KR100557292B1 - 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버 - Google Patents
다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버 Download PDFInfo
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Abstract
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- 가스를 주입받는 가스 입구와 복수개의 개구부를 갖는 중공형 방전관 헤드, 가스를 배출하기 위한 가스 출구와 방전관 헤드의 개구부들과 대응되는 복수개의 개구부가 상부면에 형성되고 내측에는 작업편이 놓여지는 서셉터가 마련된 챔버 하우징, 방전관 헤드의 개구부들과 프로세스 챔버의 개구부들 사이에 연결되는 복수개의 중공형 방전관 브리지, 각각의 방전관 브리지에 하나 이상 설치되는 페라이트 코어와 이에 권선되어 전원 공급원에 연결되는 유도 코일을 구비하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버에 있어서:상기 유도 코일은 서로 이웃한 페라이트 코어가 서로 역방향으로 자기장이 유도되도록 권선되며;하나의 중공형 방전관 브리지와 이웃한 다른 하나의 중공형 방전관 브리지에 형성되는 제1 플라즈마 방전 패스;상기 하나의 중공형 방전관 브리지와 상기 이웃한 다른 하나의 중공형 방전관 브리지 사이에 구성되어 주기적으로 제1 플라즈마 방전 패스가 유도되거나 차단 되도록 자석의 극성이 변경 배치되는 제1 자석쌍;상기 하나의 중공형 방전관 브리지와 이웃한 또 다른 하나의 중공형 방전관브리지에 형성되는 제2 플라즈마 방전 패스; 및상기 하나의 중공형 방전관 브리지와 상기 이웃한 또 다른 하나의 중공형 방전관 브리지 사이에 구성되어 주기적으로 제2 플라즈마 방전 패스가 차단되거나 유도되도록 자석의 극성이 변경 배치되는 제2 자석쌍을 포함하여,상기 제1 및 제2 플라즈마 방전 패스는 제1 및 제2 자석쌍에 의해 교대적으로 유도되는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 자석쌍은 극성 방향이 고정된 고정 자석과 극성 방향이 변경되는 회전 가능한 자석이 쌍으로 구성되며,상기 회전 가능한 자석은 소정 주기로 고정 자석과 극성이 동일하거나 다르게 재배치되어,상기 제1 및 제2 플라즈마 방전 패스가 교대적으로 유도되거나 차단되게 하는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제2항에 있어서, 상기 복수개의 중공형 방전관 브리지는 원형으로 배열되고;각각의 중공형 방전관 브리지 사이에는 상기 고정 자석과 상기 회전 가능한 자석이 쌍으로 배치되며;고정 자석들은 하나의 회전 방향으로 동일한 극성 방향을 갖도록 고정되며,회전 가능한 자석들은 하나의 회전 방향으로 서로 다른 극성 방향을 갖도록 배치되어 원형의 중심부의 회전축에 연결되어 소정 주기로 회전하는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 가스를 주입받는 가스 입구와 복수개의 개구부를 갖는 중공형 방전관 헤드, 가스를 배출하기 위한 가스 출구와 방전관 헤드의 개구부들과 대응되는 복수개의 개구부가 상부면에 형성되고 내측에는 작업편이 놓여지는 서셉터가 마련된 챔버 하우징, 방전관 헤드의 개구부들과 프로세스 챔버의 개구부들 사이에 연결되는 복수개의 중공형 방전관 브리지, 각각의 방전관 브리지에 하나 이상 설치되는 페라이트 코어와 이에 권선되어 전원 공급원에 연결되는 유도 코일을 구비하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버에 있어서:하나의 중공형 방전관 브리지와 이웃한 다른 하나의 중공형 방전관 브리지에 형성되는 제1 플라즈마 방전 패스;상기 하나의 중공형 방전관 브리지와 이웃한 또 다른 하나의 중공형 방전관브리지에 형성되는 제2 플라즈마 방전 패스;상기 전원 공급원에 연결되는 제1 단자와 소정 주기로 스위칭 되어 제1 단자와 전류 흐름이 교대적으로 형성되는 제2 및 제3 단자를 갖는 스위칭 회로;상기 하나의 중공형 방전관 브리지와 상기 이웃한 다른 하나의 중공형 방전관 브리지에 설치된 페라이트 코어에 공통으로 권선 되고, 상기 제2 단자에 전기적으로 연결되어 주기적으로 제1 플라즈마 방전 패스가 유도 되도록 하는 제1 유도 코일; 및상기 하나의 중공형 방전관 브리지와 상기 이웃한 또 다른 하나의 중공형 방전관 브리지에 설치된 페라이트 코어에 공통으로 권선 되고, 상기 제3 단자에 전기적으로 연결되어 주기적으로 제2 플라즈마 방전 패스가 유도 되도록 하는 제2 유도 코일을 포함하고,상기 스위칭 회로가 소정 주기로 스위칭 동작함에 따라 상기 제1 및 제2 플라즈마 방전 패스가 교대적으로 유도되는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
- 제4항에 있어서, 상기 스위칭 회로는:자속 입/출구가 마주 보도록 위치하는 'U'자 형상을 갖는 두 개의 페라이트 코어를 갖는 제1 및 제2 페라이트 코어 쌍, 상기 두 개의 페라이트 코어는 하나의 고정된 페라이트 코어와 회전 가능한 다른 하나의 페라이트 코어로 구성되고;회전 가능한 페라이트 코어를 180도 회전/역회전시키기 위한 구동 수단;제1 페라이트 코어 쌍의 두 개의 페라이트 코어에 각각 권선 되어 제1 단자와 제2 단자에 전기적으로 연결되는 제1 유도 코일; 및제2 페라이트 코어 쌍의 두 개의 페라이트 코어에 각각 권선 되어 제1 단자와 제3 단자에 전기적으로 연결되는 제2 유도 코일을 포함하여,제1 페라이트 코어 쌍의 두 개의 페라이트 코어가 상호 동일한 방향으로 자기장이 유도될 때, 제2 페라이트 코어 쌍의 두 개의 페라이트 코어는 상호 역방향으로 자기장이 유도되는 것을 특징으로 하는 다중 방전관 브리지를 구비한 유도 플라즈마 챔버.
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