KR100583910B1 - 나노 입자의 정전 스프레이 방식을 이용한 나노 크기구조의 패터닝 방법 - Google Patents
나노 입자의 정전 스프레이 방식을 이용한 나노 크기구조의 패터닝 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (4)
- 나노 입자 부착에 의한 패터닝 방법에 있어서,10~60[nm] 크기의 나노 입자가 분산된 나노입자 분산액을 2~20[kV]의 전위차 인가 수단이 부착된 모세관 분사 노즐을 통해 2가 이상의 높은 전하량으로 하전된 초미세 액적으로 대전시키고 분무시키는 단계;상기 분무된 초미세 액적으로부터 현탁 용매를 증발시켜 2가 이상의 고가로 대전된 나노 입자를 형성하는 단계; 및포토레지스트로 구성된 마스크 재료의 부분적 잔류에 의하여 표면에 미세 패턴이 형성되어 있는 전도성 기판 상의 노출된 영역에 상기 2가 이상의 고가로 대전된 나노 입자를 부착시키는 단계를 포함하는 나노 입자 부착에 의한 패터닝 방법.
- 삭제
- 제 1항에 있어서,상기 전도성 기판 상에 미세 패턴을 형성하고 있는 상기 부분적 잔류된 포토레지스트를 제거하는 단계를 더 포함하는 나노 입자 부착에 의한 패터닝 방법.
- 나노 입자 부착에 의한 패터닝 방법에 있어서,10~60[nm] 크기의 나노 입자가 분산된 나노입자 분산액을 2~20[kV]의 전위차 인가 수단이 부착된 모세관 분사 노즐을 통해 2가 이상의 높은 전하량으로 하전된 초미세 액적으로 대전시키고 분무시키는 단계;상기 분무된 초미세 액적으로부터 현탁 용매를 증발시켜 2가 이상의 고가로 대전된 나노 입자를 형성하는 단계; 및표면의 국부적 대전을 통하여 상기 나노 입자의 전하와 반대 극성을 갖는 전하 패턴을 표면에 형성시킨 도전성 기판 상의 상기 전하 패턴 상에 상기 2가 이상의 고가로 대전된 나노 입자를 부착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 부착에 의한 패터닝 방법.
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