KR100542994B1 - Organic electro luminescence display and method of fabricating the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 화소 정의막 상에 보호막을 형성하여 화소 정의막으로 사용되는 감광성 유기 절연물질에서 발생하는 유해 가스를 차단하는 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 절연 기판 상에 형성된 하부 전극과; 상기 하부 전극의 일부분을 노출시켜주는 개구부를 구비한 화소 정의막과; 상기 화소 정의막 상에 형성되며, 상기 화소 정의막의 개구부보다 작은 개구부를 구비한 보호막과; 상기 보호막 개구부의 상부에 형성된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 상에 형성된 상부 전극을 포함하는 유기 전계 발광 표시 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, which protect a harmful gas generated from a photosensitive organic insulating material used as a pixel defining layer by forming a passivation layer on a pixel defining layer. and; A pixel defining layer having an opening exposing a portion of the lower electrode; A passivation layer formed on the pixel defining layer and having an opening smaller than the opening of the pixel defining layer; An organic emission layer formed on the passivation layer opening; An organic light emitting display device including an upper electrode formed on the organic light emitting layer is provided.

유기 전계 발광 표시 장치, 보호막, 봉지 보호막Organic electroluminescent display, protective film, encapsulating film

Description

유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법{Organic electro luminescence display and method of fabricating the same}Organic electroluminescent display and manufacturing method thereof {Organic electro luminescence display and method of fabricating the same}

도 1은 종래의 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view of a conventional organic light emitting display device.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 단면도.2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 보호막을 설명하는 단면도. 3 is a cross-sectional view illustrating the protective film of the present invention.

도 4는 본 발명의 봉지 보호막을 설명하는 단면도. 4 is a cross-sectional view illustrating the sealing protective film of the present invention.

(도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for main parts of drawing)

200; 절연 기판 210; 하부 전극200; Insulating substrate 210; Bottom electrode

220; 화소 정의막 230; 보호막220; The pixel defining layer 230; Shield

240; 유기 발광층 250; 상부 전극240; An organic light emitting layer 250; Upper electrode

260; 봉지 보호막260; Envelope Shield

본 발명은 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 화소 정의막 상에 보호막을 형성하여 화소 정의막으로 사용되는 감광성 유기 절연물 질에서 발생하는 유해 가스를 차단하는 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same. It relates to a manufacturing method.

최근, 유기 전계 발광 표시 장치는 CRT나 LCD에 비하여 박막형, 넓은 시야각, 경량, 소형, 빠른 응답 속도 및 적은 소비 전력 등의 장점으로 인하여 차세대 표시 장치로서 주목받고 있다. 특히, 유기 전계 발광 표시 장치는 애노드 전극, 유기 물질막, 캐소드 전극의 단순한 구조로 되어 있기 때문에 간단한 제조 공정을 통하여 쉽게 제조할 수 있는 장점이 있다. Recently, an organic light emitting display device has attracted attention as a next generation display device due to advantages such as thin film type, wide viewing angle, light weight, small size, fast response speed, and low power consumption compared to CRT or LCD. In particular, since the organic light emitting display device has a simple structure of an anode electrode, an organic material film, and a cathode electrode, the organic light emitting display device can be easily manufactured through a simple manufacturing process.

이하 첨부된 도면을 참조하여, 종래 기술에 대하여 설명한다. Hereinafter, a conventional technology will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view illustrating a conventional organic light emitting display device.

도 1을 참조하면, 박막 트랜지스터를 구비하는 절연 기판(100) 상에 하부 전극(110)을 형성한다. Referring to FIG. 1, a lower electrode 110 is formed on an insulating substrate 100 including a thin film transistor.

상기 하부 전극(110)을 형성한 후, 상기 절연 기판(100) 전면에 화소 정의막(120)을 형성하고, 상기 화소 정의막(120)을 사진 식각하여 상기 하부 전극(110)의 일부분을 노출시키는 개구부(125)를 형성한다. 상기 화소 정의막(120)은 페놀(phenol) 계열의 유기 절연 물질 또는 PI(Polyimide) 등의 감광성 유기 절연 물질로 이루어진다. After the lower electrode 110 is formed, a pixel defining layer 120 is formed on the entire surface of the insulating substrate 100, and the pixel defining layer 120 is photo-etched to expose a portion of the lower electrode 110. The opening 125 is formed. The pixel defining layer 120 is formed of a phenol-based organic insulating material or a photosensitive organic insulating material such as PI (Polyimide).

상기 화소 정의막(120)을 형성한 후, 상기 개구부(125)의 상부에 유기 발광층(140)을 형성한다. After the pixel defining layer 120 is formed, the organic emission layer 140 is formed on the opening 125.

상기 유기 발광층(140)을 형성한 다음, 상기 절연 기판(100)의 전면에 상부 전극(150)을 형성한다. After forming the organic emission layer 140, an upper electrode 150 is formed on the entire surface of the insulating substrate 100.

이후에, 도면상에는 도시하지 않았으나, 봉지 기판을 사용하여 하부 전극(110), 유기 발광층(140)과 상부 전극(150)을 구비하는 절연 기판(100)을 봉지한다. Subsequently, although not shown in the drawing, the insulating substrate 100 including the lower electrode 110, the organic emission layer 140, and the upper electrode 150 is encapsulated using the encapsulation substrate.

상기와 같은 공정을 통해 형성된 유기 전계 발광 표시 장치는 장시간 사용 시, 화소 정의막(120)으로 사용되는 유기 절연물질에서 O2와 같은 유해 가스가 배출되어 유기 발광층(140)으로 침투한다. 이로 인하여 유기 발광층이 산소와 결합하여 산화되므로 유기 발광층(140)이 변성되고, 이에 따라 발광하지 못하여 화소 수축 등이 발생하여, 결국 유기 전계 발광 표시 장치의 수명이 감소하는 문제점이 있다. In the organic light emitting display device formed through the above process, harmful gases such as O 2 are discharged from the organic insulating material used as the pixel defining layer 120 to penetrate into the organic light emitting layer 140 when it is used for a long time. As a result, since the organic light emitting layer is combined with oxygen and oxidized, the organic light emitting layer 140 is denatured, thereby failing to emit light, thereby causing pixel shrinkage and the like, thereby reducing the lifespan of the organic light emitting display device.

본 발명의 목적은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 화소 정의막 상에 보호막을 형성함으로써, 화소 정의막에서 나오는 유해 가스를 차단하여 수명이 향상된 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법을 제공하는 데에 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and the present invention provides an organic electroluminescent display device having improved lifespan by blocking a harmful gas from the pixel definition layer by forming a protective film on the pixel definition layer. The object is to provide a manufacturing method.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 절연 기판 상에 형성된 하부 전극과; 상기 하부 전극의 일부분을 노출시켜주는 개구부를 구비한 화소 정의막과; 상기 화소 정의막 상에 형성되며, 상기 화소 정의막의 개구부보다 작은 개구부를 구비한 보호막과; 상기 보호막 개구부의 상부에 형성된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 상에 형성된 상부 전극을 포함하는 유기 전계 발광 표시 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다. The present invention for achieving the above object is a lower electrode formed on an insulating substrate; A pixel defining layer having an opening exposing a portion of the lower electrode; A passivation layer formed on the pixel defining layer and having an opening smaller than the opening of the pixel defining layer; An organic emission layer formed on the passivation layer opening; An organic light emitting display device including an upper electrode formed on the organic light emitting layer is provided.

또한, 본 발명은 절연 기판 상에 하부 전극을 형성하는 단계와; 상기 하부 전극의 일부분을 노출시키는 개구부를 구비하는 화소 정의막을 형성하는 단계와; 상기 화소 정의막 상에 유해 가스 차단 물질을 증착하고 패터닝하여 상기 화소 정의막의 개구부보다 작은 개구부를 구비하는 보호막을 형성하는 단계와; 상기 보호막의 개구부의 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기 발광층 상에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 특징으로 한다. In addition, the present invention comprises the steps of forming a lower electrode on an insulating substrate; Forming a pixel defining layer having an opening exposing a portion of the lower electrode; Depositing and patterning a harmful gas barrier material on the pixel defining layer to form a passivation layer having an opening smaller than the opening of the pixel defining layer; Forming an organic emission layer on the opening of the passivation layer; A method of manufacturing an organic light emitting display device including forming an upper electrode on the organic light emitting layer is provided.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 보호막은 상기 화소 정의막에서 방출되는 유해 가스로부터 상기 유기 발광층을 보호하는 것으로써, 1㎛ 이하의 두께를 갖으며, 상기 보호막 개구부의 경사각은 상기 화소 정의막의 개구부의 경사각과 동일 또는 작은 값을 갖는 것이 바람직하다. In some embodiments, the passivation layer protects the organic light emitting layer from harmful gases emitted from the pixel definition layer, and has a thickness of 1 μm or less, and an inclination angle of the passivation layer opening is an opening of the pixel definition layer. It is preferable to have a value equal to or smaller than the inclination angle of.

또한, 상기 보호막은 하부 유기막/금속막/상부 유기막 또는 하부 유기막/금속 산화막/상부 유기막으로 이루어지는 것이 바람직하다. 이때, 상기 보호막의 상기 상부, 하부 유기막은 HDPE 또는 BCB로 이루어진다. In addition, the protective film is preferably made of a lower organic film / metal film / upper organic film or a lower organic film / metal oxide film / upper organic film. In this case, the upper and lower organic layers of the protective layer is made of HDPE or BCB.

또한, 상기 상부 전극 상에 형성된 봉지 보호막을 더 포함할 수도 있다. 상기 봉지 보호막은 하부 유기막/금속막/상부 유기막 또는 하부 유기막/금속 산화막/상부 유기막으로 이루어지며, 상기 상부, 하부 유기막은 HDPE 또는 BCB로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 하부 유기막은 상부 표면을 거칠게 형성할 수도 있다. In addition, the encapsulation film may be further included on the upper electrode. The encapsulation passivation layer may be formed of a lower organic layer / metal layer / upper organic layer or a lower organic layer / metal oxide layer / upper organic layer, and the upper and lower organic layers may be made of HDPE or BCB. In addition, the lower organic layer may have a rough upper surface.

이하 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예를 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 나타 내는 단면도이다. 2 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 보호막을 설명하는 단면도이며, 도 4는 본 발명의 봉지 보호막을 설명하는 단면도이다. 3 is a cross-sectional view illustrating the protective film of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating the sealing protective film of the present invention.

도 2를 참조하면, 박막 트랜지스터를 구비하는 절연 기판(200) 상에 하부 전극(210)을 형성한다. Referring to FIG. 2, a lower electrode 210 is formed on an insulating substrate 200 including a thin film transistor.

상기 하부 전극(210)을 형성한 후, 상기 절연 기판(200) 전면에 화소 정의막(220)을 형성하고, 상기 화소 정의막(220)을 사진 식각하여 상기 하부 전극(210)의 일부분을 노출시키는 개구부(225)를 형성한다. 상기 화소 정의막(220)은 페놀(phenol) 계열의 유기 절연 물질 또는 PI(Polyimide) 등의 감광성 유기 절연 물질로 이루어진다. After forming the lower electrode 210, a pixel defining layer 220 is formed on the entire surface of the insulating substrate 200, and the pixel defining layer 220 is photo-etched to expose a portion of the lower electrode 210. The opening 225 is formed. The pixel defining layer 220 is formed of a phenol-based organic insulating material or a photosensitive organic insulating material such as PI (Polyimide).

상기 화소 정의막(220)을 형성한 다음, 상기 화소 정의막(220) 상에 상기 화소 정의막(220)에서 방출되는 유해 가스를 차단할 수 있는 물질을 증착하고 패터닝하여, 보호막(230)을 형성한다. 상기 보호막(230)은 상기 화소 정의막(220)의 개구부(225)보다 작은 개구부(235)를 구비하며, 상기 화소 정의막(220)을 감싸주어 화소 정의막(220)으로부터 방출되는 가스로부터 유기 발광층(240)을 보호한다. After forming the pixel defining layer 220, a protective film 230 is formed by depositing and patterning a material capable of blocking harmful gas emitted from the pixel defining layer 220 on the pixel defining layer 220. do. The passivation layer 230 has an opening 235 smaller than the opening 225 of the pixel defining layer 220, and surrounds the pixel defining layer 220 to be separated from the gas emitted from the pixel defining layer 220. The light emitting layer 240 is protected.

이때, 상기 보호막(230)은 1㎛ 이하의 두께를 갖으며, 상기 보호막(230) 개구부(235)의 경사각은 상기 화소 정의막(220) 개구부(225)의 경사각과 동일 또는 작은 값을 갖는 것이 바람직하다. In this case, the passivation layer 230 has a thickness of 1 μm or less, and the inclination angle of the opening 235 of the passivation layer 230 has a value equal to or smaller than the inclination angle of the opening 225 of the pixel defining layer 220. desirable.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 보호막(230)은 하부 유기막(231)/금속막(또는 금속 산화막)(232)/상부 유기막(233)의 삼중막 구조로 형성될 수 있다. In addition, as shown in FIG. 3, the passivation layer 230 may have a triple layer structure of a lower organic layer 231 / metal layer (or metal oxide layer) 232 / upper organic layer 233.

상기 하부, 상부 유기막(231, 233)으로는 HDPE(high density polyethylene) 또는 BCB(Benzocyclobutene) 등의 유기물질을 사용한다. As the lower and upper organic layers 231 and 233, an organic material such as high density polyethylene (HDPE) or benzocyclobutene (BCB) is used.

상기 보호막(230)을 형성한 후, 상기 보호막(230) 개구부(235)의 상부에 유기 발광층(240)을 형성한다. 상기 유기 발광층(240)은 그 기능에 따라 여러 층으로 구성될 수 있는데, 일반적으로 정공 주입층(HIL), 정공 전달층(HTL), 발광층(Emitting layer), 정공 저지층(HBL), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(EIL) 중 적어도 하나의 층 이상으로 된 다층막으로 이루어진다. After forming the passivation layer 230, the organic emission layer 240 is formed on the opening of the passivation layer 230. The organic light emitting layer 240 may be composed of several layers depending on its function, and is generally a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL), an emitting layer, a hole blocking layer (HBL), and an electron transport layer. (ETL) and an electron injection layer (EIL) made of at least one layer or more.

상기 유기 발광층(240)을 형성한 다음, 상기 절연 기판(200)의 전면에 상부 전극(250)을 형성한다. After forming the organic emission layer 240, an upper electrode 250 is formed on the entire surface of the insulating substrate 200.

상기 상부 전극(250)을 형성한 후, 상기 상부 전극(250) 상에 봉지 보호막(260)을 형성한다. After forming the upper electrode 250, an encapsulation protective layer 260 is formed on the upper electrode 250.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 봉지 보호막(260)은 하부 유기막(261)/금속막(또는 금속 산화막)(262)/상부 유기막(263)의 삼중막 구조로 형성될 수 있다. 이때, 상기 하부, 상부 유기막(261, 263)으로는 HDPE(high density polyethylene) 또는 BCB 등의 유기물질을 사용한다. In addition, as illustrated in FIG. 4, the encapsulation passivation layer 260 may have a triple layer structure of a lower organic layer 261 / metal layer (or metal oxide layer) 262 / upper organic layer 263. . In this case, as the lower and upper organic layers 261 and 263, an organic material such as HDPE (high density polyethylene) or BCB is used.

또한, 상기 봉지 보호막(260)의 하부 유기막(261)을 증착한 후에 애싱(ashing)을 통하여 상부 표면을 거칠게 형성하면, 외광이 난반사되어 외광을 차단하는 효과가 있다. In addition, when the lower organic layer 261 of the encapsulation passivation layer 260 is deposited and the upper surface is roughened through ashing, external light is diffusely reflected to block external light.

이후에, 도면에는 도시하지 않았으나, 봉지 기판을 사용하여 하부 전극(210), 유기 발광층(240)과 상부 전극(250)을 구비하는 절연 기판(200)을 봉지 한다. Subsequently, although not shown in the drawing, the insulating substrate 200 including the lower electrode 210, the organic emission layer 240, and the upper electrode 250 is encapsulated using the encapsulation substrate.

상기와 같은 공정을 통해 형성된 유기 전계 발광 표시 장치는 상기 보호막(230)에 의하여 상기 화소 정의막(220)에서 발생하는 O2 등과 같은 유해 가스가 유기 발광층(240)으로 침투하는 것을 방지하며, 상기 봉지 보호막(260)에 의하여 외부의 산소 및 수분이 상기 발광 소자로 침투하는 것을 방지한다. 또한, 부수적으로 상기 봉지 보호막(260)에 의한 광차단 효과로 콘트라스트(contrast)가 향상된다. The organic light emitting display device formed through the above process prevents harmful gases such as O 2 generated from the pixel defining layer 220 from penetrating into the organic light emitting layer 240 by the passivation layer 230. The encapsulation protective layer 260 prevents external oxygen and moisture from penetrating the light emitting device. Incidentally, contrast is improved due to the light blocking effect of the encapsulation protective layer 260.

상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 화소 정의막 상에 보호막을 형성하여 화소 정의막에서 나오는 유해 가스를 차단하여 신뢰성이 우수하며, 수명이 향상된 유기 전계 발광 표시 장치를 제공할 수 있다. As described above, according to the present invention, a protective film may be formed on the pixel defining layer to block harmful gases emitted from the pixel defining layer, thereby providing an organic light emitting display device having high reliability and improved lifespan.

또한, 봉지 보호막의 외광 차단 효과에 의하여 콘트라스트가 향상된 유기 전계 발광 표시 장치를 제공할 수 있다. In addition, an organic light emitting display device having improved contrast may be provided due to the external light blocking effect of the encapsulation passivation layer.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

Claims (18)

절연 기판 상에 형성된 하부 전극과; A lower electrode formed on the insulating substrate; 상기 하부 전극의 일부분을 노출시켜주는 개구부를 구비한 화소 정의막과; A pixel defining layer having an opening exposing a portion of the lower electrode; 상기 화소 정의막 상에 형성되며, 상기 화소 정의막의 개구부보다 작은 개구부를 구비한 보호막과; A passivation layer formed on the pixel defining layer and having an opening smaller than the opening of the pixel defining layer; 상기 보호막 개구부의 상부에 형성된 유기 발광층과; An organic emission layer formed on the passivation layer opening; 상기 유기 발광층 상에 형성된 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치. And an upper electrode formed on the organic light emitting layer. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 보호막은 상기 화소 정의막에서 방출되는 유해 가스로부터 상기 유기 발광층을 보호하는 것으로써, 1㎛ 이하의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치. The passivation layer protects the organic light emitting layer from harmful gases emitted from the pixel defining layer and has a thickness of 1 μm or less. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보호막 개구부의 경사각은 상기 화소 정의막의 개구부의 경사각과 동일 또는 작은 값을 갖는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치. And an inclination angle of the passivation layer opening is equal to or smaller than an inclination angle of the opening of the pixel defining layer. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 보호막은 하부 유기막/금속막/상부 유기막 또는 하부 유기막/금속 산화막/상부 유기막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치. And the passivation layer includes a lower organic layer / metal layer / upper organic layer or a lower organic layer / metal oxide layer / upper organic layer. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 상부, 하부 유기막은 HDPE 또는 BCB로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치. The upper and lower organic layers may be made of HDPE or BCB. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 상부 전극 상에 형성된 봉지 보호막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치. And an encapsulation passivation layer formed on the upper electrode. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 봉지 보호막은 하부 유기막/금속막/상부 유기막 또는 하부 유기막/금속 산화막/상부 유기막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치. And the encapsulation passivation layer is formed of a lower organic film / metal film / upper organic film or a lower organic film / metal oxide film / upper organic film. 제 7항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 상부, 하부 유기막은 HDPE 또는 BCB로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치. The upper and lower organic layers may be made of HDPE or BCB. 제 7항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 하부 유기막은 상부 표면이 거칠게 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치. And an upper surface of the lower organic layer is rough. 절연 기판 상에 하부 전극을 형성하는 단계와; Forming a lower electrode on the insulating substrate; 상기 하부 전극의 일부분을 노출시키는 개구부를 구비하는 화소 정의막을 형성하는 단계와; Forming a pixel defining layer having an opening exposing a portion of the lower electrode; 상기 화소 정의막 상에 유해 가스 차단 물질을 증착하고 패터닝하여 상기 화소 정의막의 개구부보다 작은 개구부를 구비하는 보호막을 형성하는 단계와; Depositing and patterning a harmful gas barrier material on the pixel defining layer to form a passivation layer having an opening smaller than the opening of the pixel defining layer; 상기 보호막의 개구부의 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와; Forming an organic emission layer on the opening of the passivation layer; 상기 유기 발광층 상에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.And forming an upper electrode on the organic light emitting layer. 제 10 항에 있어서, The method of claim 10, 상기 보호막은 상기 화소 정의막에서 방출되는 유해 가스로부터 상기 유기 발광층을 보호하는 것으로써, 1㎛ 이하의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법. The passivation layer protects the organic light emitting layer from harmful gases emitted from the pixel defining layer and is formed to a thickness of 1 μm or less. 제 10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 보호막 개구부의 경사각은 상기 화소 정의막의 개구부의 경사각과 동일 또는 작은 값을 갖도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법. And the inclination angle of the passivation layer opening is equal to or smaller than the inclination angle of the opening of the pixel defining layer. 제 10항에 있어서, The method of claim 10, 상기 보호막은 하부 유기막/금속막/상부 유기막 또는 하부 유기막/금속 산화막/상부 유기막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.The passivation layer may be formed of a lower organic layer / metal layer / upper organic layer or a lower organic layer / metal oxide layer / upper organic layer. 제 10항에 있어서, The method of claim 10, 상기 상부, 하부 유기막은 HDPE 또는 BCB로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법. The upper and lower organic layers may be made of HDPE or BCB. 제 10항에 있어서, The method of claim 10, 상기 상부 전극 상에 봉지 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법. And forming an encapsulation passivation layer on the upper electrode. 제 15항에 있어서, The method of claim 15, 상기 봉지 보호막은 하부 유기막/금속막/상부 유기막 또는 하부 유기막/금속 산화막/상부 유기막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법. The encapsulation passivation layer is formed of a lower organic film / metal film / upper organic film or a lower organic film / metal oxide film / upper organic film. 제 16항에 있어서, The method of claim 16, 상기 상부, 하부 유기막은 HDPE 또는 BCB로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법. The upper and lower organic layers may be made of HDPE or BCB. 제 16항에 있어서, The method of claim 16, 상기 하부 유기막은 증착 후 애싱(ashing)을 통해 표면을 거칠게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법. And forming a lower surface of the lower organic layer through ashing after deposition.
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