는 도 3의 경로(c)에 따라 검사 공동(1)의 체적(V) 내의 지배적인 압력은 진공 펌프(5) 작동의 바로 시작에서부터 다른 경로를 가질 것이다. 이는, 예를 들면, 시간 상의 선행 시점(t0)에서 센서(7)의 출력신호를 미리 결정된 경계치(미도시)와 비교하는 것에 의해 용이하게 검출될 수 있고, 만약 실제 압력이 그러한 경계치에 도달하지 않는다면, 진공 펌프(5)가 검사 공동(1)에 영향을 미칠 수 없게 된다. 이는, 큰 누설구에 의해, 다량의 용기 내용물이 검사 공동 내로 빨아당겨져 공동을 오염시키는 것을 방지하기 위함이다.
앞서 언급된 바와 같이, 상기 제안된 방법은 검사 공동(1)과 상기 적어도 하나의 검사되는 용기 사이의 체적(V)에 거의 무관하게 정확하게 기능한다. 이에 의하여, 도 6에 따라, 용기들(9)의 배치들(batches)(9')을 동시에 검사할 수 있고, 그에 의해 용기들(9) 중 하나 또는 하나 이상이 새는지 여부를 검출하는 정확도가 유지된다. 나아가, 검출 정확도가 차이 체적(V)에 관해 중대한 영향을 받지 않는다는 사실은 다른 형태를 갖고 다른 용적을 갖는 다수의 용기들(9)이 하나의 검사 공동 (1) 내에서 검사될 수 있는 가능성을 열어 준다.
만약 검사될 용기의 벽이 약 1 bar의 압력 부하를 기계적으로 견디지 못한다면, 그 경우에는 도 7에 도식적으로 도시된 바와 같이, 용기(9)의 형상에 안정되게 들어맞는, 덮개(3')를 구비한 검사 공동(1')이 제공된다. 그에 의하여, 도 7에서 도식적으로 도시된 바와 같이, 돌기부들(20)이 진공 흡입의 효과로 용기의 벽들이 검사 공동의 내벽 상에 단단하게 빨아 당겨지는 것을 방지하며 따라서 용기와 검사 공동 벽 사이에 본 발명에 따라 진공흡입되도록 하는 체적(V)이 확실히 존재하도록 할 수 있다. 그러한 돌기부들(20)은 망사 또는 격자 인레이(mesh or grid inlay)에 의하여, 또는 바람직하게는 공동의 내벽을 기계적으로 거칠게 하여 미세한 부조들(micro-embossments)이 용기의 벽을 지지하도록 함으로써 실현되며, 그러한 돌기부에 의하여 체적(V)과 같은 연속적인 사이 공간(interspace)이 존재하게 된다.
도 7에서 점선으로 보여진 바와 같이, 예를 들어, 공동의 덮개(3 또는 3')를 덮을 때 용기 벽의 일부에 안쪽으로 기계적으로 힘을 가해 용기(9)의 내부 압력을 증가시키고 충전 제품의 액체 성분을 추가적으로 가압하여, 만약 누설구가 존재한다면, 누설구를 통해 빠져나가도록 하는 것이 더욱 유리할 수 있다.
도 9에 따르면 본 발명에 따른 방법과 장치는 거대한 탱크들을 누설에 관해 감시하는 데에 사용될 수 있다. 도 9에서는 이중벽, 즉 내벽(23)과 외벽(25)을 구비한 탱크가 도시된다. 이들 벽 모두의 견고성(tightness)을 검사하는 것은, 도 2에서의 체적(V)과 같이, 상기 두 벽들의 중간의 체적을 이용하여 이루어진다. 그러한 기술은 예를 들어 도로 차량 또는 철도 차량 상의 탱크들을 위해 또는 예를 들면 가솔린용의 거대한 고정된 탱크 플랜트를 위해 적용될 수 있다.
도 8에서는 의학적 기구를 위한 소형 플라스틱 용기와 같은 도면부호 29의 위치에 있는 세 개의 용기에 본 발명 장치와 본 발명 방법을 적용하기 위한 검사 공동(1)의 반쪽(1a)이 도시된다. 상기 용기들은 검사 공동(1)이 그들의 형상에 안정되게 들어 맞으므로 유연한 벽을 가질 수 있다. 용기들 중 하나가 큰 누설구를 갖는지 여부를 신속하게 발견하기 위한 다른 기술이 추가적으로 도시된다. 공동(1)의 벽에 통합되고 서로 전기적으로 단절된 임피던스 측정 전극들(32, 34)이 제공된다. 그것들은 임피던스 혹은, 바람직하게는, 저항 측정 장치(35)에 연결된다. 만약, 바람직하게는 거칠게 된(roughened) 내벽을 갖는 상기 검사 공동에 진공을 인가하는 것에 의해, 액체 충전 내용물이 용기 벽의 외부로 빨려 나온다면, 이는 상기 전극들(32, 34) 사이에 측정된 임피던스의 급격한 변화에 의해 신속하게 탐지된다. 상기 임피던스 측정 장치(35)의 출력은 검사 공동(1)의 추가적인 진공흡입을 할 수 없게 한다(미도시).
검사 공동이 누설되는 용기의 밖으로 쏟아지는 충전 제품에 의해 일단 오염되면, 세정 진공흡입 및/또는 바람직하게는 질소인 가스의 주입 및/또는 가열에 의해 검사 공동이 세정된다. 도 8에서는 플러싱(flushing) 가스 또는 세정 가스를 위한 공급 라인이 도시되는데, 상기 가스는 가스 탱크(37)로부터 오염된 검사 공동(1)으로 제어 가능하게 공급되며 질소 가스가 바람직하다. 도 8에서 1a로 표시되는 공동의 두 개의 반쪽들은 도 2에서의 검사 공동(1)을 완성하기 위하여 하나가 다른 하나의 위에 밀봉되게 덮인다.
만약 용기들의 인라인 검사(in-line testing)를 해야 하는 경우, 본 발명은 측정 사이클이 짧기 때문에 특히 적합한데, 하나 이상의, 즉 수개의 검사 공동들의 세트가 예를 들면 회전원형선반(carousel) 상에 제공되고, 그 검사 공동들에는 검사될 용기들(미도시)이 컨베이어로부터 자동적으로 적재되고 그것들은 전술한 검사 기법을 동시에 수행한다. 만약 그러한 공동에서 검사된 용기들 중 하나가 누설되는 것으로 검출된 경우에는, 관련된 공동에는 이후 추가적인 용기 적재가 이루어지지 않고 다음 용기들 세트에 대한 측정 사이클 동안 비어 있는 채로 유지된다. 한편, 적재되지 않은 채 유지된 공동은, 전술한 바와 같이, 진공흡입 및/또는 가스 플러싱 및/또는 가열에 의해 세정된다.
당연히, 검사 공동의 덮개(3 또는 3')와 검사 공동(1)의 본체 사이 또는 도 8에서의 검사 공동의 두 반쪽(1a)들 사이에는 우수한 진공-밀폐가 실현되어야 한다. 이는 바람직하게는, 도 10에 도시된 바와 같이, 동심의 O 씰들(concentric O seals)과 같은 적어도 한쌍의 병렬로 된 씰(28)들을 제공하고 그러한 씰들 사이의 중간 공간(29)을 별도로 펌핑하는 것에 의해 실현된다. 만약 검사될 용기가 둘 이상의 종류의 액체 성분을 갖는 충전 제품을 함유하는 경우에는, 가장 높은 증기압을 갖는 액체 성분, 즉 상대적으로 가장 높은 압력에서 증발하기 시작하는 액체 성분의 증기압이 누설 검사를 위해 선택된다. 그에 관하여, 점도도 역시 고려되어야만 하는데, 즉 증기압을 한정하기 위하여 성분이 선택되려면 아주 작은 누설구들을 관통하기에 충분할 만큼의 유동성이 있어야 한다. 검사 공동을 어떠한 액체 성분의 증기압보다도 상당히 낮은 압력까지 진공흡입함에 의하여, 어떠한 증기압값이 고려되어야 하는지는 중요하지 않게 된다.
바람직한 실시예에서의 본 발명에 따른 방법들과 바람직한 실시예에서의 본 발명에 따른 장치들에 따라 측정된 압력 대 시간 경로들이 큰 누설구들을 가진 용기들(도 11a), 작은 누설구들을 가진 용기들(도 11b) 그리고 누설되지 않는 용기들 (도 11c)에 대한 압력 경로를 나타낸다.
이들 그림들은 도 2의 장치들(15, 17)에 따른 바람직한 감시 장치 및 제어 장치를 도시하는 도 12와 관련하여 논의될 것이다.
도 11a에 따르면 도 12의 타이밍 장치(201)가 펌핑 설비(105)에 의해 검사 공동(103)의 진공 흡입을 시각(t10)에서 시작한다. 이는 도 12에서 진공흡입 시작 신호(EVST/t10)에 의해 도시된다.
고정되어 미리 결정된 양의 시간(△T), 예를 들면 0.75 초가 경과한 후에 검사 공동(103) 내부의 압력센서(도 12에서는 미도시)의 출력 신호(A5)가 사전설정 소스(presetting source)(107)에서 사전설정된 제1 기준 신호(reference signal)(RFVGL)와 비교된다. 이러한 목적을 위하여, 비교기 장치(109)가 시각(t10 + △T)에서 타이머 장치(201)에 의해 작동가능하게 된다.
기간(△T) 후에 도 12의 전기 신호(A5)에 따라 실제로 감시된 압력이 도 11a의 경로 Ⅰ에 따른 RFVGL의 값에 도달하지 못한다면, 이는 매우 큰 누설구 (VGL)가 존재한다는 것을 의미한다. 이는 출력 신호(A109)를 생성하는 비교기(109)에서 검출된다. 도 12의 블록(109)에서 보여진 특성들에 따라, 시각(t11 = t10 + △T)에서 작동가능하게 된 이 비교기 장치(109)의 출력 신호가 예를 들어 여전히, VGL의 존재를 표시하는 높은 수준에 있다면, 이는 VGL 출력에서의 출력이다. 만약 검사중인 용기 (103) 주위의, 즉 검사 공동 내의 지배적인 압력이 도 11a의 경로 Ⅱ를 따라 기준 수준(RFVGL)에 도달하고 이를 넘었다면, 상기 VGL 출력은 발생되지 않는다.
이후에 설명될 바와 같이, VGL 신호의 발생은 바람직하게는 진공흡입 사이클을 정지시키는데, 왜냐하면 검사중인 용기의 매우 큰 누설구 때문에 진공 펌프 (105)의 오염이 일어났을 수 있거나 일어날 가능성이 있기 때문이다.
도 11a의 경로 Ⅱ에서 보여진 바와 같이 VGL 이 발생하지 않으므로 진공흡입이 더 나아간 시각(t13)까지 계속된다. 시각(t13)에서 타이머 장치(201)가 펌핑 설비 (105)를 작동하지 않도록 하고 밸브(106)와 같은 것으로 펌핑 설비를 챔버(103)로부터 차단한다. 나아가, 타이머 장치(201)는 비교기 장치(111)를 작동하게 하는데, 기준 신호 소스(113)에 의해 발생된 추가적인 기준값(RFGL)이 상기 비교기 장치로 안내된다. 만약 시각(t13)에서 검사 공동의 주위 내의 지배적인 압력이 RFGL에 도달하지 않았다면, 상기 비교기 장치(111)는 검사중인 용기가 큰 누설구를 가진다는 것을 표시하는 출력 신호(GL)를 발생시킨다. 여기서 다시, 그리고 이후에 계속하여 더 설명되는 바와 같이, 검사 시스템의 추가적인 작동에 관하여 어떤 반응들이 취해진다.
만약 신호들(VGL 또는 GL)이 관련된 각각의 비교기들(109, 111)에 의해 시작된다면, 타이머 장치(201)는 대개 리셋되는데 왜냐하면 검사가 완료되었고 동시적으로 검사된 용기들의 품질이 식별되었기 때문이다. 이는 도 12에서 신호(RS201)에 의해 도식적으로 보여진다. 만약 리셋되지 않는다면, 시각(t13) 직후에 용기 주위 내의 지배적인 압력의 값(A5(t13))이 유지 내지 저장 장치(117)에 저장된다. 상기 유지 내지 저장 장치(117)의 출력은 차 생성 장치(119)의 일 입력으로 보내어지고, 한편 이 장치(119)의 제2 입력은 검사중인 용기의 주위 압력을 감시하는 압력센서의 출력(A5)에 연결된다. 도 12의 장치(121)로 도식적으로 보여진 바와 같이, 시각(t13)에서 시작하는 사전설정 가능한 검사 사이클 시간(TT) 후에, 도 12에서 스위칭 장치(123)로 나타내어진 바와 같이, 장치(119)의 출력에서의 압력차(DP)가 평가된다. 이 압력차(DP)는 검사 시간(TT)의 경과 후 작동가능하게 되는 추가적인 비교기 장치(125)로 공급된다. 추가적인 기준값 소스(127)에 의해 기준값(DPREF)이 상기 비교기 장치(125)로 공급된다. 이후에 설명되는 바와 같이, DPREF의 값은 조절가능하게 시간에 대해 변화될 수 있고 그리고/또는 DPREF가 참조되는 기준값(φR)도 또한 조절가능하게 시간에 대해 변화될 수 있다.
만약 시각(t13 + TT)에서의 DP가 기준값 DPREF 보다 크다면, 검사중인 용기에 미세한 누설구(fine leak, FL)가 존재한다는 것을 나타내는 신호(FL)가 장치(125)에서 발생된다. 이는 도 11b에 도시된 바와 같은 상황에 대한 것이다. 만약 DP가 DPREF에 도달하지 않는다면, VGL, GL 그리고 FL 신호들 중 어떤 것도 발생되지 않으므로 용기는 새지 않는 것으로 간주된다. 이는 도 11c에 대한 것이다.
만약 VGL 신호가 도 12에 따라 발생된다면, 단일 챔버이든 또는 하나의 펌프(105)가 검사 챔버들(103) 다수에 병렬 연결된 인라인 프로세싱이든 간에, 진공흡입 펌프(105)는 그것이 연결된 어떠한 검사 챔버(103)로부터도 즉시 차단된다. 이는 매우 큰 누설구의 경우에는 진공 펌프(105)가 용기의 누설되는 내용물에 의해 오염되었을 수 있기 때문이다. 그러한 경우를 위해 상기 하나 또는 둘 이상의 검사 챔버들에 연결될 수 있는 잉여의 펌핑 설비를 제공하여 검사를 계속하도록 하는 한편 오염되었을 가능성이 있는 제1 펌핑 설비를 재정비하는 것도 물론 가능하다.
예를 들어 다수의 검사 챔버들을 갖춘 회전원형선반 검사 플랜트와 같은 복수 챔버 인라인 검사 시스템에서는, 대량 누설을 의미하는 신호(GL)가 발생하고, 또한 가능하기로는 미세한 누설을 의미하는 신호(FL)가 발생하게 되면, 누설되는 용기가 있는 챔버에 피검사 용기가 추가적으로 공급되는 것을 불가능하게 하거나 혹은 그러한 챔버를 "회피"하는 것이 바람직한 반면에, 다른 챔버에서는 새롭게 공급되는 용기들에 대한 검사를 계속 수행한다. 그 안에서 용기가 심하게 새거나 또는 약하게 새는 것으로 판명된 검사 챔버를 이렇게 회피하는 것은 그 챔버에서의 뒤따르는 검사 결과들에 영향을 미치지 않도록 하기 위함이다. 즉, 뒤따르는 검사 결과들은 그 챔버를 오염시켰을 지도 모르는 누설되는 용기의 내용물로 인해 그 후의 다른 용기의 누설 여부를 정확하게 나타낼 수 없다는 것이다.
이러한 회피된 챔버는 다른 챔버들에서의 후속되는 검사 사이클 동안 재정비된다.
재정비는 그 챔버를 가열하고, 액체 및/또는 가스, 특히 가열 가스(heater gas)로 그것을 플러싱하여 행해질 수 있다. 그 챔버가 적절하게 재정비되었는지 여부는 마치 그 안에 검사될 용기가 있는 것처럼 검사를 행함으로써 점검될 수 있다. 그와 관련하여, 만약 그 비어있는 챔버에서 도 12에 따른 DP가 예를 들어 DPREF 에 도달하지 않는다면 또는 적절하게 설정된 "빈 챔버 DPREF" 값(ECDP-REF)에 도달하지 않는다면 적절히 재정비된 상태를 의미한다. 그러한 ECDP-REV는 세정된, 비어있는 검사 챔버들에서의 DPe를 측정하고 이들 측정값들(DPe)을 적절한 재정비에 관하여 챔버들을 검사하기 위한 각각의 기준값들로서 저장함으로써 제공될 수 있다.
도 11a, 도 11b를 관찰하면, 기준값(RFGL)을 설정하는 것 그리고 특히 기준 압력차 값(DPREF)을 설정하는 것은 매우 중요할 수 있고 시스템의 정확도에 크게 영향을 미칠 수 있다는 것을 인식할 수 있을 것이다. 그와 관련하여, 주위 온도, 대기의 습기, 펌프의 약간의 오염 등이 지배적인 압력 경로에 영향을 미칠 수 있고, 따라서 만약 이들 임계 기준 수준들(critical reference levels) 그리고 특히 DPREF가 최대의 정확도를 위해 설정된다면 잘못된 결과를 야기할 수도 있다.
도 13은 도 11a 내지 도 11c의 경로들에 따른 그러나 용기들이 없는 검사 공동들에서 측정된 압력 경로를 정성적으로 보여준다. 시각(t13)에서는 통계적으로 분포된 약간 다른 압력값들이 발생한다. 그러므로, 복수의 검사 공동 플랜트에서 용기들의 검사를 개시하기 전에, 평균((RFGL)m)을 확립하기 위하여 단단하게 밀봉된 충전되지 않은 검사 공동들이 도 13에 따라 검사된다. 오프셋값(△RFGL)이 (RFGL)m에 더해져서 도 12의 비교기(111)에서 사용되거나 도 11a 내지 도 11c에 따라 사용되는 RFGL의 값을 구하였다. 온도, 대기의 습도 등의 환경 파라미터들은, 비어있고 정비된 검사 공동들에서 행해져 도 13에 따른 측정 결과들을 산출하는 교정 사이클(calibrating cycle)동안 일정하다고 간주될 수 있다는 점이 지적되어야만 한다. 그럼에도 불구하고, 온라인 검사 기간과 같은 진행중인 시간 동안에는, 이들 교란하는 파라미터들이 천천히 바뀔 수 있고 또한 (RFGL)m 을 변화시킬 수 있다. 단일의 검사 공동으로 순차적으로 이루어지든 또는 다수의 혹은 적어도 둘 이상의 검사 공동으로 연속하여 이루어지든 간에, 다중 혹은 인라인 검사가 행해지는 동안에는 매번, 그 시각까지 각각의 용기가 심하게 새지 않는 것으로 확인된 각각의 시각(t13)에서 압력센서의 실제 출력 신호가 평균 장치(113)로 입력되고, 심하게 새지 않는 용기들의 실제 압력의 최근(m)값들의 평균이 계산된다. 출력 평균 결과 신호는 도 13의 (RFGL)m에 일치하나, 예를 들면 변화하는 환경 파라미터들 때문에 시간에 따라 변화한다. 출력 평균 결과
Figure 112006014944271-pct00034
에 의해 그리고 도 13에 따라 오프셋 △RFGL이 합해지고, 그러한 합의 결과는 동적으로 변화하는 기준값 RFGL 인데, 그것은 도 12의 비교기 장치(111)로 인가된다. 이 동적으로 변화하는 기준값 RFGL 은 도 15에서 보여지는데, 예를 들면 비어 있는 검사 공동들(103)에서의 측정값들로 설명되는 바와 같은 초기 설정으로부터 시작한다.
도 15로부터 명백해지게 되는 바와 같이, 이제 평균 압력값
Figure 112006014944271-pct00035
(t13)은 DPREF도 참조하게 되는 기준이다. 그러므로, 도 12에 도시된 바와 같이, 차 압력 기준값 DPREF는 φR과 같은 절대적인 정적값(absolute static value)을 참조하지 않고,
Figure 112006014944271-pct00036
를 참조한다.
보다 더 향상된 정확도가 이하에서 설명하는 바와 같이 달성되는데, 그것은 동적 RFGL의 실현 및 그에 기초한 DPREF의 동적 상한의 실현과 별도로 또는 이에 추가하여 실현할 수 있다. 이에 따라 도 16에 따르면 시간 구간(TT)의 종료점에서 출력 신호(FL)가 검사중인 용기의 누설이 없음을 나타낼 때마다, 실제 압력차(DP)는 평균 장치(135)에 보내어 진다. 최근(m) 검사 사이클들에 걸쳐 평균된 평균 압력차 신호
Figure 112006014944271-pct00037
에 일치하는 장치(135)의 출력 신호는 △DP 만큼 오프셋되고, 그것의 결과는 도 12의 장치(127)로 인가되는 DPREF 신호로서 사용된다.
앞서 논의한 바와 같이 일정한 DPREF 신호가 인가된 도 15를 다시 보면, DP를 평균내는 기법에 의하여, 경로 (DPREF)t 를 통하여 도식적으로 보여진 바와 같이, 교란하는 파라미터들의 변화에 따라 변하고 그러한 압력차에 영향을 미치는 동적으로 변화하는 점검값 DPREF가 얻어진다.
동적으로 변화하는
Figure 112006014944271-pct00038
값을 참조하는 대신 도 12에서 점선으로 나타내어진 안정되고 일정한 값 φR을 (DPREF)t 가 참조하도록 한다는 점에서, 동적으로 변화하는 기초값
Figure 112006014944271-pct00039
를 제공함이 없이 도 15에서 나타내어진 바에 따라 동적으로 변화하는 (DPREF)t 신호를 제공하는 것이 실현 가능함은 명백하다.
상기 하나 또는 둘 이상의 검사 공동들의 출력 신호(A5)의 평가들은 바람직하게는 디지털 방식으로, 즉 각각의 센서 또는 여러 센서들의 출력 신호를 아날로그에서 디지털로 변환한 후에 행하여진다.
도 17에서는 인라인 검사 플랜트의 다수의 검사 공동들에서 연속적으로 측정된 실제 압력차 값들(DP)이 시간축 상에 임의의 단위로 보여진다. 도 16에 따르면 계산된 평균 압력차(
Figure 112006014944271-pct00040
)가 도시되고 오프셋(△DP)이 최종적으로 도 15 또는 도 16에 따른 (DPREF)t 이 된다. 명확히 알 수 있는 바와 같이, 평균
Figure 112006014944271-pct00041
및 그에 따른 (DPREF)t 는 시간에 따라 변화하고 계속되는 검사에 따라 변화하며, 그에 따라 순간적으로 우세한 (DPREF)t 보다 높은 A에서와 같은 압력차 값들은 평균
Figure 112006014944271-pct00042
에 영향을 미치는 것과 관련해서는 무시되는데, 그러한 측정치들은 도 11b에 따른 누설되는 용기들에 의한 것이기 때문이다.
또한, 특정한 검사 공동 내부의 용기의 검사가 미리 결정된 횟수의 순차적인 검사들, 예를 들면 순차적으로 세번 행해지는 검사에서 누설을 표시하는 것으로 결과가 나타날 때마다, 그러한 검사 공동은 추가적인 검사에 대해 역시 회피되고 오염되었거나 그 자체가 새는 것으로 간주되어, 재정비된다. 그러한 검사 공동은 계속 이어지는 검사에서 누설되는 용기들에 오염되었을 수 있고 또는 밀폐성이 없을 수 있는데, 이는 전술한 바와 같이 재정비하는 동안 그리고 적절한 재정비에 대한 검사를 하는 동안에 밝혀질 것이다.
또한, 이미 언급된 바와 같이, 어떤 검사될 용기에 대해서는 특히 어떤 충전 제품들에 대해서는 검사 공동들을, 예를 들면 네거티브 피드백 온도 제어에 의해 바람직하게는 각 검사 공동에서 제어되는 미리 결정된 온도까지 가열하는 것이 바람직하다. 그에 따라, 온도에 의존하는 충전 제품의 증기압이 미리 결정된 압력 범위 내로 설정된다. 그러한 가열은 바람직하게는 도 11a 내지 도 11c에 따른 실제 검사 사이클 전의 사전 가열 사이클에서 이루어진다.
위에서 언급된 바와 같이, 용기 내의 누설구는, 용기에 갇힌 공기에 노출된 용기 벽의 영역에 그러한 누설구가 있는지 혹은 충전 제품에 노출된 용기 벽의 영역에 그러한 누설구가 있는지에 무관하게 식별된다. 그럼에도 불구하고, 예를 들면 액체 내에 미립자 내용물을 갖는 어떤 충전 물품들에 대해서는, 검사중인 용기의 주위에서 나타나는 각각의 압력차가 유발하는 시간에 대한 차이가 발생할 수 있다.
그러므로, 도 18에서 도식적으로 보여진 바와 같이, 어떤 경우에는 검사될 용기(9)를 위한 이동할 수 있는 하나 또는 수개의 검사 공동들(103)을 제공하는 것이 바람직할 수 있다. 이는 예를 들면 상기 검사 공동들(103)을 선회축(pivot axis)(A)에 관해 회전될 수 있고 회전축(140)에 의해 구동되도록 설치함으로써 달성할 수 있다. 여기서 그러한 검사 공동 내부의 압력 센서로 이어지는 도선과 그 압력센서로부터 나오는 도선과, 그러한 검사 공동에 있는 가열 설비로 이어지는 도선과 그 가열 설비로부터 나오는 도선들의 이음은 상기 구동축(140)을 통해서 안내될 수 있다. 공동(1, 103)은 바람직하게는 회전되지 않고, 도 18 에서 ±φ에 의해 보여진 바와 같이 회전가능하게 진동한다. 이 기술에 의해, 도 19에서 도식적으로 보여지는 바와 같이, 누설구(L)가 공기와 접하고 그리고 액체와 접하여, 도 19a에 따른 위치에 있든 또는 도 19b에 따른 위치에 있든 간에, 검사에서 액체 내용물의 증발이 일어나는 한 언제나 그러한 증발을 고려하게 될 것이다.
또한 단일 챔버 검사기이든 혹은 인라인 검사를 위한 다수 챔버 검사 플랜트이든 간에, 검사 장치의 적절한 작동 그리고 평가 장치의 교정(calibration)이 바람직하게는, 검사 플랜트 상에 장착된 표준 누설 설비의 조력으로 달성되어서, 원할 때마다 재교정(recalibration) 및/또는 플랜트의 전체적인 검사가 이루어질 수 있게 된다. 그러한 표준 혹은 교정 누설 설비의 배열이 도 20에 도시된다.
도 20에 따르면 도 12에 따른 103과 같은 검사 공동으로부터, 진공 펌프 (105)로 가는 라인에 니들 밸브(142)가 제공되는데, 이 니들 밸브는 조정가능하지만 바람직하게는 플랜트의 사용자에 의한 변경이 불가하도록 미리 결정된 누설값으로 사전설정된다. 상기 니들 밸브(142)를 통하여, 진공 펌프(105)로의 상기 라인은 액체 저장고(144)로 연결되는데, 상기 액체 저장고는 바람직하게는 증류수로 충전되어 있다. 가압 라인과 밸브(146)에 의해 상기 저장고(144)는 조정가능하게 가압될 수 있다. 상기 니들 밸브는 증기를 제외한 저장고(144)의 증류수가 진공 펌프(105)로 향하는 챔버(103)의 연결 라인 내로 투과되지 못하도록 하는 값으로 설정된다. 그럼에도 불구하고, 라인 및 밸브(146)를 통하여 저장고(144) 내의 물의 가압을 조절함으로써, 액체의 투과 그리고 챔버 및/또는 연결 라인 및/또는 진공 펌프의 오염이 없이 여러 가지 다양한 양의 누설이 시뮬레이션될 수 있다. 다수의 검사 공동들을 갖는 플랜트에 대해서는 니들 밸브(142)를 구비한 그러한 교정 설비가 중앙에 제공되어 모든 챔버(103)들에 병렬적으로 연결될 수 있는데, 이는 그러한 플랜트에는 모든 챔버들 또는 공동들에 병렬적으로 작용하는 하나의 중앙 펌핑 설비(105)가 제공되는 것이 바람직하기 때문이다. 선택적으로는 그러한 교정 설비는 설치된 챔버들(103) 각각을 위해 따로따로 제공될 수도 있다.
검사중인 용기의 주위 압력을 내용물의 액체 성분의 증기압 아래로 낮추어 누설을 검사하는 설명된 기술을 적용함으로써, 대개는, 도 8을 참조하여 설명된 바와 같은 추가적인 저항 측정 장비를 제공할 필요가 없으며, 그리하여 각각의 검사 챔버들에서 전극 설비 및 측정 장치들이 생략될 수 있고, 이에 따라 전체 플랜트를 단순화하고 비용을 감소시킬 수 있음이 인정되었다. 본 발명은, 특히 의료용으로 사용되는 물약병들(vials) 또는 블리스터(blister)를 그 생산에 있어서의 인라인 형태로 모든 물약병 또는 블리스터를 하나씩 점검함으로써 검사하는 데에 적합하다. 만약, 도 6에서 도식적으로 보여진 바와 같이 다수의 용기들(9)이 기계적으로 함께 연결되어 그러한 용기들의 세트를 형성한다면, 그러한 세트는 명백히 누설 검사에 관해 하나의 용기로 간주된다.
블리스터들과 같은 것을 위한 본 발명의 방법 및 장치에 의하면 전체 검사 사이클, 즉 도 11에 따른 t10 으로부터 TT 의 끝까지가 2초 미만에 수행된다. 이는 예를 들어 회전원형선반에 놓인 예를 들어 24개의 다수의 검사 공동들을 갖는 인라인 플랜트에서 매우 높은 처리율을 제공한다.

Claims (71)

  1. 하나 이상의 액체 성분을 포함하는 내용물을 담는 하나 이상의 밀폐되고 충전된 용기를 누설 검사하는 방법에 있어서,
    펌프 설비에 의하여 상기 용기의 주위를 흡입(evacuation)함으로써 누설 검사될 부분인 용기 벽 부분 또는 용기 벽 전체를 가로질러 압력차를 인가하는 단계와,
    상기 용기 주위의 압력을 상기 하나 이상의 액체 성분의 증기압 또는 그러한 증기압보다 낮은 값으로 낮추는 단계와,
    상기 용기 주위의 압력을 누설 표시 신호로서 감시하되, 상기 펌프 설비에 의한 상기 용기 주위의 흡입은 적어도 누설 표시 신호로서 상기 압력을 실질적으로 감시할 수 있는 정도까지 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 용기 주위의 상기 압력은 상기 증기압보다 적어도 10의 2승(102)배 만큼 낮은 압력값을 향하여 낮아지는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 두 개 이상의 액체 성분들이 존재하는 경우, 상기 증기압은 상기 두 개 이상의 액체 성분들의 증기압들 중 가장 높은 증기압인 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 검사는 상온(room temperature)에서 행하여지는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 누설 표시 신호로서 감시되는 상기 압력은 상기 증기압에 도달한 후에 감시되는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 감시되는 압력은 제1 시각에 추출 검사되어 제1 압력 측정 신호를 제공하고 이후의 제2 시각에 추출 검사되어 제2 압력 측정 신호를 제공하며, 상기 두 압력 측정 신호들에 의해 생성된 압력차가 누설 표시 신호로서 평가되는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1 및 제2 측정 신호들은 전기 신호로서 발생시키고, 상기 제1 측정 신호를 적어도 상기 제2 시각까지 저장하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 용기 주위에 압력 측정 센서를 제공하고 상기 제1 시각에 상기 센서를 차 생성 장치(difference forming unit)의 양 입력에 작동 가능하도록 연결하는 단계와,
    상기 상기 차 생성 장치의 출력 신호에 의존하는 영 오프셋 신호(zero offset signal)를 발생시키는 단계와,
    상기 영 오프셋 신호를 저장하는 단계와,
    상기 저장된 영 오프셋 신호에 의해 상기 두 측정 신호들의 상기 신호차에서 영 오프셋을 보상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  9. 제6항에 있어서, 상기 용기 주위에 압력 측정 센서를 제공하고, 상기 센서의 출력 신호를 하나 이상의 미리 결정된 신호값들과 비교하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  10. 제6항에 있어서, 상기 제1 측정 신호를, 상기 제1 시각에 변환을 가능케 하는 아날로그-디지털 변환기에 의하여 저장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 아날로그-디지털 변환기의 디지털 출력 신호를 아날로그 신호로 재변환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 용기들의 배치(batch)를 하나의 용기로서 동시에 검사하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  13. 제1항에 있어서, 상기 용기 주위 내의 상기 벽 부분에서 또는 상기 벽 부분 부근이나 상기 벽 부분에 접촉하여 임피던스 측정을 행하되, 상기 임피던스 측정은 직류를 이용한 저항 측정이고, 상기 임피던스 측정 결과에 의하여 상기 용기 주위 내의 상기 압력이 추가적으로 강하되게 하거나 강하되지 않게 하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  14. 제1항에 있어서, 상기 하나 이상의 용기의 외부 형상에 안정되게 들어맞는 검사 챔버를 구비한 검사 공동을 제공하여, 그에 의하여 상기 용기 벽 부분 또는 상기 용기 벽 전체에서 상기 용기 벽과 상기 검사 공동의 벽 사이에 압력이 강하될 잉여 공간을 유지할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  15. 제1항에 있어서, 상기 하나 이상의 용기를 위하여, 상기 용기의 체적보다 훨씬 큰 검사 챔버를 형성하는 검사 공동을 제공하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 용기를 위한 검사 공동이 제공되며,
    상기 검사 공동 내부의 용기가 누설되는 것으로 검출된 후에 상기 검사 공동을 세정하되, 상기 세정은 상기 공동의 흡입(evacuation), 가스에 의한 플러싱(flushing) 및 가열 중 어느 하나에 의하거나 둘 이상의 조합에 의하여 수행되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  17. 제1항에 있어서,
    일련의 상기 용기들을 검사 공동들의 세트에서 인라인(in-line) 검사하되,
    검사 공동 내에서 전에 검사된 용기가 누설되는 것으로 판명된 경우, 하나 이상의 검사 사이클 동안 그 검사 공동에서 검사 작업이 이루어지지 않도록 하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  18. 제1항에 있어서, 누설 검사될 부분인 용기 벽 부분 또는 용기 벽 전체를 가로질러 압력차를 인가하는 상기 단계는, 상기 하나 이상의 용기의 벽의 일부에 또는 용기의 벽의 전체에 안쪽으로 기계적 힘을 가함으로써 상기 하나 이상의 용기의 내부 압력을 상승시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  19. 제1항에 있어서, 상기 하나의 성분이 물인 하나 이상의 용기에 대하여, 상기 용기 주위의 압력을 상기 액체 성분의 증기압 또는 그러한 증기압보다 낮은 값으로 낮추는 상기 단계는, 상기 용기 주위를 20 mbar 미만까지 흡입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
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  45. 하나 이상의 액체 성분을 포함하는 내용물을 담는 하나 이상의 밀폐되고 충전된 용기를 누설 검사하는 장치에 있어서,
    하나 이상의 밀봉 폐쇄가능한 검사 공동과,
    상기 검사 공동에 작동 가능하게 연결되고 대략 상온에서 상기 성분의 증기압 이하까지 상기 검사 공동을 펌핑할 수 있도록 선택된 하나 이상의 흡입 펌프와,
    상기 검사 공동에 작동 가능하게 연결된 진공 압력 센서인 하나 이상의 압력 센서와,
    상기 검사 공동 내의 압력값을 상기 성분의 증기압 이하까지 낮추고 상기 압력 센서에 의하여 누설 표시 신호를 발생시키도록 상기 흡입 펌프가 작동되게 하는 타이밍 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  46. 제45항에 있어서, 상기 하나 이상의 흡입 펌프로는 드래그 진공 펌프, 피스톤 밸브 진공 펌프, 확산 펌프, 터보 진공 펌프 중 하나 이상이 채택되는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  47. 제45항에 있어서, 상기 센서는 피라니 센서(Pirani sensor)를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  48. 제45항에 있어서, 상기 타이밍 장치는, 일단 상기 검사 공동 내부의 압력이 최소한 상기 증기압 값에 도달하면, 상기 센서의 출력을 누설 표시 신호를 발생시키는 누설 검사 장치의 출력으로 작동 가능하게 연결하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  49. 제45항에 있어서, 상기 흡입 펌프는 상기 증기압 보다 적어도 10배 작은 압력까지 상기 검사 공동을 펌핑할 수 있도록 선택되는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  50. 제45항에 있어서,
    상기 센서의 출력에 작동 가능하게 연결되는 저장 장치와,
    하나의 입력은 상기 저장 장치의 출력으로 작동 가능하게 연결되고 제2 입력은 상기 센서의 출력으로 작동 가능하게 연결되는 차 생성 장치와,
    제1 시점에서 상기 센서의 출력을 상기 저장 장치의 입력으로 작동 가능하게 연결하고, 제2 시점에서 상기 저장 장치의 출력을 상기 차 생성 장치의 상기 하나의 입력으로 그리고 상기 센서의 출력을 상기 차 생성 장치의 상기 제2 입력으로 작동 가능하게 연결하는 타이밍 장치를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  51. 제50항에 있어서, 상기 센서가 상기 검사 공동 내부의 압력이 상기 증기압에 도달한 것을 검출한 후, 상기 타이밍 장치는 상기 센서의 상기 출력이 상기 저장 장치로 작동 가능하게 연결될 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  52. 제50항 또는 제51항에 있어서, 상기 저장 장치는 아날로그-디지털 변환기를 포함하고, 상기 타이밍 장치는 상기 아날로그-디지털 변환기의 변환 제어 입력으로 작동 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  53. 제50항 내지 제51항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 타이밍 장치는 상기 제1 시점에서 상기 센서의 출력을 상기 차 생성 장치의 양 입력들로 작동 가능하게 연결하고, 추가적인 저장 장치가 제공되어 상기 차 생성 장치의 출력에 작동 가능하게 연결되고 상기 제1 시점에서 사용가능하게 되며, 상기 추가적인 저장 장치의 출력은 상기 제2 시점에서 상기 차 생성 장치의 출력과 작동 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  54. 제52항에 있어서,
    상기 아날로그-디지털 변환기의 출력에 작동 가능하게 연결된 디지털-아날로그 변환기를 추가로 포함하고,
    상기 디지털-아날로그 변환기의 출력은 상기 차 생성 장치에 작동 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  55. 제45항에 있어서, 상기 검사 공동은 상기 하나 이상의 용기에 안정되게 들어 맞는 형상을 갖고, 그 내벽에 지지 수단을 포함하여 상기 용기의 벽과 상기 검사 공동의 벽 사이의 체적이 작아지면 그 사이에 자유 공간을 유지하도록 하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  56. 제55항에 있어서, 상기 공동 내부에 임피던스 측정 장치에 연결된 한 쌍 이상의 임피던스 측정 전극들을 추가로 포함하고, 상기 임피던스 측정 장치의 출력이 상기 흡입 펌프에 의한 상기 검사 공동의 추가적인 흡입을 가능케 하거나 차단하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  57. 제45항에 있어서, 상기 검사 공동은 두 개 이상의 상기 용기들을 수용할 수 있을 정도로 큰 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  58. 제45항에 있어서, 상기 검사 공동은 상기 용기보다 충분히 커서 다양한 형상과 다양한 체적의 용기를 유연하게 수용하기에 적합한 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  59. 제45항에 있어서, 상기 공동은 제거 가능한 덮개를 포함하고 한 쌍 이상의 씰들이 상기 덮개에 의해 개방된 구멍 주위로 배치되며 상기 두 씰들 사이의 공간이 펌핑되는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  60. 다수의 용기들을 인라인 검사하기 위한 제45항에 따른 누설 검사 장치에 있어서,
    검사를 위하여 각각의 개수의 용기들이 공급되는 상기 검사 공동들의 세트와,
    일단 상기 하나의 검사 공동에서 전에 검사된 용기가 누설되는 것으로 밝혀지는 경우에, 검사해야 할 하나 이상의 용기가 그 검사 공동에 채워지는 것을 방지하기 위한 제어 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  61. 제45항에 있어서, 상기 검사 공동에 접하고 세정 가스 탱크로 연결되는 하나 이상의 세정 가스 라인(cleaning gas line)을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  62. 제45항에 있어서, 용기들을 인라인 누설 검사하기 위하여 회전원형선반(carrousel)에 설치된 다수의 검사 공동들을 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  63. 삭제
  64. 제45항에 있어서, 상기 하나 이상의 용기는 블리스터(blisters), 약품병(vials), 의약품 용기, 음식 또는 음료 용기, 및 탱크로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  65. 제45항에 있어서, 상기 하나 이상의 용기는 누설 검사 장치에 의하여 누설이 검사되는 탱크 플랜트의 탱크인 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  66. 제16항에 있어서, 상기 플러싱에 사용되는 상기 가스는 질소인 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  67. 제1항에 있어서, 상기 하나의 성분이 물인 하나 이상의 용기에 대하여, 상기 용기 주위의 압력을 상기 액체 성분의 증기압 또는 그러한 증기압보다 낮은 값으로 낮추는 상기 단계는, 상기 용기 주위를 약 10-2 mbar까지 흡입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  68. 제1항에 있어서, 상기 용기 주위의 상기 압력은 상기 증기압보다 적어도 10의 3승(103)배 만큼 낮은 압력값을 향하여 낮아지는 것을 특징으로 하는 누설 검사 방법.
  69. 제56항에 있어서, 상기 임피던스 측정 장치는 저항 측정 장치인 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  70. 제45항에 있어서, 상기 검사 공동은 상기 용기들의 다수-용기 배치(batch)를 수용할 수 있을 정도로 큰 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
  71. 제61항에 있어서, 상기 세정 가스 탱크는 질소를 함유하는 것을 특징으로 하는 누설 검사 장치.
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