KR100540845B1 - Transfer chamber of FPD manufacturing machine comprising aligner - Google Patents

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KR100540845B1
KR100540845B1 KR20030080413A KR20030080413A KR100540845B1 KR 100540845 B1 KR100540845 B1 KR 100540845B1 KR 20030080413 A KR20030080413 A KR 20030080413A KR 20030080413 A KR20030080413 A KR 20030080413A KR 100540845 B1 KR100540845 B1 KR 100540845B1
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KR
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flat panel
panel display
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KR20030080413A
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KR20050046333A (en )
Inventor
이상백
이철원
최준영
허광호
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주식회사 에이디피엔지니어링
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Abstract

본 발명은 평판표시소자를 제조하는 제조장치에 설치되는 반송챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상기 반송챔버내에서 기판의 위치를 조정할 수 있는 기판위치조정 수단에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate position adjusting means that can adjust to, and more particularly the position of the substrate within the transfer chamber on the transport chamber, which is installed in the production apparatus for producing a flat panel display device.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 반송챔버는, 평판표시소자 제조장치의 반송챔버에 있어서, 기판을 X-축 방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 제 1 기판위치조정 수단; Conveying chamber of a flat panel display device manufacturing system according to the present invention for achieving the above object, the flat panel display element in the transport chamber of the manufacturing apparatus, the first substrate is provided with position adjustment means to move the substrate in the X- axis direction .; 및 기판을 Y-축 방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 제 2 기판위치조정 수단이 구비되는 것을 특징으로 한다. And the second being provided with the second board position adjusting means is provided to move the substrate in a Y- axis direction.
평판표시소자, 제조장치, 반송챔버, 어라이너 The flat panel display devices, manufacturing equipment, transportation chamber, the aligner

Description

기판위치 결정수단이 구비된 평판표시소자 제조장치의 반송챔버{Transfer chamber of FPD manufacturing machine comprising aligner} Conveying chamber of a flat panel display element manufacturing apparatus comprising the substrate positioning means {Transfer chamber of FPD manufacturing machine comprising aligner}

도 1은 본 발명에 따른 기판위치조정수단이 공정챔버에 설치된 모습을 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view showing the state the substrate positioning means according to the invention is installed in a process chamber.

도 2는 제 1 기판위치조정수단의 구조를 나타내는 사시도이다. 2 is a perspective view showing the structure of a first substrate position adjusting means.

도 3은 제 1 기판접촉부의 구조를 나타내는 사시도이다. 3 is a perspective view showing the structure of the first substrate portion.

도 4는 제 1 접촉단의 구조를 나타내는 사시도이다. Figure 4 is a perspective view showing the structure of the first contact stage.

도 5는 제 1 지지부의 구조를 나타내는 사시도이다. 5 is a perspective view showing the structure of the first support.

도 6은 제 1 구동부의 구조를 나타내는 사시도이다. Figure 6 is a perspective view showing a structure of a first driving unit.

도 7은 제 1 구동수단의 구조를 나타내는 사시도이다. 7 is a perspective view showing the structure of the first drive means.

도 8은 제 1 구동수단과 제 1 기판접촉부의 결합구조를 나타내는 단면도이다. Figure 8 is a cross-sectional view showing a coupling structure of a first drive means and the first substrate contact.

도 9는 제 1 벨로우즈 모듈의 내부 구조를 나타내는 단면도이다. 9 is a cross-sectional view showing the internal structure of the first bellows module.

도 10은 제 1 기판접촉부 조작단이 제 1 구동수단에 설치된 구조를 나타내는 사시도이다. 10 is a perspective view of the first substrate contacts the operation stage showing the structure installed on the first drive means.

도 11은 제 2 기판위치조정 수단의 구조를 나타내는 사시도이다. 11 is a perspective view showing a structure of a position adjusting means for a second substrate.

도 12는 제 2 구동부의 구조를 나타내는 사시도이다. 12 is a perspective view showing the structure of the second driving unit.

도 13은 제 2 기판접촉부 조작단이 제 2 구동수단에 설치된 구조를 나타내는 사시도이다. 13 is a perspective view of the second substrate contacts the operation stage showing the structure installed in the second drive means.

< 도면의 주요부분에 대한 설명 > <Description of the Related Art>

100 : 제 1 기판위치조정 수단 110 : 제 1 기판접촉부 100: a first substrate position adjusting means 110: the first substrate contact

112 : 제 1 접촉단 120 : 제 1 지지부 112: The first contact end 120: first support

130 : 제 1 구동부 132 : 제 1 구동수단 130: a first driving unit 132: first drive means

134 : 제 1 벨로우즈 모듈 136 : 구동축 134: a first bellows module 136: drive shaft

138 : 제 1 기판접촉부 조작단 200 : 제 2 기판위치조정 수단 138: the first substrate contacts the operation stage 200: the second substrate position adjusting means

210 : 제 2 기판접촉부 212 : 제 2 접촉단 210: second substrate contact portion 212: second contact stage

220a, b : 제 2 지지부 230 : 제 2 구동부 220a, b: second support part 230: second driving unit

232 : 제 2 구동수단 234 : 제 2 기판접촉부 조작단 232: second driving means 234: the second substrate contacts the operation stage

본 발명은 평판표시소자를 제조하는 제조장치에 설치되는 반송챔버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상기 반송챔버내에서 기판의 위치를 조정할 수 있는 기판위치조정 수단에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate position adjusting means that can adjust to, and more particularly the position of the substrate within the transfer chamber on the transport chamber, which is installed in the production apparatus for producing a flat panel display device.

일반적으로 평판표시소자 제조장치는 외부에서 기판을 평판표시소자 제조장치내로 반입하거나 반출하는 과정에서 기판을 일시적으로 보관하고 있는 로드락챔버, 로봇이 설치되어 있으며 상기 로드락 챔버와 공정챔버 사이의 기판 반출입을 위한 경유지로 사용되는 반송챔버, 상기 기판에 소정의 공정을 처리하는 공정챔버로 구성된다. In general, a flat panel display device manufacturing apparatus is brought to the substrate from the outside into the flat display device manufacturing apparatus, or temporarily stored in the substrate in the process of export and the load lock chamber, the robot is provided with, and the substrate between the load lock chamber and the process chamber transfer chamber is used as a waypoint for banchulip, it consists of a process chamber for processing a predetermined processing to the substrate.

이때, 상기 로드락챔버에는 기판이 놓여지는 버퍼와 상기 버퍼상에 위치된 기판의 위치를 조정할 수 있는 어라이너(aligner)가 설치된다. In this case, the load lock chamber is provided with an aligner (aligner) for adjusting the position of a substrate positioned on the buffer and the buffer where the substrate is placed. 따라서 상기 로드락챔버에서 위치가 정확하게 조정된 기판을 반송챔버에 설치되어 있는 로봇이 그대로 공정챔버내로 반입하는 것이다. Accordingly to this the position is precisely adjusted in the substrate load lock chamber robot installed in the transfer chamber as it brought into the process chamber.

그러나, 최근에는 처리되는 기판의 크기가 확대됨에 따라 상기 평판표시소자 제조장치가 클린룸에서 차지하는 면적도 더불어 증가되므로, 상기 평판표시소자 제조장치가 차지하는 면적을 감소시키기 위해 상기 로드락챔버와 반송챔버를 통합하여 하나의 챔버로 구성하는 2챔버 형식의 평판표시소자 제조장치가 개시되고 있다. However, in recent years, the flat display device manufacturing because the device is also increased, with an area occupied in a clean room, the flat display device production apparatus wherein the load lock chamber and the transfer chamber in order to reduce the area occupied in accordance with the expansion of the size of the substrate being processed it is integrated to the second chamber type that consists of a single chamber apparatus for manufacturing flat panel display device is disclosed.

다만, 상술한 2챔버 형식의 평판표시소자 제조장치에서는 종래의 3챔버 형식의 평판표시소자 제조장치의 로드락챔버에 구비되던 어라이너를 그대로 반송챔버에 사용할 수 없는 문제점이 있다. However, in the flat panel display device manufacturing apparatus of the above-described second chamber may form a load aligner as problems that can not be used for transport of the release chamber provided in the lock chamber of the flat panel display device manufacturing apparatus of the conventional three-chamber type. 더구나 종래의 어라이너는 기판의 모서리 중 서로 마주보는 모서리를 대각선에서 요동시킴으로써 기판의 위치를 조정하였는데, 기판이 대형화되면서 이러한 조정방법을 사용하는 경우 기판이 깨지거나 손상되는 문제점이 발생된다. Moreover, the conventional aligner are were adjust the position of the substrate by the swing angle at the edge facing each other of the edges of the substrate, a problem that the substrate is broken or damaged when using this adjustment method is generated as the substrate is large.

따라서, 2챔버형 제조장치의 반송챔버에 구비될 어라이너의 개발이 강력하게 요구된다. Thus, the development of the aligner is provided in the conveying chamber of a two chamber type manufacturing apparatus is strongly required.

본 발명의 목적은 2챔버형 평판표시소자 제조장치의 반송챔버에서 사용될 수 있는 기판위치조정 수단을 제공함에 있다. An object of the present invention to provide a substrate-position adjusting means which can be used in the delivery chambers of the two-chamber type flat panel display device manufacturing equipment.

본 발명의 다른 목적은 대형 기판의 위치를 용이하게 조정할 수 있는 기판위치조정 수단을 제공함에 있다. Another object of the present invention to provide a substrate-position adjusting means which can easily adjust the position of the large-sized board.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반송챔버는, 평판표시소자 제조장치의 반송챔버에 있어서, 기판을 X-축 방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 제 1 기판위치조정 수단; Conveying chamber according to the present invention for achieving the above object, the flat panel display element in the transport chamber of the manufacturing apparatus, the first position adjusting substrate which is provided to move the substrate in a X- axis direction means; 및 기판을 Y-축 방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 제 2 기판위치조정 수단이 구비되는 것을 특징으로 한다. And the second being provided with the second board position adjusting means is provided to move the substrate in a Y- axis direction.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter will be described in detail specific embodiments of the invention with reference to the accompanying drawings. 본 실시예에 의하여 본 발명의 구성 및 작용을 보다 명확하게 이해할 수 있을 것이다. The construction and operation of the present invention by the present embodiment will be more clearly understood.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반송챔버(300)에는 기판을 X-축 방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 제 1 기판위치조정 수단(100)과 기판을 Y-축 방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 제 2 기판위치조정 수단(200)이 구비된다. 1, the transfer according to the invention the chamber 300, to move the first board position adjustment means 100 and the substrate being provided to move the substrate in the X- Y- axis directions in the axial direction a second substrate position adjusting means 200 is provided is provided.

먼저 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제 1 기판위치조정수단(100)은 제 1 기판 접촉부(110), 제 1 지지부(120) 및 제 1 구동부(130)를 포함하여 이루어진다. First, a first substrate position adjusting means 100 as shown in Figure 2 comprises a first substrate contact portion 110, a first support 120 and the first driving unit 130.

이때 상기 제 1 기판접촉부(110)는 긴 막대 형상으로 형성되어 상기 반송챔버(300)의 일측면을 가로질러서 구비되되, 상기 반송챔버(300)의 양 측면에 각각 1 개씩 설치된다. Wherein the first substrate contact portion 110 is formed in a long rod-shaped doedoe provided across one side of the transport chamber 300, it is respectively installed one by one on both sides of the transport chamber 300. 그리고 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제 1 기판접촉부(110)에는 소정 간격으로 복수개의 제1 접촉단(112)이 설치된다. And the first substrate contact portion 110 is provided with a plurality of the first contact end (112) at a predetermined interval as shown in Fig. 상기 제 1 접촉단(112)은 도 4에 도시된 바와 같이 축을 중심으로 회전가능하도록 구비된다. The first contact end 112 is provided so as to be rotatable about the axis, as shown in Fig. 따라서, 상기 제 1 접촉단(112)이 기판의 가장자리와 접촉하여 기판(미도시)을 이동시키는 역할을 한다. Thus, it serves to move the substrate (not shown) to the first contact end 112 contacts the edge of the substrate. 상기 제 1 접촉단(112)은 테프론(teflon) 등과 같은 엔지니어링 플라스틱(engineering plastic)으로 이루어지는 것이 바람직하다. The first contact end 112 is preferably made of engineering plastic (engineering plastic), such as Teflon (teflon).

그리고 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제 1 기판접촉부(110)의 일단은 제 1 지지부(120)와 결합된다. And one end of the first substrate contact portion 110, as shown in Figure 2 is coupled to the first supporting plate 120. 이때, 상기 제 1 지지부(110)는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제 1 기판접촉부(110)가 좌우로 요동할 수 있는 구조로 구비된다. In this case, the first support 110 is provided with a structure capable of swinging to a first substrate contact portion 110, the left and right as shown in Fig. 즉, 상기 제 1 지지부(120)는 공정챔버(300)의 벽면을 관통하여 설치되고, 벽면에 고정된 상기 제 1 지지부(120)에 결합된 상기 제 1 기판접촉부(110)가 좌우로 슬라이딩(sliding)하는 구조이다. That is, the sliding in the first support 120 is provided through the wall of the process chamber 300, a first substrate contact portion 110 is coupled to the first supporting plate 120 secured to the wall right and left ( a structure for sliding).

다음으로 상기 제 1 구동부(130)는 상기 제 1 기판접촉부(110)의 타단과 결합되며, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제 1 기판접촉부(110)가 좌우로 요동할 수 있는 구조로 형성된다. Next, the first driving unit 130 is coupled to end and the other of the first substrate contact portion 110 is formed in the said first structure capable of swinging a first substrate contact portion 110, the left and right as shown in Figure 6 . 또한 상기 제 1 구동부(130)도 공정챔버(300)의 벽면을 관통하여 설치된다. In addition, the first driving unit 130 also is provided through the wall of the process chamber 300. The

그리고 상기 제 1 구동부(130)에는 도 7에 도시된 바와 같은 상기 제 1 기판접촉부(110)를 구동시키는 제 1 구동수단(132)이 더 구비된다. And the first driving unit 130, the first driving means 132 for driving the first substrate contact unit 110 as shown in Figure 7 is further provided. 이때 상기 제 1 구동수단(132)은 모터인 것이 바람직하며, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제 1 기판접촉부(110)와 제 1 벨로우즈 모듈(134)에 의하여 결합된다. At this time, the first driving means 132 is preferably a motor, is engaged by the first substrate contact unit 110 of the first bellows module 134 as shown in FIG. 이때 상기 제 1 벨로 우즈 모듈(134)은 상기 제 1 기판접촉부(110)가 설치되는 반송챔버(300) 내부의 진공분위기와 상기 제 1 구동수단(132)이 설치되는 반송챔버(300) 외부의 대기 분위기를 유지하면서 상기 제 1 기판접촉부(110)를 좌우로 구동시키기 위한 것이다. At this time, the first outside of the first bellows module 134 is the first substrate contacts the conveying chamber 300 is 110, the installation transportation chamber 300 is installed inside the vacuum environment to the first drive means (132) It is for maintaining the air atmosphere to drive the left and right the first substrate contact portion 110. 즉, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 구동수단(132)과 연결되는 구동축(136)을 신축가능한 벨로우즈 모듈(134)로 감쌈으로써 상기 구동축(136)이 움직이더라도 반송챔버(300) 내부의 진공분위기는 그대로 유지되도록 하는 것이다. That is, inside the said first driving means 132 by the wrapping with the drive shaft 136 can bellows module 134 stretch to be connected to the drive shaft 136 even if the moving conveying chamber 300 as shown in FIG. 9 vacuum atmosphere is to ensure that remain.

그리고 도 10에 도시된 바와 같이 상기 제 1 구동수단(132)에는 제 1 기판접촉부 조작단(138)이 더 형성되는 것이 바람직하다. And the first drive means 132 as shown in Figure 10, it is preferable that the first substrate contacts the operation stage 138 is further formed. 이때 상기 제 1 기판접촉부 조작단(138)은 상기 제 1 접촉단(112)이 상기 기판과 접촉하여 기판을 이동시키기 전에 수동으로 상기 제 1 접촉단(112)을 상기 기판에 근접한 위치로 이동시키는 역할을 한다. At this time, moving the first substrate contacts the operation stage 138 is passive in the first contacting stage (112) before transferring the substrate to the first contact end 112 is brought into contact with the substrate to a position close to the substrate the roles.

다음으로 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 기판위치조정 수단(200)은, 제 2 기판 접촉부(210), 제 2 지지부(220) 및 제 2 구동부(230)를 포함하여 이루어진다. Next, as shown in Figure 11, the second substrate position adjustment means (200), it comprises a second substrate contact portion 210, a second support part 220 and the second driver 230.

상기 제 2 기판위치조정수단(200)은 그 구성요소가 상기 제 1 기판위치조정수단(100)과 동일하지만 설치되는 위치나 각 세부 구성요소의 구조 및 기능은 상기 제 1 기판위치조정수단(100)과 상이하므로 이하에서 각각 설명한다. The second substrate position adjustment means (200) structure and function of the configuration position and each detail components whose elements are the same, but the installation and the first substrate position adjusting means 100 comprises the first substrate position adjusting means (100 ) and it will be different because each described below.

먼저 상기 제 2 기판위치조정수단(200)은 상기 제 1 기판위치조정 수단(100)이 설치되지 않은 공정챔버(300)의 양 측면에 각각 1개씩 설치된다. First, the second substrate position adjustment means (200) are respectively installed one by one on both sides of the first substrate position adjusting means 100, the process chamber 300 is not installed.

그리고 상기 제 2 기판 접촉부(210)는 상기 제 1 기판접촉부(110)와 동일하게 긴 막대형 구조를 갖추고 있으므, 소정 간격으로 복수개의 제2 접촉단(112)이 형성된다. And the second substrate contact portion 210 may have a iteumeu equally long bar-like structure and the first substrate contact portion 110, the number of second contact end 112, a plurality is formed at a predetermined interval. 다만, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 제 1 기판접촉부(110)에는 상기 제 1 접촉단(112)이 상기 제 1 기판접촉부(110)의 상부에 결합되고, 상기 제 2 기판접촉부(210)에는 상기 제 2 접촉단(212)이 상기 제 2 기판접촉부(210)의 하부에 결합되는 것이 바람직하다. Note, however, that the first substrate contact portion 110, as shown in Figure 1, the first contact end 112 is coupled to an upper portion of the first substrate contact portion 110, the second substrate contact portion 210 that the second contact end 212 is coupled to a lower portion of the second substrate contact portion 210 is preferred. 이는 상기 제 1 기판위치조정 수단(100) 및 상기 제 2 기판위치조정수단(200)의 제 1, 2 구동수단(132, 232) 등 반송 챔버(300)의 외부에 설치되는 구성요소의 설치위치가 겹치지 않게 하는 장점과 상기 제 1 기판접촉부(110)와 상기 제 2 기판 접촉부(210)의 이동반경이 겹치지 않게 하는 장점이 있기 때문이다. This installation of components are installed on the outside of the first substrate position adjustment means 100 and the second substrate, positioning means 200, first and second drive means (132, 232) including transfer chamber 300 of the position this is because the advantage of moving the radial stagger of the advantages and the first substrate contact portion 110 and the second substrate contact portion 210 that is not overlap.

상기 제 2 접촉단(212)의 구조나 재질은 상기 제 1 접촉단(112)과 동일하다. Structure and material of the said second contact end (212) is as defined in the first contacting stage (112).

그리고 상기 제 2 지지부(220a, 220b)는 상기 제 2 기판접촉부(210)의 양단과 결합된다. And it said second support (220a, 220b) is coupled with both ends of the second substrate contact portion 210. The 즉, 상기 제 2 기판접촉부(210)의 양단에 각각 하나의 제 2 지지부가 결합되어 상기 제 2 기판접촉부(210)를 지지하는 것이다. That is, one of the second support portion coupled to each of both ends of the second substrate contact portion 210 to support the second board contact portion (210). 이때 상기 제 2 지지부(220a, 220b)는 상기 공정챔버(300)의 벽면을 관통하여 설치되며, 도 11에 도시된 바와 같이 상기 제 2 기판접촉부(210)가 전후로 요동할 수 있는 구조로 구비된다. At this time, the second support part (220a, 220b) are installed through the wall of the process chamber 300, it is provided to the structure in which the second substrate contact portion 210 can swing back and forth as shown in Figure 11 .

다음으로 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 구동부(230)는 상기 제 2 기판접촉부(210)의 중앙부분에 겹합된다. Next, as shown in Figure 11, the second driving unit 230 is gyeophap the central part of the second substrate contact portion 210. The 이때 상기 제 2 구동부(230)는 상기 공정챔버(300)의 벽면을 관통하여 설치되며, 상기 제 2 기판접촉부(210)가 전후로 요동할 수 있는 구조로 구비된다. At this time, the second driving unit 230 is installed through a wall of the process chamber 300, wherein is provided a structure capable of swinging around a second substrate contact portion 210. The 그리고 도 12에 도시된 바와 같이 상기 제 2 구동부(230)에는 상기 제 2 기판접촉부(210)를 요동시키는 제 2 구동수단(232)이 더 구비된다. And the second driver 230, the second driving means 232 for swinging the second substrate contact portion 210 is further provided as shown in Fig. 상기 제 2 구동수단(232)은 상기 공정챔버(300)의 외부에 설치된 상태로 상기 제 2 구동부(230)와 결합되며, 그 결합부위는 제 2 벨로우즈 모듈(미도시)에 의하여 상기 반송챔버(300) 내부의 진공분위기를 깨지 않고 상기 제 2 기판접촉부(210)를 구동시킬 수 있는 구조로 결합된다. The transport chamber by said second driving means 232 is coupled to the second driver 230 in a state installed on the outside of the process chamber 300, the connecting portion of the second bellows module (not shown) ( 300) is coupled to a structure capable of driving the second substrate contact portion 210 without breaking the vacuum atmosphere within.

또한, 도 13에 도시된 바와 같이 상기 제 2 구동부(230)에는 제 2 기판접촉부 조작단(234)이 더 형성되는 것이 바람직하다. In addition, a second driver 230, as shown in Figure 13, it is preferable that the second substrate contacts the operation stage 234 is further formed. 상기 제 2 기판접촉부 조작단(234)도 상기 제 1 기판접촉부 조작단(138)과 마찬가지로 상기 제 2 접촉단(212)이 상기 기판과 접촉하여 이동시키기 전에 수동으로 상기 제 2 접촉단(212)을 상기 기판에 근접한 위치로 이동시키는 역할을 한다. The second substrate contact operation stage 234 is also the second contacting stage manually prior to the second contact end 212 is moved into contact with the substrate as in the first substrate contacts the operation stage 138 (212) the acts of moving to a position close to the substrate.

본 발명에 따른 기판위치조정 수단을 반송챔버에 설치하면 2챔버형 평판표시소자 제조장치에서도 기판에 손상을 주지 않고, 기판의 위치를 용이하게 조정할 수 있을 뿐만아니라 매우 미세한 위치 조정도 자동적으로 수행할 수 있는 장점이 있다. By installing the substrate positioning means according to the invention in the transportation chamber 2, the chamber-type flat panel display device fabricated without damage to the substrate in the apparatus, as well as be able to easily adjust the position of the substrate performed in a very fine position adjustment automatically It has the advantage that you can.

Claims (23)

  1. 평판표시소자 제조장치의 반송챔버에 있어서, In the transport chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus,
    기판의 일측면을 밀어서 X-축 방향으로 이동시키는 제 1 기판위치조정 수단; Pushing one side of the substrate a first substrate position adjusting means for moving the X- axis direction; And
    상기 일측면과 수직되는 기판의 타측면을 밀어서 Y-축 방향으로 이동시키는 제 2 기판위치조정 수단;이 마련되되, Doedoe is provided; second board position adjusting means for pushing the other side of the substrate that is perpendicular to the one side moves to the Y- axis direction
    상기 제 1 기판위치조정수단은, The first substrate position adjustment means,
    기판과 접촉되는 제 1 기판 접촉부; A first substrate contact portion that is in contact with the substrate;
    상기 제 1 기판 접촉부의 일단에 결합되어 마련되며, 상기 제 1 기판 접촉부를 지지하며, 수평 방향으로 슬라이딩되는 제 1 지지부; The first is provided coupled to the one end of the first substrate contacts said first and supporting the first substrate contact, a first supporting part that is slid in the horizontal direction; And
    상기 제 1 기판 접촉부의 타단에 결합되어 마련되며, 상기 제 1 기판 접촉부를 수평 방향으로 구동시키는 제 1 구동부; It is provided coupled to the other end of the first substrate contact, a first driving unit for driving the first board contact portion in a horizontal direction;
    를 포함하여 이루어지며, Becomes the place including,
    상기 제 2 기판위치조정 수단은, The second substrate position adjustment means,
    기판과 접촉되는 제 2 기판 접촉부; The second substrate contact portion that is in contact with the substrate;
    상기 제 2 기판 접촉부의 양단에 결합되어 마련되며, 상기 제 2 기판 접촉부를 지지하며, 수평 방향으로 슬라이딩되는 제 2 지지부; The first is coupled to both ends of the second substrate contact is provided, a second supporting part that is the sliding in the second substrate, and support the contacts, a horizontal direction; And
    상기 제 2 기판 접촉부의 중앙 영역에 결합되어 마련되며, 상기 제 1 기판 접촉부를 수평 방향으로 구동시키는 제 2 구동부; The first is coupled to a central region of the second substrate contact is provided, a second driving unit for driving the first board contact portion in a horizontal direction;
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. The transport chamber of a flat panel display element manufacturing apparatus which comprises including.
  2. 삭제 delete
  3. 제1항에 있어서, 상기 제 1 기판위치조정수단은, The method of claim 1, wherein the first substrate position adjustment means,
    공정챔버 내부의 마주보는 양 측면에 각각 1개씩 설치되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Process conveying chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that the respectively installed one by one on both side surfaces facing in the chamber.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제 1 지지부는, The method of claim 1 wherein the first support portion,
    공정챔버의 벽면을 관통한 상태로 공정 챔버의 내외에 걸쳐서 설치되며, 상기 공정챔버 내부의 기밀이 유지된 상태에서 상기 제 1 기판접촉부가 수평 방향으로 요동할 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Display plate, characterized in that provided so that the first substrate contacts to be able to swing horizontally is disposed in a through the wall of the process chamber state over the inside and outside of the process chamber, in a state where the inside of the process chamber hermetically maintained conveying chamber of a device manufacturing apparatus.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제 1 구동부는, The method of claim 4, wherein the first drive section,
    공정챔버의 벽면을 관통한 상태로 공정 챔버의 내외에 걸쳐서 설치되며, 상기 공정 챔버 내부의 기밀이 유지된 상태에서 상기 제 1 기판접촉부가 수평 방향으로 요동할 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Display plate, characterized in that provided so that the first substrate contacts to be able to swing horizontally is disposed in a through the wall of the process chamber state over the inside and outside of the process chamber, in a state where the inside of the process chamber hermetically maintained conveying chamber of a device manufacturing apparatus.
  6. 제5항에 있어서, 6. The method of claim 5,
    상기 제 1 구동부에는, 상기 제 1 기판접촉부를 구동시키는 동력을 제공하는 제 1 구동수단이 더 구비되되, The first drive unit has, doedoe first drive means is further provided for providing the power for driving the first board contact portion,
    상기 제 1 구동수단은 제 1 벨로우즈 모듈에 의하여 상기 제 1 기판접촉부와 연결되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Conveying chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus, wherein the first drive means being connected with said first substrate contact portion by a first bellows module.
  7. 삭제 delete
  8. 제5항에 있어서, 상기 제 1 기판접촉부에는, The method of claim 5, wherein a first substrate contact,
    챔버 내측 방향으로 돌출되어 마련되며, 기판의 얼라인시에 기판과 직접 접촉하는 복수개의 제 1 접촉단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Conveying chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus, characterized in that is provided to protrude in the inner direction of the chamber and, a plurality of the first contact stage in direct contact with the substrate at the time of alignment of the substrate is further provided.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제 1 접촉단은, The method of claim 8, wherein the first contact stage,
    회전가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Conveying chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus, characterized in that provided so as to be rotatable.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제 1 접촉단은, The method of claim 9, wherein the first contact stage,
    엔지니어링 플라스틱(engineering plastic)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Engineering plastics conveying chamber of a flat panel display element manufacturing apparatus which comprises a (engineering plastic).
  11. 제10항에 있어서, 11. The method of claim 10,
    상기 엔지니어링 플라스틱은 테프론(teflon)인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Conveying chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that the engineering plastics are PTFE (teflon).
  12. 제1항에 있어서, 상기 제 1 구동부에는, The method of claim 1, wherein, in the first drive,
    상기 제 1 기판접촉부를 수평방향으로 이동시켜 제 1 기판접촉부의 위치를 조정하는 제 1 기판접촉부 조작단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Conveying chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that the first substrate contacts the operation stage is further provided for adjusting the position of the first substrate contact portion by moving the first substrate contact portion in the horizontal direction.
  13. 삭제 delete
  14. 제1항에 있어서, 상기 제 2 기판위치조정 수단은, The method of claim 1 wherein the second substrate position adjustment means,
    상기 제 1 기판위치조정 수단이 설치되지 않은 공정챔버의 마주보는 양 측면에 각각 1개씩 설치되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Conveying chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that the respectively installed one by one on both side surfaces facing in the first substrate processing chamber positioning means is not installed.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제 2 지지부는, 15. The method of claim 14, wherein the second support portion,
    상기 공정챔버의 벽면을 관통한 상태로 공정챔버의 내외부에 걸쳐서 설치되며, 상기 공정챔버 내부의 기밀이 유지된 상태에서 상기 제 2 기판접촉부가 수평방향으로 요동할 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Is disposed over the inside and outside of the process chamber as a through-the wall of the process chamber state, the flat plate in a state where the inside of the process chamber hermetically kept being provided to the second substrate contact portion can swing in the horizontal direction transfer chambers of the display element manufacturing apparatus.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제 2 구동부는, The method of claim 15, wherein the second drive unit,
    공정챔버의 벽면을 관통한 상태로 공정챔버의 내외부에 걸쳐서 설치되며, 상기 공정챔버 내부의 기밀이 유지된 상태에서 상기 제 2 기판접촉부를 수평방향으로 구동시키는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Is installed in the through the wall surface of the process chamber state over the inside and outside of the process chamber, in the state in which the inside of the process chamber hermetically held flat panel display device manufacturing apparatus, comprising a step of driving the second board contact portion in the horizontal direction conveying chamber.
  17. 제16항에 있어서, 17. The method of claim 16,
    상기 제 2 구동부에는, 상기 제 2 기판접촉부를 구동시키는 동력을 제공하는 제 2 구동수단이 더 구비되되, The second drive unit has, doedoe second drive means is further provided for providing the power for driving the second board contact portion,
    상기 제 2 구동수단은 제 2 벨로우즈 모듈에 의하여 상기 제 2 기판접촉부와 연결되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Conveying chamber of a flat panel display element manufacturing apparatus, the second driving means being connected to the second substrate contact portion by a second bellows module.
  18. 삭제 delete
  19. 제16항에 있어서, 상기 제 2 기판접촉부에는, 17. The method of claim 16, wherein in the second substrate contact,
    챔버 내측 방향으로 돌출되어 마련되며, 기판의 얼라인시에 기판과 직접 접촉하는 복수개의 제 2 접촉단이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Conveying chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus, characterized in that is provided to protrude in the inner direction of the chamber, and a plurality of second contact end that comes into direct contact with the substrate during the alignment of the substrate is further provided.
  20. 제19항에 있어서, 상기 제 2 접촉단은, 20. The method of claim 19 wherein the second contacting stage,
    회전가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Conveying chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus, characterized in that provided so as to be rotatable.
  21. 제20항에 있어서, 상기 제 2 접촉단은, The method of claim 20, wherein the second contact stage,
    엔지니어링 플라스틱(engineering plastic)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Engineering plastics conveying chamber of a flat panel display element manufacturing apparatus which comprises a (engineering plastic).
  22. 제21항에 있어서, 22. The method of claim 21,
    상기 엔지니어링 플라스틱은 테프론(teflon)인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Conveying chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that the engineering plastics are PTFE (teflon).
  23. 제1항에 있어서, 상기 제 2 구동부에는, The method of claim 1, wherein, in the second drive unit,
    상기 제 2 기판접촉부를 수평방향으로 이동시켜 제 2 기판접촉부의 위치를 조정하는 제 2 기판접촉부 조작단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 반송챔버. Conveying chamber of a flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that the second board contact operation stage is further provided for adjusting the position of the second substrate contact portion by moving the second board contact portion in the horizontal direction.
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