KR100597287B1 - 기판처리장치 및 그 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 제 1 면과 제 2 면을 갖추는 기판을 처리하는 장치에 있어서,상기 기판의 제 1 면의 중앙 근방을 유지하고, 연직축 주위로 회전이 자유로운 기판유지부와,상기 기판의 제 2 면에 처리액을 공급하기 위한 처리액 공급부와,상기 기판유지부를 감싸도록 환상(環狀)으로 형성되고, 상기 기판유지부에 유지된 기판의 주연(周緣)영역에 있어서의 제 1 면의 근방에 형성된 볼록부와,상기 기판의 주연영역에 있어서의 제 1 면과 볼록부의 사이에 온도조정액을 공급하기 위한 온도조정액 공급부를 구비하고,처리액이 공급된 기판을 상기 기판유지부에서 회전시키고, 이 회전에 의하여 상기 온도조정액 공급부로부터의 온도조정액을 제 1 면과 볼록부의 사이에 있어서 기판의 전주(全周)에 걸쳐 피막으로서 형성하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 온도조정액 공급부는 상기 기판 제 1 면의 주방향(周方向)으로 등분한 위치에 온도조정액을 공급하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 볼록부에 설치되고, 상기 기판의 제 1 면의 주연영역을 가열하는 가열부를 갖추는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 삭제
- 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 온도조정액 공급부는, 상기 기판 제 1 면의, 상기 기판유지부의 유지영역 외측의 주연영역으로 온도조정액을 공급하는 제 1의 온도조정액 공급부와,상기 제 1 온도조정액 공급부가 설치된 영역보다도 내측의 영역으로 온도조정액을 공급하는 제 2 온도조정액 공급부를 갖추는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 삭제
- 제 7 항에 있어서,상기 제 1의 온도조정액 공급부가 상기 제 2의 온도조정액 공급부보다 먼저 온도조정액의 공급을 개시하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 제 1의 온도조정액 공급부로부터 공급되는 온도조정액의 온도가 상기 제 2의 온도조정액 공급부로부터 공급되는 온도조정액의 온도보다도 높은 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 처리액 공급부는 기판을 따라 형성된 공급구멍을 갖추고, 상기 기판유지부에 대하여 상대적으로 회전이 자유롭도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 처리액은 현상액인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 기판에 처리액을 공급하여 처리를 행하는 기판처리방법에 있어서,기판의 제 1 면의 중앙 근방을 기판유지부에 유지시켜, 이 기판에 처리액을 공급하는 공정과,처리액이 공급된 기판을 상기 기판유지부에 의하여 연직축 주위로 회전시키는 공정과,상기 기판유지부를 감싸도록 환상으로 형성되고 상기 기판유지부에 유지된 기판의 주연영역에 있어서의 제1 면의 근방에 형성된 볼록부와, 상기 제 1 면과의 사이에, 기판이 회전하고 있는 때에 온도조정액을 공급하여, 기판의 회전에 의하여 상기 온도조정액을 제 1 면과 볼록부의 사이에 있어서 기판의 전주에 걸쳐 피막으로서 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
- 제 15 항에 있어서,상기 볼록부에 설치된 가열부에 의하여, 기판이 회전하고 있는 때에 상기 기판의 주연영역을 가열하는 공정을 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
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