KR100476619B1 - Supports with sensors for measuring the remaining volume of waste-saving container contents - Google Patents

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Abstract

이 발명은 폐액량 절약형 용기내 용액의 잔량 측정기능을 갖는 센서가 장착된 지지대에 관한 것으로서,The present invention relates to a support equipped with a sensor having a function of measuring the remaining amount of the solution in the waste volume saving container,

센서 고정판(25)의 경사면 상에 볼트(27)와 너트(28)에 의해 선택적으로 센서(26)가 고정될 수 있을 뿐만 아니라 센서 고정판(25)은 케이스(22)의 바닥에 나사(251)에 의해 전후 위치가 조정가능하므로 센서(26)의 결합시 센서(26)의 전후 및 상하 위치가 자유롭게 조정될 수 있어서 세팅이 용이하다. 상기 센서 고정판(25)은 측면 고정대(24)와 일체형으로 결합될뿐만 아니라 케이스(22)의 바닥에 단단하게 고정되므로, 용기(21)의 교체시 케이스(22)에 유동이 가해지더라도 센서의 오동작 발생 가능성이 크게 감소하며, 종단부가 경사진 노즐을 이용함으로써 폐액량이 크게 감소한다.Not only can the sensor 26 be selectively fixed by the bolts 27 and the nuts 28 on the inclined surface of the sensor fixing plate 25, but the sensor fixing plate 25 has a screw 251 at the bottom of the case 22. Since the front and rear positions can be adjusted by the front and rear positions of the sensor 26 when the sensor 26 is coupled, the setting is easy. The sensor fixing plate 25 is not only integrally coupled to the side holder 24 but also firmly fixed to the bottom of the case 22, so that the sensor malfunctions even when a flow is applied to the case 22 when the container 21 is replaced. The likelihood of occurrence is greatly reduced, and the amount of waste liquid is greatly reduced by using a nozzle having an inclined end portion.

Description

폐액량 절약형 용기내 용액의 잔량 측정기능을 갖는 센서가 장착된 지지대Support with sensor for measuring the remaining amount of solution in waste volume saving container

이 발명은 폐액량 절약형 용기내 용액의 잔량 측정기능을 갖는 센서가 장착된 지지대에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 말하자면 감광액(photoresist)과 같은 반도체 제조 공정에서 사용되는 액체를 보관하는 용기를 지지하면서 용기내 액체의 잔량을 측정할 수 있는 센서가 장착된 지지대에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a support on which a sensor having a function of measuring the remaining amount of a solution in a waste volume saving container is mounted. It relates to a support equipped with a sensor capable of measuring the residual amount of liquid.

반도체 제조 공정에서는 감광액과 같은 액체를 보관하는 용기 및 이를 지지하기 위한 지지대가 사용되고 있으며, 특히 상기 지지대에는 센서가 부착되어 있어서 용기에 남아있는 액체의 양을 감지하여 라인의 작업자에게 알려주도록 한다. 예를 들어, 상기 액체는 제조 공정에 사용되는 화학물질로서, 센서의 광 측정에 의거하여 알람 시스템은 작업자에게 액체의 교환시기를 알려줄 수 있다. In the semiconductor manufacturing process, a container for storing a liquid such as a photosensitive liquid and a support for supporting the same are used. In particular, a sensor is attached to the support so that the amount of liquid remaining in the container is sensed to inform the worker of the line. For example, the liquid is a chemical used in the manufacturing process, and based on the light measurement of the sensor, the alarm system can alert the operator when the liquid is to be replaced.

도1a에는 일반적인 반도체 공정에 사용되는 용기 및 그의 잔량 측정기능을 갖는 센서가 장착된 지지대가 도시되어 있다. FIG. 1A shows a vessel equipped with a sensor having a residual amount measuring function and a container used in a general semiconductor process.

상기 도1a에 도시된 바와 같이, 지지대는 센서(14)와 용기(11)를 지지하기 위한 하부 지지대(15)와 용기(11)의 측면에서 지지하기 위한 측면 지지대(13)로 구성되며, 용기(11)에는 노즐(12)이 설치되어 있어서 이 노즐(12)을 통해 액체의 이송이 이루어진다. As shown in FIG. 1A, the support consists of a sensor 14, a lower support 15 for supporting the container 11, and a side support 13 for supporting the side of the container 11. The nozzle 12 is provided in 11, and the liquid is conveyed through this nozzle 12. As shown in FIG.

상기 센서(14)는 용기(12)의 무게를 감지하기 위한 것으로서, 무게 측정을 통해 용기(12)에 남아있는 액체의 양을 산출하는 것이 가능하도록 한다. 그리고, 이미 언급한 바와 같이, 알람 시스템이 상기 산출된 양에 의거하여 작업자에게 자동으로 용기내 액체의 교환 또는 재충전시기를 알려준다. The sensor 14 is for sensing the weight of the container 12, and it is possible to calculate the amount of liquid remaining in the container 12 through the weight measurement. And, as already mentioned, the alarm system automatically informs the operator when to replace or refill the liquid in the container based on the calculated amount.

그런데, 상기한 지지대 및 무게 검출 방식에서는 무게 측정을 위해 용기(11)와 센서(14)가 접촉되어야 하므로, 용기 교체시 유동과 충격으로 인해 센서 자체의 오차가 유발되어 잦은 센싱 미스(sensing miss)가 일어난다. 이로 인해, 예를 들어, 감광액이 용기(11)에 들어있지 않지만 센싱 미스로 센싱을 못한 경우에는, 상기 노즐(12)에 연결되어 있는 튜브 라인(tube line)에서 거품이 발생하여 비도포(uncoating) 영역과 같은 도포 불량이 유발된다. 그리고, 정확한 무게의 감지를 위해 용기(11)와 센서(14)가 항상 수직 위치를 유지해야 하므로 용기(11)내의 감광액(photoresist) 용량이 늘어나 폐액량이 많아지는 문제점이 있다. 이에 따라, 용기(11)에 보관되는 약품 또는 감광액의 낭비가 많다. 이와 아울러, 용기(11)의 무게중심이 정확하게 센서(14)의 측정 부위에 위치하도록 함에 있어서 세팅이 까다로울 뿐만 아니라 센서(14)의 가격이 비싼 문제점이 있다.However, in the support and the weight detection method, since the container 11 and the sensor 14 need to be in contact for measuring the weight, an error of the sensor itself is caused due to flow and shock when the container is replaced, which causes frequent sensing misses. Happens. As a result, for example, when the photosensitive liquid is not contained in the container 11 but cannot be sensed due to a sensing miss, bubbles are generated in the tube line connected to the nozzle 12 to uncoating. Poor application such as In addition, since the container 11 and the sensor 14 have to maintain the vertical position at all times in order to accurately detect the weight, there is a problem in that the amount of the photoresist in the container 11 is increased to increase the amount of waste liquid. Thereby, waste of chemical | medical agent or photosensitive liquid stored in the container 11 is large. In addition, there is a problem that the setting of the center of gravity of the container 11 is precisely located at the measurement site of the sensor 14 is not only difficult to set, but also expensive.

그 외에, 도1b에 도시된 바와 같이, 폐액량을 절약하기 위하여 하부 지지대(151)와 측면 지지대(131)가 일정 각도(약 10°) 경사지게 하는 방식이 알려진 바 있다. 도1b는 일정 각도 경사지게 형성된 종래의 잔량 측정기능을 갖는 지지대의 정면도이다. 그러나, 이 경우에는 센서(14)의 무게 중심이 경사면을 향해 치우치므로, 도1b에 도시된 바와 같이, A부위로 무게중심이 이동한다. 즉, 상기 도1b에 도시된 방식으로 잔량 측정 시스템을 사용함으로써 폐액량이 많아지는 문제점은 일부 해소할 수 있는 반면에 센서의 무게 중심 이동에 따른 센서의 오동작은 여전히 문제점으로 남아 있다. In addition, as shown in FIG. 1B, a method of tilting the lower support 151 and the side support 131 at an angle (about 10 °) in order to save the amount of waste liquid has been known. Figure 1b is a front view of the support having a conventional remaining amount measuring function formed to be inclined at an angle. However, in this case, since the center of gravity of the sensor 14 is biased toward the inclined surface, as shown in Fig. 1B, the center of gravity moves to the A portion. That is, the problem that the amount of waste liquid increases by using the remaining amount measuring system in the manner shown in FIG. 1B can be partially solved, while the malfunction of the sensor due to the movement of the center of gravity of the sensor remains a problem.

이 발명은 상기한 종래의 기술적 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 용기 교체시 유동과 충격에 상관없이 안정적으로 무게를 감지할 수 있도록 센서가 장착된 지지대를 제공하는 데 그 목적이 있다. The present invention is to solve the above technical problem, an object of the present invention is to provide a support on which the sensor is mounted so that the weight can be stably detected regardless of the flow and impact when replacing the container.

이 발명에 따른 지지대는, 용기를 일정각도 경사지게 지지하는 하부 고정대와 측면 고정대를 갖는 케이스와, 상기 각 고정대에 의해 지지되는 용기의 잔량을 측정하기 위한 비접촉식 광 센서와, 상기 용기의 경사각도와 동일하게 경사져 있어서 광 센서가 상기 용기의 측면에 평행하게 대향하도록 고정될 수 있으며 이와 동시에 상기 측면 고정대와 일체형으로 결합되는 센서 고정판과, 상기 광 센서를 상기 센서 고정판에 결합시키며 상기 광 센서의 상하 위치가 조절 가능하도록 하는 제1결합 수단과, 상기 센서 고정판을 상기 케이스에 결합시키며 상기 센서 고정판의 전후 위치가 조절 가능하도록 하는 제2결합 수단을 포함한다. The support according to the present invention includes a case having a lower holder and a side holder for supporting the container at an inclined angle, a non-contact optical sensor for measuring the remaining amount of the container supported by the respective holders, and an inclination angle of the container. A sensor holding plate which is inclined so that an optical sensor can be fixed to face the side of the container in parallel, and at the same time, the sensor holding plate is integrally coupled with the side holder, and the optical sensor is coupled to the sensor holding plate and the vertical position of the optical sensor is adjusted. And a second coupling means for coupling the sensor fixing plate to the case and enabling the front and rear positions of the sensor fixing plate to be adjustable.

상기한 이 발명에 따른 지지대에서는 비접촉식 광 센서가 사용되며, 상기 제1결합 수단에 의해 광 센서의 상하 위치가 조절 가능하다. 그리고, 광 센서가 장착되어 있는 센서 고정판은 상기 제2결합 수단에 의해 전후 위치의 조정이 가능하다. 따라서, 광 센서를 상기 지지대에 결합시킬 때 그 세팅이 용이하다. In the support according to the present invention described above, a non-contact optical sensor is used, and the vertical position of the optical sensor can be adjusted by the first coupling means. In addition, the sensor fixing plate on which the optical sensor is mounted can be adjusted in the front and rear positions by the second coupling means. Thus, the setting is easy when the optical sensor is coupled to the support.

또한, 지지대의 측면 고정대와 센서 고정판이 일체형으로 결합됨으로써 용기의 교체시 지지대와 센서가 함께 유동하므로, 종래의 기술에서 볼 수 있었던 센서의 오동작이 현저히 감소된다. In addition, since the support and the sensor flows together when the container is replaced by the side stand and the sensor fixing plate integrally, the malfunction of the sensor as seen in the prior art is significantly reduced.

이 발명에 따른 지지대에서는 상기 하부 고정대와 측면 고정대가 용기를 일정 각도 경사지게 지지하며, 그 각도는 20 내지 45도 범위 내에 있다. 그리고, 이에 더하여, 용기에 장착되는 노즐은 종단부가 연직 방향을 향하도록 경사지게 형성되어 있다. 예를 들어, 용기가 지지대에서 30도 경사지게 지지되도록 하부 고정대와 측면 고정대가 설치되면 노즐의 종단부 각도도 연직 방향에 대하여 30도 경사지게 형성된다. 이에 따라, 노즐이 용기의 바닥을 향해 종래보다 더 깊이 연장될 수 있으며, 사용할 때 용기에 남는 감광액의 양을 줄여 더 많은 양이 사용될 수 있으므로, 페액량이 감소될 수 있다. In the support according to this invention, the lower holder and the side holder support the container at an inclined angle, and the angle is in the range of 20 to 45 degrees. And in addition, the nozzle mounted to the container is formed inclined so that the terminal part may face a perpendicular direction. For example, when the lower holder and the side holder are installed so that the container is inclined 30 degrees from the support, the end angle of the nozzle is also formed to be inclined 30 degrees with respect to the vertical direction. Accordingly, the nozzle can extend deeper toward the bottom of the container than in the prior art, and the amount of waste liquid can be reduced since a larger amount can be used by reducing the amount of photoresist remaining in the container when used.

상기한 이 발명의 목적, 특징 및 잇점은 도면을 참조한 아래의 상세한 실시예 설명으로부터 보다 명백해질 것이다. The objects, features and advantages of this invention described above will become more apparent from the following detailed description of the embodiments with reference to the drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 이 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도2는 이 발명의 실시예에 따른 용기 및 그 지지대의 결합상태를 도시한 단면도이다. Figure 2 is a cross-sectional view showing a coupled state of the container and its support according to an embodiment of the present invention.

상기 도2에 도시되어 있듯이, 이 발명의 실시예에 따른 고정대는 케이스(22)와, 상기 케이스(22)의 내부에서 바닥면에 대하여 30도 각도로 경사지게 형성된 하부 고정대(23)와, 연직 방향에 대하여 30도 경사지게 형성된 측면 고정대(24)로 구성된다. 상기 측면 고정대(24)는 센서 고정판(25)에 일체형으로 결합되며, 상기 센서 고정판(25)은 케이스(22)의 바닥에 나사(251)에 의해 결합된다. 그리고, 케이스(22)의 바닥에는 슬립판(252)이 형성되어 있어서, 상기 센서 고정판(25)의 전후 위치가 조정될 수 있다. 즉, 나사(251)를 푼 상태에서 화살표 A에 의해 지시되는 방향으로 센서 고정판(25)의 위치가 조정될 수 있으며, 센서 고정판(25)의 위치를 정한 후에는 나사(251)를 잠금으로써 센서 고정판(25)이 단단하게 케이스(22)의 바닥에 고정될 수 있다. As shown in FIG. 2, the holder according to the embodiment of the present invention includes a case 22, a lower holder 23 formed to be inclined at an angle of 30 degrees with respect to the bottom surface of the case 22, and a vertical direction. It is composed of a side holder 24 formed to be inclined 30 degrees with respect to. The side holder 24 is integrally coupled to the sensor fixing plate 25, and the sensor fixing plate 25 is coupled to the bottom of the case 22 by a screw 251. In addition, since the slip plate 252 is formed at the bottom of the case 22, the front and rear positions of the sensor fixing plate 25 may be adjusted. That is, the position of the sensor fixing plate 25 can be adjusted in the direction indicated by the arrow A in the state in which the screw 251 is loosened. After setting the position of the sensor fixing plate 25, the sensor fixing plate is locked by locking the screw 251. 25 can be firmly fixed to the bottom of the case 22.

한편, 상기 센서 고정판(25)은 용기의 경사 각도와 동일하게 경사지도록 형성되어 있으며, 상기 센서 고정판(25)의 경사면 상에는 비접촉식 광 센서(26)가 볼트(27)와 너트(28)에 의해 결합된다. 이 발명의 실시예에서는 상기 비접촉식 광 센서(26)로서 E2K-F가 사용되며, 이 발명의 기술적 범위는 여기에 한정되지 않는다. Meanwhile, the sensor fixing plate 25 is formed to be inclined at the same angle as the inclination angle of the container, and the non-contact optical sensor 26 is coupled by the bolt 27 and the nut 28 on the inclined surface of the sensor fixing plate 25. do. In the embodiment of the present invention, E2K-F is used as the non-contact optical sensor 26, and the technical scope of the present invention is not limited thereto.

그리고, 상기 볼트(27)와 너트(28)가 결합되는 센서 고정판(25)의 경사면 상에는 소정 길이의 홀(251)이 형성되어 있으며, 상기 광 센서(26)의 상하 위치는 상기 홀(251)을 따라 조정 가능하다. 즉, 볼트(27)와 너트(28)를 해제한 상태에서 상기 광 센서(26)를 홀(251)을 따라 도2의 화살표 B방향으로 이동시킴으로써 상기 센서(26)의 상하 위치가 조정될 수 있으며, 상기 센서(26)의 위치가 결정되면 볼트(27)와 너트(28)를 잠금으로써 상기 센서(26)가 센서 고정판(25)의 경사면 상에 용기(21)의 측면과 평행하게 대향하도록 고정될 수 있다. In addition, a hole 251 having a predetermined length is formed on an inclined surface of the sensor fixing plate 25 to which the bolt 27 and the nut 28 are coupled, and the vertical position of the optical sensor 26 is the hole 251. It can be adjusted accordingly. That is, the upper and lower positions of the sensor 26 can be adjusted by moving the optical sensor 26 along the hole 251 in the direction of arrow B in the state in which the bolt 27 and the nut 28 are released. When the position of the sensor 26 is determined, the sensor 26 is fixed to face the side of the container 21 on the inclined surface of the sensor fixing plate 25 by locking the bolt 27 and the nut 28. Can be.

도2에 도시된 바와 같이, 용기(21)는 그 내부에 담긴 액체를 이송시키기 위한 노즐(211)을 구비하고 있으며, 상기 노즐(211)의 종단부는 연직 방향을 향하도록 경사져 있다. 즉, 이 발명의 실시예에서는 용기가 연직 방향에 대하여 30도 만큼 경사져 있으므로, 상기 노즐(211)의 종단부는 그 밖의 부분에 대하여 30도 만큼 경사져 있다. As shown in Fig. 2, the container 21 is provided with a nozzle 211 for conveying the liquid contained therein, and the end of the nozzle 211 is inclined to face in the vertical direction. That is, in the embodiment of the present invention, since the container is inclined by 30 degrees with respect to the vertical direction, the end portion of the nozzle 211 is inclined by 30 degrees with respect to the other parts.

상기 설명된 바와 같이, 센서(26)는 30도 만큼 경사져 있는 센서 고정판(25)의 경사면 상에 고정되어 있고, 상기 센서 고정판(25)의 전후 위치는 슬립판(252) 및 나사(251)에 의해 조절되므로, 센서(26)의 전후 위치도 실질적으로 조절될 수 있다. 따라서, 이 발명의 실시예에 따른 지지대에서는 센서(26)의 결합시 센서(26)의 전후 및 상하 위치가 자유롭게 조정될 수 있으므로, 세팅이 용이하다. As described above, the sensor 26 is fixed on the inclined surface of the sensor fixing plate 25 which is inclined by 30 degrees, and the front and rear positions of the sensor fixing plate 25 are attached to the slip plate 252 and the screw 251. By adjusting the front and rear positions of the sensor 26 can also be substantially adjusted. Therefore, in the support according to the embodiment of the present invention, since the front and rear and up and down positions of the sensor 26 can be freely adjusted when the sensor 26 is coupled, setting is easy.

그리고, 상기 센서 고정판(25)은 측면 고정대(24)와 일체형으로 결합될뿐만 아니라 케이스(22)의 바닥에 단단하게 고정되므로, 용기(21)의 교체시 케이스(22)에 유동이 가해지더라도 센서(26)가 케이스(22)와 함께 유동하므로, 센서의 오동작 발생 가능성이 크게 감소한다. In addition, the sensor fixing plate 25 is not only integrally coupled with the side holder 24 but also firmly fixed to the bottom of the case 22, even when a flow is applied to the case 22 when the container 21 is replaced. Since 26 flows together with the case 22, the possibility of malfunction of the sensor is greatly reduced.

또한, 용기(21)가 일정 각도 경사져 있을 뿐만 아니라 노즐(211)의 종단부는 연직 방향을 향해 경사져 있으므로, 노즐(211)이 용기(21)의 바닥을 향해 종래보다 더 깊이 연장될 수 있다. 이에 따라, 용기(21)에 담겨진 액체를 종래보다 더 많이 사용할 수 있어서 폐액량이 크게 감소한다. In addition, since the container 21 is inclined at an angle and the end portion of the nozzle 211 is inclined toward the vertical direction, the nozzle 211 can extend deeper toward the bottom of the container 21 than in the prior art. Accordingly, the liquid contained in the container 21 can be used more than in the prior art, so that the amount of the waste liquid is greatly reduced.

이상에서 설명된 이 발명에 따른 지지대는 반도체 제조 공정 중의 화학 약품을 수납하고 이의 잔량을 측정하여 공정을 제어하는 분야에 널리 사용될 수 있으며, 특히, 감광액을 수납하는 용기 및 그 잔량을 측정하기 위한 센서를 구비한 지지대로서 사용될 수 있다. The support according to the present invention described above can be widely used in the field of storing the chemicals in the semiconductor manufacturing process and measuring the residual amount thereof to control the process, in particular, a container for storing the photosensitive liquid and a sensor for measuring the remaining amount thereof Can be used as a support provided with.

상기한 지지대는 센서의 오동작 발생 가능성을 크게 감소시키므로 도포 불량을 감소시킬 수 있으며, 감광액의 용기 및 지지대로 사용할 경우에 폐액량을 종래의 1/3 수준으로 감소시킬 수 있다. 그리고, 센서의 전후 및 상하 위치를 용이하게 조절할 수 있으므로, 종래보다 센서의 세팅시간을 크게 감소시킨다. 또한, 상기 비접촉식 광 센서는 접촉식 무게 센서에 비해 가격이 저렴하므로, 유지 관리비용에 있어서도 잇점이 있다.The support can greatly reduce the possibility of malfunction of the sensor, thereby reducing the coating failure, and when used as a container and the support of the photosensitive liquid can reduce the amount of waste liquid to the level of the conventional 1/3. In addition, since the front, rear, and top and bottom positions of the sensor can be easily adjusted, the setting time of the sensor is greatly reduced than before. In addition, since the non-contact optical sensor is cheaper than the contact weight sensor, there is an advantage in maintenance cost.

비록 이 발명은 가장 실제적이며 바람직한 실시예를 참조하여 설명되었지만, 이 발명은 상기 개시된 실시예에 한정되지 않으며, 후술되는 청구의 범위 내에 속하는 다양한 변형 및 등가물들도 포함한다.Although this invention has been described with reference to the most practical and preferred embodiments, the invention is not limited to the embodiments disclosed above, but also includes various modifications and equivalents which fall within the scope of the following claims.

도1a는 일반적인 반도체 공정에 사용되는 용기내 용액의 잔량 측정기능을 갖는 센서가 장착된 지지대의 정면도.1A is a front view of a support on which a sensor having a function of measuring the residual amount of a solution in a container used in a general semiconductor process is shown.

도1b는 일정 각도 경사지게 형성된 종래의 잔량 측정기능을 갖는 센서가 장착된 지지대의 정면도. 1B is a front view of a support on which a sensor having a conventional remaining amount measuring function formed to be inclined at an angle is mounted;

도2는 이 발명의 실시예에 따른 용기 및 그 지지대의 결합상태를 도시한 단면도.Figure 2 is a cross-sectional view showing a coupled state of the container and its support according to an embodiment of the present invention.

Claims (5)

용기를 일정각도 경사지게 지지하는 하부 고정대와 측면 고정대를 갖는 케이스; A case having a lower holder and a side holder for supporting the container at an angle; 상기 각 고정대에 의해 지지되는 용기의 중량을 측정하기 위한 비접촉식 광 센서; A non-contact optical sensor for measuring the weight of the container supported by each of the holders; 상기 용기의 경사각도와 동일하게 경사져 있어서 광 센서가 상기 용기의 측면에 평행하게 대향하도록 고정될 수 있으며 이와 동시에 상기 측면 고정대와 일체형으로 결합되는 센서 고정판;A sensor fixing plate which is inclined at the same angle as the inclination angle of the container so that an optical sensor can be fixed to face the side of the container in parallel, and at the same time, is integrally coupled with the side holder; 상기 광 센서를 상기 센서 고정판에 결합시키며 상기 광 센서의 상하 위치가 조절 가능하도록 하는 제1결합 수단; 및First coupling means for coupling the optical sensor to the sensor fixing plate and allowing the vertical position of the optical sensor to be adjustable; And 상기 센서 고정판을 상기 케이스에 결합시키며 상기 센서 고정판의 전후 위치가 조절 가능하도록 하는 제2결합 수단을 포함하는,And a second coupling means for coupling the sensor fixing plate to the case and allowing the front and rear positions of the sensor fixing plate to be adjustable. 용기내 용액의 잔량 측정기능을 갖는 센서가 장착된 지지대.Support with sensor for measuring the remaining amount of solution in the container. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기한 제1결합 수단은 볼트와 너트로 구성되고, 상기 센서 고정판의 경사면 상에는 상기 센서의 상하 위치가 조절될 수 있도록 홀이 형성되어 있는,The first coupling means is composed of a bolt and a nut, the hole is formed on the inclined surface of the sensor fixing plate so that the vertical position of the sensor can be adjusted, 용기내 용액의 잔량 측정기능을 갖는 센서가 장착된 지지대.Support with sensor for measuring the remaining amount of solution in the container. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 제2결합 수단은 상기 센서 고정판이 이동 가능하도록 상기 케이스의 바닥에 형성되어 있는 슬립판; 및The second coupling means includes a slip plate formed on the bottom of the case so that the sensor fixing plate is movable; And 상기 케이스의 바닥에 상기 센서 고정판을 고정시키기 위한 나사로 구성되는,Consists of screws for fixing the sensor fixing plate on the bottom of the case, 용기내 용액의 잔량 측정기능을 갖는 센서가 장착된 지지대. Support with sensor for measuring the remaining amount of solution in the container. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기한 하부 고정대는 케이스의 바닥에 대해 20도 내지 45도 각도로 경사지게 형성되며, 상기 측면 고정대 및 센서 고정판은 연직 방향에 대해 상기 하부 지지대와 동일한 각도만큼 경사지게 형성되는,The lower holder is formed to be inclined at an angle of 20 degrees to 45 degrees with respect to the bottom of the case, the side holder and the sensor fixing plate is formed to be inclined by the same angle as the lower support with respect to the vertical direction, 용기의 잔량 측정기능을 갖는 센서가 장착된 지지대.Support with sensor for measuring the remaining capacity of the container. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기한 하부 고정대와 측면 고정대에 의해 형성되는 공간에는 종단부가 연직방향을 향하도록 경사진 노즐을 구비한 용기가 결합되는,In the space formed by the lower holder and the side holder is coupled to the container having a nozzle inclined so that the end portion is directed in the vertical direction, 용기내 용액의 잔량 측정기능을 갖는 센서가 장착된 지지대.Support with sensor for measuring the remaining amount of solution in the container.
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